JP6019791B2 - Partition wall forming material, photosensitive element using the same, partition wall forming method, and image display device manufacturing method - Google Patents

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Description

本発明は、隔壁形成材料、これを用いた感光性エレメント、画像表示装置の隔壁の形成方法及び画像表示装置の製造方法に関する。   The present invention relates to a partition forming material, a photosensitive element using the same, a method for forming a partition for an image display device, and a method for manufacturing an image display device.

近年、紙のように薄く、持ち運びが自由で、文字や画像が表示可能な画像表示装置(PLD:Paper Like Display)が注目を集めている。かかる画像表示装置は、通常の印刷物としての紙の長所である視認性、携帯性を有し、さらに、情報を電気的に書き換え可能であるため、環境やコストの面からも紙の代替品として実用化が試みられている。   2. Description of the Related Art In recent years, an image display device (PLD: Paper Like Display) that is as thin as paper, can be freely carried, and can display characters and images has attracted attention. Such an image display device has visibility and portability, which are the advantages of paper as a normal printed matter, and is capable of electrically rewriting information, so that it can be used as an alternative to paper in terms of environment and cost. Practical application is being attempted.

画像表示装置の表示技術としては、電気泳動などにより粒子を移動させるタイプ、液晶タイプ、電気化学タイプなど様々なタイプが考案されている。   As a display technique of an image display device, various types such as a type in which particles are moved by electrophoresis, a liquid crystal type, and an electrochemical type have been devised.

特に粒子を移動させるタイプとしては、マイクロカプセル型電気泳動方式、マイクロカップ型電気泳動法式、電子粉流体方式、トナーディスプレイ等の方式が検討されている。これらの方式では、透明電極間に表示媒体である白と黒の粒子を封入し電場をかけ、これらの粒子を電気的に移動させることにより白/黒画像を形成し表示させる。また、画像表示装置の駆動方式としては、アクティブ駆動とパッシブ駆動があり、画像表示装置用の背面技術(パネル回路)の検討もなされている。   In particular, as a type for moving particles, methods such as a microcapsule electrophoresis method, a microcup electrophoresis method, an electronic powder fluid method, and a toner display have been studied. In these systems, white and black particles as a display medium are sealed between transparent electrodes, an electric field is applied, and these particles are electrically moved to form and display a white / black image. In addition, there are active driving and passive driving as driving methods of the image display device, and a back technology (panel circuit) for the image display device has been studied.

上記粒子移動タイプの画像表示装置の場合、上述のように白/黒の粒子を封入するための隔壁が必要となる。かかる隔壁の形成方法としては、金型転写法、スクリーン印刷法、サンドブラスト法、フォトリソ法、アディティブ法等が提案されている。中でも、感光性樹脂組成物を用いて、活性光線の照射により高精細なパターンが効率よく形成できるフォトリソ法が注目されている。   In the case of the particle movement type image display device, a partition for enclosing white / black particles as described above is required. As a method for forming such partition walls, a mold transfer method, a screen printing method, a sand blast method, a photolithography method, an additive method, and the like have been proposed. Among these, a photolithographic method that can form a high-definition pattern efficiently by irradiation with actinic rays using a photosensitive resin composition has attracted attention.

また、最近では、白/黒画像表示にカラーフィルターを組み合わせることにより、フルカラー表示を実現させるという報告例もある。   Recently, there is a report example of realizing full color display by combining a color filter with white / black image display.

かかるフルカラー表示を行う際、白/黒表示の画像表示装置にカラーフィルターを併用するため、各画素間のコントラストの向上が必須であり、開口率を向上させる必要がある。従って、隔壁材料には細線が形成できるなど高精細なものが求められる。また、コントラストの向上の手法として隔壁の高さを上げて表示媒体の粒子を多く充填することも挙げられる。   When performing such full-color display, since a color filter is used in combination with a white / black display image display device, it is essential to improve the contrast between the pixels, and it is necessary to improve the aperture ratio. Accordingly, a high-definition material that can form fine wires is required for the partition wall material. Further, as a method for improving the contrast, it is also possible to increase the height of the partition walls and to fill the display medium with many particles.

ところで、例えば下記特許文献1〜4には、隔壁形成材料が開示されている。   Incidentally, for example, the following Patent Documents 1 to 4 disclose partition wall forming materials.

特開2010−066676号公報JP 2010-066666 A 特開2010−169934号公報JP 2010-169934 A 特開2010−256775号公報JP 2010-256775 A 特開2012−018410号公報JP2012-018410A

しかしながら、上述した特許文献1〜4に記載の隔壁形成材料では、未露光部を除去して光硬化物パターンを形成する現像工程において、ガラスなど平滑な基板に対する密着性の不足により細線が形成できず、高アスペクト比な光硬化物パターンが得られないといった問題があった。   However, in the partition forming material described in Patent Documents 1 to 4 described above, a thin line can be formed due to insufficient adhesion to a smooth substrate such as glass in a development process in which an unexposed portion is removed to form a photocured product pattern. Therefore, there is a problem that a photocured product pattern having a high aspect ratio cannot be obtained.

本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、ガラスなど平滑な基板上でも密着性に優れ、高アスペクト比な光硬化物パターンを形成できる隔壁形成材料、これを用いた感光性エレメントを提供する。   The present invention has been made in view of the above problems, and has a partition forming material capable of forming a high-aspect-ratio photocured material pattern with excellent adhesion even on a smooth substrate such as glass, and a photosensitive element using the same. provide.

また、本発明は、隔壁を簡便に作業性よく形成することができる隔壁形成材料、これを用いた感光性エレメント、画像表示装置の隔壁の形成方法及び画像表示装置の製造方法を提供する。   The present invention also provides a partition wall forming material capable of forming the partition wall easily and with good workability, a photosensitive element using the material, a method of forming the partition wall of the image display device, and a method of manufacturing the image display device.

本発明は、(A)成分:バインダーポリマー、(B)成分:エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物、(C)成分:光重合開始剤、(D)成分:チオール化合物、及び、(E)成分:シランカップリング剤を含有する、隔壁形成材料を提供する。   The present invention comprises (A) component: binder polymer, (B) component: photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond, (C) component: photopolymerization initiator, (D) component: thiol compound, and ( E) Component: A partition wall forming material containing a silane coupling agent is provided.

本発明の隔壁形成材料は上記構成を有することにより、ガラスなど平滑な基板上でも細線を形成することが可能で、密着性に優れ高アスペクト比な画像表示装置用の隔壁を、簡便に作業性よく形成することができる。   Since the partition wall forming material of the present invention has the above-described configuration, it is possible to form fine lines even on a smooth substrate such as glass, and the partition wall for an image display device having excellent adhesion and high aspect ratio can be easily and easily operated. Can be well formed.

また、本発明の隔壁形成材料において、前記(C)光重合開始剤が2,4,5−トリアリールイミダゾール二量体を含むことが好ましい。これにより、本発明の効果を一層向上させることが可能となる。   In the partition wall forming material of the present invention, the (C) photopolymerization initiator preferably contains a 2,4,5-triarylimidazole dimer. Thereby, the effect of the present invention can be further improved.

また、本発明は、支持体と、該支持体上に形成された前記隔壁形成材料からなる塗膜と、を備える感光性エレメントを提供する。   Moreover, this invention provides the photosensitive element provided with a support body and the coating film which consists of the said partition formation material formed on this support body.

本発明の感光性エレメントは、上記本発明の隔壁形成材料からなる塗膜を備えることにより、塗膜外観を損なうことなく画像表示装置用の隔壁を、簡便に作業性よく形成することができる。   By providing the photosensitive element of the present invention with a coating film made of the partition wall forming material of the present invention, it is possible to easily form a partition for an image display device with good workability without impairing the appearance of the coating film.

また、本発明の感光性エレメントにおいて、前記隔壁形成材料を含む前記塗膜の膜厚は10〜100μmであることが好ましい。これにより、塗膜外観を損なうことなく画像表示装置用の隔壁を、より簡便に作業性よく形成することができる。   Moreover, the photosensitive element of this invention WHEREIN: It is preferable that the film thickness of the said coating film containing the said partition formation material is 10-100 micrometers. Thereby, the partition for image display apparatuses can be formed more simply and with sufficient workability without impairing the appearance of the coating film.

また、本発明は、基板上に、上記本発明の隔壁形成材料を含む塗膜を積層する積層工程と、前記塗膜の所定部分に活性光線を照射して露光部を光硬化せしめる露光工程と、前記塗膜の前記露光部以外の部分を除去して光硬化物パターンを形成する現像工程と、を有する、隔壁の形成方法を提供する。   The present invention also includes a lamination step of laminating a coating film containing the partition wall forming material of the present invention on a substrate, and an exposure step of irradiating a predetermined portion of the coating film with an actinic ray to photocure an exposed portion. And a developing step of forming a photocured product pattern by removing portions other than the exposed portion of the coating film.

本発明の隔壁の形成方法は、上記本発明の隔壁形成材料を用いるため、ガラスなど平滑な基板上でも細線を形成することが可能で、密着性に優れ高アスペクト比な画像表示装置用の隔壁を、簡便に作業性よく形成することができる。   The partition wall forming method of the present invention uses the partition wall forming material of the present invention, so that fine lines can be formed even on a smooth substrate such as glass, and has excellent adhesion and a high aspect ratio. Can be easily formed with good workability.

また、本発明の隔壁の形成方法は、前記現像工程で形成した前記光硬化物パターンを、60〜250℃で加熱処理して熱硬化せしめる加熱工程をさらに有することが好ましい。   Moreover, it is preferable that the formation method of the partition of this invention further has the heating process which heat-processes and heat-hardens the said photocured material pattern formed at the said image development process at 60-250 degreeC.

また、本発明は、表示媒体を、上記本発明の隔壁の形成方法により形成された隔壁内に充填する工程と、一方の基板に対向するように隔壁の反対側に基板を貼り付ける工程と、を有する、画像表示装置の製造方法を提供する。   Further, the present invention includes a step of filling the display medium in the partition formed by the method for forming a partition according to the present invention, a step of attaching a substrate to the opposite side of the partition so as to face one substrate, A method for manufacturing an image display device is provided.

本発明によれば、ガラスなど平滑な基板上でも密着性に優れ、高アスペクト比な光硬化物パターンを形成できる隔壁形成材料、これを用いた感光性エレメントを提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the partition formation material which can form the photocured material pattern which is excellent in adhesiveness also on smooth substrates, such as glass, and has a high aspect ratio, and the photosensitive element using this can be provided.

また、本発明によれば、隔壁を簡便に作業性よく形成することができる隔壁形成材料、これを用いた感光性エレメント、画像表示装置の隔壁の形成方法及び画像表示装置の製造方法を提供することができる。   In addition, according to the present invention, there are provided a partition wall forming material capable of easily forming a partition wall with good workability, a photosensitive element using the same, a method of forming a partition wall of an image display device, and a method of manufacturing an image display device. be able to.

本発明の感光性エレメントの好適な一実施形態を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows suitable one Embodiment of the photosensitive element of this invention. 本発明の感光性エレメントを用いた画像表示装置の隔壁の形成方法の一実施形態を説明するための模式断面図である。It is a schematic cross section for demonstrating one Embodiment of the formation method of the partition of the image display apparatus using the photosensitive element of this invention. 実施例1の感光性エレメントを用いて形成した光硬化物パターンのSEM写真である。2 is a SEM photograph of a photocured product pattern formed using the photosensitive element of Example 1.

以下、場合により図面を参照しつつ本発明の好適な実施形態について説明する。なお、図面中、同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明は省略する。また、図面の寸法比率は図示の比率に限られるものではない。なお、本明細書における(メタ)アクリル酸とはアクリル酸又はメタクリル酸を意味し、(メタ)アクリレートとはアクリレート又はそれに対応するメタクリレートを意味し、(メタ)アクリロイルとはアクリロイル又はメタクリロイルを意味する。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings as the case may be. In the drawings, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted. Further, the dimensional ratios in the drawings are not limited to the illustrated ratios. In the present specification, (meth) acrylic acid means acrylic acid or methacrylic acid, (meth) acrylate means acrylate or a corresponding methacrylate, and (meth) acryloyl means acryloyl or methacryloyl. .

(隔壁形成材料)
本発明の隔壁形成材料は、(A)バインダーポリマー、(B)エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物、(C)光重合開始剤、(D)チオール化合物、及び、(E)シランカップリング剤を含有してなる。かかる隔壁形成材料は、光により硬化する感光性樹脂組成物である。
(Partition material)
The partition wall forming material of the present invention includes (A) a binder polymer, (B) a photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond, (C) a photopolymerization initiator, (D) a thiol compound, and (E) a silane cup. It contains a ring agent. The partition wall forming material is a photosensitive resin composition that is cured by light.

上記構成を有することによる効果の発現機構は必ずしも明らかではないが、本発明者は以下のように推察している。即ち、メルカプト基を含むチオール化合物が光重合開始剤へ水素供与することにより、感度を使用可能な範囲内に維持しつつ、シランカップリング剤と無機基材とのカップリング作用により、基材への密着性が向上したものと推察している。ガラスやPETなど表面が平滑な基材では、隔壁形成材料と基板との物理的な密着性が期待できるアンカー効果が発揮されないため、従来の隔壁形成材料では密着性が弱まるが、本発明の隔壁形成材料は、これらのような平滑面を有する基材に対しても高密着性を達成できる。   The manifestation mechanism of the effect by having the said structure is not necessarily clear, but this inventor estimates as follows. That is, the thiol compound containing a mercapto group donates hydrogen to the photopolymerization initiator, thereby maintaining the sensitivity within the usable range, and by the coupling action of the silane coupling agent and the inorganic base material to the base material. It is presumed that the adhesion of was improved. A base material having a smooth surface such as glass or PET does not exhibit an anchor effect that can be expected to provide physical adhesion between the partition wall forming material and the substrate. The forming material can achieve high adhesion even to a substrate having such a smooth surface.

以下、各成分について詳細に説明する。   Hereinafter, each component will be described in detail.

(A)成分:バインダーポリマー
上記隔壁形成材料は、(A)成分としてバインダーポリマーの少なくとも1種を含む。バインダーポリマーは、例えば、重合性単量体(モノマー)をラジカル重合させることにより得られる。
(A) Component: Binder Polymer The partition wall forming material contains at least one binder polymer as the component (A). The binder polymer is obtained, for example, by radical polymerization of a polymerizable monomer (monomer).

重合性単量体(モノマー)としては、(メタ)アクリル酸;(メタ)アクリル酸アルキルエステル、(メタ)アクリル酸シクロアルキルエステル、(メタ)アクリル酸ベンジル、(メタ)アクリル酸ベンジル誘導体、(メタ)アクリル酸フルフリル、(メタ)アクリル酸テトラヒドロフルフリル、(メタ)アクリル酸イソボルニル、(メタ)アクリル酸アダマンチル、(メタ)アクリル酸ジシクロペンタニル、(メタ)アクリル酸ジメチルアミノエチル、(メタ)アクリル酸ジエチルアミノエチル、(メタ)アクリル酸グリシジル、2,2,2−トリフルオロエチル(メタ)アクリレート、2,2,3,3−テトラフルオロプロピル(メタ)アクリレート、α−ブロモアクリル酸、α−クロルアクリル酸、(メタ)アクリル酸ジシクロペンテニルオキシエチル、(メタ)アクリル酸ジシクロペンタニルオキシエチル、(メタ)アクリル酸イソボルニルオキシエチル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシルオキシエチル、(メタ)アクリル酸アダマンチルオキシエチル、(メタ)アクリル酸ジシクロペンテニルオキシプロピルオキシエチル、(メタ)アクリル酸ジシクロペンタニルオキシプロピルオキシエチル、(メタ)アクリル酸ジシクロペンテニルオキシプロピルオキシエチル、(メタ)アクリル酸アダマンチルオキシプロピルオキシエチル、β−フリル(メタ)アクリル酸、β−スチリル(メタ)アクリル酸等の(メタ)アクリル酸エステル;スチレン;ビニルトルエン、α−メチルスチレン等のα−位又は芳香族環において置換されている重合可能なスチレン誘導体;ジアセトンアクリルアミド等のアクリルアミド;アクリロニトリル;ビニル−n−ブチルエーテル等のビニルアルコールのエーテル化合物;マレイン酸;マレイン酸無水物;マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチル、マレイン酸モノイソプロピル等のマレイン酸モノエステル;フマール酸、ケイ皮酸、α−シアノケイ皮酸、イタコン酸、クロトン酸、プロピオール酸等の不飽和カルボン酸誘導体などが挙げられる。これらは単独で又は2種類以上を任意に組み合わせて用いることができる。   As the polymerizable monomer (monomer), (meth) acrylic acid; (meth) acrylic acid alkyl ester, (meth) acrylic acid cycloalkyl ester, (meth) acrylic acid benzyl, (meth) acrylic acid benzyl derivative, ( (Meth) acrylic acid furfuryl, (meth) acrylic acid tetrahydrofurfuryl, (meth) acrylic acid isobornyl, (meth) acrylic acid adamantyl, (meth) acrylic acid dicyclopentanyl, (meth) acrylic acid dimethylaminoethyl, (meta) ) Diethylaminoethyl acrylate, glycidyl (meth) acrylate, 2,2,2-trifluoroethyl (meth) acrylate, 2,2,3,3-tetrafluoropropyl (meth) acrylate, α-bromoacrylic acid, α -Chloracrylic acid, (meth) acrylic acid dicyclopenteni Ruoxyethyl, dicyclopentanyloxyethyl (meth) acrylate, isobornyloxyethyl (meth) acrylate, cyclohexyloxyethyl (meth) acrylate, adamantyloxyethyl (meth) acrylate, dicyclo (meth) acrylate Pentenyloxypropyloxyethyl, dicyclopentanyloxypropyloxyethyl (meth) acrylate, dicyclopentenyloxypropyloxyethyl (meth) acrylate, adamantyloxypropyloxyethyl (meth) acrylate, β-furyl (meth) (Meth) acrylic acid esters such as acrylic acid and β-styryl (meth) acrylic acid; styrene; polymerizable styrene derivatives substituted at the α-position or aromatic ring such as vinyltoluene and α-methylstyrene; Acrylamide such as rilamide; acrylonitrile; ether compound of vinyl alcohol such as vinyl-n-butyl ether; maleic acid; maleic anhydride; maleic acid monoester such as monomethyl maleate, monoethyl maleate, monoisopropyl maleate; fumaric acid, Examples thereof include cinnamic acid, α-cyanocinnamic acid, itaconic acid, crotonic acid, propiolic acid and other unsaturated carboxylic acid derivatives. These may be used alone or in any combination of two or more.

(A)成分は、現像性、感度、ガラスへの密着性の見地から、(メタ)アクリル酸ベンジル、(メタ)アクリル酸ベンジル誘導体、スチレン及びスチレン誘導体からなる群より選ばれる少なくとも1種の重合性単量体に由来する構成単位を有することが好ましい。また、(メタ)アクリル酸ベンジル及び(メタ)アクリル酸ベンジル誘導体からなる群より選ばれる少なくとも一種と、スチレン及びスチレン誘導体からなる群より選ばれる少なくとも1種とを双方含むことがより好ましい。すなわち、(A)成分は、これらの重合性単量体を含む2種以上の重合性単量体をラジカル重合させることにより得られるものであることが好ましく、これらの重合性単量体に由来する構成単位を有するものであることが好ましい。   Component (A) is at least one polymer selected from the group consisting of benzyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, styrene, and styrene derivatives from the viewpoint of developability, sensitivity, and adhesion to glass. It is preferable to have a structural unit derived from a polymerizable monomer. Moreover, it is more preferable that both at least one selected from the group consisting of benzyl (meth) acrylate and a benzyl derivative (meth) acrylate and at least one selected from the group consisting of styrene and a styrene derivative are included. That is, the component (A) is preferably obtained by radical polymerization of two or more polymerizable monomers including these polymerizable monomers, and is derived from these polymerizable monomers. It is preferable that it has a structural unit.

(A)成分が、(メタ)アクリル酸ベンジル又はその誘導体に由来する構成単位を有する場合、その含有率は、密着性に優れる点では、(A)成分を構成する重合性単量体の全質量を基準(100質量%、以下同様)として3質量%〜85質量%であることが好ましく、5質量%〜75質量%であることがより好ましく、10質量%〜70質量%であることが更に好ましく、10質量%〜50質量%であることが特に好ましい。解像度に優れる点では、この含有量が3質量%以上であることが好ましく、5質量%以上であることがより好ましく、10質量%以上であることが更に好ましい。また、剥離性、密着性に優れる点では、この含有量が85質量%以下であることが好ましく、75質量%以下であることがより好ましく、70質量%以下であることが更に好ましく、50質量%以下であることが特に好ましい。   In the case where the component (A) has a structural unit derived from benzyl (meth) acrylate or a derivative thereof, the content is all of the polymerizable monomers constituting the component (A) in terms of excellent adhesion. It is preferably 3% by mass to 85% by mass, more preferably 5% by mass to 75% by mass, more preferably 10% by mass to 70% by mass, based on mass (100% by mass, the same applies hereinafter). More preferably, it is 10 mass%-50 mass% especially preferable. In terms of excellent resolution, the content is preferably 3% by mass or more, more preferably 5% by mass or more, and still more preferably 10% by mass or more. In terms of excellent peelability and adhesion, the content is preferably 85% by mass or less, more preferably 75% by mass or less, still more preferably 70% by mass or less, and 50% by mass. % Or less is particularly preferable.

(A)成分が、スチレン又はその誘導体に由来する構成単位を有する場合、その含有率は、密着性に優れる点では、(A)成分を構成する重合性単量体の全質量を基準として10質量%〜70質量%であることが好ましく、15質量%〜60質量%であることがより好ましく、20質量%〜55質量%であることが更に好ましい。密着性に優れる点では、この含有量が10質量%以上であることが好ましく、15質量%以上であることがより好ましく、20質量%以上であることが更に好ましい。また、剥離性に優れる点では、この含有量が70質量%以下であることが好ましく、60質量%以下であることがより好ましく、55質量%以下であることが更に好ましい。   When the component (A) has a structural unit derived from styrene or a derivative thereof, the content is 10 on the basis of the total mass of the polymerizable monomer constituting the component (A) in terms of excellent adhesion. It is preferable that it is mass%-70 mass%, It is more preferable that it is 15 mass%-60 mass%, It is still more preferable that it is 20 mass%-55 mass%. In terms of excellent adhesion, the content is preferably 10% by mass or more, more preferably 15% by mass or more, and further preferably 20% by mass or more. In view of excellent peelability, the content is preferably 70% by mass or less, more preferably 60% by mass or less, and further preferably 55% by mass or less.

また、(A)成分は、アルカリ現像性及び剥離性を向上させる観点から、(メタ)アクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位を有することが好ましい。   Moreover, it is preferable that (A) component has a structural unit derived from (meth) acrylic-acid alkylester from a viewpoint of improving alkali developability and peelability.

(メタ)アクリル酸アルキルエステルとしては、炭素数が1〜12のアルキル基を有する(メタ)アクリル酸アルキルエステルが好ましい。(メタ)アクリル酸アルキルエステルとしては例えば、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸プロピル、(メタ)アクリル酸ブチル、(メタ)アクリル酸ペンチル、(メタ)アクリル酸ヘキシル、(メタ)アクリル酸ヘプチル、(メタ)アクリル酸オクチル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシル、(メタ)アクリル酸ノニル、(メタ)アクリル酸デシル、(メタ)アクリル酸ウンデシル、(メタ)アクリル酸ドデシルが挙げられる。これらは単独で又は2種以上を任意に組み合わせて用いることができる。   The (meth) acrylic acid alkyl ester is preferably a (meth) acrylic acid alkyl ester having an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms. Examples of (meth) acrylic acid alkyl esters include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, pentyl (meth) acrylate, and (meth) acrylic. Hexyl acid, heptyl (meth) acrylate, octyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, nonyl (meth) acrylate, decyl (meth) acrylate, undecyl (meth) acrylate, (meth) An example is dodecyl acrylate. These may be used alone or in any combination of two or more.

(A)成分が、(メタ)アクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位を有する場合、その含有率は、剥離性、解像度及び密着性に優れる点では、(A)成分を構成する重合性単量体の全質量を基準として1質量%〜30質量%であることが好ましく、2質量%〜20質量%であることがより好ましく、3質量%〜10質量%であることが更に好ましい。剥離性に優れる点では、この含有量が1質量%以上であることが好ましく、2質量%以上であることがより好ましく、3質量%以上であることが更に好ましい。また、解像度及び密着性に優れる点では、この含有量が30質量%以下であることが好ましく、20質量%以下であることがより好ましく、10質量%以下であることが更に好ましい。   When the component (A) has a structural unit derived from a (meth) acrylic acid alkyl ester, the content is high in peelability, resolution and adhesion, and the polymerizable monomer constituting the component (A). It is preferably 1% by mass to 30% by mass, more preferably 2% by mass to 20% by mass, and still more preferably 3% by mass to 10% by mass based on the total mass of the body. In terms of excellent peelability, the content is preferably 1% by mass or more, more preferably 2% by mass or more, and further preferably 3% by mass or more. In view of excellent resolution and adhesion, the content is preferably 30% by mass or less, more preferably 20% by mass or less, and further preferably 10% by mass or less.

(A)バインダーポリマーの酸価は、解像性の観点から30mgKOH/g以上であることが好ましく、耐現像液性及び密着性の観点から250mgKOH/g以下であることが好ましく、40〜230mgKOH/gであることがより好ましく、50〜210mgKOH/gであることがさらに好ましく、60〜190mgKOH/gであることが特に好ましい。現像工程として溶剤による現像を行う場合は、カルボキシル基を有する重合性単量体の使用量を抑えて調製することが好ましい。   (A) The acid value of the binder polymer is preferably 30 mgKOH / g or more from the viewpoint of resolution, preferably 250 mgKOH / g or less from the viewpoint of developer resistance and adhesion, and 40 to 230 mgKOH / g. g is more preferable, 50 to 210 mgKOH / g is further preferable, and 60 to 190 mgKOH / g is particularly preferable. When performing development with a solvent as the development step, it is preferable to prepare while suppressing the amount of polymerizable monomer having a carboxyl group.

(A)バインダーポリマーの重量平均分子量(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)で測定し、標準ポリスチレンを用いた検量線により換算)は、耐現像液性の観点から5,000以上であることが好ましく、現像時間を短くできる観点から300,000以下であることが好ましく、10,000〜100,000であることがより好ましく、20,000〜60,000であることが特に好ましい。   (A) The weight average molecular weight of the binder polymer (measured by gel permeation chromatography (GPC) and converted by a calibration curve using standard polystyrene) is preferably 5,000 or more from the viewpoint of developer resistance. From the viewpoint of shortening the development time, it is preferably 300,000 or less, more preferably 10,000 to 100,000, and particularly preferably 20,000 to 60,000.

(A)バインダーポリマーの配合量としては、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部に対して30〜70質量部であることが好ましく、35〜65質量部であることがより好ましく、40〜60質量部であることが特に好ましい。この配合量が30質量部以上であると良好な隔壁形状を得られ易くなる傾向があり、70質量部以下であると良好な感度や解像性、密着性が得られ易くなる傾向がある。   (A) As a compounding quantity of a binder polymer, it is preferable that it is 30-70 mass parts with respect to 100 mass parts of total amounts of (A) component and (B) component, and it is more preferable that it is 35-65 mass parts. 40 to 60 parts by mass is particularly preferable. If the blending amount is 30 parts by mass or more, a good partition shape tends to be easily obtained, and if it is 70 parts by mass or less, good sensitivity, resolution, and adhesion tend to be easily obtained.

(B)成分:エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物
本発明における(B)成分の光重合性化合物としては、分子内にエチレン性不飽和結合を1つ有する化合物、分子内にエチレン性不飽和結合を2つ以上有する化合物等が挙げられる。
Component (B): Photopolymerizable Compound Having Ethylenically Unsaturated Bond As the photopolymerizable compound of component (B) in the present invention, a compound having one ethylenically unsaturated bond in the molecule, ethylenic in the molecule Examples thereof include compounds having two or more unsaturated bonds.

上記(B)成分は、分子内にエチレン性不飽和結合を2つ以上有する化合物の少なくとも1種を含むことが好ましい。上記(B)成分が、分子内にエチレン性不飽和結合を2つ以上有する化合物を含む場合、その含有量は(A)成分及び(B)成分の総量100質量部中に、5質量部〜60質量部であることが好ましく、5質量部〜55質量部であることがより好ましく、10質量部〜50質量部であることが更に好ましい。   The component (B) preferably contains at least one compound having two or more ethylenically unsaturated bonds in the molecule. When the component (B) includes a compound having two or more ethylenically unsaturated bonds in the molecule, the content is 5 parts by mass to 100 parts by mass of the total amount of the component (A) and the component (B). The amount is preferably 60 parts by mass, more preferably 5 parts by mass to 55 parts by mass, and still more preferably 10 parts by mass to 50 parts by mass.

分子内にエチレン性不飽和結合を2つ以上有する化合物としては、例えば、ビスフェノールA系ジ(メタ)アクリレート化合物(2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリアルコキシ)フェニル)プロパン)、水添ビスフェノールA系ジ(メタ)アクリレート化合物(2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリアルコキシ)シクロヘキシル)プロパン)、分子内にウレタン結合を有するジ(メタ)アクリレート化合物、分子内に(ポリ)オキシエチレン基及び(ポリ)オキシプロピレン基の双方を有するポリアルキレングリコールジ(メタ)アクリレート及びトリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレートが挙げられる。   Examples of the compound having two or more ethylenically unsaturated bonds in the molecule include a bisphenol A di (meth) acrylate compound (2,2-bis (4-((meth) acryloxypolyalkoxy) phenyl) propane). Hydrogenated bisphenol A-based di (meth) acrylate compound (2,2-bis (4-((meth) acryloxypolyalkoxy) cyclohexyl) propane), di (meth) acrylate compound having a urethane bond in the molecule, molecule Examples thereof include polyalkylene glycol di (meth) acrylate and trimethylolpropane di (meth) acrylate having both (poly) oxyethylene groups and (poly) oxypropylene groups.

分子内にエチレン性不飽和結合を3つ以上有する化合物としては、例えば、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、EO変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート(オキシエチレン基の構成単位数が1〜5のもの)、PO変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、EO・PO変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタントリ(メタ)アクリレート及びテトラメチロールメタンテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート又はジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートが挙げられる。これらは単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of the compound having three or more ethylenically unsaturated bonds in the molecule include trimethylolpropane tri (meth) acrylate, EO-modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate (the number of oxyethylene group constituent units is 1 to 5). ), PO-modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, EO / PO-modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, tetramethylolmethane tri (meth) acrylate and tetramethylolmethanetetra (meth) acrylate, pentaerythritol tri ( And (meth) acrylate or dipentaerythritol hexa (meth) acrylate. These can be used alone or in combination of two or more.

(B)成分である光重合性化合物の配合量としては、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部に対して30〜70質量部であることが好ましく、35〜65質量部であることがより好ましく、40〜60質量部であることが特に好ましい。この配合量が30質量部以上であると良好な感度や解像性、密着性が得られ易くなる傾向があり、70質量部以下であると良好な隔壁形状を得られ易くなる傾向がある。   As a compounding quantity of the photopolymerizable compound which is (B) component, it is preferable that it is 30-70 mass parts with respect to 100 mass parts of total amounts of (A) component and (B) component, and is 35-65 mass parts. More preferably, it is particularly preferably 40 to 60 parts by mass. When this blending amount is 30 parts by mass or more, good sensitivity, resolution, and adhesion tend to be easily obtained, and when it is 70 parts by mass or less, a favorable partition shape tends to be easily obtained.

(C)成分:光重合開始剤
上記隔壁形成材料は、(C)成分として光重合開始剤の少なくとも1種を含む。(C)成分である光重合開始剤としては、特に制限はなく、通常用いられる光重合開始剤から適宜選択することができる。光重合開始剤としては、ベンゾフェノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン−1、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノ−プロパノン−1等の芳香族ケトン;アルキルアントラキノン等のキノン類;ベンゾインアルキルエーテル等のベンゾインエーテル化合物;ベンゾイン、アルキルベンゾイン等のベンゾイン化合物;ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体;2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(o−フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体等の2,4,5−トリアリールイミダゾール二量体;9−フェニルアクリジン、1,7−(9,9’−アクリジニル)ヘプタン等のアクリジン誘導体が挙げられる。これらは単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。
Component (C): Photopolymerization initiator The partition wall forming material contains at least one photopolymerization initiator as the component (C). There is no restriction | limiting in particular as a photoinitiator which is (C) component, It can select suitably from the photoinitiator used normally. As the photopolymerization initiator, benzophenone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino- Aromatic ketones such as propanone-1; quinones such as alkylanthraquinones; benzoin ether compounds such as benzoin alkyl ether; benzoin compounds such as benzoin and alkylbenzoin; benzyl derivatives such as benzyldimethyl ketal; 2- (o-chlorophenyl)- 2,4,5-triarylimidazole dimer such as 4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-fluorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer; 9-phenylacridine, 1, Acridine derivatives such as 7- (9,9′-acridinyl) heptane Is mentioned. These can be used alone or in combination of two or more.

(C)成分は、感度及び密着性を向上させる観点から、2,4,5−トリアリールイミダゾール二量体の少なくとも1種を含むことが好ましく、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体を含むことがより好ましい。2,4,5−トリアリールイミダゾール二量体は、その構造が対称であっても非対称であってもよい。   The component (C) preferably contains at least one 2,4,5-triarylimidazole dimer from the viewpoint of improving sensitivity and adhesion, and 2- (o-chlorophenyl) -4,5- More preferably, it contains a diphenylimidazole dimer. The 2,4,5-triarylimidazole dimer may be symmetric or asymmetric in structure.

上記隔壁形成材料における(C)成分の含有量は、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部に対して0.1質量部〜10質量部であることが好ましく、1質量部〜7質量部であることがより好ましく、2質量部〜6質量部であることが更に好ましく、3質量部〜5質量部であることが特に好ましい。この含有量が0.1質量部以上であると良好な感度、解像度又は密着性が得られ易くなる傾向があり、10質量部以下であると良好なレジスト形状を得られ易くなる傾向がある。   The content of the component (C) in the partition wall forming material is preferably 0.1 parts by mass to 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of the component (A) and the component (B). It is more preferably 7 parts by mass, further preferably 2 parts by mass to 6 parts by mass, and particularly preferably 3 parts by mass to 5 parts by mass. When this content is 0.1 parts by mass or more, good sensitivity, resolution or adhesion tends to be obtained, and when it is 10 parts by mass or less, a good resist shape tends to be obtained.

本実施形態の隔壁形成材料は、増感色素の少なくとも1種を含有することができる。   The partition wall forming material of the present embodiment can contain at least one sensitizing dye.

増感色素としては、例えば、ジアルキルアミノベンゾフェノン化合物、ピラゾリン化合物、アントラセン化合物、クマリン化合物、キサントン化合物、チオキサントン化合物、オキサゾール化合物、ベンゾオキサゾール化合物、チアゾール化合物、ベンゾチアゾール化合物、トリアゾール化合物、スチルベン化合物、トリアジン化合物、チオフェン化合物、ナフタルイミド化合物、トリアリールアミン化合物、及びアミノアクリジン化合物が挙げられる。これらは単独で、又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of sensitizing dyes include dialkylaminobenzophenone compounds, pyrazoline compounds, anthracene compounds, coumarin compounds, xanthone compounds, thioxanthone compounds, oxazole compounds, benzoxazole compounds, thiazole compounds, benzothiazole compounds, triazole compounds, stilbene compounds, triazine compounds. , A thiophene compound, a naphthalimide compound, a triarylamine compound, and an aminoacridine compound. These can be used alone or in combination of two or more.

特に、340〜430nmの活性光線を用いて隔壁形成材料を含む塗膜の露光を行う場合には、感度及び密着性の観点から、ジアルキルアミノベンゾフェノン化合物、ピラゾリン化合物、アントラセン化合物、クマリン化合物、トリアリールアミン化合物、チオキサントン化合物及びアミノアクリジン化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種の増感色素を含むことが好ましく、中でもジアルキルアミノベンゾフェノン化合物、ピラゾリン化合物、アントラセン化合物、及びトリアリールアミン化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種を含むことがより好ましく、ピラゾリン化合物の少なくとも1種を含むことが更に好ましい。   In particular, when exposure of a coating film containing a partition wall forming material using an actinic ray of 340 to 430 nm is carried out, from the viewpoint of sensitivity and adhesion, a dialkylaminobenzophenone compound, a pyrazoline compound, an anthracene compound, a coumarin compound, a triaryl It is preferable to contain at least one sensitizing dye selected from the group consisting of amine compounds, thioxanthone compounds and aminoacridine compounds, and in particular, selected from the group consisting of dialkylaminobenzophenone compounds, pyrazoline compounds, anthracene compounds, and triarylamine compounds. It is more preferable that at least one selected from the group consisting of pyrazoline compounds is further included.

上記隔壁形成材料における増感色素の含有量は、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部に対して0.01質量部〜10質量部とすることが好ましく、0.05質量部〜5質量部とすることがより好ましく、0.1質量部〜3質量部とすることが更に好ましい。この含有量が0.01質量部以上であると、感度及び解像度が得られ易くなる傾向があり、10質量部以下であると、十分に良好なレジスト形状が得られ易くなる傾向がある。   The content of the sensitizing dye in the partition wall forming material is preferably 0.01 parts by mass to 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of the component (A) and the component (B), and 0.05 parts by mass. It is more preferable to set it as -5 mass parts, and it is still more preferable to set it as 0.1 mass part-3 mass parts. When this content is 0.01 parts by mass or more, sensitivity and resolution tend to be easily obtained, and when it is 10 parts by mass or less, a sufficiently good resist shape tends to be easily obtained.

上記ピラゾリン化合物としては、特に制限なく用いることができるが、具体的には、1−フェニル−3−(4−イソプロピルスチリル)−5−(4−イソプロピルフェニル)−ピラゾリン、1−フェニル−3−(4−tert−ブチル−スチリル)−5−(4−tert−ブチルフェニル)−ピラゾリン、1−フェニル−3−(4−メトキシスチリル)−5−(4−メトキシフェニル)−ピラゾリン、1−フェニル−3−(3,5−ジメトキシスチリル)−5−(3,5−ジメトキシフェニル)−ピラゾリン、1−フェニル−3−(3,4−ジメトキシスチリル)−5−(3,4−ジメトキシフェニル)−ピラゾリン、1−フェニル−3−(2,6−ジメトキシスチリル)−5−(2,6−ジメトキシフェニル)−ピラゾリン、1−フェニル−3−(2,5−ジメトキシスチリル)−5−(2,5−ジメトキシフェニル)−ピラゾリン、1−フェニル−3−(2,3−ジメトキシスチリル)−5−(2,3−ジメトキシフェニル)−ピラゾリン、1−フェニル−3−(2,4−ジメトキシスチリル)−5−(2,4−ジメトキシフェニル)−ピラゾリンが挙げられる。   The pyrazoline compound can be used without particular limitation, and specifically, 1-phenyl-3- (4-isopropylstyryl) -5- (4-isopropylphenyl) -pyrazoline, 1-phenyl-3- (4-tert-butyl-styryl) -5- (4-tert-butylphenyl) -pyrazoline, 1-phenyl-3- (4-methoxystyryl) -5- (4-methoxyphenyl) -pyrazoline, 1-phenyl -3- (3,5-dimethoxystyryl) -5- (3,5-dimethoxyphenyl) -pyrazoline, 1-phenyl-3- (3,4-dimethoxystyryl) -5- (3,4-dimethoxyphenyl) -Pyrazolin, 1-phenyl-3- (2,6-dimethoxystyryl) -5- (2,6-dimethoxyphenyl) -pyrazoline, 1-phenyl 3- (2,5-dimethoxystyryl) -5- (2,5-dimethoxyphenyl) -pyrazoline, 1-phenyl-3- (2,3-dimethoxystyryl) -5- (2,3-dimethoxyphenyl)- Examples include pyrazoline and 1-phenyl-3- (2,4-dimethoxystyryl) -5- (2,4-dimethoxyphenyl) -pyrazoline.

また、1−フェニル−3,5−ビス(4−tert−ブチルフェニル)−ピラゾリン、1−フェニル−3,5−ビス(4−メトキシフェニル)−ピラゾリン、1−フェニル−3−(4−ビフェニル)−5−(4−tert−ブチルフェニル)−ピラゾリン、1−フェニル−3−(4−ビフェニル)−5−(4−tert−オクチルフェニル)−ピラゾリンが挙げられる。   Also, 1-phenyl-3,5-bis (4-tert-butylphenyl) -pyrazoline, 1-phenyl-3,5-bis (4-methoxyphenyl) -pyrazoline, 1-phenyl-3- (4-biphenyl) ) -5- (4-tert-butylphenyl) -pyrazoline, 1-phenyl-3- (4-biphenyl) -5- (4-tert-octylphenyl) -pyrazoline.

ここで(C)成分の光重合開始剤である2,4,5−トリアリールイミダゾールニ量体は、単独若しくは上記増感色素共存下において、露光によって化学変化が生起されて開裂し、ラジカルが生成される化合物と考えられる。生成されたラジカルはチオール化合物など水素供与体となりえる化合物から水素を引き抜き、そこから生成するSラジカルが重合性化合物を反応させ、露光領域を光硬化させると考えられる。そのため本発明の隔壁形成材料は、上述の(A)〜(C)成分に加えて、(D)チオール化合物を含有する。   Here, the 2,4,5-triarylimidazole dimer which is the photopolymerization initiator of the component (C) is cleaved by a chemical change caused by exposure alone or in the presence of the sensitizing dye, It is considered as a compound to be produced. It is considered that the generated radicals extract hydrogen from a compound that can be a hydrogen donor such as a thiol compound, and S radicals generated therefrom react with the polymerizable compound to photocur the exposed region. Therefore, the partition wall forming material of the present invention contains (D) a thiol compound in addition to the components (A) to (C) described above.

(D)成分:チオール化合物
上記隔壁形成材料は、(D)成分としてチオール化合物の少なくとも1種を含む。(D)成分であるチオール化合物としては、脂肪族チオール化合物が好ましい。
上記脂肪族チオール化合物としては、例えば、1,2−エタンジチオール、1,3−プロパンジチオール、1,4−ブタンジチオール、2,3−ブタンジチオール、1,5−ペンタンジチオール、1,6−ヘキサンジチオール、1,9−ノナンジチオール、2,3−ジメルカプト−1−プロパノール、ジチオエリスリトール、2,3−ジメルカプトサクシン酸、1,2−ベンゼンジチオール、1,3−ベンゼンジメタンチオール、1,4−ベンゼンジメタンチオール、3,4−ジメルカプトトルエン、4−クロロ−1,3−ベンゼンジチオール、1,4−ベンゼンジメタンチオール、3,4−ジメルカプトトルエン、4−クロロ−1,3−ベンゼンチオール、2,4,6−トリメチル−1,3−ベンゼンジメタンチオール、4,4’−チオジフェノール、2−ヘキシルアミノ−4,6−ジメルカプト−1,3,5−トリアジン、2−ジエチルアミノ−4,6−ジメルカプト−1,3,5−トリアジン、2−シクロヘキシルアミノ−4,6−ジメルカプト−1,3,5トリアジン、2−ジ−n−ブチルアミノ−4,6−ジメルカプト−1,3,5−トリアジン、エチレングリコールビス(3−メルカプトプロピオネート)、ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオグリコレート、2,5−ジメルカプト−1,3,4−チアジアゾール、2,2’−(エチレンジチオ)ジエタンチオール、2,2−ビス(2−ヒドロキシ−3−メルカプトプロポキシフェニルプロパン)等の2官能のチオール化合物;1,2,6−ヘキサントリチオールトリチオグリコレート、1,3,5−トリチオシアヌル酸、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトプロピオネート)、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート等の3官能のチオール化合物;ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)等の4官能のチオール化合物が挙げられる。
(D) Component: Thiol Compound The partition wall forming material contains at least one thiol compound as the (D) component. (D) As a thiol compound which is a component, an aliphatic thiol compound is preferable.
Examples of the aliphatic thiol compound include 1,2-ethanedithiol, 1,3-propanedithiol, 1,4-butanedithiol, 2,3-butanedithiol, 1,5-pentanedithiol, 1,6-hexane. Dithiol, 1,9-nonanedithiol, 2,3-dimercapto-1-propanol, dithioerythritol, 2,3-dimercaptosuccinic acid, 1,2-benzenedithiol, 1,3-benzenedimethanethiol, 1,4 -Benzenedimethanethiol, 3,4-dimercaptotoluene, 4-chloro-1,3-benzenedithiol, 1,4-benzenedimethanethiol, 3,4-dimercaptotoluene, 4-chloro-1,3- Benzenethiol, 2,4,6-trimethyl-1,3-benzenedimethanethiol, 4,4'-thiodiph Enol, 2-hexylamino-4,6-dimercapto-1,3,5-triazine, 2-diethylamino-4,6-dimercapto-1,3,5-triazine, 2-cyclohexylamino-4,6-dimercapto- 1,3,5 triazine, 2-di-n-butylamino-4,6-dimercapto-1,3,5-triazine, ethylene glycol bis (3-mercaptopropionate), butanediol bisthioglycolate, ethylene Glycol bisthioglycolate, 2,5-dimercapto-1,3,4-thiadiazole, 2,2 '-(ethylenedithio) diethanethiol, 2,2-bis (2-hydroxy-3-mercaptopropoxyphenylpropane) Bifunctional thiol compounds such as 1,2,6-hexanetrithiol trithioglycolate, 1 , 3,5-trithiocyanuric acid, trimethylolpropane tris (3-mercaptopropionate), trifunctional thiol compounds such as trimethylolpropane tristhioglycolate; tetrafunctional such as pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate) These thiol compounds are mentioned.

また(D)成分であるチオール化合物の配合量は、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部に対して0.1〜15質量部であることが好ましく、0.5〜12質量部であることがより好ましく、1〜9質量部であることが特に好ましく、2〜8質量部であることが極めて好ましい。この配合量が0.1質量部以上であると期待される感度の向上や解像性、密着性が得られ易くなる傾向があり、15質量部以下であると所望通りの良好な形状のレジストパターンを得られ易くなる傾向がある。なお、この配合量が15質量部を超えると、臭気が悪化し、パターンの線幅が太ってしまうなど所望通りの良好な形状のレジストパターンを得られない傾向がある。(D)成分であるチオール化合物は、1種類を単独で又は2種類以上を組み合わせて用いられる。   Moreover, it is preferable that the compounding quantity of the thiol compound which is (D) component is 0.1-15 mass parts with respect to 100 mass parts of total amounts of (A) component and (B) component, and 0.5-12 mass Is more preferably 1 to 9 parts by mass, and particularly preferably 2 to 8 parts by mass. When the blending amount is 0.1 parts by mass or more, the sensitivity improvement, resolution, and adhesion tend to be easily obtained, and when it is 15 parts by mass or less, a resist having a good shape as desired. It tends to be easy to obtain a pattern. If the blending amount exceeds 15 parts by mass, the odor is deteriorated and there is a tendency that a resist pattern having a good shape as desired cannot be obtained, for example, the pattern line width is increased. (D) The thiol compound which is a component is used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

(E)成分:シランカップリング剤
前記(E)成分のシランカップリング剤としては、例えば、アミノ系シランカップリング剤、ウレイド系シランカップリング剤、グリシド系シランカップリング剤、ビニル系シランカップリング剤、メタクリル系シランカップリング剤、エポキシ系シランカップリング剤、メルカプト系シランカップリング剤及びイソシアネート系シランカップリング剤が挙げられ、それらの加水分解基としてはアルコキシ基、クロル基、アセトキシ基、オキシム基、イソプロペノキシ基、アミド基等が挙げられる。
上記の中でも、光反応性基を有するシランカップリング剤が好ましく、ビニル系シランカップリング剤、メタクリル系シランカップリング剤又はエポキシ系シランカップリング剤を含むことが好ましく、ビニル系シランカップリング剤又はメタクリル系シランカップリング剤を含むことがより好ましく、メタクリル系シランカップリング剤を含むことがさらに好ましい。
上記シランカップリング剤としては、具体的には、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−β−(アミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−フェニルアミノプロピルトリメトキシシラン、ウレイドプロピルトリエトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリス(β−メトキシエトキシ)シラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−イソシアネートプロピルトリメトキシシランが挙げられる。これらは1種類を単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。
(E) Component: Silane Coupling Agent Examples of the silane coupling agent of component (E) include, for example, amino silane coupling agents, ureido silane coupling agents, glycid silane coupling agents, and vinyl silane coupling agents. Agents, methacrylic silane coupling agents, epoxy silane coupling agents, mercapto silane coupling agents, and isocyanate silane coupling agents. These hydrolyzable groups include alkoxy groups, chloro groups, acetoxy groups, and oximes. Group, isopropenoxy group, amide group and the like.
Among the above, a silane coupling agent having a photoreactive group is preferable, and a vinyl silane coupling agent, a methacrylic silane coupling agent, or an epoxy silane coupling agent is preferable, and a vinyl silane coupling agent or It is more preferable to include a methacrylic silane coupling agent, and it is more preferable to include a methacrylic silane coupling agent.
Specific examples of the silane coupling agent include γ-aminopropyltriethoxysilane, γ-aminopropyltrimethoxysilane, N-β- (aminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane, and γ-phenylamino. Propyltrimethoxysilane, ureidopropyltriethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, vinyltris (β-methoxyethoxy) silane, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, γ-methacryloxypropylmethyldimethoxysilane, β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-mercaptopropyltrimethoxysilane, and γ-isocyanatopropyltrimethoxysilane. These can be used singly or in combination of two or more.

本実施形態に係る(E)成分は、加水分解反応の制御範囲が広く、ハンドリングが容易であることから、アルコキシ基を加水分解基とするシランカップリング剤であることが好ましい。   The component (E) according to the present embodiment is preferably a silane coupling agent having an alkoxy group as a hydrolyzable group because the control range of the hydrolysis reaction is wide and handling is easy.

また(E)成分であるシランカップリング剤の配合量は、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部に対して0.1〜15質量部であることが好ましく、0.5〜10質量部であることがより好ましく、1〜6質量部であることが特に好ましい。この配合量が0.1質量部以上であると高い密着性が得られ易くなる傾向があり、15質量部以下であると特性の安定性が向上する傾向にある。   Moreover, it is preferable that the compounding quantity of the silane coupling agent which is (E) component is 0.1-15 mass parts with respect to 100 mass parts of total amounts of (A) component and (B) component, 0.5- More preferably, it is 10 mass parts, and it is especially preferable that it is 1-6 mass parts. When this amount is 0.1 part by mass or more, high adhesion tends to be easily obtained, and when it is 15 parts by mass or less, stability of characteristics tends to be improved.

以上のような成分を含む隔壁形成材料は、さらに必要に応じて、熱発色防止剤、p−トルエンスルホンアミド等の可塑剤、顔料、充填剤、消泡剤、難燃剤、安定剤、密着性付与剤、レベリング剤、剥離促進剤、酸化防止剤、香料、イメージング剤、熱架橋剤などを、(A)成分および(B)成分の総量100質量部に対して各々0.01〜20質量部程度含有することができる。これらは単独で、または2種類以上を組み合わせて使用される。   The partition wall-forming material containing the above components may further include a thermochromic inhibitor, a plasticizer such as p-toluenesulfonamide, a pigment, a filler, an antifoaming agent, a flame retardant, a stabilizer, and adhesiveness, if necessary. 0.01 to 20 parts by mass of an imparting agent, a leveling agent, a peeling accelerator, an antioxidant, a fragrance, an imaging agent, a thermal crosslinking agent, etc. with respect to 100 parts by mass of the total amount of component (A) and component (B). It can be contained to the extent. These may be used alone or in combination of two or more.

以上のような成分を含む本発明の隔壁形成材料(以下、「感光性樹脂組成物」とも言う)は、たとえば、含有成分をロールミル、ビーズミル等で均一に混練、混合することにより得ることができる。また、必要に応じて、メタノール、エタノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、トルエン、N,N−ジメチルホルムアミド、プロピレングリコールモノメチルエーテル等の溶剤またはこれらの混合溶剤に溶解して、固形分30〜60質量%程度の溶液として用いることができる。   The partition wall forming material of the present invention containing the above components (hereinafter, also referred to as “photosensitive resin composition”) can be obtained, for example, by uniformly kneading and mixing the contained components with a roll mill, a bead mill or the like. . If necessary, it can be dissolved in a solvent such as methanol, ethanol, acetone, methyl ethyl ketone, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, toluene, N, N-dimethylformamide, propylene glycol monomethyl ether, or a mixed solvent thereof to obtain a solid content of 30 It can be used as a solution of about ˜60% by mass.

得られた感光性樹脂組成物を用いて画像表示装置用基板上に塗膜(以下、「感光性樹脂組成物層」とも言う)を形成する方法としては、特に制限はないが、前記基板上に感光性樹脂組成物を液状レジストとして塗布して乾燥する方法を用いることができる。また、必要に応じて感光性樹脂組成物層上に保護フィルムを被覆することができる。さらに、後に詳しく述べるが感光性樹脂組成物層を感光性エレメントの形態で用いることが好ましい。塗布される感光性樹脂組成物層の厚みは、用途により異なるが、乾燥後の厚みで1〜100μm程度であることが好ましい。液状レジストとして塗布後、保護フィルムを被覆して用いる場合の保護フィルムとしては、たとえば、ポリエチレン、ポリプロピレン等の重合体フィルムが挙げられる。   A method for forming a coating film (hereinafter also referred to as “photosensitive resin composition layer”) on the substrate for an image display device using the obtained photosensitive resin composition is not particularly limited. A method in which the photosensitive resin composition is applied as a liquid resist and dried can be used. Moreover, a protective film can be coat | covered on the photosensitive resin composition layer as needed. Further, as will be described in detail later, it is preferable to use the photosensitive resin composition layer in the form of a photosensitive element. The thickness of the photosensitive resin composition layer to be applied varies depending on the use, but is preferably about 1 to 100 μm after drying. Examples of the protective film in the case where the protective film is used after being coated as a liquid resist include polymer films such as polyethylene and polypropylene.

(感光性エレメント)
図1は、本発明の感光性エレメントの好適な一実施形態を示す模式断面図である。図1に示すように、本発明の感光性エレメント10は、支持体1と、その上に形成された上記感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層2と、感光性樹脂組成物層2上に形成された保護フィルム3と、を備える。なお、保護フィルム3は、必要に応じて設けられる。
(Photosensitive element)
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a preferred embodiment of the photosensitive element of the present invention. As shown in FIG. 1, the photosensitive element 10 of the present invention includes a support 1, a photosensitive resin composition layer 2 made of the photosensitive resin composition formed thereon, and a photosensitive resin composition layer. Protective film 3 formed on 2. In addition, the protective film 3 is provided as needed.

支持体1としては、たとえば、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエステル等の重合体フィルムを好ましく用いることができる。重合体フィルムの厚みは、1〜100μm程度とすることが好ましく、5〜50μmであることがより好ましく、10〜30μmであることがさらに好ましい。   As the support 1, for example, a polymer film of polyethylene terephthalate, polypropylene, polyethylene, polyester, or the like can be preferably used. The thickness of the polymer film is preferably about 1 to 100 μm, more preferably 5 to 50 μm, and still more preferably 10 to 30 μm.

支持体1上への感光性樹脂組成物層2の形成方法は、特に限定されないが、感光性樹脂組成物の溶液を塗布、乾燥することにより好ましく実施できる。塗布される感光性樹脂組成物層2の厚みは、用途により異なるが、乾燥後の厚みで1〜100μm程度であることが好ましい。本用途に使用する場合は、感光性樹脂組成物層2の厚みは、乾燥後の厚みで10〜100μmであることがより好ましく、20〜90μmであることがさらに好ましく、30〜80μmであることが特に好ましい。   Although the formation method of the photosensitive resin composition layer 2 on the support body 1 is not specifically limited, It can implement preferably by apply | coating and drying the solution of the photosensitive resin composition. The thickness of the applied photosensitive resin composition layer 2 varies depending on the use, but is preferably about 1 to 100 μm in thickness after drying. When used in this application, the thickness of the photosensitive resin composition layer 2 is more preferably 10 to 100 μm, more preferably 20 to 90 μm, and more preferably 30 to 80 μm after drying. Is particularly preferred.

塗布は、たとえば、ロールコータ、コンマコータ、グラビアコータ、エアーナイフコータ、ダイコータ、バーコータ等の公知の方法で行うことができる。乾燥は、70〜150℃、5〜30分間程度で行うことができる。また、感光性樹脂組成物層2中の残存有機溶剤量は、後の工程での有機溶剤の拡散を防止する点から、2質量%以下とすることが好ましい。   The coating can be performed by a known method such as a roll coater, a comma coater, a gravure coater, an air knife coater, a die coater, or a bar coater. Drying can be performed at 70 to 150 ° C. for about 5 to 30 minutes. Moreover, it is preferable that the amount of the residual organic solvent in the photosensitive resin composition layer 2 shall be 2 mass% or less from the point which prevents the spreading | diffusion of the organic solvent in a next process.

支持体1として用いられる上記重合体フィルムを保護フィルム3として用いて、感光性樹脂組成物層2表面を被覆してもよい。保護フィルム3としては、感光性樹脂組成物層2と支持体1との間の接着力よりも、感光性樹脂組成物層2と保護フィルム3との間の接着力の方が小さくなるものが好ましく、また、低フィッシュアイのフィルムが好ましい。さらに、感光性エレメント10は、感光性樹脂組成物層2、支持体1及び任意の保護フィルム3の他に、クッション層、接着層、光吸収層、ガスバリア層等の中間層や保護層を有していてもよい。   The surface of the photosensitive resin composition layer 2 may be coated using the polymer film used as the support 1 as the protective film 3. The protective film 3 has a smaller adhesive force between the photosensitive resin composition layer 2 and the protective film 3 than the adhesive force between the photosensitive resin composition layer 2 and the support 1. Also preferred is a low fisheye film. Further, the photosensitive element 10 includes an intermediate layer and a protective layer such as a cushion layer, an adhesive layer, a light absorption layer, and a gas barrier layer in addition to the photosensitive resin composition layer 2, the support 1 and the optional protective film 3. You may do it.

製造された感光性エレメント10は、通常、円筒状の巻芯に巻きとって貯蔵される。なお、この際、支持体1が外側になるように巻き取られることが好ましい。上記ロール状の感光性エレメントロールの端面には、端面保護の見地から端面セパレータを設置することが好ましく、耐エッジフュージョンの見地から防湿端面セパレータを設置することが好ましい。また、梱包方法として、透湿性の小さいブラックシートに包んで包装することが好ましい。上記巻芯としては、たとえば、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ABS樹脂(アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体)等のプラスチックが挙げられる。   The manufactured photosensitive element 10 is usually wound around a cylindrical core and stored. At this time, it is preferable that the support 1 is wound up so as to be on the outside. An end face separator is preferably installed on the end face of the roll-shaped photosensitive element roll from the viewpoint of end face protection, and a moisture-proof end face separator is preferably installed from the viewpoint of edge fusion resistance. Moreover, as a packing method, it is preferable to wrap and package in a black sheet with low moisture permeability. Examples of the core include plastics such as polyethylene resin, polypropylene resin, polystyrene resin, polyvinyl chloride resin, and ABS resin (acrylonitrile-butadiene-styrene copolymer).

(画像表示装置の隔壁の形成方法及び画像表示装置の製造方法)
次に、本発明の画像表示装置の隔壁の形成方法及び画像表示装置の製造方法について説明する。画像表示装置の隔壁の形成方法は、画像表示装置の基板上に、感光性樹脂組成物、又は感光性エレメントを用いて感光性樹脂組成物層を積層する積層工程と、上記感光性樹脂組成物層の所定部分に活性光線を照射して露光部を光硬化せしめる露光工程と、上記感光性樹脂組成物層の上記露光部以外の部分を除去して光硬化物パターンを形成する現像工程と、を有する。
(Method for forming partition of image display device and method for manufacturing image display device)
Next, a method for forming the partition wall of the image display device and a method for manufacturing the image display device of the present invention will be described. A method for forming partition walls of an image display device includes a step of laminating a photosensitive resin composition or a photosensitive resin composition layer using a photosensitive element on a substrate of the image display device, and the photosensitive resin composition. An exposure step of irradiating a predetermined portion of the layer with an actinic ray to photo-cure the exposed portion; a developing step of removing a portion other than the exposed portion of the photosensitive resin composition layer to form a photocured product pattern; Have

まず、上述した本発明の感光性樹脂組成物を用いて、感光性樹脂組成物層を画像表示装置の基板上に積層する。上記基板としては、ガラス基板若しくはポリマー基板のような絶縁基板又はシリコン基板などの半導体基板若しくはITOのような電極が形成された基板若しくはカラーフィルターが形成されたガラス基板が挙げられる。積層方法としては、上述した塗布方法が用いられる他、感光性エレメントを用いることもできる。   First, a photosensitive resin composition layer is laminated on a substrate of an image display device using the above-described photosensitive resin composition of the present invention. Examples of the substrate include an insulating substrate such as a glass substrate or a polymer substrate, a semiconductor substrate such as a silicon substrate, a substrate on which an electrode such as ITO is formed, or a glass substrate on which a color filter is formed. As a lamination method, the above-described coating method is used, and a photosensitive element can also be used.

感光性エレメントを用いる積層方法は、感光性樹脂組成物層上に保護フィルムが存在している場合には、保護フィルムを除去しながら基板上へ積層する。上記積層条件としては、例えば、感光性樹脂組成物層を70〜130℃程度に加熱しながら、基板上に0.1〜1MPa程度(1〜10kgf/cm程度)の圧力で圧着することにより積層する方法などが挙げられ、減圧下で積層することも可能である。基板表面の形状は、通常は平坦であるが、必要に応じて凹凸や電極パターンが形成されていてもよい。 In the laminating method using the photosensitive element, when a protective film is present on the photosensitive resin composition layer, it is laminated on the substrate while removing the protective film. As the lamination condition, for example, by heating the photosensitive resin composition layer to about 70 to 130 ° C., it is pressure-bonded on the substrate with a pressure of about 0.1 to 1 MPa (about 1 to 10 kgf / cm 2 ). The method of laminating | stacking etc. is mentioned, It is also possible to laminate | stack under reduced pressure. The shape of the substrate surface is usually flat, but irregularities and electrode patterns may be formed as necessary.

感光性樹脂組成物の積層後、感光性樹脂組成物層に画像状に活性光線を照射して、露光部を光硬化させる。画像状に活性光線を照射させる方法としては、感光性樹脂組成物層上にマスクパターンを設置して画像状に活性光線を照射し、露光部の感光性樹脂組成物層を光硬化させる方法がある。マスクパターンは、ネガ型でもポジ型でもよく、一般に用いられているものを使用できる。活性光線の光源としては、公知の光源、たとえば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等の紫外線、可視光などを有効に放射するものが用いられる。また、露光方法としては、マスクパターンを用いずにレーザーで直接パターンを描画する、直接描画露光法を用いることもできる。   After lamination of the photosensitive resin composition, the photosensitive resin composition layer is irradiated with an actinic ray in an image form to photocur the exposed portion. As a method of irradiating actinic rays in an image form, there is a method of setting a mask pattern on the photosensitive resin composition layer and irradiating the image form with an actinic ray and photocuring the photosensitive resin composition layer in the exposed portion. is there. The mask pattern may be a negative type or a positive type, and a commonly used one can be used. As the light source of actinic light, a known light source, for example, a light source that effectively emits ultraviolet light, visible light, or the like, such as a carbon arc lamp, a mercury vapor arc lamp, a high-pressure mercury lamp, or a xenon lamp is used. As an exposure method, a direct drawing exposure method in which a pattern is directly drawn with a laser without using a mask pattern can also be used.

露光後に未露光部の感光性樹脂組成物層を現像により選択的に除去することにより、画像表示装置用の基板上に光硬化物パターンが形成される。なお、現像工程は、支持体が存在する場合は、現像に先立ち、支持体を除去する。現像は、アルカリ性水溶液、水系現像液、有機溶剤等の現像液によるウエット現像、ドライ現像等で未露光部を除去することにより行われる。本発明においては、アルカリ性水溶液を用いることが好ましい。アルカリ性水溶液としては、例えば、0.1〜5質量%炭酸ナトリウムの希薄溶液、0.1〜5質量%炭酸カリウムの希薄溶液、0.1〜5質量%水酸化ナトリウムの希薄溶液等が挙げられる。このアルカリ性水溶液のpHは9〜11の範囲とすることが好ましく、その温度は、感光性樹脂組成物層の現像性に合わせて調節される。また、アルカリ性水溶液中には、界面活性剤、消泡剤、有機溶剤等を混入させてもよい。上記現像の方式としては、たとえば、ディップ方式、スプレー方式、ブラッシング、スラッピング等が挙げられる。   A photocured material pattern is formed on the substrate for an image display device by selectively removing the photosensitive resin composition layer in the unexposed portion after the exposure by development. In the development step, when a support is present, the support is removed prior to development. Development is performed by removing unexposed portions by wet development, dry development, or the like using a developer such as an alkaline aqueous solution, an aqueous developer, or an organic solvent. In the present invention, it is preferable to use an alkaline aqueous solution. Examples of the alkaline aqueous solution include a dilute solution of 0.1 to 5 mass% sodium carbonate, a dilute solution of 0.1 to 5 mass% potassium carbonate, a dilute solution of 0.1 to 5 mass% sodium hydroxide, and the like. . The pH of the alkaline aqueous solution is preferably in the range of 9 to 11, and the temperature is adjusted according to the developability of the photosensitive resin composition layer. Moreover, you may mix surfactant, an antifoamer, an organic solvent, etc. in alkaline aqueous solution. Examples of the development method include a dip method, a spray method, brushing, and slapping.

現像後の処理として、形成された上記光硬化物パターンを、必要に応じて60〜250℃程度の加熱処理によりさらに硬化してもよい。   As a treatment after development, the formed photocured product pattern may be further cured by a heat treatment at about 60 to 250 ° C., if necessary.

本発明の画像表示装置の製造方法は、粒子等の表示媒体を上記工程で得た隔壁内に充填する工程と、一方の基板に対向するように隔壁の反対側に基板を貼り付ける工程と、を有する。上記基板としては、ガラス基板若しくはポリマー基板のような絶縁基板又はシリコン基板などの半導体基板若しくはITOのような電極が形成された基板が挙げられる。   The method for producing an image display device of the present invention includes a step of filling a display medium such as particles in the partition obtained in the above step, a step of attaching a substrate to the opposite side of the partition so as to face one substrate, Have Examples of the substrate include an insulating substrate such as a glass substrate or a polymer substrate, a semiconductor substrate such as a silicon substrate, or a substrate on which an electrode such as ITO is formed.

以下、上述した画像表示装置の隔壁の形成方法及び画像表示装置の製造方法について、感光性エレメントを用いた場合の一実施形態を、図面を用いて説明する。   Hereinafter, an embodiment in which a photosensitive element is used for a method for forming a partition wall of an image display device and a method for manufacturing an image display device described above will be described with reference to the drawings.

まず、図2(a)に示すように、電極4と基板5とからなる画像表示装置用の電極基板30を用意する。電極4は予めパターニングしておく。   First, as shown in FIG. 2 (a), an electrode substrate 30 for an image display device comprising an electrode 4 and a substrate 5 is prepared. The electrode 4 is previously patterned.

次に、図2(b)に示すように、この電極基板30上に、上述した感光性エレメント10における感光性樹脂組成物層2及び支持体1を積層する(積層工程)。感光性樹脂組成物層2の積層後、図2(b)に示すように、マスクパターン7を用いて、感光性樹脂組成物層2に画像状に活性光線8を照射して、露光部を光硬化させる(露光工程)。   Next, as shown in FIG. 2B, the photosensitive resin composition layer 2 and the support 1 in the photosensitive element 10 described above are laminated on the electrode substrate 30 (lamination process). After the lamination of the photosensitive resin composition layer 2, as shown in FIG. 2B, the photosensitive resin composition layer 2 is irradiated with an actinic ray 8 in an image form using a mask pattern 7, and an exposed portion is formed. Photocuring (exposure process).

露光後、図2(c)に示すように、未露光部の感光性樹脂組成物層2を現像により選択的に除去することにより、基板5上に光硬化物パターン20が形成される(現像工程)。   After the exposure, as shown in FIG. 2C, the photocured material pattern 20 is formed on the substrate 5 by selectively removing the unexposed photosensitive resin composition layer 2 by development (development). Process).

その後、図2(d)に示すように、上記現像工程で形成した光硬化物パターン20内に、粒子等の表示媒体50を充填する。表示媒体としては特に限定されないが、電子粉粒体、顔料インク、白色微細粒子等が挙げられる。電子粉粒体や白色微細粒子等を用いる場合、それら以外の光硬化物パターン20内の空間には、空気、オレフィン系溶剤、シリコーンオイル等が充填される。   After that, as shown in FIG. 2D, the display medium 50 such as particles is filled in the photocured product pattern 20 formed in the above development step. Although it does not specifically limit as a display medium, An electronic powder body, pigment ink, a white fine particle, etc. are mentioned. When using electronic powder particles, white fine particles, or the like, the space in the photocured material pattern 20 other than those is filled with air, an olefin solvent, silicone oil, or the like.

その後、上記光硬化物パターン20に別の電極基板30を貼り付ける工程(図2の(d)及び(e))等を経て、画像表示装置の隔壁の形成、及び、画像表示装置の製造を完了することができる。   After that, through the process of attaching another electrode substrate 30 to the photocured material pattern 20 ((d) and (e) in FIG. 2), the formation of the partition walls of the image display device and the manufacture of the image display device are performed. Can be completed.

光硬化物パターン20に別の電極基板30を貼り付ける工程は、以下のようにして行うことができる。すなわち、上記工程は、図2(d)に示すように、光硬化物パターン20上に接着剤40を積層し、図2(e)に示すように、接着剤40によって電極基板30と光硬化物パターン20とを接着することにより行うことができる。なお、接着剤40を用いることなく、光硬化物パターン20に直接電極基板30を接着してもよい。   The step of attaching another electrode substrate 30 to the photocured material pattern 20 can be performed as follows. That is, in the above process, the adhesive 40 is laminated on the photocured material pattern 20 as shown in FIG. 2D, and the electrode substrate 30 and the photocured material are cured by the adhesive 40 as shown in FIG. This can be done by bonding the object pattern 20. The electrode substrate 30 may be directly bonded to the photocured material pattern 20 without using the adhesive 40.

画像表示装置の少なくとも表示面側の電極基板には、透明な電極基板が用いられる。画像表示装置の好ましい態様としては、基板5として透明なガラス基板を用い、電極4として透明なITO電極を用いた態様が挙げられる。   A transparent electrode substrate is used at least for the electrode substrate on the display surface side of the image display device. A preferable embodiment of the image display device includes an embodiment in which a transparent glass substrate is used as the substrate 5 and a transparent ITO electrode is used as the electrode 4.

本実施形態の製造方法で作製される画像表示装置においては、図2に示されるように、ガラス基板等の表面が平滑な基板5上に、隔壁となる光硬化物パターン20が形成されるが、本発明の感光性樹脂組成物を用いることにより、幅の細い光硬化物パターン20を密着性良く形成することができる。   In the image display device manufactured by the manufacturing method of the present embodiment, as shown in FIG. 2, a photocured material pattern 20 serving as a partition is formed on a substrate 5 having a smooth surface such as a glass substrate. By using the photosensitive resin composition of the present invention, a narrow photocured product pattern 20 can be formed with good adhesion.

以下に、実施例により本発明をさらに詳しく説明するが、本発明の技術思想を逸脱しない限り、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. However, the present invention is not limited to these examples without departing from the technical idea of the present invention.

(実施例1〜7及び比較例1〜3)
表1に示す材料を撹拌混合し、隔壁形成材としての感光性樹脂組成物の溶液を得た。なお、表1中の(A)成分である樹脂(1)〜(3)は、下記の合成例1〜3に従って合成した。また、表1中、各材料の配合量の単位はgであり、樹脂(1)〜(3)の配合量は、固形分の配合量を示す。
(Examples 1-7 and Comparative Examples 1-3)
The materials shown in Table 1 were mixed with stirring to obtain a photosensitive resin composition solution as a partition wall forming material. In addition, resin (1)-(3) which is (A) component in Table 1 was synthesize | combined according to the following synthesis examples 1-3. Moreover, the unit of the compounding quantity of each material in Table 1 is g, and the compounding quantity of resin (1)-(3) shows the compounding quantity of solid content.

[バインダーポリマーの合成]
(合成例1)
撹拌機、還流冷却器、温度計、滴下ロート及び窒素ガス導入管を備えた加圧合成用フラスコに、アセトン71.5g、メタノール5g、プロピレングリコールモノメチルエーテル18.5g、メタクリル酸5g、スチレン5g、メタクリル酸ベンジル5gを混合した溶液(以下、「溶液a」という)を仕込み、窒素ガスを吹き込みながら撹拌して、圧力を1.2kg/cmに上げた。この溶液aを85℃まで加熱し30分保温した。一方、メタクリル酸19g、メタクリル酸メチルエステル2.5g、スチレン5g、メタクリル酸ベンジル58.5g、及びアゾビスイソブチロニトリル0.65gを混合した溶液(以下、「溶液b」という)を用意し、溶液aに溶液bを4時間かけて滴下した後、85℃で撹拌しながら2時間保温した。さらに、アセトン7.8gにアゾビスイソブチロニトリル0.1gを溶解した溶液を、40分かけてフラスコ内に滴下した。滴下後の溶液を撹拌しながら85℃で3時間保温した後、冷却して不揮発分(固形分)が51質量%になるように、アセトンで希釈してバインダーポリマー(樹脂(1))を得た。得られたバインダーポリマーの重量平均分子量は45000、分散度は2.0、酸価は77mgKOH/gであった。
[Synthesis of binder polymer]
(Synthesis Example 1)
In a pressure synthesis flask equipped with a stirrer, reflux condenser, thermometer, dropping funnel and nitrogen gas introduction tube, acetone 71.5 g, methanol 5 g, propylene glycol monomethyl ether 18.5 g, methacrylic acid 5 g, styrene 5 g, A solution in which 5 g of benzyl methacrylate was mixed (hereinafter referred to as “solution a”) was charged and stirred while blowing nitrogen gas to raise the pressure to 1.2 kg / cm 2 . The solution a was heated to 85 ° C. and kept for 30 minutes. Meanwhile, a solution (hereinafter referred to as “solution b”) prepared by mixing 19 g of methacrylic acid, 2.5 g of methacrylic acid methyl ester, 5 g of styrene, 58.5 g of benzyl methacrylate, and 0.65 g of azobisisobutyronitrile was prepared. The solution b was added dropwise to the solution a over 4 hours, and then kept at 85 ° C. with stirring for 2 hours. Further, a solution prepared by dissolving 0.1 g of azobisisobutyronitrile in 7.8 g of acetone was dropped into the flask over 40 minutes. The solution after dropping was kept at 85 ° C. for 3 hours with stirring, and then cooled and diluted with acetone so that the nonvolatile content (solid content) was 51% by mass to obtain a binder polymer (resin (1)). It was. The obtained binder polymer had a weight average molecular weight of 45,000, a dispersity of 2.0, and an acid value of 77 mgKOH / g.

なお、バインダーポリマーの重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法によって測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて換算することにより導出した。ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)の測定条件は、以下に示す。   In addition, the weight average molecular weight of the binder polymer was measured by gel permeation chromatography, and was derived by conversion using a standard polystyrene calibration curve. The measurement conditions of gel permeation chromatography (GPC) are shown below.

[GPC測定条件]
ポンプ:日立 L−6000型(株式会社日立製作所製)
カラム:Gelpack GL−R440 + GL−R450 + GL−R400M
カラム仕様:10.7mmφ × 300mm
溶離液:テトラヒドロフラン
測定温度:室温(20〜25℃)
流量:2.05mL/分
濃度:120mg/5mL
注入量:200μL
圧力:49Kgf/cm
検出器:日立 L−3300型RI(株式会社日立製作所製)
[GPC measurement conditions]
Pump: Hitachi L-6000 (manufactured by Hitachi, Ltd.)
Column: Gelpack GL-R440 + GL-R450 + GL-R400M
Column specifications: 10.7mmφ x 300mm
Eluent: Tetrahydrofuran Measurement temperature: Room temperature (20-25 ° C)
Flow rate: 2.05 mL / min Concentration: 120 mg / 5 mL
Injection volume: 200 μL
Pressure: 49Kgf / cm 2
Detector: Hitachi L-3300 type RI (manufactured by Hitachi, Ltd.)

(合成例2)
撹拌機、還流冷却器、温度計、滴下ロート及び窒素ガス導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート100gを加え、窒素ガスを吹き込みながら撹拌して、100℃まで加熱した。一方、重合性単量体としてメタクリル酸20g、メタクリル酸メチル30g、メタクリル酸ブチル30g、2−ヒドロキシエチルメタクリレート20g及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート20gと、アゾビスイソブチロニトリル0.85gとを混合した溶液を、上記フラスコ内の100℃に加熱されたプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートに2時間かけて滴下した後、100℃で撹拌しながら0.5時間保温した。さらに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート12gにアゾビスイソブチロニトリル0.25gを溶解した溶液を、5分かけてフラスコ内に滴下した。滴下後の溶液を撹拌しながら100℃で0.5時間保温した後、0.5時間かけて140℃まで昇温し、攪拌しながら2時間保温した。さらに、0.5時間かけて70℃まで冷却し、窒素ガスから乾燥空気に切り替え吹き込みながら攪拌し、メトキノン0.2g、ジブチルスズラウレート0.02g、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート25gを混合した溶液を添加し攪拌しながら70℃で0.5時間保温した。最後に、イソシアネートエチルメタクリレート23.4gを2時間かけて滴下した後、冷却して不揮発分(固形分)は41質量%になるように、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートで希釈してバインダーポリマー(樹脂(2))を得た。得られたバインダーポリマーの重量平均分子量は50000、分散度は2.0、酸価は75mgKOH/gであった。
(Synthesis Example 2)
To a flask equipped with a stirrer, a reflux condenser, a thermometer, a dropping funnel and a nitrogen gas introduction tube, 100 g of propylene glycol monomethyl ether acetate was added, stirred while blowing nitrogen gas, and heated to 100 ° C. On the other hand, 20 g of methacrylic acid, 30 g of methyl methacrylate, 30 g of butyl methacrylate, 20 g of 2-hydroxyethyl methacrylate and 20 g of propylene glycol monomethyl ether acetate as a polymerizable monomer were mixed with 0.85 g of azobisisobutyronitrile. The solution was added dropwise to propylene glycol monomethyl ether acetate heated to 100 ° C. in the flask over 2 hours, and then kept warm at 100 ° C. with stirring for 0.5 hours. Further, a solution prepared by dissolving 0.25 g of azobisisobutyronitrile in 12 g of propylene glycol monomethyl ether acetate was dropped into the flask over 5 minutes. The solution after dropping was kept warm at 100 ° C. for 0.5 hours while stirring, then heated to 140 ° C. over 0.5 hours, and kept warm for 2 hours while stirring. Furthermore, it is cooled to 70 ° C. over 0.5 hours, stirred while switching from nitrogen gas to dry air and mixed with 0.2 g of methoquinone, 0.02 g of dibutyltin laurate, and 25 g of propylene glycol monomethyl ether acetate. The mixture was kept at 70 ° C. for 0.5 hours with stirring. Finally, 23.4 g of isocyanate ethyl methacrylate was added dropwise over 2 hours, and the mixture was cooled and diluted with propylene glycol monomethyl ether acetate so that the nonvolatile content (solid content) was 41% by mass. 2)) was obtained. The obtained binder polymer had a weight average molecular weight of 50,000, a dispersity of 2.0, and an acid value of 75 mgKOH / g.

(合成例3)
撹拌機、還流冷却器、温度計、滴下ロート及び窒素ガス導入管を備えたフラスコに、質量比3:2であるメチルセロソルブ及びトルエンの配合物500gを加え、窒素ガスを吹き込みながら撹拌して、85℃まで加熱した。一方、重合性単量体としてメタクリル酸150g、メタクリル酸メチルエステル110g、アクリル酸エチルエステル65g、メタクリル酸ブチルエステル50g及びスチレン125gと、アゾビスイソブチロニトリル2.5gとを混合した溶液(以下、「溶液c」という)を用意し、85℃に加熱された質量比3:2であるメチルセロソルブ及びトルエンの上記配合物に溶液cを4時間かけて滴下した後、85℃で撹拌しながら2時間保温した。さらに、質量比3:2であるメチルセロソルブ及びトルエンの配合物150gにアゾビスイソブチロニトリル0.5gを溶解した溶液を、10分かけてフラスコ内に滴下した。滴下後の溶液を撹拌しながら85℃で5時間保温した後、冷却して不揮発分(固形分)が43質量%になるように、質量比3:2であるアセトン及びプロピレングリコールモノメチルエーテルの混合溶媒で希釈してバインダーポリマー(樹脂(3))を得た。得られたバインダーポリマーの重量平均分子量は50000、分散度は2.0、酸価は195mgKOH/gであった。
(Synthesis Example 3)
To a flask equipped with a stirrer, a reflux condenser, a thermometer, a dropping funnel and a nitrogen gas introduction tube, 500 g of a mixture of methyl cellosolve and toluene having a mass ratio of 3: 2 was added and stirred while blowing nitrogen gas, Heated to 85 ° C. On the other hand, 150 g of methacrylic acid as a polymerizable monomer, 110 g of methacrylic acid methyl ester, 65 g of acrylic acid ethyl ester, 50 g of butyl methacrylate, 125 g of styrene and 2.5 g of azobisisobutyronitrile (hereinafter referred to as “polymeric monomer”) The solution c was added dropwise to the above mixture of methyl cellosolve and toluene with a mass ratio of 3: 2 heated to 85 ° C. over 4 hours, and then stirred at 85 ° C. Incubated for 2 hours. Further, a solution prepared by dissolving 0.5 g of azobisisobutyronitrile in 150 g of a mixture of methyl cellosolve and toluene having a mass ratio of 3: 2 was dropped into the flask over 10 minutes. Mixing acetone and propylene glycol monomethyl ether in a mass ratio of 3: 2 so that the solution after dripping is kept at 85 ° C. for 5 hours while stirring and then cooled to have a non-volatile content (solid content) of 43% by mass. Dilution with a solvent gave a binder polymer (resin (3)). The obtained binder polymer had a weight average molecular weight of 50,000, a dispersity of 2.0, and an acid value of 195 mgKOH / g.


(A)成分は固形分量、各成分の数値は質量比を示す。

(A) A component shows solid content and the numerical value of each component shows mass ratio.

表中の各成分は下記の通りである。
*1;EO変性ビスフェノールAジメタクリレート(1分子中にエチレンオキサイド(EO)基を10モル付加させたもの)、日立化成工業株式会社製 商品名:FA−321M
*2;ペンタエリスリトールトリアクリレート、日本化薬株式会社製 商品名:PET−30
*3;ポリオキシアルキレングリコールジメタクリレート、日立化成工業株式会社製 商品名;FA−023M
*4;ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの変性物、日本化薬株式会社製 商品名:DPEA−12
*5;ビス(アクリロキシエチル)ヒドロキシエチルイソシアヌレート、東亜合成株式会社製 商品名:M−215
*6;アクリル樹脂溶液、日立化成工業株式会社製 商品名:HT−9082−95
*7;γ−クロロ−2−ヒドロキシプロピル−β’−メタクリロイルオキシエチル−o−フタレート、大阪有機化学工業株式会社製 商品名:FA−MECH
*8;ノニルフェニルEO変性モノアクリレート(1分子中にエチレンオキサイド(EO)基を4モル付加させたもの)、日立化成工業株式会社製 商品名:FA314A
*9;トリメチロールプロパンEO変性トリアクリレート(1分子中にエチレンオキサイド(EO)基を21モル付加させたもの)、日立化成工業株式会社製 商品名:TMPT−21
*10;2−(2−クロロフェニル)−1−[2−(2−クロロフェニル)−4,5−ジフェニル−1,3−ジアゾール−2−イル]−4,5−ジフェニルイミダゾール、保土ヶ谷化学工業株式会社製 商品名:B−CIM
*11;ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)、昭和電工株式会社製 商品名:PE−1
*12;メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、東レ・ダウコーニング株式会社製 商品名:SZ−6030
*13;1−フェニル−3−(4−メトキシスチリル)−5−(4−メトキシフェニル)ピラゾリン、株式会社日本化学工業所製 商品名:NF−PZ−501D
*14;N,N’−テトラエチル−4,4’−ジアミノベンゾフェノン、保土ヶ谷化学工業株式会社製 商品名:EAB
*15;2−メルカプトベンゾイミダゾール、アルドリッチ社製 商品名:2−MBI
Each component in the table is as follows.
* 1; EO-modified bisphenol A dimethacrylate (10 mol of ethylene oxide (EO) group added in one molecule), manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd. Product name: FA-321M
* 2: Pentaerythritol triacrylate, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. Trade name: PET-30
* 3: Polyoxyalkylene glycol dimethacrylate, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd. Product name: FA-023M
* 4: Modified product of dipentaerythritol hexaacrylate, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. Trade name: DPEA-12
* 5; Bis (acryloxyethyl) hydroxyethyl isocyanurate, manufactured by Toa Gosei Co., Ltd. Product name: M-215
* 6; Acrylic resin solution, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd. Trade name: HT-9082-95
* 7; γ-chloro-2-hydroxypropyl-β′-methacryloyloxyethyl-o-phthalate, manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd. Product name: FA-MECH
* 8; Nonylphenyl EO-modified monoacrylate (4 mol of ethylene oxide (EO) group added in one molecule), manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd. Product name: FA314A
* 9; Trimethylolpropane EO-modified triacrylate (21 mol of ethylene oxide (EO) group added in one molecule), manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd. Trade name: TMPT-21
* 10; 2- (2-Chlorophenyl) -1- [2- (2-chlorophenyl) -4,5-diphenyl-1,3-diazol-2-yl] -4,5-diphenylimidazole, Hodogaya Chemical Co., Ltd. Product name: B-CIM
* 11: Pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate), manufactured by Showa Denko KK Product name: PE-1
* 12; Methacryloxypropyltrimethoxysilane, manufactured by Toray Dow Corning Co., Ltd. Product name: SZ-6030
* 13; 1-phenyl-3- (4-methoxystyryl) -5- (4-methoxyphenyl) pyrazoline, manufactured by Nippon Chemical Industry Co., Ltd. Product name: NF-PZ-501D
* 14; N, N′-tetraethyl-4,4′-diaminobenzophenone, manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd. Product name: EAB
* 15; 2-mercaptobenzimidazole, manufactured by Aldrich, Inc. Product name: 2-MBI

表1で得られた感光性樹脂組成物の溶液を、16μm厚のポリエチレンテレフタレートフィルム(東レ株式会社製、商品名:FB−40)上に均一に塗布し、90℃の熱風対流式乾燥機で10分間乾燥した後、ポリエチレン製保護フィルム(フィルム長手方向の引張強さ:16MPa、フィルム幅方向の引張強さ:12MPa、商品名:NF−15、タマポリ株式会社製)で保護して感光性エレメントを得た。感光性樹脂組成物層の乾燥後の膜厚は、50μmであった。   The solution of the photosensitive resin composition obtained in Table 1 was uniformly applied onto a 16 μm thick polyethylene terephthalate film (trade name: FB-40, manufactured by Toray Industries, Inc.), and heated with a hot air convection dryer at 90 ° C. After drying for 10 minutes, the photosensitive element is protected with a polyethylene protective film (tensile strength in the film longitudinal direction: 16 MPa, tensile strength in the film width direction: 12 MPa, trade name: NF-15, manufactured by Tamapoly Co., Ltd.). Got. The film thickness after drying of the photosensitive resin composition layer was 50 μm.

一方、ガラス基板(SiOディップ;長さ370mm、幅480mm、厚さ0.7mm、株式会社倉元製作所製)を80℃に加温し、そのガラス表面(SiOディップ面)上に、上記感光性エレメントを、感光性樹脂組成物層がガラス表面に接するように、ポリエチレン製保護フィルムを剥離しながら110℃に加熱したラミネートロールを通してラミネートした。できあがった積層物の構成は、下からガラス基板、感光性樹脂組成物層、ポリエチレンテレフタレートフィルムとなる。得られた積層物についてガラス基板上での感度及び密着性の評価を行った。 On the other hand, a glass substrate (SiO 2 dip; length 370 mm, width 480 mm, thickness 0.7 mm, manufactured by Kuramoto Seisakusho Co., Ltd.) is heated to 80 ° C., and the above photosensitive film is formed on the glass surface (SiO 2 dip surface). The photosensitive element was laminated through a laminating roll heated to 110 ° C. while peeling off the polyethylene protective film so that the photosensitive resin composition layer was in contact with the glass surface. The resulting laminate has a glass substrate, a photosensitive resin composition layer, and a polyethylene terephthalate film from the bottom. The resulting laminate was evaluated for sensitivity and adhesion on a glass substrate.

<感度の評価>
得られた積層基板を放冷し、23℃になった時点で、上記積層物のポリエチレンテレフタレートフィルム上に、濃度領域0.00〜2.00、濃度ステップ0.05、タブレットの大きさ20mm×187mm、各ステップの大きさが3mm×12mmである41段ステップタブレットを有するフォトツールを密着させた。次いで、高圧水銀灯ランプを有する平行光露光機(オーク製作所株式会社製)EXM−1201を用いて露光後、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液にて60秒間スプレーすることにより未露光部を除去した。この際に、41段ステップタブレットの現像後の残存ステップ段数が26.0となるエネルギー量を測定することにより感度の評価とした。表2に評価結果を示す。
<Evaluation of sensitivity>
The obtained laminated substrate was allowed to cool, and when the temperature reached 23 ° C., on the polyethylene terephthalate film of the laminate, a concentration region of 0.00 to 2.00, a concentration step of 0.05, and a tablet size of 20 mm × A phototool having a 41-step tablet having a size of 187 mm and each step having a size of 3 mm × 12 mm was adhered. Then, after exposure using a parallel light exposure machine (manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.) EXM-1201 having a high-pressure mercury lamp, the polyethylene terephthalate film is peeled off and sprayed with a 1% by mass aqueous sodium carbonate solution at 30 ° C. for 60 seconds. To remove the unexposed area. In this case, the sensitivity was evaluated by measuring the amount of energy at which the number of steps remaining after development of the 41-step tablet was 26.0. Table 2 shows the evaluation results.

<密着性の評価>
高圧水銀灯ランプを有する平行光露光機(オーク製作所株式会社製)EXM−1201を用いて、密着性評価用ネガとしてライン幅/スペース幅が6/400〜47/400(単位:μm、ライン幅2μmまたは3μm毎に増加、スペース幅一定)の配線パターンを有するフォトツールと、41段ステップタブレットを有するフォトツールとを上記積層物のポリエチレンテレフタレートフィルム上に密着させ、41段ステップタブレットの現像後の残存ステップ段数が26.0となるエネルギー量で露光を行った。露光後、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液で樹脂が現像できる(未露光部を除去できる)最小の時間(最小現像時間)の1.5倍の時間でスプレーすることにより、未露光部分を除去して密着性を評価した。密着性は現像液により剥離されずに残った最も細いラインの幅(μm)で表され、この数値が小さい程、細いラインでもガラス基板から剥離せずに密着していることから、密着性が高いことを示す。表2に評価結果を示す。また、実施例1の感光性エレメントを用いて形成したライン幅8μmの光硬化物パターンの走査型電子顕微鏡(SEM)写真を図3に示す。なお、アスペクト比は、レジストパターンの膜厚(μm)/レジストパターンの線幅(μm)から算出される。
<Evaluation of adhesion>
Using a parallel light exposure machine (manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.) EXM-1201 having a high-pressure mercury lamp, the line width / space width is 6/400 to 47/400 (unit: μm, line width 2 μm) as an adhesive evaluation negative. Alternatively, a phototool having a wiring pattern with an increment of 3 μm and a constant space width) and a phototool having a 41-step tablet are brought into close contact with the polyethylene terephthalate film of the laminate, and the 41-step tablet remains after development. The exposure was performed with an energy amount of 26.0 step steps. After exposure, the polyethylene terephthalate film is peeled off and sprayed for 1.5 times the minimum time (minimum development time) in which the resin can be developed with a 1% by weight aqueous sodium carbonate solution at 30 ° C. (the unexposed area can be removed). Thus, the unexposed portion was removed and the adhesion was evaluated. Adhesiveness is expressed by the width (μm) of the thinnest line that remains without being peeled off by the developer. The smaller this value, the tighter the line is attached without peeling from the glass substrate. Indicates high. Table 2 shows the evaluation results. Moreover, the scanning electron microscope (SEM) photograph of the photocured material pattern of 8 micrometers in line width formed using the photosensitive element of Example 1 is shown in FIG. The aspect ratio is calculated from the resist pattern thickness (μm) / resist pattern line width (μm).


比較例1は、パターン形成不可であった。

In Comparative Example 1, pattern formation was impossible.

表2より、実施例1〜7は、平滑なガラス上でも良好な密着性を有し、アスペクト比が3以上の光硬化物のパターンを形成可能なことが明らかである。   From Table 2, it is clear that Examples 1 to 7 have good adhesion even on smooth glass and can form a pattern of a photocured product having an aspect ratio of 3 or more.

1…支持体、2…感光性樹脂組成物層、3…保護フィルム、4…電極、5…基板、10…感光性エレメント、20…感光性樹脂組成物の硬化物(光硬化物パターン)、30…電極基板、40…接着剤、50…表示媒体。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Support body, 2 ... Photosensitive resin composition layer, 3 ... Protective film, 4 ... Electrode, 5 ... Substrate, 10 ... Photosensitive element, 20 ... Hardened | cured material (photocured material pattern) of the photosensitive resin composition, 30 ... Electrode substrate, 40 ... Adhesive, 50 ... Display medium.

Claims (10)

(A)成分:バインダーポリマー、
(B)成分:エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物、
(C)成分:光重合開始剤、
(D)成分:脂肪族チオール化合物、及び、
(E)成分:シランカップリング剤を含有する、粒子移動タイプの画像表示装置における表示媒体の粒子を封入するための隔壁形成用の隔壁形成材料。
(A) component: binder polymer,
(B) component: a photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond,
Component (C): photopolymerization initiator,
(D) component: an aliphatic thiol compound, and
(E) Component: A partition wall forming material for forming partition walls for encapsulating particles of a display medium in a particle movement type image display device , which contains a silane coupling agent.
(A)成分:バインダーポリマー、(A) component: binder polymer,
(B)成分:エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物、(B) component: a photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond,
(C)成分:光重合開始剤、Component (C): photopolymerization initiator,
(D)成分:チオール化合物、及び、(D) component: a thiol compound, and
(E)成分:シランカップリング剤を含有し、(E) component: contains a silane coupling agent,
前記(B)成分が、ビスフェノールA系ジ(メタ)アクリレート化合物及びペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートを含む、隔壁形成材料。The partition wall forming material, wherein the component (B) contains a bisphenol A-based di (meth) acrylate compound and pentaerythritol tri (meth) acrylate.
前記(C)光重合開始剤が、2,4,5−トリアリールイミダゾール二量体を含有する、請求項1又は2に記載の隔壁形成材料。 The partition wall forming material according to claim 1 or 2 , wherein the (C) photopolymerization initiator contains a 2,4,5-triarylimidazole dimer. 支持体と、該支持体上に形成される請求項1〜3のいずれか一項に記載の隔壁形成材料を含む塗膜と、を備える感光性エレメント。 A photosensitive element provided with a support body and the coating film containing the partition wall formation material as described in any one of Claims 1-3 formed on this support body. 前記隔壁形成材料を含む前記塗膜の膜厚が10〜100μmである、請求項記載の感光性エレメント。 The photosensitive element of Claim 4 whose film thickness of the said coating film containing the said partition formation material is 10-100 micrometers. 基板上に、請求項1〜3のいずれか一項に記載の隔壁形成材料を含む塗膜を積層する積層工程と、
前記塗膜の所定部分に活性光線を照射して露光部を光硬化せしめる露光工程と、
前記塗膜の前記露光部以外の部分を除去して光硬化物パターンを形成する現像工程と、
を有する、隔壁の形成方法。
A laminating step of laminating a coating film containing the partition wall forming material according to any one of claims 1 to 3 on a substrate;
An exposure step of irradiating a predetermined portion of the coating film with an actinic ray to photocure the exposed portion; and
A development step of removing a portion other than the exposed portion of the coating film to form a photocured product pattern;
A method for forming a partition wall.
光硬化物パターンを、60〜250℃で加熱処理して熱硬化せしめる加熱工程をさらに有する、請求項記載の隔壁の形成方法。 The method for forming partition walls according to claim 6 , further comprising a heating step of heat-treating the photocured product pattern at 60 to 250 ° C. to thermally cure the pattern. 表示媒体を、請求項6又は7に記載の方法により形成された隔壁内に充填する工程と、
一方の基板に対向するように隔壁の反対側に基板を貼り付ける工程と、
を有する、画像表示装置の製造方法。
Filling the display medium into the partition formed by the method according to claim 6 or 7 ,
A step of attaching the substrate to the opposite side of the partition so as to face one of the substrates;
A method for manufacturing an image display device.
支持体と、該支持体上に形成される隔壁形成材料を含む塗膜と、を備え、A support, and a coating film containing a partition wall forming material formed on the support,
前記隔壁形成材料が、(A)成分:バインダーポリマー、(B)成分:エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物、(C)成分:光重合開始剤、(D)成分:チオール化合物、及び、(E)成分:シランカップリング剤を含有し、The partition wall forming material is composed of (A) component: binder polymer, (B) component: photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond, (C) component: photopolymerization initiator, (D) component: thiol compound, and , (E) component: containing a silane coupling agent,
前記隔壁形成材料を含む前記塗膜の膜厚が20〜100μmである、感光性エレメント。The photosensitive element whose film thickness of the said coating film containing the said partition formation material is 20-100 micrometers.
前記(C)光重合開始剤が、2,4,5−トリアリールイミダゾール二量体を含有する、請求項9に記載の感光性エレメント。The photosensitive element according to claim 9, wherein the (C) photopolymerization initiator contains a 2,4,5-triarylimidazole dimer.
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