JP2012108009A - レーザガス分析計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 測定ガス11中にレーザ光15を照射し、そのレーザ光15の光吸収による光量変化からガス濃度を測定するレーザガス分析計において、レーザ11から出射されるレーザ光15を平行光にするレンズ12と、このレンズ12から出射されるレーザ光15が測定ガス1を透過した後の光量を検出する検出器と、前記レンズ12の焦点位置にある移動平面内で前記レーザ11を移動するアクチュエータ13と、前記検出器からの信号に基づいてアクチュエータ13を駆動するアクチュエータ制御部16とを備えたことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
測定ガス中にレーザ光を照射し、そのレーザ光の光吸収による光量変化からガス濃度を測定するレーザガス分析計において、
レーザから出射されるレーザ光を平行光にするレンズと、
このレンズから出射されるレーザ光が前記測定ガスを透過した後の光量を検出する検出器と、
前記レンズの焦点位置にある移動平面内で前期レーザを移動するアクチュエータと、
前記検出器からの信号に基づいて前記アクチュエータを駆動するアクチュエータ制御部と
を備えたことを特徴とする。
請求項1記載のレーザガス分析計において、
前記移動平面を前記レンズの焦点位置よりわずかに前記レンズに近い位置とすることにより、前記レンズから拡散光が出射するようにしたことを特徴とする。
請求項1または2に記載のレーザガス分析計において、
前記アクチュエータにより前記レーザを前記移動平面内の直行する2方向に交互に移動させ、それぞれの方向で最大光量となる位置に制御することを特徴とする。
請求項1または2に記載のレーザガス分析計において、
前記アクチュエータにより前記レーザを円軌道上で移動させたとき前記検出器で検出される光量が一定となるよう前記円軌道の中心位置を制御することを特徴とする。
請求項1乃至4のいずれかに記載のレーザガス分析計において、
前記レーザを移動する移動周波数は、レーザ波長スキャン周波数に対し十分異なる周波数であることを特徴とする。
請求項1乃至5のいずれかに記載のレーザガス分析計において、
前記アクチュエータは超音波モータ方式であることを特徴とする。
請求項1乃至5のいずれかに記載のレーザガス分析計において、
前記アクチュエータはボイスコイル方式であることを特徴とする。
請求項1乃至5のいずれかに記載のレーザガス分析計において、
前記アクチュエータは高分子アクチュエータ方式であることを特徴とする。
(1)まずレーザ11を一方向(X軸方向)に移動する。その際の受光光量が最大となるレーザ位置を求め、レーザ11の位置をその位置に制御する。
(2)次に(1)で移動した方向に対し直交する方向(Y軸方向)にレーザ11を移動し、(1)と同様にして受光光量が最大になる位置にレーザ11の位置を制御する。
13 アクチュエータ
16 アクチュエータ制御部
11 レーザ
12 レンズ
15 レーザ光
Claims (8)
- 測定ガス中にレーザ光を照射し、そのレーザ光の光吸収による光量変化からガス濃度を測定するレーザガス分析計において、
レーザから出射されるレーザ光を平行光にするレンズと、
このレンズから出射されるレーザ光が前記測定ガスを透過した後の光量を検出する検出器と、
前記レンズの焦点位置にある移動平面内で前記レーザを移動するアクチュエータと、
前記検出器からの信号に基づいて前記アクチュエータを駆動するアクチュエータ制御部と
を備えたことを特徴とするレーザガス分析計。 - 前記移動平面を前記レンズの焦点位置よりわずかに前記レンズに近い位置とすることにより、前記レンズから拡散光が出射するようにしたことを特徴とする請求項1記載のレーザガス分析計。
- 前記アクチュエータにより前記レーザを前記移動平面内の直行する2方向に交互に移動させ、それぞれの方向で最大光量となる位置に制御することを特徴とする請求項1または2に記載のレーザガス分析計。
- 前記アクチュエータにより前記レーザを円軌道上で移動させたとき前記検出器で検出される光量が一定となるよう前記円軌道の中心位置を制御することを特徴とする請求項1または2に記載のレーザガス分析計。
- 前記レーザを移動する移動周波数は、レーザ波長スキャン周波数に対し十分異なる周波数であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のレーザガス分析計。
- 前記アクチュエータは超音波モータ方式であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のレーザガス分析計。
- 前記アクチュエータはボイスコイル方式であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のレーザガス分析計。
- 前記アクチュエータは高分子アクチュエータ方式であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のレーザガス分析計。
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