JP2012104512A - Thin film solar cell module and method of manufacturing the same - Google Patents

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敬 大内田
Katsuya Yamashita
勝也 山下
Katsutoshi Kojo
勝利 古城
Takayuki Kai
崇幸 甲斐
Hisashi Hayakawa
尚志 早川
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enable manufacturing process management after cutting and product management after product shipment of each of a plurality of thin film solar cell modules manufactured by cutting a large substrate.SOLUTION: A method for manufacturing thin film solar cell modules includes: a cell formation process of forming a plurality of thin film solar cells 7 with a photoelectric conversion semiconductor layer and a back electrode layer which are sequentially laminated on a surface electrode layer laminated on a substrate; a removal process of forming a plurality of thin film solar cell areas 7A-7D by removing a cutting part 9 at which the substrate 2 is cut, and layers of periphery of the substrate after the cell formation process; an inspection process of inspecting electric characteristics of each of a plurality of the thin film solar cell areas 7A-7D after the removal process; and a cutting process of manufacturing a plurality of thin film solar cell modules by cutting the substrate 2 after the inspection process. Before the cutting process, a mark formation process is performed for forming a mark 8 for a module which enables manufacturing management of each of the thin film solar cell modules after cutting.

Description

本発明は、薄膜太陽電池モジュール及びその製造方法に関する。   The present invention relates to a thin film solar cell module and a method for manufacturing the same.

近年、太陽電池の利用形態が多様化しており、それに伴って多種に渡る寸法の太陽電池モジュールの需要が大きくなっている。これに応じて、大面積の基板に形成した薄膜太陽電池セルを切断して、小型の薄膜太陽電池モジュールを製造する方法が採用されている。特許文献1には、図8A〜図8Dに示すように、薄膜太陽電池セルを形成した大型のガラス基板100の表面を機械的に加工した後(図8A〜図8C参照)、ガラス基板100を切断して複数の薄膜太陽電池モジュール101(図8D参照)を製造する方法が開示されている。   In recent years, utilization forms of solar cells have been diversified, and accordingly, the demand for solar cell modules having various sizes has been increasing. In response to this, a method of cutting a thin film solar cell formed on a large-area substrate and manufacturing a small thin film solar cell module is employed. In Patent Document 1, as shown in FIGS. 8A to 8D, after mechanically processing the surface of a large glass substrate 100 on which a thin-film solar battery cell is formed (see FIGS. 8A to 8C), the glass substrate 100 is formed. A method of cutting and manufacturing a plurality of thin film solar cell modules 101 (see FIG. 8D) is disclosed.

また、薄膜太陽電池モジュールの製造方法において、薄膜太陽電池を形成する基板に製造工程の管理のためのマークを付け、以後の各製造工程において前記マークを読み取り、読み取られたマークを利用して各製造工程の管理を行う製造方法が一般的に採用されている。特許文献2には、図9に示すように、光電変換装置を形成する透光性基板200の周縁領域または側面に製造工程の管理のためのマーク201を付与した光電変換装置の製造方法が開示されている。   Further, in the method for manufacturing a thin film solar cell module, a mark for managing the manufacturing process is attached to the substrate on which the thin film solar cell is formed, the mark is read in each subsequent manufacturing process, and each mark is read using the read mark. A manufacturing method for managing a manufacturing process is generally employed. Patent Document 2 discloses a method for manufacturing a photoelectric conversion device in which a mark 201 for managing the manufacturing process is provided on a peripheral region or a side surface of a translucent substrate 200 that forms the photoelectric conversion device, as shown in FIG. Has been.

特開2002−076380号公報JP 2002-076380 A 特開2001−102604号公報JP 2001-102604 A

しかしながら、特許文献1に開示された薄膜太陽電池モジュールの製造方法において、特許文献2に開示された光電変換装置の製造方法を用いて製造工程の管理を行った場合、大型のガラス基板100(図9の透光性基板200に対応)を切断して製造された後の複数の薄膜太陽電池モジュール101には個々のマークが付与されていないため、切断した後の製造工程の管理及び製品出荷後の製品管理ができないといった問題があった。   However, in the method for manufacturing a thin-film solar cell module disclosed in Patent Document 1, when the manufacturing process is managed using the method for manufacturing a photoelectric conversion device disclosed in Patent Document 2, a large glass substrate 100 (FIG. Since the individual marks are not given to the plurality of thin-film solar cell modules 101 after being cut and manufactured, the manufacturing process is controlled after the cutting and the product is shipped. There was a problem that product management was not possible.

本発明はかかる問題点を解決すべく創案されたもので、その目的は、大型基板を切断して製造された複数の薄膜太陽電池モジュールのそれぞれについて、切断後の製造工程の管理や製品出荷後の製品管理を可能にした薄膜太陽電池モジュール及びその製造方法を提供することにある。   The present invention was devised to solve such problems. The purpose of the present invention is to manage the manufacturing process after cutting and product shipment for each of a plurality of thin film solar cell modules manufactured by cutting a large substrate. It is an object of the present invention to provide a thin-film solar cell module and a method for manufacturing the same.

上記課題を解決するため、本発明に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法は、基板に積層された表面電極層上に順次積層された光電変換半導体層及び裏面電極層を、ストリング状に加工して互いに直列接続された複数の薄膜太陽電池セルを形成するセル形成工程と、前記セル形成工程後に、前記基板を切断する切断部及び前記基板周縁部の層を除去して複数の薄膜太陽電池セル領域を形成する除去工程と、前記除去工程後に、前記基板を切断して複数の薄膜太陽電池モジュールを製造する切断工程とを含む薄膜太陽電池モジュールの製造方法であって、前記切断工程前に、切断後の前記薄膜太陽電池モジュールのそれぞれに前記薄膜太陽電池モジュールを製造管理できるマークを形成するマーク形成工程を実施することを特徴としている。   In order to solve the above-described problems, a method for manufacturing a thin-film solar cell module according to the present invention includes processing a photoelectric conversion semiconductor layer and a back electrode layer sequentially stacked on a front electrode layer stacked on a substrate into a string shape. A cell forming step for forming a plurality of thin-film solar cells connected in series with each other, and a plurality of thin-film solar cell regions after removing the cutting portion for cutting the substrate and the substrate peripheral layer after the cell forming step A thin film solar cell module manufacturing method including a removing step of forming a thin film solar cell module by cutting the substrate after the removing step, and cutting the substrate before the cutting step. A mark forming step of forming a mark capable of manufacturing and managing the thin film solar cell module on each of the subsequent thin film solar cell modules is performed.

このような特徴を有する本発明によれば、切断工程前に、切断後のそれぞれの薄膜太陽電池モジュールを個別に製造管理できるマークを形成することで、切断後においても薄膜太陽電池モジュールを区別できるため、切断後の薄膜太陽電池モジュールの製品管理が可能となる。また、製造プロセスの初期段階からマークが付与されていることで、製造段階から最終消費段階、さらには廃棄段階までの追跡が可能となる。   According to the present invention having such a feature, the thin film solar cell module can be distinguished even after cutting by forming marks that can individually manufacture and manage each thin film solar cell module after cutting before the cutting step. Therefore, product management of the thin film solar cell module after cutting becomes possible. In addition, since the mark is given from the initial stage of the manufacturing process, it is possible to trace from the manufacturing stage to the final consumption stage and further to the disposal stage.

また、本発明に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法では、前記マークは、1次元コード、2次元コードまたは視認できる文字列のいずれか1つまたは2つ以上の組み合わせで構成されることが好ましい。このように、マークを、1次元コード、2次元コードまたは視認できる文字列等またはその組み合わせで構成することで、マーク読み出し装置による読み出しが容易となる。また、文字列を視認することで、目視による確認も可能となる。   Moreover, in the manufacturing method of the thin film solar cell module which concerns on this invention, it is preferable that the said mark is comprised by any 1 or a combination of 2 or more of a one-dimensional code, a two-dimensional code, or a visible character string. As described above, by configuring the mark with a one-dimensional code, a two-dimensional code, a visually recognizable character string, or a combination thereof, reading by the mark reading device is facilitated. Further, visual confirmation is also possible by visually recognizing the character string.

また、本発明に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法では、前記マークは、同じ基板から切断されたことを示す情報と、前記基板の切断される前の位置を示す情報とを含む構成とすることができる。このような構成とすれば、切断した後の薄膜太陽電池モジュールのそれぞれを基板単位で容易に管理することができる。   Moreover, in the manufacturing method of the thin film solar cell module according to the present invention, the mark includes information indicating that the mark is cut from the same substrate and information indicating a position before the substrate is cut. Can do. If it is set as such a structure, each of the thin film solar cell module after cut | disconnecting can be managed easily per board | substrate.

また、本発明に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法では、前記マークは、前記基板、前記表面電極層、前記光電変換半導体層及び前記裏面電極層のいずれか1つまたは2つ以上に設ける構成とすることが好ましい。また、前記マークは、レーザ加工にて形成することが好ましい。レーザ加工にてマークを形成することで、薄膜太陽電池モジュールの製造プロセスにおいて、第1ないし第3レーザスクライブで用いられるレーザ加工装置や、周縁絶縁領域の積層膜を除去するレーザトリミングで用いられるレーザ加工装置で、マークを形成することができる。   Further, in the method for manufacturing a thin-film solar cell module according to the present invention, the mark is provided on any one or two or more of the substrate, the surface electrode layer, the photoelectric conversion semiconductor layer, and the back electrode layer. It is preferable to do. The mark is preferably formed by laser processing. By forming a mark by laser processing, in the manufacturing process of the thin film solar cell module, a laser processing apparatus used in the first to third laser scribing, or a laser used in laser trimming to remove the laminated film in the peripheral insulating region A mark can be formed by a processing apparatus.

また、本発明に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法では、前記マークは、前記太陽電池セルをストリング状にレーザ加工する場所を避けて設けられている。これにより、太陽電池セルをストリング状にレーザ加工した際に、マークの一部または全体が消されてしまうことを防止することができる。   Moreover, in the manufacturing method of the thin film solar cell module which concerns on this invention, the said mark is provided avoiding the place which laser-processes the said photovoltaic cell in a string form. Thereby, when a solar cell is laser-processed into a string shape, it can prevent that a part or all of a mark is erase | eliminated.

また、本発明に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法では、前記マークは、切断後の前記薄膜太陽電池モジュールの周縁部に近接して設けられた構成としている。このように、マークを基板の周縁部近傍に形成することで、マーク読み出し装置の構造を簡略化することができる。また、マークが周縁部にあることで、薄膜太陽電池モジュールに対してマークを目立ちにくくすることができる。   Moreover, in the manufacturing method of the thin film solar cell module which concerns on this invention, the said mark is set as the structure provided adjacent to the peripheral part of the said thin film solar cell module after a cutting | disconnection. Thus, by forming the mark in the vicinity of the peripheral edge of the substrate, the structure of the mark reading device can be simplified. Moreover, a mark can be made inconspicuous with respect to a thin film solar cell module because a mark exists in a peripheral part.

また、本発明に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法では、切断後の各薄膜太陽電池モジュールは同じ形状であり、前記マークは各薄膜太陽電池モジュールの同位置に設けられた構成としている。このように、マークを同じ位置に形成することで、薄膜太陽電池モジュールを切断した後の製造プロセス装置(例えば封止装置など)のマーク読み出し部の位置合わせ機構が簡略化でき、読み出し時間や読み出しエラーの発生を低減できる。   Moreover, in the manufacturing method of the thin film solar cell module which concerns on this invention, each thin film solar cell module after a cutting | disconnection is the same shape, It is set as the structure by which the said mark was provided in the same position of each thin film solar cell module. Thus, by forming the mark at the same position, the alignment mechanism of the mark reading unit of the manufacturing process apparatus (for example, a sealing apparatus) after cutting the thin film solar cell module can be simplified, and the reading time and reading can be simplified. The occurrence of errors can be reduced.

また、本発明に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法では、前記複数の薄膜太陽電池セル領域のそれぞれについて電気特性検査を行う検査工程を含み、前記マーク形成工程は、前記検査工程後に実施する構成としてもよい。このように、マーク形成工程を、検査工程後に実施することで、マークの情報として、検査結果の情報を加えることができる。   Moreover, in the manufacturing method of the thin film solar cell module which concerns on this invention, it includes the test | inspection process which performs an electrical property test | inspection about each of these thin film photovoltaic cell area | regions, and the said mark formation process is implemented as the structure implemented after the said test process. Also good. As described above, by performing the mark formation process after the inspection process, information on the inspection result can be added as mark information.

また、本発明に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法では、前記マークは、前記検査工程における電気特性検査結果を示す情報をさらに含む構成としてもよい。マークに電気特性検査結果の情報を加えることで、薄膜太陽電池モジュールを設置する施工現場などにおいても、マークを読み取ることで、個々の薄膜太陽電池モジュールの特性値を把握することができる。   In the method for manufacturing a thin-film solar cell module according to the present invention, the mark may further include information indicating an electrical property inspection result in the inspection step. By adding information on the electrical property inspection result to the mark, the characteristic value of each thin film solar cell module can be grasped by reading the mark even at a construction site where the thin film solar cell module is installed.

また、本発明に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法では、前記電気特性検査にて不良と判断された薄膜太陽電池モジュールには、前記マークを付けないか、または、不良を示す特殊マークを付与する構成としてもよい。このような構成とすれば、不良と判断された薄膜太陽電池モジュールには、マークがないか、もしくは特殊マークが付与されているので、不良と判断された薄膜太陽電池モジュールを誤って出荷することを防止することができる。   In the method for manufacturing a thin film solar cell module according to the present invention, the thin film solar cell module determined to be defective in the electrical characteristic inspection is not marked or a special mark indicating a defect is given. It is good also as a structure. With such a configuration, the thin film solar cell module determined to be defective has no mark or is given a special mark, so the thin film solar cell module determined to be defective must be shipped by mistake. Can be prevented.

また、本発明に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法では、前記マークとは別に前記基板を製造管理できる基板用マークを付与する構成としてもよい。このような構成とすれば、基板切断前の製造プロセスの処理履歴を、基板用マークによって基板単位で管理することが可能となる。   Moreover, in the manufacturing method of the thin film solar cell module which concerns on this invention, it is good also as a structure which provides the mark for board | substrates which can manufacture-control the said board | substrate separately from the said mark. With such a configuration, it is possible to manage the processing history of the manufacturing process before cutting the substrate in units of substrates using the substrate marks.

また、本発明に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法では、前記各マークは、レーザ加工により前記基板上の光電変換半導体層及び裏面電極層を除去することで形成し、前記マークを形成した領域では、前記裏面電極層上に設ける絶縁シートを前記光電変換半導体層領域の表面の色と近似した色で形成した構成としてもよい。このような構成とすれば、マークが肉眼で視認しづらくなり、薄膜太陽電池モジュールに近接して見なければマークの存在を認識できないようにすることができる。これにより、美観に優れた薄膜太陽電池モジュールを提供することができる。   In the method for manufacturing a thin-film solar cell module according to the present invention, each mark is formed by removing the photoelectric conversion semiconductor layer and the back electrode layer on the substrate by laser processing, and in the region where the mark is formed. The insulating sheet provided on the back electrode layer may be formed in a color approximate to the color of the surface of the photoelectric conversion semiconductor layer region. With such a configuration, it is difficult to visually recognize the mark with the naked eye, and it is possible to prevent the presence of the mark from being recognized unless the mark is viewed close to the thin film solar cell module. Thereby, the thin film solar cell module excellent in aesthetics can be provided.

また、本発明の薄膜太陽電池モジュールは、上記各構成に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法にて製造されている。これにより、個々の薄膜太陽電池モジュールにおいて、切断前の情報をマークから取得することができる。   Moreover, the thin film solar cell module of this invention is manufactured with the manufacturing method of the thin film solar cell module which concerns on said each structure. Thereby, in each thin film solar cell module, information before cutting can be acquired from the mark.

本発明は上記のように構成したので、基板を切断することで複数の薄膜太陽電池モジュールを製造した場合でも、切断後の薄膜太陽電池モジュールを区別することができるため、切断後の薄膜太陽電池モジュールの製品管理が可能となる。   Since the present invention is configured as described above, even when a plurality of thin film solar cell modules are manufactured by cutting the substrate, the thin film solar cell modules after cutting can be distinguished. Module product management becomes possible.

薄膜太陽電池モジュールの構成を示す一部拡大断面図である。It is a partially expanded sectional view which shows the structure of a thin film solar cell module. 本発明の薄膜太陽電池モジュールの製造方法において製造される薄膜太陽電池モジュールの実施形態1の製造工程を示す工程図である。It is process drawing which shows the manufacturing process of Embodiment 1 of the thin film solar cell module manufactured in the manufacturing method of the thin film solar cell module of this invention. 本発明の薄膜太陽電池モジュールの製造方法において製造される薄膜太陽電池モジュールの実施形態1の製造工程を示す工程図である。It is process drawing which shows the manufacturing process of Embodiment 1 of the thin film solar cell module manufactured in the manufacturing method of the thin film solar cell module of this invention. 本発明の薄膜太陽電池モジュールの製造方法において製造される薄膜太陽電池モジュールの実施形態1の製造工程を示す工程図である。It is process drawing which shows the manufacturing process of Embodiment 1 of the thin film solar cell module manufactured in the manufacturing method of the thin film solar cell module of this invention. 実施形態1に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法における製造プロセスの工程を示すフローチャートである。3 is a flowchart showing a manufacturing process in the method for manufacturing a thin-film solar cell module according to Embodiment 1. 本発明の薄膜太陽電池モジュールの製造方法において製造される薄膜太陽電池モジュールの実施形態2の製造工程を示す工程図である。It is process drawing which shows the manufacturing process of Embodiment 2 of the thin film solar cell module manufactured in the manufacturing method of the thin film solar cell module of this invention. 本発明の薄膜太陽電池モジュールの製造方法において製造される薄膜太陽電池モジュールの実施形態2の製造工程を示す工程図である。It is process drawing which shows the manufacturing process of Embodiment 2 of the thin film solar cell module manufactured in the manufacturing method of the thin film solar cell module of this invention. 本発明の薄膜太陽電池モジュールの製造方法において製造される薄膜太陽電池モジュールの実施形態2の製造工程を示す工程図である。It is process drawing which shows the manufacturing process of Embodiment 2 of the thin film solar cell module manufactured in the manufacturing method of the thin film solar cell module of this invention. 本発明の薄膜太陽電池モジュールの製造方法において製造される薄膜太陽電池モジュールの実施形態2の製造工程を示す工程図である。It is process drawing which shows the manufacturing process of Embodiment 2 of the thin film solar cell module manufactured in the manufacturing method of the thin film solar cell module of this invention. 実施形態2に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法における製造プロセスの工程を示すフローチャートである。6 is a flowchart showing a manufacturing process step in the method for manufacturing a thin-film solar cell module according to Embodiment 2. 本発明に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法において製造された薄膜太陽電池モジュールの具体例を示し、薄膜太陽電池モジュールに形成されたモジュール用マーク近傍の一部分を上面側(受光面側)からみた平面図である。The specific example of the thin film solar cell module manufactured in the manufacturing method of the thin film solar cell module which concerns on this invention is shown, The plane which looked at a part of the mark vicinity for modules formed in the thin film solar cell module from the upper surface side (light-receiving surface side) FIG. 図6AのE−E線断面図である。It is the EE sectional view taken on the line of FIG. 6A. 本発明に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法において製造された薄膜太陽電池モジュールの具体例を示し、薄膜太陽電池モジュールに形成されたモジュール用マーク近傍の一部分を上面側(受光面側)からみた平面図である。The specific example of the thin film solar cell module manufactured in the manufacturing method of the thin film solar cell module which concerns on this invention is shown, The plane which looked at a part of the mark vicinity for modules formed in the thin film solar cell module from the upper surface side (light-receiving surface side) FIG. 図7AのF−F線断面図である。It is the FF sectional view taken on the line of FIG. 7A. 従来の薄膜太陽電池モジュールの製造方法の一工程を示す斜視図である。It is a perspective view which shows 1 process of the manufacturing method of the conventional thin film solar cell module. 従来の薄膜太陽電池モジュールの製造方法の一工程を示す斜視図である。It is a perspective view which shows 1 process of the manufacturing method of the conventional thin film solar cell module. 従来の薄膜太陽電池モジュールの製造方法の一工程を示す斜視図である。It is a perspective view which shows 1 process of the manufacturing method of the conventional thin film solar cell module. 従来の薄膜太陽電池モジュールの製造方法の一工程を示す斜視図である。It is a perspective view which shows 1 process of the manufacturing method of the conventional thin film solar cell module. 従来の薄膜太陽電池モジュールの基板表面を示す平面図である。It is a top view which shows the board | substrate surface of the conventional thin film solar cell module.

以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、以下に示した実施形態は例示であり、本発明はこれらに限定されるものではない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In addition, embodiment shown below is an illustration and this invention is not limited to these.

図1は、薄膜太陽電池モジュールの構成を示す一部拡大断面図である。ただし、図1では、受光面側を下にした状態で図示している。   FIG. 1 is a partially enlarged cross-sectional view showing a configuration of a thin film solar cell module. However, in FIG. 1, the light receiving surface side is shown in a downward state.

まず、図1を参照して、薄膜太陽電池モジュールの構成について簡単に説明する。   First, with reference to FIG. 1, the structure of a thin film solar cell module is demonstrated easily.

薄膜太陽電池モジュール1は、透光性絶縁基板(以下、単に基板という。)2上に、透明な表面電極層3、光電変換半導体層4及び裏面電極層5を順に積層することにより、複数の薄膜太陽電池セル7が直列に接続された構成となっている。   The thin-film solar cell module 1 includes a transparent surface electrode layer 3, a photoelectric conversion semiconductor layer 4, and a back electrode layer 5, which are sequentially laminated on a translucent insulating substrate (hereinafter simply referred to as a substrate) 2. The thin film solar cells 7 are connected in series.

すなわち、表面電極層3は、所定位置に複数の第1スクライブライン6aが形成されることによって複数に分割されている。   That is, the surface electrode layer 3 is divided into a plurality of parts by forming a plurality of first scribe lines 6a at predetermined positions.

光電変換半導体層4は、その一部が各第1スクライブライン6a内に充填されるとともに、各第1スクライブライン6aと平行に近接した異なる位置に複数の第2スクライブライン6bが形成されることによって、複数に分割されている。   A part of the photoelectric conversion semiconductor layer 4 is filled in each first scribe line 6a, and a plurality of second scribe lines 6b are formed at different positions close to and parallel to each first scribe line 6a. Is divided into a plurality.

裏面電極層5は、その一部が各第2スクライブライン6b内に充填されるとともに、各第2スクライブライン6bと平行に近接し、かつ、第1スクライブライン6aと反対側に複数の第3スクライブライン6cが形成されることによって、複数に分割されている。これにより、裏面電極層5が各第2スクライブライン6b内に充填されて隣接する表面電極層3と電気的に接続され、全体として直列に接続された複数の薄膜太陽電池セル7が形成されている。   A part of the back electrode layer 5 is filled in each second scribe line 6b, is adjacent to and parallel to each second scribe line 6b, and a plurality of third scribe lines 6a are opposite to the first scribe line 6a. By forming the scribe line 6c, it is divided into a plurality of parts. As a result, the back electrode layer 5 is filled in each second scribe line 6b and electrically connected to the adjacent surface electrode layer 3, thereby forming a plurality of thin film solar cells 7 connected in series as a whole. Yes.

次に、本発明に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法の実施形態について説明する。   Next, an embodiment of a method for manufacturing a thin film solar cell module according to the present invention will be described.

<実施形態1>
図2A〜図2Cは、本発明の薄膜太陽電池モジュールの製造方法において製造される薄膜太陽電池モジュールの実施形態1の製造工程を示す工程図であり、図2Aは、後述するS104が完了した時点での薄膜太陽電池モジュールの状態を示し、図2Bは、後述するS113が完了した時点での薄膜太陽電池モジュールの状態を示し、図2Cは、後述するS117が完了した後に切断された薄膜太陽電池モジュールの状態を示している。
<Embodiment 1>
2A to 2C are process diagrams showing manufacturing steps of Embodiment 1 of the thin film solar cell module manufactured in the method for manufacturing a thin film solar cell module of the present invention, and FIG. 2A is a time point when S104 described later is completed. 2B shows the state of the thin film solar cell module at the time when S113 described later is completed, and FIG. 2C shows the thin film solar cell cut after completion of S117 described later. Indicates the module status.

実施形態1では基板2を4つに切断し、4つの薄膜太陽電池モジュール1を製造する実施形態を例示するが、本発明はこれに限定されず切断数は任意に変更できる。   Although Embodiment 1 cuts the board | substrate 2 into four and illustrates embodiment which manufactures the four thin film solar cell modules 1, this invention is not limited to this, The cutting | disconnection number can be changed arbitrarily.

図3は、実施形態1に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法における製造プロセスの工程を示すフローチャートであり、図3に示したS101からS117までの製造プロセスを経ることで、表面電極層3が積層された基板2を用いて複数の薄膜太陽電池セル領域7A〜7Dが形成され、その後、基板2を切断することで複数の薄膜太陽電池モジュール1が製造される。ここで符号のSはステップの意味であり、薄膜太陽電池モジュールの製造プロセスに含まれる処理工程の段階を表している。以下、図1及び図2A〜図2Cを参照しつつ、図3に示す工程フロー図に従って実施形態1の製造方法を具体的に説明する。   FIG. 3 is a flowchart showing the steps of the manufacturing process in the method for manufacturing the thin-film solar cell module according to Embodiment 1, and the surface electrode layer 3 is laminated through the manufacturing processes from S101 to S117 shown in FIG. A plurality of thin-film solar battery cell regions 7 </ b> A to 7 </ b> D are formed using the substrate 2, and then the plurality of thin-film solar battery modules 1 are manufactured by cutting the substrate 2. Here, the symbol S means a step, and represents the stage of the processing step included in the manufacturing process of the thin film solar cell module. Hereinafter, the manufacturing method according to the first embodiment will be described in detail with reference to FIG. 1 and FIGS. 2A to 2C according to the process flowchart shown in FIG.

S101では、薄膜太陽電池モジュールの製造ライン内に基板2が搬入される。実施形態1では、例えば酸化亜鉛などの表面電極層(透明導電膜)3が積層されたガラス製の基板2が用いられるが、製造ライン内に表面電極層3を積層する装置を設け、その積層装置から表面電極層3が積層されたガラス製の基板2を搬入するようにしてもよい。   In S101, the board | substrate 2 is carried in in the manufacturing line of a thin film solar cell module. In the first embodiment, for example, a glass substrate 2 on which a surface electrode layer (transparent conductive film) 3 such as zinc oxide is laminated is used. A device for laminating the surface electrode layer 3 is provided in the production line, and the lamination is performed. You may make it carry in the glass-made board | substrate 2 with which the surface electrode layer 3 was laminated | stacked from the apparatus.

S102では、基板2上に付着した有機物や塵埃などの異物が除去される。ここで、洗浄装置としては水や有機溶剤で洗い流し、さらには超音波の印加を併用することで物理的または化学的に異物を除去するウェット洗浄や、気体を基板表面に吹き付けて異物を物理的に除去するドライ洗浄、さらには静電ブラシによる基板表面の拭き取り洗浄などの方法を用いることができる。   In S102, foreign substances such as organic matter and dust attached on the substrate 2 are removed. Here, the cleaning device is washed away with water or an organic solvent, and further, wet cleaning that physically or chemically removes foreign matter by using ultrasonic waves in combination, or by blowing gas on the substrate surface to physically remove the foreign matter. For example, dry cleaning for removing the substrate, and wiping and cleaning the substrate surface with an electrostatic brush can be used.

S103では、レーザ加工装置を用いて基板2上の表面電極層3をスクライブして第1スクライブライン6a(図1参照)を形成する。   In S103, the surface electrode layer 3 on the substrate 2 is scribed using a laser processing apparatus to form a first scribe line 6a (see FIG. 1).

S104では、図2Aに示すように、切断後のそれぞれの薄膜太陽電池モジュール1に合わせて、切断後の個々のモジュールを識別するためのマーク(以下、モジュール用マークという。)8を、表面電極層3にレーザ加工を行うことで、基板2上に4箇所形成する。   In S104, as shown in FIG. 2A, in accordance with each thin-film solar cell module 1 after cutting, a mark (hereinafter referred to as a module mark) 8 for identifying each module after cutting is used as a surface electrode. Four layers are formed on the substrate 2 by performing laser processing on the layer 3.

ここで、モジュール用マーク8は、1次元コード(例えばバーコード)、2次元コード(例えばQRコード(登録商標))、または視認できる文字列(例えばシリアルナンバー)の少なくともいずれか1つ以上を含んで構成されている。すなわち、モジュール用マーク8は、上記の内の1種類でもよいし、2種類以上のマークを併記することで一つのモジュール用マーク8とすることもできる。また、2種類以上のマークを併記する際、それぞれのマークは同じ情報を表していてもよいし、互いに異なる情報を含んでいてもよい。例えば、視認できる文字列は製造番号を表し、併記された2次元コードは製造履歴を表すことができる。さらに、モジュール用マーク8は同じ基板で製造されたことを示す情報を含み、切断前に基板のどの位置であったかを示す情報をさらに含んでいることが好ましい。実施形態1においては、同じ基板2で製造されたことを示す「123456789」という共通の番号と、切断前の基板2の位置に応じて定めた「A、B、C、D」の位置を表す符号を組み合わせることで、切断後のそれぞれの薄膜太陽電池モジュール1に付けられるモジュール用マーク8をそれぞれ「123456789A」、「123456789B」、「123456789C」、「123456789D」という文字列としている。   Here, the module mark 8 includes at least one of a one-dimensional code (for example, a barcode), a two-dimensional code (for example, a QR code (registered trademark)), or a visible character string (for example, a serial number). It consists of That is, the module mark 8 may be one of the above, or a single module mark 8 by writing two or more kinds of marks together. Further, when two or more types of marks are written together, each mark may represent the same information or may include different information. For example, a visually recognizable character string represents a production number, and a two-dimensional code written together can represent a production history. Further, it is preferable that the module mark 8 includes information indicating that the module mark 8 is manufactured on the same substrate, and further includes information indicating a position on the substrate before cutting. In the first embodiment, a common number “123456789” indicating that the same substrate 2 is manufactured and a position “A, B, C, D” determined according to the position of the substrate 2 before cutting are represented. By combining symbols, the module marks 8 attached to the respective thin film solar cell modules 1 after cutting are character strings “123456789A”, “123456789B”, “123456789C”, and “123456789D”, respectively.

モジュール用マーク8は、基板2の周縁近傍に形成されることが好ましい。これは薄膜太陽電池モジュールの製造プロセスを構成する各製造装置において、基板2の中央部よりも基板周縁部にモジュール用マーク8が形成されている方が、マーク読み出し装置の構造を簡略化することができるからである。また、モジュール用マーク8が周縁部にあることで、薄膜太陽電池モジュールに対してモジュール用マーク8を目立ちにくくすることができる。具体的には、例えば周縁部より50mm以内の領域にモジュール用マーク8が位置するようにする。   The module mark 8 is preferably formed in the vicinity of the periphery of the substrate 2. This is because, in each manufacturing apparatus constituting the manufacturing process of the thin film solar cell module, the structure of the mark reading device is simplified when the module mark 8 is formed on the substrate peripheral portion rather than the central portion of the substrate 2. Because you can. Moreover, the module mark 8 can be made inconspicuous with respect to the thin film solar cell module because the module mark 8 is in the peripheral portion. Specifically, for example, the module mark 8 is positioned in an area within 50 mm from the peripheral edge.

モジュール用マーク8を付与する方法としては、実施形態1に示すレーザ加工で積層膜を除去して形成する方法の他にも、表面にインク材でモジュール用マーク8を印刷する方法、マスクを用いて金属膜または半導体膜を部分的に積層してモジュール用マーク8を形成する方法などを用いることができるが、レーザ加工によってモジュール用マーク8を形成することが好ましい。この場合には、薄膜太陽電池モジュールの製造プロセスにおいて用いられる、第1ないし第3レーザスクライブの工程で用いられるレーザ加工装置や、周縁絶縁領域の積層膜を除去するレーザトリミングの工程で用いられるレーザ加工装置を用いてモジュール用マーク8を形成することができる。これにより、新たにモジュール用マーク8を形成するための装置を製造プロセス及び製造ラインに追加する必要がなく、生産プロセスの冗長化とコスト増加を防ぐことができる。   As a method for providing the module mark 8, in addition to the method of removing the laminated film by laser processing shown in the first embodiment, a method of printing the module mark 8 with an ink material on the surface, a mask is used. A method of forming the module mark 8 by partially laminating a metal film or a semiconductor film can be used, but it is preferable to form the module mark 8 by laser processing. In this case, the laser used in the first to third laser scribing steps used in the manufacturing process of the thin film solar cell module, or the laser used in the laser trimming step for removing the laminated film in the peripheral insulating region. The module mark 8 can be formed using a processing apparatus. Thereby, it is not necessary to add a device for newly forming the module mark 8 to the manufacturing process and the manufacturing line, and it is possible to prevent the production process from becoming redundant and increasing the cost.

なお、レーザ加工にてモジュール用マーク8を形成する場合、薄膜太陽電池モジュールの製造プロセスに含まれるレーザ加工によって加工される領域を避けて、各モジュール用マーク8を形成することが好ましい。これはレーザスクライブによるスクライブラインの影響で各モジュール用マーク8の情報(特に、1次元コードや2次元コードの情報)が読み取りにくくなることを防止するためであり、加えて、第1レーザスクライブ、第2レーザスクライブ、第3レーザスクライブによる薄膜太陽電池セル7の直列接続への影響を防止するためである。   In addition, when forming the module mark 8 by laser processing, it is preferable to form each module mark 8 avoiding the region processed by the laser processing included in the manufacturing process of the thin film solar cell module. This is to prevent the information of each module mark 8 (particularly information of the one-dimensional code or two-dimensional code) from being difficult to read due to the influence of the scribe line due to the laser scribe. In addition, the first laser scribe, This is to prevent the second laser scribe and the third laser scribe from affecting the series connection of the thin-film solar cells 7.

S105では、レーザ加工時に発生する異物の除去のために基板2を洗浄する。洗浄方法は、上述したS102と同様の方法を用いることができる。   In S105, the substrate 2 is cleaned to remove foreign matter generated during laser processing. As the cleaning method, the same method as in S102 described above can be used.

S106では、レーザ加工後の加工パターン等の検査を行う。この検査工程において加工パターンに加工不足などの不良が検出された場合は、S103にて再度第1レーザスクライブを行うことで不良部分を修正できる。   In S106, the processing pattern after the laser processing is inspected. If a defect such as insufficient processing is detected in the processing pattern in this inspection process, the defective portion can be corrected by performing the first laser scribing again in S103.

S107では、半導体薄膜積層工程にて複数の半導体層を積層することで光電変換半導体層4(図1参照)を形成する。   In S107, the photoelectric conversion semiconductor layer 4 (refer FIG. 1) is formed by laminating | stacking a some semiconductor layer at a semiconductor thin film lamination process.

S108では、積層した光電変換半導体層4の膜厚などを検査する。   In S108, the film thickness etc. of the laminated photoelectric conversion semiconductor layer 4 are inspected.

S109では、レーザ加工装置を用いて光電変換半導体層4をスクライブし、第2スクライブライン6bを形成する。ここで、上記したように第2スクライブライン6bは第1スクライブライン6aと近接して形成されるので、実際にはそれぞれ別の加工ラインであるが、図2A〜図2Cでは便宜上1つのライン(スクライブライン6)にまとめて模式的に表している。   In S109, the photoelectric conversion semiconductor layer 4 is scribed using a laser processing apparatus to form the second scribe line 6b. Here, as described above, since the second scribe line 6b is formed close to the first scribe line 6a, it is actually a separate processing line, but in FIGS. 2A to 2C, one line ( The scribe lines 6) are schematically shown together.

S110では、スパッタリング装置などを用いて光電変換半導体層4上に透明導電層(例えばZnOなど)及び金属層(例えばAgなど)を積層して裏面電極層5(図1参照)を形成する。   In S110, a transparent conductive layer (for example, ZnO) and a metal layer (for example, Ag) are stacked on the photoelectric conversion semiconductor layer 4 using a sputtering apparatus or the like to form the back electrode layer 5 (see FIG. 1).

S111では、レーザ加工装置を用い光電変換半導体層4及び裏面電極層5をスクライブして第3スクライブライン6cを形成する。ここで、第3スクライブライン6cについても第2スクライブライン6bと同様に、図2A〜図2Cでは第1スクライブライン6a及び第2スクライブライン6bとまとめて1つのライン(スクライブライン6)として模式的に表している。これにより、図2Aに示すようにストリング状に加工され、上下方向にて互いに直列接続された複数の薄膜太陽電池セル7が形成される。   In S111, the photoelectric conversion semiconductor layer 4 and the back surface electrode layer 5 are scribed using a laser processing apparatus to form a third scribe line 6c. Here, similarly to the second scribe line 6b, the third scribe line 6c is schematically shown as one line (scribe line 6) together with the first scribe line 6a and the second scribe line 6b in FIGS. 2A to 2C. It represents. Thereby, as shown to FIG. 2A, the some thin film photovoltaic cell 7 processed in the string shape and mutually connected in series in the up-down direction is formed.

S112では、図2Bに示すように、基板2を切断する領域の積層膜をレーザ加工にて全て除去して切断部9を形成する。これにより、基板2上において薄膜太陽電池セル7が4つの薄膜太陽電池セル領域7A〜7Dに分割される。このように切断部9から積層膜を全て除去するのは、基板2を切断する際に切断部9に積層膜が存在すると、切断時の衝撃で積層膜が剥離して異物となり、光電変換半導体層4の領域上に付着する可能性があるので、これを防止するためである。また、切断部9から積層膜を除去する際に、切断後の薄膜太陽電池モジュール1の周縁絶縁部も同時に形成することができるからである。   In S112, as shown in FIG. 2B, the entire laminated film in the region for cutting the substrate 2 is removed by laser processing to form the cut portion 9. Thereby, the thin film photovoltaic cell 7 is divided | segmented into the four thin film photovoltaic cell area | regions 7A-7D on the board | substrate 2. FIG. In this way, all of the laminated film is removed from the cutting part 9 when the laminated film is present in the cutting part 9 when the substrate 2 is cut, and the laminated film is peeled off due to an impact at the time of cutting and becomes a foreign substance. This is because there is a possibility of depositing on the region of the layer 4 to prevent this. Moreover, when removing a laminated film from the cutting part 9, the peripheral insulating part of the thin film solar cell module 1 after cutting can also be formed simultaneously.

S113では、レーザ加工装置を用いて基板2の外周部の全ての積層膜を除去するレーザトリミングを行うことで、図2Bに示すように周縁絶縁部10を形成する。上記したように、S112とS113とは同時に実施することが可能である。   In S113, the peripheral insulating portion 10 is formed as shown in FIG. 2B by performing laser trimming to remove all the laminated films on the outer peripheral portion of the substrate 2 using a laser processing apparatus. As described above, S112 and S113 can be performed simultaneously.

S112及びS113において切断部9及び周縁絶縁部10の積層膜を除去する方法としては、上記のレーザによる加工の他、研磨ブラシやブラスト処理などで物理的に除去する方法も用いることができるが、積層膜除去後の洗浄を省略できる点でレーザによる加工を用いることが好ましい。   As a method of removing the laminated film of the cutting part 9 and the peripheral insulating part 10 in S112 and S113, in addition to the processing by the laser described above, a method of physically removing by a polishing brush or a blasting process can be used. It is preferable to use laser processing in that the cleaning after removing the laminated film can be omitted.

S114では、上下に隣り合う2つの薄膜太陽電池セル7間に逆バイアス電圧を印加することで、スクライブライン6に存在する絶縁短絡部(図示せず)を除去する。   In S <b> 114, an insulating short-circuit portion (not shown) existing in the scribe line 6 is removed by applying a reverse bias voltage between the two thin film solar cells 7 adjacent vertically.

S115では、S112及びS113で形成された切断部9と周縁絶縁部10の絶縁検査を行う。   In S115, an insulation test is performed on the cut portion 9 and the peripheral insulating portion 10 formed in S112 and S113.

S116では、ソーラシミュレータを用いて特性検査(例えばIV測定など)を実施する。この時、特性検査は基板2上で分割されている4つの薄膜太陽電池セル領域7A〜7Dのそれぞれについて個別に行い、記録されたそれぞれの特性検査結果をモジュール用マーク8と関連付けて管理することが好ましい。   In S116, a characteristic inspection (for example, IV measurement) is performed using a solar simulator. At this time, the characteristic inspection is performed individually for each of the four thin-film solar cell regions 7A to 7D divided on the substrate 2, and each recorded characteristic inspection result is managed in association with the module mark 8. Is preferred.

S117では、基板2を薄膜太陽電池モジュールの製造ラインより搬出する。製造ラインより搬出された基板2は、基板切断装置(図示せず)にて切断される。実施形態1では、薄膜太陽電池モジュールの製造ラインから搬出した後に別途基板2を切断する装置を用いているが、基板切断装置が薄膜太陽電池モジュールの製造ライン内にあり、基板搬出処理前に基板2を切断することも可能である。   In S117, the board | substrate 2 is carried out from the manufacturing line of a thin film solar cell module. The substrate 2 carried out from the production line is cut by a substrate cutting device (not shown). In the first embodiment, a device for separately cutting the substrate 2 after being taken out from the production line for the thin film solar cell module is used. However, the substrate cutting device is in the production line for the thin film solar cell module, and the substrate is removed before the substrate carrying out process. It is also possible to cut two.

ここで、基板を切断する方法としては、例えばグラインダーや砥粒吹付などにより基板を研削して切断する方法、ダイヤモンドカッターなどで基板表面にカットラインを入れた後圧力を加えて折り割る方法、高温に熱したニクロム線を用いた熱切断方法、電子ビームを照射することで基板を加工して切断する方法などを用いることができる。   Here, as a method of cutting the substrate, for example, a method of grinding and cutting the substrate with a grinder or abrasive grain spraying, a method of putting a cut line on the substrate surface with a diamond cutter and the like, and applying a pressure to fold the substrate, a high temperature For example, a thermal cutting method using a nichrome wire heated, a method of cutting a substrate by irradiating an electron beam, or the like can be used.

基板切断装置によって、S112にて積層膜を除去した切断部9に沿って基板2を切断することで、図2Cに示すように、個々にモジュール用マーク8が付与された複数の薄膜太陽電池モジュール1が完成する。実施形態1では、基板2から4つの薄膜太陽電池モジュール1が製造されている。   A plurality of thin-film solar cell modules individually provided with module marks 8 as shown in FIG. 2C by cutting the substrate 2 along the cutting portion 9 from which the laminated film has been removed in S112 by the substrate cutting device. 1 is completed. In the first embodiment, four thin film solar cell modules 1 are manufactured from the substrate 2.

なお、実施形態1では、モジュール用マーク8は、第1スクライブライン6aを形成した後に、表面電極層3をレーザ加工することで形成しているが、S109で第2スクライブライン6bを形成した後に、光電変換半導体層4をレーザ加工することで形成してもよく、または、S111で第3スクライブライン6cを形成した後に、光電変換半導体層4及び裏面電極層5をレーザ加工することで形成してもよい。   In the first embodiment, the module mark 8 is formed by laser processing the surface electrode layer 3 after forming the first scribe line 6a, but after forming the second scribe line 6b in S109. The photoelectric conversion semiconductor layer 4 may be formed by laser processing, or after the third scribe line 6c is formed in S111, the photoelectric conversion semiconductor layer 4 and the back electrode layer 5 are formed by laser processing. May be.

また、実施形態1においては、切断後の薄膜太陽電池モジュール1が同形状であって、モジュール用マーク8が同じ位置に形成されていることが好ましい。同じ位置に形成することで、薄膜太陽電池モジュール1を切断した後の製造プロセス装置(例えば封止装置など)のマーク読み出し部の位置合わせ機構が簡略化でき、読み出し時間や読み出しエラーの発生を低減することができる。   Moreover, in Embodiment 1, it is preferable that the thin film solar cell module 1 after cut | disconnect is the same shape, and the mark 8 for modules is formed in the same position. By forming the thin film solar cell module 1 at the same position, the alignment mechanism of the mark reading unit of the manufacturing process apparatus (for example, a sealing apparatus) after cutting the thin film solar cell module 1 can be simplified, and reading time and reading errors are reduced. can do.

以上、実施形態1に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法によれば、切断する前に、切断後のそれぞれの薄膜太陽電池モジュール1を個別に製造管理できるモジュール用マーク8を形成することで、切断後においても薄膜太陽電池モジュール1を区別できるため、切断後の薄膜太陽電池モジュール1の製品管理が可能となる。また、製造プロセスの初期段階からモジュール用マーク8が付与されていることで、製造段階から最終消費段階、さらには廃棄段階までの追跡が可能となる。   As mentioned above, according to the manufacturing method of the thin film solar cell module which concerns on Embodiment 1, it cuts by forming the mark 8 for modules which can manufacture and manage each thin film solar cell module 1 after cutting | disconnection separately before cut | disconnecting. Since the thin film solar cell module 1 can be distinguished later, the product management of the thin film solar cell module 1 after cutting becomes possible. Further, since the module mark 8 is given from the initial stage of the manufacturing process, it is possible to trace from the manufacturing stage to the final consumption stage and further to the disposal stage.

<実施形態2>
実施形態2に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法は、切断前の基板2を製造管理する基板用マーク13が形成される点、切断後の薄膜太陽電池モジュール1のそれぞれに応じたマーク(以下、モジュール用マークという。)18を切断前に形成する工程を特性検査後に行う点、及び、切断後に不要となる不要部分17が存在する点で、実施形態1と異なる。以下、実施形態1と共通する事項については必要に応じて説明を省略し、主に異なる事項について説明する。
<Embodiment 2>
The manufacturing method of the thin-film solar cell module according to Embodiment 2 includes a point for forming a substrate mark 13 for manufacturing management of the substrate 2 before cutting, a mark corresponding to each of the thin-film solar cell module 1 after cutting (hereinafter, This is different from the first embodiment in that the step of forming the module mark 18 before cutting is performed after the characteristic inspection, and there is an unnecessary portion 17 that becomes unnecessary after cutting. Hereinafter, description of items common to the first embodiment will be omitted as appropriate, and different items will be mainly described.

図4A〜図4Dは、本発明の薄膜太陽電池モジュールの製造方法において製造される薄膜太陽電池モジュールの実施形態2の製造工程を示す工程図であり、図4Aは、後述するS204が完了した時点での薄膜太陽電池モジュールの状態を示し、図4Bは、後述するS213が完了した時点での薄膜太陽電池モジュールの状態を示し、図4Cは、後述するS217が完了した時点での薄膜太陽電池モジュールの状態を示し、図4Dは、後述するS218が完了した後に切断された薄膜太陽電池モジュールの状態を示している。   4A to 4D are process diagrams showing a manufacturing process of Embodiment 2 of the thin-film solar battery module manufactured in the manufacturing method of the thin-film solar battery module of the present invention, and FIG. 4A is a time point when S204 described later is completed. 4B shows the state of the thin film solar cell module when S213 described later is completed, and FIG. 4C shows the state of the thin film solar cell module when S217 described later is completed. FIG. 4D shows a state of the thin-film solar cell module cut after completion of S218 described later.

図5は、実施形態2に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法における製造プロセスの工程を示すフローチャートであり、図5に示したS201からS218までの製造プロセスを経ることで、表面電極層3が積層された基板2上に薄膜太陽電池セル領域7A〜7Dが形成され、その後基板2を切断することで複数の薄膜太陽電池モジュール1が製造される。以下、図1及び図4A〜図4Dを参照しつつ、図5に示す工程フロー図に従って実施形態2を具体的に説明する。   FIG. 5 is a flowchart showing the steps of the manufacturing process in the method for manufacturing the thin-film solar cell module according to Embodiment 2, and the surface electrode layer 3 is laminated through the manufacturing processes from S201 to S218 shown in FIG. The thin film solar cell regions 7 </ b> A to 7 </ b> D are formed on the substrate 2, and then the thin film solar cell module 1 is manufactured by cutting the substrate 2. Hereinafter, Embodiment 2 will be described in detail with reference to FIG. 1 and FIGS. 4A to 4D according to a process flow diagram shown in FIG.

S201〜S203は、実施形態1のS101〜S103と同様であるのでここでは説明を省略する。但し、図4A,図4Bに示したように、不要部分17となる領域についてはレーザスクライブによるスクライブライン6を形成しないことで、S203でのレーザ加工時間を短縮できる。   Since S201 to S203 are the same as S101 to S103 of the first embodiment, description thereof is omitted here. However, as shown in FIGS. 4A and 4B, the laser processing time in S203 can be shortened by not forming the scribe line 6 by laser scribing in the region that becomes the unnecessary portion 17.

S204では、基板2の周縁部近傍(図4Aでは左下隅)に、表面電極層3をレーザ加工することで基板用マーク13を形成する。基板用マーク13は、基板2が切断されるまでの基板2自体の製造管理に用いられる。ここでは基板2を示す文字列「ABCDEFGH」が基板用マーク13として形成される。   In S204, the substrate mark 13 is formed by laser processing the surface electrode layer 3 in the vicinity of the peripheral edge of the substrate 2 (lower left corner in FIG. 4A). The substrate mark 13 is used for manufacturing management of the substrate 2 itself until the substrate 2 is cut. Here, the character string “ABCDEFGH” indicating the substrate 2 is formed as the substrate mark 13.

S205〜S211は、実施形態1のS105〜S111と同様であるのでここでは説明を省略する。S211が完了した時点で、図4Aに示すように、ストリング状に加工され、上下方向にて互いに直列接続された複数の薄膜太陽電池セル7が形成される。   Since S205 to S211 are the same as S105 to S111 of the first embodiment, description thereof is omitted here. When S211 is completed, as shown in FIG. 4A, a plurality of thin-film solar cells 7 that are processed into a string shape and connected in series in the vertical direction are formed.

S212では、図4Bに示すように、基板2を切断する領域の全ての積層膜をレーザ加工装置にて除去することで切断部15を形成する。これにり、基板2上において薄膜太陽電池セル7が4つの薄膜太陽電池セル領域7A〜7Dに分割される。   In S212, as shown in FIG. 4B, the cut portion 15 is formed by removing all the laminated films in the region where the substrate 2 is cut with a laser processing apparatus. As a result, the thin-film solar battery cell 7 is divided into four thin-film solar battery cell regions 7 </ b> A to 7 </ b> D on the substrate 2.

実施形態2においては、図4Bに示すように、基板2の上下に不要部分17が存在する。これは、最終的に求められる薄膜太陽電池モジュール1のサイズに合わせるためである。従って、不要部分17は基板2の切断時に併せて切断されて取り除かれるので、切断部15は基板2の上下方向に加えて左右方向(すなわち、薄膜太陽電池セル領域7A〜7Dと不要部分17との間)にも形成される。   In the second embodiment, as shown in FIG. 4B, unnecessary portions 17 exist above and below the substrate 2. This is to match the size of the thin film solar cell module 1 that is finally required. Therefore, since the unnecessary portion 17 is cut and removed together with the cutting of the substrate 2, the cutting portion 15 is not only in the vertical direction of the substrate 2 but also in the left-right direction (that is, the thin film solar cell regions 7 </ b> A to 7 </ b> D and the unnecessary portion 17. (Between).

S213では、レーザ加工装置を用いて基板2の外周部の全ての積層膜を除去するレーザトリミングを行うことで、図4Bに示すように周縁絶縁部16を形成する。実施形態2において周縁絶縁部16は基板2の外周部の全てに形成しているが、不要部分17では周縁絶縁部16を形成する必要はなく、S213の処理時間を短縮するために基板2の左右の辺のみ周縁絶縁部16を形成してもよい。   In S213, the peripheral insulating portion 16 is formed as shown in FIG. 4B by performing laser trimming to remove all the laminated films on the outer peripheral portion of the substrate 2 using a laser processing apparatus. In the second embodiment, the peripheral insulating portion 16 is formed on the entire outer peripheral portion of the substrate 2, but it is not necessary to form the peripheral insulating portion 16 in the unnecessary portion 17, and in order to shorten the processing time of S <b> 213, The peripheral insulating portion 16 may be formed only on the left and right sides.

S214では、上下に隣り合う2つの薄膜太陽電池セル7間に逆バイアス電圧を印加することでスクライブライン6に存在する絶縁短絡部(図示せず)を除去する。   In S214, the insulation short circuit part (not shown) which exists in the scribe line 6 is removed by applying a reverse bias voltage between the two thin film solar cells 7 which adjoin vertically.

S215では、S212及びS213で形成した切断部15と周縁絶縁部16の絶縁検査を行う。ここで、絶縁されていてほしいのは切断後の薄膜太陽電池モジュール1の周縁部となる領域なので、不要部分17にある切断部15や周縁絶縁部16は絶縁検査を行わなくてもよい。仮に、絶縁検査の結果、不要部分17に絶縁不良が発生したとしても、良品と判定して次の製造工程にそのまま搬送するように制御すればよい。   In S215, an insulation inspection is performed on the cutting portion 15 and the peripheral insulating portion 16 formed in S212 and S213. Here, since what is desired to be insulated is a region to be a peripheral portion of the thin film solar cell module 1 after cutting, the cutting portion 15 and the peripheral insulating portion 16 in the unnecessary portion 17 do not need to be subjected to an insulation test. Even if an insulation failure occurs in the unnecessary portion 17 as a result of the insulation inspection, it may be determined to be a non-defective product and transferred to the next manufacturing process as it is.

S216では、ソーラシミュレータを用いて特性検査(例えばIV測定などの電気特性)を実施する。この時、特性検査は基板2上で分割されている4つの薄膜太陽電池セル領域7A〜7Dのそれぞれについて個別に行い、その検査結果を個別に記録する。   In S216, characteristic inspection (for example, electric characteristics such as IV measurement) is performed using a solar simulator. At this time, the characteristic inspection is performed individually for each of the four thin-film solar cell regions 7A to 7D divided on the substrate 2, and the inspection results are individually recorded.

S217では、基板2上の薄膜太陽電池セル領域7A〜7Dのそれぞれについて、切断後の薄膜太陽電池モジュール1で周縁部近傍となる位置に、文字列と2次元コードからなるモジュール用マーク18を形成する(図4C参照)。   In S217, for each of the thin-film solar cell regions 7A to 7D on the substrate 2, a module mark 18 composed of a character string and a two-dimensional code is formed at a position near the peripheral edge in the thin-film solar cell module 1 after cutting. (See FIG. 4C).

この場合、モジュール用マーク18を形成する工程が特性検査工程の後であるので、モジュール用マーク18に特性検査のデータを含ませることが可能となる。また、モジュール用マーク18は同じ基板2で製造されたことを示す情報を含み、切断前に基板2のどの位置であったかを示す情報をさらに含んでいることが好ましく、同じ基板2で製造されたことを示す情報として、基板用マーク13の情報を引き継いでいる(含んでいる)ことが好ましい。これにより、基板用マーク13で管理していた基板2の切断前の製造プロセスの処理履歴と切断後の薄膜太陽電池モジュール1との関連付けが容易にでき、基板2の切断前と切断後の追跡が可能となる。   In this case, since the module mark 18 is formed after the characteristic inspection process, the module mark 18 can include characteristic inspection data. The module mark 18 includes information indicating that the module 18 is manufactured on the same substrate 2, and preferably further includes information indicating the position of the substrate 2 before cutting. As information indicating this, it is preferable to inherit (include) the information of the substrate mark 13. Thereby, it is possible to easily associate the processing history of the manufacturing process before the cutting of the substrate 2 managed by the substrate mark 13 with the thin film solar cell module 1 after the cutting, and the substrate 2 is tracked before and after the cutting. Is possible.

ここで、実施形態2では、モジュール用マーク18は、基板用マーク13の文字列「ABCDEFGH」と、基板2上における各薄膜太陽電池セル領域7A〜7Dの切断前の位置を示す数値「1、2、3、4」とを組み合わせ、かつ、S215にて検査されたそれぞれの薄膜太陽電池セル領域7A〜7Dの特性値を示す2次元コードをこれに併記することで形成されている。   Here, in the second embodiment, the module mark 18 includes a character string “ABCDEFGH” of the substrate mark 13 and a numerical value “1,” indicating the positions of the thin film solar cell regions 7A to 7D on the substrate 2 before cutting. 2, 3, 4 ”, and a two-dimensional code indicating the characteristic values of the respective thin-film solar battery cell regions 7 </ b> A to 7 </ b> D inspected in S <b> 215 is written together.

また、特性検査にて不良と判断された薄膜太陽電池モジュール1についてはモジュール用マーク18を形成しないか、または、不良であることを示す特殊マーク(例えば「×」など簡単なものが好ましい)を形成するように構成してもよい。このような構成とすれば、切断後の薄膜太陽電池モジュール1の中から不良のものを容易に識別できるので、不良と判断された薄膜太陽電池モジュール1を誤って出荷することを防止することができる。また、基板2全体でのモジュール用マーク18の形成にかかる時間も短縮することができる。   For the thin-film solar cell module 1 determined to be defective in the characteristic inspection, the module mark 18 is not formed, or a special mark (for example, a simple mark such as “x” is preferable) indicating that it is defective. You may comprise so that it may form. With such a configuration, it is possible to easily identify defective ones from the thin film solar cell module 1 after cutting, so that it is possible to prevent the thin film solar cell module 1 determined to be defective from being shipped accidentally. it can. Further, the time required for forming the module marks 18 on the entire substrate 2 can be shortened.

S218では、基板2を薄膜太陽電池モジュールの製造ラインより搬出する。製造ラインより搬出された基板2は、基板切断装置(図示せず)にて切断される。基板2は切断部15に沿って切断され、このとき不要部分17も併せて切断されて薄膜太陽電池モジュール1が完成する(図4D参照)。   In S218, the board | substrate 2 is carried out from the manufacturing line of a thin film solar cell module. The substrate 2 carried out from the production line is cut by a substrate cutting device (not shown). The board | substrate 2 is cut | disconnected along the cutting part 15, and the unnecessary part 17 is also cut | disconnected together at this time, and the thin film solar cell module 1 is completed (refer FIG. 4D).

実施形態2では、不要部分17に基板用マーク13が形成されており、不要部分17を取り除いた際に基板用マーク13も除去されるが、モジュール用マーク18が基板用マーク13の情報を含んでいるので、基板用マーク13で管理していた製造工程までさかのぼることが可能である。   In the second embodiment, the substrate mark 13 is formed on the unnecessary portion 17, and the substrate mark 13 is also removed when the unnecessary portion 17 is removed, but the module mark 18 includes information on the substrate mark 13. Therefore, it is possible to go back to the manufacturing process managed by the substrate mark 13.

また、個々の薄膜太陽電池モジュール1に特性値を情報として含んだモジュール用マーク18を形成することにより、薄膜太陽電池モジュール1を設置する施工現場などにおいても、2次元コードを読み取れる端末などを用いてその場で個々の薄膜太陽電池モジュール1の特性値を確認できるので、特性に基づいた薄膜太陽電池モジュール1の設置の最適化を行うことができる。   In addition, by forming a module mark 18 including characteristic values as information on each thin film solar cell module 1, a terminal that can read a two-dimensional code is used even at a construction site where the thin film solar cell module 1 is installed. Since the characteristic value of each thin film solar cell module 1 can be confirmed on the spot, the installation of the thin film solar cell module 1 can be optimized based on the characteristic.

<薄膜太陽電池モジュールの具体例>
図6A,図6B、及び、図7A,図7Bは、本発明に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法において製造された薄膜太陽電池モジュール1の具体例を示しており、図6A及び図7Aは、薄膜太陽電池モジュールに形成されたモジュール用マーク近傍の一部分を上面側(受光面側)からみた平面図、図6Bは、図6AのE−E線断面図、図7Bは、図7AのF−F線断面図である。この具体例は、光電変換半導体層4及び裏面電極層5をレーザ加工で除去することでモジュール用マークを形成した実施形態に係る製造方法によって製造された薄膜太陽電池モジュールに適用することが好ましい。ここでは、実施形態2の製造方法によって製造された薄膜太陽電池モジュール1に適用した場合について説明する。なお、図6A,図6B、及び、図7A,図7Bにおいて、第1スクライブライン6a及び第2スクライブライン6bはこの具体例では関係しないので図示を省略している。
<Specific example of thin film solar cell module>
6A, FIG. 6B, and FIG. 7A, FIG. 7B show specific examples of the thin film solar cell module 1 manufactured in the manufacturing method of the thin film solar cell module according to the present invention, and FIG. 6A and FIG. FIG. 6B is a cross-sectional view taken along the line EE of FIG. 6A, and FIG. 7B is a cross-sectional view taken along the line F- of FIG. 7A. It is F line sectional drawing. This specific example is preferably applied to the thin-film solar cell module manufactured by the manufacturing method according to the embodiment in which the module mark is formed by removing the photoelectric conversion semiconductor layer 4 and the back electrode layer 5 by laser processing. Here, the case where it applies to the thin film solar cell module 1 manufactured by the manufacturing method of Embodiment 2 is demonstrated. In FIGS. 6A, 6B, 7A, and 7B, the first scribe line 6a and the second scribe line 6b are not shown because they are not related to this specific example.

図6A,図6Bに示す薄膜太陽電池モジュール1が備えるモジュール用マーク18、第3スクライブライン6a、及び、周辺絶縁部16は、基板2上の光電変換半導体層4及び裏面電極層5を除去することで形成されているので、裏面電極層5側から入射した光がそのまま基板2の表面(受光面側)に透過されることとなる。   The module mark 18, the third scribe line 6 a, and the peripheral insulating portion 16 included in the thin film solar cell module 1 shown in FIGS. 6A and 6B remove the photoelectric conversion semiconductor layer 4 and the back electrode layer 5 on the substrate 2. Therefore, the light incident from the back electrode layer 5 side is transmitted to the surface of the substrate 2 (the light receiving surface side) as it is.

ここで、薄膜太陽電池モジュール1の表面(受光面)は光電変換半導体層4の色が反映されるが、光電変換半導体層4はアモルファスや結晶質のシリコン系薄膜を積層して形成されており、その表面は一般的に濃い青色や黒色となる。従って、裏面電極層5に接する絶縁シート11として、例えば白色の絶縁シートを用いた場合、モジュール用マーク18、第3スクライブライン6c、及び、周辺絶縁部16は下地の色を透過する。そのため、モジュール用マーク18は、第3スクライブライン6c及び周辺絶縁部16と同様に、光電変換半導体層4の領域の色と大きく異なり、図6Aに示すように、肉眼ではっきりと視認できる状態となる。   Here, although the surface (light-receiving surface) of the thin film solar cell module 1 reflects the color of the photoelectric conversion semiconductor layer 4, the photoelectric conversion semiconductor layer 4 is formed by laminating amorphous or crystalline silicon thin films. The surface is generally dark blue or black. Therefore, when, for example, a white insulating sheet is used as the insulating sheet 11 in contact with the back electrode layer 5, the module mark 18, the third scribe line 6c, and the peripheral insulating portion 16 transmit the base color. Therefore, the module mark 18 is greatly different from the color of the region of the photoelectric conversion semiconductor layer 4 like the third scribe line 6c and the peripheral insulating portion 16, and is clearly visible with the naked eye as shown in FIG. 6A. Become.

一方、第3スクライブライン6cは細い線状のパターンであるので、模様として認識されることで美観への影響は小さい。また、周辺絶縁部16は、周縁部の絶縁と保護のために設けられる絶縁ゴムなどの黒色の側面保護材(図示せず)や強度向上のために設けられる金属製の枠体(図示せず)などで覆われることで美観への影響は低減できる。しかしながら、モジュール用マーク18は、光電変換半導体層4の領域の内部に存在するために表面を覆うことができず、文字列や2次元コードなどで構成されているので模様としても認識できないため薄膜太陽電池モジュールの美観を悪化させることになる。   On the other hand, since the 3rd scribe line 6c is a thin linear pattern, the influence on aesthetics is small by being recognized as a pattern. Further, the peripheral insulating portion 16 includes a black side surface protective material (not shown) such as an insulating rubber provided for insulating and protecting the peripheral portion and a metal frame (not shown) provided for improving the strength. ) Etc. can reduce the effect on aesthetics. However, since the module mark 18 is present inside the region of the photoelectric conversion semiconductor layer 4, it cannot cover the surface and cannot be recognized as a pattern because it is composed of a character string or a two-dimensional code. The aesthetics of the solar cell module will be deteriorated.

そこで、この具体例では、図7A,図7Bに示すように、裏面電極層5に接する部材である絶縁シート11について、光電変換半導体層4の表面の色と近いもの、好ましくは同色のものを用いる。これにより、図7Aに示すように、モジュール用マーク18は肉眼で視認しづらくなり、薄膜太陽電池モジュール1に接近して見なければモジュール用マーク18の存在が認識できないようにすることができる。従って、美観に優れた薄膜太陽電池モジュール1を提供することができる。   Therefore, in this specific example, as shown in FIGS. 7A and 7B, the insulating sheet 11 that is a member in contact with the back electrode layer 5 has a color close to the surface of the photoelectric conversion semiconductor layer 4, preferably the same color. Use. As a result, as shown in FIG. 7A, the module mark 18 is difficult to visually recognize with the naked eye, and the presence of the module mark 18 cannot be recognized unless viewed closely to the thin-film solar cell module 1. Therefore, the thin film solar cell module 1 excellent in aesthetics can be provided.

なお、この具体例では、絶縁シート11の全面が光電変換半導体層4と近い色としているが、少なくともモジュール用マーク18に当接する領域のみを光電変換半導体層4と近い色としてもよい。   In this specific example, the entire surface of the insulating sheet 11 has a color close to the photoelectric conversion semiconductor layer 4, but at least only a region in contact with the module mark 18 may have a color close to the photoelectric conversion semiconductor layer 4.

基板を所定のサイズに切断して製造される薄膜太陽電池モジュールは、車載用、携帯デバイス用、一般建築の建材用など、設置できる薄膜太陽電池モジュールのサイズに制限があり、かつ外観の美しさが要求される用途に適用されるので、薄膜太陽電池モジュール上に文字列や2次元コードなどで構成されたモジュール用マーク18が目立つことは好ましくない。従って、モジュール用マーク18を目立たなくすることは、薄膜太陽電池モジュールの外観的な美しさを向上する上で重要である。   Thin-film solar cell modules that are manufactured by cutting a substrate into a predetermined size are limited in the size of thin-film solar cell modules that can be installed, such as in-vehicle, portable devices, and general building materials, and have a beautiful appearance Therefore, it is not preferable that the module mark 18 formed of a character string or a two-dimensional code is conspicuous on the thin film solar cell module. Therefore, making the module mark 18 inconspicuous is important in improving the appearance of the thin-film solar cell module.

この具体例の構成を採用することで、モジュール用マーク18が視認しづらくなるが、実施形態2の好ましい形態として上述したように、分割後の薄膜太陽電池モジュールのそれぞれを同形状とし、モジュール用マーク18を同じ位置に形成することで、マークを確認する位置を限定できる。また、実施形態1に係る太陽電池モジュール1に適用した場合においても、分割後の薄膜太陽電池モジュールのそれぞれを同形状とし、モジュール用マーク8を同じ位置に形成することで、マークを確認する位置を限定できる。従って、施工時やメンテナンス時など薄膜太陽電池モジュール上のモジュール用マーク8,18を確認する必要がある場合においても問題はない。   By adopting the configuration of this specific example, it becomes difficult to visually recognize the module mark 18. However, as described above as the preferred embodiment of the second embodiment, each of the divided thin film solar cell modules has the same shape, By forming the mark 18 at the same position, the position where the mark is confirmed can be limited. Moreover, also when applied to the solar cell module 1 according to Embodiment 1, each of the divided thin film solar cell modules has the same shape, and the module mark 8 is formed at the same position, so that the mark is confirmed. Can be limited. Therefore, there is no problem even when it is necessary to confirm the module marks 8 and 18 on the thin film solar cell module, such as during construction or maintenance.

なお、今回開示した実施形態はすべての点で例示であって、限定的な解釈の根拠となるものではない。従って、本発明の技術的範囲は、上記した実施形態のみによって解釈されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて画定される。また、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれる。   In addition, embodiment disclosed this time is an illustration in all the points, Comprising: It does not become the basis of limited interpretation. Therefore, the technical scope of the present invention is not interpreted only by the above-described embodiments, but is defined based on the description of the scope of claims. Moreover, all the changes within the meaning and range equivalent to a claim are included.

本発明は、基板上に、ストリング状にスクライブされた表面電極層、光電変換半導体層及び裏面電極層を積層して薄膜太陽電池セルを形成した後、基板を分割して複数の所定サイズの薄膜太陽電池モジュールを製造する方法に適用できる。   In the present invention, a surface electrode layer, a photoelectric conversion semiconductor layer, and a back electrode layer scribed in a string shape are stacked on a substrate to form a thin film solar cell, and then the substrate is divided to form a plurality of thin films of a predetermined size. It can be applied to a method for manufacturing a solar cell module.

1 薄膜太陽電池モジュール
2 透光性絶縁基板(基板)
3 表面電極層(透明導電膜)
4 光電変換半導体層
5 裏面電極層
6 スクライブライン
6a 第1スクライブライン
6b 第2スクライブライン
6c 第3スクライブライン
7 薄膜太陽電池セル
7A〜7D 薄膜太陽電池セル領域
8,18 モジュール用マーク(請求項に記載のマーク)
9,15 切断部
10,16 周縁絶縁部
11 絶縁シート
13 基板用マーク
17 不要部分
1 Thin-film solar cell module 2 Translucent insulating substrate (substrate)
3 Surface electrode layer (transparent conductive film)
4 Photoelectric Conversion Semiconductor Layer 5 Back Electrode Layer 6 Scribe Line 6a First Scribe Line 6b Second Scribe Line 6c Third Scribe Line 7 Thin Film Solar Cell 7A to 7D Thin Film Solar Cell Region 8, 18 Module Mark Mark)
9, 15 Cutting part 10, 16 Peripheral insulating part 11 Insulating sheet 13 Substrate mark 17 Unnecessary part

Claims (14)

基板に積層された表面電極層上に順次積層された光電変換半導体層及び裏面電極層を、ストリング状に加工して互いに直列接続された複数の薄膜太陽電池セルを形成するセル形成工程と、
前記セル形成工程後に、前記基板を切断する切断部及び前記基板周縁部の層を除去して複数の薄膜太陽電池セル領域を形成する除去工程と、
前記除去工程後に、前記基板を切断して複数の薄膜太陽電池モジュールを製造する切断工程とを含む薄膜太陽電池モジュールの製造方法であって、
前記切断工程前に、切断後の前記薄膜太陽電池モジュールのそれぞれに前記薄膜太陽電池モジュールを製造管理できるマークを形成するマーク形成工程を実施することを特徴とする薄膜太陽電池モジュールの製造方法。
A cell forming step of processing a photoelectric conversion semiconductor layer and a back electrode layer sequentially stacked on a front surface electrode layer stacked on a substrate into a string shape to form a plurality of thin film solar cells connected in series;
After the cell forming step, a removing step of cutting the substrate and removing the layer at the peripheral portion of the substrate to form a plurality of thin film solar cell regions;
A thin film solar cell module manufacturing method including a cutting step of manufacturing the plurality of thin film solar cell modules by cutting the substrate after the removing step;
A manufacturing method of a thin film solar cell module, wherein a mark forming step of forming a mark capable of manufacturing and managing the thin film solar cell module is performed on each of the thin film solar cell modules after cutting before the cutting step.
請求項1に記載の薄膜太陽電池モジュールの製造方法であって、
前記マークは、1次元コード、2次元コードまたは視認できる文字列のいずれか1つまたは2つ以上の組み合わせからなることを特徴とする薄膜太陽電池モジュールの製造方法。
It is a manufacturing method of the thin film solar cell module according to claim 1,
The mark is made of any one of a one-dimensional code, a two-dimensional code, or a visually recognizable character string, or a combination of two or more thereof.
請求項1または請求項2に記載の薄膜太陽電池モジュールの製造方法であって、
前記マークは、同じ基板から切断されたことを示す情報と、前記基板の切断される前の位置を示す情報とを含むことを特徴とする薄膜太陽電池モジュールの製造方法。
It is a manufacturing method of the thin film solar cell module according to claim 1 or 2,
The said mark contains the information which shows having been cut | disconnected from the same board | substrate, and the information which shows the position before the said board | substrate is cut | disconnected, The manufacturing method of the thin film solar cell module characterized by the above-mentioned.
請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載の薄膜太陽電池モジュールの製造方法であって、
前記マークは、前記基板、前記表面電極層、前記光電変換半導体層及び前記裏面電極層のいずれか1つまたは2つ以上に設けられることを特徴とする薄膜太陽電池モジュールの製造方法。
It is a manufacturing method of the thin film solar cell module of any one of Claim 1- Claim 3, Comprising:
The said mark is provided in any 1 or 2 or more of the said board | substrate, the said surface electrode layer, the said photoelectric conversion semiconductor layer, and the said back surface electrode layer, The manufacturing method of the thin film solar cell module characterized by the above-mentioned.
請求項4に記載の薄膜太陽電池モジュールの製造方法であって、
前記マークは、レーザ加工にて形成されることを特徴とする薄膜太陽電池モジュールの製造方法。
It is a manufacturing method of the thin film solar cell module according to claim 4,
The said mark is formed by laser processing, The manufacturing method of the thin film solar cell module characterized by the above-mentioned.
請求項5に記載の薄膜太陽電池モジュールの製造方法であって、
前記マークは、前記太陽電池セルをストリング状にレーザ加工する場所を避けて設けることを特徴とする薄膜太陽電池モジュールの製造方法。
It is a manufacturing method of the thin film solar cell module according to claim 5,
The said mark is provided avoiding the place which laser-processes the said photovoltaic cell in a string form, The manufacturing method of the thin film photovoltaic module characterized by the above-mentioned.
請求項1から請求項6までのいずれか1項に記載の薄膜太陽電池モジュールの製造方法であって、
前記マークは、切断後の前記薄膜太陽電池モジュールの周縁部に近接して設けることを特徴とする薄膜太陽電池モジュールの製造方法。
It is a manufacturing method of the thin film solar cell module of any one of Claim 1- Claim 6, Comprising:
The said mark is provided in the vicinity of the peripheral part of the said thin film solar cell module after a cutting | disconnection, The manufacturing method of the thin film solar cell module characterized by the above-mentioned.
請求項1から請求項7までのいずれか1項に記載の薄膜太陽電池モジュールの製造方法であって、
切断後の各薄膜太陽電池モジュールは同じ形状であり、前記マークは各薄膜太陽電池モジュールの同位置に設けられることを特徴とする薄膜太陽電池モジュールの製造方法。
It is a manufacturing method of the thin film solar cell module of any one of Claim 1- Claim 7,
Each thin film solar cell module after cutting has the same shape, and the mark is provided at the same position of each thin film solar cell module.
請求項1から請求項8までのいずれか1項に記載の薄膜太陽電池モジュールの製造方法であって、
前記複数の薄膜太陽電池セル領域のそれぞれについて電気特性検査を行う検査工程を含み、
前記マーク形成工程は、前記検査工程後に実施することを特徴とする薄膜太陽電池モジュールの製造方法。
It is a manufacturing method of the thin film solar cell module of any one of Claim 1- Claim 8, Comprising:
Including an inspection step of performing an electrical property inspection for each of the plurality of thin-film solar cell regions,
The said mark formation process is implemented after the said test process, The manufacturing method of the thin film solar cell module characterized by the above-mentioned.
請求項9に記載の薄膜太陽電池モジュールの製造方法であって、
前記マークは、前記検査工程における電気特性検査結果を示す情報を含むことを特徴とする薄膜太陽電池モジュールの製造方法。
It is a manufacturing method of the thin film solar cell module according to claim 9,
The said mark contains the information which shows the electrical property test | inspection result in the said test process, The manufacturing method of the thin film solar cell module characterized by the above-mentioned.
請求項10に記載の薄膜太陽電池モジュールの製造方法であって、
前記電気特性検査にて不良と判断された薄膜太陽電池モジュールには、前記マークを付けないか、または、不良を示す特殊マークを付与することを特徴とする薄膜太陽電池モジュールの製造方法。
It is a manufacturing method of the thin film solar cell module according to claim 10,
A method of manufacturing a thin-film solar cell module, wherein the thin-film solar cell module determined to be defective in the electrical characteristic inspection is not marked, or a special mark indicating a defect is given.
請求項1から請求項11までのいずれか1項に記載の薄膜太陽電池モジュールの製造方法であって、
前記マークとは別に前記基板を製造管理できる基板用マークを付与することを特徴とする薄膜太陽電池モジュールの製造方法。
It is a manufacturing method of the thin film solar cell module of any one of Claim 1- Claim 11,
A method for manufacturing a thin-film solar cell module, wherein a substrate mark capable of manufacturing and managing the substrate is provided separately from the mark.
請求項1から請求項12までのいずれか1項に記載の薄膜太陽電池モジュールの製造方法であって、
前記各マークは、レーザ加工により前記基板上の光電変換半導体層及び裏面電極層を除去することで形成し、前記マークを形成した領域では、前記裏面電極層上に設ける絶縁シートを前記光電変換半導体層領域の表面の色と近似した色で形成することを特徴とする薄膜太陽電池モジュールの製造方法。
It is a manufacturing method of the thin film solar cell module according to any one of claims 1 to 12,
Each mark is formed by removing the photoelectric conversion semiconductor layer and the back electrode layer on the substrate by laser processing. In the region where the mark is formed, an insulating sheet provided on the back electrode layer is formed on the photoelectric conversion semiconductor. A method for producing a thin-film solar cell module, characterized in that the thin-film solar cell module is formed with a color approximate to the color of the surface of the layer region.
請求項1から請求項13のいずれか1項に記載の薄膜太陽電池モジュールの製造方法にて製造された薄膜太陽電池モジュール。   The thin film solar cell module manufactured with the manufacturing method of the thin film solar cell module of any one of Claims 1-13.
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