JP2012112737A - 感熱式流量センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】センサチップ10と、一面20aにセンサチップ10を実装する収容凹部21が形成されていると共に当該収容凹部21の底面に貫通孔23が形成された搭載部材20と、を用意する。その後、凹部12と貫通孔23とを対向させて、センサチップ10の一部を収容凹部21の底面に接続部材70を介して実装する。続いて、貫通孔23から樹脂を注入し、収容凹部21の底面からセンサチップ10の方向に延び、凹部12内に配置されると共にセンサチップ10と離間した突起部22を形成する。
【選択図】図1
Description
本発明の第1実施形態について説明する。図1は本実施形態における感熱式流量センサの概略平面図であり、図2(a)は図1中のA−A断面図、図2(b)は図1中のB−B断面拡大図である。なお、本実施形態の感熱式流量センサは、例えば、車両のエンジンへの吸気やエンジンからの排気の流量を検出する際に用いられると好適である。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態の感熱式流量センサは、第1実施形態と比較して、センサチップ10の裏面に第1溝部を形成したものであり、その他に関しては上記第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図4(a)はセンサチップ10の平面図、図4(b)は感熱式流量センサの断面図である。なお、図4(b)は、図1中のB−B断面に相当している。なお、図4(a)では、パッド14を省略して示してある。
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態の感熱式流量センサは、第2実施形態と比較して、センサチップ10の裏面に第2溝部を形成したものであり、その他に関しては上記第2実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図5はセンサチップ10の平面図である。なお、図5では、パッド14を省略して示してある。
上記第1実施形態では、突起部22を形成した後にセンサチップ10と回路チップ30とを電気的に接続すると共に回路チップ30とリード40とを電気的に接続する例に説明したが、製造工程の順番は適宜変更可能である。すなわち、例えば、センサチップ10と回路チップ30とを電気的に接続すると共に回路チップ30とリード40とを電気的に接続した後に、突起部22を形成するようにしてもよい。
11 センシング部
12 凹部
13 薄膜部
20 搭載部材
21 収容凹部
22 突起部
23 貫通孔
70 接着剤
Claims (7)
- 表面に被検出流体の流量を検出するセンシング部(11)が形成され、前記センシング部(11)を構成する発熱抵抗が形成された部位の裏面に凹部(12)が形成されたセンサチップ(10)を搭載部材(20)に実装してなる感熱式流量センサの製造方法であって、
前記センサチップ(10)と、一面(20a)に前記センサチップ(10)を実装する収容凹部(21)が形成されていると共に当該収容凹部(21)の底面に貫通孔(22)が形成された前記搭載部材(20)と、を用意する工程と、
前記凹部(12)と前記貫通孔(22)とを対向させて、前記センサチップ(10)の一部を前記収容凹部(21)の底面に接続部材(70)を介して実装する工程と、
前記貫通孔(22)から樹脂を注入し、前記収容凹部(21)の底面から前記センサチップ(10)の方向に延び、前記凹部(12)内に配置されると共に前記センサチップ(10)と離間した突起部(22)を形成する工程と、を行うことを特徴とする感熱式流量センサの製造方法。 - 前記突起部(22)を形成する工程では、前記センサチップ(10)の前記表面と前記搭載部材(20)の前記一面(20a)との間隔を測定し、測定した前記間隔、前記収容凹部(21)の深さ、前記センサチップ(10)の厚さ、前記凹部(12)の深さに基づいて前記収容凹部(21)の底面と前記凹部(12)の底面との間隔を演算し、演算した前記間隔に基づいて前記突起部(22)を形成することを特徴とする請求項1に記載の感熱式流量センサの製造方法。
- 前記センサチップ(10)を用意する工程では、矩形板状の基板を用いて構成され、当該基板の裏面のうち、前記被検出流体の通常時の流れ方向に対して、前記凹部(12)より上流側となる部分に第1溝部(15)が形成されたものを用意し、
前記搭載部材(20)を用意する工程では、前記センサチップ(10)を前記収容凹部(21)に実装したときに前記第1溝部(15)と対向する領域に第1貫通溝(25)が形成されたものを用意し、
前記突起部(22)を形成する工程では、前記貫通孔(22)に加えて前記第1貫通溝(25)にも前記樹脂を注入し、前記収容凹部(21)から前記センサチップ(10)の方向に伸び、前記第1溝部(15)内に配置されると共に前記センサチップ(10)と離間した第1突出部(24)を形成することを特徴とする請求項1または2に記載の感熱式流量センサの製造方法。 - 前記センサチップ(10)を用意する工程では、前記基板の裏面のうち、前記凹部(12)より前記基板の長手方向の一端部側となる部分に前記第1溝部(15)と繋がった第2溝部(16)が形成されたものを用意し、
前記搭載部材(20)を用意する工程では、前記センサチップ(10)を前記収容凹部(21)に実装したときに前記第2溝部(16)と対向する領域に第2貫通溝が形成されたものを用意し、
前記突起部(22)を形成する工程では、前記貫通孔(22)および前記第1貫通溝(25)に加えて、前記第2貫通溝にも前記樹脂を注入し、前記収容凹部(21)から前記センサチップ(10)の方向に伸び、前記第2溝部(16)内に配置されると共に前記センサチップ(10)と離間した第2突出部を形成することを特徴とする請求項3に記載の感熱式流量センサの製造方法。 - 表面に被検出流体の流量を検出するセンシング部(11)が形成され、前記センシング部(11)を構成する発熱抵抗が形成された部位の裏面に凹部(12)が形成されたセンサチップ(10)を搭載部材(20)に実装してなる感熱式流量センサの製造方法であって、
矩形板状の基板を用いて構成され、当該基板の裏面のうち、前記被検出流体の通常時の流れ方向に対して、前記凹部(12)より上流側となる部分に第1溝部(15)が形成された前記センサチップ(10)を用意する工程と、
一面(20a)に前記センサチップ(10)を実装する収容凹部(21)が形成されていると共に当該収容凹部(21)の底面に第1貫通溝(25)が形成された前記搭載部材(20)を用意する工程と、
前記第1溝部(15)と前記第1貫通溝(25)とを対向させて、前記センサチップ(10)の一部を前記収容凹部(21)の底面に接続部材(70)を介して実装する工程と、
前記第1貫通溝(25)から樹脂を注入し、前記収容凹部(21)の底面から前記センサチップ(10)の方向に延び、前記第1溝部(15)内に配置されると共に前記センサチップ(10)と離間した第1突出部(24)を形成する工程と、を行うことを特徴とする感熱式流量センサの製造方法。 - 前記第1突出部(24)を形成する工程では、前記センサチップ(10)の前記表面と前記搭載部材(20)の前記一面(20a)との間隔を測定し、測定した前記間隔、前記収容凹部(21)の深さ、前記センサチップ(10)の厚さ、前記第1溝部(15)の深さに基づいて前記収容凹部(21)の底面と前記第1溝部(15)の底面との間隔を演算し、演算した前記間隔に基づいて前記第1突出部(24)を形成することを特徴とする請求項5に記載の感熱式流量センサの製造方法。
- 前記センサチップ(10)を用意する工程では、前記基板の裏面のうち、前記凹部(12)より前記基板の長手方向の一端部側となる部分に前記第1溝部(15)と繋がった第2溝部(16)が形成されたものを用意し、
前記搭載部材(20)を用意する工程では、前記センサチップ(10)を前記収容凹部(21)に実装したときに前記第2溝部(16)と対向する領域に第2貫通溝が形成されたものを用意し、
前記第1突出部(24)を形成する工程では、前記第1貫通溝(25)に加えて、前記第2貫通溝にも前記樹脂を注入し、前記収容凹部(21)から前記センサチップ(10)の方向に伸び、前記第2溝部(16)内に配置されると共に前記センサチップ(10)と離間した第2突出部を形成することを特徴とする請求項6に記載の感熱式流量センサの製造方法。
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---|---|---|---|---|
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JP2010151542A (ja) * | 2008-12-24 | 2010-07-08 | Denso Corp | 感熱式流量センサ |
DE102010028387A1 (de) * | 2009-05-01 | 2010-11-04 | Denso Corporation, Kariya-City | Luftstrommessvorrichtung |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015004557A (ja) * | 2013-06-20 | 2015-01-08 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式流量計の製造方法 |
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