JP2012093559A - Photosensitive resin composition, and photosensitive element, method for forming barrier wall of image display device and method for manufacturing image display device using the photosensitive resin composition - Google Patents

Photosensitive resin composition, and photosensitive element, method for forming barrier wall of image display device and method for manufacturing image display device using the photosensitive resin composition Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive resin composition capable of suppressing dissolution of a transparent electrode substrate even when a voltage is applied under high temperature and high humidity conditions, and to provide a photosensitive element using the composition, and a method for forming a barrier wall of an image display device and an image display device using these materials.SOLUTION: The photosensitive resin composition is used for forming a barrier wall that separates pixels in an image display device, and the composition includes the following components. They are: (A) a binder polymer having a carboxyl group and an ethylenically unsaturated group in the molecule; (B) a photopolymerizable compound; (C) a photopolymerization initiator; and (D) a compound having an epoxy group. The component (B) contains a compound expressed by general formula (1).

Description

本発明は、感光性樹脂組成物並びにこれを用いた感光性エレメント、画像表示装置の隔壁の形成方法、画像表示装置の製造方法に関する。   The present invention relates to a photosensitive resin composition, a photosensitive element using the same, a method for forming partition walls of an image display device, and a method for manufacturing an image display device.

近年、紙のように薄く、持ち運びが自由で、文字や画像が表示可能な画像表示装置(PLD:Paper Like Display)が注目を集めている。かかる画像表示装置は、通常の印刷物としての紙の長所である視認性、携帯性を有し、さらに、情報を電気的に書き換え可能であるため、環境やコストの面からも紙の代替品として実用化が試みられている。   2. Description of the Related Art In recent years, an image display device (PLD: Paper Like Display) that is as thin as paper, can be freely carried, and can display characters and images has attracted attention. Such an image display device has visibility and portability, which are the advantages of paper as a normal printed matter, and is capable of electrically rewriting information, so that it can be used as an alternative to paper in terms of environment and cost. Practical application is being attempted.

画像表示装置の表示技術としては、電気泳動等により粒子を移動させるタイプ、液晶タイプ、電気化学タイプなど様々なタイプが考案されている(例えば、非特許文献1参照)。特に粒子を移動させるタイプとしては、マイクロカプセル型電気泳動方式、マイクロカップ型電気泳動方式、電子粉流体方式、トナーディスプレイ等の方式が検討されている。これらの方式では、透明電極間に表示媒体である白と黒の粒子を封入し電場をかけ、これらの粒子を電気的に移動させることにより白/黒画像を形成し表示させる。また、画像表示装置の駆動方式としては、アクティブ駆動とパッシブ駆動があり、画像表示装置用の背面技術(パネル回路)の検討もなされている。   As a display technique of the image display device, various types such as a type in which particles are moved by electrophoresis or the like, a liquid crystal type, and an electrochemical type have been devised (for example, see Non-Patent Document 1). In particular, as a type for moving particles, methods such as a microcapsule electrophoresis method, a microcup electrophoresis method, an electronic powder fluid method, and a toner display have been studied. In these systems, white and black particles as a display medium are sealed between transparent electrodes, an electric field is applied, and these particles are electrically moved to form and display a white / black image. In addition, there are active driving and passive driving as driving methods of the image display device, and a back technology (panel circuit) for the image display device has been studied.

上記粒子移動タイプの画像表示装置の場合、上記のように白/黒の粒子を封入するための隔壁が必要となる。かかる隔壁の形成方法としては、金型転写法、スクリーン印刷法、サンドブラスト法、フォトリソ法、アディティブ法等が提案されている(例えば、特許文献1参照)。中でも、感光性樹脂組成物を用いて、活性光線の照射により高精細なパターンが効率よく形成できるフォトリソ法が注目されている。   In the case of the particle movement type image display device, a partition wall for enclosing white / black particles as described above is required. As a method for forming such partition walls, a mold transfer method, a screen printing method, a sand blast method, a photolithography method, an additive method, and the like have been proposed (for example, see Patent Document 1). Among these, a photolithographic method that can form a high-definition pattern efficiently by irradiation with actinic rays using a photosensitive resin composition has attracted attention.

また、最近では、フレキシブル化の検討や、白/黒画像表示にカラーフィルターを組み合わせることにより、フルカラー表示を実現させるという報告例もある(例えば、非特許文献2参照)。   In addition, recently, there are also reports on realizing full color display by examining flexibility and combining a color filter with white / black image display (for example, see Non-Patent Document 2).

また、フルカラー表示を行う際には、白/黒表示の画像表示装置にカラーフィルターを併用するため、各画素間のコントラストの向上が必須である。従って、各画素間の光を遮断するための遮光層が必要となる。モノクロ表示の場合は、カラーフィルターを使用せず、画像表示装置の画像の明度を上げるため、遮光性ではなく透明性を求められる場合もある。   Further, when performing full color display, a color filter is used in combination with a white / black display image display device, and thus it is essential to improve the contrast between pixels. Therefore, a light shielding layer for shielding light between the pixels is required. In the case of monochrome display, in order to increase the brightness of the image of the image display device without using a color filter, transparency rather than light shielding properties may be required.

フォトリソ法を用いた画像表示装置の隔壁は、以下のようにして形成される。すなわち、透明電極基板上にブラックマトリックスと呼ばれる遮光層をフォトリソ技術により積層する工程、さらに上記遮光層上に感光性樹脂組成物を塗布、又は感光性フィルムを積層することにより感光性樹脂組成物層を形成する工程、上記感光性樹脂組成物層の所定部分に活性光線を照射して露光部を光硬化させる工程、未露光部を除去して光硬化物パターンを形成する工程を含む。従って、画像表示装置の隔壁を形成するための感光性樹脂組成物には、一般に、感度、解像性及び基板への密着性が要求される。   The partition walls of the image display device using the photolithography method are formed as follows. That is, a step of laminating a light shielding layer called a black matrix on a transparent electrode substrate by photolithography, and further, a photosensitive resin composition is applied on the light shielding layer or a photosensitive film is laminated on the photosensitive resin composition layer. A step of irradiating a predetermined portion of the photosensitive resin composition layer with actinic rays to photocure the exposed portion, and a step of removing the unexposed portion to form a photocured product pattern. Therefore, in general, the photosensitive resin composition for forming the partition walls of the image display device is required to have sensitivity, resolution, and adhesion to the substrate.

また、画像表示装置を製造する場合、上記工程で得たパターン内に、粒子等の表示媒体を充填する工程、上記光硬化物パターンを熱処理する工程、電極基板を貼り付ける工程等をさらに含む。これにより、感光性樹脂組成物層の硬化物を隔壁とする画像表示装置が得られる。   Moreover, when manufacturing an image display apparatus, the process obtained by filling the display medium, such as particle | grains, in the pattern obtained at the said process, the process of heat-processing the said photocured material pattern, the process of sticking an electrode substrate, etc. are further included. Thereby, the image display apparatus which uses the hardened | cured material of the photosensitive resin composition layer as a partition is obtained.

特開2007−178881号公報JP 2007-178881 A

鈴木 明、“電子ペーパーの最新動向2007”、平成19年10月10日、日本画像学会誌 第46巻 第5号:372−384(2007)Akira Suzuki, “Latest Trends in Electronic Paper 2007”, October 10, 2007, Journal of the Imaging Society of Japan, Vol. 46, No. 5: 372-384 (2007) 田沼 逸夫、“電子粉流体を用いたフレキシブル電子ペーパー”、平成19年10月10日、日本画像学会誌 第46巻 第5号:396−400(2007)Tanuma Itsuo, “Flexible Electronic Paper Using Electron Powder Fluid”, October 10, 2007, Journal of the Imaging Society of Japan, Vol. 46, No. 5: 396-400 (2007)

上記電極基板を貼り付ける工程においては、高温高湿下で電圧を印加するため、感光性樹脂組成物の硬化物と密着した電極部分が溶解する問題があった。   In the step of attaching the electrode substrate, since a voltage is applied under high temperature and high humidity, there is a problem that an electrode portion in close contact with the cured product of the photosensitive resin composition is dissolved.

本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、高温高湿下で電圧を印加した際にも透明電極基板の溶解を抑えることが可能な感光性樹脂組成物並びにこれを用いた感光性エレメント、これらの材料を用いた画像表示装置の隔壁の形成方法及び画像表示装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and a photosensitive resin composition capable of suppressing dissolution of a transparent electrode substrate even when a voltage is applied under high temperature and high humidity, and a photosensitive property using the same. It is an object of the present invention to provide an element, a method for forming a partition wall of an image display device using these materials, and an image display device.

本発明者は、画像表示装置において、画素を分離する隔壁を形成するための感光性樹脂組成物であって、上記感光性樹脂組成物が、(A)成分:分子内にカルボキシル基とエチレン性不飽和基を有するバインダーポリマー、(B)成分:光重合性化合物、(C)成分:光重合開始剤、(D)成分:エポキシ基を有する化合物を含有し、上記(B)成分が、下記一般式(1)で表される化合物を含有する、感光性樹脂組成物が、電極の溶解を抑えることができることを見いだし、本願発明を完成した。   The present inventor is a photosensitive resin composition for forming a partition for separating pixels in an image display device, wherein the photosensitive resin composition comprises (A) component: carboxyl group and ethylenic group in the molecule. Binder polymer having an unsaturated group, (B) component: photopolymerizable compound, (C) component: photopolymerization initiator, (D) component: a compound having an epoxy group. The present invention was completed by finding that the photosensitive resin composition containing the compound represented by the general formula (1) can suppress dissolution of the electrode.

Figure 2012093559
(一般式(1)中、R及びRはそれぞれ独立に水素原子又はメチル基を示し、m及びnはそれぞれ独立に0〜50の整数を示す。ただし、m+nは1以上の整数である。)
Figure 2012093559
(In General Formula (1), R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group, and m and n each independently represent an integer of 0 to 50. However, m + n is an integer of 1 or more. .)

また、本発明は、必要に応じて上記(E)成分がチタンブラックを好例とする無機系黒色顔料を含む感光性樹脂組成物に関する。これにより、光感度と遮光性という相反する特性をバランス良く維持することができる。その一方、画像表示装置の明度を向上させるため、この無機系黒色顔料((E)成分)を一切含まない隔壁形成用感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントが求められる場合もあるので、必要に応じて添加すれば良い。   The present invention also relates to a photosensitive resin composition containing an inorganic black pigment in which the component (E) is preferably titanium black as an example. Thereby, the contradicting characteristics of light sensitivity and light shielding property can be maintained in a well-balanced manner. On the other hand, in order to improve the brightness of the image display device, there is a case where a photosensitive resin composition for forming a partition wall containing no inorganic black pigment (component (E)) and a photosensitive element using the same are required. Therefore, it may be added as necessary.

さらに、本発明は、上記(B)成分が、下記一般式(2)で表される化合物をさらに含む、感光性樹脂組成物に関する。これにより、電極基板の溶解を抑制することができる。   Furthermore, this invention relates to the photosensitive resin composition in which the said (B) component further contains the compound represented by following General formula (2). Thereby, dissolution of the electrode substrate can be suppressed.

Figure 2012093559
[一般式(2)中、R、R及びRは各々独立に、下記一般式(3):
Figure 2012093559
[In General Formula (2), R 3 , R 4 and R 5 are each independently the following General Formula (3):

Figure 2012093559
(一般式(3)中、Rは水素原子又はメチル基を示し、Xは炭素数2〜6のアルキレン基を示し、Zは単結合又は2価の有機基を示し、kは1〜30の整数を示す。)で表される基、或いは、下記一般式(4):
Figure 2012093559
(In General Formula (3), R 6 represents a hydrogen atom or a methyl group, X represents an alkylene group having 2 to 6 carbon atoms, Z 1 represents a single bond or a divalent organic group, and k represents 1 to Or a group represented by the following general formula (4):

Figure 2012093559
(一般式(4)中、Rは水素原子又はメチル基を示し、Zは単結合又は2価の有機基を示し、Yは炭素数2〜6のアルキレン基を示し、mは1〜10の整数を示し、nは1〜10の整数を示し、lは0〜10の整数を示す。)で表される基を示し、R、R及びRのうちの少なくとも1つは上記一般式(4)で表される基を示す。]
Figure 2012093559
(In General Formula (4), R 7 represents a hydrogen atom or a methyl group, Z 2 represents a single bond or a divalent organic group, Y represents an alkylene group having 2 to 6 carbon atoms, and m represents 1 to 10 represents an integer, n represents an integer of 1 to 10, and l represents an integer of 0 to 10.), and at least one of R 3 , R 4 and R 5 is The group represented by the general formula (4) is shown. ]

本発明では、一般式(4)で表される化合物におけるnが4〜25の整数であると好ましい。また、前記Z及び前記Zが、下記一般式(5)で表される2価の基であると好ましい。 In this invention, it is preferable in the compound represented by General formula (4) that n is an integer of 4-25. In addition, it is preferable that Z 1 and Z 2 are a divalent group represented by the following general formula (5).

Figure 2012093559
Figure 2012093559

本発明はまた、支持体と、該支持体上に形成された上記本発明の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層を備える感光性エレメントを提供する。このような感光性エレメントを用いることにより、画像表示装置の隔壁を形成する際に問題となる電極の溶解を抑えたまま、屈曲時の破損を抑制できる隔壁を形成することができる。また、かかる感光性エレメントによれば、解像度及び密着性に優れた光硬化物パターンを感度良く形成することができる。   The present invention also provides a photosensitive element comprising a support and a photosensitive resin composition layer comprising the photosensitive resin composition of the present invention formed on the support. By using such a photosensitive element, it is possible to form a partition wall that can suppress breakage at the time of bending while suppressing dissolution of the electrode, which is a problem when forming the partition wall of the image display device. Moreover, according to this photosensitive element, the photocured material pattern excellent in the resolution and the adhesiveness can be formed with high sensitivity.

上記感光性エレメントにおいて、上記感光性樹脂組成物層の膜厚は、10〜100μmであることが好ましい。これにより画像表示装置の薄型化及びコントラストをより向上させることができる。   In the photosensitive element, the thickness of the photosensitive resin composition layer is preferably 10 to 100 μm. As a result, it is possible to further reduce the thickness and contrast of the image display device.

本発明はまた、少なくとも表示面に配置された透明電極と、画素を分離する隔壁とを備える、屈曲性を有する画像表示装置の隔壁の形成方法であって、上記画像表示装置の基板上に、上記本発明の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層を積層する積層工程と、上記感光性樹脂組成物層の所定部分に活性光線を照射して露光部を光硬化せしめる露光工程と、上記感光性樹脂組成物層の上記露光部以外の部分を除去して光硬化物パターンを形成する現像工程と、を有する、画像表示装置の隔壁の形成方法を提供する。   The present invention is also a method for forming a partition wall of an image display device having flexibility, comprising at least a transparent electrode disposed on a display surface and a partition wall for separating pixels, on the substrate of the image display device, A lamination step of laminating a photosensitive resin composition layer comprising the photosensitive resin composition of the present invention, and an exposure step of irradiating a predetermined portion of the photosensitive resin composition layer with an actinic ray to photocure an exposed portion; And a developing step of forming a photocured product pattern by removing a portion other than the exposed portion of the photosensitive resin composition layer.

本発明は更に、少なくとも表示面に配置された透明電極と、画素を分離する隔壁とを備える、屈曲性を有する画像表示装置の製造方法であって、上記本発明の画像表示装置の隔壁の形成方法により上記隔壁を形成する工程を有する、画像表示装置の製造方法を提供する。   The present invention further relates to a method for manufacturing a flexible image display device comprising at least a transparent electrode disposed on a display surface and a partition wall for separating pixels, and the partition wall of the image display device according to the present invention is formed. Provided is a method for manufacturing an image display device, comprising the step of forming the partition wall by a method.

上記画像表示装置の隔壁の形成方法及び画像表示装置の製造方法によれば、上述した本発明の感光性樹脂組成物によって隔壁を形成しているため、隔壁を形成する際の電極の溶解を抑制することができる。   According to the method for forming the partition wall of the image display device and the method for manufacturing the image display device, since the partition wall is formed by the photosensitive resin composition of the present invention described above, the dissolution of the electrode when forming the partition wall is suppressed. can do.

また、上記画像表示装置の製造方法は、上記隔壁内に表示媒体を充填する工程と、一方の基板に対向するように隔壁の反対側に基板を貼り付ける工程と、を更に含むことが好ましい。   Moreover, it is preferable that the manufacturing method of the said image display apparatus further includes the process of filling a display medium in the said partition, and the process of affixing a board | substrate on the opposite side of a partition so as to oppose one board | substrate.

本発明の効果が得られる詳細な要因は明らかではないが、本発明の感光性樹脂組成物は(A)成分〜(D)成分を含有し、特に(B)成分に一般式(1)で表される特定の化合物を含有させることが発明の効果を奏する一因と予想される。本発明によれば、恒温恒湿下で電圧を印加した際の電極の溶解を抑えることが可能な画像表示装置用の隔壁を形成することができる。   Although the detailed factor by which the effect of this invention is acquired is not clear, the photosensitive resin composition of this invention contains (A) component-(D) component, especially (B) component is represented by General formula (1). It is expected that the inclusion of the specific compound represented will contribute to the effects of the invention. ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the partition for image display apparatuses which can suppress melt | dissolution of the electrode at the time of applying a voltage under constant temperature and humidity can be formed.

以下、本発明の好適な実施形態について説明する。なお、本明細書における(メタ)アクリル酸とはアクリル酸及びそれに対応するメタクリル酸を意味し、(メタ)アクリレートとはアクリレート及びそれに対応するメタクリレートを意味し、(メタ)アクリロイルとはアクリロイル及びそれに対応するメタクリロイルを意味する。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described. In this specification, (meth) acrylic acid means acrylic acid and methacrylic acid corresponding thereto, (meth) acrylate means acrylate and corresponding methacrylate, and (meth) acryloyl means acryloyl and it. Means the corresponding methacryloyl.

(感光性樹脂組成物)
本発明の感光性樹脂組成物は、画像表示装置の隔壁を形成するための感光性樹脂組成物であって、上記感光性樹脂組成物が、(A)成分として分子内にカルボキシル基とエチレン性不飽和基を有するバインダーポリマー、(B)成分として光重合性化合物、(C)成分として光重合開始剤、(D)成分としてエポキシ基を有する化合物を含有し、前記(B)成分が、上記一般式(1)で表される化合物を含有することを特徴とする。
(Photosensitive resin composition)
The photosensitive resin composition of the present invention is a photosensitive resin composition for forming a partition wall of an image display device, and the photosensitive resin composition has a carboxyl group and an ethylenic group in the molecule as the component (A). A binder polymer having an unsaturated group, a photopolymerizable compound as the component (B), a photopolymerization initiator as the component (C), a compound having an epoxy group as the component (D), and the component (B) It contains a compound represented by the general formula (1).

以下、本発明の感光性樹脂組成物で使用できる各成分について詳細に説明する。   Hereinafter, each component which can be used with the photosensitive resin composition of this invention is demonstrated in detail.

(A)成分:分子内にカルボキシル基とエチレン性不飽和基を有するバインダーポリマー
本発明に用いることのできる(A)成分としては、分子内にカルボキシル基とエチレン性不飽和基を有し、フィルム性を付与できるものであれば特に制限なく、例えばアクリル系樹脂、スチレン系樹脂、エポキシ系樹脂、アミド系樹脂、アミドエポキシ系樹脂、アルキド系樹脂、フェノール系樹脂、ウレタン系樹脂等が挙げられる。中でも、アクリル系樹脂が、アルカリ現像性の観点からは好ましい。これらは単独で、又は二種類以上を組み合わせて用いることができる。二種類以上のバインダーポリマーの組み合わせの例としては、異なる共重合成分からなる二種類以上のバインダーポリマー、異なる重量平均分子量の二種類以上のバインダーポリマー、異なる分散度の二種類以上のバインダーポリマー等が挙げられる。また、特開平11−327137号公報記載のマルチモード分子量分布を有するポリマーを用いることもできる。
Component (A): Binder polymer having a carboxyl group and an ethylenically unsaturated group in the molecule As the component (A) that can be used in the present invention, a film having a carboxyl group and an ethylenically unsaturated group in the molecule is used. There is no particular limitation as long as it can impart properties, and examples thereof include acrylic resins, styrene resins, epoxy resins, amide resins, amide epoxy resins, alkyd resins, phenol resins, and urethane resins. Among these, acrylic resins are preferable from the viewpoint of alkali developability. These can be used alone or in combination of two or more. Examples of combinations of two or more types of binder polymers include two or more types of binder polymers composed of different copolymer components, two or more types of binder polymers having different weight average molecular weights, two or more types of binder polymers having different degrees of dispersion, and the like. Can be mentioned. A polymer having a multimode molecular weight distribution described in JP-A No. 11-327137 can also be used.

(A)成分は、例えば、カルボキシル基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体をラジカル重合させ、その後、重合性単量体にエチレン性不飽和結合を有する単量体を付加させることで製造することができる。重合性単量体としては、例えば、スチレン、ビニルトルエン、α−メチルスチレン、p−メチルスチレン、p−エチルスチレン等の重合可能なスチレン誘導体;アクリルアミド;アクリロニトリル;ビニル−n−ブチルエーテル等のビニルアルコールのエステル類;(メタ)アクリル酸アルキルエステル、(メタ)アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、(メタ)アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、(メタ)アクリル酸ジエチルアミノエチルエステル、(メタ)アクリル酸グリシジルエステル、2,2,2−トリフルオロエチル(メタ)アクリレート、2,2,3,3−テトラフルオロプロピル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸、α−ブロモ(メタ)アクリル酸、α−クロル(メタ)アクリル酸、β−フリル(メタ)アクリル酸、β−スチリル(メタ)アクリル酸;マレイン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸モノメチルエステル、マレイン酸モノエチルエステル、マレイン酸モノイソプロピルエステル等のマレイン酸モノエステル;フマール酸、ケイ皮酸、α−シアノケイ皮酸、イタコン酸、クロトン酸、プロピオール酸、マレイミド化合物などが挙げられる。カルボキシル基を有する重合性単量体としては、現像性及び安定性の観点から(メタ)アクリル酸を含むことが好ましく、2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等の水酸基を有する(メタ)アクリル酸アルキルエステルが、後述するイソシアネート基含有(メタ)アクリル酸エステルと反応し、透湿性を抑えることが出来る点で好ましい。また、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート等のシクロアルキル基を有する(メタ)アクリレートを含むことが好ましい。   Component (A) is, for example, radical polymerization of a polymerizable monomer having a carboxyl group and another polymerizable monomer, and then adding a monomer having an ethylenically unsaturated bond to the polymerizable monomer. Can be manufactured. Examples of the polymerizable monomer include polymerizable styrene derivatives such as styrene, vinyl toluene, α-methyl styrene, p-methyl styrene, and p-ethyl styrene; acrylamide; acrylonitrile; vinyl alcohol such as vinyl-n-butyl ether. (Meth) acrylic acid alkyl ester, (meth) acrylic acid tetrahydrofurfuryl ester, (meth) acrylic acid dimethylaminoethyl ester, (meth) acrylic acid diethylaminoethyl ester, (meth) acrylic acid glycidyl ester, 2 , 2,2-trifluoroethyl (meth) acrylate, 2,2,3,3-tetrafluoropropyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid, α-bromo (meth) Acrylic acid, α-chrome Lu (meth) acrylic acid, β-furyl (meth) acrylic acid, β-styryl (meth) acrylic acid; maleic acid, maleic anhydride, maleic acid monomethyl ester, maleic acid monoethyl ester, maleic acid monoisopropyl ester, etc. Maleic acid monoesters; fumaric acid, cinnamic acid, α-cyanocinnamic acid, itaconic acid, crotonic acid, propiolic acid, maleimide compounds and the like. The polymerizable monomer having a carboxyl group preferably includes (meth) acrylic acid from the viewpoint of developability and stability, and is preferably an alkyl (meth) acrylate having a hydroxyl group such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate. The ester is preferable in that it can react with an isocyanate group-containing (meth) acrylic acid ester described later to suppress moisture permeability. Moreover, it is preferable that the (meth) acrylate which has cycloalkyl groups, such as dicyclopentanyl (meth) acrylate, is included.

また、これらは単独でホモポリマーとして、又は二種類以上を組み合わせてコポリマーとして用いることができる。   Moreover, these can be used as a homopolymer alone or in combination of two or more as a copolymer.

上記(メタ)アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸プロピル、(メタ)アクリル酸ブチル、(メタ)アクリル酸ペンチル、(メタ)アクリル酸ヘキシル、(メタ)アクリル酸ヘプチル、(メタ)アクリル酸オクチル、(メタ)アクリル酸2−エチルへキシル、及びこれらの構造異性体が挙げられる。   Examples of the (meth) acrylic acid alkyl ester include, for example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, pentyl (meth) acrylate, (meth ) Hexyl acrylate, heptyl (meth) acrylate, octyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, and structural isomers thereof.

また、単量体としては、例えばイソシアネート基含有アクリル酸エステル、イソシアネート基含有メタクリル酸エステル、グリシジル基含有アクリル酸エステル、グリシジル基含有メタクリル酸エステルなどを含むことが好ましい。これにより、例えば上述した2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等の水酸基を有する(メタ)アクリル酸アルキルエステルが単量体として含まれる場合には、これらの単量体が反応し、より架橋密度を上げることで、透湿性を抑えることができる。   Moreover, as a monomer, it is preferable that an isocyanate group containing acrylic acid ester, an isocyanate group containing methacrylic acid ester, a glycidyl group containing acrylic acid ester, a glycidyl group containing methacrylic acid ester, etc. are included, for example. Thus, for example, when a (meth) acrylic acid alkyl ester having a hydroxyl group such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate described above is included as a monomer, these monomers react to further increase the crosslinking density. Raising the moisture permeability can be suppressed.

(A)成分の酸価は、解像性に優れる点では、30mgKOH/g以上であることが好ましく、80mgKOH/g以上であることがより好ましく、130mgKOH/g以上であることがさらに好ましく、180mgKOH/以上であることが特に好ましい。耐現像液性及び密着性に優れる点では、250mgKOH/g以下であることが好ましく、240mgKOH/g以下であることがより好ましく、230mgKOH/g以下であることがさらに好ましく、220mgKOH/g以下であることが特に好ましい。なお、現像工程として溶剤による現像を行う場合は、カルボキシル基を有する重合性単量体の使用量を抑えて調製することが好ましい。   The acid value of the component (A) is preferably 30 mgKOH / g or more, more preferably 80 mgKOH / g or more, further preferably 130 mgKOH / g or more, and 180 mgKOH in terms of excellent resolution. Particularly preferred is /. In terms of excellent developer resistance and adhesion, it is preferably 250 mgKOH / g or less, more preferably 240 mgKOH / g or less, further preferably 230 mgKOH / g or less, and 220 mgKOH / g or less. It is particularly preferred. In addition, when developing with a solvent as a development process, it is preferable to prepare by suppressing the usage-amount of the polymerizable monomer which has a carboxyl group.

ここで、酸価は、次のようにして測定することができる。すなわち、まず、酸価を測定すべき樹脂の溶液約1gを精秤した後、この樹脂溶液にアセトンを30g添加し、これを均一に溶解する。次いで、指示薬であるフェノールフタレインをその溶液に適量添加して、0.1NのKOH水溶液を用いて滴定を行う。そして、次式により酸価を算出する。   Here, the acid value can be measured as follows. That is, first, about 1 g of a resin solution whose acid value is to be measured is precisely weighed, and then 30 g of acetone is added to this resin solution to dissolve it uniformly. Next, an appropriate amount of phenolphthalein as an indicator is added to the solution, and titration is performed using a 0.1N aqueous KOH solution. And an acid value is computed by following Formula.

A=10×Vf×56.1/(Wp×I)
式中、Aは酸価(mgKOH/g)を示し、Vfは0.1NのKOH水溶液の滴定量(mL)を示し、Wpは測定した樹脂溶液の質量(g)を示し、Iは測定した樹脂溶液中の不揮発分の割合(質量%)を示す。
A = 10 × Vf × 56.1 / (Wp × I)
In the formula, A represents the acid value (mgKOH / g), Vf represents the titration amount (mL) of a 0.1N KOH aqueous solution, Wp represents the mass (g) of the measured resin solution, and I was measured. The ratio (mass%) of the non volatile matter in a resin solution is shown.

(A)成分の重量平均分子量(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)で測定し、標準ポリスチレンを用いた検量線により換算)は、耐現像液性に優れる点では、20,000以上であることが好ましく、23,000以上であることがより好ましく、25,000以上であることがさらに好ましい。現像時間を短くできる観点からは、300,000以下であることが好ましく、150,000以下であることがより好ましく、100,000以下であることがさらに好ましい。なお、バインダーポリマーの重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法によって測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて換算することとする。ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)の測定条件は、以下に示すとおりである。
[GPC測定条件]
ポンプ:日立 L−6000型(株式会社日立製作所製)
カラム:Gelpack GL−R420 + Gelpack GL−R430 +
Gelpack GL−R440(計3本)(以上、日立化成工業株式会社製、商品名)溶離液:テトラヒドロフラン
測定温度:25℃
流量:2.05mL/分
検出器:日立 L−3300型RI(株式会社日立製作所製)
The weight average molecular weight of component (A) (measured by gel permeation chromatography (GPC) and converted by a calibration curve using standard polystyrene) is 20,000 or more in terms of excellent developer resistance. Preferably, it is 23,000 or more, more preferably 25,000 or more. From the viewpoint of shortening the development time, it is preferably 300,000 or less, more preferably 150,000 or less, and even more preferably 100,000 or less. The weight average molecular weight of the binder polymer is measured by gel permeation chromatography and converted using a standard polystyrene calibration curve. The measurement conditions of gel permeation chromatography (GPC) are as shown below.
[GPC measurement conditions]
Pump: Hitachi L-6000 (manufactured by Hitachi, Ltd.)
Column: Gelpack GL-R420 + Gelpack GL-R430 +
Gelpack GL-R440 (three in total) (above, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name) Eluent: Tetrahydrofuran Measurement temperature: 25 ° C
Flow rate: 2.05 mL / min Detector: Hitachi L-3300 type RI (manufactured by Hitachi, Ltd.)

(A)成分の含有量は、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部に対して、感光性樹脂組成物の塗膜性に優れる点では、40質量部以上が好ましく、45質量部以上がより好ましい。光硬化物の機械的強度に優れる点では、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部に対して、70質量部以下が好ましく、60質量部以下がより好ましい。   The content of the component (A) is preferably 40 parts by mass or more, in terms of excellent coating properties of the photosensitive resin composition, with respect to 100 parts by mass of the total amount of the components (A) and (B), and 45 masses. Part or more is more preferable. In the point which is excellent in the mechanical strength of a photocured material, 70 mass parts or less are preferable with respect to 100 mass parts of total amounts of (A) component and (B) component, and 60 mass parts or less are more preferable.

(B)成分:光重合性化合物
本発明の感光性樹脂組成物は、下記一般式(1)で表される化合物を必須成分として含む。下記一般式(1)中、m+nは、1以上の整数であるが透湿性を抑える点で、3以上であることが好ましく、5以上であることがより好ましい。
(B) Component: Photopolymerizable Compound The photosensitive resin composition of the present invention contains a compound represented by the following general formula (1) as an essential component. In the following general formula (1), m + n is an integer of 1 or more, but is preferably 3 or more, more preferably 5 or more in terms of suppressing moisture permeability.

Figure 2012093559
(一般式(1)中、R及びRはそれぞれ独立に水素原子又はメチル基を示し、m及びnはそれぞれ独立に0〜50の整数を示す。ただし、m+nは1以上の整数である。)
Figure 2012093559
(In General Formula (1), R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group, and m and n each independently represent an integer of 0 to 50. However, m + n is an integer of 1 or more. .)

本発明に用いることのできるその他の(B)成分としては、特に制限はないが、イソシアヌル環構造を有する化合物を含有することが好ましい。イソシアヌル環構造を有する化合物としては、例えば、下記一般式(2)で表される化合物が挙げられる。   Although there is no restriction | limiting in particular as another (B) component which can be used for this invention, It is preferable to contain the compound which has an isocyanuric ring structure. As a compound which has an isocyanuric ring structure, the compound represented by following General formula (2) is mentioned, for example.

Figure 2012093559
[一般式(2)中、R、R及びRは各々独立に、下記一般式(3):
Figure 2012093559
[In General Formula (2), R 3 , R 4 and R 5 are each independently the following General Formula (3):

Figure 2012093559
(一般式(3)中、Rは水素原子又はメチル基を示し、Xは炭素数2〜6のアルキレン基を示し、Zは単結合又は2価の有機基を示し、kは1〜30の整数を示す。)で表される基、或いは、下記一般式(4):
Figure 2012093559
(In General Formula (3), R 6 represents a hydrogen atom or a methyl group, X represents an alkylene group having 2 to 6 carbon atoms, Z 1 represents a single bond or a divalent organic group, and k represents 1 to Or a group represented by the following general formula (4):

Figure 2012093559
(一般式(4)中、Rは水素原子又はメチル基を示し、Zは単結合又は2価の有機基を示し、Yは炭素数2〜6のアルキレン基を示し、mは1〜10の整数を示し、nは1〜10の整数を示し、lは0〜10の整数を示す。)で表される基を示し、R、R及びRのうちの少なくとも1つは前記一般式(4)で表される基を示す。]
Figure 2012093559
(In General Formula (4), R 7 represents a hydrogen atom or a methyl group, Z 2 represents a single bond or a divalent organic group, Y represents an alkylene group having 2 to 6 carbon atoms, and m represents 1 to 10 represents an integer, n represents an integer of 1 to 10, and l represents an integer of 0 to 10.), and at least one of R 3 , R 4 and R 5 is The group represented by the general formula (4) is shown. ]

上記一般式(3)及び(4)中、X及びYで示される炭素数2〜6のアルキレン基としては、例えば、エチレン基、プロピレン基、イソプロピレン基、ブチレン基、イソブチレン基、ペンチレン基、ネオペンチレン基、へキシレン基等が挙げられるが、エチレン基又はプロピレン基であることが好ましい。   In the general formulas (3) and (4), examples of the alkylene group having 2 to 6 carbon atoms represented by X and Y include, for example, an ethylene group, a propylene group, an isopropylene group, a butylene group, an isobutylene group, a pentylene group, Examples thereof include a neopentylene group and a hexylene group, and an ethylene group or a propylene group is preferable.

上記一般式(3)中、kは、電極の溶解及び耐現像液性の観点から、3〜20の整数であることが好ましく、4〜15の整数であることがより好ましく、5〜10の整数であることが特に好ましい。   In the general formula (3), k is preferably an integer of 3 to 20, more preferably an integer of 4 to 15, and more preferably 5 to 10 from the viewpoints of electrode dissolution and developer resistance. Particularly preferred is an integer.

上記一般式(4)中、mは、得られる硬化膜の弾性率の観点から、2〜8であることが好ましく、4〜6であることがより好ましい。また、nは得られる硬化膜の弾性率の観点から、2〜10の整数であることが好ましく、3〜8の整数であることがより好ましく、4〜6の整数であることが特に好ましい。更に、lは得られる硬化膜の弾性率の観点から、1〜5の整数であることが好ましく、1〜3の整数であることがより好ましい。   In the general formula (4), m is preferably 2 to 8 and more preferably 4 to 6 from the viewpoint of the elastic modulus of the cured film to be obtained. In addition, n is preferably an integer of 2 to 10, more preferably an integer of 3 to 8, and particularly preferably an integer of 4 to 6, from the viewpoint of the elastic modulus of the obtained cured film. Furthermore, l is preferably an integer of 1 to 5, more preferably an integer of 1 to 3, from the viewpoint of the elastic modulus of the resulting cured film.

上記一般式(3)中のXがエチレン基又はプロピレン基であり、上記一般式(4)中のmが4〜10であることが好ましい。   X in the general formula (3) is preferably an ethylene group or a propylene group, and m in the general formula (4) is preferably 4 to 10.

一般式(3)及び(4)のZ及びZが各々独立に、下記一般式(5)で表される2価の基であることが好ましい。 In the general formulas (3) and (4), Z 1 and Z 2 are preferably each independently a divalent group represented by the following general formula (5).

Figure 2012093559
[一般式(5)中、pは1〜10の整数を示す。]
Figure 2012093559
[In general formula (5), p shows the integer of 1-10. ]

ここで、上記一般式(5)中、pは、得られる硬化膜の弾性率の観点から、2〜8であることが好ましく、4〜7であることがより好ましい。   Here, in the above general formula (5), p is preferably from 2 to 8, and more preferably from 4 to 7, from the viewpoint of the elastic modulus of the obtained cured film.

上記一般式(2)で表される化合物で入手可能なものとしては、例えば、R、R及びRが上記一般式(4)で表される基、Rがメチル基、Yがエチレン基、m=5、n=3、l=1、Zが上記一般式(5)で表される基、p=6、である化合物(日本サイテックインダストリーズ株式会社製)等が挙げられる。 As what can be obtained with the compound represented by the general formula (2), for example, R 3 , R 4 and R 5 are groups represented by the general formula (4), R 7 is a methyl group, and Y is Examples include an ethylene group, m = 5, n = 3, l = 1, a group in which Z 2 is a group represented by the above general formula (5) and p = 6 (manufactured by Nippon Cytec Industries, Ltd.).

さらに、上記以外の(B)成分としては、分子内にエチレン性不飽和結合を1つ有する化合物を含むことが好ましい。   Furthermore, as the component (B) other than the above, it is preferable to include a compound having one ethylenically unsaturated bond in the molecule.

上記(B)成分としては、特に制限はないが、解像性に優れる点では、下記一般式(6)で表される化合物を含むことが好ましい。   Although there is no restriction | limiting in particular as said (B) component, In the point which is excellent in resolution, it is preferable that the compound represented by following General formula (6) is included.

Figure 2012093559

[一般式(6)中、Rは水素原子又はメチル基を示し、Rは水素原子、メチル基又はハロゲン化メチル基のいずれかを示し、R10は炭素数1〜6のアルキル基、ハロゲン原子、水酸基のいずれかを示し、pは0〜4の整数を示す。なお、pが2以上の場合、複数存在するR10は同一でも異なっていてもよい。−(O−A)−はオキシエチレン基及び/又はオキシプロピレン基を示し、−(O−A)−の繰り返し総数aは1〜4の整数を示す。]
Figure 2012093559

[In General Formula (6), R 8 represents a hydrogen atom or a methyl group, R 9 represents a hydrogen atom, a methyl group or a halogenated methyl group, R 10 represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, It represents either a halogen atom or a hydroxyl group, and p represents an integer of 0 to 4. When p is 2 or more, a plurality of R 10 may be the same or different. -(OA)-represents an oxyethylene group and / or an oxypropylene group, and the total number a of-(OA)-represents an integer of 1 to 4. ]

上記一般式(6)で表される化合物で入手可能なものとしては、例えば、γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β’−(メタ)アクリロイルオキシエチル−o−フタレート、β−ヒドロキシエチル−β’−(メタ)アクリロイルオキシエチル−o−フタレート、及びβ−ヒドロキシプロピル−β’−(メタ)アクリロイルオキシエチル−o−フタレート等が挙げられ、なかでも、γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β’−(メタ)アクリロイルオキシエチル−o−フタレートが好ましい。γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β’−メタクリロイルオキシエチル−o−フタレートはFA−MECH(日立化成工業株式会社製、製品名)が挙げられる。   Examples of the compound represented by the general formula (6) that can be obtained include γ-chloro-β-hydroxypropyl-β ′-(meth) acryloyloxyethyl-o-phthalate, β-hydroxyethyl-β. '-(Meth) acryloyloxyethyl-o-phthalate, β-hydroxypropyl-β'-(meth) acryloyloxyethyl-o-phthalate, and the like, among others, γ-chloro-β-hydroxypropyl-β '-(Meth) acryloyloxyethyl-o-phthalate is preferred. Examples of γ-chloro-β-hydroxypropyl-β'-methacryloyloxyethyl-o-phthalate include FA-MECH (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., product name).

さらに、その他の(B)成分としては、例えば、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート(エチレン基の数が2〜14のもの)、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート(プロピレン基の数が2〜14のもの)等のポリアルキレングリコールジ(メタ)アクリレート;トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンエトキシトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンプロポキシトリ(メタ)アクリレート等のトリメチロールプロパン(メタ)アクリレート化合物;テトラメチロールメタントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ(メタ)アクリレート等のテトラメチロールメタン(メタ)アクリレート化合物;ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等のジペンタエリスリトール(メタ)アクリレート化合物;ビスフェノールAジオキシエチレンジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAトリオキシエチレンジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAデカオキシエチレンジ(メタ)アクリレート等のビスフェノールAジオキシエチレンジ(メタ)アクリレート;トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリアクリルレート、ビスフェノールAジグリシジルエーテルアクリレートなどが挙げられる。
上記(B)成分は、単独で、又は二種類以上を組み合わせて用いることができる。
Furthermore, as other (B) component, for example, polyethylene glycol di (meth) acrylate (having 2 to 14 ethylene groups), polypropylene glycol di (meth) acrylate (having 2 to 14 propylene groups) Polyalkylene glycol di (meth) acrylates such as trimethylolpropane di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, trimethylolpropane ethoxytri (meth) acrylate, trimethylolpropane propoxytri (meth) acrylate Trimethylolpropane (meth) acrylate compounds such as: tetramethylolmethane tri (meth) acrylate, tetramethylolmethane (meth) acrylate compounds such as tetramethylolmethane tetra (meth) acrylate Dipentaerythritol (meth) acrylate compounds such as dipentaerythritol penta (meth) acrylate and dipentaerythritol hexa (meth) acrylate; bisphenol A dioxyethylene di (meth) acrylate, bisphenol A trioxyethylene di (meth) acrylate, Examples thereof include bisphenol A dioxyethylene di (meth) acrylate such as bisphenol A deoxyoxyethylene di (meth) acrylate; trimethylolpropane triglycidyl ether triacrylate, bisphenol A diglycidyl ether acrylate, and the like.
The said (B) component can be used individually or in combination of 2 or more types.

(B)成分の含有量は、解像性及び密着性と、フィルム形成性の観点から、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部に対して、30〜60質量部の範囲とすることが好ましく、35〜55質量部とすることがより好ましい。 The content of the component (B) is in the range of 30 to 60 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of the component (A) and the component (B) from the viewpoints of resolution and adhesion, and film formability. It is preferable to use 35 to 55 parts by mass.

(C)成分:光重合開始剤
本発明に用いることのできる(C)成分としては、使用する露光機の光波長にあわせたものであれば特に制限はなく、具体的には例えば、ベンゾフェノン、N,N’−テトラメチル−4,4’−ジアミノベンゾフェノン(ミヒラーケトン)、N,N’−テトラエチル−4,4’−ジアミノベンゾフェノン、4−メトキシ−4’−ジメチルアミノベンゾフェノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン−1、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−プロパノン−1等の芳香族ケトン;2−エチルアントラキノン、フェナントレンキノン、2−tert−ブチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2−ベンズアントラキノン、2,3−ベンズアントラキノン、2−フェニルアントラキノン、2,3−ジフェニルアントラキノン、1−クロロアントラキノン、2−メチルアントラキノン、1,4−ナフトキノン、9,10−フェナンタラキノン、2−メチル−1,4−ナフトキノン、2,3−ジメチルアントラキノン等のキノン類;ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル化合物;ベンゾイン、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン化合物;ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体;9−フェニルアクリジン、1,7−ビス(9,9’−アクリジニル)ヘプタン等のアクリジン誘導体;N−フェニルグリシン、N−フェニルグリシン誘導体;クマリン系化合物;2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジ(メトキシフェニル)イミダゾール二量体、2−(o−フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(o−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(p−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体等のイミダゾール二量体;1−(4−メトキシフェニル)−2,2−ジメトキシ−2−フェニルエタン−1−オン、1−(4−メトキシフェニル)−2−メトキシ−2−エトキシ−2−フェニルエタン−1−オン、1−(4−メトキシフェニル)−2−メトキシ−2−プロポキシ−2−フェニルエタン−1−オン、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン(通称ベンジルジメチルケタール);などが挙げられる。また、2つの2,4,5−トリアリールイミダゾールのアリール基の置換基は同一で対象な化合物を与えてもよいし、相違して非対称な化合物を与えてもよい。また、ジエチルチオキサントンとジメチルアミノ安息香酸の組み合わせのように、チオキサントン系化合物と3級アミン化合物とを組み合わせでもよい。これらは、単独で、又は二種類以上を組み合わせて用いることができる。
Component (C): Photopolymerization initiator The component (C) that can be used in the present invention is not particularly limited as long as it matches the light wavelength of the exposure machine to be used. Specifically, for example, benzophenone, N, N′-tetramethyl-4,4′-diaminobenzophenone (Michler ketone), N, N′-tetraethyl-4,4′-diaminobenzophenone, 4-methoxy-4′-dimethylaminobenzophenone, 2-benzyl-2 -Aromatic ketones such as dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-propanone-1, 2-ethylanthraquinone, Phenanthrenequinone, 2-tert-butylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, 2, -Benzanthraquinone, 2-phenylanthraquinone, 2,3-diphenylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone, 2-methylanthraquinone, 1,4-naphthoquinone, 9,10-phenantharaquinone, 2-methyl-1,4-naphthoquinone, Quinones such as 2,3-dimethylanthraquinone; benzoin ether compounds such as benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether and benzoin phenyl ether; benzoin compounds such as benzoin, methyl benzoin and ethyl benzoin; benzyl derivatives such as benzyl dimethyl ketal; 9- Acridine derivatives such as phenylacridine, 1,7-bis (9,9′-acridinyl) heptane; N-phenylglycine, N-phenylglycine derivatives; coumarin compounds; 2- (o-chloroph Nyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-di (methoxyphenyl) imidazole dimer, 2- (o-fluorophenyl) -4,5-diphenylimidazole Dimers, imidazole dimers such as 2- (o-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (p-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer; (4-methoxyphenyl) -2,2-dimethoxy-2-phenylethane-1-one, 1- (4-methoxyphenyl) -2-methoxy-2-ethoxy-2-phenylethane-1-one, 1- (4-Methoxyphenyl) -2-methoxy-2-propoxy-2-phenylethane-1-one, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one ( It referred benzyl dimethyl ketal); and the like. Further, the substituents of the aryl groups of two 2,4,5-triarylimidazoles may be the same to give the target compound, or differently give an asymmetric compound. Moreover, a combination of a thioxanthone compound and a tertiary amine compound may be used, such as a combination of diethylthioxanthone and dimethylaminobenzoic acid. These can be used alone or in combination of two or more.

中でも、解像性を良好にする観点から、アクリジン誘導体及びベンジル誘導体を含むことが好ましく、特に1,7−ビス(9,9’−アクリジニル)ヘプタンを含むことが好ましい。   Among these, from the viewpoint of improving resolution, it is preferable to include an acridine derivative and a benzyl derivative, and it is particularly preferable to include 1,7-bis (9,9'-acridinyl) heptane.

上記(C)成分の含有量は、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部に対して、光感度に優れる点では、0.1質量部以上が好ましく、0.2質量部以上であることがより好ましい。また、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部に対して、感光性樹脂組成物の内部の光硬化に優れる点では20質量部以下が好ましく、10質量部以下であることがより好ましい。   The content of the component (C) is preferably 0.1 parts by mass or more and 0.2 parts by mass or more in terms of excellent photosensitivity with respect to 100 parts by mass of the total amount of the components (A) and (B). It is more preferable that Further, with respect to 100 parts by mass of the total amount of the component (A) and the component (B), 20 parts by mass or less is preferable, and 10 parts by mass or less is more preferable in terms of excellent photocuring inside the photosensitive resin composition. preferable.

上記(C)成分として、1,7−ビス(9,9’−アクリジニル)ヘプタンを含む場合、その含有量は、上記(A)成分と(B)成分の総量100質量部に対して、光感度に優れる点では、0.05〜1質量部が好ましく、0.1〜0.5質量部であることがより好ましい。   In the case where 1,7-bis (9,9′-acridinyl) heptane is included as the component (C), the content thereof is light relative to 100 parts by mass of the total amount of the components (A) and (B). In the point which is excellent in a sensitivity, 0.05-1 mass part is preferable, and it is more preferable that it is 0.1-0.5 mass part.

(D)成分:エポキシ基を有する化合物
本発明で用いることのできる(D)成分としては、エポキシ基(オキシラン環)を有する化合物等が挙げられる。
Component (D): Compound having epoxy group Examples of the component (D) that can be used in the present invention include compounds having an epoxy group (oxirane ring).

エポキシ基を有する化合物としては、例えば、ビスフェノールAジグリシジルエーテル等のビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールFジグリシジルエーテル等のビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールSジグリシジルエーテル等のビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビフェノールジグリシジルエーテル等のビフェノール型エポキシ樹脂、ビキシレノールジグリシジルエーテル等のビキシレノール型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールAグリシジルエーテル等の水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、及び、それらの二塩基酸変性ジグリシジルエーテル型エポキシ樹脂などが挙げられる。   Examples of the compound having an epoxy group include bisphenol A type epoxy resins such as bisphenol A diglycidyl ether, bisphenol F type epoxy resins such as bisphenol F diglycidyl ether, bisphenol S type epoxy resins such as bisphenol S diglycidyl ether, and biphenol. Biphenol type epoxy resin such as diglycidyl ether, bixylenol type epoxy resin such as bixylenol diglycidyl ether, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin such as hydrogenated bisphenol A glycidyl ether, dicyclopentadiene type epoxy resin, cresol novolac type epoxy Examples thereof include resins and dibasic acid-modified diglycidyl ether type epoxy resins thereof.

これらの化合物としては市販品を用いることができる。例えば、ビスフェノールAジグリシジルエーテルとしては、エピコート828、エピコート1001及びエピコート1002(いずれもジャパンエポキシレジン株式会社製、商品名)、エピクロン1055(DIC株式会社製、商品名)等を挙げることができる。   Commercial products can be used as these compounds. Examples of bisphenol A diglycidyl ether include Epicoat 828, Epicoat 1001 and Epicoat 1002 (all trade names, manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.) and Epicron 1055 (produced by DIC Corporation, trade names).

ビスフェノールFジグリシジルエーテルとしては、エピコート807(ジャパンエポキシレジン株式会社製、商品名)等を挙げることができ、ビスフェノールSジグリシジルエーテルとしてはEBPS−200(日本化薬株式会社製、商品名)及びエピクロンEXA−1514(DIC株式会社製、商品名)等を挙げることができる。   Examples of bisphenol F diglycidyl ether include Epicoat 807 (trade name, manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.), and examples of bisphenol S diglycidyl ether include EBPS-200 (trade name, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) and Epicron EXA-1514 (manufactured by DIC Corporation, trade name) and the like can be mentioned.

また、ビフェノールジグリシジルエーテルとしてはYL−6121(ジャパンエポキシレジン株式会社製、商品名)等を挙げることができ、ビキシレノールジグリシジルエーテルとしてはYX−4000(ジャパンエポキシレジン株式会社製、商品名)等を挙げることができる。   Examples of the biphenol diglycidyl ether include YL-6121 (trade name, manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.). Examples of the bixylenol diglycidyl ether include YX-4000 (trade name, manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.). Etc.

さらに、水添ビスフェノールAグリシジルエーテルとしてはST−2004及びST−2007(いずれも東都化成株式会社製、商品名)等を挙げることができ、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂としてはエピクロンHP−7200L(DIC株式会社製、商品名)等を挙げることができ、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂としてはエピクロンN−670−EXP−S(DIC株式会社製、商品名)等を挙げることができる。また、上記した二塩基酸変性ジグリシジルエーテル型エポキシ樹脂としてはST−5100及びST−5080(いずれも東都化成株式会社製、商品名)等を挙げることができる。   Furthermore, examples of the hydrogenated bisphenol A glycidyl ether include ST-2004 and ST-2007 (both manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd., trade names), and the dicyclopentadiene type epoxy resin includes Epicron HP-7200L (DIC). (Trade name, manufactured by Co., Ltd.) and the like, and examples of the cresol novolac type epoxy resin include Epicron N-670-EXP-S (trade name, manufactured by DIC Corporation). In addition, examples of the dibasic acid-modified diglycidyl ether type epoxy resin include ST-5100 and ST-5080 (both manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd., trade names).

これらの中でも、電極の溶解を抑える点では、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂が好ましい。また、上記(D)成分は、単独で、又は二種類以上を組み合わせて用いることができる。   Among these, a cresol novolac type epoxy resin is preferable in terms of suppressing dissolution of the electrode. Moreover, the said (D) component can be used individually or in combination of 2 or more types.

(E)成分:無機系黒色顔料
本発明で用いることのできる(E)成分としては、例えば、チタンブラック、カーボンブラック、コバルトブラック等が挙げられ、360nm及び405nmの透過性が良好である点で、チタンブラックが好ましい。
Component (E): Inorganic black pigment Examples of the component (E) that can be used in the present invention include titanium black, carbon black, cobalt black, and the like, in that the transmittance at 360 nm and 405 nm is good. Titanium black is preferred.

上記(E)成分の含有量は、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部に対して、遮光性に優れる点では、0.1質量部以上が好ましく、0.2質量部以上がより好ましい。また、密着性及び解像性に優れる点では、10質量部以下が好ましく、5質量部以下がより好ましい。   The content of the component (E) is preferably 0.1 parts by mass or more, more preferably 0.2 parts by mass or more in terms of excellent light shielding properties with respect to 100 parts by mass of the total amount of the components (A) and (B). Is more preferable. Moreover, 10 mass parts or less are preferable at the point which is excellent in adhesiveness and resolution, and 5 mass parts or less are more preferable.

以上のような成分を含む感光性樹脂組成物は、さらに必要に応じて、マラカイトグリーン等の染料、トリブロモフェニルスルホン、ロイコクリスタルバイオレット等の光発色剤、熱発色防止剤、p−トルエンスルホンアミド等の可塑剤、黒色以外の顔料、充填剤、消泡剤、難燃剤、安定剤、密着性付与剤、レベリング剤、剥離促進剤、酸化防止剤、香料、イメージング剤、熱架橋剤などを、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部に対して各々0.01〜20質量部程度含有することができる。これらは単独で、又は二種類以上を組み合わせて用いることができる。   The photosensitive resin composition containing the components as described above may further comprise a dye such as malachite green, a photochromic agent such as tribromophenylsulfone or leucocrystal violet, a thermochromic inhibitor, p-toluenesulfonamide, if necessary. Plasticizers such as, pigments other than black, fillers, antifoaming agents, flame retardants, stabilizers, adhesion-imparting agents, leveling agents, peeling accelerators, antioxidants, fragrances, imaging agents, thermal crosslinking agents, etc. About 0.01-20 mass parts can each be contained with respect to 100 mass parts of total amounts of (A) component and (B) component. These can be used alone or in combination of two or more.

以上のような成分を含む本発明の感光性樹脂組成物は、例えば、含有成分をロールミル、ビーズミル等で均一に混練、混合することにより得ることができる。また、必要に応じて、メタノール、エタノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、トルエン、N,N−ジメチルホルムアミド、プロピレングリコールモノメチルエーテル等の溶剤又はこれらの混合溶剤に溶解して、固形分30〜60質量%程度の溶液として用いることができる。   The photosensitive resin composition of the present invention containing the components as described above can be obtained, for example, by uniformly kneading and mixing the contained components with a roll mill, a bead mill or the like. If necessary, it can be dissolved in a solvent such as methanol, ethanol, acetone, methyl ethyl ketone, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, toluene, N, N-dimethylformamide, propylene glycol monomethyl ether or a mixed solvent thereof to obtain a solid content of 30 It can be used as a solution of about ˜60% by mass.

得られた感光性樹脂組成物を用いて画像表示装置用基板上に感光性樹脂組成物層を形成する方法としては、特に制限はないが、上記基板上に感光性樹脂組成物を液状レジストとして塗布して乾燥することができる。また、必要に応じて感光性樹脂組成物層上に保護フィルムを被覆することができる。さらに、後に詳しく述べるが、感光性樹脂組成物層を感光性エレメントの形態で用いることが好ましい。液状レジストとして使用する場合、塗布後に保護フィルムを被覆して用いる場合の保護フィルムとしては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン等の重合体フィルムが挙げられる。   A method for forming a photosensitive resin composition layer on a substrate for an image display device using the obtained photosensitive resin composition is not particularly limited, but the photosensitive resin composition is used as a liquid resist on the substrate. It can be applied and dried. Moreover, a protective film can be coat | covered on the photosensitive resin composition layer as needed. Further, as will be described in detail later, it is preferable to use the photosensitive resin composition layer in the form of a photosensitive element. When used as a liquid resist, examples of the protective film in the case of coating and using a protective film after coating include polymer films such as polyethylene and polypropylene.

本発明の感光性エレメントは、支持体と、その上に形成された上記感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層とを備える。支持体としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエステル等の重合体フィルムを好ましく用いることができる。重合体フィルムの厚みは、1〜100μm程度とすることが好ましく、5〜50μmであることがより好ましく、10〜30μmであることがさらに好ましい。   The photosensitive element of this invention is equipped with the support body and the photosensitive resin composition layer which consists of the said photosensitive resin composition formed on it. As the support, for example, a polymer film such as polyethylene terephthalate, polypropylene, polyethylene, or polyester can be preferably used. The thickness of the polymer film is preferably about 1 to 100 μm, more preferably 5 to 50 μm, and still more preferably 10 to 30 μm.

支持体上への感光性樹脂組成物層の形成方法は、特に限定されないが、感光性樹脂組成物の溶液を塗布、乾燥することにより好ましく実施できる。塗布される感光性樹脂組成物層の厚みは、用途により異なるが、乾燥後の厚みで10〜100μm程度であることが好ましい。画像表示装置の隔壁として用いる場合、感光性樹脂組成物層の厚みは、コントラストに優れる点では、乾燥後の厚みで10〜70μmであることがより好ましく、15〜60μmであることがさらに好ましい。   Although the formation method of the photosensitive resin composition layer on a support body is not specifically limited, It can implement preferably by apply | coating and drying the solution of the photosensitive resin composition. The thickness of the photosensitive resin composition layer to be applied varies depending on the use, but is preferably about 10 to 100 μm in thickness after drying. When used as a partition wall of an image display device, the thickness of the photosensitive resin composition layer is more preferably 10 to 70 μm, and further preferably 15 to 60 μm in terms of excellent contrast.

塗布は、例えば、ロールコータ、コンマコータ、グラビアコータ、エアーナイフコータ、ダイコータ、バーコータ等の公知の方法で行うことができる。乾燥は、例えば70〜150℃、2〜30分間程度で行うことができる。また、感光性樹脂組成物層中の残存有機溶剤量は、後の工程での有機溶剤の拡散を防止する点から、2質量%以下とすることが好ましい。   The coating can be performed by a known method such as a roll coater, a comma coater, a gravure coater, an air knife coater, a die coater, or a bar coater. Drying can be performed, for example, at 70 to 150 ° C. for about 2 to 30 minutes. Further, the amount of the remaining organic solvent in the photosensitive resin composition layer is preferably 2% by mass or less from the viewpoint of preventing diffusion of the organic solvent in the subsequent step.

支持体上に塗布された感光性樹脂組成物層上に保護フィルムを用いて、感光性樹脂組成物層表面を被覆してもよい。保護フィルムとしては、感光性樹脂組成物層と支持体の接着力よりも、感光性樹脂組成物層と保護フィルムの接着力の方が小さいものが好ましくポリエチレンやポリプロピレンなどのオレフィン系フィルムやポリエチレンテレフタレートを代表とするポリエステルフィルムが用いられる。ポリエステルフィルムを支持体として用い、保護フィルムに同種のポリエステルフィルムを用いる場合には、保護フィルムの感光性樹脂層に接触する面に加工処理をしたものを用いることが好ましい。またこれらの保護フィルムは、低フィッシュアイのフィルムが好ましい。ここで、「フィッシュアイ」とは、材料を熱溶融し、混練、押し出し、二軸延伸する押出法、キャスティング法等によりフィルムを製造する際に、材料の異物、未溶解物、酸化劣化物等がフィルム中に取り込まれたものを意味する。すなわち、「低フィッシュアイ」とは、フィルム中の上記異物等が少ないことを意味する。さらに、感光性フィルムは、感光性樹脂組成物層、支持体及び任意の保護フィルムの他に、クッション層、接着層、光吸収層、ガスバリア層等の中間層や保護層を有していてもよい。   You may coat | cover the photosensitive resin composition layer surface using a protective film on the photosensitive resin composition layer apply | coated on the support body. The protective film preferably has a smaller adhesive strength between the photosensitive resin composition layer and the protective film than the adhesive strength between the photosensitive resin composition layer and the support, and is preferably an olefin film such as polyethylene or polypropylene or polyethylene terephthalate. Is used as a representative polyester film. When using the polyester film as a support and using the same kind of polyester film as the protective film, it is preferable to use a protective film whose surface is in contact with the photosensitive resin layer. These protective films are preferably low fisheye films. Here, “fish eye” means that a material is melted, kneaded, extruded, biaxially stretched, when a film is produced by an extrusion method, a casting method, etc., foreign materials, undissolved materials, oxidized degradation products, etc. Means incorporated into the film. That is, “low fish eye” means that the above-mentioned foreign matter or the like in the film is small. Furthermore, the photosensitive film may have an intermediate layer and a protective layer such as a cushion layer, an adhesive layer, a light absorption layer, and a gas barrier layer in addition to the photosensitive resin composition layer, the support, and the optional protective film. Good.

製造された感光性エレメントは、通常、円筒状の巻芯に巻きとって貯蔵される。なお、この際支持体が外側になるように巻き取られることが好ましい。上記ロール状の感光性エレメントロールの端面には、端面保護の見地から端面セパレータを設置することが好ましく、耐エッジフュージョンの見地から防湿端面セパレータを設置することが好ましい。ここで言うエッジフュージョンとは、コールドフローとも称される端面から感光性樹脂組成物層が染み出してくる現象を表す。この現象が発生すると隔壁形成時の異物発生源となり、好ましくない現象である。また、梱包方法として、透湿性が小さく遮光性に優れる黒色シートに包んで包装することが好ましい。上記巻芯としては、例えば、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ABS樹脂(アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体)等のプラスチックが挙げられる。   The manufactured photosensitive element is usually wound around a cylindrical core and stored. In addition, it is preferable to wind up so that a support body may become an outer side at this time. An end face separator is preferably installed on the end face of the roll-shaped photosensitive element roll from the viewpoint of end face protection, and a moisture-proof end face separator is preferably installed from the viewpoint of edge fusion resistance. The term “edge fusion” as used herein refers to a phenomenon in which the photosensitive resin composition layer exudes from the end face, also called cold flow. When this phenomenon occurs, it becomes a foreign matter generation source when the partition wall is formed, which is an undesirable phenomenon. Further, as a packing method, it is preferable to wrap and package in a black sheet having small moisture permeability and excellent light shielding properties. Examples of the core include plastics such as polyethylene resin, polypropylene resin, polystyrene resin, polyvinyl chloride resin, and ABS resin (acrylonitrile-butadiene-styrene copolymer).

次に、本発明の感光性樹脂組成物及び又は感光性エレメントを用いた画像表示装置の隔壁の形成方法及び製造方法について説明する。画像表示装置の基板上に、感光性樹脂組成物、又は感光性エレメントを用いて感光性樹脂組成物層を積層する積層工程と、上記感光性樹脂組成物層の所定部分に活性光線を照射して露光部を光硬化せしめる露光工程と、上記露光部以外の部分を除去して光硬化物パターンを形成する現像工程とを有する。   Next, the formation method and manufacturing method of the partition of the image display apparatus using the photosensitive resin composition and / or photosensitive element of this invention are demonstrated. A lamination step of laminating a photosensitive resin composition or a photosensitive resin composition layer using a photosensitive element on a substrate of an image display device, and a predetermined portion of the photosensitive resin composition layer is irradiated with actinic rays. An exposure step of photocuring the exposed portion and a developing step of removing a portion other than the exposed portion to form a photocured product pattern.

まず、上記の本発明の感光性樹脂組成物層を画像表示装置の電極基板上に積層する。上記基板としては、ガラス基板若しくはポリマーフィルム基板のような絶縁基板若しくはシリコン基板等の半導体基板上にITO、IZO、Agワイヤ・インクのような電極が形成されたものが挙げられる。電極の形成方法としては蒸着、スパッタリング等の方法で積層した電極材料をフォトリソ手法を用いてパターン形成する方法や、感光性を有する電極材料をパターニングする方法などが取られる。この電極の形成方法に関しては特に制限はない。電極基板上への積層方法としては、上記した塗布方法が用いられる他、感光性エレメントを用いることもできる。   First, the above-described photosensitive resin composition layer of the present invention is laminated on an electrode substrate of an image display device. Examples of the substrate include an insulating substrate such as a glass substrate or a polymer film substrate or a semiconductor substrate such as a silicon substrate on which electrodes such as ITO, IZO, and Ag wire / ink are formed. As an electrode forming method, a method of patterning an electrode material laminated by a method such as vapor deposition or sputtering using a photolithography method, a method of patterning a photosensitive electrode material, or the like can be used. There are no particular restrictions on the method of forming this electrode. As a method for laminating on the electrode substrate, the above-described coating method can be used, and a photosensitive element can also be used.

感光性エレメントを用いる積層方法は、感光性樹脂組成物層上に保護フィルムが存在している場合には、保護フィルムを除去しながら基板上へ積層する。上記積層条件としては、例えば、感光性樹脂組成物層を70〜130℃程度に加熱しながら、基板上に0.1〜1MPa程度(1〜10kgf/cm程度)の圧力で圧着することにより積層する方法等が挙げられ、減圧下で積層することも可能である。基板表面の形状は、通常は電極パターンが形成されているが、平坦であったり、必要に応じて凹凸が形成されていてもよい。 In the laminating method using the photosensitive element, when a protective film is present on the photosensitive resin composition layer, it is laminated on the substrate while removing the protective film. As the lamination condition, for example, by heating the photosensitive resin composition layer to about 70 to 130 ° C., it is pressure-bonded on the substrate with a pressure of about 0.1 to 1 MPa (about 1 to 10 kgf / cm 2 ). The method of laminating | stacking is mentioned, It is also possible to laminate | stack under reduced pressure. An electrode pattern is usually formed on the surface of the substrate, but it may be flat or uneven as necessary.

感光性樹脂組成物の積層後、感光性樹脂組成物層に画像状に活性光線を照射して、露光部を光硬化させる。画像状に活性光線を照射させる方法としては、感光性樹脂組成物層上にマスクパターンを設置して画像状に活性光線を照射し、露光部の感光性樹脂組成物層を光硬化させる方法がある。マスクパターンは、ネガ型でもポジ型でもよく、一般に用いられているものを使用できる。活性光線の光源としては、公知の光源、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等の紫外線、可視光などを有効に放射するものが用いられる。また、露光方法としては、マスクパターンを用いずにレーザーで直接パターンを描画する、直接描画露光法を用いることもできる。   After lamination of the photosensitive resin composition, the photosensitive resin composition layer is irradiated with an actinic ray in an image form to photocur the exposed portion. As a method of irradiating actinic rays in an image form, there is a method of setting a mask pattern on the photosensitive resin composition layer and irradiating the image form with an actinic ray and photocuring the photosensitive resin composition layer in the exposed portion. is there. The mask pattern may be a negative type or a positive type, and a commonly used one can be used. As the light source of actinic light, a known light source, for example, a light source that effectively emits ultraviolet light, visible light, or the like, such as a carbon arc lamp, a mercury vapor arc lamp, a high-pressure mercury lamp, or a xenon lamp is used. As an exposure method, a direct drawing exposure method in which a pattern is directly drawn with a laser without using a mask pattern can also be used.

露光後に未露光部の感光性樹脂組成物層を現像により選択的に除去することにより、画像表示装置用の基板上に光硬化物パターンが形成される。なお現像工程は、支持体が存在する場合は、現像に先立ち、支持体を除去する。現像は、アルカリ性水溶液、水系現像液、有機溶剤等の現像液によるウエット現像、ドライ現像等で未露光部を除去することにより行われる。本発明においては、アルカリ性水溶液を用いることが好ましい。アルカリ性水溶液としては、例えば、0.1〜5質量%炭酸ナトリウムの希薄溶液、0.1〜5質量%炭酸カリウムの希薄溶液、0.1〜5質量%水酸化カリウムの希薄溶液等が挙げられる。このアルカリ性水溶液のpHは9〜11の範囲とすることが好ましく、その温度は、感光性樹脂組成物層の現像性に合わせて調節される。また、アルカリ性水溶液中には、界面活性剤、消泡剤、有機溶剤等を混入させてもよい。上記現像の方式としては、例えば、ディップ方式、スプレー方式、ブラッシング、スラッピング等が挙げられるが、解像度を向上させるにはスプレー方式が好ましい。   A photocured material pattern is formed on the substrate for an image display device by selectively removing the photosensitive resin composition layer in the unexposed portion after the exposure by development. In the development step, when a support is present, the support is removed prior to development. Development is performed by removing unexposed portions by wet development, dry development, or the like using a developer such as an alkaline aqueous solution, an aqueous developer, or an organic solvent. In the present invention, it is preferable to use an alkaline aqueous solution. Examples of the alkaline aqueous solution include a dilute solution of 0.1 to 5 mass% sodium carbonate, a dilute solution of 0.1 to 5 mass% potassium carbonate, a dilute solution of 0.1 to 5 mass% potassium hydroxide, and the like. . The pH of the alkaline aqueous solution is preferably in the range of 9 to 11, and the temperature is adjusted according to the developability of the photosensitive resin composition layer. Moreover, you may mix surfactant, an antifoamer, an organic solvent, etc. in alkaline aqueous solution. Examples of the development method include a dip method, a spray method, brushing, and slapping. The spray method is preferable for improving the resolution.

現像後の処理として、形成された上記光硬化物パターンを、必要に応じて60〜250℃程度の加熱処理によりさらに硬化してもよい。   As a treatment after development, the formed photocured product pattern may be further cured by a heat treatment at about 60 to 250 ° C., if necessary.

以下、実施例により本発明についてより具体的に説明する。ただし、本発明の技術思想を逸脱しない限り、本発明はこれらの実施例に制限されるものではない。
(実施例1〜5及び比較例1〜7)
(C)成分:光重合開始剤
EAB(N,N’−テトラエチル−4,4’−ジアミノベンゾフェノン、保土ヶ谷化学工業株式会社製、商品名)0.05g、TPS(トリブロモメチルフェニルスルホン、住友精化株式会社製、製品名)0.5g、N−1717(1,7−ビス(9−アクリジニル)ヘプタン、株式会社ADEKA社製、商品名)0.3g、I−651(ベンジルジメチルケタール、チバスペシャリティーケミカル株式会社製、商品名)3g
(D)成分:エポキシ基を有する化合物
エピクロンN−670−EXP−S(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、DIC株式会社製、商品名)12.8g
(E)成分:無機系黒色顔料
BT−1HCA(チタンブラック分散液、株式会社ジェムコ製、商品名)0.59g
(その他の成分)
フローレンDOPA−17HF(分散剤、共栄社化学株式会社製、商品名)0.25g、SZ−6030(メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、東レ・ダウコーニング株式会社製、商品名)5g、トルエン12g、メタノール4gを配合し、溶液を得た。
Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to these examples without departing from the technical idea of the present invention.
(Examples 1-5 and Comparative Examples 1-7)
Component (C): Photopolymerization initiator EAB (N, N′-tetraethyl-4,4′-diaminobenzophenone, manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd., trade name) 0.05 g, TPS (tribromomethylphenylsulfone, Sumitomo Sei) Manufactured by Kasei Co., Ltd., product name) 0.5 g, N-1717 (1,7-bis (9-acridinyl) heptane, manufactured by ADEKA Corporation, product name) 0.3 g, I-651 (benzyldimethyl ketal, Ciba Specialty Chemical Co., Ltd., trade name) 3g
Component (D): Compound having an epoxy group, Epicron N-670-EXP-S (cresol novolac type epoxy resin, manufactured by DIC Corporation, trade name) 12.8 g
(E) component: inorganic black pigment BT-1HCA (titanium black dispersion, manufactured by Gemco Co., Ltd., trade name) 0.59 g
(Other ingredients)
Fluorene DOPA-17HF (dispersant, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., trade name) 0.25 g, SZ-6030 (methacryloyloxypropyltrimethoxysilane, Toray Dow Corning Co., Ltd., trade name) 5 g, toluene 12 g, methanol 4 g Was mixed to obtain a solution.

この溶液に表1に示す(A)成分、(B)成分を溶解させて感光性樹脂組成物を得た。次いで、この感光性樹脂組成物溶液を16μm厚のポリエチレンテレフタレートフィルム(東レ株式会社製、商品名:FB−40)上に均一に塗布し、90℃の熱風対流式乾燥機で10分間乾燥した後、ポリエチレン製保護フィルム(フィルム長手方向の引張強さ:16MPa、フィルム幅方向の引張強さ:12MPa、商品名:NF−15,タマポリ株式会社製)で保護して感光性エレメントを得た。感光性樹脂組成物層の乾燥後の膜厚は、45μmであった。   The components (A) and (B) shown in Table 1 were dissolved in this solution to obtain a photosensitive resin composition. Next, this photosensitive resin composition solution was uniformly applied on a 16 μm thick polyethylene terephthalate film (trade name: FB-40, manufactured by Toray Industries, Inc.) and dried for 10 minutes with a hot air convection dryer at 90 ° C. A photosensitive element was obtained by protection with a protective film made of polyethylene (tensile strength in the film longitudinal direction: 16 MPa, tensile strength in the film width direction: 12 MPa, trade name: NF-15, manufactured by Tamapoly Co., Ltd.). The film thickness after drying of the photosensitive resin composition layer was 45 μm.

ITO付PET基材(東洋紡績株式会社製R−300)のITO面上に、上記感光性エレメントを、感光性樹脂組成物層がITO付PET基材表面に接するように、ポリエチレン製保護フィルムを剥離しながら110℃に加熱したラミネートロールを通してラミネートした。できあがった積層物の構成は、下からITO付PET基材、感光性樹脂組成物層、ポリエチレンテレフタレートフィルム(支持体)となる。得られた積層物について、フィルム性、感度、密着性、解像性及び電極の溶解性について評価を行った。   A polyethylene protective film is placed on the ITO surface of a PET substrate with ITO (R-300 manufactured by Toyobo Co., Ltd.) so that the photosensitive resin composition layer is in contact with the surface of the PET substrate with ITO. Lamination was performed through a laminating roll heated to 110 ° C. while peeling. The structure of the completed laminate is a PET base with ITO, a photosensitive resin composition layer, and a polyethylene terephthalate film (support) from the bottom. The obtained laminate was evaluated for film properties, sensitivity, adhesion, resolution, and electrode solubility.

<フィルム性の評価>
感光性エレメントを作製した後、10℃以下で保管し、60日後に感光性樹脂組成物層表面におけるしわ等の発生状況を評価した。2ヶ月以内にしわの発生が認められない場合を「良好」とし、発生が認められた場合にその状況を評価した。結果を表1に示した。
<Evaluation of film properties>
After producing the photosensitive element, it was stored at 10 ° C. or less, and after 60 days, the occurrence of wrinkles on the surface of the photosensitive resin composition layer was evaluated. The case where wrinkles were not observed within 2 months was regarded as “good”, and the situation was evaluated when the occurrence was observed. The results are shown in Table 1.

<感度の評価>
高圧水銀灯ランプを有する平行光露光機EXM−1201(株式会社オーク製作所製)を用いて、41段ステップタブレットを有するフォトツールを積層物のポリエチレンテレフタレートフィルム上に密着させ、露光を行った。露光後、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、1質量%炭酸ナトリウム水溶液を30℃でスプレーすることにより、未露光部分を除去した。41段ステップタブレットの現像後の残存ステップ段数が29.0となるエネルギー量(露光量)を感度(mJ/cm)とした。このエネルギー量の数値が小さい程、感度が高いことを示す。表1に評価結果を示した。
<Evaluation of sensitivity>
Using a parallel light exposure machine EXM-1201 (manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.) having a high-pressure mercury lamp, a phototool having a 41-step tablet was brought into close contact with the laminated polyethylene terephthalate film for exposure. After the exposure, the polyethylene terephthalate film was peeled off, and an unexposed portion was removed by spraying a 1% by mass aqueous sodium carbonate solution at 30 ° C. The energy amount (exposure amount) at which the number of remaining step steps after development of the 41-step tablet was 29.0 was defined as sensitivity (mJ / cm 2 ). It shows that a sensitivity is so high that the numerical value of this energy amount is small. Table 1 shows the evaluation results.

<密着性の評価>
高圧水銀灯ランプを有する平行光露光機(株式会社オーク製作所製)EXM−1201を用いて、密着性評価用ネガとしてライン幅/スペース幅が10/300〜80/300(単位:μm、スペース幅一定)の配線パターンを有するフォトツールと、41段ステップタブレットを有するフォトツールを積層物のポリエチレンテレフタレートフィルム上に密着させ、41段ステップタブレットの現像後の残存ステップ段数が29.0となるエネルギー量で露光を行った。露光後、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、1質量%炭酸ナトリウム水溶液を30℃でスプレーすることにより、未露光部分を除去して密着性を評価した。密着性は現像液により剥離されずに残ったラインの幅(μm)で表され、この数値が小さい程、細いラインでもガラス基板から剥離せずに密着していることから、密着性が高いことを示す。表1に評価結果を示した。
<Evaluation of adhesion>
Using a parallel light exposure machine (manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.) EXM-1201 having a high-pressure mercury lamp, the line width / space width is 10/300 to 80/300 (unit: μm, space width constant) as a negative for adhesion evaluation ) And a phototool having a 41-step tablet are closely attached to the polyethylene terephthalate film of the laminate, and the amount of energy of the remaining step after development of the 41-step tablet is 29.0. Exposure was performed. After the exposure, the polyethylene terephthalate film was peeled off, and a 1% by mass sodium carbonate aqueous solution was sprayed at 30 ° C. to remove the unexposed part and evaluate the adhesion. Adhesiveness is expressed by the width (μm) of the line that remains without being peeled off by the developer. The smaller the value, the higher the adhesiveness because the thin line is in close contact with the glass substrate without being peeled off. Indicates. Table 1 shows the evaluation results.

<解像性の評価>
41段ステップタブレットを有するフォトツールと、解像性評価用ネガとしてライン幅/スペース幅が30/30〜200/200(単位:μm)の配線パターンを有するフォトツールを積層物のポリエチレンテレフタレートフィルム上に密着させ、高圧水銀灯ランプを有する平行光露光機(株式会社オーク製作所製)EXM−1201を用いて、41段ステップタブレットの現像後の残存ステップ段数が29.0となるエネルギー量で露光を行った。露光後、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、1質量%炭酸ナトリウム水溶液を30℃でスプレーすることにより、未露光部分を除去して解像性を評価した。解像性は現像処理によって未露光部が良好に除去された最も小さいスペース幅(μm)で表され、この数値が小さいほど解像性は良好である。表1に評価結果を示した。
<Evaluation of resolution>
On a polyethylene terephthalate film of a laminate, a phototool having a 41-step tablet and a phototool having a wiring pattern with a line width / space width of 30/30 to 200/200 (unit: μm) as a negative for resolution evaluation Using a collimated light exposure machine (manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.) EXM-1201 having a high-pressure mercury lamp lamp, exposure is performed with an energy amount such that the number of remaining step stages after development of the 41-step tablet is 29.0. It was. After the exposure, the polyethylene terephthalate film was peeled off, and a 1% by mass aqueous sodium carbonate solution was sprayed at 30 ° C. to remove the unexposed part and evaluate the resolution. The resolution is represented by the smallest space width (μm) in which the unexposed portion is removed well by the development process, and the smaller this value, the better the resolution. Table 1 shows the evaluation results.

<電極の溶解性>
ITO−TEG(Test Element Group)基板(ライン幅/スペース幅が80/80(単位:μm))のITO面上に、上記感光性エレメントを、感光性樹脂組成物層がITO−TEG基板表面に接するように、ポリエチレン製保護フィルムを剥離しながら110℃に加熱したラミネートロールを通してラミネートした。できあがった積層物の構成は、下からITO−TEG基板、感光性樹脂組成物層、ポリエチレンテレフタレートフィルムとなる。得られた積層物を、高圧水銀灯ランプを有する平行光露光機(株式会社オーク製作所製)EXM−1201を用いて、現像後の残存ステップ段数が29.0となるエネルギー量で露光を行った。露光後、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、1質量%炭酸ナトリウム水溶液を30℃でスプレーすることにより、未露光部分を除去した。次いで、120℃に加熱した箱型乾燥機(三菱電機株式会社製、型番:NV50−CA)内に1時間静置した。次いで、60℃、90%RHの条件下で、80Vの直流電圧を印加し、100時間経過後の陽極の抵抗値を測定し、下記式より初期値からの上昇率を算出した。抵抗値の上昇率100%未満を「○」と、100%以上を「△」とし、電極が溶解し抵抗値の測定が不可能であったものを「×」として評価した。表1に評価結果を示した。
抵抗値の上昇率(%)=(100時間経過後の陽極抵抗値)×100/(陽極抵抗値の初期値)−100
<Solubility of electrode>
On the ITO surface of an ITO-TEG (Test Element Group) substrate (line width / space width is 80/80 (unit: μm)), the photosensitive element is disposed on the ITO-TEG substrate surface. Lamination was carried out through a laminating roll heated to 110 ° C. while peeling off the polyethylene protective film so as to come into contact. The structure of the finished laminate is an ITO-TEG substrate, a photosensitive resin composition layer, and a polyethylene terephthalate film from the bottom. The obtained laminate was exposed with an energy amount such that the number of remaining steps after development was 29.0 using a parallel light exposure machine (manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.) EXM-1201 having a high-pressure mercury lamp. After the exposure, the polyethylene terephthalate film was peeled off, and an unexposed portion was removed by spraying a 1% by mass aqueous sodium carbonate solution at 30 ° C. Then, it left still for 1 hour in the box-type dryer (Mitsubishi Electric Corporation make, model number: NV50-CA) heated to 120 degreeC. Next, a direct current voltage of 80 V was applied under the conditions of 60 ° C. and 90% RH, the resistance value of the anode after 100 hours was measured, and the rate of increase from the initial value was calculated from the following formula. The resistance increase rate of less than 100% was evaluated as “◯”, 100% or more as “Δ”, and the case where the electrode was dissolved and the resistance value could not be measured was evaluated as “×”. Table 1 shows the evaluation results.
Resistance increase rate (%) = (Anode resistance value after 100 hours) × 100 / (Initial value of anode resistance value) −100

Figure 2012093559
配合量の単位:g
○:電極の抵抗値上昇率100%未満、△:上昇率100%以上、×:溶解ありのため測定不可
*1(MIS−115);メタクリル酸−2-ヒドロキシエチル/メタクリル酸/N−シクロヘキシルマレイミド/ジシクロペンタニルメタクリレート共重合体(質量比39.5/15/13.5/32、2−イソシアネートエチルメタクリレート1.5mmol/g付加(綜研化学株式会社製 商品名:フォレットMIS−115)
*2(樹脂A);メタクリル酸/メタクリル酸メチル/メタクリル酸ブチル共重合体(樹脂A、質量比30/35/35、重量平均分子量50,000、酸価196mgKOH/g)の48質量%メチルセロソルブ/トルエン(質量比6/4)溶液93.75g(固形分45g)
*3(HT−9082−95);末端にヒドロキシル基を有するポリカーボネート化合物、有機イソシアネート及び2−ヒドロキシエチルアクリレートを反応させて得られた光重合性化合物、重量平均分子量4000(日立化成工業株式会社製、商品名:HT−9082−95)
*4(UA21EB);トリス(ヒドロキシエチル)イソシアヌレート(新中村化学工業株式会社製、商品名NKオリゴUA−21)
*5(JTX−039B);上記一般式(2)で表される化合物であって、R及びRが上記一般式(3)で表される基、Rが上記一般式(4)で表される基、Rがメチル基、Xがエチレン基、k=7、Rがメチル基、Yがエチレン基、m=5、n=4、l=1、Z及びZが上記一般式(5)で表される基、p=6、である化合物(日本サイテックインダストリーズ株式会社製、サンプル名)
*6(FA−023M);(EO)(PO)(EO)変性ポリプロピレングリコール#700ジメタクリレート(日立化成工業株式会社製、商品名:FA−023M)
*7(FA-024M);(PO)(EO)(PO)変性ポリエチレングリコールジメタクリレート(日立化成工業株式会社製、商品名:FA−024M)
*8(APG−400);上記一般式(1)で表される化合物であって、m+n=7、であるプロピレングリコールジアクリレート(新中村化学工業社製商品名:APG−400)
*9(FA−MECH);γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β’−メタクリロイルオキシエチル−o−フタレート(日立化成工業株式会社製、商品名:FA−MECH)
Figure 2012093559
Unit of compounding amount: g
○: Resistance increase rate of electrode is less than 100%, Δ: Rate of increase is 100% or more, X: Measurement is impossible due to dissolution * 1 (MIS-115); Methacrylic acid-2-hydroxyethyl / methacrylic acid / N-cyclohexyl Maleimide / dicyclopentanyl methacrylate copolymer (mass ratio 39.5 / 15 / 13.5 / 32, 2-isocyanatoethyl methacrylate 1.5 mmol / g addition (trade name: Foret MIS-115, manufactured by Soken Chemical Co., Ltd.)
* 2 (resin A): 48% by mass methyl methacrylate / methyl methacrylate / butyl methacrylate copolymer (resin A, mass ratio 30/35/35, weight average molecular weight 50,000, acid value 196 mgKOH / g) Cellosolve / toluene (mass ratio 6/4) solution 93.75 g (solid content 45 g)
* 3 (HT-9082-95); photopolymerizable compound obtained by reacting a hydroxyl group-terminated polycarbonate compound, organic isocyanate and 2-hydroxyethyl acrylate, weight average molecular weight 4000 (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) Product name: HT-9082-95)
* 4 (UA21EB); Tris (hydroxyethyl) isocyanurate (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., trade name NK Oligo UA-21)
* 5 (JTX-039B); a compound represented by the above general formula (2), wherein R 3 and R 4 are groups represented by the above general formula (3), and R 5 is the above general formula (4). R 6 is a methyl group, X is an ethylene group, k = 7, R 7 is a methyl group, Y is an ethylene group, m = 5, n = 4, l = 1, Z 1 and Z 2 are Compound represented by general formula (5), p = 6 (Nippon Cytec Industries, Ltd., sample name)
* 6 (FA-023M); (EO) (PO) (EO) modified polypropylene glycol # 700 dimethacrylate (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name: FA-023M)
* 7 (FA-024M); (PO) (EO) (PO) modified polyethylene glycol dimethacrylate (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name: FA-024M)
* 8 (APG-400); a propylene glycol diacrylate represented by the general formula (1), wherein m + n = 7 (trade name: APG-400, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.)
* 9 (FA-MECH); γ-chloro-β-hydroxypropyl-β′-methacryloyloxyethyl-o-phthalate (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name: FA-MECH)

表1から明らかなように、(A)成分の分子内にカルボキシル基とエチレン性不飽和基を有するバインダーポリマーと(B)成分の一般式(1)で表される光重合性化合物を含有する実施例1〜5は、透明電極の溶解を防止することが可能であった。   As is clear from Table 1, the binder polymer having a carboxyl group and an ethylenically unsaturated group in the molecule of component (A) and the photopolymerizable compound represented by general formula (1) of component (B) are contained. In Examples 1 to 5, it was possible to prevent dissolution of the transparent electrode.

Claims (11)

画像表示装置において、画素を分離する隔壁を形成するための感光性樹脂組成物であって、
前記感光性樹脂組成物が、
(A)成分:分子内にカルボキシル基とエチレン性不飽和基を有するバインダーポリマー、
(B)成分:光重合性化合物、
(C)成分:光重合開始剤、
(D)成分:エポキシ基を有する化合物を含有し、
前記(B)成分が、下記一般式(1)で表される化合物を含有する、感光性樹脂組成物。
Figure 2012093559
(一般式(1)中、R及びRはそれぞれ独立に水素原子又はメチル基を示し、m及びnはそれぞれ独立に0〜50の整数を示す。ただし、m+nは1以上の整数である。)
In an image display device, a photosensitive resin composition for forming a partition separating pixels,
The photosensitive resin composition is
(A) component: a binder polymer having a carboxyl group and an ethylenically unsaturated group in the molecule;
(B) component: a photopolymerizable compound,
Component (C): photopolymerization initiator,
(D) component: contains a compound having an epoxy group,
The photosensitive resin composition in which the said (B) component contains the compound represented by following General formula (1).
Figure 2012093559
(In General Formula (1), R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group, and m and n each independently represent an integer of 0 to 50. However, m + n is an integer of 1 or more. .)
更に(E)成分:無機系黒色顔料を含有する、請求項1記載の感光性樹脂組成物。   Furthermore, (E) component: The photosensitive resin composition of Claim 1 containing an inorganic type black pigment. 前記(B)成分が、さらに、下記一般式(2)で表される化合物を含有する、請求項1又は2記載の感光性樹脂組成物。
Figure 2012093559
[一般式(2)中、R、R及びRは各々独立に、下記一般式(3):
Figure 2012093559
(一般式(3)中、Rは水素原子又はメチル基を示し、Xは炭素数2〜6のアルキレン基を示し、Zは単結合又は2価の有機基を示し、kは1〜30の整数を示す。)で表される基、或いは、下記一般式(4):
Figure 2012093559
(一般式(4)中、Rは水素原子又はメチル基を示し、Zは単結合又は2価の有機基を示し、Yは炭素数2〜6のアルキレン基を示し、mは1〜10の整数を示し、nは1〜10の整数を示し、lは0〜10の整数を示す。)で表される基を示し、R、R及びRのうちの少なくとも1つは前記一般式(4)で表される基を示す。]
The photosensitive resin composition according to claim 1 or 2, wherein the component (B) further contains a compound represented by the following general formula (2).
Figure 2012093559
[In General Formula (2), R 3 , R 4 and R 5 are each independently the following General Formula (3):
Figure 2012093559
(In General Formula (3), R 6 represents a hydrogen atom or a methyl group, X represents an alkylene group having 2 to 6 carbon atoms, Z 1 represents a single bond or a divalent organic group, and k represents 1 to Or a group represented by the following general formula (4):
Figure 2012093559
(In General Formula (4), R 7 represents a hydrogen atom or a methyl group, Z 2 represents a single bond or a divalent organic group, Y represents an alkylene group having 2 to 6 carbon atoms, and m represents 1 to 10 represents an integer, n represents an integer of 1 to 10, and l represents an integer of 0 to 10.), and at least one of R 3 , R 4 and R 5 is The group represented by the general formula (4) is shown. ]
前記一般式(4)で表される化合物におけるnが4〜25の整数である、請求項3記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition of Claim 3 whose n in the compound represented by the said General formula (4) is an integer of 4-25. 前記Z及び前記Zが、下記一般式(5)で表される2価の基である、請求項3又は請求項4記載の感光性樹脂組成物。
Figure 2012093559
[一般式(5)中、pは1〜10の整数を示す。]
Wherein Z 1 and the Z 2 is a divalent group represented by the following general formula (5), according to claim 3 or claim 4 photosensitive resin composition.
Figure 2012093559
[In general formula (5), p shows the integer of 1-10. ]
前記(E)成分の無機系黒色顔料が、チタンブラックを含む、請求項1〜5のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition in any one of Claims 1-5 in which the inorganic type black pigment of the said (E) component contains titanium black. 支持体と、該支持体上に形成された請求項1〜6のいずれかに記載の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層を備える感光性エレメント。   A photosensitive element provided with the photosensitive resin composition layer which consists of a photosensitive resin composition in any one of Claims 1-6 formed on the support body and this support body. 前記感光性樹脂組成物層の膜厚が10〜100μmである、請求項7記載の感光性エレメント。   The photosensitive element of Claim 7 whose film thickness of the said photosensitive resin composition layer is 10-100 micrometers. 少なくとも表示面に配置された透明電極と、画素を分離する隔壁とを備える、屈曲性を有する画像表示装置の隔壁の形成方法であって、
前記画像表示装置の基板上に、請求項1〜6のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層を積層する積層工程と、
前記感光性樹脂組成物層の所定部分に活性光線を照射して露光部を光硬化せしめる露光工程と、
前記感光性樹脂組成物層の前記露光部以外の部分を除去して光硬化物パターンを形成する現像工程と、
を有する、画像表示装置の隔壁の形成方法。
A method for forming a partition wall of an image display device having flexibility, comprising at least a transparent electrode disposed on a display surface and a partition wall for separating pixels.
A laminating step of laminating a photosensitive resin composition layer made of the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 6 on a substrate of the image display device;
An exposure step of irradiating a predetermined portion of the photosensitive resin composition layer with an actinic ray to photocure an exposed portion; and
A development step of removing a portion other than the exposed portion of the photosensitive resin composition layer to form a photocured product pattern;
A method for forming a partition wall of an image display device.
少なくとも表示面に配置された透明電極と、画素を分離する隔壁とを備える、屈曲性を有する画像表示装置の製造方法であって、
請求項9記載の方法により前記隔壁を形成する工程を有する、画像表示装置の製造方法。
A method of manufacturing an image display device having flexibility, comprising at least a transparent electrode disposed on a display surface and a partition wall for separating pixels,
The manufacturing method of an image display apparatus which has the process of forming the said partition by the method of Claim 9.
前記隔壁内に表示媒体を充填する工程と、
一方の基板に対向するように隔壁の反対側に基板を貼り付ける工程と、
を更に含む、請求項10記載の画像表示装置の製造方法。
Filling the partition with a display medium;
A step of attaching the substrate to the opposite side of the partition so as to face one of the substrates;
The method for manufacturing an image display device according to claim 10, further comprising:
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