JP2012093212A - 燃焼機用圧力検出装置用パッケージ - Google Patents

Abstract

【課題】 燃焼機の燃焼室内の圧力を測る際の熱による影響を低減する。
【解決手段】 燃焼機用圧力検出装置用パッケージ１は、上面が燃焼室に面するように燃焼機に取り付けられる、上面に形成された凹部５および凹部５から下面にかけて貫通した貫通孔４を有した基体と、基体２の凹部５を覆って上面に取着されたダイヤフラム３と、基体２の下面に貫通孔４を覆うように設けられた圧力検出素子６とを具備する。ダイヤフラム３から圧力検出素子６に熱が伝わりにくくなり、燃焼室内の温度が圧力検出素子６に及ぼす影響を低減することができるので、圧力検出素子６による圧力の測定精度を向上させることができる。
【選択図】 図１

Description

本発明は、燃焼機用圧力検出装置用パッケージに関するものである。

圧力を検出するための圧力検出用パッケージとして、ダイヤフラムに圧力検出素子を取り付けた圧力検出用パッケージが知られている。ダイヤフラムに圧力検出素子を取り付けた圧力検出用パッケージとしては、例えば、特許文献１に記載の力学量検出装置が挙げられる。

特許文献１に記載の力学量検出装置は、円形のダイヤフラム面を有する金属ステムを有し、ダイヤフラムの主面のうち一方を圧力を受ける面とし、主面のうち他方の面に圧力検出素子が設けられている。圧力検出素子としては、半導体チップにピエゾ抵抗素子が設けられた圧力検出素子が用いられている。特許文献１に記載の重量検出装置では、ダイヤフラムのたわみによる電気抵抗の変化を測定することで、ダイヤフラムにかかる圧力の大きさを検知している。

特開２００３−３１５１８７号公報

しかしながら、特許文献１に記載の力学量検出装置は、ダイヤフラムの主面に圧力検出素子が設けられていることから、燃焼機内の圧力を測る際に、燃焼機内部の熱が圧力検出素子に伝わりやすい。そのため、この熱の影響を受けることにより、圧力検出素子の精度を向上させることが困難であるという問題点があった。

本発明の１つの態様に基づく燃焼機用圧力検出装置用パッケージは、上面が燃焼室に面するように燃焼機に取り付けられる、上面に形成された凹部および凹部から下面にかけて貫通した貫通孔を有した基体と、基体の凹部を覆って上面に取着されたダイヤフラムと、基体の下面に貫通孔を覆うように設けられた圧力検出素子とを具備している。

本発明の１つの態様に基づく燃焼機用圧力検出装置用パッケージによれば、基体が貫通孔を有し、圧力検出素子が基体の下面に貫通孔を覆うように設けられていることにより、ダイヤフラムと圧力検出素子との間に凹部および貫通孔からなる空間が形成される。これにより、ダイヤフラムから圧力検出素子に熱が伝わりにくくなる。その結果、燃焼室内の温度が圧力検出素子に及ぼす影響を低減することができる。これにより、圧力検出素子による圧力の測定精度を向上させることができる。

本発明の第１の実施形態の例の燃焼機用圧力検出用パッケージを示す断面図である。 本発明の第２の実施形態の例の燃焼機用圧力検出用パッケージを示す断面図である。 （ａ）は、図２に示す燃焼機用圧力検出用パッケージをＡ−Ａ’線で切った断面図である。また、（ｂ）は、図２に示す燃焼機用圧力検出用パッケージをＢ−Ｂ’線で切った断面図である。 本発明の第３の実施形態の例の燃焼機用圧力検出用パッケージを示す断面図である。 図４に示す燃焼機用圧力検出用パッケージをＣ−Ｃ’線で切った断面図である。

以下、本発明のいくつかの実施形態の例について図面を参照して説明する。

図１に示すように、本発明の第１の実施形態の例の燃焼機用圧力検出用パッケージ１は、上面に形成された凹部５および凹部５から下面にかけて貫通した貫通孔４を有した基体２と、基体２の凹部５を覆って上面に取着されたダイヤフラム３と、基体２の下面に貫通孔４を覆うように設けられた圧力検出素子６とを具備している。本例の燃焼機用圧力検出用パッケージ１は、上面が燃焼室に面するように燃焼機に取り付けられるようにして用いることで圧力測定ができる。具体的には、ダイヤフラム３が燃焼室から圧力を受けたときに、その圧力に応じてダイヤフラム３が撓む。これにより、凹部５および貫通孔４の内部の気体が圧迫され、圧力検出素子６へと圧力が伝達される。このように伝達された圧力を圧力検出素子６で測定することにより、燃焼室内部の圧力の大きさを求めることができる。

本発明の第１の実施形態の例の燃焼機用圧力検出用パッケージ１によれば、基体２が貫通孔４を有し、圧力検出素子６が基体２の下面に貫通孔４を覆うように設けられていることにより、ダイヤフラム３と圧力検出素子６との間に凹部５および貫通孔４からなる空間が形成される。これにより、ダイヤフラム３から圧力検出素子６に熱が伝わりにくくなる。その結果、燃焼機室内の温度が圧力検出素子６に及ぼす影響を低減することができる。これにより、圧力検出素子６による圧力の測定精度を向上させることができる。さらに、圧力検出素子６が、基体２の下面に設けられていることから、別部材を別途設けることなく、基体２の上面に設けられているダイヤフラム３と離間させることができる。その結果、燃焼機室内の温度が圧力検出素子６に及ぼす影響を低減することができる。これにより、圧力検出素子６の圧力の測定精度を向上させることができる。

第１の実施形態の例の燃焼機用圧力検出用パッケージ１における基体２は、ベース部２１とベース部２１の上部に位置するフレーム部２２とによって構成される。

第１の実施形態の例の燃焼機用圧力検出用パッケージ１におけるベース部２１は、平面視したときの形状が円形状である。なお、本例においては、ベース部２１を平面視したときの形状が円形状であるが、特にこれに限られるものではなく、四角形状、楕円形状、または多角形状であってもよい。

第１の実施形態の例の燃焼機用圧力検出用パッケージ１におけるベース部２１としては、酸化アルミニウム質焼結体（Ａｌ_２Ｏ_３）、窒化アルミニウム質焼結体（ＡｌＮ）、ムライト質焼結体（３Ａｌ_２Ｏ_３・２ＳｉＯ_２）、炭化珪素質焼結体（ＳｉＣ）および窒化珪素質焼結体（Ｓｉ_３Ｎ_４）のような絶縁材料を用いることができる。

第１の実施形態の例の燃焼機用圧力検出用パッケージ１における基体２には、ベース部２１の上面から下面にかけて貫通した貫通孔４が設けられている。ベース部２１に貫通孔４が設けられていることにより、この貫通孔４の内部において、ベース部２１の上面から下面にかけて気体を移動させることができる。貫通孔４は、平面視したときの形状が円形状である。このように、平面視したときに貫通孔４の形状が円形状であることから、貫通
孔４の内部を気体が移動する際にベース部２１にかかる圧力の偏りを低減することができる。なお、本例においては、貫通孔４を平面視したときの形状が円形状であるが、特にこれに限られるものではなく、四角形状、楕円形状、または多角形状であってもよい。

第１の実施形態の例の燃焼機用圧力検出用パッケージ１におけるフレーム部２２は、ベース部２１の上面において、貫通孔４を囲むように設けられている。このように、フレーム部２２が設けられていることによって、ベース部２１の上面とフレーム部２２の内側側面とによる凹部５が形成される。この凹部５が形成されることによって、基体２とダイヤフラム３との間に所定の間隔を確保することができる。これにより、ダイヤフラム３に燃焼室の圧力が加わったときに、ダイヤフラム３を撓ませることができる。また、基体２は、凹部５と貫通孔４が連続していることにより、ダイヤフラム３に撓みが生じたときに、凹部５から貫通孔４にかけて気体を移動させることができる。

第１の実施形態の例の燃焼機用圧力検出用パッケージ１におけるフレーム部２２は、平面視したときの内周が円形状である。このように、平面視したときにフレーム部２２の内周が円形状であることから、ダイヤフラム３に燃焼室の圧力が加わった際にフレーム部２２に伝わる力を分散させてベース部２１に伝えることができる。その結果、基体２に部分的に大きな変形が生じる可能性を低減することができるので、燃焼機用圧力検出用パッケージ１の信頼性を向上させることができる。なお、第１の実施形態の例の燃焼機用圧力検出用パッケージ１においては、フレーム部２２の内周が円形状であるが、特にこれに限られるものではなく、四角形状、楕円形状、または多角形状であってもよい。

フレーム部２２は、絶縁材料によって形成される。具体的には、酸化アルミニウム質焼結体（Ａｌ_２Ｏ_３）、窒化アルミニウム質焼結体（ＡｌＮ）、ムライト質焼結体（３Ａｌ_２Ｏ_３・２ＳｉＯ_２）、炭化珪素質焼結体（ＳｉＣ）および窒化珪素質焼結体（Ｓｉ_３Ｎ_４）のような絶縁材料を用いることができる。さらに、フレーム部２２は、ベース部２１と同じ材料を用いて一体的に形成されていることが好ましい。これによりフレーム部２２とベース部２１との熱膨張率差を低減することができ、燃焼機用圧力検出用パッケージ１の信頼性を向上させることができる。なお、本例においては、フレーム部２２がベース部２１と一体的に形成されているが、特にこれに限られるものではなく、フレーム部２２はベース部２１と別々に形成されていてもよく、またフレーム部２２とベース部２１とが異なる材料によって形成されていてもよい。

第１の実施形態の例の燃焼機用圧力検出用パッケージ１におけるダイヤフラム３は、基体２の凹部５を覆って基体２の上面に取着されている。

第１の実施形態の例の燃焼機用圧力検出用パッケージ１におけるダイヤフラム３は、平面視したときの形状が円形状である。これにより、燃焼室から圧力を受けたときにダイヤフラム３に生じる応力のばらつきを小さくすることができる。そのため、燃焼機用圧力検出用パッケージ１の感度を向上させることができる。本例においては、ダイヤフラム３は平面視したときの形状が円形状であるが、特にこれに限られるものではなく、四角形状、楕円形状、または多角形状であってもよい。

ダイヤフラム３は、絶縁材料によって形成される。具体的には、酸化アルミニウム質焼結体（Ａｌ_２Ｏ_３）、窒化アルミニウム質焼結体（ＡｌＮ）、ムライト質焼結体（３Ａｌ_２Ｏ_３・２ＳｉＯ_２）、炭化珪素質焼結体（ＳｉＣ）および窒化珪素質焼結体（Ｓｉ_３Ｎ_４）のような絶縁材料を用いることができる。

ダイヤフラム３は、フレーム部２２と気密に接合されている。接合部材としては、ガラス質成分を用いることができる。ダイヤフラム３とフレーム部２２との接合部材として、
ガラス質成分を用いることによって、接合部材としてろう材等の金属材料が用いられた場合と比較して、接合部材に塑性変形が生じる可能性が低減されている。これにより、圧力測定を繰り返したときの、燃焼機用圧力検出用パッケージ１の信頼性が向上されている。なお、本例においては、接合部材としてガラス質成分が用いられているが、特にこれに限られるものではなく、ろう材等の金属材料を用いてもよい。

第１の実施形態の例の燃焼機用圧力検出用パッケージ１における圧力検出素子６は、ベース部２１の下面に貫通孔４を覆うように設けられている。

第１の実施形態の例の燃焼機用圧力検出用パッケージ１における圧力検出素子６は、上面がガラス質部材９１を介してベース部２１の下面に接合されていることにより、ベース部２１の下面において貫通孔４を気密に封止している。これにより、燃焼室からダイヤフラム３に圧力がかかり、ダイヤフラム３に撓みが生じたときに、凹部５の内部および貫通孔４の内部に存在する気体によって圧力が圧力検出素子６へと伝達され、圧力検出素子６が撓むことができる。

圧力検出素子６は、平面視したときの形状が円形状である。なお、本例においては、圧力検出素子６を平面視したときの形状が円形状であるが、特にこれに限られるものではなく、四角形状、楕円形状、または多角形状であってもよい。

第１の実施形態の例の燃焼機用圧力検出用パッケージ１における圧力検出素子６としては、例えば圧電素子を用いることができる。圧電素子としては、圧電特性を有しているセラミックスを用いることができる。具体的には、ＰｂＺｒＯ_３−ＰｂＴｉＯ_３等からなるペロブスカイト型酸化物などからなる素子を用いることができる。

これにより、伝達された圧力によって圧力検出素子６が撓んだときに、圧電素子に圧力がかかり、圧電効果によって起電力が生じる。この起電力を測定することによって、応力の大きさを検知することができる。なお、本例においては、圧力検出素子６に圧電素子が用いられているが、特にこれに限られるものではなく、ひずみゲージを用いてもよい。ひずみゲージを用いる場合は、ひずみゲージの抵抗値の変化を測定することによって、圧力の大きさを検知することができる。

圧力検出素子６は、貫通孔４に面している領域の面積が、ダイヤフラム３が凹部５に面している領域の面積よりも小さくされている。これにより、ダイヤフラム３の撓みによって気体が押し出されたことによって伝達された圧力を、圧力検出素子６に集中させることができる。したがって、燃焼機用圧力検出用パッケージ１による圧力の測定精度を向上させることができる。

圧力検出素子６は、剛性がダイヤフラム３の剛性よりも小さくなるように作製されている。これにより、圧力検出素子６が、ダイヤフラム３と比べて撓みやすくなっていることから、ダイヤフラム３の微細な撓みも圧力検出素子６の撓みに反映させることができるため、燃焼機用圧力検出用パッケージ１による圧力の測定精度を向上させることができる。なお、圧力検出素子６の剛性をダイヤフラム３の剛性よりも小さくする方法としては、圧力検出素子６の厚みをダイヤフラム３の厚みよりも小さくする方法が挙げられる。その他の方法としては、圧力検出素子６のヤング率をダイヤフラム３のヤング率よりも小さくする方法が挙げられる。圧力検出素子６のヤング率をダイヤフラム３のヤング率よりも小さくする方法としては、例えば、ダイヤフラム３を酸化アルミニウム質焼結体で形成し、圧力検出素子６を銅で形成する方法が挙げられる。

ヤング率の比較および測定には、例えば曲げ試験（ＪＩＳ Ｒ １６０２）を用いるこ
とができる。また、ダイヤフラム３や圧力検出素子６の大きさおよび形状が上記曲げ試験の規格に満たない場合は、これに準拠した試験で比較することができる。具体的には、ダイヤフラム３と圧力検出素子６とをそれぞれ同寸法の直方体の角材に加工し、この角材を２点の支点上に置き、支点間の中央の１点に荷重を加える。これにより角材に生じた変位量を比較し、変位量が小さい方が、ヤング率が高いと見なすことができる。

第１の実施形態の例の燃焼機用圧力検出用パッケージ１における凹部５および貫通孔４には、気体が充填されている。気体としては、例えば不活性気体を用いることができる。不活性気体としては、窒素（Ｎ_２）またはアルゴン（Ａｒ）を用いることができる。

第１の実施形態の例の燃焼機用圧力検出用パッケージ１は、さらに複数のリード端子９２を備えている。リード端子９２は、圧力検出素子６と外部回路（図示せず）との間で電気信号を伝送するために設けられている。複数のリード端子９２のそれぞれは、一方の端部がベース部２１の下面に設けられ、他方の端部が下方向に向かってに引き出されている。リード端子９２と圧力検出素子６との接続方法としては、例えば、ボンディングワイヤ９３を用いたワイヤボンディング法を用いることができる。

リード端子９２としては、導電性の良好な材料を用いることが望ましい。具体的には、例えば、導電性の良好な材料として、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、銅（Ｃｕ）または銀（Ａｇ）を用いることができる。

次に、第１の実施形態の例の燃焼機用圧力検出用パッケージ１の製造方法を説明する。まず、基体２およびダイヤフラム３の製造方法を説明する。燃焼機用圧力検出用パッケージ１において、例えば、基体２およびダイヤフラム３が酸化アルミニウム質焼結体（Ａｌ_２Ｏ_３）から成る場合であれば、酸化アルミニウム（Ａｌ_２Ｏ_３）、酸化珪素（ＳｉＯ_２）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）および酸化カルシウム（ＣａＯ）等のセラミック原料粉末に適当な有機バインダ、溶剤、可塑剤、分散剤を添加混合してペースト状とし、これをドクタブレード法を採用してシート状に成形することで、セラミックグリーンシートが形成される。このセラミックグリーンシートを所定形状で打ち抜いて積層し、焼結することによって基体２およびダイヤフラム３を作製することができる。ここで、基体２およびダイヤフラム３は、原料粉末に酸化珪素（ＳｉＯ_２）を含むので、アルミナ質焼結体（Ａｌ_２Ｏ_３）となった際に、アルミナ質焼結体（Ａｌ_２Ｏ_３）にガラス質成分が含まれることになる。

次に、基体２とダイヤフラム３との接合方法について説明する。基体２の上面およびダイヤフラム３の下面の少なくとも一方の面を研磨し、基体２の上面にダイヤフラム３を設置した状態で、基体２とダイヤフラム３とをガラス質成分が溶出する温度（例えば、１３００〜１５５０℃）で加熱する。これにより、基体２およびダイヤフラム３の少なくとも一方から溶出されたガラス質成分によって、気密に接合することができる。

なお、本例においては、基体２とダイヤフラム３とが同じ材料によって形成されているが、ダイヤフラム３の材料の焼成温度が基体２の材料の焼成温度よりも高くなるように、副成分の構成を調整することが好ましい。具体的には、ダイヤフラム３の材料に副成分としてジルコニア（ＺｒＯ_２）の粉末を添加することによって、焼成温度を上昇させることができる。これにより、基体２とダイヤフラム３とを上述の溶出したガラス質によって接合する際の、ダイヤフラム３の変形を低減することができる。さらに、燃焼室側に面するダイヤフラム３の材料の焼成温度を上昇させておくことにより、燃焼室からの熱による変形の影響を低減することができる。これにより、燃焼機用圧力検出用パッケージ１の信頼性を向上させることができる。

ここで、燃焼機用圧力検出用パッケージ１の寸法の一例を示すと、ベース部２１およびフレーム部２２の外径は７ｍｍ、凹部５の内径は４ｍｍ、貫通孔４の内径は１ｍｍ、ダイヤフラムの肉厚は１ｍｍで作製することができる。

次に、本発明の第２の実施形態の例の燃焼機用圧力検出用パッケージ１について説明する。なお、本例の各構成において、第１の実施形態と同様の構成および機能を有する部材については、同じ参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。

図２、３に示すように、第２の実施形態の例の燃焼機用圧力検出用パッケージ１は、第１の実施形態の例の燃焼機用圧力検出用パッケージ１と比較して、貫通孔４の形状が異なる。

第２の実施形態の例の燃焼機用圧力検出用パッケージ１における貫通孔４は、凹部５に面している第１の領域４１と、第１の領域４１よりも基体２の下面側に位置する第２の領域４２とを有している。図３に示すように、基体２の上面に平行な断面で見たときに、第２の領域４２の断面積は第１の領域４１の断面積よりも小さい。これにより、ダイヤフラム３が撓んだときの圧力検出素子６への気体の流れをスムーズにすることができる。その結果、気体による圧力の伝達効率を向上させることができ、燃焼機用圧力検出用パッケージ１の圧力の測定精度を向上させることができる。

なお、上述の断面積の比較は、例えば以下の方法で行なうことができる。具体的には、第１の領域４１と第２の領域４２それぞれを上下方向に数等分（例えば５等分）し、等分された第１の領域４１および第２の領域４２のそれぞれにおける断面積の平均値を求め、これを比較することによって断面積の比較を行なうことができる。

また、貫通孔４は、基体２の上面に対して垂直な断面で見たときの形状が、貫通孔４の内側に凸である弧状になっている。これにより、ダイヤフラム３が撓んだときの圧力検出素子６への気体の流れをよりスムーズにすることができる。その結果、気体による圧力の伝達効率をより向上させることができ、燃焼機用圧力検出用パッケージ１による圧力の測定精度をより向上させることができる。

なお、本例においては、第１の領域４１と第２の領域４２をまたがって、貫通孔４の内側の形状が弧状になっているが、特にこれに限られるものではなく、第１の領域４１または第２の領域４２でのみ、弧状の形状としてもよい。

次に、本発明の第３の実施形態の例の燃焼機用圧力検出用パッケージ１について説明する。なお、本例の各構成において、第１の実施形態と同様の構成および機能を有する部材については、同じ参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。

図４、５に示すように第３の実施形態の例の燃焼機用圧力検出用パッケージ１は、基体２が冷却用貫通孔７を具備し、さらに基体用温度測定手段８１およびダイヤフラム用温度測定手段８２を備えている。

第３の実施形態の例の燃焼機用圧力検出用パッケージ１における冷却用貫通孔７は、貫通孔４の近傍を通って、基体２の側面の２箇所に開口している。燃焼機用圧力検出用パッケージ１は、冷却用貫通孔７を有する基体２を含んでいることにより、例えば燃焼室からダイヤフラム３に伝わった熱は、冷却用貫通孔７において媒体によって外部へ伝導される。媒体は、例えば、冷媒ガスまたは冷媒液などの冷媒流体である。冷媒ガスは、例えば、空気または窒素などを含む。冷媒液は、例えば、水またはアルコールなどを含む。

燃焼機用圧力検出用パッケージ１は、冷却用貫通孔７が設けられていることによって、基体２の上面から下面への熱の伝導が低減されている。その結果、燃焼室から伝わった熱による圧力検出素子６への影響を低減することができる。これにより、燃焼機用圧力検出用パッケージ１の信頼性を向上させることができる。

なお、本例においては、冷却用貫通孔７は、基体２の側面に開口した形状になっているが、特にこれに限られるものではなく、基体２の下面に開口した形状としても、または基体２の側面と下面との両方に開口した形状としてもよい。

第３の実施形態の例の燃焼機用圧力検出用パッケージ１における基体用温度測定手段８１は、貫通孔４の内部に設けられている。本例の燃焼機用圧力検出用パッケージ１は、基体用温度測定手段８１をさらに備えていることにより、凹部５および貫通孔４の内部の気体の温度を検知することができる。これにより、気体が熱膨張または熱収縮した際にその分の圧力の変化を補正して圧力を検出することができる。これにより、燃焼機用圧力検出用パッケージ１による圧力の測定精度を向上させることができる。基体用温度測定手段８１は、貫通孔４の内部に露出させて設けられていることによって、ベース部２１の内部に埋められて設けられている場合と比較して、ベース部２１の温度の影響を低減させつつ貫通孔４の内部の気体の温度をより正確に測定することができる。

基体用温度測定手段８１は、熱電対８１０と第１の配線導体８１１とによって構成されている。熱電対８１０は、貫通孔４の内部に設けられており、第１の配線導体８１１は熱電対８１０と外部回路（図示せず）とを電気的に接続している。なお、本例では、基体用温度測定手段８１として熱電対８１０を用いているが、特にこれに限られるものではなく、抵抗温度計を用いてもよい。

第３の実施形態の例の燃焼機用圧力検出用パッケージ１におけるダイヤフラム用温度測定手段８２は、ダイヤフラム３の下面に設けられている。本例の燃焼機用圧力検出用パッケージ１は、ダイヤフラム用温度測定手段８２をさらに備えていることにより、ダイヤフラム３を介して燃焼室の温度を検知することができる。これにより、燃焼室の温度が変化した際にそれによるダイヤフラム３の温度の変化およびそれに伴うダイヤフラム３の撓みやすさの変化を補正して圧力を検出することができる。

ダイヤフラム用温度測定手段８２は、抵抗温度計８２０と第２の配線導体８２１とによって構成されている。抵抗温度計８２０は、ダイヤフラム３の下面に設けられており、第２の配線導体８２１は抵抗温度計８２０と外部回路（図示せず）とを電気的に接続している。

なお、本発明は上述の実施形態の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内であれば種々の変更や実施の形態の組合せを行なうことは何等差し支えない。

例えば、第２の実施形態の例の燃焼機用圧力検出用パッケージ１における貫通孔４において、第１の領域４１にさらに基体用温度測定手段８１が設けられた構成としてもよい。この場合には、基体２の上面に平行な断面で見たときに、断面積が第２の領域４２よりも大きい第１の領域４１に基体用温度測定手段８１を設けることにより、基体用温度測定手段８１を設けることによる貫通孔４内部の気体の流れやすさへの影響を低減することができる。これにより、燃焼機用圧力検出装置用パッケージの圧力の測定精度を向上させることができる。

１：燃焼機用圧力検出装置用パッケージ
２：基体
３：ダイヤフラム
４：貫通孔
４１：第１の領域
４２：第２の領域
５：凹部
６：圧力検出素子
７：冷却用貫通孔
８１：基体用温度測定手段
８２：ダイヤフラム用温度測定手段

Claims (8)

1. 上面が燃焼室に面するように燃焼機に取り付けられる、前記上面に形成された凹部および該凹部から下面にかけて貫通した貫通孔を有した基体と、
   該基体の前記凹部を覆って前記上面に取着されたダイヤフラムと、
   前記基体の前記下面に前記貫通孔を覆うように設けられた圧力検出素子とを具備することを特徴とする燃焼機用圧力検出装置用パッケージ。
2. 前記ダイヤフラムが前記凹部に面している領域の面積よりも、前記圧力検出素子が前記貫通孔に面している領域の面積が小さいことを特徴とする請求項１記載の燃焼機用圧力検出装置用パッケージ。
3. 前記貫通孔は、前記基体の前記凹部に面している第１の領域と、該第１の領域よりも前記下面側に位置する第２の領域とを有しており、前記基体の前記上面に平行な断面で見たときに、前記第２の領域の断面積が前記第１の領域の断面積よりも小さいことを特徴とする請求項１記載の燃焼機用圧力検出装置用パッケージ。
4. 前記貫通孔は、前記基体の前記上面に対して垂直な断面で見たときの形状が、前記貫通孔の内側に凸である弧状になっていることを特徴とする請求項３記載の燃焼機用圧力検出装置用パッケージ。
5. 前記圧力検出素子の剛性は、前記ダイヤフラムの剛性よりも低いことを特徴とする請求項１記載の燃焼機用圧力検出装置用パッケージ。
6. 前記基体は、少なくとも一部が前記貫通孔の近傍を通っている、内部に冷却媒体を流すための冷却用貫通孔を具備していることを特徴とする請求項１記載の燃焼機用圧力検出装置用パッケージ。
7. 前記貫通孔または前記凹部の内部にさらに基体用温度測定手段を備えたことを特徴とする請求項１記載の燃焼機用圧力検出装置用パッケージ。
8. 前記ダイヤフラムは、さらにダイヤフラム用温度測定手段を備えたことを特徴とする請求項１記載の燃焼機用圧力検出装置用パッケージ。

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