JP5761457B2 - Photosensitive resin composition, photosensitive element, method for forming partition wall of image display device, method for manufacturing image display device, and image display device - Google Patents

Photosensitive resin composition, photosensitive element, method for forming partition wall of image display device, method for manufacturing image display device, and image display device Download PDF

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Description

本発明は、感光性樹脂組成物、感光性エレメント、画像表示装置の隔壁の形成方法、画像表示装置の製造方法及び画像表示装置に関する。   The present invention relates to a photosensitive resin composition, a photosensitive element, a method for forming partition walls of an image display device, a method for manufacturing an image display device, and an image display device.

近年、紙のように薄く、持ち運びが自由で、文字や画像が表示可能な画像表示装置(PLD:Paper Like Display)が注目を集めている。かかる画像表示装置は、通常の印刷物としての紙の長所である視認性、携帯性を有し、更に、情報を電気的に書き換え可能であるため、環境やコストの面からも紙の代替品として実用化が試みられている。   2. Description of the Related Art In recent years, an image display device (PLD: Paper Like Display) that is as thin as paper, can be freely carried, and can display characters and images has attracted attention. Such an image display device has visibility and portability, which are the advantages of paper as a normal printed matter, and is capable of electrically rewriting information, so that it can be used as a substitute for paper from the viewpoint of environment and cost. Practical application is being attempted.

画像表示装置の表示技術としては、電気泳動等により粒子を移動させるタイプ、液晶タイプ、電気化学タイプなど、様々なタイプが考案されている。特に粒子を移動させるタイプとしては、マイクロカプセル型電気泳動方式、マイクロカップ型電気泳動方式、電子粉流体方式、トナーディスプレイ方式等の方式が検討されている。これらの方式では、透明電極間に表示媒体である白と黒の粒子を封入し電場をかけ、これらの粒子を電気的に移動させることにより白/黒画像を形成し表示させる。また、画像表示装置の駆動方式としては、アクティブ駆動とパッシブ駆動があり、画像表示装置用の背面技術(パネル回路)の検討もなされている。   As a display technique of the image display device, various types such as a type in which particles are moved by electrophoresis, a liquid crystal type, and an electrochemical type have been devised. In particular, as a type for moving particles, methods such as a microcapsule electrophoresis method, a microcup electrophoresis method, an electronic powder fluid method, and a toner display method have been studied. In these systems, white and black particles as a display medium are sealed between transparent electrodes, an electric field is applied, and these particles are electrically moved to form and display a white / black image. In addition, there are active driving and passive driving as driving methods of the image display device, and a back technology (panel circuit) for the image display device has been studied.

上記粒子移動タイプの画像表示装置の場合、上述のように白/黒の粒子を封入するための隔壁(画素を分離する隔壁)が必要となる。かかる隔壁の形成方法としては、金型転写法、スクリーン印刷法、サンドブラスト法、フォトリソ法、アディティブ法等が提案されている(例えば、特許文献1参照)。中でも、感光性樹脂組成物を用いて、活性光線の照射により高精細なパターンが効率よく形成できるフォトリソ法が注目されている。   In the case of the particle movement type image display device, as described above, a partition for separating white / black particles (a partition for separating pixels) is required. As a method for forming such partition walls, a mold transfer method, a screen printing method, a sand blast method, a photolithography method, an additive method, and the like have been proposed (for example, see Patent Document 1). Among these, a photolithographic method that can form a high-definition pattern efficiently by irradiation with actinic rays using a photosensitive resin composition has attracted attention.

フォトリソ法を用いた画像表示装置の隔壁は、基板上に感光性樹脂組成物を塗布、又は感光性フィルムを積層することにより感光性樹脂組成物層を形成する工程、上記感光性樹脂組成物層の所定部分に活性光線を照射して露光部を光硬化させる工程、未露光部を除去して光硬化物パターンを形成する工程、を経て形成される。従って、画像表示装置の隔壁を形成するための感光性樹脂組成物には、一般に、感度、解像性及び基板への密着性が要求される。   The partition of the image display device using the photolithographic method is a step of forming a photosensitive resin composition layer by applying a photosensitive resin composition on a substrate or laminating a photosensitive film, and the photosensitive resin composition layer. These are formed through a step of irradiating an actinic ray to a predetermined portion of the material to photocure the exposed portion and a step of removing the unexposed portion to form a photocured product pattern. Therefore, in general, the photosensitive resin composition for forming the partition walls of the image display device is required to have sensitivity, resolution, and adhesion to the substrate.

また、最近では紙のように手軽に扱うことを目的に、画像表示装置のフレキシブル化を実現させようという試みが行われている(例えば、非特許文献2参照)。これに伴い、使用する基材がガラス基材のようなリジッド基板から、ITO(酸化インジウムスズ)がスパッタされたPET(ポリエチレンテレフタレート)基材、FPC(フレキシブルプリント基板)基材のようなフレキシブル基板へと移行している。   Recently, an attempt has been made to realize the flexibility of the image display device for the purpose of handling it as easily as paper (for example, see Non-Patent Document 2). Along with this, a flexible substrate such as a PET (polyethylene terephthalate) substrate in which ITO (indium tin oxide) is sputtered from a rigid substrate such as a glass substrate or an FPC (flexible printed circuit board) substrate is used. It has moved to.

かかるフレキシブル化を実現する際、各画素間を区切る隔壁のフレキシブル化対応が必須となる。従って、弾性率の低い隔壁が必要となる。   When realizing such flexibility, it is indispensable to make the partition that separates each pixel flexible. Therefore, a partition with a low elastic modulus is required.

しかし、感光性エレメントの低弾性化を行うと、解像性、密着性が低下する傾向にある。一方、画像表示装置の各画素間のコントラストの向上には、表示面積を広くするために、隔壁の解像性及び密着性の向上が必要となるが、解像性及び密着性を高めると低弾性の隔壁を形成することが困難となる傾向にある。このように、解像性及び密着性に優れ、低弾性の隔壁を形成することは困難であった。   However, when the elasticity of the photosensitive element is reduced, the resolution and adhesion tend to decrease. On the other hand, in order to increase the contrast between the pixels of the image display device, it is necessary to improve the resolution and adhesion of the partition walls in order to increase the display area. It tends to be difficult to form an elastic partition. Thus, it was difficult to form a partition wall having excellent resolution and adhesion and low elasticity.

更に、画像表示装置を製造する場合、上記工程で得た光硬化物パターン内に粒子等の表示媒体を充填する工程、上記光硬化物パターンを熱処理する工程、電極基板を貼り付ける工程などを更に含む。これにより、感光性樹脂組成物層の硬化物を隔壁とする画像表示装置が得られるが、上記電極基板を貼り付ける工程においては、高温高湿下で電圧を印加するため、感光性樹脂組成物の硬化物と密着した電極部分が溶解する問題があった。   Furthermore, when manufacturing an image display device, a step of filling a display medium such as particles in the photocured product pattern obtained in the above step, a step of heat-treating the photocured product pattern, a step of attaching an electrode substrate, etc. Including. Thereby, an image display device having a cured product of the photosensitive resin composition layer as a partition is obtained. In the step of attaching the electrode substrate, a voltage is applied under high temperature and high humidity. There was a problem that the electrode part in close contact with the cured product was dissolved.

従来、画像表示装置の隔壁を形成するための感光性樹脂組成物としては、例えば、下記特許文献2〜4に開示されているものがある。   Conventionally, as a photosensitive resin composition for forming a partition wall of an image display device, for example, there are those disclosed in Patent Documents 2 to 4 below.

特開2007−178881号公報JP 2007-178881 A 特開2010−066676号公報JP 2010-066666 A 特開2010−169934号公報JP 2010-169934 A 特開2010−256775号公報JP 2010-256775 A

しかし、上記特許文献2〜4に開示された、画像表示装置の隔壁を形成するための感光性樹脂組成物は、低弾性、解像性及び密着性には優れるものの、電極部分の溶解を抑える点では、改善の余地があった。更に、上記粒子移動タイプの画像表示装置の場合、帯電した表示媒体である白と黒の粒子を封入し電場をかけているため、これらの画像表示装置の隔壁の形成に用いられる感光性樹脂組成物は、上記表示媒体の表面電位に影響しないことが必要とされる。しかしながら、従来の感光性樹脂組成物では、上記粒子が移動する際に、画素を分離する隔壁と接触し、隔壁に電荷が蓄積され、粒子自体の帯電性に影響を与えるという問題があった。   However, although the photosensitive resin composition for forming the partition walls of the image display device disclosed in Patent Documents 2 to 4 is excellent in low elasticity, resolution, and adhesion, it suppresses dissolution of the electrode portion. In terms, there was room for improvement. Furthermore, in the case of the above-mentioned particle movement type image display device, since the charged display medium is filled with white and black particles and an electric field is applied, the photosensitive resin composition used for forming the partition walls of these image display devices The object is required not to affect the surface potential of the display medium. However, the conventional photosensitive resin composition has a problem that when the particles move, the particles come into contact with the partition walls separating the pixels, and charges are accumulated in the partition walls, thereby affecting the chargeability of the particles themselves.

本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、電荷の蓄積を抑え且つ電極基板の溶解を低下させることが可能で、硬化膜の弾性率が低く、高解像、高密着な画像表示装置用の隔壁を形成することができる感光性樹脂組成物、及びこれを用いた感光性エレメントを提供することを目的とする。また、本発明は、当該感光性樹脂組成物又は感光性エレメントを用いた、画像表示装置の隔壁の形成方法、画像表示装置の製造方法及び画像表示装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and can suppress charge accumulation and reduce the dissolution of the electrode substrate. The cured film has a low elastic modulus, high resolution, and high adhesion image display. It aims at providing the photosensitive resin composition which can form the partition for apparatuses, and the photosensitive element using the same. Another object of the present invention is to provide a method for forming a partition of an image display device, a method for manufacturing the image display device, and an image display device using the photosensitive resin composition or the photosensitive element.

本発明は、(A)成分:分子内にカルボキシル基とエチレン性不飽和基とを有する脂肪族バインダーポリマー、(B)成分:光重合性化合物、(C)成分:光重合開始剤、(D)成分:分子内にエポキシ基を有する化合物、及び(E)成分:グリセリン脂肪酸エステルを含む、隔壁形成材料として用いられる感光性樹脂組成物を提供する。   The present invention comprises (A) component: an aliphatic binder polymer having a carboxyl group and an ethylenically unsaturated group in the molecule, (B) component: a photopolymerizable compound, (C) component: a photopolymerization initiator, (D A photosensitive resin composition used as a partition wall forming material, comprising: a component: a compound having an epoxy group in the molecule; and a component (E): a glycerin fatty acid ester.

本発明の感光性樹脂組成物は上記構成を有することにより、粒子の移動を妨げることのない隔壁を、簡便に作業性よく形成することができる。また、本発明の感光性樹脂組成物によれば、上記構成を有することにより、電荷の蓄積を抑え且つ電極基板の溶解を低下させることが可能で、硬化膜の弾性率が低く、高解像、高密着な画像表示装置用の隔壁を形成することができる。   Since the photosensitive resin composition of the present invention has the above-described configuration, a partition wall that does not hinder the movement of particles can be easily formed with good workability. In addition, according to the photosensitive resin composition of the present invention, by having the above-described configuration, it is possible to suppress charge accumulation and reduce dissolution of the electrode substrate, and the cured film has a low elastic modulus and high resolution. A partition wall for an image display device with high adhesion can be formed.

本発明の感光性樹脂組成物は、さらに(F)成分:増感剤を含むことで、感度を高くすることができる。上記増感剤は、ピラゾリン化合物を含むことが好ましい。   The photosensitive resin composition of this invention can make a sensitivity high by containing (F) component: sensitizer further. The sensitizer preferably contains a pyrazoline compound.

また、本発明は、支持体と、該支持体上に上記感光性樹脂組成物を用いて形成された感光性樹脂組成物層と、を備える感光性エレメントを提供する。本発明の感光性エレメントにおいては、上記感光性樹脂組成物層の膜厚が10〜100μmであることが好ましい。感光性樹脂組成物層の膜厚が上記範囲であることによって、感光性エレメントは、画像表示装置の隔壁として用いやすくなる。   Moreover, this invention provides a photosensitive element provided with a support body and the photosensitive resin composition layer formed on this support body using the said photosensitive resin composition. In the photosensitive element of this invention, it is preferable that the film thickness of the said photosensitive resin composition layer is 10-100 micrometers. When the film thickness of the photosensitive resin composition layer is within the above range, the photosensitive element can be easily used as a partition wall of an image display device.

また、本発明の感光性エレメントにおいて、上記感光性樹脂組成物層を光硬化させた硬化膜の引張り弾性率が、120℃で1時間熱処理後に1GPa以下であることが好ましい。   Moreover, in the photosensitive element of this invention, it is preferable that the tensile elasticity modulus of the cured film which photocured the said photosensitive resin composition layer is 1 GPa or less after heat processing for 1 hour at 120 degreeC.

また、本発明は、基板上に、上記感光性樹脂組成物を用いて感光性樹脂組成物層を形成する積層工程と、上記感光性樹脂組成物層の所定部分に活性光線を照射して光硬化部を形成する露光工程と、上記光硬化部以外の部分を除去して光硬化物パターンを形成する現像工程と、を有する、画像表示装置の隔壁の形成方法を提供する。   The present invention also includes a laminating process for forming a photosensitive resin composition layer on the substrate using the photosensitive resin composition, and irradiating a predetermined portion of the photosensitive resin composition layer with actinic rays to generate light. There is provided a method for forming a partition wall of an image display device, comprising: an exposure step for forming a cured portion; and a developing step for removing a portion other than the photocured portion to form a photocured product pattern.

また、本発明の画像表示装置の隔壁の形成方法は、上記現像工程の後に、上記光硬化物パターンを、60〜250℃で加熱処理して熱硬化せしめる加熱工程をさらに有することが好ましい。   Moreover, it is preferable that the formation method of the partition of the image display apparatus of this invention further has the heating process which heat-processes the said photocured material pattern at 60-250 degreeC after the said image development process.

また、本発明は、表示媒体を、上記方法により形成された隔壁内に充填する工程と、一方の基板に対向するように隔壁の反対側に基板を貼り付ける工程と、を有する、画像表示装置の製造方法を提供する。   The present invention also includes a step of filling a display medium into a partition formed by the above method, and a step of attaching a substrate to the opposite side of the partition so as to face one of the substrates. A manufacturing method is provided.

さらに、本発明は、上記製造方法により製造される、画像表示装置を提供する。   Furthermore, this invention provides the image display apparatus manufactured by the said manufacturing method.

本発明によれば、電荷の蓄積を抑え且つ電極基板の溶解を低下させることが可能で、硬化膜の弾性率が低く、高解像、高密着な画像表示装置用の隔壁を簡便に作業性よく形成することができる感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメントを提供することができる。また、本発明によれば、上記感光性樹脂組成物又は感光性エレメントを用いた、画像表示装置の隔壁の形成方法、画像表示装置の製造方法及び画像表示装置を提供することができる。なお、隔壁はスペーサーと呼ばれることもあるが本明細書中では同義とする。   According to the present invention, it is possible to suppress the accumulation of electric charges and to reduce the dissolution of the electrode substrate, the cured film has a low elastic modulus, a high resolution, and a high-adhesion partition wall for an image display device. A photosensitive resin composition that can be well formed and a photosensitive element using the same can be provided. Moreover, according to this invention, the formation method of the partition of an image display apparatus using the said photosensitive resin composition or photosensitive element, the manufacturing method of an image display apparatus, and an image display apparatus can be provided. In addition, although a partition may be called a spacer, it is synonymous in this specification.

本発明の感光性エレメントの好適な一実施形態を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows suitable one Embodiment of the photosensitive element of this invention. 本発明の感光性エレメントを用いた画像表示装置の隔壁の形成方法の一実施形態を説明するための模式断面図である。It is a schematic cross section for demonstrating one Embodiment of the formation method of the partition of the image display apparatus using the photosensitive element of this invention. 図2(c)の隔壁が格子状に形成された例を示す模式平面図である。It is a schematic plan view which shows the example in which the partition of FIG.2 (c) was formed in the grid | lattice form. 図2(c)の隔壁が六角形状に形成された例を示す模式平面図である。It is a schematic plan view which shows the example in which the partition of FIG.2 (c) was formed in hexagon shape. 図2(e)の画像表示装置が曲率半径5〜15mm程度で屈曲している状態を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows the state which the image display apparatus of FIG.2 (e) is bent with a curvature radius of about 5-15 mm.

以下、本発明の好適な実施形態について説明する。なお、本明細書における(メタ)アクリル酸とはアクリル酸及びメタクリル酸を意味し、(メタ)アクリレートとはアクリレート及びそれに対応するメタクリレートを意味し、(メタ)アクリロイルとはアクリロイル及びメタクリロイルを意味する。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described. In this specification, (meth) acrylic acid means acrylic acid and methacrylic acid, (meth) acrylate means acrylate and the corresponding methacrylate, and (meth) acryloyl means acryloyl and methacryloyl. .

本発明の感光性樹脂組成物は、(A)分子内にカルボキシル基とエチレン性不飽和基とを有する脂肪族バインダーポリマー、(B)光重合性化合物、(C)光重合開始剤、(D)分子内にエポキシ基を有する化合物、(E)グリセリン脂肪酸エステルを含有してなる。   The photosensitive resin composition of the present invention comprises (A) an aliphatic binder polymer having a carboxyl group and an ethylenically unsaturated group in the molecule, (B) a photopolymerizable compound, (C) a photopolymerization initiator, (D ) A compound having an epoxy group in the molecule and (E) a glycerin fatty acid ester.

本発明の感光性樹脂組成物は上記構成を有することにより、電荷の蓄積を抑え且つ電極基板の溶解を低下させることが可能であり、硬化膜の弾性率が低く、高解像性及び高密着性を有する画像表示装置用の隔壁を形成することができる。ここで、上記構成を有することによる効果の発現機構は、必ずしも明らかではないが、本発明者は以下のように推察している。即ち、分子内にカルボキシル基とエチレン性不飽和基を有する脂肪族バインダーポリマーと、分子内にエポキシ基を有する化合物と、グリセリン脂肪酸エステルを加えることで、電荷の蓄積を抑え且つ電極基板の溶解を低下させることが可能となり、また、硬化膜の弾性率を低くすることができ、高解像性及び高密着性が得られると考えられる。特に、グリセリン脂肪酸エステルを加えることで、感光性樹脂組成物の表面が親水化され、蓄積した電荷が逃げやすくなるために、電荷の蓄積を抑えることが可能になると考えられる。   Since the photosensitive resin composition of the present invention has the above-described configuration, it is possible to suppress charge accumulation and reduce dissolution of the electrode substrate, the cured film has a low elastic modulus, high resolution, and high adhesion. It is possible to form partition walls for image display devices having the property. Here, although the expression mechanism of the effect by having the said structure is not necessarily clear, this inventor has guessed as follows. That is, by adding an aliphatic binder polymer having a carboxyl group and an ethylenically unsaturated group in the molecule, a compound having an epoxy group in the molecule, and a glycerin fatty acid ester, it is possible to suppress charge accumulation and dissolve the electrode substrate. It can be lowered, and the elastic modulus of the cured film can be lowered, so that high resolution and high adhesion can be obtained. In particular, it is considered that by adding glycerin fatty acid ester, the surface of the photosensitive resin composition is hydrophilized, and the accumulated charges can easily escape, so that accumulation of charges can be suppressed.

以下、各成分について詳細に説明する。   Hereinafter, each component will be described in detail.

(A)成分:カルボキシル基とエチレン性不飽和基とを有する脂肪族バインダーポリマー
本発明に用いる(A)成分としては、分子内にカルボキシル基とエチレン性不飽和基を有し、フィルム性を付与できるものであれば特に制限無く、例えばアクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、アミド系樹脂、アミドエポキシ系樹脂、アルキド系樹脂、ウレタン系樹脂が挙げられる。バインダーポリマーが脂肪族の重合性単量体から構成されることにより、スチレン等の芳香族の重合性単量体を含むバインダーポリマーに比べ、隔壁に電荷が帯電することを防ぐことができる。
(A) Component: Aliphatic binder polymer having a carboxyl group and an ethylenically unsaturated group As the component (A) used in the present invention, it has a carboxyl group and an ethylenically unsaturated group in the molecule and imparts film properties. As long as it is possible, there is no particular limitation, and examples thereof include acrylic resins, epoxy resins, amide resins, amide epoxy resins, alkyd resins, and urethane resins. When the binder polymer is composed of an aliphatic polymerizable monomer, the partition wall can be prevented from being charged as compared with a binder polymer containing an aromatic polymerizable monomer such as styrene.

これらの脂肪族バインダーポリマーは単独で、又は二種類以上を組み合わせて用いることができる。二種類以上のバインダーポリマーの組み合わせの例としては、異なる共重合成分からなる二種類以上のバインダーポリマー、異なる重量平均分子量の二種類以上のバインダーポリマー、異なる分散度の二種類以上のバインダーポリマー等が挙げられる。また、特開平11−327137号公報記載のマルチモード分子量分布を有するポリマーを用いることもできる。   These aliphatic binder polymers can be used alone or in combination of two or more. Examples of combinations of two or more types of binder polymers include two or more types of binder polymers composed of different copolymer components, two or more types of binder polymers having different weight average molecular weights, two or more types of binder polymers having different degrees of dispersion, and the like. Can be mentioned. A polymer having a multimode molecular weight distribution described in JP-A No. 11-327137 can also be used.

(A)成分は、例えば、カルボキシル基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体をラジカル重合させた後、その共重合体と反応する官能基及びエチレン性不飽和結合を有する単量体(以下、「反応性官能基を有する単量体」と呼ぶ)を付加させることで製造することができる。   Component (A) is, for example, a monomer having a functional group that reacts with a copolymer and an ethylenically unsaturated bond after radical polymerization of a polymerizable monomer having a carboxyl group and another polymerizable monomer. It can be produced by adding a monomer (hereinafter referred to as “monomer having a reactive functional group”).

重合性単量体としては、例えば、アクリルアミド、アクリロニトリル、ビニル−n−ブチルエーテル等のビニルアルコールのエステル類、(メタ)アクリル酸アルキルエステル、(メタ)アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、(メタ)アクリル酸ジエチルアミノエチルエステル、2,2,2−トリフルオロエチル(メタ)アクリレート、2,2,3,3−テトラフルオロプロピル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸、α−ブロモ(メタ)アクリル酸、α−クロル(メタ)アクリル酸、マレイン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸モノメチルエステル、マレイン酸モノエチルエステル、マレイン酸モノイソプロピルエステル等のマレイン酸モノエステル、フマール酸、イタコン酸、クロトン酸、プロピオール酸が挙げられる。   Examples of the polymerizable monomer include esters of vinyl alcohol such as acrylamide, acrylonitrile, vinyl-n-butyl ether, alkyl (meth) acrylate, dimethylaminoethyl ester (meth) acrylate, and (meth) acrylic acid. Diethylaminoethyl ester, 2,2,2-trifluoroethyl (meth) acrylate, 2,2,3,3-tetrafluoropropyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid, α-bromo (meth) acrylic acid, α -Chloro (meth) acrylic acid, maleic acid, maleic anhydride, maleic acid monomethyl ester, maleic acid monoethyl ester, maleic acid monoisopropyl ester and other maleic acid monoesters, fumaric acid, itaconic acid, crotonic acid, propiolic acid Is mentioned.

カルボキシル基を有する重合性単量体としては、現像性及び安定性の観点から(メタ)アクリル酸が好ましく、その他の重合性単量体としては、弾性率の観点から、環状構造を含まない(メタ)アクリル酸アルキルエステル類、ビニルアルコールのエステル類、マレイン酸アルキルエステル類が好ましい。   The polymerizable monomer having a carboxyl group is preferably (meth) acrylic acid from the viewpoint of developability and stability, and the other polymerizable monomer does not contain a cyclic structure from the viewpoint of elastic modulus ( Preferred are (meth) acrylic acid alkyl esters, vinyl alcohol esters and maleic acid alkyl esters.

上記反応性官能基を有する単量体としては、例えばイソシアネート基含有(メタ)アクリル酸エステル、グリシジル基含有(メタ)アクリル酸エステルが挙げられる。   Examples of the monomer having a reactive functional group include isocyanate group-containing (meth) acrylic acid ester and glycidyl group-containing (meth) acrylic acid ester.

また、(A)成分は、少なくとも(メタ)アクリル酸及びヒドロキシル基を含有する(メタ)アクリル酸エステルを構造単位に有する共重合体と、イソシアネート基を含有する(メタ)アクリル酸エステルと、を反応させて得られる脂肪族バインダーポリマーを含むことが好ましい。   The component (A) comprises a copolymer having at least a (meth) acrylic acid ester containing (meth) acrylic acid and a hydroxyl group as a structural unit, and a (meth) acrylic acid ester containing an isocyanate group. It is preferable that the aliphatic binder polymer obtained by making it react is included.

少なくとも(メタ)アクリル酸及びヒドロキシル基を含有する(メタ)アクリル酸エステルを構造単位に有する共重合体は、(メタ)アクリル酸と、ヒドロキシル基を含有する(メタ)アクリル酸エステルと、をラジカル重合させることにより製造することができる。   A copolymer having at least (meth) acrylic acid and a hydroxyl group-containing (meth) acrylic acid ester as a structural unit is a radical of (meth) acrylic acid and a hydroxyl group-containing (meth) acrylic acid ester. It can be produced by polymerization.

上記ヒドロキシル基を含有する(メタ)アクリル酸エステルとしては、後述のイソシアネート基を含有する(メタ)アクリル酸エステルと反応するものであれば特に制限は無いが、例えば、(メタ)アクリル酸ヒドロキシメチル、(メタ)アクリル酸ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸ヒドロキシプロピル、(メタ)アクリル酸ヒドロキシブチル、(メタ)アクリル酸ヒドロキシペンチル、(メタ)アクリル酸ヒドロキシヘキシル、(メタ)アクリル酸ヒドロキシヘプチル、(メタ)アクリル酸ヒドロキシオクチル及びこれらの構造異性体が挙げられる。これらの中でも、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチルの構造単位を含むことが好ましい。   The (meth) acrylic acid ester containing a hydroxyl group is not particularly limited as long as it reacts with a (meth) acrylic acid ester containing an isocyanate group described later. For example, hydroxymethyl (meth) acrylate , Hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, hydroxybutyl (meth) acrylate, hydroxypentyl (meth) acrylate, hydroxyhexyl (meth) acrylate, hydroxyheptyl (meth) acrylate, ( Examples thereof include hydroxyoctyl (meth) acrylate and structural isomers thereof. Among these, it is preferable that the structural unit of 2-hydroxyethyl (meth) acrylate is included.

上記少なくとも(メタ)アクリル酸及びヒドロキシル基を含有する(メタ)アクリル酸エステルを構造単位に有する共重合体は、環状構造を有さない範囲で、その他の重合性単量体を含有してもよい。その他の重合性単量体としては、例えば、(メタ)アクリル酸アルキルエステルが挙げられる。   The above copolymer having at least (meth) acrylic acid and a hydroxyl group-containing (meth) acrylic acid ester as a structural unit may contain other polymerizable monomers as long as it does not have a cyclic structure. Good. Examples of other polymerizable monomers include (meth) acrylic acid alkyl esters.

上記(メタ)アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸プロピル、(メタ)アクリル酸ブチル、(メタ)アクリル酸ペンチル、(メタ)アクリル酸ヘキシル、(メタ)アクリル酸ヘプチル、(メタ)アクリル酸オクチル、(メタ)アクリル酸2−エチルへキシル、及びこれらの構造異性体が挙げられる。中でも、現像性、解像度に優れる点では、(メタ)アクリル酸メチル、及び(メタ)アクリル酸ブチルを含有することが好ましい。   Examples of the (meth) acrylic acid alkyl ester include, for example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, pentyl (meth) acrylate, (meth ) Hexyl acrylate, heptyl (meth) acrylate, octyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, and structural isomers thereof. Especially, it is preferable to contain methyl (meth) acrylate and butyl (meth) acrylate in the point which is excellent in developability and the resolution.

上記イソシアネート基を含有する(メタ)アクリル酸エステルとしては、少なくとも(メタ)アクリル酸及びヒドロキシル基を含有する(メタ)アクリル酸エステルを構造単位に有する共重合体と反応するものであれば特に制限無く用いることができ、例えば2−イソシアネートメチルメタクリレート、2−イソシアネートエチルメタクリレート、2−イソシタネートエチルアクリレート、2−イソシアネートプロピルメタクリレート、2−イソシアネートオクチルアクリレートを用いることができる。この中でも、2−イソシアネートエチル(メタ)アクリレート、2−イソシアネートメチルメタクリレートが好ましい。   The (meth) acrylic acid ester containing an isocyanate group is not particularly limited as long as it reacts with a copolymer having at least (meth) acrylic acid and a hydroxyl group-containing (meth) acrylic acid ester as a structural unit. For example, 2-isocyanate methyl methacrylate, 2-isocyanate ethyl methacrylate, 2-isocytanate ethyl acrylate, 2-isocyanate propyl methacrylate, 2-isocyanate octyl acrylate can be used. Among these, 2-isocyanate ethyl (meth) acrylate and 2-isocyanate methyl methacrylate are preferable.

少なくとも(メタ)アクリル酸及びヒドロキシル基を含有する(メタ)アクリル酸エステルを構造単位に有する共重合体と、イソシアネート基を含有する(メタ)アクリル酸エステルは、通常の反応条件で反応させればよい。   A copolymer having at least a (meth) acrylic acid ester containing (meth) acrylic acid and a hydroxyl group as a structural unit and a (meth) acrylic acid ester containing an isocyanate group are allowed to react under normal reaction conditions. Good.

上記反応における、(メタ)アクリル酸及びヒドロキシル基を含有する(メタ)アクリル酸エステルを構造単位に有し、かつ環状構造を有さない共重合体と、イソシアネート基を含有する(メタ)アクリル酸エステルのモル比(前者/後者)は、1/0.3〜1/2の範囲で反応させればよいが、好ましくはモル比が1/0.4〜1/1.8の範囲であり、より好ましくはモル比が1/0.6〜1/1.5の範囲であり、更に好ましくはモル比が1/0.8〜1/1.2の範囲である。特に、本発明の効果をより十分に奏するためには、(メタ)アクリル酸及びヒドロキシル基を含有する(メタ)アクリル酸エステルを構造単位に有し、かつ環状構造を有さない共重合体中のヒドロキシル基と、イソシアネート基を含有する(メタ)アクリル酸エステル中のイソシアネート基が100%反応することが好ましい。   In the above reaction, a copolymer having (meth) acrylic acid and a hydroxyl group-containing (meth) acrylic ester in the structural unit and having no cyclic structure, and an isocyanate group-containing (meth) acrylic acid The molar ratio of the ester (the former / the latter) may be reacted in the range of 1 / 0.3 to 1/2, but preferably the molar ratio is in the range of 1 / 0.4 to 1 / 1.8. More preferably, the molar ratio is in the range of 1 / 0.6 to 1 / 1.5, and still more preferably the molar ratio is in the range of 1 / 0.8 to 1 / 1.2. In particular, in order to achieve the effects of the present invention more fully, in a copolymer having (meth) acrylic acid and a hydroxyl group-containing (meth) acrylic acid ester as a structural unit and not having a cyclic structure. It is preferable that 100% of the hydroxyl group of the above and the isocyanate group in the (meth) acrylic acid ester containing an isocyanate group react.

上記反応における溶媒は、反応に影響が無ければ公知の溶媒を特に制限無く使用でき、例えばメチルイソブチルケトン、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを用いることができる。この中でもプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを用いることが好ましい。   As the solvent in the above reaction, a known solvent can be used without particular limitation as long as the reaction is not affected. For example, methyl isobutyl ketone, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monobutyl ether acetate, Ethylene glycol monomethyl ether acetate and propylene glycol monomethyl ether acetate can be used. Among these, it is preferable to use propylene glycol monomethyl ether acetate.

(A)成分の重量平均分子量(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)で測定し、標準ポリスチレンを用いた検量線により換算)は、耐現像液性に優れる点では、20,000以上であることが好ましく、25,000以上であることがより好ましく、30,000以上であることが更に好ましい。現像時間を短くできる観点からは、300,000以下であることが好ましく、150,000以下であることがより好ましく、100,000以下であることが更に好ましい。なお、バインダーポリマーの重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法によって測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて換算することとする。ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)の測定条件は、以下に示すとおりである。   The weight average molecular weight of component (A) (measured by gel permeation chromatography (GPC) and converted by a calibration curve using standard polystyrene) is 20,000 or more in terms of excellent developer resistance. Preferably, it is 25,000 or more, more preferably 30,000 or more. From the viewpoint of shortening the development time, it is preferably 300,000 or less, more preferably 150,000 or less, and even more preferably 100,000 or less. The weight average molecular weight of the binder polymer is measured by gel permeation chromatography and converted using a standard polystyrene calibration curve. The measurement conditions of gel permeation chromatography (GPC) are as shown below.

[GPC測定条件]
ポンプ:日立 L−6000型(株式会社日立製作所製、商品名)
カラム:Gelpack GL−R420 + Gelpack GL−R430 + Gelpack GL−R440(計3本)(以上、日立化成工業株式会社製、商品名)
試料注入量:200μm
試料濃度:120mg/5mL
溶離液:テトラヒドロフラン
測定温度:25℃
流量:2.05mL/分
検出器:日立 L−3300型RI(株式会社日立製作所製、商品名)
[GPC measurement conditions]
Pump: Hitachi L-6000 type (manufactured by Hitachi, Ltd., trade name)
Column: Gelpack GL-R420 + Gelpack GL-R430 + Gelpack GL-R440 (3 in total) (above, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name)
Sample injection amount: 200 μm
Sample concentration: 120 mg / 5 mL
Eluent: Tetrahydrofuran Measurement temperature: 25 ° C
Flow rate: 2.05 mL / min Detector: Hitachi L-3300 type RI (manufactured by Hitachi, Ltd., trade name)

(A)成分における(メタ)アクリル酸に基づく構成単位の含有量は、分子全質量を基準として5〜35質量%であることが好ましく、10〜30質量%であることがより好ましく、15〜25質量%であることが更に好ましい。解像性に優れる点では、5質量%以上であることが好ましく、電極溶解を抑制する観点から35質量%以下であることが好ましい。   The content of the structural unit based on (meth) acrylic acid in the component (A) is preferably 5 to 35% by mass, more preferably 10 to 30% by mass based on the total mass of the molecule, and 15 to 15%. More preferably, it is 25 mass%. In terms of excellent resolution, the content is preferably 5% by mass or more, and preferably 35% by mass or less from the viewpoint of suppressing electrode dissolution.

(A)成分が、(メタ)アクリル酸アルキルエステルに基づく構成単位を有する場合、その含有量は、分子全質量を基準として5〜80質量%であることが好ましく、10〜70質量%であることがより好ましく、20〜60質量%であることが更に好ましい。解像性に優れる点では、この含有量が5質量%以上であることが好ましく、電極溶解を抑制する観点から80質量%以下であることが好ましい。   When (A) component has the structural unit based on the (meth) acrylic-acid alkylester, it is preferable that the content is 5-80 mass% on the basis of a molecular total mass, and is 10-70 mass%. It is more preferable, and it is still more preferable that it is 20-60 mass%. In terms of excellent resolution, the content is preferably 5% by mass or more, and preferably 80% by mass or less from the viewpoint of suppressing electrode dissolution.

(A)成分におけるヒドロキシル基を含有する(メタ)アクリル酸エステルに基づく構成単位の含有量は、硬化膜を低弾性化する観点から、分子全質量を基準として5〜30質量%であることが好ましく、10〜30質量%であることがより好ましく、15〜25質量%であることが更に好ましい。   The content of the structural unit based on the (meth) acrylic acid ester containing a hydroxyl group in the component (A) is 5 to 30% by mass based on the total mass of the molecule from the viewpoint of reducing elasticity of the cured film. Preferably, it is 10-30 mass%, More preferably, it is 15-25 mass%.

(A)成分におけるイソシアネート基を含有する(メタ)アクリル酸エステルに基づく構成単位の含有量は、電極溶解の抑制、硬化膜の低弾性化の観点から、分子全質量を基準として5〜35質量%であることが好ましく、11〜35質量%であることがより好ましく、17〜29質量%であることが更に好ましい。   The content of the structural unit based on the (meth) acrylic acid ester containing an isocyanate group in the component (A) is 5 to 35 mass on the basis of the total mass of the molecule from the viewpoint of suppressing electrode dissolution and reducing the elasticity of the cured film. %, More preferably 11 to 35% by mass, and still more preferably 17 to 29% by mass.

感光性樹脂組成物における(A)成分の含有量は、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部に対して、フィルム形成性に優れる点では、50質量部以上が好ましく、60質量部以上がより好ましく、65質量部以上が更に好ましい。光硬化物の機械的強度に優れる点では、(A)成分の含有量は、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部に対して、90質量部以下が好ましく、80質量部以下がより好ましく、70質量部以下が更に好ましい。   The content of the component (A) in the photosensitive resin composition is preferably 50 parts by mass or more in terms of excellent film formability with respect to 100 parts by mass of the total amount of the component (A) and the component (B), and 60 parts by mass. Part or more is more preferable, and 65 parts by mass or more is still more preferable. In terms of excellent mechanical strength of the photocured product, the content of the component (A) is preferably 90 parts by mass or less, and 80 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the total amount of the components (A) and (B). Is more preferable, and 70 mass parts or less is still more preferable.

(B)成分:光重合性化合物
本発明に用いる(B)成分としては、光架橋が可能であれば特に制限は無いが、例えば、(B1)成分:分子内にエチレン性不飽和基及びウレタン結合を有する化合物、(B2)成分:多価アルコール及び/又はグリシジル基含有化合物にα,β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物、(B3)成分:分子内にエチレン性不飽和結合を1つ有する化合物が挙げられる。
Component (B): Photopolymerizable compound The component (B) used in the present invention is not particularly limited as long as photocrosslinking is possible. For example, the component (B1): ethylenically unsaturated group and urethane in the molecule Compound having bond, (B2) component: compound obtained by reacting polyhydric alcohol and / or glycidyl group-containing compound with α, β-unsaturated carboxylic acid, (B3) component: ethylenically unsaturated bond in the molecule The compound which has one is mentioned.

(B1)成分:分子内にエチレン性不飽和基及びウレタン結合を有する化合物
硬化物の伸びを向上させることができ、フレキシブル基板への密着性に優れる点では、(B1)成分を含むことが好ましい。
Component (B1): Compound having an ethylenically unsaturated group and a urethane bond in the molecule It is preferable that component (B1) is included in that the elongation of the cured product can be improved and the adhesiveness to the flexible substrate is excellent. .

本発明に用いることのできる(B1)成分としては、特に制限は無いが、イソシアヌル環構造を有する化合物を含有することが好ましい。イソシアヌル環構造を有する化合物としては、例えば、下記一般式(1)で表される化合物が挙げられる。   Although there is no restriction | limiting in particular as (B1) component which can be used for this invention, It is preferable to contain the compound which has an isocyanuric ring structure. As a compound which has an isocyanuric ring structure, the compound represented by following General formula (1) is mentioned, for example.

Figure 0005761457
[式(1)中、Rは各々独立に、下記一般式(2)で表される基、下記一般式(3)で表される基、又は、下記一般式(4)で表される基を示し、Rのうち少なくとも1つは下記一般式(4)で表される基である。]
Figure 0005761457
[In the formula (1), each R 1 is independently represented by a group represented by the following general formula (2), a group represented by the following general formula (3), or the following general formula (4). And at least one of R 1 is a group represented by the following general formula (4). ]

Figure 0005761457
[式(2)中、Rは水素原子又はメチル基を示し、mは1〜15の整数を示す。]
Figure 0005761457
[In formula (2), R 2 represents a hydrogen atom or a methyl group, m is an integer of 1 to 15. ]

Figure 0005761457
[式(3)中、mは1〜15の整数である。]
Figure 0005761457
[In Formula (3), m is an integer of 1-15. ]

Figure 0005761457
[式(4)中、Rは水素原子又はメチル基を示し、nは1〜9の整数を示し、mは1〜15の整数を示す。]
Figure 0005761457
Wherein (4), R 2 represents a hydrogen atom or a methyl group, n represents an integer of 1 to 9, m is an integer of 1 to 15. ]

弾性率、密着性の観点からは、一般式(1)中のRのうち少なくとも2つは、一般式(4)で表される基であることがより好ましく、Rの全てが一般式(4)で表される基であることが更に好ましい。From the viewpoint of elastic modulus and adhesion, at least two of R 1 in the general formula (1) are more preferably groups represented by the general formula (4), and all of R 1 are represented by the general formula. A group represented by (4) is more preferable.

一般式(2)、(3)、(4)中、耐薬品性に優れる点では、mは1〜6の整数であることが好ましい。また、一般式(4)中、機械強度に優れる点では、mは3〜6、nは4〜8の整数であることが好ましい。   In general formulas (2), (3), and (4), m is preferably an integer of 1 to 6 in terms of excellent chemical resistance. Moreover, in general formula (4), it is preferable that m is an integer of 3-6 and n is an integer of 4-8 from the point which is excellent in mechanical strength.

上記一般式(1)で表される化合物で、市販のものとしては、例えば、NKオリゴUA−21EB(新中村化学工業株式会社製、商品名、一般式(1)中、Rが全て一般式(4)で表される基である化合物)が挙げられる。Examples of commercially available compounds represented by the above general formula (1) include, for example, NK Oligo UA-21EB (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., trade name, general formula (1), wherein R 1 is all common. A compound which is a group represented by the formula (4)).

また、(B1)成分としては、ポリカーボネート化合物及び/又はポリエステル化合物の末端のヒドロキシル基とジイソシアネート化合物のイソシアネート基との反応に由来するウレタン結合を有し、かつ複数の末端にイソシアネート基を有するウレタン化合物と、ヒドロキシル基及びエチレン性不飽和基を有する化合物とを縮合反応させることで得ることができる化合物を含むことが好ましい。   In addition, as the component (B1), a urethane compound having a urethane bond derived from a reaction between a hydroxyl group at a terminal of a polycarbonate compound and / or a polyester compound and an isocyanate group of a diisocyanate compound, and having an isocyanate group at a plurality of terminals And a compound that can be obtained by a condensation reaction of a compound having a hydroxyl group and an ethylenically unsaturated group.

これらの化合物は、常法によって合成したものを用いてもよく、市販のものを用いることもできる。市販のものとしては、例えば、UF−8003M、UF−TCB−50、UF−TC4−55(以上商品名、共栄社化学株式会社製)、HT9082−95(商品名、日立化成工業株式会社製)が挙げられる。   As these compounds, those synthesized by a conventional method may be used, or commercially available ones may be used. Examples of commercially available products include UF-8003M, UF-TCB-50, UF-TC4-55 (trade names, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) and HT9082-95 (trade names, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.). Can be mentioned.

更に、上記以外の(B1)成分としては、例えば、β位に水酸基を有する(メタ)アクリルモノマーと、イソホロンジイソシアネート、2,6−トルエンジイソシアネート、2,4−トルエンジイソシアネート、及び1,6−ヘキサメチレンジイソシアネート等のジイソシアネート化合物との付加反応物;EO変性ウレタンジ(メタ)アクリレート、EO,PO変性ウレタンジ(メタ)アクリレートが挙げられる。EO変性ウレタンジ(メタ)アクリレートとしては、例えば、新中村化学工業株式会社製、商品名:UA−11が挙げられる。また、EO,PO変性ウレタンジ(メタ)アクリレートとしては、例えば、新中村化学工業株式会社製、商品名:UA−13が挙げられる。ここで、EOは、オキシエチレン基を、POは、オキシプロピレン基を示す。   Furthermore, as the component (B1) other than the above, for example, a (meth) acryl monomer having a hydroxyl group at the β-position, isophorone diisocyanate, 2,6-toluene diisocyanate, 2,4-toluene diisocyanate, and 1,6-hexa Addition reaction products with diisocyanate compounds such as methylene diisocyanate; EO-modified urethane di (meth) acrylate, EO, PO-modified urethane di (meth) acrylate. Examples of the EO-modified urethane di (meth) acrylate include Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., trade name: UA-11. Moreover, as EO and PO modified | denatured urethane di (meth) acrylate, the Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd. make and brand name: UA-13 are mentioned, for example. Here, EO represents an oxyethylene group, and PO represents an oxypropylene group.

(B2)成分:多価アルコール及び/又はグリシジル基含有化合物にα,β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物
(B2)成分としては、例えば、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート(エチレン基の数が2〜14のもの)、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート(プロピレン基の数が2〜14のもの)等のポリアルキレングリコールジ(メタ)アクリレート;トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンエトキシトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンプロポキシトリ(メタ)アクリレート等のトリメチロールプロパン(メタ)アクリレート化合物;テトラメチロールメタントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ(メタ)アクリレート等のテトラメチロールメタン(メタ)アクリレート化合物;ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等のジペンタエリスリトール(メタ)アクリレート化合物;ビスフェノールAジオキシエチレンジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAトリオキシエチレンジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAデカオキシエチレンジ(メタ)アクリレート等のビスフェノールAジオキシエチレンジ(メタ)アクリレート;トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリアクリレート及びビスフェノールAジグリシジルエーテルアクリレートが挙げられる。
Component (B2): Compound obtained by reacting polyhydric alcohol and / or glycidyl group-containing compound with α, β-unsaturated carboxylic acid (B2) As component, for example, polyethylene glycol di (meth) acrylate (ethylene group) Polyalkylene glycol di (meth) acrylates such as polypropylene glycol di (meth) acrylate (having 2 to 14 propylene groups); trimethylolpropane di (meth) acrylate, tri Trimethylolpropane (meth) acrylate compounds such as methylolpropane tri (meth) acrylate, trimethylolpropane ethoxytri (meth) acrylate, trimethylolpropane propoxytri (meth) acrylate; tetramethylolmethane tri (meth) acrylate, Tetramethylolmethane (meth) acrylate compounds such as lamethylolmethane tetra (meth) acrylate; dipentaerythritol (meth) acrylate compounds such as dipentaerythritol penta (meth) acrylate and dipentaerythritol hexa (meth) acrylate; bisphenol A di Bisphenol A dioxyethylene di (meth) acrylate such as oxyethylene di (meth) acrylate, bisphenol A trioxyethylene di (meth) acrylate, bisphenol A decaoxyethylene di (meth) acrylate; trimethylolpropane triglycidyl ether triacrylate And bisphenol A diglycidyl ether acrylate.

中でも、硬化膜の低弾性を維持しつつ、解像度及び密着性に優れる点では、(B2)成分として、ポリアルキレングリコールジ(メタ)アクリレートを含むことが好ましく、下記一般式(5)、(6)又は(7)で表される化合物を含むことがより好ましい。   Especially, it is preferable to contain polyalkylene glycol di (meth) acrylate as (B2) component in the point which is excellent in the resolution and adhesiveness, maintaining the low elasticity of a cured film, and the following general formula (5), (6 It is more preferable that the compound represented by (7) or (7) is included.

Figure 0005761457
Figure 0005761457

上記一般式(5)、(6)又は(7)中、Rは、それぞれ独立に水素原子又はメチル基を示し、EOはオキシエチレン基を示し、POはオキシプロピレン基を示す。m、m、m及びmはオキシエチレン基からなる構造単位数を示し、n、n、n及びnは、オキシプロピレン基からなる構造単位数を示し、オキシエチレン基の構造単位の総数m+m、m及びmは、それぞれ独立に1〜30の整数を示し、オキシプロピレン基の構造単位の総数n、n+n及びnは、それぞれ独立に1〜30の整数を示す。In said general formula (5), (6) or (7), R shows a hydrogen atom or a methyl group each independently, EO shows an oxyethylene group, PO shows an oxypropylene group. m 1 , m 2 , m 3 and m 4 represent the number of structural units composed of oxyethylene groups; n 1 , n 2 , n 3 and n 4 represent the number of structural units composed of oxypropylene groups; M 1 + m 2 , m 3 and m 4 each independently represents an integer of 1 to 30, and the total number of structural units of the oxypropylene group n 1 , n 2 + n 3 and n 4 are each independently Represents an integer of 1 to 30.

上記一般式(5)、(6)又は(7)で表される化合物において、オキシエチレン基の構造単位の総数m+m、m及びmは、それぞれ独立に1〜30の整数であり、1〜10の整数であることが好ましく、4〜9の整数であることがより好ましく、5〜8の整数であることが更に好ましい。解像度、密着性に優れる点では、この構造単位数が、10以下が好ましく、9以下がより好ましく、8以下が更に好ましい。In the compound represented by the general formula (5), (6) or (7), the total number m 1 + m 2 , m 3 and m 4 of the structural unit of the oxyethylene group are each independently an integer of 1 to 30. Yes, it is preferably an integer of 1 to 10, more preferably an integer of 4 to 9, and still more preferably an integer of 5 to 8. In terms of excellent resolution and adhesion, the number of structural units is preferably 10 or less, more preferably 9 or less, and still more preferably 8 or less.

また、オキシプロピレン基の構造単位の総数n、n+n及びnは、それぞれ独立に1〜30の整数であり、5〜20の整数であることが好ましく、8〜16の整数であることがより好ましく、10〜14の整数であることが更に好ましい。解像度の向上及びスラッジの低減に優れる点では、この構造単位数が、20以下が好ましく、16以下がより好ましく、14以下が更に好ましい。また、構造単位の総数は、隔壁を低弾性化する点では、5以上が好ましく、8以上がより好ましく、10以上が更に好ましい。The total number of structural units n 1 , n 2 + n 3 and n 4 of the oxypropylene group is each independently an integer of 1 to 30, preferably an integer of 5 to 20, preferably an integer of 8 to 16. More preferably, it is more preferably an integer of 10-14. In terms of excellent resolution improvement and sludge reduction, the number of structural units is preferably 20 or less, more preferably 16 or less, and even more preferably 14 or less. The total number of structural units is preferably 5 or more, more preferably 8 or more, and even more preferably 10 or more in terms of reducing the elasticity of the partition walls.

上記一般式(5)で表される化合物としては、R=メチル基、m+m=6(平均値)、n=12(平均値)であるビニル化合物(日立化成工業株式会社製、商品名:FA−023M)等が挙げられる。上記一般式(6)で表される化合物としては、R=メチル基、m=6(平均値)、n+n=12(平均値)であるビニル化合物(日立化成工業株式会社製、商品名:FA−024M)等が挙げられる。上記一般式(7)で表される化合物としては、R=水素原子、m=1(平均値)、n=9(平均値)であるビニル化合物(新中村化学工業株式会社製、商品名:NKエステルHEMA−9P)等が挙げられる。As a compound represented by the general formula (5), R = methyl group, m 1 + m 2 = 6 (average value), n 1 = 12 (average value) vinyl compound (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., Trade name: FA-023M). As the compound represented by the general formula (6), R = methyl group, m 3 = 6 (average value), n 2 + n 3 = 12 (average value) vinyl compound (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., Product name: FA-024M). As the compound represented by the general formula (7), R = hydrogen atom, m 4 = 1 (average value), n 4 = 9 (average value) vinyl compound (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., product) Name: NK ester HEMA-9P).

(B3)成分:分子内にエチレン性不飽和結合を1つ有する化合物
(B3)成分としては、特に制限は無いが、解像度に優れる点では、下記一般式(8)で表される化合物を含むことが好ましい。
Component (B3): Compound having one ethylenically unsaturated bond in the molecule (B3) Component is not particularly limited, but includes a compound represented by the following general formula (8) in terms of excellent resolution. It is preferable.

Figure 0005761457
[式(8)中、Rは水素原子又はメチル基を示し、Rは水素原子、メチル基又はハロゲン化メチル基のいずれかを示し、Rは炭素数1〜6のアルキル基、ハロゲン原子、水酸基のいずれかを示し、pは0〜4の整数を示す。なお、pが2以上の場合、複数存在するRは同一でも異なっていてもよい。−(O−A)−はオキシエチレン基及び/又はオキシプロピレン基を示し、−(O−A)−の構造単位の総数aは1〜4の整数を示す。]
Figure 0005761457
[In the formula (8), R 3 represents a hydrogen atom or a methyl group, R 4 represents a hydrogen atom, a methyl group or a halogenated methyl group, and R 5 represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a halogen atom. It represents either an atom or a hydroxyl group, and p represents an integer of 0 to 4. When p is 2 or more, a plurality of R 5 may be the same or different. -(OA)-represents an oxyethylene group and / or an oxypropylene group, and the total number a of structural units of-(OA)-represents an integer of 1 to 4. ]

上記一般式(8)で表される化合物としては、例えば、γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β’−(メタ)アクリロイルオキシエチル−o−フタレート、β−ヒドロキシエチル−β’−(メタ)アクリロイルオキシエチル−o−フタレート、及びβ−ヒドロキシプロピル−β’−(メタ)アクリロイルオキシエチル−o−フタレートが挙げられ、なかでも、γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β’−(メタ)アクリロイルオキシエチル−o−フタレートが好ましい。γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β’−メタクリロイルオキシエチル−o−フタレートは、FA−MECH(日立化成工業株式会社製、商品名)等として商業的に入手可能である。   Examples of the compound represented by the general formula (8) include γ-chloro-β-hydroxypropyl-β ′-(meth) acryloyloxyethyl-o-phthalate, β-hydroxyethyl-β ′-(meth). Examples include acryloyloxyethyl-o-phthalate and β-hydroxypropyl-β ′-(meth) acryloyloxyethyl-o-phthalate, among which γ-chloro-β-hydroxypropyl-β ′-(meth) acryloyl. Oxyethyl-o-phthalate is preferred. γ-Chloro-β-hydroxypropyl-β'-methacryloyloxyethyl-o-phthalate is commercially available as FA-MECH (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name).

上記(B)成分は、単独で、又は二種類以上を組み合わせて用いることができる。   The said (B) component can be used individually or in combination of 2 or more types.

感光性樹脂組成物における(B)成分の含有量は、解像度及び密着性と、フィルム形成性の観点から、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部に対して、10〜50質量部の範囲とすることが好ましく、20〜40質量部とすることがより好ましい。   Content of (B) component in the photosensitive resin composition is 10-50 mass with respect to 100 mass parts of total amounts of (A) component and (B) component from a viewpoint of resolution, adhesiveness, and film formability. It is preferable to set it as the range of a part, and it is more preferable to set it as 20-40 mass parts.

また、(B1)成分の含有量は、解像度及び密着性と、フィルム形成性の観点から、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部に対して、5〜30質量部の範囲とすることが好ましく、10〜25質量部とすることがより好ましい。(B2)成分の含有量は、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部に対して、5〜25質量部の範囲とすることが好ましく、5〜15質量部とすることがより好ましい。(B3)成分の含有量は、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部に対して、1〜10質量部の範囲とすることが好ましく、5〜15質量部とすることがより好ましい。   Moreover, content of (B1) component is the range of 5-30 mass parts with respect to 100 mass parts of total amounts of (A) component and (B) component from a viewpoint of resolution, adhesiveness, and film-formability, and It is preferable to use 10 to 25 parts by mass. The content of the component (B2) is preferably in the range of 5 to 25 parts by mass, more preferably 5 to 15 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of the components (A) and (B). preferable. The content of the component (B3) is preferably in the range of 1 to 10 parts by mass and more preferably 5 to 15 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of the components (A) and (B). preferable.

(C)成分:光重合開始剤
本発明に用いる(C)成分としては、使用する露光機の光波長にあわせたものであれば特に制限は無く、具体的には例えば、ベンゾフェノン、N,N’−テトラメチル−4,4’−ジアミノベンゾフェノン(ミヒラーケトン)、N,N’−テトラエチル−4,4’−ジアミノベンゾフェノン、4−メトキシ−4’−ジメチルアミノベンゾフェノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン−1、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−プロパノン−1等の芳香族ケトン;2−エチルアントラキノン、2−tert−ブチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2−ベンズアントラキノン、2,3−ベンズアントラキノン、2−フェニルアントラキノン、2,3−ジフェニルアントラキノン、1−クロロアントラキノン、2−メチルアントラキノン、1,4−ナフトキノン、9,10−フェナントレンキノン、2−メチル−1,4−ナフトキノン、2,3−ジメチルアントラキノン等のキノン類;ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル化合物;ベンゾイン、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン化合物;1−(4−メトキシフェニル)−2,2−ジメトキシ−2−フェニルエタン−1−オン、1−(4−メトキシフェニル)−2−メトキシ−2−エトキシ−2−フェニルエタン−1−オン、1−(4−メトキシフェニル)−2−メトキシ−2−プロポキシ−2−フェニルエタン−1−オン、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン(通称ベンジルジメチルケタール)等のベンジルケタール等のベンジル誘導体;9−フェニルアクリジン、1,7−ビス(9,9’−アクリジニル)ヘプタン等のアクリジン誘導体;N−フェニルグリシン、N−フェニルグリシン誘導体;クマリン系化合物;2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジ(メトキシフェニル)イミダゾール二量体、2−(o−フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(o−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(p−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体等のイミダゾール二量体が挙げられる。また、2,4,5−トリアリールイミダゾール二量体における2つの2,4,5−トリアリールイミダゾールのアリール基の置換基は、同一で対称な化合物を与えてもよいし、相違して非対称な化合物を与えてもよい。また、ジエチルチオキサントンとジメチルアミノ安息香酸の組み合わせのように、チオキサントン系化合物と3級アミン化合物とを組み合わせてもよい。これらは、単独で、又は二種類以上を組み合わせて用いることができる。
Component (C): Photopolymerization initiator The component (C) used in the present invention is not particularly limited as long as it matches the light wavelength of the exposure machine to be used. Specifically, for example, benzophenone, N, N '-Tetramethyl-4,4'-diaminobenzophenone (Michler ketone), N, N'-tetraethyl-4,4'-diaminobenzophenone, 4-methoxy-4'-dimethylaminobenzophenone, 2-benzyl-2-dimethylamino Aromatic ketones such as -1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1,2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-propanone-1, 2-ethylanthraquinone, 2-tert -Butylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, 2,3-benzanthraquinone, 2-Fe Luanthraquinone, 2,3-diphenylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone, 2-methylanthraquinone, 1,4-naphthoquinone, 9,10-phenanthrenequinone, 2-methyl-1,4-naphthoquinone, 2,3-dimethylanthraquinone, etc. Quinones; benzoin ether compounds such as benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether and benzoin phenyl ether; benzoin compounds such as benzoin, methyl benzoin and ethyl benzoin; 1- (4-methoxyphenyl) -2,2-dimethoxy-2- Phenylethane-1-one, 1- (4-methoxyphenyl) -2-methoxy-2-ethoxy-2-phenylethane-1-one, 1- (4-methoxyphenyl) -2-methoxy-2-propoxy- 2-Phenylethane-1- , Benzyl derivatives such as benzyl ketals such as 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one (commonly known as benzyldimethyl ketal); 9-phenylacridine, 1,7-bis (9,9′-acridinyl) ) Acridine derivatives such as heptane; N-phenylglycine, N-phenylglycine derivatives; coumarin compounds; 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-chlorophenyl) -4, 5-di (methoxyphenyl) imidazole dimer, 2- (o-fluorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, Examples include imidazole dimers such as 2- (p-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer. That. In addition, the substituents of the aryl groups of two 2,4,5-triarylimidazoles in the 2,4,5-triarylimidazole dimer may give the same and symmetrical compounds, or differently asymmetric Such compounds may be provided. Moreover, you may combine a thioxanthone type compound and a tertiary amine compound like the combination of diethyl thioxanthone and dimethylaminobenzoic acid. These can be used alone or in combination of two or more.

中でも、(C)成分としては、感光性樹脂組成物の硬化後のレジスト底部の硬化性に優れる点では、ベンジルケタール等のベンジル誘導体を含むことが好ましく、感光性樹脂組成物の硬化後のレジスト上部の硬化性に優れる点では、アクリジン誘導体を含むことが好ましく、上底部の硬化性に優れる点では、ベンジルケタール等のベンジル誘導体及びアクリジン誘導体の双方を含むことが好ましい。特に感光性樹脂組成物からなる層の膜厚が厚くなればなるほど、レジスト底部の硬化性及びレジスト上部の硬化性をバランスよく調整することが必要となる。   Among them, the component (C) preferably contains a benzyl derivative such as benzyl ketal in terms of excellent curability at the bottom of the resist after curing of the photosensitive resin composition, and the resist after curing of the photosensitive resin composition. In view of excellent curability at the top, it is preferable to include an acridine derivative, and from the viewpoint of excellent curability in the upper bottom, it is preferable to include both a benzyl derivative such as benzyl ketal and an acridine derivative. In particular, as the thickness of the layer made of the photosensitive resin composition increases, it is necessary to adjust the curability at the bottom of the resist and the curability at the top of the resist in a balanced manner.

更には、(C)成分としては、解像度を良好にし、硬化後のレジストの裾引きを抑える点では、アクリジン誘導体及びベンジル誘導体の双方を含むことが好ましく、特に1,7−ビス(9,9’−アクリジニル)ヘプタン及び2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オンの双方を含むことが好ましい。   Furthermore, the component (C) preferably contains both an acridine derivative and a benzyl derivative, particularly in terms of improving the resolution and suppressing the bottoming of the resist after curing, and in particular 1,7-bis (9,9 It is preferred to include both '-acridinyl) heptane and 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one.

感光性樹脂組成物における(C)成分の含有量は、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部に対して、光感度に優れる点では、0.1質量部以上であることが好ましく、0.2質量部以上であることがより好ましい。また、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部に対して、感光性樹脂組成物の内部の光硬化性に優れる点では、20質量部以下であることが好ましく、10質量部以下であることがより好ましい。   The content of the component (C) in the photosensitive resin composition is 0.1 parts by mass or more in terms of excellent photosensitivity with respect to 100 parts by mass of the total amount of the components (A) and (B). Preferably, it is 0.2 parts by mass or more. In addition, with respect to 100 parts by mass of the total amount of the component (A) and the component (B), it is preferably 20 parts by mass or less, and preferably 10 parts by mass or less in terms of excellent photocurability inside the photosensitive resin composition. It is more preferable that

中でも、上記(C)成分として、1,7−ビス(9,9’−アクリジニル)ヘプタンを含む場合、その含有量は、上記(A)成分と(B)成分の総量100質量部に対して、光感度に優れる点では、0.05〜1質量部であることが好ましく、0.1〜0.5質量部であることがより好ましい。   In particular, when 1,7-bis (9,9′-acridinyl) heptane is included as the component (C), the content thereof is 100 parts by mass with respect to the total amount of the components (A) and (B). In terms of excellent photosensitivity, it is preferably 0.05 to 1 part by mass, and more preferably 0.1 to 0.5 part by mass.

また、上記(C)成分として、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オンを含む場合、その含有量は、上記(A)成分と(B)成分の総量100質量部に対して、光感度及び密着性に優れる点では、1質量部以上が好ましく、2質量部以上がより好ましい。また、加熱処理の工程にて、アウトガスを抑える観点からは、10質量部以下が好ましく、5質量部以下がより好ましい。   In addition, when 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one is included as the component (C), the content is 100 parts by mass of the total of the components (A) and (B). On the other hand, 1 mass part or more is preferable and 2 mass parts or more is more preferable in the point which is excellent in a photosensitivity and adhesiveness. Further, from the viewpoint of suppressing outgassing in the heat treatment step, it is preferably 10 parts by mass or less, and more preferably 5 parts by mass or less.

(D)成分:分子内にエポキシ基を有する化合物
本発明で用いる(D)成分としては、分子内にエポキシ基(オキシラン環)を有する化合物であれば特に制限は無い。
Component (D): Compound having an epoxy group in the molecule The component (D) used in the present invention is not particularly limited as long as it is a compound having an epoxy group (oxirane ring) in the molecule.

分子内にエポキシ基を有する化合物としては、例えば、ビスフェノールAジグリシジルエーテル等のビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールFジグリシジルエーテル等のビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールSジグリシジルエーテル等のビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビフェノールジグリシジルエーテル等のビフェノール型エポキシ樹脂、ビキシレノールジグリシジルエーテル等のビキシレノール型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールAグリシジルエーテル等の水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、及びそれらの二塩基酸変性ジグリシジルエーテル型エポキシ樹脂が挙げられる。   Examples of the compound having an epoxy group in the molecule include bisphenol A type epoxy resins such as bisphenol A diglycidyl ether, bisphenol F type epoxy resins such as bisphenol F diglycidyl ether, and bisphenol S type epoxy such as bisphenol S diglycidyl ether. Resin, biphenol type epoxy resin such as biphenol diglycidyl ether, bixylenol type epoxy resin such as bixylenol diglycidyl ether, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin such as hydrogenated bisphenol A glycidyl ether, dicyclopentadiene type epoxy resin, cresol Examples thereof include novolak type epoxy resins and dibasic acid-modified diglycidyl ether type epoxy resins.

これらの化合物としては市販品を用いることができる。例えば、ビスフェノールAジグリシジルエーテルとしては、jER828、jER1001及びjER1002(いずれも三菱化学株式会社製、商品名(「jER」は登録商標))、並びに、エピクロン1055(DIC株式会社製、商品名(「エピクロン」は登録商標))を挙げることができる。   Commercial products can be used as these compounds. For example, as bisphenol A diglycidyl ether, jER828, jER1001 and jER1002 (all manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, trade name (“jER” is a registered trademark)), and Epicron 1055 (made by DIC Corporation, trade name (“ "Epiclon" is a registered trademark)).

ビスフェノールFジグリシジルエーテルとしては、jER807(三菱化学株式会社製、商品名)等を挙げることができ、ビスフェノールSジグリシジルエーテルとしては、EBPS−200(日本化薬株式会社製、商品名)、エピクロンEXA−1514(DIC株式会社製、商品名)等を挙げることができる。   Examples of bisphenol F diglycidyl ether include jER807 (trade name, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), and examples of bisphenol S diglycidyl ether include EBPS-200 (trade name, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), Epicron. EXA-1514 (manufactured by DIC Corporation, trade name) and the like.

また、ビフェノールジグリシジルエーテルとしては、YL−6121(三菱化学株式会社製、商品名)等を挙げることができ、ビキシレノールジグリシジルエーテルとしては、YX−4000(三菱化学株式会社製、商品名)等を挙げることができる。   Examples of the biphenol diglycidyl ether include YL-6121 (trade name, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation). Examples of the bixylenol diglycidyl ether include YX-4000 (trade name, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation). Etc.

更に、水添ビスフェノールAグリシジルエーテルとしては、ST−2004及びST−2007(いずれも新日化エポキシ製造株式会社製、商品名)等を挙げることができ、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂としては、エピクロンHP−7200L(DIC株式会社製、商品名)等を挙げることができ、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂としては、エピクロンN−665−EXP、エピクロンN−670−EXP−S(DIC株式会社製、商品名)等を挙げることができる。また、上記した二塩基酸変性ジグリシジルエーテル型エポキシ樹脂としては、ST−5100及びST−5080(いずれも新日化エポキシ製造株式会社製、商品名)等を挙げることができる。   Further, examples of the hydrogenated bisphenol A glycidyl ether include ST-2004 and ST-2007 (both manufactured by Nippon Kayaku Epoxy Manufacturing Co., Ltd., trade names). Dicyclopentadiene-type epoxy resins include epiclone. HP-7200L (manufactured by DIC Corporation, trade name) and the like, and examples of the cresol novolac type epoxy resin include Epicron N-665-EXP and Epicron N-670-EXP-S (trade name, manufactured by DIC Corporation). And the like. In addition, examples of the dibasic acid-modified diglycidyl ether type epoxy resin include ST-5100 and ST-5080 (both manufactured by Nippon Kayaku Epoxy Manufacturing Co., Ltd.).

これらの中でも、電極の溶解を抑える点では、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂及びクレゾールノボラック型エポキシ樹脂が好ましく、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂がより好ましい。また、上記(D)成分は、単独で、又は二種類以上を組み合わせて用いることができる。   Among these, dicyclopentadiene type epoxy resin and cresol novolak type epoxy resin are preferable, and cresol novolak type epoxy resin is more preferable in terms of suppressing dissolution of the electrode. Moreover, the said (D) component can be used individually or in combination of 2 or more types.

感光性樹脂組成物における(D)成分の含有量は、上記(A)成分と(B)成分の総量100質量部に対して、電荷の蓄積を抑え、且つ電極の溶解を抑える点では、5質量部以上が好ましく、10質量部以上がより好ましい。また、感光性樹脂組成物がフィルム形成性に優れる点では、30質量部以下が好ましく、20質量部以下がより好ましい。   The content of the component (D) in the photosensitive resin composition is 5 in terms of suppressing charge accumulation and suppressing electrode dissolution relative to 100 parts by mass of the total amount of the components (A) and (B). More than mass part is preferable and 10 mass parts or more is more preferable. Moreover, in the point which the photosensitive resin composition is excellent in film forming property, 30 mass parts or less are preferable, and 20 mass parts or less are more preferable.

(E)成分:グリセリン脂肪酸エステル
(E)成分のグリセリン脂肪酸エステルとしては、例えば、グリセリンモノステアレート、グリセリンモノパルミテート、グリセリンモノベヘネート、グリセリンモノオレート、グリセリンモノカプリレート、グリセリンモノカプレート、グリセリンモノラウレート等のモノグリセライド類、グリセリンジステアレート、グリセリンジパルミテート、グリセリンジベヘネート、グリセリンジオレート等のジグリセライド類、ジグリセリンラウレート、ジグリセリンモノラウレート、ジグリセリンモノミリステート、ジグリセリンステアレート、ジグリセリンモノステアレート、ジグリセリンモノオレート、ジグリセリンオレエート、ジグリセリンモノオレート等のジグリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンソルビタントリオレート、ポリオキシエチレングリセリンモノステアレート等のエチレンオキサイド付加物、ソルビタンラウレート、ソルビタンパルミテート、ソルビタンステアレート、ソルビタンステアレート、ソルビタントリステアレート、ソルビタンオレート、ソルビタントリオレート、ソルビタントリベヘネート、ソルビタンカプリレート等のソルビタン脂肪酸エステル類、コハク酸脂肪酸モノグリセライド、クエン酸脂肪酸モノグリセライド、ジアセチル酒石酸脂肪酸モノグリセライド等の有機酸モノグリセライドが挙げられ、表示媒体の表面電位に影響させない(感光性樹脂組成物の電荷の蓄積を抑える)観点からジグリセリンモノオレートが好ましい。
(E) Component: Glycerin fatty acid ester Examples of the glycerin fatty acid ester of component (E) include glycerin monostearate, glycerin monopalmitate, glycerin monobehenate, glycerin monooleate, glycerin monocaprylate, glycerin monocaprate, glycerin. Monoglycerides such as monolaurate, glycerin distearate, glycerin dipalmitate, glycerin dibehenate, diglycerides such as glycerine diolate, diglycerin laurate, diglycerin monolaurate, diglycerin monomyristate, diglycerin Diglycerin fatty acid esters such as stearate, diglycerin monostearate, diglycerin monooleate, diglycerin oleate, diglycerin monooleate, polio Ethylene oxide adducts such as xylethylene alkyl ether, polyoxyethylene sorbitan trioleate, polyoxyethylene glycerin monostearate, sorbitan laurate, sorbitan palmitate, sorbitan stearate, sorbitan stearate, sorbitan tristearate, sorbitan oleate, Examples include sorbitan fatty acid esters such as sorbitan trioleate, sorbitan tribehenate, and sorbitan caprylate, and organic acid monoglycerides such as succinic acid fatty acid monoglyceride, citric acid fatty acid monoglyceride, and diacetyltartaric acid fatty acid monoglyceride, which affect the surface potential of the display medium. Diglycerin monooleate is preferred from the standpoint of preventing it (suppressing charge accumulation of the photosensitive resin composition).

(F)成分:増感剤
本実施形態の感光性樹脂組成物は、(F)成分として増感剤(増感色素)の少なくとも1種を含有することができる。(F)成分である増感剤としては、例えば、ジアルキルアミノベンゾフェノン化合物、ピラゾリン化合物、アントラセン化合物、クマリン化合物、キサントン化合物、チオキサントン化合物、オキサゾール化合物、ベンゾオキサゾール化合物、チアゾール化合物、ベンゾチアゾール化合物、トリアゾール化合物、スチルベン化合物、トリアジン化合物、チオフェン化合物、ナフタルイミド化合物、トリアリールアミン化合物、及びアミノアクリジン化合物が挙げられる。これらは単独で、又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
(F) component: Sensitizer The photosensitive resin composition of this embodiment can contain at least 1 sort (s) of a sensitizer (sensitizing dye) as a (F) component. Examples of the sensitizer as the component (F) include dialkylaminobenzophenone compounds, pyrazoline compounds, anthracene compounds, coumarin compounds, xanthone compounds, thioxanthone compounds, oxazole compounds, benzoxazole compounds, thiazole compounds, benzothiazole compounds, and triazole compounds. , Stilbene compounds, triazine compounds, thiophene compounds, naphthalimide compounds, triarylamine compounds, and aminoacridine compounds. These can be used alone or in combination of two or more.

特に、340〜430nmの活性光線を用いて感光性樹脂組成物層の露光を行う場合には、感度及び密着性の観点から、(F)成分は、ジアルキルアミノベンゾフェノン化合物、ピラゾリン化合物、アントラセン化合物、クマリン化合物、トリアリールアミン化合物、チオキサントン化合物及びアミノアクリジン化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種の増感剤を含むことが好ましく、中でもジアルキルアミノベンゾフェノン化合物、ピラゾリン化合物、アントラセン化合物、及びトリアリールアミン化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種を含むことがより好ましく、ピラゾリン化合物の少なくとも1種を含むことが更に好ましい。   In particular, when the photosensitive resin composition layer is exposed using actinic rays having a wavelength of 340 to 430 nm, from the viewpoint of sensitivity and adhesion, the component (F) is a dialkylaminobenzophenone compound, a pyrazoline compound, an anthracene compound, It preferably contains at least one sensitizer selected from the group consisting of a coumarin compound, a triarylamine compound, a thioxanthone compound and an aminoacridine compound, and among them, a dialkylaminobenzophenone compound, a pyrazoline compound, an anthracene compound, and a triarylamine compound More preferably, it contains at least one selected from the group consisting of, and more preferably contains at least one pyrazoline compound.

上記感光性樹脂組成物における(F)成分の含有量は、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部に対して0.01質量部〜10質量部とすることが好ましく、0.05質量部〜5質量部とすることがより好ましく、0.1質量部〜3質量部とすることが更に好ましい。この含有量が0.01質量部以上であると、より優れた感度及び解像度が得られ易くなる傾向があり、10質量部以下であると、十分に良好なレジスト形状が得られ易くなる傾向がある。   The content of the component (F) in the photosensitive resin composition is preferably 0.01 parts by mass to 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of the components (A) and (B). It is more preferable to set it as 05 mass parts-5 mass parts, and it is still more preferable to set it as 0.1 mass parts-3 mass parts. When this content is 0.01 parts by mass or more, more excellent sensitivity and resolution tend to be easily obtained, and when it is 10 parts by mass or less, a sufficiently good resist shape tends to be easily obtained. is there.

上記ピラゾリン化合物としては、特に制限なく用いることができる。具体的には、1−フェニル−3−(4−イソプロピルスチリル)−5−(4−イソプロピルフェニル)−ピラゾリン、1−フェニル−3−(4−tert−ブチル−スチリル)−5−(4−tert−ブチルフェニル)−ピラゾリン、1−フェニル−3−(4−メトキシスチリル)−5−(4−メトキシフェニル)−ピラゾリン、1−フェニル−3−(3,5−ジメトキシスチリル)−5−(3,5−ジメトキシフェニル)−ピラゾリン、1−フェニル−3−(3,4−ジメトキシスチリル)−5−(3,4−ジメトキシフェニル)−ピラゾリン、1−フェニル−3−(2,6−ジメトキシスチリル)−5−(2,6−ジメトキシフェニル)−ピラゾリン、1−フェニル−3−(2,5−ジメトキシスチリル)−5−(2,5−ジメトキシフェニル)−ピラゾリン、1−フェニル−3−(2,3−ジメトキシスチリル)−5−(2,3−ジメトキシフェニル)−ピラゾリン、1−フェニル−3−(2,4−ジメトキシスチリル)−5−(2,4−ジメトキシフェニル)−ピラゾリンが挙げられる。   The pyrazoline compound can be used without particular limitation. Specifically, 1-phenyl-3- (4-isopropylstyryl) -5- (4-isopropylphenyl) -pyrazoline, 1-phenyl-3- (4-tert-butyl-styryl) -5- (4- tert-butylphenyl) -pyrazoline, 1-phenyl-3- (4-methoxystyryl) -5- (4-methoxyphenyl) -pyrazoline, 1-phenyl-3- (3,5-dimethoxystyryl) -5- ( 3,5-dimethoxyphenyl) -pyrazoline, 1-phenyl-3- (3,4-dimethoxystyryl) -5- (3,4-dimethoxyphenyl) -pyrazoline, 1-phenyl-3- (2,6-dimethoxy) Styryl) -5- (2,6-dimethoxyphenyl) -pyrazoline, 1-phenyl-3- (2,5-dimethoxystyryl) -5- (2,5-dimethoxyphenyl) Nyl) -pyrazoline, 1-phenyl-3- (2,3-dimethoxystyryl) -5- (2,3-dimethoxyphenyl) -pyrazoline, 1-phenyl-3- (2,4-dimethoxystyryl) -5 (2,4-dimethoxyphenyl) -pyrazoline.

また、1−フェニル−3,5−ビス(4−tert−ブチルフェニル)−ピラゾリン、1−フェニル−3,5−ビス(4−メトキシフェニル)−ピラゾリン、1−フェニル−3−(4−ビフェニル)−5−(4−tert−ブチルフェニル)−ピラゾリン、1−フェニル−3−(4−ビフェニル)−5−(4−tert−オクチルフェニル)−ピラゾリンが挙げられる。   Also, 1-phenyl-3,5-bis (4-tert-butylphenyl) -pyrazoline, 1-phenyl-3,5-bis (4-methoxyphenyl) -pyrazoline, 1-phenyl-3- (4-biphenyl) ) -5- (4-tert-butylphenyl) -pyrazoline, 1-phenyl-3- (4-biphenyl) -5- (4-tert-octylphenyl) -pyrazoline.

これらの中でも、1−フェニル−3−(4−イソプロピルスチリル)−5−(4−イソプロピルフェニル)−ピラゾリン、1−フェニル−3−(4−tert−ブチル−スチリル)−5−(4−tert−ブチルフェニル)−ピラゾリン、1−フェニル−3−(4−メトキシスチリル)−5−(4−メトキシフェニル)−ピラゾリン、1−フェニル−3,5−ビス(4−tert−ブチルフェニル)−ピラゾリン、1−フェニル−3,5−ビス(4−メトキシフェニル)−ピラゾリン、1−フェニル−3−(4−ビフェニル)−5−(4−tert−ブチルフェニル)−ピラゾリン、1−フェニル−3−(4−ビフェニル)−5−(4−tert−オクチルフェニル)−ピラゾリンから選択される一種を用いることが好ましく、1−フェニル−3−(4−イソプロピルスチリル)−5−(4−イソプロピルフェニル)−ピラゾリン、1−フェニル−3−(4−tert−ブチル−スチリル)−5−(4−tert−ブチルフェニル)−ピラゾリン、1−フェニル−3−(4−メトキシスチリル)−5−(4−メトキシフェニル)−ピラゾリン、1−フェニル−3−(4−ビフェニル)−5−(4−tert−ブチルフェニル)−ピラゾリン、1−フェニル−3−(4−ビフェニル)−5−(4−tert−オクチルフェニル)−ピラゾリンから選択される一種を用いることがより好ましく、1−フェニル−3−(4−イソプロピルスチリル)−5−(4−イソプロピルフェニル)−ピラゾリン、1−フェニル−3−(4−tert−ブチル−スチリル)−5−(4−tert−ブチルフェニル)−ピラゾリン、1−フェニル−3−(4−メトキシスチリル)−5−(4−メトキシフェニル)−ピラゾリンから選択される一種を用いることが更に好ましい。   Among these, 1-phenyl-3- (4-isopropylstyryl) -5- (4-isopropylphenyl) -pyrazoline, 1-phenyl-3- (4-tert-butyl-styryl) -5- (4-tert -Butylphenyl) -pyrazoline, 1-phenyl-3- (4-methoxystyryl) -5- (4-methoxyphenyl) -pyrazoline, 1-phenyl-3,5-bis (4-tert-butylphenyl) -pyrazoline 1-phenyl-3,5-bis (4-methoxyphenyl) -pyrazoline, 1-phenyl-3- (4-biphenyl) -5- (4-tert-butylphenyl) -pyrazoline, 1-phenyl-3- It is preferable to use one selected from (4-biphenyl) -5- (4-tert-octylphenyl) -pyrazoline. 3- (4-isopropylstyryl) -5- (4-isopropylphenyl) -pyrazoline, 1-phenyl-3- (4-tert-butyl-styryl) -5- (4-tert-butylphenyl) -pyrazoline, 1 -Phenyl-3- (4-methoxystyryl) -5- (4-methoxyphenyl) -pyrazoline, 1-phenyl-3- (4-biphenyl) -5- (4-tert-butylphenyl) -pyrazoline, 1- It is more preferable to use one selected from phenyl-3- (4-biphenyl) -5- (4-tert-octylphenyl) -pyrazoline, and 1-phenyl-3- (4-isopropylstyryl) -5- ( 4-Isopropylphenyl) -pyrazoline, 1-phenyl-3- (4-tert-butyl-styryl) -5- (4-tert-butyl) Phenyl) - pyrazoline, 1-phenyl-3- (4-methoxyphenyl) -5- (4-methoxyphenyl) - it is more preferable to use one selected from pyrazoline.

<その他の成分>
本実施形態の感光性樹脂組成物は、金属配線や金属層等の銅及び銅合金、ITO、IZO(酸化インジウム亜鉛)等を腐食させることなく、優れた防錆効果、未露光部の残膜防止効果、及び膜密着効果を奏する点で、(G)成分:メルカプト基を含まない複素環状化合物を含むことが好ましい。
<Other ingredients>
The photosensitive resin composition of the present embodiment has an excellent anticorrosive effect and a residual film of an unexposed portion without corroding copper and copper alloys such as metal wiring and metal layer, ITO, IZO (indium zinc oxide) and the like. It is preferable that the (G) component: the heterocyclic compound which does not contain a mercapto group is included at the point which has a prevention effect and a film | membrane adhesion | attachment effect.

複素環状化合物は、二種又はそれ以上の元素の原子(炭素のほか、窒素、酸素、硫黄等)から環が構成されてなる環式化合物をいう。複素環状化合物としては、トリアゾール環、ピロール環、フラン環、チオフェン環、イミダゾール環、オキサゾール環、チアゾール環、ピラゾール環、イソオキサゾール環、イソチアゾール環、テトラゾール環、ピリジン環、ピリダジン環、ピリミジン環、ピラジン環、ピペリジン環、ピペラジン環、モルホリン環、2H−ピラン環、6H−ピラン環、トリアジン環等の複素環を有する化合物、及びこれらの化合物の塩等が挙げられる。   A heterocyclic compound refers to a cyclic compound in which a ring is composed of atoms of two or more elements (carbon, nitrogen, oxygen, sulfur, etc.). Examples of the heterocyclic compound include triazole ring, pyrrole ring, furan ring, thiophene ring, imidazole ring, oxazole ring, thiazole ring, pyrazole ring, isoxazole ring, isothiazole ring, tetrazole ring, pyridine ring, pyridazine ring, pyrimidine ring, Examples thereof include compounds having a heterocyclic ring such as a pyrazine ring, a piperidine ring, a piperazine ring, a morpholine ring, a 2H-pyran ring, a 6H-pyran ring and a triazine ring, and salts of these compounds.

上記の中でも炭素原子と窒素原子を含むトリアゾール環、ピロール環、ピラゾール環、チアゾール環、イミダゾール環及びテトラゾール環のうちの一種以上を有する化合物及びこれらの化合物の塩が好ましい。   Among these, compounds having one or more of a triazole ring, a pyrrole ring, a pyrazole ring, a thiazole ring, an imidazole ring and a tetrazole ring containing a carbon atom and a nitrogen atom, and salts of these compounds are preferable.

(G)成分のメルカプト基を含まない複素環状化合物は、テトラゾール環を有する場合、1H−テトラゾール、5置換−1H−テトラゾール、1置換−1H−テトラゾール及びその誘導体からなる群から選択される少なくとも1種であると好ましい。   When the heterocyclic compound not containing the mercapto group as component (G) has a tetrazole ring, it is at least one selected from the group consisting of 1H-tetrazole, 5 substituted-1H-tetrazole, 1-substituted-1H-tetrazole and derivatives thereof. A seed is preferred.

上記(G)成分の複素環状化合物はトリアゾール環を有する化合物が好ましい。中でも、1,2,3−トリアゾール、1,2,4−トリアゾール及びその誘導体、1,2,3−ベンゾトリアゾール、5置換−1H−ベンゾトリアゾール、6置換−1H−ベンゾトリアゾール、5,6置換−1H−ベンゾトリアゾール及びその誘導体からなる群から選択されると好ましい。また、(G)成分の複素環状化合物は、4−メチル−1Hベンゾトリアゾールンのアミン塩や、5−メチル−1Hベンゾトリアゾールンのアミン塩(例えば、ANTAGE TDP(フェノチアジン、川口化学工業株式会社製、商品名(「ANTAGE」は登録商標))等)を含有することが好ましい。   The heterocyclic compound as the component (G) is preferably a compound having a triazole ring. Among them, 1,2,3-triazole, 1,2,4-triazole and derivatives thereof, 1,2,3-benzotriazole, 5-substituted-1H-benzotriazole, 6-substituted-1H-benzotriazole, 5,6-substituted Preferably, it is selected from the group consisting of -1H-benzotriazole and its derivatives. The heterocyclic compound (G) is an amine salt of 4-methyl-1H benzotriazole, an amine salt of 5-methyl-1H benzotriazole (for example, ANTAGE TDP (phenothiazine, manufactured by Kawaguchi Chemical Industry Co., Ltd.) , Trade name ("ANTAGE" is a registered trademark)) and the like.

以上のような成分を含む感光性樹脂組成物は、さらに必要に応じて、熱発色防止剤、p−トルエンスルホンアミド等の可塑剤、顔料、充填剤、消泡剤、難燃剤、安定剤、密着性付与剤、レベリング剤、剥離促進剤、酸化防止剤、香料、イメージング剤、熱架橋剤などを、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部に対して各々0.01〜20質量部程度含有することができるが、着色性を有する成分は含まないことが好ましい。   The photosensitive resin composition containing the components as described above may further include a thermochromic inhibitor, a plasticizer such as p-toluenesulfonamide, a pigment, a filler, an antifoaming agent, a flame retardant, a stabilizer, if necessary. An adhesiveness imparting agent, a leveling agent, a peeling accelerator, an antioxidant, a fragrance, an imaging agent, a thermal crosslinking agent, etc. are each 0.01 to 20 parts per 100 parts by mass of the total amount of the component (A) and the component (B). Although it can contain about a mass part, it is preferable not to contain the component which has coloring property.

特に、ロイコクリスタルバイオレットやマラカイトグリーン等の着色性を有する化合物(染料)の含有量は、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部に対して0.1質量部以下であることが好ましく、0.05質量部以下であることがより好ましく、0.01質量部以下であることがさらに好ましい。   In particular, the content of the coloring compound (dye) such as leuco crystal violet or malachite green may be 0.1 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the total amount of the component (A) and the component (B). Preferably, it is 0.05 parts by mass or less, and more preferably 0.01 parts by mass or less.

以上のような成分を含む本発明の感光性樹脂組成物は、たとえば、含有成分をロールミル、ビーズミル等で均一に混練、混合することにより得ることができる。また、必要に応じて、メタノール、エタノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、トルエン、N,N−ジメチルホルムアミド、プロピレングリコールモノメチルエーテル等の溶剤又はこれらの混合溶剤に溶解して、固形分30〜60質量%程度の溶液として用いることができる。   The photosensitive resin composition of the present invention containing the components as described above can be obtained, for example, by uniformly kneading and mixing the contained components with a roll mill, a bead mill or the like. If necessary, it can be dissolved in a solvent such as methanol, ethanol, acetone, methyl ethyl ketone, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, toluene, N, N-dimethylformamide, propylene glycol monomethyl ether or a mixed solvent thereof to obtain a solid content of 30 It can be used as a solution of about ˜60% by mass.

得られた感光性樹脂組成物を用いて画像表示装置用基板上に感光性樹脂組成物層を形成する方法としては、特に制限はないが、上記基板上に感光性樹脂組成物を液状レジストとして塗布して乾燥する方法を用いることができる。また、必要に応じて感光性樹脂組成物層上に保護フィルムを被覆することができる。さらに、後に詳しく述べるが、感光性樹脂組成物層を感光性エレメントの形態で用いることが好ましい。   A method for forming a photosensitive resin composition layer on a substrate for an image display device using the obtained photosensitive resin composition is not particularly limited, but the photosensitive resin composition is used as a liquid resist on the substrate. A method of applying and drying can be used. Moreover, a protective film can be coat | covered on the photosensitive resin composition layer as needed. Further, as will be described in detail later, it is preferable to use the photosensitive resin composition layer in the form of a photosensitive element.

塗布される感光性樹脂組成物層の厚みは、用途により異なるが、乾燥後の厚みで10〜100μmであることが好ましい。液状レジストとして塗布後、保護フィルムを被覆して用いる場合の保護フィルムとしては、たとえば、ポリエチレン、ポリプロピレン等の重合体フィルムが挙げられる。   The thickness of the photosensitive resin composition layer to be applied varies depending on the use, but is preferably 10 to 100 μm after drying. Examples of the protective film in the case where the protective film is used after being coated as a liquid resist include polymer films such as polyethylene and polypropylene.

本発明の感光性エレメントは、支持体と、その上に上記感光性樹脂組成物を用いて形成された感光性樹脂組成物層とを備える。   The photosensitive element of this invention is equipped with a support body and the photosensitive resin composition layer formed on the support body using the said photosensitive resin composition.

図1は、本発明の感光性エレメントの好適な一実施形態を示す模式断面図である。図1に示すように、本発明の感光性エレメント10は、支持体1と、その上に上記感光性樹脂組成物を用いて形成された感光性樹脂組成物層2(以下、「感光層2」ともいう)と、感光性樹脂組成物層2上に形成された保護フィルム3と、を備える。なお、保護フィルム3は、必要に応じて設けられる。   FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a preferred embodiment of the photosensitive element of the present invention. As shown in FIG. 1, a photosensitive element 10 of the present invention comprises a support 1 and a photosensitive resin composition layer 2 (hereinafter referred to as “photosensitive layer 2”) formed on the support 1 using the above photosensitive resin composition. And a protective film 3 formed on the photosensitive resin composition layer 2. In addition, the protective film 3 is provided as needed.

支持体としては、たとえば、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリプロピレン、ポリエチレン等の重合体フィルムを好ましく用いることができる。重合体フィルムの厚みは、1〜100μm程度とすることが好ましく、5〜50μmであることがより好ましく、10〜30μmであることがさらに好ましい。   As the support, for example, a polyester film such as polyethylene terephthalate, or a polymer film such as polypropylene or polyethylene can be preferably used. The thickness of the polymer film is preferably about 1 to 100 μm, more preferably 5 to 50 μm, and still more preferably 10 to 30 μm.

支持体上への感光性樹脂組成物層の形成方法は、特に限定されないが、感光性樹脂組成物の溶液を塗布、乾燥することにより好ましく実施できる。塗布される感光性樹脂組成物層の厚みは、用途により異なるが、隔壁の用途に使用する場合は、乾燥後の厚みで10〜100μmであることが好ましい。   Although the formation method of the photosensitive resin composition layer on a support body is not specifically limited, It can implement preferably by apply | coating and drying the solution of the photosensitive resin composition. The thickness of the photosensitive resin composition layer to be applied varies depending on the application, but when used for the partition, it is preferably 10 to 100 μm in thickness after drying.

(隔壁の形成方法)
次に、本発明の隔壁の形成方法について、画像表示装置の製造方法を例にとり説明する。まず、図2(a)に示すように、電極4と基板5とからなる電極基板30を用意し、図2(b)に示すように、この電極基板30上に、上述した感光性エレメント10における感光層2及び支持体1を積層する(積層工程)。
(Partition formation method)
Next, the method for forming the partition wall according to the present invention will be described by taking a method for manufacturing an image display device as an example. First, as shown in FIG. 2A, an electrode substrate 30 comprising an electrode 4 and a substrate 5 is prepared. As shown in FIG. 2B, the above-described photosensitive element 10 is formed on the electrode substrate 30. The photosensitive layer 2 and the support 1 are laminated (lamination step).

電極基板30を構成する基板5としては、屈曲性を有する基板であれば特に制限されず、例えば、ポリマーフィルム基板のような絶縁基板、及び、シリコン基板等の半導体基板が挙げられる。電極基板30としては、このような基板5上にITO、IZO、Agワイヤ・インクのような屈曲性を有する電極4が形成されたものが挙げられる。電極4の形成方法としては、蒸着、スパッタリング等の方法で積層した電極材料をフォトリソ手法を用いてパターン形成する方法や、感光性を有する電極材料をパターニングする方法などが挙げられる。この電極4の形成方法に関しては特に制限はない。   The substrate 5 constituting the electrode substrate 30 is not particularly limited as long as it is a flexible substrate, and examples thereof include an insulating substrate such as a polymer film substrate and a semiconductor substrate such as a silicon substrate. Examples of the electrode substrate 30 include a substrate 5 on which a flexible electrode 4 such as ITO, IZO, and Ag wire ink is formed. Examples of the method of forming the electrode 4 include a method of patterning an electrode material laminated by a method such as vapor deposition and sputtering using a photolithography method, a method of patterning a photosensitive electrode material, and the like. There are no particular restrictions on the method of forming this electrode 4.

電極基板30上への感光層2の積層方法としては、上述した感光性エレメント10を用いる方法のほか、感光性樹脂組成物の溶液を電極基板30上に塗布し乾燥する方法を用いることもできる。   As a method of laminating the photosensitive layer 2 on the electrode substrate 30, in addition to the method using the photosensitive element 10 described above, a method of applying a solution of the photosensitive resin composition onto the electrode substrate 30 and drying can also be used. .

感光性エレメント10を用いる積層方法は、感光層2上に保護フィルム3が存在している場合には、保護フィルム3を除去しながら電極基板30上へ積層する。上記積層条件としては、例えば、感光層2を70〜130℃程度に加熱しながら、電極基板30上に0.1〜1MPa程度(1〜10kgf/cm2程度)の圧力で圧着することにより積層する方法等が挙げられ、減圧下で積層することも可能である。電極基板30表面の形状は、通常は電極パターンが形成されているが、平坦であったり、必要に応じて凹凸が形成されていてもよい。   In the lamination method using the photosensitive element 10, when the protective film 3 exists on the photosensitive layer 2, the photosensitive element 10 is laminated on the electrode substrate 30 while removing the protective film 3. As the lamination conditions, for example, the photosensitive layer 2 is laminated by being pressure-bonded onto the electrode substrate 30 with a pressure of about 0.1 to 1 MPa (about 1 to 10 kgf / cm 2) while heating to about 70 to 130 ° C. The method etc. are mentioned, It is also possible to laminate | stack under reduced pressure. The surface of the electrode substrate 30 is usually formed with an electrode pattern, but may be flat or uneven as needed.

感光層2の積層後、図2(b)に示すように、感光層2に画像状に活性光線8を照射して、露光部を光硬化させる(露光工程)。画像状に活性光線8を照射させる方法としては、図2(b)に示すように、感光層2上にマスクパターン7を設置して画像状に活性光線8を照射し、露光部の感光層2を光硬化させる方法がある。マスクパターン7は、ネガ型でもポジ型でもよく、一般に用いられているものを使用できる。活性光線8の光源としては、公知の光源、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等の紫外線、可視光などを有効に放射するものが用いられる。また、露光方法としては、マスクパターン7を用いずにレーザーで直接パターンを描画する、直接描画露光法を用いることもできる。   After the lamination of the photosensitive layer 2, as shown in FIG. 2B, the photosensitive layer 2 is irradiated with an actinic ray 8 in an image form to photocur the exposed portion (exposure process). As a method of irradiating actinic rays 8 in an image form, as shown in FIG. 2 (b), a mask pattern 7 is placed on the photosensitive layer 2 to irradiate actinic rays 8 in an image form, and a photosensitive layer in an exposed portion. There is a method of photocuring 2. The mask pattern 7 may be a negative type or a positive type, and those generally used can be used. As the light source of the actinic ray 8, a known light source, for example, a light source that effectively emits ultraviolet light, visible light, or the like, such as a carbon arc lamp, a mercury vapor arc lamp, a high-pressure mercury lamp, or a xenon lamp is used. As an exposure method, a direct drawing exposure method in which a pattern is directly drawn with a laser without using the mask pattern 7 can also be used.

露光後、図2(c)に示すように、未露光部の感光層2を現像により選択的に除去することにより、画像表示装置用の基板(電極基板30)上に光硬化物パターン20が形成される(現像工程)。図3及び図4に、光硬化物のパターンの一例を示す。図3は、図2(c)の隔壁(光硬化物パターン20)が格子状に形成された例を示す模式平面図であり、図4は、図2(c)の隔壁(光硬化物パターン20)が六角形状に形成された例を示す模式平面図である。図3及び図4においては、図2(c)に示すように電極4及び光硬化物パターン20の下に基板5が配置されているが、電極4はITO電極でもよく、基板5はPET基板でもよい。なお、現像工程は、支持体1が存在する場合は、現像に先立ち、支持体1を除去する。   After the exposure, as shown in FIG. 2C, the photocured material pattern 20 is formed on the substrate (electrode substrate 30) for the image display device by selectively removing the unexposed portion of the photosensitive layer 2 by development. It is formed (development process). 3 and 4 show an example of the pattern of the photocured product. FIG. 3 is a schematic plan view showing an example in which the partition walls (photocured material pattern 20) of FIG. 2C are formed in a lattice shape, and FIG. 4 is a partition wall (photocured material pattern) of FIG. 20) is a schematic plan view illustrating an example in which a hexagonal shape is formed. 3 and 4, the substrate 5 is disposed under the electrode 4 and the photocured material pattern 20 as shown in FIG. 2C. However, the electrode 4 may be an ITO electrode, and the substrate 5 is a PET substrate. But you can. In the development step, when the support 1 is present, the support 1 is removed prior to development.

現像は、アルカリ性水溶液、水系現像液、有機溶剤等の現像液によるウエット現像、ドライ現像等で未露光部を除去することにより行われる。本実施形態においては、アルカリ性水溶液を用いることが好ましい。アルカリ性水溶液としては、例えば、0.1〜5質量%炭酸ナトリウム溶液、0.1〜5質量%炭酸カリウム溶液、0.1〜5質量%水酸化カリウム溶液等が挙げられる。このアルカリ性水溶液のpHは9〜11の範囲とすることが好ましく、その温度は、感光層の現像性に合わせて調節される。また、アルカリ性水溶液中には、界面活性剤、消泡剤、有機溶剤等を混入させてもよい。上記現_像の方式としては、例えば、ディップ方式、スプレー方式、ブラッシング、スラッピング等が挙げられるが、解像度を向上させるにはスプレー方式が好ましい。   Development is performed by removing unexposed portions by wet development, dry development, or the like using a developer such as an alkaline aqueous solution, an aqueous developer, or an organic solvent. In the present embodiment, it is preferable to use an alkaline aqueous solution. As alkaline aqueous solution, 0.1-5 mass% sodium carbonate solution, 0.1-5 mass% potassium carbonate solution, 0.1-5 mass% potassium hydroxide solution etc. are mentioned, for example. The pH of the alkaline aqueous solution is preferably in the range of 9 to 11, and the temperature is adjusted according to the developability of the photosensitive layer. Moreover, you may mix surfactant, an antifoamer, an organic solvent, etc. in alkaline aqueous solution. Examples of the current image method include a dip method, a spray method, brushing, and slapping. The spray method is preferable for improving the resolution.

現像後の処理として、形成された上記光硬化物パターン20を、必要に応じて60〜250℃程度の加熱処理により更に硬化させることが好ましい。硬化温度は、80〜200℃程度であることが好ましく、100〜150℃程度であることがより好ましい。また、硬化時間は特に制限はないが、10分〜3時間であることが好ましく、30分〜2時間であることがより好ましい。   As the treatment after development, it is preferable that the formed photocured product pattern 20 is further cured by a heat treatment at about 60 to 250 ° C. as necessary. The curing temperature is preferably about 80 to 200 ° C, and more preferably about 100 to 150 ° C. The curing time is not particularly limited, but is preferably 10 minutes to 3 hours, and more preferably 30 minutes to 2 hours.

また、上記工程で形成した光硬化物パターン20内に、粒子等の表示媒体を充填する工程、上記光硬化物パターン20に別の電極基板30を貼り付ける工程(図2の(d)及び(e))等を経て、画像表示装置の隔壁の形成、及び、画像表示装置100の製造を完了することができる。   Further, a step of filling a display medium such as particles in the photocured product pattern 20 formed in the above step, a step of attaching another electrode substrate 30 to the photocured product pattern 20 ((d) and ( Through e)) and the like, the formation of the partition walls of the image display device and the manufacture of the image display device 100 can be completed.

図2(d)に示すように、上記現像工程で形成した光硬化物パターン20内に、粒子等の表示媒体50を充填する。表示媒体としては特に限定されないが、電子粉粒体、顔料インク、白色微細粒子等が挙げられる。電子粉粒体や白色微細粒子等を用いる場合、それら以外の光硬化物パターン20内の空間には、空気、オレフィン系溶剤、シリコーンオイル等が充填される。また、用途によっては、表示媒体が必要でない場合がある。   As shown in FIG. 2D, a display medium 50 such as particles is filled in the photocured product pattern 20 formed in the above development step. Although it does not specifically limit as a display medium, An electronic powder body, pigment ink, a white fine particle, etc. are mentioned. When using electronic powder particles, white fine particles, or the like, the space in the photocured material pattern 20 other than those is filled with air, an olefin solvent, silicone oil, or the like. Also, depending on the application, a display medium may not be necessary.

光硬化物パターン20に別の電極基板30を貼り付ける工程は、以下のようにして行うことができる。すなわち、上記工程は、図2(d)に示すように、光硬化物パターン20上に接着剤40を積層し、図2(e)に示すように、接着剤40によって電極基板30と光硬化物パターン20とを接着することにより行われる。なお、接着剤40を用いることなく、光硬化物パターン20に直接電極基板30を接着してもよい。   The step of attaching another electrode substrate 30 to the photocured material pattern 20 can be performed as follows. That is, in the above process, the adhesive 40 is laminated on the photocured material pattern 20 as shown in FIG. 2D, and the electrode substrate 30 and the photocured material are cured by the adhesive 40 as shown in FIG. This is done by adhering the object pattern 20. The electrode substrate 30 may be directly bonded to the photocured material pattern 20 without using the adhesive 40.

画像表示装置100の少なくとも表示面側の電極基板には、透明な電極基板が用いられる。画像表示装置100の好ましい態様としては、基板5として透明なガラス基板を用い、電極4として透明なITO電極を用いた態様が挙げられる。   A transparent electrode substrate is used for at least the display substrate of the image display device 100. A preferable embodiment of the image display device 100 includes an embodiment in which a transparent glass substrate is used as the substrate 5 and a transparent ITO electrode is used as the electrode 4.

上述した各工程を経て形成された画像表示装置は、屈曲性を有する電極基板30と、高度な伸びを有する光硬化物パターン20からなる隔壁とを備えており、優れた屈曲性を達成することができる。特に、電極4の材料の選択によっては、曲率半径5〜15mm程度まで対応可能な高度な屈曲性を有する画像表示装置が得られる。また、本発明の感光性樹脂組成物を用いて形成された隔壁は、曲率半径5〜15mm程度で画像表示装置を屈曲した場合でも、破損の発生を十分に抑制することができる(図5参照)。   The image display device formed through the above-described steps includes an electrode substrate 30 having flexibility and a partition made of a photocured material pattern 20 having high elongation, and achieves excellent flexibility. Can do. In particular, depending on the selection of the material of the electrode 4, an image display device having a high degree of flexibility capable of dealing with a curvature radius of about 5 to 15 mm can be obtained. Moreover, the partition formed using the photosensitive resin composition of the present invention can sufficiently suppress the occurrence of breakage even when the image display device is bent with a curvature radius of about 5 to 15 mm (see FIG. 5). ).

本発明の画像表示装置の製造方法は、粒子等の表示媒体を上記工程で得た隔壁内に充填する工程と、一方の基板に対向するように隔壁の反対側に基板を貼り付ける工程と、を有する。上記基板としては、ガラス基板若しくはポリマー基板のような絶縁基板又はシリコン基板等の半導体基板若しくはITOやIZOのような電極が形成された半導体基板が挙げられる。   The method for producing an image display device of the present invention includes a step of filling a display medium such as particles in the partition obtained in the above step, a step of attaching a substrate to the opposite side of the partition so as to face one substrate, Have Examples of the substrate include an insulating substrate such as a glass substrate or a polymer substrate, a semiconductor substrate such as a silicon substrate, or a semiconductor substrate on which an electrode such as ITO or IZO is formed.

以下に、実施例により本発明を更に詳しく説明するが、本発明の技術思想を逸脱しない限り、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. However, the present invention is not limited to these examples without departing from the technical idea of the present invention.

(実施例1〜5及び比較例1〜8)
まず、下記成分を混合し、溶液を得た。
(B)成分:光重合性化合物
HT−9082−95(有機イソシアネート及び2−ヒドロキシエチルアクリレートを反応させて得られた、末端にヒドロキシル基を有するポリカーボネート化合物、重量平均分子量4000、日立化成株式会社製、商品名)3.8g
UA−21EB(上記一般式(1)中、Rが全て一般式(4)で表される基である化合物、新中村化学工業株式会社、商品名)14.6g
FA−023M(日立化成株式会社製、商品名)6.4g
FA−024M(日立化成株式会社製、商品名)3.8g
FA−MECH(γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β’−メタクリロイルオキシエチル−o−フタレート、日立化成株式会社製、商品名)6.4g
(C)成分:光重合開始剤
N−1717(1,7−ビス(9−アクリジニル)ヘプタン、株式会社ADEKA製、商品名)0.3g
IRGACURE 651(2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、BASFジャパン株式会社製、商品名(「IRGACURE」は登録商標))3.0g
ノンネンKY−TB(α,α,α−トリブロモメチルフェニルスルホン、丸菱油化工業株式会社製、商品名(「ノンネン」は登録商標))1.0g
(D)成分:分子内にエポキシ基を有する化合物
エピクロンN−670−EXP−S(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、DIC株式会社製、商品名)8.0g
(E)成分:グリセリン脂肪酸エステル
エレクトロストリッパーME−1(ジグリセリンモノオレート、花王株式会社製、商品名(「エレクトロストリッパー」は登録商標))1.0g
(その他の成分)
BT−1HCA(チタンブラック分散液、三菱マテリアル電子化成株式会社製、商品名)0.45g
フローレンDOPA−17HF(分散剤、共栄社化学株式会社製、商品名)0.145g
SH−193(レベリング剤、東レ・ダウコーニング株式会社製、商品名)0.04g
トルエン3g
メタノール1g
メチルエチルケトン10g
(Examples 1-5 and Comparative Examples 1-8)
First, the following components were mixed to obtain a solution.
(B) Component: Photopolymerizable compound HT-9082-95 (obtained by reacting organic isocyanate and 2-hydroxyethyl acrylate, a polycarbonate compound having a hydroxyl group at the terminal, weight average molecular weight 4000, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd. , Product name) 3.8g
UA-21EB (a compound in which R 1 is a group represented by the general formula (4) in the above general formula (1), Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., trade name) 14.6 g
FA-023M (trade name, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) 6.4g
FA-024M (trade name, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) 3.8 g
FA-MECH (γ-chloro-β-hydroxypropyl-β′-methacryloyloxyethyl-o-phthalate, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name) 6.4 g
Component (C): Photopolymerization initiator N-1717 (1,7-bis (9-acridinyl) heptane, manufactured by ADEKA Corporation, trade name) 0.3 g
IRGACURE 651 (2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one, manufactured by BASF Japan Ltd., trade name (“IRGACURE” is a registered trademark)) 3.0 g
Nonen KY-TB (α, α, α-tribromomethylphenyl sulfone, manufactured by Maruhishi Oil Chemical Co., Ltd., trade name (“Nonen” is a registered trademark)) 1.0 g
Component (D): Compound having an epoxy group in its molecule Epicron N-670-EXP-S (cresol novolac type epoxy resin, manufactured by DIC Corporation, trade name) 8.0 g
(E) component: Glycerin fatty acid ester Electro stripper ME-1 (diglycerol monooleate, manufactured by Kao Corporation, trade name (“Electro Stripper” is a registered trademark)) 1.0 g
(Other ingredients)
BT-1HCA (titanium black dispersion, manufactured by Mitsubishi Materials Electronics Chemical Co., Ltd., trade name) 0.45 g
Floren DOPA-17HF (dispersant, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., trade name) 0.145 g
SH-193 (leveling agent, manufactured by Toray Dow Corning Co., Ltd., trade name) 0.04 g
Toluene 3g
1g of methanol
10g of methyl ethyl ketone

この溶液に、表1に示す(A)成分及びその他の成分を溶解させて感光性樹脂組成物溶液を得た。表1中の各成分の配合量の単位はgである。次いで、この感光性樹脂組成物溶液を、厚さ16μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(東レ株式会社製、商品名:FB−40)上にベーカー式アプリケーターを用いて均一に塗布し、90℃の熱風対流式乾燥機で10分間乾燥することで感光性樹脂組成物層を形成した。この感光性樹脂組成物層を、ポリエチレン製保護フィルム(フィルム長手方向の引張強さ:16MPa、フィルム幅方向の引張強さ:12MPa、タマポリ株式会社製、商品名:NF−15)で保護して感光性エレメントを得た。感光性樹脂組成物層の乾燥後の膜厚をデジタルシックネスゲージにより測定したところ、45μmであった。   The component (A) shown in Table 1 and other components were dissolved in this solution to obtain a photosensitive resin composition solution. The unit of the amount of each component in Table 1 is g. Next, this photosensitive resin composition solution was uniformly applied onto a 16 μm thick polyethylene terephthalate film (trade name: FB-40, manufactured by Toray Industries, Inc.) using a Baker type applicator, and a hot air convection type at 90 ° C. The photosensitive resin composition layer was formed by drying for 10 minutes with a dryer. This photosensitive resin composition layer is protected with a polyethylene protective film (tensile strength in the film longitudinal direction: 16 MPa, tensile strength in the film width direction: 12 MPa, manufactured by Tamapoly Co., Ltd., trade name: NF-15). A photosensitive element was obtained. It was 45 micrometers when the film thickness after drying of the photosensitive resin composition layer was measured with the digital thickness gauge.

R300(ITO付PET基材、東洋紡績株式会社製、商品名)のITO面上に、上記感光性エレメントを、感光性樹脂組成物層がITO面に接するように、ポリエチレン製保護フィルムを剥離しながら110℃に加熱したラミネートロールを通してラミネートした。できあがった積層物の構成は、下からITO付PET基材、感光性樹脂組成物層、ポリエチレンテレフタレートフィルムとなる。得られた積層物について、感度、密着性、解像度及び表示特性の評価を行った。   On the ITO surface of R300 (PET substrate with ITO, product name, manufactured by Toyobo Co., Ltd.), the above-mentioned photosensitive element is peeled off from the polyethylene protective film so that the photosensitive resin composition layer is in contact with the ITO surface. Then, the film was laminated through a laminating roll heated to 110 ° C. The structure of the completed laminate is, from below, a PET substrate with ITO, a photosensitive resin composition layer, and a polyethylene terephthalate film. The obtained laminate was evaluated for sensitivity, adhesion, resolution, and display characteristics.

<感度の評価>
高圧水銀灯を有する平行光露光機(株式会社オーク製作所製、商品名:EXM−1201)を用いて、41段ステップタブレットを有するフォトツールを上記積層物のポリエチレンテレフタレートフィルム上に密着させ、露光を行った。露光後、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、0.3質量%炭酸ナトリウム水溶液と0.2質量%ノナール912A(東邦化学工業株式会社製、商品名)の混合液を26℃で90秒間スプレーすることにより、未露光部分を除去した。41段ステップタブレットの現像後の残存ステップ段数が約29.0となるエネルギー量(mJ/cm)を照射した。このエネルギー量を感度とした。このエネルギー量の数値が小さい程、感度が高いことを示す。表1に評価結果を示す。表1には、上記エネルギー量で露光及び現像を行った際の実際の残存ステップ段数も併せて示す。
<Evaluation of sensitivity>
Using a parallel light exposure machine (trade name: EXM-1201, manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.) having a high-pressure mercury lamp, a phototool having a 41-step tablet is brought into close contact with the polyethylene terephthalate film of the above laminate and exposed. It was. After the exposure, the polyethylene terephthalate film is peeled off and sprayed with a mixed solution of 0.3% by mass sodium carbonate aqueous solution and 0.2% by mass nonal 912A (trade name, manufactured by Toho Chemical Co., Ltd.) at 26 ° C. for 90 seconds. The unexposed part was removed. An energy amount (mJ / cm 2 ) was applied so that the number of remaining step steps after development of the 41-step tablet was about 29.0. This amount of energy was taken as sensitivity. It shows that a sensitivity is so high that the numerical value of this energy amount is small. Table 1 shows the evaluation results. Table 1 also shows the actual number of remaining steps when exposure and development are performed with the above energy amount.

<解像度の評価>
41段ステップタブレットを有するフォトツールと、解像度評価用ネガとしてライン幅/スペース幅が30/30〜200/200(単位:μm)の配線パターンを有するフォトツールを上記積層物のポリエチレンテレフタレートフィルム上に密着させ、高圧水銀灯を有する平行光露光機(株式会社オーク製作所製、商品名:EXM−1201)を用いて、41段ステップタブレットの現像後の残存ステップ段数が29.0となるエネルギー量で露光を行った。露光後、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、0.3質量%炭酸ナトリウム水溶液と0.2質量%ノナール912A(東邦化学工業株式会社製、商品名)の混合液を26℃で90秒間スプレーすることにより、未露光部分を除去して解像度を評価した。解像度は現像処理によって未露光部が良好に除去された最も小さいスペース幅(μm)で表され、この数値が小さいほど解像度は良好である。表1に評価結果を示す。
<Evaluation of resolution>
A phototool having a 41-step tablet and a phototool having a wiring pattern with a line width / space width of 30/30 to 200/200 (unit: μm) as a negative for resolution evaluation are formed on the polyethylene terephthalate film of the laminate. Using a parallel light exposure machine (trade name: EXM-1201, manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.) having a high-pressure mercury lamp, the exposure is performed with an energy amount of 29.0 after the development of the 41-step tablet. Went. After the exposure, the polyethylene terephthalate film is peeled off and sprayed with a mixed solution of 0.3% by mass sodium carbonate aqueous solution and 0.2% by mass nonal 912A (trade name, manufactured by Toho Chemical Co., Ltd.) at 26 ° C. for 90 seconds. The unexposed part was removed and the resolution was evaluated. The resolution is represented by the smallest space width (μm) in which the unexposed portion is well removed by the development processing, and the smaller the numerical value, the better the resolution. Table 1 shows the evaluation results.

<密着性の評価>
高圧水銀灯を有する平行光露光機(株式会社オーク製作所製、商品名:EXM−1201)を用いて、密着性評価用ネガとしてライン幅/スペース幅が10/300〜80/300(単位:μm、スペース幅一定)の配線パターンを有するフォトツールと、41段ステップタブレットを有するフォトツールを上記積層物のポリエチレンテレフタレートフィルム上に密着させ、41段ステップタブレットの現像後の残存ステップ段数が29.0となるエネルギー量で露光を行った。露光後、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、0.3質量%炭酸ナトリウム水溶液と0.2質量%ノナール912A(東邦化学工業株式会社製、商品名)の混合液を26℃で90秒間スプレーすることにより、未露光部分を除去して密着性を評価した。密着性は現像液により剥離されずに残ったラインの幅(μm)で表され、この数値が小さい程、細いラインでもITO面から剥離せずに密着していることから、密着性が高いことを示す。表1に評価結果を示す。
<Evaluation of adhesion>
Using a parallel light exposure machine (manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd., trade name: EXM-1201) having a high-pressure mercury lamp, the line width / space width is 10/300 to 80/300 (unit: μm, as a negative for adhesion evaluation) A phototool having a wiring pattern with a constant space width) and a phototool having a 41-step tablet are adhered to the polyethylene terephthalate film of the above laminate, and the number of remaining steps after development of the 41-step tablet is 29.0. The exposure was performed with an energy amount of After the exposure, the polyethylene terephthalate film is peeled off and sprayed with a mixed solution of 0.3% by mass sodium carbonate aqueous solution and 0.2% by mass nonal 912A (trade name, manufactured by Toho Chemical Co., Ltd.) at 26 ° C. for 90 seconds. The unexposed part was removed and the adhesion was evaluated. Adhesiveness is expressed by the width (μm) of the line that remains without being peeled off by the developer. The smaller this value, the higher the adhesiveness, because even thin lines are stuck without peeling from the ITO surface. Indicates. Table 1 shows the evaluation results.

<蓄積電荷の評価>
SUS板上に上記感光性エレメントを、感光性樹脂組成物層がSUS板表面に接するように、ポリエチレン製保護フィルムを剥離しながら110℃に加熱したラミネートロールを通してラミネートした。得られた積層物の構成は、下からSUS板、感光性樹脂組成物層、ポリエチレンテレフタレートフィルムの順となる。得られた積層物を、平行光露光機(株式会社オーク製作所製、商品名:EXM−1201)を用いて、露光した。なお、積層体の露光にあたっては41段ステップタブレットの現像後の残存ステップ段数が29.0となるエネルギー量とした。露光後、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、更に、0.3質量%炭酸ナトリウム水溶液と0.2質量%ノナール912A(東邦化学工業株式会社製、商品名)の混合液を26℃で90秒間スプレーすることにより現像を行った。次いで、紫外線照射装置(東芝電材株式会社製、定格電圧200V、定格消費電力7.2kW)を使用し紫外線照射(紫外線照射度:2J/cm)を行った。最後に、120℃に加熱した箱型乾燥機(三菱電機株式会社製、型番:NV50−CA)内に60分間静置した。熱処理後の感光性エレメントを表面洗浄度測定器(ナノコート・ティーエス株式会社製、商品名:コロナサーフ)により、真鍮製の電極(主電極:37mm、背面電極:50mm)を用いて、8340A ULTRA HIGH RESISTANCE METER(株式会社エーディーシー製、商品名)により、直流電圧100Vを1分間印加し、印加時の電流値と時間を測定し、20秒間に蓄積した電荷を求めた。表1に評価結果を示す。
<Evaluation of accumulated charge>
The photosensitive element was laminated on a SUS plate through a laminating roll heated to 110 ° C. while peeling off the polyethylene protective film so that the photosensitive resin composition layer was in contact with the SUS plate surface. The structure of the obtained laminate is the order of the SUS plate, the photosensitive resin composition layer, and the polyethylene terephthalate film from the bottom. The obtained laminate was exposed using a parallel light exposure machine (trade name: EXM-1201, manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.). In the exposure of the laminated body, the energy amount was such that the number of remaining step stages after development of the 41-step tablet was 29.0. After the exposure, the polyethylene terephthalate film is peeled off, and then a mixed solution of 0.3% by mass sodium carbonate aqueous solution and 0.2% by mass nonal 912A (trade name, manufactured by Toho Chemical Industry Co., Ltd.) is sprayed at 26 ° C. for 90 seconds. Development was carried out. Subsequently, ultraviolet irradiation (ultraviolet irradiation degree: 2 J / cm 2 ) was performed using an ultraviolet irradiation device (Toshiba Electric Materials Co., Ltd., rated voltage 200 V, rated power consumption 7.2 kW). Finally, it left still for 60 minutes in the box-type dryer (Mitsubishi Electric Corporation make, model number: NV50-CA) heated to 120 degreeC. 8340A ULTRA HIGH using a brass electrode (main electrode: 37 mm, back electrode: 50 mm) with a surface cleaning degree measuring device (Nanocoat TS Co., Ltd., trade name: Corona Surf) on the photosensitive element after heat treatment A DC voltage of 100 V was applied for 1 minute by RESISTANCE METER (manufactured by ADC Co., Ltd., product name), the current value and time at the time of application were measured, and the charge accumulated for 20 seconds was obtained. Table 1 shows the evaluation results.

<電極の溶解性>
ITO−TEG(Test Element Group)基板のITO面上に、上記感光性エレメントを、感光性樹脂組成物層がITO面に接するように、ポリエチレン製保護フィルムを剥離しながら110℃に加熱したラミネートロールを通してラミネートした。できあがった積層物の構成は、下からITO−TEG基板、感光性樹脂組成物層、ポリエチレンテレフタレートフィルムとなる。得られた積層物を、高圧水銀灯を有する平行光露光機(株式会社オーク製作所製、商品名:EXM−1201)を用いて、現像後の残存ステップ段数が29.0となるエネルギー量で露光を行った。露光後、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、0.3質量%炭酸ナトリウム水溶液と0.2質量%ノナール912A(東邦化学工業株式会社製、商品名)の混合液を26℃で90秒間スプレーすることにより、未露光部分を除去した。次いで、120℃に加熱した箱型乾燥機(三菱電機株式会社製、型番:NV50−CA)内に1時間静置した。次いで、60℃、90%RH(相対湿度)の条件下で、80Vの直流電圧を印加し、200時間経過後の電極(陽極)の抵抗値を測定し、下記式より初期値からの抵抗値の上昇率を算出した。表1に評価結果を示した。
抵抗値の上昇率(%)=[(200時間経過後の陽極抵抗値)×100/(陽極抵抗値の初期値)]−100
<Solubility of electrode>
Laminating roll heated at 110 ° C. while peeling the protective film made of polyethylene so that the photosensitive resin composition layer is in contact with the ITO surface on the ITO surface of an ITO-TEG (Test Element Group) substrate Laminated through. The structure of the finished laminate is an ITO-TEG substrate, a photosensitive resin composition layer, and a polyethylene terephthalate film from the bottom. Using a parallel light exposure machine (trade name: EXM-1201, manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.) having a high-pressure mercury lamp, the obtained laminate is exposed with an energy amount such that the number of remaining steps after development is 29.0. went. After the exposure, the polyethylene terephthalate film is peeled off and sprayed with a mixed solution of 0.3% by mass sodium carbonate aqueous solution and 0.2% by mass nonal 912A (trade name, manufactured by Toho Chemical Co., Ltd.) at 26 ° C. for 90 seconds. The unexposed part was removed. Then, it left still for 1 hour in the box-type dryer (Mitsubishi Electric Corporation make, model number: NV50-CA) heated to 120 degreeC. Next, under the conditions of 60 ° C. and 90% RH (relative humidity), a direct current voltage of 80 V was applied, and the resistance value of the electrode (anode) after 200 hours was measured. The rate of increase was calculated. Table 1 shows the evaluation results.
Increase rate of resistance value (%) = [(Anode resistance value after 200 hours) × 100 / (initial value of anode resistance value)] − 100

<弾性率の評価>
PTFEシート(ポリテトラフルオロエチレン、日東電工株式会社製、商品名:ニトフロン(「ニトフロン」は登録商標))上に上記感光性エレメントを、感光性樹脂組成物層がPTFEシート表面に接するように、ポリエチレン製保護フィルムを剥離しながら110℃に加熱したラミネートロールを通してラミネートした。得られた積層物の構成は、下からPTFEシート、感光性樹脂組成物層、ポリエチレンテレフタレートフィルムの順となる。得られた積層物を、高圧水銀灯を有する平行光露光機(株式会社オーク製作所製、商品名:EXM−1201)を用いて、露光した。なお、積層物の露光にあたっては41段ステップタブレットの現像後の残存ステップ段数が29.0となるエネルギー量とした。露光後、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、0.3質量%炭酸ナトリウム水溶液と0.2質量%ノナール912A(東邦化学工業株式会社製、商品名)の混合液を26℃で90秒間スプレーすることにより現像を行った。次いで、紫外線照射装置(東芝電材株式会社製、定格電圧200V、定格消費電力7.2kW)を使用し紫外線照射(紫外線照射度:2J/cm)を行った。最後に、120℃に加熱した箱型乾燥機(三菱電機株式会社製、型番:NV50−CA)内に60分間静置した。熱処理後の感光性エレメントを幅10mm×長さ70mmに切り出し、チャック間距離を50mmとし、引張り試験機(株式会社レオテック製、商品名:FUDOHレオメーター)を用いて、温度23℃、速度20mm/分の一定速度でJIS K 7127に準拠して引張り試験を行い、引張り弾性率を求めた。表1に評価結果を示す。
<Evaluation of elastic modulus>
The photosensitive element is placed on a PTFE sheet (polytetrafluoroethylene, manufactured by Nitto Denko Corporation, trade name: NITOFLON (“NITOFLON” is a registered trademark)), and the photosensitive resin composition layer is in contact with the PTFE sheet surface. The film was laminated through a laminating roll heated to 110 ° C. while peeling off the polyethylene protective film. The structure of the obtained laminate is in the order of PTFE sheet, photosensitive resin composition layer, and polyethylene terephthalate film from the bottom. The obtained laminate was exposed using a parallel light exposure machine (trade name: EXM-1201, manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.) having a high-pressure mercury lamp. In the exposure of the laminate, the energy amount was such that the number of remaining step steps after development of the 41-step tablet was 29.0. After the exposure, the polyethylene terephthalate film is peeled off and sprayed with a mixed solution of 0.3% by mass sodium carbonate aqueous solution and 0.2% by mass nonal 912A (trade name, manufactured by Toho Chemical Co., Ltd.) at 26 ° C. for 90 seconds. Developed. Subsequently, ultraviolet irradiation (ultraviolet irradiation degree: 2 J / cm 2 ) was performed using an ultraviolet irradiation device (Toshiba Electric Materials Co., Ltd., rated voltage 200 V, rated power consumption 7.2 kW). Finally, it left still for 60 minutes in the box-type dryer (Mitsubishi Electric Corporation make, model number: NV50-CA) heated to 120 degreeC. The photosensitive element after the heat treatment was cut into a width of 10 mm and a length of 70 mm, the distance between chucks was set to 50 mm, and a tensile tester (manufactured by Rheotech Co., Ltd., trade name: FUDOH rheometer) was used. A tensile test was carried out in accordance with JIS K 7127 at a constant speed of minutes to obtain a tensile elastic modulus. Table 1 shows the evaluation results.

Figure 0005761457
Figure 0005761457

表1中の各成分の詳細は以下の通りである。
樹脂A:メタクリル酸20gと、メタクリル酸メチル30gと、メタクリル酸ブチル30gと、メタクリル酸2−ヒドロキシエチル20gとを反応させて得られた共重合体に、2−イソシアネートエチルメタクリレート23.4gを反応させて得られた化合物(重量平均分子量50,000)の43質量%プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液151g(固形分65g)
樹脂B:メタクリル酸20gと、メタクリル酸メチル30gと、メタクリル酸ブチル30gと、メタクリル酸2−ヒドロキシエチル20gとを反応させて得られた共重合体に、2−イソシアネートエチルメタクリレート19.3gを反応させて得られた化合物(重量平均分子量50,000)の43質量%プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液151g(固形分65g)
樹脂C:メタクリル酸20gと、メタクリル酸メチル35gと、メタクリル酸ブチル35gと、メタクリル酸2−ヒドロキシエチル10gとを反応させて得られた共重合体に、2−イソシアネートエチルメタクリレート11.7gを反応させて得られた化合物(重量平均分子量50,000)の43質量%プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液151g(固形分65g)
樹脂D:メタクリル酸/メタクリル酸メチル/メタクリル酸ブチル共重合体(質量比20/45/35、重量平均分子量50,000)の48質量%エチレングリコールモノメチルエーテル/トルエン(質量比6/4)溶液135g(固形分65g)
樹脂E:メタクリル酸/メタクリル酸メチル/メタクリル酸ブチル共重合体(質量比25/40/35、重量平均分子量50,000)の48質量%エチレングリコールモノメチルエーテル/トルエン(質量比6/4)溶液135g(固形分65g)
樹脂F:メタクリル酸/メタクリル酸メチル/メタクリル酸ブチル共重合体(質量比30/35/35、重量平均分子量50,000)の48質量%エチレングリコールモノメチルエーテル/トルエン(質量比6/4)溶液135g(固形分65g)
樹脂G:メタクリル酸12gと、N−シクロヘキシルマレイミド11.1gと、ジシクロペンタニルメタクリレート27.2gと、メタクリル酸2−ヒドロキシエチル31.1gとを反応させて得られた共重合体に、2−イソシアネートエチルメタクリレート18.6gを反応させて得られた化合物(重量平均分子量25,000)の35質量%プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート/乳酸メチル(質量比88/12)溶液168.6g(固形分59g)
樹脂H:メタクリル酸/メタクリル酸メチル/アクリル酸ブチル共重合体(質量比12/68/20、重量平均分子量65,000)の48質量%エチレングリコールモノメチルエーテル/トルエン(質量比6/4)溶液12.5g(固形分6g)
樹脂I:メタクリル酸/メタクリル酸メチル/アクリル酸ブチル/メタクリル酸2−ヒドロキシエチル共重合体(質量比20/30/30/20、重量平均分子量50,000)の48質量%エチレングリコールモノメチルエーテル/トルエン(質量比6/4)溶液135g(固形分65g)
樹脂J:メタクリル酸/メタクリル酸メチル/アクリル酸ブチル/メタクリル酸2−ヒドロキシエチル共重合体(質量比20/35/35/10、重量平均分子量50,000)の48質量%エチレングリコールモノメチルエーテル/トルエン(質量比6/4)溶液135g(固形分65g)
EAB(4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、保土谷化学工業株式会社製、商品名)0.05g
PZ−501D(1−フェニル−3−(4−メトキシスチリル)−5−(4−メトキシフェニル)ピラゾリン、株式会社日本化学工業所製、商品名)0.05g
ME−1:ジグリセリンオレエート(花王株式会社製、商品名:エレクトロストリッパーME−1)1.0g
ANTAGE TDP:フェノチアジン(川口化学工業株式会社製、商品名)1.0g
DIC−TBC 5P:p−tert−ブチルカテコール(DIC株式会社製、商品名(「DIC−TBC」は登録商標))1.0g
The details of each component in Table 1 are as follows.
Resin A: A copolymer obtained by reacting 20 g of methacrylic acid, 30 g of methyl methacrylate, 30 g of butyl methacrylate, and 20 g of 2-hydroxyethyl methacrylate was reacted with 23.4 g of 2-isocyanatoethyl methacrylate. 151 g of propylene glycol monomethyl ether acetate solution (solid content 65 g) of the compound (weight average molecular weight 50,000) obtained by
Resin B: 20 g of methacrylic acid, 30 g of methyl methacrylate, 30 g of butyl methacrylate, and 20 g of 2-hydroxyethyl methacrylate were reacted with 19.3 g of 2-isocyanatoethyl methacrylate. 151 g of propylene glycol monomethyl ether acetate solution (solid content 65 g) of the compound (weight average molecular weight 50,000) obtained by
Resin C: 11.7 g of 2-isocyanatoethyl methacrylate was reacted with a copolymer obtained by reacting 20 g of methacrylic acid, 35 g of methyl methacrylate, 35 g of butyl methacrylate, and 10 g of 2-hydroxyethyl methacrylate. 151 g of propylene glycol monomethyl ether acetate solution (solid content 65 g) of the compound (weight average molecular weight 50,000) obtained by
Resin D: 48% by mass ethylene glycol monomethyl ether / toluene (mass ratio 6/4) solution of methacrylic acid / methyl methacrylate / butyl methacrylate copolymer (mass ratio 20/45/35, weight average molecular weight 50,000) 135g (solid content 65g)
Resin E: 48% by mass ethylene glycol monomethyl ether / toluene (mass ratio 6/4) solution of methacrylic acid / methyl methacrylate / butyl methacrylate copolymer (mass ratio 25/40/35, weight average molecular weight 50,000) 135g (solid content 65g)
Resin F: 48% by mass ethylene glycol monomethyl ether / toluene (mass ratio 6/4) solution of methacrylic acid / methyl methacrylate / butyl methacrylate copolymer (mass ratio 30/35/35, weight average molecular weight 50,000) 135g (solid content 65g)
Resin G: A copolymer obtained by reacting 12 g of methacrylic acid, 11.1 g of N-cyclohexylmaleimide, 27.2 g of dicyclopentanyl methacrylate, and 31.1 g of 2-hydroxyethyl methacrylate, -168.6 g (solid content 59 g) of a 35 mass% propylene glycol monomethyl ether acetate / methyl lactate (mass ratio 88/12) solution of a compound (weight average molecular weight 25,000) obtained by reacting 18.6 g of isocyanate ethyl methacrylate )
Resin H: 48% by mass ethylene glycol monomethyl ether / toluene (mass ratio 6/4) solution of methacrylic acid / methyl methacrylate / butyl acrylate copolymer (mass ratio 12/68/20, weight average molecular weight 65,000) 12.5g (solid content 6g)
Resin I: 48% by mass of ethylene glycol monomethyl ether / methacrylic acid / methyl methacrylate / butyl acrylate / 2-hydroxyethyl methacrylate copolymer (mass ratio 20/30/30/20, weight average molecular weight 50,000) / 135 g of toluene (mass ratio 6/4) solution (solid content 65 g)
Resin J: 48% by mass of ethylene glycol monomethyl ether / methacrylic acid / methyl methacrylate / butyl acrylate / methacrylic acid 2-hydroxyethyl copolymer (mass ratio 20/35/35/10, weight average molecular weight 50,000) 135 g of toluene (mass ratio 6/4) solution (solid content 65 g)
EAB (4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd., trade name) 0.05 g
PZ-501D (1-phenyl-3- (4-methoxystyryl) -5- (4-methoxyphenyl) pyrazoline, manufactured by Nippon Chemical Industry Co., Ltd., trade name) 0.05 g
ME-1: Diglycerin oleate (trade name: Electro Stripper ME-1 manufactured by Kao Corporation) 1.0 g
ANTAGE TDP: Phenothiazine (Kawaguchi Chemical Co., Ltd., trade name) 1.0 g
DIC-TBC 5P: p-tert-butylcatechol (manufactured by DIC Corporation, trade name (“DIC-TBC” is a registered trademark)) 1.0 g

表1から明らかなように、(A)成分のカルボキシル基とエチレン性不飽和基を有する脂肪族バインダーポリマーと(E)成分のグリセリン脂肪酸エステル(ME−1)を含む実施例1〜5の感光性エレメントは、電荷の蓄積を抑え且つ電極基板の溶解を防止することが可能であった。一方、比較例1では、電極の溶解は抑えられたものの、電荷の蓄積が大きすぎ、比較例2〜8では、電極の溶解が大きく断線が生じた。   As is apparent from Table 1, the photosensitivity of Examples 1 to 5 including (A) an aliphatic binder polymer having a carboxyl group and an ethylenically unsaturated group and (E) a glycerin fatty acid ester (ME-1). The conductive element was able to suppress charge accumulation and prevent dissolution of the electrode substrate. On the other hand, in Comparative Example 1, although dissolution of the electrode was suppressed, charge accumulation was too large, and in Comparative Examples 2 to 8, dissolution of the electrode was large and disconnection occurred.

以上説明したとおり、本発明によれば、電荷の蓄積を抑え且つ電極基板の溶解を低下させることが可能で、硬化膜の弾性率が低く、高解像、高密着な画像表示装置用の隔壁を簡便に作業性よく形成することができる感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメントを提供することができる。また、本発明によれば、上記感光性樹脂組成物又は感光性エレメントを用いた、画像表示装置の隔壁の形成方法、画像表示装置の製造方法及び画像表示装置を提供することができる。   As described above, according to the present invention, it is possible to suppress the accumulation of electric charges and reduce the dissolution of the electrode substrate, and the cured film has a low elastic modulus, a high resolution, and a high partition wall for an image display device. Can be formed easily and with good workability, and a photosensitive element using the same can be provided. Moreover, according to this invention, the formation method of the partition of an image display apparatus using the said photosensitive resin composition or photosensitive element, the manufacturing method of an image display apparatus, and an image display apparatus can be provided.

1…支持体、2…感光層、3…保護フィルム、4…電極、5…基板、10…感光性エレメント、20…感光性樹脂組成物の硬化物(光硬化物パターン)、30…電極基板、40…接着剤、50…表示媒体。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Support body, 2 ... Photosensitive layer, 3 ... Protective film, 4 ... Electrode, 5 ... Substrate, 10 ... Photosensitive element, 20 ... Hardened | cured material (photocured material pattern) of photosensitive resin composition, 30 ... Electrode board | substrate 40 ... Adhesive, 50 ... Display medium.

Claims (10)

(A)成分:分子内にカルボキシル基とエチレン性不飽和基とを有する脂肪族バインダーポリマー、
(B)成分:光重合性化合物、
(C)成分:光重合開始剤、
(D)成分:分子内にエポキシ基を有する化合物、及び
(E)成分:グリセリン脂肪酸エステルを含む、隔壁形成材料として用いられる感光性樹脂組成物。
(A) component: an aliphatic binder polymer having a carboxyl group and an ethylenically unsaturated group in the molecule;
(B) component: a photopolymerizable compound,
Component (C): photopolymerization initiator,
(D) component: The photosensitive resin composition used as a partition formation material containing the compound which has an epoxy group in a molecule | numerator, and (E) component: glycerol fatty acid ester.
さらに(F)成分:増感剤を含む、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。   Furthermore, (F) component: The photosensitive resin composition of Claim 1 containing a sensitizer. 前記(F)成分が、ピラゾリン化合物を含む、請求項2に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition of Claim 2 in which the said (F) component contains a pyrazoline compound. 支持体と、該支持体上に請求項1〜3のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物を用いて形成された感光性樹脂組成物層と、を備える感光性エレメント。   A photosensitive element provided with a support body and the photosensitive resin composition layer formed using the photosensitive resin composition as described in any one of Claims 1-3 on this support body. 前記感光性樹脂組成物層を光硬化させた硬化膜の引張り弾性率が、120℃で1時間熱処理後に1GPa以下である、請求項4に記載の感光性エレメント。   The photosensitive element of Claim 4 whose tensile elasticity modulus of the cured film which photocured the said photosensitive resin composition layer is 1 GPa or less after heat processing for 1 hour at 120 degreeC. 感光性樹脂組成物層の膜厚が10〜100μmである、請求項4又は5に記載の感光性エレメント。   The photosensitive element of Claim 4 or 5 whose film thickness of the photosensitive resin composition layer is 10-100 micrometers. 画像表示装置の基板上に、請求項1〜3のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物を用いて感光性樹脂組成物層を形成する積層工程と、
前記感光性樹脂組成物層の所定部分に活性光線を照射して光硬化部を形成する露光工程と、
前記光硬化部以外の部分を除去して光硬化物パターンを形成する現像工程と、
を有する、画像表示装置の隔壁の形成方法。
A lamination step of forming a photosensitive resin composition layer on the substrate of the image display device using the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 3,
An exposure step of irradiating a predetermined portion of the photosensitive resin composition layer with an actinic ray to form a photocured portion;
A development step of forming a photocured product pattern by removing portions other than the photocured portion;
A method for forming a partition wall of an image display device.
前記現像工程の後に、前記光硬化物パターンを、60〜250℃で加熱処理して熱硬化させる加熱工程をさらに有する、請求項7に記載の画像表示装置の隔壁の形成方法。   The method for forming partition walls of an image display device according to claim 7, further comprising a heating step of heat-curing the photocured product pattern at 60 to 250 ° C. after the developing step. 表示媒体を、請求項7又は8に記載の方法により形成された隔壁内に充填する工程と、
一方の基板に対向するように隔壁の反対側に基板を貼り付ける工程と、
を有する、画像表示装置の製造方法。
Filling the display medium into the partition formed by the method according to claim 7 or 8, and
A step of attaching the substrate to the opposite side of the partition so as to face one of the substrates;
A method for manufacturing an image display device.
請求項9に記載の製造方法により製造される、画像表示装置。   An image display device manufactured by the manufacturing method according to claim 9.
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