JP2012084795A - Supply method of adhesive for temporarily fixing mounting component, manufacturing method of semiconductor device, substrate for mounting component and semiconductor device - Google Patents

Supply method of adhesive for temporarily fixing mounting component, manufacturing method of semiconductor device, substrate for mounting component and semiconductor device Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a supply method of adhesive for temporarily fixing a mounting component in which a thickness of adhesive corresponding to the type of a mounting component can be obtained easily by single print process, and to provide a manufacturing method of a semiconductor device, a substrate for mounting a component and a semiconductor device.SOLUTION: A mask 1 having a plurality of mask openings 1a, 1a, 1aof different plane areas and a substrate 2 are superimposed while facing one surface 1A of the mask 1 and the surface 2A of the substrate 2 to each other. In a state where the mask 1 and the substrate 2 are superimposed, an adhesive 3 is supplied to fill the interior of each mask opening 1a, 1a, 1aand to be left on the other surface 1B of the mask 1. When the mask 1 is separated from the substrate 2 subsequently, a plurality of adhesive portions 3a, 3b, 3c are formed of the adhesive 3 on the surface 2A of the substrate 2.

Description

本発明は、実装部品仮固定用接着剤の供給方法、半導体装置の製造方法、部品実装用基板および半導体装置に関し、特に、基板に実装部品をはんだ付けする前に、その実装部品を基板に仮固定するための接着剤を基板に供給するための実装部品仮固定用接着剤の供給方法、その方法を用いた半導体装置の製造方法、その方法によって製造された部品実装用基板および半導体装置に関するものである。   The present invention relates to a method for supplying an adhesive for temporarily fixing a mounted component, a method for manufacturing a semiconductor device, a substrate for mounting a component, and a semiconductor device, and in particular, before soldering the mounted component to the substrate, temporarily mounting the mounted component to the substrate. A method of supplying an adhesive for temporarily fixing a mounting component for supplying an adhesive for fixing to a substrate, a method of manufacturing a semiconductor device using the method, a substrate for mounting components manufactured by the method, and a semiconductor device It is.

プリント配線板などの基板へ実装部品を搭載する場合、溶融はんだを噴流させて基板に当てることで実装部品を基板の導電部分に対してはんだ付けする方法(以下、「フローはんだ付け」と称する)が用いられている。この方法を用いて実装部品を基板の導電部分に対してはんだ付けする前に、溶融はんだが接触する基板のフローはんだ付け面に実装部品を仮固定する必要がある。   When mounting components on a board such as a printed wiring board, a method of soldering the mounting parts to the conductive portion of the board by jetting molten solder onto the board (hereinafter referred to as “flow soldering”) Is used. Before the mounting component is soldered to the conductive portion of the substrate using this method, it is necessary to temporarily fix the mounting component to the flow soldering surface of the substrate that the molten solder contacts.

この仮固定の方法は、例えば特開平4−040262号公報(特許文献1)、特開平7−202398号公報(特許文献2)などに記載されている。一般的には、特開平4−040262号公報に記載されているように、ディスペンサーにより接着剤をプリント基板に塗布し、電子部品を基板に実装した後に、接着剤を硬化させて電子部品を基板に仮固定する方法がある。このほかに、特開平7−202398号公報に記載されているように、所定パターンを有するマスクを介してスクリーン印刷法によって接着剤を回路基板に塗布し、実装部品を実装した後に、接着剤を硬化させて実装部品を回路基板に仮固定する方法もあった。   This temporary fixing method is described in, for example, JP-A-4-040262 (Patent Document 1), JP-A-7-202398 (Patent Document 2), and the like. Generally, as described in JP-A-4-040262, an adhesive is applied to a printed circuit board by a dispenser, and after mounting the electronic component on the substrate, the adhesive is cured to mount the electronic component on the substrate. There is a method of temporarily fixing. In addition, as described in JP-A-7-202398, an adhesive is applied to a circuit board by a screen printing method through a mask having a predetermined pattern, and after mounting components, the adhesive is applied. There is also a method of curing and temporarily fixing the mounted component to the circuit board.

特開平4−040262号公報JP-A-4-040262 特開平7−202398号公報JP-A-7-202398

基板のフローはんだ付け面に搭載される実装部品には、一般的には例えば3216角チップや1608角チップと呼ばれる抵抗やコンデンサをはじめ、SOP(Small Outline Package)、QFP(Quad Flat Package)など、多岐にわたる種類がある。   For mounting parts mounted on the flow soldering surface of the board, for example, resistors and capacitors generally called 3216 square chips and 1608 square chips, SOP (Small Outline Package), QFP (Quad Flat Package), etc. There are a wide variety of types.

これら実装部品の電極とボディ底面とのギャップ(以下、「スタンドオフ」と称する)は部品ごとに異なる。このスタンドオフは、角チップでは電極めっきの厚さでおおよそ十数μm程度である。またSOPやQFPは、例えばJEITA(Japan Electronics and Information Technology Industries Association)に規定されているこれらIC(Integrated Circuit)パッケージ仕様のガイドライン(EIAJ ED-7311-19やED-7311A)によると最小0.1mmから最大0.3mmのスタンドオフを持っている。   The gap (hereinafter referred to as “stand-off”) between the electrodes of these mounted components and the bottom surface of the body differs for each component. This standoff is about a dozen μm or so in the thickness of electrode plating in a square chip. In addition, SOP and QFP are at least 0.1 mm according to these IC (Integrated Circuit) package specification guidelines (EIAJ ED-7311-19 and ED-7311A) prescribed by Japan Electronics and Information Technology Industries Association (JEITA), for example. Has a standoff of up to 0.3mm.

これらの実装部品を基板に実装する場合には、スタンドオフに見合った厚さの接着剤を供給して実装部品を基板に仮固定する必要がある。つまり、スタンドオフの低い実装部品では接着剤の厚さを薄くし、スタンドオフの高い実装部品では接着剤の厚さを厚くする必要がある。   When mounting these mounting components on a substrate, it is necessary to temporarily fix the mounting component to the substrate by supplying an adhesive having a thickness corresponding to the standoff. That is, it is necessary to reduce the thickness of the adhesive for a mounting component with a low standoff, and to increase the thickness of the adhesive for a mounting component with a high standoff.

しかし、特開平4−040262号公報に記載のディスペンサーでは接着剤の吐出量を制御できても接着剤の厚さを制御することはできない。このため、スタンドオフに見合った厚さの接着剤を供給することができない。よってスタンドオフの高い実装部品において接着剤の厚さが薄くなると、接着剤が実装部品のボディ部に届かず、実装部品を基板に仮固定することができなくなる。   However, the dispenser described in JP-A-4-040262 cannot control the thickness of the adhesive even if the discharge amount of the adhesive can be controlled. For this reason, it is not possible to supply an adhesive having a thickness suitable for the standoff. Therefore, when the thickness of the adhesive is reduced in a mounting component with a high standoff, the adhesive does not reach the body part of the mounting component, and the mounting component cannot be temporarily fixed to the substrate.

またスタンドオフの低い実装部品において接着剤が過剰に供給されると、実装部品を基板に搭載した時に接着剤が接着剤の供給位置から大量にはみ出すおそれがある。この場合には、実装部品の電極あるいは基板上のパッドに接着剤が付着する。またスタンドオフの低い実装部品において接着剤の厚さが厚くなると、実装部品の電極と基板上のパッドとの間に隙間が生じる。このように実装部品の電極あるいは基板上のパッドに接着剤が付着したり、あるいは実装部品の電極と基板上のパッドとの間に隙間が生じた場合には、フローはんだ付けの際にはんだの接合不良が起きる可能性があった。   Further, if the adhesive is excessively supplied to the mounting component with a low standoff, the adhesive may protrude in a large amount from the adhesive supply position when the mounting component is mounted on the substrate. In this case, an adhesive adheres to the electrode of the mounting component or the pad on the substrate. Further, when the thickness of the adhesive is increased in a mounting component having a low standoff, a gap is generated between the electrode of the mounting component and the pad on the substrate. In this way, if adhesive adheres to the electrode of the mounting component or the pad on the board, or if a gap is generated between the electrode of the mounting part and the pad on the board, the solder will be removed during flow soldering. There was a possibility of poor bonding.

また特開平7−202398号公報に記載の印刷方法では、接着剤の厚さは所定パターンを有するマスクの厚さにより決定される。このため、接着剤の厚さを制御するためにはそのマスクの厚さを変更する必要があり、スタンドオフの異なる実装部品の品種別に見合った各種の接着剤厚さを一度の印刷工程で供給することができない。   In the printing method described in JP-A-7-202398, the thickness of the adhesive is determined by the thickness of the mask having a predetermined pattern. For this reason, in order to control the thickness of the adhesive, it is necessary to change the thickness of the mask, and various adhesive thicknesses suitable for different types of mounting parts with different standoffs are supplied in a single printing process. Can not do it.

よって、低いスタンドオフの実装部品に合わせた厚さに接着剤を印刷すれば、スタンドオフの高い実装部品のボディ部には接着剤が届かず実装部品を仮固定することができない。また高いスタンドオフの実装部品に合わせた厚さに接着剤を印刷すれば、スタンドオフの低い実装部品には接着剤が過剰となって、上記のように実装部品の電極や基板上のパッドに接着剤が付着してはんだ付けができなくなったり、あるいは実装部品の電極と基板上のパッドとが離れてはんだ付けができなくなることがあった。   Therefore, if the adhesive is printed to a thickness that matches the mounting component with a low standoff, the adhesive does not reach the body portion of the mounting component with a high standoff, and the mounting component cannot be temporarily fixed. Also, if the adhesive is printed to a thickness that matches the high stand-off mounting component, the adhesive will be excessive on the low stand-off mounting component, as described above, on the mounting component electrodes and the pads on the board. In some cases, the adhesive adheres and soldering cannot be performed, or the electrodes of the mounted components are separated from the pads on the substrate, and soldering cannot be performed.

本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、実装部品の品種別に見合った接着剤厚さを一度の印刷工程で容易に得ることができる実装部品仮固定用接着剤の供給方法、半導体装置の製造方法、部品実装用基板および半導体装置を提供することである。   The present invention has been made in view of the above problems, and the purpose thereof is an adhesive for temporarily fixing a mounting component that can easily obtain an adhesive thickness suitable for each type of mounting component in a single printing process. Supply method, semiconductor device manufacturing method, component mounting substrate, and semiconductor device.

本発明の実装部品仮固定用接着剤の供給方法は、基板に実装部品をはんだ付けする前に、実装部品を基板に仮固定するための接着剤を基板に供給するための実装部品仮固定用接着剤の供給方法であって、以下の工程を備えている。   The mounting component temporary fixing adhesive supply method of the present invention is for mounting component temporary fixing for supplying an adhesive for temporarily fixing a mounting component to a substrate before soldering the mounting component to the substrate. An adhesive supply method includes the following steps.

まず基板が準備される。そして互いに異なる平面積の複数の貫通孔を有するマスクの一方表面と基板の表面とを向かい合わせにしてマスクと基板とが重ねられる。そして基板とマスクとを重ねた状態で、複数の貫通孔のそれぞれの内部に充填して基板の表面に付着させるとともにマスクの他方表面上に残すように接着剤が供給される。接着剤を基板の表面に付着させた後にマスクを基板から分離することにより、その接着剤から複数の接着剤部が基板の表面上に形成される。   First, a substrate is prepared. Then, the mask and the substrate are overlapped with one surface of the mask having a plurality of through-holes having different planar areas facing the surface of the substrate. Then, in a state where the substrate and the mask are overlapped, an adhesive is supplied so as to fill the inside of each of the plurality of through holes to adhere to the surface of the substrate and to leave on the other surface of the mask. By attaching the adhesive to the surface of the substrate and then separating the mask from the substrate, a plurality of adhesive portions are formed on the surface of the substrate from the adhesive.

本発明の実装部品仮固定用接着剤の供給方法によれば、マスクに設けられた互いに平面積の異なる複数の貫通孔内に接着剤が充填されるとともにマスク表面上に接着剤が残される。これにより、マスクを基板から分離した際に、互いに厚みの異なる複数の接着剤部を基板上に形成することができ、部品種別に見合った接着剤厚さを一度の印刷工程で容易に得ることができる。   According to the method for supplying the adhesive for temporarily mounting components of the present invention, the adhesive is filled in the plurality of through holes provided in the mask and having different plane areas, and the adhesive is left on the mask surface. As a result, when the mask is separated from the substrate, a plurality of adhesive portions having different thicknesses can be formed on the substrate, and an adhesive thickness corresponding to the component type can be easily obtained in a single printing process. Can do.

また接着剤をマスクの他方表面上に残してマスクを基板から分離することにより、マスクの厚み以上の厚さを有する接着剤部を形成することもでき、接着材部の厚さの自由度が高くなる。   Moreover, by leaving the adhesive on the other surface of the mask and separating the mask from the substrate, an adhesive part having a thickness equal to or greater than the thickness of the mask can be formed. Get higher.

本発明の部品実装用基板は、実装部品を仮固定してはんだ付けするための部品実装用基板であって、基板と、複数の接着剤部とを備えている。複数の接着剤部は、基板の表面上に形成されており、かつ基板に実装部品を仮固定するためのものである。複数の接着剤部は、互いに異なる平面積を有し、かつ互いに異なる厚みを有している。   The component mounting substrate of the present invention is a component mounting substrate for temporarily fixing and soldering a mounted component, and includes a substrate and a plurality of adhesive portions. The plurality of adhesive portions are formed on the surface of the substrate, and are for temporarily fixing the mounting component to the substrate. The plurality of adhesive portions have different plane areas and have different thicknesses.

本発明の部品実装用基板によれば、基板に形成された複数の接着剤部が互いに異なる平面積と厚みを有している。これにより、実装部品の品種別に見合った厚さの接着剤を供給することができる。   According to the component mounting board of the present invention, the plurality of adhesive portions formed on the board have different plane areas and thicknesses. Thereby, it is possible to supply an adhesive having a thickness suitable for each type of mounted component.

以上説明したように本発明によれば、実装部品の品種別に見合った接着剤厚さを容易に得ることができる。   As described above, according to the present invention, it is possible to easily obtain an adhesive thickness suitable for each type of mounted component.

本発明の実施の形態1における実装部品仮固定用接着剤の供給方法の第1工程を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the 1st process of the supply method of the adhesive for temporarily mounting components in Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1における実装部品仮固定用接着剤の供給方法の第2工程を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the 2nd process of the supply method of the adhesive for temporarily mounting components in Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1における実装部品仮固定用接着剤の供給方法の第3工程を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the 3rd process of the supply method of the adhesive for mounting component temporary fixing in Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1における実装部品仮固定用接着剤の供給方法の第4工程を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the 4th process of the supply method of the adhesive for temporarily mounting components in Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1における実装部品仮固定用接着剤の供給方法においてスキージを用いて接着剤を塗布する様子を示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows a mode that an adhesive agent is apply | coated using the squeegee in the supply method of the adhesive for temporarily mounting components in Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1における実装部品仮固定用接着剤の供給方法に用いられるスキージの構成を示す正面図である。It is a front view which shows the structure of the squeegee used for the supply method of the adhesive for temporarily mounting components in Embodiment 1 of this invention. 図6のVII−VII線に沿う概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which follows the VII-VII line of FIG. マスクに設けたマスク開口部(貫通孔)の開口寸法とタック力、剪断力との関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the opening dimension of a mask opening part (through-hole) provided in the mask, tack force, and shear force. 本発明の実施の形態1における実装部品仮固定用接着剤の供給方法を用いて半導体装置を製造する方法の第1工程を示す概略平面図(A)および概略側面図(B)である。It is the schematic plan view (A) and schematic side view (B) which show the 1st process of the method of manufacturing a semiconductor device using the supply method of the mounting component temporary fixing adhesive in Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1における実装部品仮固定用接着剤の供給方法を用いて半導体装置を製造する方法の第2工程を示す概略平面図(A)および概略側面図(B)である。It is the schematic plan view (A) and schematic side view (B) which show the 2nd process of the method of manufacturing a semiconductor device using the supply method of the mounting component temporary fixing adhesive in Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1における実装部品仮固定用接着剤の供給方法を用いて半導体装置を製造する方法の第3工程を示す概略平面図(A)および概略側面図(B)である。It is the schematic plan view (A) and schematic side view (B) which show the 3rd process of the method of manufacturing a semiconductor device using the supply method of the adhesive for temporarily mounting components in Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1における実装部品仮固定用接着剤の供給方法を用いて半導体装置を製造する方法の第4工程を示す概略平面図(A)および概略側面図(B)である。It is the schematic plan view (A) and schematic side view (B) which show the 4th process of the method of manufacturing a semiconductor device using the supply method of the mounting component temporary fixing adhesive in Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態2における実装部品仮固定用接着剤の供給方法の第1工程を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the 1st process of the supply method of the adhesive for temporarily mounting components in Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施の形態2における実装部品仮固定用接着剤の供給方法の第2工程を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the 2nd process of the supply method of the adhesive for temporary mounting components in Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施の形態2における実装部品仮固定用接着剤の供給方法の第3工程を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the 3rd process of the supply method of the adhesive for temporarily mounting components in Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施の形態2における開口寸法と接着剤の印刷高さの関係を示す実験データを示す図である。It is a figure which shows the experimental data which show the relationship between the opening dimension in Embodiment 2 of this invention, and the printing height of an adhesive agent.

以下、本発明の実施の形態について図に基づいて説明する。
(実施の形態1)
まず実施の形態1における実装部品仮固定用接着剤の供給方法について図1〜図5を用いて説明する。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
(Embodiment 1)
First, a method for supplying an adhesive for temporarily mounting components in Embodiment 1 will be described with reference to FIGS.

図1を参照して、まず基板2として例えばプリント配線板が準備される。この基板2に、マスク1として例えばメタルマスク(ステンレスなどの金属板にレーザなどで開口を設けたマスク)が基板2に位置合わせされた後に重ね合わされる。この際、基板2の表面2Aとマスク1の一方表面1Aとが互いに向かい合わせとなるように重ね合わされ、重ね合わせ後は基板2の表面2Aとマスク1の一方表面1Aとが密着する。   Referring to FIG. 1, first, for example, a printed wiring board is prepared as a substrate 2. On this substrate 2, for example, a metal mask (a mask in which a metal plate such as stainless steel is provided with an opening with a laser or the like) is superimposed as the mask 1 after being aligned with the substrate 2. At this time, the surface 2A of the substrate 2 and the one surface 1A of the mask 1 are overlapped so as to face each other, and after the overlapping, the surface 2A of the substrate 2 and the one surface 1A of the mask 1 are in close contact with each other.

マスク1は、所望の接着剤供給位置に開口を設けた一定厚のスクリーン印刷版であり、複数のマスク開口部(貫通孔)1a1、1a2、1a3を有している。これら複数のマスク開口部1a1、1a2、1a3は互いに異なる平面積を有している。このマスク開口部1a1、1a2、1a3の各々から基板2の表面2Aが露出している。 The mask 1 is a screen printing plate having a constant thickness provided with openings at desired adhesive supply positions, and has a plurality of mask openings (through holes) 1a 1 , 1a 2 , 1a 3 . The plurality of mask openings 1a 1 , 1a 2 , 1a 3 have different plane areas. The surface 2A of the substrate 2 is exposed from each of the mask openings 1a 1 , 1a 2 , 1a 3 .

ここでマスク開口部の平面積とは、基板2の表面2Aに垂直な方向から見たときの、平面視におけるマスク開口部の開口面積である。本実施の形態においてはマスク開口部1a1の平面積が最も大きく、マスク開口部1a2、1a3の順で平面積が小さくなっている。 Here, the plane area of the mask opening is an opening area of the mask opening in a plan view when viewed from a direction perpendicular to the surface 2A of the substrate 2. In the present embodiment, the plane area of the mask opening 1a 1 is the largest, and the plane area decreases in the order of the mask openings 1a 2 and 1a 3 .

マスク開口部1a1、1a2、1a3の各々の平面形状は、真円形状、楕円形状、矩形形状、トラック形状、不規則形状などのいずれであってもよい。マスク開口部1a1、1a2、1a3の各々の平面形状が真円形状の場合には、マスク開口部1a1の径が最も大きく、マスク開口部1a2、1a3の順で径が小さくなっている。 The planar shape of each of the mask openings 1a 1 , 1a 2 , 1a 3 may be any of a perfect circle shape, an elliptical shape, a rectangular shape, a track shape, an irregular shape, and the like. When the planar shape of each of the mask openings 1a 1 , 1a 2 , 1a 3 is a perfect circle, the diameter of the mask opening 1a 1 is the largest, and the diameter decreases in the order of the mask openings 1a 2 , 1a 3. It has become.

またマスク開口部1a1、1a2、1a3の各々の平面形状が真円形状の場合には、マスク開口部1a1の直径に対するマスク1の厚みは0.3未満であることが好ましく、マスク開口部1a2の直径に対するマスク1の厚みは0.3以上0.5未満であることが好ましく、マスク開口部1a3の直径に対するマスク1の厚みは0.5以上であることが好ましい。 When the planar shape of each of the mask openings 1a 1 , 1a 2 , 1a 3 is a perfect circle, the thickness of the mask 1 with respect to the diameter of the mask opening 1a 1 is preferably less than 0.3. The thickness of the mask 1 with respect to the diameter of the opening 1a 2 is preferably 0.3 or more and less than 0.5, and the thickness of the mask 1 with respect to the diameter of the mask opening 1a 3 is preferably 0.5 or more.

またマスク1の基板2と向かい合う部分の一方表面1Aと、基板2のマスク1と向かい合う部分の表面2Aとの双方は互いに平坦であることが好ましい。   Further, it is preferable that one surface 1A of the portion of the mask 1 facing the substrate 2 and the surface 2A of the portion of the substrate 2 facing the mask 1 are both flat.

図2を参照して、基板2とマスク1とを重ねた状態で、マスク1の他方表面(一方表面1Aの裏面)1B上に接着剤3が載置される。この接着剤3は、例えば熱硬化性エポキシ樹脂であるが、これに限定されるものではなく、これ以外の熱硬化性樹脂であってもよく、それ以外の樹脂であってもよい。この後、スキージ6Aが接着剤3をマスク1の他方表面1B側に押し付けながらマスク1の他方表面1Bに沿って移動する。   Referring to FIG. 2, adhesive 3 is placed on the other surface (back surface of one surface 1 </ b> A) 1 </ b> B of mask 1 with substrate 2 and mask 1 being overlapped. The adhesive 3 is, for example, a thermosetting epoxy resin, but is not limited to this, and may be a thermosetting resin other than this or other resin. Thereafter, the squeegee 6 </ b> A moves along the other surface 1 </ b> B of the mask 1 while pressing the adhesive 3 against the other surface 1 </ b> B side of the mask 1.

この際に使用されるスキージ6Aは、図6および図7に示すように、概ね0.1mmから0.5mmの段差6aを端部に有している。この段差6aによりスキージ6Aの端部の中央には凹部6a1が形成され、端部の両端部には凸部6a2が形成されている。 As shown in FIGS. 6 and 7, the squeegee 6A used at this time has a step 6a of approximately 0.1 mm to 0.5 mm at its end. Due to the step 6a, a recess 6a 1 is formed at the center of the end of the squeegee 6A, and a protrusion 6a 2 is formed at both ends of the end.

図5を参照して、この段差6aを有する端部をマスク1の他方表面1Bに対向させた状態でスキージ6Aがマスク1へ押し付けられながらマスク1の他方表面1Bに沿って移動する。これにより、接着剤3がマスク1を介在して基板2の表面2Aに塗布される。スキージ6Aをマスク1へ押し付ける際にマスク1の他方表面1Bに対向するスキージ6Aの端部が段差6aを有しているため、この段差6aによりスキージ6Aの端部とマスク1の他方表面1Bとの間の距離が大きい部分と距離が小さい部分とが生じる。つまりスキージ6Aの端部とマスク1の他方表面1Bとの間の距離は、段差6aにより生じた凹部6a1において大きくなり、凸部6a2において小さくなる。この際、スキージ6Aの凸部6a2がマスク1の他方表面1Bに接していることが好ましく、この場合にはマスク1の他方表面1Bとスキージ6Aの凸部6a2との間の距離は実質的に0となる。 With reference to FIG. 5, the squeegee 6 </ b> A moves along the other surface 1 </ b> B of the mask 1 while being pressed against the mask 1 with the end portion having the step 6 a facing the other surface 1 </ b> B of the mask 1. Thereby, the adhesive 3 is applied to the surface 2A of the substrate 2 with the mask 1 interposed. When the squeegee 6A is pressed against the mask 1, the end of the squeegee 6A that faces the other surface 1B of the mask 1 has a step 6a. Therefore, the step 6a causes the end of the squeegee 6A and the other surface 1B of the mask 1 to A portion having a large distance and a portion having a small distance are generated. That is, the distance between the end of the squeegee 6A and the other surface 1B of the mask 1 increases at the concave portion 6a 1 caused by the step 6a and decreases at the convex portion 6a 2 . At this time, the convex portion 6a 2 of the squeegee 6A is preferably in contact with the other surface 1B of the mask 1, and in this case, the distance between the other surface 1B of the mask 1 and the convex portion 6a 2 of the squeegee 6A is substantially equal. Therefore, it becomes 0.

スキージ6Aの凸部6a2がマスク1の他方表面1Bに接したままスキージ6Aが移動して接着剤3が塗布された場合、スキージ6Aの凹部6a1とマスク1の他方表面1Bとの間の領域7には接着剤3が残置され、凸部6a2とマスク1の他方表面1Bとの間には接着剤3は残らない。 If the convex portion 6a 2 of the squeegee 6A adhesive 3 to move the squeegee 6A remains in contact with the other surface 1B of the mask 1 is applied, between the other surface 1B of the recess 6a 1 and the mask 1 of the squeegee 6A The adhesive 3 is left in the region 7, and the adhesive 3 does not remain between the convex portion 6 a 2 and the other surface 1 B of the mask 1.

図3を参照して、これにより接着剤3を供給する工程においては、スキージ6Aでマスク1に押し付けられた接着剤3は複数のマスク開口部1a1、1a2、1a3の各々の内部に充填して基板2の表面2Aに付着する。また、接着剤3はスキージ6Aの凹部6a1とマスク1の他方表面1Bとの間の領域7でマスク1の他方表面1B上に、例えば0.1mm以上0.5mm以下の厚さで残る。 Referring to FIG. 3, in this step of supplying adhesive 3, adhesive 3 pressed against mask 1 by squeegee 6 </ b> A is placed inside each of a plurality of mask openings 1 a 1 , 1 a 2 , 1 a 3. Fill and adhere to the surface 2 A of the substrate 2. The adhesive 3 on the other surface 1B of the mask 1 in the region 7 between the other surface 1B of the recess 6a 1 and the mask 1 of the squeegee 6A, for example, remains with a thickness of 0.5mm or more 0.1 mm.

図4を参照して、接着剤3を基板2の表面2Aに付着させた後にマスク1を基板2から分離することにより印刷が完了する。これにより、接着剤3から複数の接着剤部3a、3b、3cが基板2の表面2Aに形成される。   Referring to FIG. 4, printing is completed by separating mask 1 from substrate 2 after attaching adhesive 3 to surface 2 </ b> A of substrate 2. Thereby, a plurality of adhesive portions 3 a, 3 b, 3 c are formed on the surface 2 </ b> A of the substrate 2 from the adhesive 3.

基板2の表面2Aに形成された複数の接着剤部3a、3b、3cのうち平面積の大きな接着剤部は平面積の小さな接着剤部よりも厚く形成される。つまり、接着剤部3bよりも平面積の大きい接着剤部3aは接着剤部3bよりも厚く形成され、接着剤部3cよりも平面積の大きい接着剤部3bは接着剤部3cよりも厚く形成される。このようにして本実施の形態の実装部品仮固定用接着剤の供給が完了する。   Of the plurality of adhesive portions 3a, 3b and 3c formed on the surface 2A of the substrate 2, the adhesive portion having a large flat area is formed thicker than the adhesive portion having a small flat area. That is, the adhesive part 3a having a larger planar area than the adhesive part 3b is formed thicker than the adhesive part 3b, and the adhesive part 3b having a larger planar area than the adhesive part 3c is formed thicker than the adhesive part 3c. Is done. In this way, the supply of the mounting component temporary fixing adhesive of the present embodiment is completed.

この後、実装部品が基板2の表面2A上の接着剤部3a、3b、3cの各々に接着するよう搭載され(図示せず)、接着剤部3a、3b、3cの各々が硬化され(図示せず)、フローはんだ付けが行なわれて(図示せず)、プリント配線板の組立が完了する。   Thereafter, the mounting component is mounted so as to adhere to each of the adhesive portions 3a, 3b, and 3c on the surface 2A of the substrate 2 (not shown), and each of the adhesive portions 3a, 3b, and 3c is cured (see FIG. Flow soldering is performed (not shown), and the assembly of the printed wiring board is completed.

上記の方法において本発明者らは、複数の接着剤部3a、3b、3cのうち平面積の大きな接着剤部が平面積の小さな接着剤部よりも厚く形成されることを見出した。以下、そのことについて説明する。   In the above method, the present inventors have found that an adhesive portion having a large flat area is formed thicker than an adhesive portion having a small flat area among the plurality of adhesive portions 3a, 3b, and 3c. This will be described below.

本実施の形態では、接着剤3がマスク開口部1a1、1a2、1a3の各々の内部へ充填されるとともに、マスク1の他方表面1B上に残置された後、マスク1が基板2から分離される。このとき、接着剤3と基板2の表面2Aとの間にはタック力Ftが生じるとともに、接着剤3とマスク開口部1a1、1a2、1a3の内壁との間には剪断力Fsが生じる。タック力とは、基板2に対する接着剤3のべたつきを数値化したものであり、タック力以上の力が作用すれば接着剤3が基板2から剥がれる。また剪断力以上の力が作用すればマスク1のマスク開口部の壁面から接着剤3が剥がれる。 In the present embodiment, the adhesive 3 is filled into each of the mask openings 1a 1 , 1a 2 , 1a 3 and left on the other surface 1B of the mask 1, and then the mask 1 is removed from the substrate 2. To be separated. At this time, the tack force Ft is generated between the surface 2A of the adhesive 3 and the substrate 2, the shearing force Fs between the inner wall of the adhesive 3 and the mask opening 1a 1, 1a 2, 1a 3 Arise. The tack force is a quantification of the stickiness of the adhesive 3 with respect to the substrate 2, and the adhesive 3 is peeled off from the substrate 2 when a force greater than the tack force is applied. If a force greater than the shearing force is applied, the adhesive 3 is peeled off from the wall surface of the mask opening of the mask 1.

タック力Ftはマスク開口部1a1、1a2、1a3の平面積の関数であり、剪断力Fsはマスク開口部1a1、1a2、1a3の内壁面積の関数であり、タック力Ftおよび剪断力Fsの各々はマスク開口部1a1、1a2、1a3の開口寸法の関数でもある。 The tack force Ft is a function of the plane area of the mask openings 1a 1 , 1a 2 , 1a 3 , and the shear force Fs is a function of the inner wall area of the mask openings 1a 1 , 1a 2 , 1a 3 , and the tack force Ft and Each of the shear forces Fs is also a function of the opening dimensions of the mask openings 1a 1 , 1a 2 , 1a 3 .

マスク1の厚さを一定とし、上記開口寸法に対するタック力Ftと剪断力Fsとの関係を表わすと図8のようになり、開口寸法が小さいとFt<Fsとなり、開口寸法が大きいとFt>Fsとなる。   FIG. 8 shows the relationship between the tack force Ft and the shearing force Fs with respect to the opening size, with the thickness of the mask 1 being constant. When the opening size is small, Ft <Fs, and when the opening size is large, Ft> Fs.

Ft<Fsでは、接着剤3のタック力Ftが剪断力Fsに負けている。このため、マスク1を基板2から分離するときに接着剤3が剪断できずマスク開口部の内壁に付着したままとなる。よって、基板2と触れた接着剤3の一部が基板2に付着する程度で、マスク開口部に充填された接着剤3のほとんどは基板2上に残らない。   When Ft <Fs, the tack force Ft of the adhesive 3 is lost to the shear force Fs. For this reason, when the mask 1 is separated from the substrate 2, the adhesive 3 cannot be sheared and remains attached to the inner wall of the mask opening. Therefore, most of the adhesive 3 filled in the mask opening does not remain on the substrate 2 to the extent that a part of the adhesive 3 in contact with the substrate 2 adheres to the substrate 2.

Ft>Fsであれば、接着剤3のタック力Ftが剪断力Fsに勝る。このため、マスク1を基板2から分離するときに接着剤3はマスク開口部の内壁で剪断されるので、基板2上に接着剤3が残置される。   If Ft> Fs, the tack force Ft of the adhesive 3 is superior to the shear force Fs. For this reason, the adhesive 3 is sheared by the inner wall of the mask opening when the mask 1 is separated from the substrate 2, so that the adhesive 3 is left on the substrate 2.

例えば、ある開口寸法においてマスク1の厚さがtのとき、タック力Ftが剪断力Fsの2倍、つまりFt=2×Fsであったとすると、Ft>Fsとなるので接着剤3は基板2の表面2A上に残置される。加えて、Ft=2Fsなので、マスク1の厚さtの接着剤3の剪断に必要な剪断力Fsの2倍、つまりマスク1の厚さtの2倍の厚さの接着剤3を剪断できるだけのタック力Ftを有していることになる。   For example, when the thickness of the mask 1 is t at a certain opening dimension, and the tack force Ft is twice the shear force Fs, that is, Ft = 2 × Fs, Ft> Fs, so the adhesive 3 is the substrate 2 Is left on the surface 2A. In addition, since Ft = 2Fs, the adhesive 3 having a thickness twice as large as the shear force Fs necessary for shearing the adhesive 3 having the thickness t of the mask 1, that is, twice the thickness t of the mask 1 can be sheared. The tack force Ft is as follows.

よって、タック力Ftが剪断力Fsに比べて大きいと、その差分であるFt−Fsの分だけマスク1の厚さt以上の厚さの接着剤3を抜くことが可能となる。Ft≒Fsのときは先述の両者のいずれにもなり得る可能性がある。しかし、接着剤3は比較的軟らかい粘度をもったペースト状であるため、タック力Ftに見合った剪断力Fs分の接着剤3は基板2の表面2A上に残置される。   Therefore, when the tack force Ft is larger than the shear force Fs, the adhesive 3 having a thickness equal to or greater than the thickness t of the mask 1 can be removed by the difference Ft−Fs. When Ft≈Fs, there is a possibility that it can be both of the above-mentioned cases. However, since the adhesive 3 is in a paste form having a relatively soft viscosity, the adhesive 3 corresponding to the shearing force Fs corresponding to the tack force Ft is left on the surface 2A of the substrate 2.

上記より図4に示すように、大きなマスク開口部1a1を設けた箇所ではFt>Fsであるためマスク1の厚さとマスク1上に残置した接着剤3の厚みとが合わさった厚みで接着剤部3aが形成される。また中程度のマスク開口部1a2を設けた箇所ではFt≒Fsなのでマスク開口部1a2に充填された接着剤3は転写されてもマスク1上に残置した接着剤3fまでは転写されずマスク1とほぼ同じ厚さの接着剤部3bが形成される。また小さなマスク開口部1a3ではFt<Fsであるためマスク開口部1a3に充填されている接着剤3自体が抜けずに、基板2の表面2Aに接する一部の接着剤3だけが転写されるため、マスク1の厚さ以下の接着剤部3cが形成される。 From the above, as shown in FIG. 4, since Ft> Fs at the location where the large mask opening 1 a 1 is provided, the thickness of the mask 1 and the thickness of the adhesive 3 left on the mask 1 are combined. Part 3a is formed. Further, since Ft≈Fs at the location where the intermediate mask opening 1a 2 is provided, even if the adhesive 3 filled in the mask opening 1a 2 is transferred, the adhesive 3f remaining on the mask 1 is not transferred, but is masked. The adhesive portion 3b having the same thickness as 1 is formed. In addition, since Ft <Fs in the small mask opening 1a 3 , the adhesive 3 itself filled in the mask opening 1a 3 does not come out, and only a part of the adhesive 3 in contact with the surface 2A of the substrate 2 is transferred. Therefore, an adhesive part 3c having a thickness equal to or smaller than the thickness of the mask 1 is formed.

つまりFt>Fsとなる開口寸法(開口面積)を有するマスク開口部1a1と、Ft≒Fsとなる開口寸法(開口面積)を有するマスク開口部1a2と、Ft<Fsとなる開口寸法(開口面積)を有するマスク開口部1a3とをマスク1に設けることで、厚さの異なる接着剤層3a、3b、3cを得ることができる。 That is, a mask opening 1a 1 having an opening dimension (opening area) satisfying Ft> Fs, a mask opening 1a 2 having an opening dimension (opening area) satisfying Ft≈Fs, and an opening dimension (opening) satisfying Ft <Fs. By providing the mask opening 1a 3 having an area) in the mask 1, adhesive layers 3a, 3b and 3c having different thicknesses can be obtained.

このように本実施の形態の実装部品仮固定用接着剤の供給方法を用いれば、一度の印刷で、厚さの異なる実装部品仮固定用接着剤の供給を実現することができる。   As described above, when the mounting component temporary fixing adhesive supply method of the present embodiment is used, it is possible to realize mounting component temporary fixing adhesives having different thicknesses by one printing.

次に、本実施の形態の実装部品仮固定用接着剤の供給方法を用いた半導体装置の製造方法として、プリント配線板に角チップ部品とSOPとを搭載する場合について図9〜図12を用いて説明する。   Next, as a method of manufacturing a semiconductor device using the mounting component temporary fixing adhesive supply method of the present embodiment, a case where square chip components and SOP are mounted on a printed wiring board will be described with reference to FIGS. I will explain.

図9(A)、(B)を参照して、まず基板2として例えばプリント配線板が準備される。このプリント配線板2は、プリント配線(導電部)を形成した板であり、基材2aと、その基材2aの表面上に形成されたプリント配線2bとを有している。   With reference to FIGS. 9A and 9B, first, for example, a printed wiring board is prepared as the substrate 2. The printed wiring board 2 is a board on which a printed wiring (conductive portion) is formed, and includes a base material 2a and a printed wiring 2b formed on the surface of the base material 2a.

図9(A)、(B)中の右側に示されたのがSOP搭載部であり、この搭載部にはSOPの電極に電気的に接続するためのプリント配線としてのパッド2bが形成されている。また図9(A)、(B)中の左側に示されたのが角チップ部品搭載部であり、この搭載部には角チップ部品の電極に電気的に接続するためのプリント配線としてのパッド2bが形成されている。   FIGS. 9A and 9B show the SOP mounting portion on the right side, and a pad 2b as a printed wiring for electrically connecting to the SOP electrode is formed on the mounting portion. Yes. 9A and 9B show a corner chip component mounting portion on the left side, and a pad as a printed wiring for electrically connecting to the electrode of the corner chip component is shown on the mounting portion. 2b is formed.

図10(A)、(B)を参照して、上述した本実施の形態の実装部品仮固定用接着剤の供給方法を用いてプリント配線板2の表面2A上に複数の接着剤部3d、3eが印刷により形成される。このとき、SOP搭載部に形成された接着剤部3dは角チップ部品搭載部に形成された接着剤部3eよりも平面積が大きく、かつ厚みが厚くなるように形成される。   Referring to FIGS. 10A and 10B, a plurality of adhesive portions 3d on the surface 2A of the printed wiring board 2 using the above-described method for supplying the mounting component temporary fixing adhesive of the present embodiment, 3e is formed by printing. At this time, the adhesive portion 3d formed on the SOP mounting portion is formed to have a larger plane area and a larger thickness than the adhesive portion 3e formed on the square chip component mounting portion.

図11(A)、(B)を参照して、SOP搭載部にSOP10Aが接着剤部3dに接着するように搭載され、角チップ部品搭載部に角チップ10Bが接着剤部3eに接着するように搭載される。この状態で接着剤部3d、3eが硬化される。   Referring to FIGS. 11A and 11B, the SOP 10A is mounted on the SOP mounting portion so as to adhere to the adhesive portion 3d, and the square chip 10B is bonded to the adhesive portion 3e on the corner chip component mounting portion. Mounted on. In this state, the adhesive portions 3d and 3e are cured.

この際、SOP10AのスタンドオフSO1は相対的に大きいが接着剤部3dの厚みも相対的に厚くなっている。このため、SOP10Aのボディ部10a1は接着剤部3dによって適切に接着される。また接着剤部3dがはみ出してSOP10Aの電極10a2や基板2上のパッド2bに付着することも防止され、かつ電極10a2とパッド2bとが離れることも防止される。 At this time, the standoff SO1 of the SOP 10A is relatively large, but the thickness of the adhesive portion 3d is also relatively thick. For this reason, the body part 10a 1 of the SOP 10A is appropriately bonded by the adhesive part 3d. Also adhere to the pad 2b of the adhesive portion 3d is the electrode 10a 2 and the substrate 2 of SOP10A protrudes also be prevented, and the electrode 10a 2 and the pad 2b can also be prevented to leave.

また角チップ10BのスタンドオフSO2は相対的に小さいが接着剤部3eの厚みも相対的に薄くなっている。このため、角チップ10Bのボディ部10b1は接着剤部3eによって適切に接着される。また接着剤部3eがはみ出して角チップ10Bの電極10b2や基板2上のパッド2bに付着することも防止され、かつ電極10b2とパッド2bとが離れることも防止される。 Further, the standoff SO2 of the square chip 10B is relatively small, but the thickness of the adhesive portion 3e is also relatively thin. For this reason, the body portion 10b 1 of the corner chip 10B is appropriately bonded by the adhesive portion 3e. Also to be attached to the electrode 10b 2 and the pad 2b of the substrate 2 of the corner chip 10B protrude adhesive portion 3e is also prevented, and the electrode 10b 2 and the pad 2b can also be prevented to leave.

図12(A)、(B)を参照して、この状態でフローはんだ付けが行なわれる。これにより、SOP10Aの電極10a2と基板2上のパッド2bとがはんだ15により電気的に接続される。また角チップ10Bの電極10b2と基板2上のパッド2bとがはんだ15により電気的に接続される。これにより、プリント配線板2にSOP10A、角チップ10Bなどの実装部品(例えば半導体素子)が実装された半導体装置が完成する。 Referring to FIGS. 12A and 12B, flow soldering is performed in this state. Thereby, the electrode 10a 2 of the SOP 10A and the pad 2b on the substrate 2 are electrically connected by the solder 15. Further, the electrode 10b 2 of the square chip 10B and the pad 2b on the substrate 2 are electrically connected by the solder 15. As a result, a semiconductor device in which mounting components (for example, semiconductor elements) such as the SOP 10A and the square chip 10B are mounted on the printed wiring board 2 is completed.

次に、本実施の形態の実装部品仮固定用接着剤の供給方法により製造された部品実装用基板と、本実施の形態の半導体装置の製造方法により製造された半導体装置との構成について図12(A)、(B)を用いて説明する。   Next, a configuration of the component mounting substrate manufactured by the method of supplying the mounting component temporary fixing adhesive of the present embodiment and the semiconductor device manufactured by the method of manufacturing the semiconductor device of the present embodiment will be described with reference to FIG. This will be described with reference to (A) and (B).

図12(A)、(B)を参照して、本実施の形態の部品実装用基板は、実装部品を仮固定してはんだ付けするための部品実装用基板であって、基板2と、複数の接着剤部3d、3eとを有している。   Referring to FIGS. 12A and 12B, the component mounting board of the present embodiment is a component mounting board for temporarily fixing and soldering a mounted component, and includes a plurality of boards 2 and a plurality of boards. Adhesive portions 3d and 3e.

基板2は、例えばプリント配線基板であり、基材2aと、その基材2aの表面に形成されたパッドなどのプリント配線(導電部)2bとを有している。接着剤部3d、3eは、基板2の表面2Aに実装部品を仮固定するためのものであり、基板2の表面2A上に形成されている。   The board | substrate 2 is a printed wiring board, for example, and has the base material 2a and printed wiring (conductive part) 2b, such as a pad formed in the surface of the base material 2a. The adhesive portions 3d and 3e are for temporarily fixing a mounted component to the surface 2A of the substrate 2, and are formed on the surface 2A of the substrate 2.

接着剤部3dと接着剤部3eとは互いに異なる平面積を有し、かつ互いに異なる厚みを有している。例えば接着剤部3dは、接着剤部3eよりも大きな平面積を有し、かつ接着剤部3eよりも厚い厚さを有している。   The adhesive portion 3d and the adhesive portion 3e have different plane areas and have different thicknesses. For example, the adhesive part 3d has a larger plane area than the adhesive part 3e, and has a thicker thickness than the adhesive part 3e.

本実施の形態の半導体装置は、上記の部品実装用基板と、その部品実装用基板上に実装された例えばSOP、角チップなどの実装部品10A、10Bとを有している。平面積が大きく厚さが厚い接着剤部3dに接着された実装部品10Aは相対的にスタンドオフSO1の大きいものである。また平面積が小さく厚さが薄い接着剤部3eに接着された実装部品10Bは相対的にスタンドオフSO2の小さいものである。スタンドオフSO1の相対的に大きい実装部品10Aは例えばSOPであり、スタンドオフSO2の相対的に小さい実装部品10Bは例えば角チップである。   The semiconductor device of the present embodiment includes the above-described component mounting substrate and mounting components 10A and 10B such as SOP and square chips mounted on the component mounting substrate. The mounted component 10A bonded to the adhesive portion 3d having a large plane area and a large thickness has a relatively large standoff SO1. The mounted component 10B bonded to the adhesive portion 3e having a small flat area and a small thickness has a relatively small standoff SO2. A mounting component 10A having a relatively large standoff SO1 is, for example, an SOP, and a mounting component 10B having a relatively small standoff SO2 is, for example, a square chip.

実装部品10Aのボディ部10a1の底面には接着剤部3dが接しており、実装部品10Bのボディ部10b1の底面には接着剤部3eが接している。実装部品10Aの電極(端子)10a2と基板2のパッド2bとははんだ15によりはんだ付けされており、実装部品10Bの電極(端子)10b2と基板2のパッド2bとははんだ15によりはんだ付けされている。 The bottom surface of the body portion 10a 1 of the mounting part 10A is in contact adhesive portion 3d, the bottom surface of the body portion 10b 1 of the mounting part 10B is in contact with the adhesive portion 3e. The electrode (terminal) 10a 2 of the mounting component 10A and the pad 2b of the substrate 2 are soldered by the solder 15, and the electrode (terminal) 10b 2 of the mounting component 10B and the pad 2b of the substrate 2 are soldered by the solder 15. Has been.

次に、本実施の形態の作用効果について説明する。
本実施の形態の実装部品仮固定用接着剤の供給方法によれば、図3および図5に示すようにマスク1に設けられた互いに平面積の異なる複数のマスク開口部1a1、1a2、1a3内に接着剤3が充填されるとともにマスク1の他方表面1B上に接着剤3が残置される。ここで、マスク開口部1a1、1a2、1a3の平面積(開口面積)に対するタック力Ftと剪断力Fsとの関係は図8で示すようになる。これにより、図4に示すようにマスク1を基板2から分離した際に、複数の接着剤部3a、3b、3cのうち平面積の大きな接着剤部が平面積の小さな接着剤部よりも厚く形成されることになる。このため、互いに厚みの異なる複数の接着剤部3a、3b、3cを基板2の表面2A上に形成することができ、部品種別に見合った接着剤の厚さを一度の印刷工程で容易に得ることができる。
Next, the effect of this Embodiment is demonstrated.
According to the method of supplying the adhesive for temporarily mounting components according to the present embodiment, as shown in FIGS. 3 and 5, a plurality of mask openings 1a 1 , 1a 2 provided on the mask 1 and having different plane areas are provided. The adhesive 3 is filled in 1a 3 and the adhesive 3 is left on the other surface 1B of the mask 1. Here, the relationship between the tack force Ft and the shear force Fs with respect to the plane area (opening area) of the mask openings 1a 1 , 1a 2 , 1a 3 is as shown in FIG. Accordingly, when the mask 1 is separated from the substrate 2 as shown in FIG. 4, the adhesive portion having a large flat area is thicker than the adhesive portion having a small flat area among the plurality of adhesive portions 3a, 3b, and 3c. Will be formed. For this reason, a plurality of adhesive portions 3a, 3b, 3c having different thicknesses can be formed on the surface 2A of the substrate 2, and the thickness of the adhesive corresponding to the component type can be easily obtained by a single printing process. be able to.

例えば図12に示すようにスタンドオフSO1が相対的に大きい実装部品10Aの接着には厚さが厚い接着剤部3dを用いることができる。このため、実装部品10Aのボディ部10a1は接着剤部3dによって適切に接着されるとともに、接着剤部3dがはみ出して実装部品10Aの電極10a2や基板2上のパッド2bに付着することも防止され、かつ電極10a2とパッド2bとが離れることも防止される。 For example, as shown in FIG. 12, a thick adhesive portion 3d can be used for bonding a mounting component 10A having a relatively large standoff SO1. Therefore, the body portion 10a 1 of the mounting component 10A is appropriately bonded by the adhesive portion 3d, and the adhesive portion 3d protrudes and adheres to the electrode 10a 2 of the mounting component 10A and the pad 2b on the substrate 2. It is prevented, and the electrode 10a 2 and the pad 2b can also be prevented to leave.

また図12に示すようにスタンドオフSO2が相対的に小さい実装部品10Bの接着には厚さが薄い接着剤部3eを用いることができる。このため、実装部品10Bのボディ部10b1は接着剤部3eによって適切に接着されるとともに、接着剤部3eがはみ出して実装部品10Bの電極10b2や基板2上のパッド2bに付着することも防止され、かつ電極10b2とパッド2bとが離れることも防止される。 Further, as shown in FIG. 12, an adhesive portion 3e having a small thickness can be used for bonding the mounting component 10B having a relatively small standoff SO2. Therefore, the body portion 10b 1 of the mounting component 10B is appropriately bonded by the adhesive portion 3e, and the adhesive portion 3e protrudes and adheres to the electrode 10b 2 of the mounting component 10B or the pad 2b on the substrate 2. It is also prevented that the electrode 10b 2 and the pad 2b are separated from each other.

また図3および図5に示すように接着剤3がマスク1の他方表面1B上に残置されるため、マスク1の厚さよりも厚い接着剤部3aを基板2の表面2A上に残置することも可能となる。これにより、接着剤層の厚さの自由度が高くなる。   Also, as shown in FIGS. 3 and 5, the adhesive 3 is left on the other surface 1 </ b> B of the mask 1, so that an adhesive portion 3 a thicker than the thickness of the mask 1 may be left on the surface 2 </ b> A of the substrate 2. It becomes possible. Thereby, the freedom degree of the thickness of an adhesive bond layer becomes high.

またマスク1の基板2と向かい合う部分の一方表面1Aと、基板2のマスク1と向かい合う部分の表面2Aとの双方は互いに平坦である。これにより、マスク1を基板2に密着させることができ、印刷時のにじみ、つまりマスク開口部1a1、1a2、1a3からマスク1と基板2との隙間に接着剤3が入り込むことが抑制される。 In addition, one surface 1A of the portion of the mask 1 facing the substrate 2 and the surface 2A of the portion of the substrate 2 facing the mask 1 are both flat. Thus, the mask 1 can be brought into close contact with the substrate 2, bleeding upon printing, i.e. the mask opening 1a 1, 1a 2, 1a 3 gap prevented from adhesive 3 enters between the mask 1 and the substrate 2 from Is done.

本実施の形態の部品実装用基板によれば、基板2に形成された複数の接着剤部3d、3eが互いに異なる平面積と厚みとを有している。これにより、実装部品10A、10Bの品種別に見合った厚さの接着剤部3d、3eを供給することができる。   According to the component mounting board of the present embodiment, the plurality of adhesive portions 3d and 3e formed on the board 2 have different plane areas and thicknesses. As a result, it is possible to supply the adhesive portions 3d and 3e having thicknesses suitable for the types of the mounting components 10A and 10B.

なお上記においてスキージ6Aに設けた段差6aの大きさを0.1mm以上0.5mm以下とした理由は以下のとおりである。   The reason why the size of the step 6a provided on the squeegee 6A is 0.1 mm or more and 0.5 mm or less is as follows.

マスク1の厚さが例えば0.2mmの場合、上記の角チップであればスタンドオフが小さいためマスク1の厚さ分の接着剤層の厚さがあれば確実に実装部品(角チップ)を接着することができる。しかし、QFP、SOPなどのスタンドオフが0.3mm程度の実装部品を接着するためには接着剤3の厚さはマスク1の厚さと合わせて0.3mm必要となる。つまりマスク1の他方表面1B上に塗布する接着剤3の厚さは0.1mm以上必要となる。またJEITAによれば、SOPやQFPには最大0.5mmのスタンドオフを持つパッケージの規格もある。この場合、0.5−0.2=0.3mmの厚さの接着剤3をマスク1の他方表面1B上に塗布する必要がある。この0.3mmに適当なマージンを加えて0.5mmの厚さの接着剤3をマスク1の他方表面1B上に塗布すれば、ほとんどの実装部品を接着することができると考えられる。以上より、スキージ6Aに設けた段差6aの大きさは0.1mm以上0.5mm以下であることが好ましい。   If the thickness of the mask 1 is 0.2 mm, for example, the above-mentioned square chip has a small stand-off, so if the adhesive layer is as thick as the mask 1, the mounting component (square chip) can be securely Can be glued. However, in order to bond a mounted component having a standoff of about 0.3 mm such as QFP or SOP, the thickness of the adhesive 3 together with the thickness of the mask 1 is required to be 0.3 mm. That is, the thickness of the adhesive 3 applied on the other surface 1B of the mask 1 is required to be 0.1 mm or more. According to JEITA, SOP and QFP also have a package standard having a stand-off of 0.5 mm at the maximum. In this case, it is necessary to apply the adhesive 3 having a thickness of 0.5−0.2 = 0.3 mm on the other surface 1B of the mask 1. If an appropriate margin is added to 0.3 mm and an adhesive 3 having a thickness of 0.5 mm is applied on the other surface 1B of the mask 1, it is considered that most mounting components can be bonded. Accordingly, the size of the step 6a provided on the squeegee 6A is preferably 0.1 mm or more and 0.5 mm or less.

(実施の形態2)
次に、実施の形態2における実装部品仮固定用接着剤の供給方法について図13〜図15を用いて説明する。
(Embodiment 2)
Next, a method of supplying the mounting component temporary fixing adhesive in the second embodiment will be described with reference to FIGS.

図13を参照して、まず実施の形態1と同様、基板2として例えばプリント配線板が準備され、マスク1が基板2に位置合わせされた後にマスク1と基板2とが重ね合わされる。このマスク1は、実施の形態1のマスク1と同様、所望の接着剤供給位置に開口を設けた一定厚のスクリーン印刷版であり、互いに異なる平面積の複数のマスク開口部(貫通孔)1a1、1a2、1a3を有している。 Referring to FIG. 13, first, as in the first embodiment, for example, a printed wiring board is prepared as substrate 2, and after mask 1 is aligned with substrate 2, mask 1 and substrate 2 are overlaid. Like the mask 1 of the first embodiment, the mask 1 is a screen printing plate having a constant thickness in which openings are provided at desired adhesive supply positions, and a plurality of mask openings (through holes) 1a having different plane areas. 1 , 1a 2 , 1a 3 .

基板2とマスク1とを重ねた状態で、マスク1の他方表面1B上に実施の形態1と同様の接着剤3が載置される。この後、スキージ6Bが接着剤3をマスク1の他方表面1B側に押し付けながら移動する。   In a state where the substrate 2 and the mask 1 are overlapped, the adhesive 3 similar to that of the first embodiment is placed on the other surface 1B of the mask 1. Thereafter, the squeegee 6B moves while pressing the adhesive 3 against the other surface 1B side of the mask 1.

この際に使用されるスキージ6Bは、スキージ6Bをマスク1へ押し付ける際にマスク1の他方表面1Bに対向する端部に、実施の形態1のような段差を有しておらずフラットである点において実施の形態1のスキージ6Aと異なる。   The squeegee 6B used at this time is flat with no step as in the first embodiment at the end facing the other surface 1B of the mask 1 when the squeegee 6B is pressed against the mask 1. The difference from the squeegee 6A of the first embodiment.

実施の形態1では、段差6aを設けたスキージ6Aを用いることでマスク1の他方表面1B上に接着剤が残置されている。これに対して、本実施の形態では接着剤3の塗布時に段差のないスキージ6Bが図14および図15に示すように接着剤3上に乗り上げるように、スキージ6Bの硬さ、移動速度が適切に調整されている。これにより、図15に示すようにマスク1の他方表面1B上に接着剤3が所定の厚さで残置されるとともに、マスク開口部1a1、1a2、1a3内に接着剤3が充填される。 In the first embodiment, the adhesive is left on the other surface 1B of the mask 1 by using the squeegee 6A provided with the step 6a. In contrast, in the present embodiment, the hardness and moving speed of the squeegee 6B are appropriate so that the squeegee 6B without a step when riding on the adhesive 3 rides on the adhesive 3 as shown in FIGS. Has been adjusted. As a result, as shown in FIG. 15, the adhesive 3 is left with a predetermined thickness on the other surface 1B of the mask 1, and the adhesive 3 is filled in the mask openings 1a 1 , 1a 2 , 1a 3 . The

つまり、接着剤3をスキージ6Bでマスク1へ押し付けながら塗布する際に、マスク1の他方表面1Bに対向するスキージ6Bの端部が接着剤3に乗り上げることでスキージ6Bとマスク1の他方表面1Bとの間に間隔が生じて、接着剤3がマスク1の他方表面1B上に残るのである。   That is, when the adhesive 3 is applied while being pressed against the mask 1 with the squeegee 6B, the end of the squeegee 6B facing the other surface 1B of the mask 1 rides on the adhesive 3 so that the squeegee 6B and the other surface 1B of the mask 1 are applied. And the adhesive 3 remains on the other surface 1B of the mask 1.

なおこれ以外の工程については実施の形態1の実装部品仮固定用接着剤の供給方法および半導体装置の製造方法とほぼ同じであるため、その説明は繰り返さない。また本実施の形態により製造される部品実装用基板および半導体装置の構成も実施の形態1の部品実装用基板および半導体装置の構成とほぼ同じであるため、その説明は繰り返さない。   Since the other steps are substantially the same as the method for supplying the mounting component temporary fixing adhesive and the method for manufacturing the semiconductor device of the first embodiment, description thereof will not be repeated. The configuration of the component mounting board and the semiconductor device manufactured according to the present embodiment is almost the same as the configuration of the component mounting substrate and the semiconductor device of the first embodiment, and therefore description thereof will not be repeated.

このような接着剤印刷工程においても、図4に示すように大きなマスク開口部1a1を設けた箇所ではFt>Fsであるためマスク1の厚さとマスク1上に残置した接着剤3の厚みとが合わさった厚みで接着剤部3aが形成される。また中程度のマスク開口部1a2を設けた箇所ではFt≒Fsなのでマスク開口部1a2に充填された接着剤3は転写されてもマスク1上に残置した接着剤3までは転写されずマスク1とほぼ同じ厚さの接着剤部3bが形成される。また小さなマスク開口部1a3ではFt<Fsであるためマスク開口部1a3に充填されている接着剤3自体が抜けずに、基板2の表面2Aに接する一部の接着剤3だけが転写されるため、マスク1の厚さ以下の接着剤部3cが形成される。 Also in such an adhesive printing process, as shown in FIG. 4, since Ft> Fs at the location where the large mask opening 1 a 1 is provided, the thickness of the mask 1 and the thickness of the adhesive 3 left on the mask 1 The adhesive part 3a is formed with the combined thickness. Further, since Ft≈Fs at the portion where the intermediate mask opening 1a 2 is provided, the adhesive 3 filled in the mask opening 1a 2 is not transferred to the adhesive 3 left on the mask 1 even if transferred. The adhesive portion 3b having the same thickness as 1 is formed. In addition, since Ft <Fs in the small mask opening 1a 3 , the adhesive 3 itself filled in the mask opening 1a 3 does not come out, and only a part of the adhesive 3 in contact with the surface 2A of the substrate 2 is transferred. Therefore, an adhesive part 3c having a thickness equal to or smaller than the thickness of the mask 1 is formed.

次に、本実施の形態の実装部品仮固定用接着剤の供給方法で部品実装用基板を製造したときのマスク開口部の平面寸法(開口寸法)と接着剤部の仕上がり寸法(厚さ)との関係を調べた実験結果について図16を用いて説明する。   Next, the planar dimension (opening dimension) of the mask opening and the finished dimension (thickness) of the adhesive part when the component mounting substrate is manufactured by the method of supplying the mounting component temporary fixing adhesive of the present embodiment The experimental results of examining the relationship will be described with reference to FIG.

この実験においては、例えば厚さ200μmのメタルマスク1、硬度70のウレタン剣スキージ6B、粘度380Pa・sでチクソ指数5の接着剤3を使用した。メタルマスク1の真円の平面形状を有するマスク開口部の開口寸法(直径)をφ0.3mmから0.1mmきざみでφ1.0mmまで変化させ、各開口寸法におけるメタルマスク1上に当該接着剤3を投入し、約170mm/secの速度でスキージ6Bを移動させて印刷し、転写した接着剤部の高さ(仕上がり寸法)を測定した。その結果を図16に示す。   In this experiment, for example, a metal mask 1 having a thickness of 200 μm, a urethane sword squeegee 6B having a hardness of 70, and an adhesive 3 having a viscosity of 380 Pa · s and a thixo index of 5 were used. The opening dimension (diameter) of the mask opening having a perfect planar shape of the metal mask 1 is changed from φ0.3 mm to φ1.0 mm in increments of 0.1 mm, and the adhesive 3 is applied on the metal mask 1 in each opening dimension. The squeegee 6B was moved at a speed of about 170 mm / sec for printing, and the height (finished dimension) of the transferred adhesive part was measured. The result is shown in FIG.

図16の結果から、開口寸法がφ0.3mmやφ0.4mmの小さなマスク開口部では50μm程度の厚さの接着剤部を印刷できた。φ0.5mmやφ0.6mmの中間のマスク開口部ではメタルマスク1の厚さ相当の200μm前後の厚さの接着剤部を印刷できた。またφ0.6mmを超える大きなマスク開口部では250μmから300μm前後の厚さの接着剤部を印刷できた。   From the results of FIG. 16, an adhesive part having a thickness of about 50 μm could be printed in a small mask opening having an opening size of φ0.3 mm or φ0.4 mm. An adhesive portion having a thickness of about 200 μm corresponding to the thickness of the metal mask 1 could be printed at an intermediate mask opening of φ0.5 mm or φ0.6 mm. Also, an adhesive part having a thickness of about 250 μm to about 300 μm could be printed at a large mask opening exceeding φ0.6 mm.

このように先に述べたメタルマスク1、スキージ6B、接着剤3、印刷条件において、角チップ部品のようにスタンドオフが十数μm程度の部品に対してはφ0.3mmないしφ0.4mmの小さなマスク開口部を用い、SOPやQFPなどスタンドオフが200μm程度の部品に対してはφ0.5mmやφ0.6mmの中間のマスク開口部を用い、さらにスタンドオフが大きい部品に対してはφ0.7mm以上の大きなマスク開口部を用いて印刷すれば、それぞれのスタンドオフに見合った高さの接着剤を一度の印刷工程で供給できることを本発明者らは見出した。   As described above, in the metal mask 1, the squeegee 6B, the adhesive 3, and the printing conditions described above, a small φ0.3 mm to φ0.4 mm is required for a part having a standoff of about 10 μm or more such as a square chip part. Use a mask opening, use an intermediate mask opening of φ0.5mm or φ0.6mm for parts such as SOP and QFP with a standoff of about 200μm, and φ0.7mm for parts with a larger standoff. The present inventors have found that if printing is performed using the large mask openings described above, an adhesive having a height suitable for each standoff can be supplied in a single printing process.

またこの実験においては、Ft=Fsとなる点は開口寸法0.5mm〜0.6mmの範囲内に有ると考えられる。   In this experiment, it is considered that the point where Ft = Fs is in the range of the opening size of 0.5 mm to 0.6 mm.

またこの実験結果から、マスク開口部の直径に対するマスク1の厚み(0.2mm)は、φ0.4mm以下の小さな直径の場合には0.5以上となり、φ0.7mm以上の大きな直径の場合には0.3未満となり、φ0.5〜φ0.6の中間の直径の場合には0.3以上0.5未満となることもわかった。このため図13に示すマスク開口部1a1、1a2、1a3の各々の平面形状が真円形状の場合には、マスク開口部1a1の直径に対するマスク1の厚みは0.3未満であることが好ましく、マスク開口部1a2の直径に対するマスク1の厚みは0.3以上0.5未満であることが好ましく、マスク開口部1a1の直径に対するマスク1の厚みは0.5以上であることが好ましい。 Further, from this experimental result, the thickness (0.2 mm) of the mask 1 with respect to the diameter of the mask opening is 0.5 or more in the case of a small diameter of φ0.4 mm or less, and in the case of a large diameter of φ0.7 mm or more. Was less than 0.3, and in the case of an intermediate diameter of φ0.5 to φ0.6, it was also found that it was 0.3 or more and less than 0.5. Therefore, when the planar shape of each of the mask openings 1a 1 , 1a 2 , 1a 3 shown in FIG. 13 is a perfect circle, the thickness of the mask 1 with respect to the diameter of the mask opening 1a 1 is less than 0.3. The thickness of the mask 1 with respect to the diameter of the mask opening 1a 2 is preferably 0.3 or more and less than 0.5, and the thickness of the mask 1 with respect to the diameter of the mask opening 1a 1 is 0.5 or more. It is preferable.

また実施の形態1においても図16に示す結果と同様の結果が得られた。
このように本実施の形態においても、実施の形態1と同様に一度の印刷で、厚さの異なる実装部品仮固定用接着剤の供給を実現することができる。
In the first embodiment, the same result as that shown in FIG. 16 was obtained.
As described above, also in the present embodiment, it is possible to realize the supply of mounting component temporary fixing adhesives having different thicknesses by a single printing as in the first embodiment.

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。   The embodiment disclosed this time should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

1 マスク、1A 一方表面、1a1,1a2,1a3 マスク開口部、1B 他方表面、2 基板、2A 表面、2a 基材、2b プリント配線(導電部、パッド)、3 接着剤、3a,3b,3c,3d,3e 接着剤部、6A,6B スキージ、6a 段差、6a1 凹部、6a2 凸部、7 領域、10A,10B 実装部品、10a1,10b1 ボディ部、10a2,10b2 電極。 1 mask, 1A one surface, 1a 1 , 1a 2 , 1a 3 mask opening, 1B other surface, 2 substrate, 2A surface, 2a base material, 2b printed wiring (conductive portion, pad), 3 adhesive, 3a, 3b , 3c, 3d, 3e Adhesive part, 6A, 6B squeegee, 6a step, 6a 1 concave part, 6a 2 convex part, 7 region, 10A, 10B mounting part, 10a 1 , 10b 1 body part, 10a 2 , 10b 2 electrode .

Claims (10)

基板に実装部品をはんだ付けする前に、前記実装部品を前記基板に仮固定するための接着剤を前記基板に供給するための実装部品仮固定用接着剤の供給方法であって、
前記基板を準備する工程と、
互いに異なる平面積の複数の貫通孔を有するマスクの一方表面と前記基板の表面とを向かい合わせにして前記マスクと前記基板とを重ねる工程と、
前記基板と前記マスクとを重ねた状態で、複数の前記貫通孔のそれぞれの内部に充填して前記基板の前記表面に付着させるとともに前記マスクの他方表面上に残すように前記接着剤を供給する工程と、
前記接着剤を前記基板の表面に付着させた後に前記マスクを前記基板から分離することにより、前記接着剤から複数の接着剤部を前記基板の表面上に形成する工程とを備えた、実装部品仮固定用接着剤の供給方法。
Before soldering the mounting component to the substrate, the mounting component temporary fixing adhesive supply method for supplying the substrate with an adhesive for temporarily fixing the mounting component to the substrate,
Preparing the substrate;
A step of overlapping the mask and the substrate so that one surface of the mask having a plurality of through-holes having different plane areas and the surface of the substrate face each other;
In a state where the substrate and the mask are overlapped, the adhesive is supplied so that the inside of each of the plurality of through holes is filled and adhered to the surface of the substrate and left on the other surface of the mask. Process,
Forming a plurality of adhesive portions from the adhesive on the surface of the substrate by separating the mask from the substrate after the adhesive is attached to the surface of the substrate. Supply method of temporary fixing adhesive.
前記基板の表面に形成された複数の前記接着剤部のうち平面積の大きな接着剤部は平面積の小さな接着剤部よりも厚く形成される、請求項1に記載の実装部品仮固定用接着剤の供給方法。   The adhesive for temporarily mounting components according to claim 1, wherein an adhesive portion having a large flat area among the plurality of adhesive portions formed on the surface of the substrate is formed thicker than an adhesive portion having a small flat area. Agent supply method. 前記接着剤を供給する工程は、前記接着剤をスキージで前記マスクへ押し付けながら塗布する工程を含み、
前記スキージを前記マスクへ押し付ける際に前記マスクの前記他方表面に対向する前記スキージの端部が段差を有し、かつ前記段差により前記マスクの前記他方表面からの距離が小さい部分と距離が大きい部分とを有しており、
前記接着剤を供給する工程において、前記スキージの前記距離の大きい部分と前記マスクの前記他方表面との間で前記接着剤が前記マスクの前記他方表面上に残る、請求項1または2に記載の実装部品仮固定用接着剤の供給方法。
The step of supplying the adhesive includes a step of applying the adhesive while pressing the adhesive against the mask with a squeegee,
When the squeegee is pressed against the mask, the end of the squeegee facing the other surface of the mask has a step, and the step is a portion where the distance from the other surface of the mask is small and a portion where the distance is large And
3. The method according to claim 1, wherein in the step of supplying the adhesive, the adhesive remains on the other surface of the mask between the large distance portion of the squeegee and the other surface of the mask. Supply method of adhesive for temporarily fixing mounted components.
前記接着剤を供給する工程は、前記接着剤をスキージで前記マスクへ押し付けながら塗布する工程を含み、
前記スキージを前記マスクへ押し付ける際に前記マスクの前記他方表面に対向する前記スキージの端部が前記接着剤に乗り上げて前記マスクの前記他方表面との間に間隔を有することにより、前記接着剤が前記マスクの前記他方表面上に残る、請求項1または2に記載の実装部品仮固定用接着剤の供給方法。
The step of supplying the adhesive includes a step of applying the adhesive while pressing the adhesive against the mask with a squeegee,
When the squeegee is pressed against the mask, an end of the squeegee that faces the other surface of the mask rides on the adhesive and has a gap between the other surface of the mask and the adhesive. The method for supplying an adhesive for temporarily fixing a mounting component according to claim 1, wherein the adhesive remains on the other surface of the mask.
前記マスクの前記基板の表面に向かい合う部分の前記一方表面は平坦である、請求項1〜4のいずれかに記載の実装部品仮固定用接着剤の供給方法。   The method for supplying an adhesive for temporarily mounting components according to claim 1, wherein the one surface of the portion of the mask facing the surface of the substrate is flat. 請求項1〜5のいずれかに記載の実装部品仮固定用接着剤の供給方法により形成された複数の前記接着剤部の少なくとも1つに前記実装部品を仮固定する工程をさらに備えた、半導体装置の製造方法。   A semiconductor, further comprising a step of temporarily fixing the mounting component to at least one of the plurality of adhesive portions formed by the method for supplying an adhesive for temporarily fixing a mounting component according to claim 1. Device manufacturing method. 前記実装部品を前記基板に仮固定した後、前記実装部品を前記基板にはんだ付けする工程をさらに備えた、請求項6に記載の半導体装置の製造方法。   The method for manufacturing a semiconductor device according to claim 6, further comprising a step of soldering the mounting component to the substrate after temporarily fixing the mounting component to the substrate. 実装部品を仮固定してはんだ付けするための部品実装用基板であって、
基板と、
前記基板の表面上に形成された、前記基板に前記実装部品を仮固定するための複数の接着剤部とを備え、
複数の前記接着剤部は、互いに異なる平面積を有し、かつ互いに異なる厚みを有している、部品実装用基板。
A component mounting board for temporarily fixing and soldering a mounted component,
A substrate,
A plurality of adhesive portions formed on the surface of the substrate for temporarily fixing the mounting component to the substrate;
The component mounting board, wherein the plurality of adhesive portions have different plane areas and have different thicknesses.
前記基板の表面に形成された複数の接着剤部のうち平面積の大きな接着剤部は平面積の小さな接着剤部よりも厚く形成されている、請求項8に記載の部品実装用基板。   The component mounting substrate according to claim 8, wherein an adhesive portion having a large flat area among a plurality of adhesive portions formed on the surface of the substrate is formed thicker than an adhesive portion having a small flat area. 請求項8または9に記載の部品実装用基板と、
複数の前記接着剤部の各々によって前記基板に取り付けられた複数の実装部品とを備え、
複数の前記実装部品の各々は前記基板にはんだ付けされている、半導体装置。
The component mounting board according to claim 8 or 9,
A plurality of mounting parts attached to the substrate by each of the plurality of adhesive portions,
A semiconductor device, wherein each of the plurality of mounting components is soldered to the substrate.
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