JP2012092386A - 蒸着装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】劣化が低減された活物質膜を作製することが可能な蒸着装置を提供する。
【解決手段】Li膜を構成すべきLiを蒸発させる蒸発源、及び、該蒸発源から蒸発させたLiを表面に付着させる成膜部を有する第1チャンバー並びに第2チャンバーと、第1チャンバー及び第2チャンバーを減圧する減圧手段と、を備え、第1チャンバー及び第2チャンバーを大気解放する前に流入させる気体が第2チャンバーを通過した後に第1チャンバーへと流入するように、第1チャンバー及び第2チャンバーが配置されている、蒸着装置とする。
【選択図】図1
【解決手段】Li膜を構成すべきLiを蒸発させる蒸発源、及び、該蒸発源から蒸発させたLiを表面に付着させる成膜部を有する第1チャンバー並びに第2チャンバーと、第1チャンバー及び第2チャンバーを減圧する減圧手段と、を備え、第1チャンバー及び第2チャンバーを大気解放する前に流入させる気体が第2チャンバーを通過した後に第1チャンバーへと流入するように、第1チャンバー及び第2チャンバーが配置されている、蒸着装置とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、蒸着装置に関し、特に、Li膜を蒸着法により作製する際に利用可能な蒸着装置に関する。
リチウムイオン二次電池(以下において、「リチウム電池」ということがある。)は、他の二次電池よりもエネルギー密度が高く、高電圧での動作が可能という特徴を有している。そのため、小型軽量化を図りやすい二次電池として携帯電話等の情報機器に使用されており、近年、電気自動車やハイブリッド自動車用等、大型の動力用としての需要も高まっている。
リチウム電池は、正極層及び負極層と、これらの間に配置される電解質層とを有している。リチウム電池の負極層には、リチウムイオンの吸蔵及び放出を行う活物質が含まれており、この活物質としては、リチウムやリチウム合金のほか、グラファイト等が知られている。活性が低下した状態の活物質が含まれていると、リチウム電池の性能が低下するため、リチウム電池の性能を向上させるためには、活物質の活性低下(以下において、「劣化」ということがある。)を抑制することが重要である。
例えば、リチウム電池の負極として利用可能なリチウム膜は、蒸着法によって作製することができる。リチウム膜を作製可能な蒸着装置には、リチウム粒子を蒸発させる蒸発部と、蒸発させたリチウム粒子を付着させる成膜部と、少なくとも蒸発部及び成膜部を収容するチャンバーと、チャンバー内を減圧する真空ポンプと、が備えられている。
このような蒸着装置に関する技術として、例えば特許文献1には、チャンバーと、真空ポンプと、蒸発源と、成膜面とを含み、蒸発源の中心と成膜面とを結ぶ仮想線と成膜面とが直交していない斜め蒸着装置を用い、表面に複数の凸部を有する集電体を成膜面に配置し、集電体の複数の凸部を有する表面に蒸発源から活物質原料を供給し、活物質薄膜を成膜するリチウムイオン二次電池用電極の製造方法において、斜め蒸着装置が複数の蒸発源を含み、かつ、成膜面に対して、複数の蒸発源から同時に活物質原料を供給して活物質薄膜を成膜する技術が開示されている。
特許文献1に開示されている技術によって成膜された活物質薄膜は、チャンバーを大気開放した後に、斜め蒸着装置から取り出される。しかしながら、特許文献1に開示されている技術では、大気開放する際にチャンバー内へと流入するベントガスに含まれている不純物と活物質膜とが反応し、活物質膜が劣化する虞があった。劣化した活物質膜をリチウム電池に用いると、内部抵抗が大幅に増加するため、特許文献1に開示されている技術には、リチウム電池の出力が低下しやすいという問題があった。
そこで本発明は、劣化が抑制されたLi膜を作製することが可能な蒸着装置を提供することを課題とする。
上記課題を解決するために、本発明は以下の手段をとる。すなわち、
本発明は、Li膜を構成すべきLiを蒸発させる蒸発源、及び、該蒸発源から蒸発させたLiを表面に付着させる成膜部を有する第1チャンバー並びに第2チャンバーと、第1チャンバー及び第2チャンバーを減圧する減圧手段と、を備え、第1チャンバー及び第2チャンバーを大気解放する前に流入させる気体が第2チャンバーを通過した後に第1チャンバーへと流入するように、第1チャンバー及び第2チャンバーが配置されていることを特徴とする、蒸着装置である。
本発明は、Li膜を構成すべきLiを蒸発させる蒸発源、及び、該蒸発源から蒸発させたLiを表面に付着させる成膜部を有する第1チャンバー並びに第2チャンバーと、第1チャンバー及び第2チャンバーを減圧する減圧手段と、を備え、第1チャンバー及び第2チャンバーを大気解放する前に流入させる気体が第2チャンバーを通過した後に第1チャンバーへと流入するように、第1チャンバー及び第2チャンバーが配置されていることを特徴とする、蒸着装置である。
ここに、「第1チャンバー及び第2チャンバーを大気解放する前に流入させる気体」とは、例えば高純度Arガスをいう。また、「第1チャンバー及び第2チャンバーを大気解放する前に流入させる気体が第2チャンバーを通過した後に第1チャンバーへと流入するように、第1チャンバー及び第2チャンバーが配置されている」とは、ベントガス(例えば、高純度Arガス。以下において同じ。)が第1チャンバーへと流入する際の移動経路の途中に第2チャンバーが配置されていることをいう。このような配置としては、ベントガスが流入する第1チャンバーの入口とベントガスが流出する第2チャンバーの出口とを接続して、第1チャンバー及び第2チャンバーを直列に接続することにより、第2チャンバーの入口から流入したベントガスが第2チャンバーを通過した後に第1チャンバーへと流入するように構成されている形態を例示することができる。このほか、2つのチャンバーで二重構造が形成されるように、第2チャンバーの内側に第1チャンバーが配置されている形態等を例示することができる。
また、上記本発明において、第2チャンバーの内側と外側とを隔てる壁の少なくとも一部が、透明であることが好ましい。
本発明の蒸着装置では、第1チャンバーを大気開放する前に、第2チャンバーを通過した気体(ベントガス)が第1チャンバーへと流入する。第2チャンバーの成膜部にはLi膜が形成されているので、第1チャンバーへと流入する気体(ベントガス)に含まれていた不純物(例えば、窒素や水分。以下において同じ。)は、第2チャンバーの成膜部に形成されたLi膜と反応する。それゆえ、かかる形態とすることにより、第2チャンバーによって、第1チャンバーへと流入する気体中の不純物量を低減することができるので、第1チャンバーの成膜部に形成されたLi膜が不純物と反応することによる、Li膜の劣化を抑制することが可能になる。したがって、本発明によれば、劣化が抑制されたLi膜を作製することが可能な、蒸着装置を提供することができる。
また、本発明において、第2チャンバーの内側と外側とを隔てる第2チャンバーの壁の少なくとも一部が透明であることにより、第2チャンバーの成膜部に形成されているLi膜の色を、第2チャンバーの外側から視認することができる。Li膜は、多量の不純物と反応すると変色するので、第2チャンバーで形成されたLi膜の色を確認することにより、第2チャンバーに流入した気体(ベントガス)に含まれている不純物量を大まかに把握することが可能になる。かかる形態とすることにより、第2チャンバーに流入した気体(ベントガス)に含まれている不純物量が多い時には、第1チャンバーに気体(ベントガス)を流入させないという選択を採ることも可能になるので、上記効果に加えて、Li膜の劣化を未然に防ぐことが可能になる。
以下、図面を参照しつつ、本発明について説明する。なお、以下に示す形態は本発明の例示であり、本発明は以下に示す形態に限定されるものではない。
図1は、本発明の蒸着装置10を説明する図である。図1では、蒸着装置10を簡略化して示している。図1に示すように、蒸着装置10は、第1チャンバー11と、該第1チャンバー11を覆うように第1チャンバー11の外側に設けられた第2チャンバー12と、第1チャンバー11内及び第2チャンバー12内を減圧させる減圧手段として機能する真空ポンプ13と、を備えている。第1チャンバー11は、不図示の電子銃から電子線が照射されて加熱されたLiを蒸発させる蒸発源11aと、蒸発源11aから蒸発させたLiを付着させることによりLi膜が作製される成膜部11bと、バルブ11c、11cと、を有している。成膜部11bは、不図示の駆動手段によって駆動される巻き出しロール11ba及び巻き取りロール11bdと、搬送ロール11bb、11bcと、を有し、蒸発源11aから蒸発させたLiは、搬送ロール11bbと搬送ロール11bcとの間に位置する基材の表面に付着する。一方、第2チャンバー12は、不図示の電子銃から電子線が照射されて加熱されたLiを蒸発させる蒸発源12a、12aと、蒸発源12a、12aから蒸発させたLiを付着させることによりLi膜が作製される成膜部として機能する透明な壁12bと、バルブ12c、12cと、を有している。
第1チャンバー11内及び第2チャンバー12内を減圧する際には、バルブ11c、11cを開け、且つ、バルブ12c、12cを閉じた状態で真空ポンプ13を作動させ、第1チャンバー11内及び第2チャンバー12内を目的の圧力へと減圧する。そして、第1チャンバー11内が目的の圧力へと減圧されたら、バルブ11c、11cが閉じられる。蒸発源11a及び蒸発源12a、12aは、バルブ11c、11c、及び、バルブ12c、12cが閉じた状態において作動し、Li膜を作製する際には、蒸発源11a及び蒸発源12a、12aからLiを蒸発させる。成膜部11b及び壁12bにLi膜を作製したら、第1チャンバー11及び第2チャンバー12を大気解放した後に、成膜部11bに作製されたLi膜が取り出される。
第1チャンバー11を大気解放する際には、バルブ11c、11cを閉じたままバルブ12c、12cを開くことにより、まず、不図示の気体供給手段から第2チャンバー12にベントガスを流入させ、第2チャンバー12の圧力を大気圧にする。こうしてベントガスを流入させると、ベントガスに含まれている不純物と壁12bに作製されたLi膜とが反応する。不純物とLi膜とが反応することにより、第2チャンバー12へと流入したベントガスに含まれていた不純物の量が低減する。このようにして第2チャンバー12が大気圧にされたら、次いでバルブ11c、11cを開くことにより、第1チャンバー11内へベントガスを流入させる。第1チャンバー11へと流入するベントガスは、壁12bに作製されたLi膜によって不純物が取り除かれている。それゆえ、蒸着装置10によれば、成膜部11bに作製されたLi膜の劣化を低減することが可能になる。したがって、蒸着装置10を用いて作製したLi膜をリチウム電池に用いることにより、リチウム電池の出力特性を向上させることが可能になる。こうして、第1チャンバー11内及び第2チャンバー12内の圧力が大気圧にされたら、作製されたLi膜の温度が低下した後に第2チャンバー12及び第1チャンバー11へと大気を流入させる過程を経て、成膜部11bに作製されたLi膜が蒸着装置10から取り出される。
また、蒸着装置10は、壁12bが透明なので、壁12bに作製されたLi膜の色を、第2チャンバー12の外側から視認することができる。Li膜は、多量の不純物と反応すると変色するので、壁12bに作製されたLi膜の色を第2チャンバー12の外側から確認することにより、第2チャンバー12内に存在する気体の純度を視覚的に確認することができる。壁12bに作製されたLi膜が変色すればベントガスの純度が低い(ベントガスに多量の不純物が含まれている)ので、バルブ11c、11cを閉じたままにしておくことにより、成膜部11bに作製されたLi膜の劣化を未然に防止することが可能になる。
本発明に関する上記説明では、第2チャンバー12の壁12bの全体が透明である形態を例示したが、本発明の蒸着装置は当該形態に限定されるものではない。本発明の蒸着装置には、第2チャンバーの内側を視認できる一部分のみが透明である壁を有する第2チャンバーが備えられていても良く、透明ではない壁を有する第2チャンバーが備えられていても良い。ただし、第2チャンバーで作製されたLi膜の色を蒸着装置の外部から視認可能な形態とすることにより、第1チャンバーで作製されたLi膜の劣化を未然に防止し得る形態にする等の観点からは、第2チャンバーの壁の少なくとも一部は透明にすることが好ましい。
また、本発明に関する上記説明では、第1チャンバー11を大気解放する際に、バルブ11c、11cからベントガスを流入させて第1チャンバー11内の圧力を一度に大気圧へと戻す形態を例示したが、本発明の蒸着装置は当該形態に限定されるものではない。第1チャンバー11内の圧力を大気圧へと戻す際には、バルブ12c、12cを開けてベントガスを第2チャンバー12へと流入させた後、バルブ12c、12cを閉じてからバルブ11c、11cを開けることにより、第2チャンバー12において不純物が取り除かれたベントガスのみを第1チャンバー11へと流入させて、第1チャンバー11内の圧力を大気圧へと近づけた後、バルブ11c、11cを閉じてからバルブ12c、12cを開けることにより第2チャンバー12へ再びベントガスを流入させ、その後、バルブ12c、12cを閉じてからバルブ11c、11cを開けるという作業を繰り返すことにより、第1チャンバー11内の圧力を段階的に大気圧へと戻す形態とすることも可能である。かかる形態とすることにより、第2チャンバー12で十分に浄化されたベントガスのみを第1チャンバー11へと流入させることが可能になるので、Li膜の劣化を低減することが容易になる。
また、本発明に関する上記説明では、壁12bにLi膜が作製される形態の蒸着装置10を例示したが、本発明の蒸着装置は当該形態に限定されるものではない。本発明の蒸着装置における第2チャンバーには、第1チャンバー11と同様に、壁以外の箇所に成膜部が備えられていても良い。
また、本発明に関する上記説明では、第1チャンバー11の外側に第2チャンバー12が設けられた、二重構造の蒸着装置10を例示したが、本発明の蒸着装置は当該形態に限定されるものではない。本発明の蒸着装置は、Li膜が形成されている第2チャンバーによって所定量の不純物が取り除かれたベントガスが、第1チャンバーへと流入する形態であれば良い。そのような形態としては、蒸着装置10のほか、第1チャンバー及び第2チャンバーを直列に接続して第2チャンバーを通過したベントガスが第1チャンバーへと流入するように、ベントガスの流通路を介して第2チャンバーの気体出口と第1チャンバーの気体入口とが接続されている形態等を例示することができる。
本発明の蒸着装置において、蒸着源及び成膜部の形態は特に限定されるものではなく、公知の形態とすることができる。また、本発明の蒸着装置において、第1チャンバーの壁の構成材料としては、蒸着装置のチャンバーを構成可能な公知の材料を用いることができる。また、本発明の蒸着装置において、第2チャンバーの壁の少なくとも一部を透明にする場合、透明な壁の構成材料としては、例えば一般的な耐圧ガラス等を用いることができ、透明ではない第2チャンバーの壁は、第1チャンバーの壁と同様の材料によって構成することができる。また、本発明の蒸着装置において、減圧手段は、蒸着法によって蒸着膜を作製するのに適した減圧環境にすることが可能であれば、その形態は特に限定されるものではなく、公知の真空ポンプを適宜用いることができる。また、本発明の蒸着装置において、バルブの形態も特に限定されるものではなく、公知のバルブを適宜用いることができる。
本発明の蒸着装置は、電池の電極等として使用可能な蒸着膜を作製する際に、利用することができる。
10…蒸着装置
11…第1チャンバー
11a…蒸着源
11b…成膜部
11ba…巻き出しロール
11bb、11bc…搬送ロール
11bd…巻き取りロール
11c…バルブ
12…第2チャンバー
12a…蒸着源
12b…壁(成膜部)
12c…バルブ
13…真空ポンプ(減圧手段)
11…第1チャンバー
11a…蒸着源
11b…成膜部
11ba…巻き出しロール
11bb、11bc…搬送ロール
11bd…巻き取りロール
11c…バルブ
12…第2チャンバー
12a…蒸着源
12b…壁(成膜部)
12c…バルブ
13…真空ポンプ(減圧手段)
Claims (2)
- Li膜を構成すべきLiを蒸発させる蒸発源、及び、該蒸発源から蒸発させたLiを表面に付着させる成膜部を有する第1チャンバー並びに第2チャンバーと、前記第1チャンバー及び前記第2チャンバーを減圧する減圧手段と、を備え、
前記第1チャンバー及び前記第2チャンバーを大気解放する前に流入させる気体が前記第2チャンバーを通過した後に前記第1チャンバーへと流入するように、前記第1チャンバー及び前記第2チャンバーが配置されていることを特徴とする、蒸着装置。 - 前記第2チャンバーの内側と外側とを隔てる前記第2チャンバーの壁の少なくとも一部が、透明であることを特徴とする、請求項1に記載の蒸着装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010240325A JP2012092386A (ja) | 2010-10-27 | 2010-10-27 | 蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010240325A JP2012092386A (ja) | 2010-10-27 | 2010-10-27 | 蒸着装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012092386A true JP2012092386A (ja) | 2012-05-17 |
Family
ID=46386064
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010240325A Pending JP2012092386A (ja) | 2010-10-27 | 2010-10-27 | 蒸着装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2012092386A (ja) |
-
2010
- 2010-10-27 JP JP2010240325A patent/JP2012092386A/ja active Pending
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