JP2012084749A - Optical coupling semiconductor device and electric appliance - Google Patents

Optical coupling semiconductor device and electric appliance Download PDF

Info

Publication number
JP2012084749A
JP2012084749A JP2010230942A JP2010230942A JP2012084749A JP 2012084749 A JP2012084749 A JP 2012084749A JP 2010230942 A JP2010230942 A JP 2010230942A JP 2010230942 A JP2010230942 A JP 2010230942A JP 2012084749 A JP2012084749 A JP 2012084749A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light emitting
light receiving
light
semiconductor device
tie bar
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2010230942A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshihiko Matsuo
義彦 松尾
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Priority to JP2010230942A priority Critical patent/JP2012084749A/en
Publication of JP2012084749A publication Critical patent/JP2012084749A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/48247Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item

Landscapes

  • Photo Coupler, Interrupter, Optical-To-Optical Conversion Devices (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce the waste of a material composing a lead frame used in an optical coupling semiconductor device by cutting the center part of a portion that is used as tie bars for stopping resin flow during resin molding, simply bending both sides of the cut portion and using them as the external terminals of a package.SOLUTION: Tie bars Ta and Tb provided in each element region of a lead frame and functioning as a sealing resin flow stopper when resin sealing are processed so that external terminals 25c, 24c and 23c, 22c of light-emitting elements Ee and light-receiving elements Re extending to the outside of a package are formed.

Description

本発明は、光結合半導体装置及び電気機器に関し、特に、発光素子と受光素子とを光結合するよう有してなる光結合半導体装置、および光結合半導体装置をフォトカプラとして用いた電気機器において、光結合半導体装置をリードフレームの有効面積を効果的に活用可能で安価な構造としたものである。   The present invention relates to an optically coupled semiconductor device and an electrical device, and in particular, in an optically coupled semiconductor device having a light emitting element and a light receiving element so as to optically couple, and an electrical device using the optically coupled semiconductor device as a photocoupler, The optically coupled semiconductor device has an inexpensive structure that can effectively utilize the effective area of the lead frame.

従来からこのような光結合半導体装置として種々のものがあり、図11は、従来の代表的な光結合半導体装置として2層モールドタイプのものを示している。   Conventionally, there are various types of such optically coupled semiconductor devices, and FIG. 11 shows a two-layer mold type as a typical conventional optically coupled semiconductor device.

従来の光結合半導体装置50では、発光素子50a及び受光素子50bがリードフレーム51a及び52a上に光結合するよう配置され、発光素子50aはプリコート樹脂Pcにより覆われ、さらに、発光素子50a及び受光素子50bが透光性樹脂Tr及び遮光性樹脂Srにより覆われている。   In the conventional optically coupled semiconductor device 50, the light emitting element 50a and the light receiving element 50b are disposed on the lead frames 51a and 52a so as to be optically coupled. The light emitting element 50a is covered with the precoat resin Pc. 50b is covered with translucent resin Tr and light-shielding resin Sr.

以下、簡単に製造方法について説明する。   Hereinafter, the manufacturing method will be briefly described.

まず、あらかじめ折り曲げ加工されたCu合金、Fe合金等の金属材料でできたリードフレーム51a及び52aのヘッダー部上に、発光素子50a及び受光素子50bを各々個別にAgペースト等の導電性ペーストで素子搭載(以下、ダイボンドと言う。)し、各々の素子と隣接するリードフレーム51b及び52bとにAu線等のワイヤWで結線接続(以下、ワイヤボンドと言う。)を施す。   First, the light emitting element 50a and the light receiving element 50b are individually formed with a conductive paste such as an Ag paste on the header portions of the lead frames 51a and 52a made of a metal material such as a Cu alloy or an Fe alloy that is bent in advance. It is mounted (hereinafter referred to as die bond), and the lead frames 51b and 52b adjacent to each element are connected by wire W such as Au wire (hereinafter referred to as wire bond).

次に、前記発光素子50aを応力緩和用としてシリコーン樹脂Pcで被った(以下、プリコートと言う。)後、各々の素子がダイボンドされたリードフレーム51a及び52aをスポット溶接、又はローディングフレームセットすることにより、各々の素子を対向するよう位置決めする。   Next, after the light emitting element 50a is covered with a silicone resin Pc for stress relaxation (hereinafter referred to as pre-coating), the lead frames 51a and 52a to which the respective elements are die-bonded are spot welded or set to a loading frame. Thus, each element is positioned so as to face each other.

さらに、光学的に前記発光素子50aから受光素子50bへの光路が形成されるように、透光性エポキシ樹脂Trにて1次トランスファモールドによりインナーパッケージ形成を行い、樹脂漏れした余分な箇所の樹脂バリをバリ取りする。   Further, an inner package is formed by primary transfer molding with a light-transmitting epoxy resin Tr so that an optical path from the light emitting element 50a to the light receiving element 50b is optically formed, and the resin at the excess portion where the resin leaks is formed. Deburr the burrs.

続いて、外乱光の入光や内部からの光漏れ無く発光素子50aから受光素子50bへの光信号伝達ができるよう遮光性エポキシ樹脂Srにて2次トランスファモールドしてアウターパッケージを形成する。   Subsequently, the outer package is formed by secondary transfer molding with a light-shielding epoxy resin Sr so that an optical signal can be transmitted from the light-emitting element 50a to the light-receiving element 50b without incident disturbance light or light leakage from the inside.

その後、リードフレーム51a、51b、52a、52bの外装めっきを行い、タイバーレジンカットなどを行う。つまり、隣接するリードフレーム間を支持し、かつトランスファモールド等の樹脂封止の際の樹脂漏れを低減するよう設けられた補助リード部を切除し、さらに、不要樹脂部を切除する。   Thereafter, exterior plating of the lead frames 51a, 51b, 52a, 52b is performed, and tie bar resin cutting is performed. That is, the auxiliary lead portion provided so as to support between adjacent lead frames and reduce resin leakage at the time of resin sealing such as a transfer mold is excised, and further, an unnecessary resin portion is excised.

次に、フォーミング、つまり、パッケージから露出しているリードフレームを成形加工し、外部端子とする。   Next, forming, that is, the lead frame exposed from the package is molded to form external terminals.

その後、絶縁耐圧試験、つまり、入力素子である発光素子と、出力素子である受光素子との間の絶縁性の評価試験を行い、電気特性検査、外観検査、梱包工程を経て、光結合半導体装置として出荷される。   Thereafter, an insulation withstand voltage test, that is, an evaluation test of insulation between the light emitting element as the input element and the light receiving element as the output element, and after passing through the electrical characteristic inspection, appearance inspection, and packaging process, the optically coupled semiconductor device Will be shipped as.

また、このような光結合半導体装置の製造方法としては、特許文献1に開示の方法もある。   Further, as a method for manufacturing such an optically coupled semiconductor device, there is also a method disclosed in Patent Document 1.

図10は、この特許文献1に開示の光結合半導体装置及びその製造方法を説明する図であり、図10(a)は断面構造を示し、図10(b)は側面を示している。   10A and 10B are diagrams for explaining the optically coupled semiconductor device and the manufacturing method thereof disclosed in Patent Document 1. FIG. 10A shows a cross-sectional structure, and FIG. 10B shows a side surface.

図10に示す光結合半導体装置10aは、発光素子2より伝達される光を効率的に受けるために、受光素子1を発光素子2の対向位置に配置させた構造を備えた対向型の光結合装置である。   An optical coupling semiconductor device 10a shown in FIG. 10 has a structure in which the light receiving element 1 is disposed at a position facing the light emitting element 2 in order to efficiently receive the light transmitted from the light emitting element 2. Device.

この光結合半導体装置10aでは、入力側リード5は、発光側ヘッダー部4または発光側電極パッド2aに電気的に接続された複数のパッケージ側リード部材15と、該パッケージ側リード部材15に接続されており、全体が前記パッケージ7の外部に配置されている複数の付加接合側リード部材28とから構成されている。出力側リード6は、受光用ヘッダー部3または発光側電極パッド2aに電気的に接続された複数のパッケージ側リード部材16と、該パッケージ側リード部材16に接続されており、全体が前記パッケージ7の外部に配置されている複数の付加接合用リード部材26とから構成されている。   In the optically coupled semiconductor device 10a, the input-side lead 5 is connected to the plurality of package-side lead members 15 electrically connected to the light-emitting-side header portion 4 or the light-emitting-side electrode pad 2a, and the package-side lead member 15. The whole is composed of a plurality of additional joining side lead members 28 arranged outside the package 7. The output-side lead 6 is connected to a plurality of package-side lead members 16 electrically connected to the light-receiving header portion 3 or the light-emitting-side electrode pad 2a, and to the package-side lead member 16, and the whole is connected to the package 7 And a plurality of additional joining lead members 26 arranged on the outside.

なお、図10中、5a,6aは接合部、7aは透光性樹脂部、7bは遮光性樹脂部、7はパッケージ、8a,8bはボンディングワイヤ、10はリード接合部封止樹脂部、15a,16aはパッケージ側リード部材15、16の導出部位、28a、26aは屈曲部である。   In FIG. 10, 5a and 6a are joint parts, 7a is a translucent resin part, 7b is a light-shielding resin part, 7 is a package, 8a and 8b are bonding wires, 10 is a lead joint sealing resin part, 15a 16a are lead portions of the package-side lead members 15 and 16, and 28a and 26a are bent portions.

以下、この光結合半導体装置(フォトカプラ)の製造方法について簡単に説明する。   Hereinafter, a method for manufacturing this optically coupled semiconductor device (photocoupler) will be briefly described.

図10に示すように、後に外部端子となるリードフレーム部位(付加接合用リード部材)を形成していないリード部材(第1のリード部材)15、16上に発光素子2、受光素子1を各々ダイボンドし、ワイヤボンドを行う。その後、透光性エポキシ樹脂7a、遮光性エポキシ樹脂7bにてトランスファモールドしてアウターパッケージを形成する。   As shown in FIG. 10, the light-emitting element 2 and the light-receiving element 1 are respectively disposed on lead members (first lead members) 15 and 16 that do not have lead frame portions (lead members for additional bonding) that will later become external terminals. Die bond and wire bond. Thereafter, the outer package is formed by transfer molding using the light-transmitting epoxy resin 7a and the light-blocking epoxy resin 7b.

その後、リード部材15、16に、別途用意した付加接合用リード部材(第2のリード部材)28、26を結合させて、光結合半導体装置10aを形成する。   After that, separately prepared additional joining lead members (second lead members) 28 and 26 are coupled to the lead members 15 and 16 to form the optically coupled semiconductor device 10a.

また、特許文献2には、上記のような光結合半導体装置およびその製造方法の他の例が示されている。   Patent Document 2 shows another example of the above-described optically coupled semiconductor device and a method for manufacturing the same.

図12は、特許文献2に開示の光結合半導体装置に用いるリードフレームを説明する平面図であり、光結合素子用リードフレームを構成する発光側リードフレーム500(図12(a))および受光側リードフレーム600(図12(b))、並びにこれらのリードフレームを組み合わせて樹脂封止体を形成した状態(図12(c))を示している。   FIG. 12 is a plan view for explaining a lead frame used in the optically coupled semiconductor device disclosed in Patent Document 2. The light emitting side lead frame 500 (FIG. 12A) and the light receiving side constituting the optical coupling element lead frame. The lead frame 600 (FIG. 12B) and the state (FIG. 12C) in which these lead frames are combined to form a resin sealing body are shown.

発光側リードフレーム500のヘッダー部530に発光素子を、受光側リードフレーム600のヘッダー部630に受光素子をそれぞれダイボンディング、ワイヤボンディングした後、両リードフレーム500、600の溶接部540、640を重ね合わせた状態でスポット溶接にて両リードフレーム500、600を接続する。   The light emitting element is die bonded and wire bonded to the header portion 530 of the light emitting side lead frame 500 and the light receiving element is bonded to the header portion 630 of the light receiving side lead frame 600, and then the welded portions 540 and 640 of both lead frames 500 and 600 are overlapped. In the combined state, both lead frames 500 and 600 are connected by spot welding.

この後、モールド金型(図示せず)内でヘッダー部530、630を覆う1次モールド体(図示せず)を形成する。さらに、1次モールド体の上から、図12(c)に示すような2次モールド体700を形成する。   Thereafter, a primary mold body (not shown) that covers the header portions 530 and 630 is formed in a mold die (not shown). Further, a secondary mold body 700 as shown in FIG. 12C is formed on the primary mold body.

2次モールド体700から延出したリード部520、620には、錫系はんだによる外装めっきが施される。この外装めっきは、通常、電解めっき法で行われるため、図12(c)に示すように、めっきのためのカソード電極Kに、両リードフレーム500、600が結合されたもの(以下、『リードフレーム結合体』とする。)を手作業で挟み込んで保持する。   The lead portions 520 and 620 extending from the secondary mold body 700 are subjected to exterior plating with tin-based solder. Since this exterior plating is usually performed by an electrolytic plating method, as shown in FIG. 12 (c), both lead frames 500 and 600 are coupled to a cathode electrode K for plating (hereinafter referred to as “lead”). The frame combined body ”) is manually sandwiched and held.

図12に示す光結合半導体装置では、発光素子側、受光素子側のリードフレームを各々準備し、溶接等の接合で発光素子と受光素子とが対向する構造にすることで、光結合半導体装置を形成しているが、その改良型として、溶接の接合をなくし、リードフレームの嵌合加工を施した発光素子リードフレーム及び受光側リードフレームを設けることで光結合半導体装置を提供できるものも開示されている。   In the optically coupled semiconductor device shown in FIG. 12, lead frames on the light-emitting element side and the light-receiving element side are prepared, and the light-emitting element and the light-receiving element are opposed to each other by welding or the like. Although it is formed, as an improved type thereof, there is also disclosed a device capable of providing an optically coupled semiconductor device by providing a light emitting element lead frame and a light receiving side lead frame in which welding is eliminated and the lead frame is fitted. ing.

図13は、上記特許文献2に開示の改良型のリードフレームを示す図であり、その発光側リードフレームの平面図及び側面図(図13(a))、受光側リードフレームの平面図及び側面図(図13(b))、発光側リードフレームと受光側リードフレームとを組み合わせて1次モールドを施した状態の平面図(図13(c))である。   FIG. 13 is a view showing an improved lead frame disclosed in the above-mentioned Patent Document 2, a plan view and a side view of the light emitting side lead frame (FIG. 13A), and a plan view and a side view of the light receiving side lead frame. FIG. 13 (b) is a plan view (FIG. 13 (c)) showing a state where the primary mold is applied by combining the light emitting side lead frame and the light receiving side lead frame.

このような発光側リードフレーム100と受光側リードフレーム200とから構成される光結合素子用リードフレームを用いた光結合素子の製造工程について説明する。   An optical coupling element manufacturing process using the optical coupling element lead frame constituted by the light emitting side lead frame 100 and the light receiving side lead frame 200 will be described.

まず、両リードフレーム100、200のヘッダー部130、230に発光素子及び受光素子をそれぞれダイボンディング及びワイヤボンディングする。なお、発光素子には保護のため、シリコーン樹脂等のプリコート樹脂を塗布する。   First, a light emitting element and a light receiving element are die-bonded and wire-bonded to the header portions 130 and 230 of both lead frames 100 and 200, respectively. Note that a precoat resin such as a silicone resin is applied to the light emitting element for protection.

次に、両素子が対向するように両リードフレーム100、200を組み合わせてリードフレーム結合体とする。この状態で、両リードフレーム100、200の開孔111a、111b、211a、211bはそれぞれ一致するとともに、受光側リードフレーム200のタイバー240等は、発光側リードフレーム100の位置決め用切込160に嵌まる。また、同時に発光側リードフレーム100の突起部150は、受光側リードフレーム200の開孔250に臨む。   Next, both lead frames 100 and 200 are combined so that both elements face each other to form a lead frame combined body. In this state, the openings 111a, 111b, 211a, and 211b of the lead frames 100 and 200 are aligned with each other, and the tie bars 240 and the like of the light receiving side lead frame 200 are fitted into the positioning notches 160 of the light emitting side lead frame 100. Maru. At the same time, the protrusion 150 of the light emitting side lead frame 100 faces the opening 250 of the light receiving side lead frame 200.

次に、両リードフレーム100、200に1次モールド体を形成するための1次モールド用金型の型締めを行う。すると、突起部150は開孔250に嵌まり込む。これにより、両リードフレーム100、200は電気的にも接続されることになる。1次モールド体を形成した(図13(c))後、1次モールド用金型の型開きをし、1次モールド体の厚バリ除去と、1次タイバー141、241のカットとを行う。この際、突起部150は開孔250に嵌まり込んでいるので、1次モールド用金型の型開きをしても、突起部150が開孔250から外れることはない。   Next, a mold for a primary mold for forming a primary mold body on both the lead frames 100 and 200 is clamped. Then, the protrusion 150 is fitted into the opening 250. As a result, both lead frames 100 and 200 are also electrically connected. After the primary mold body is formed (FIG. 13 (c)), the mold for the primary mold is opened to remove the thickness burrs from the primary mold body and to cut the primary tie bars 141 and 241. At this time, since the protrusion 150 is fitted in the opening 250, the protrusion 150 does not come out of the opening 250 even if the mold for the primary mold is opened.

さらに、2次モールド用金型(図示省略)により、2次モールド体を形成する。2次モールド体は、2次タイバーに遮られて他の部分に廻り込むことがない。この後、2次モールド体に対してアフターキュアを行う。   Further, a secondary mold body is formed by a secondary mold (not shown). The secondary mold body is blocked by the secondary tie bar and does not go around to other parts. Thereafter, after-curing is performed on the secondary mold body.

上述のようにして形成されたリードフレーム結合体に対して外装めっきを施すのであるが、リードフレーム結合体を構成する両リードフレーム100、200は、突起部150と開孔250とによって電気的に接続されているので、確実に両リードフレーム100、200に外装めっきを施すことができる。   The lead frame assembly formed as described above is subjected to exterior plating. Both the lead frames 100 and 200 constituting the lead frame assembly are electrically connected by the protrusion 150 and the opening 250. Since they are connected, it is possible to reliably apply exterior plating to both lead frames 100 and 200.

外装めっきが完了したならば、2次タイバーのカットと、リード部120、220のリードフォーミングを行って光結合素子として完成する。   When the exterior plating is completed, the secondary tie bar is cut and the lead portions 120 and 220 are lead-formed to complete the optical coupling element.

なお、図13中、110a、110bは発光側リードフレームのクレードル部、170は発光側凹部、210a、210bは受光側リードフレームのクレードル部、270は受光側凹部、311は突起部150と開孔250とが嵌合した部分を覆う樹脂モールドである。   In FIG. 13, 110a and 110b are cradle portions of the light emitting side lead frame, 170 is a light emitting side concave portion, 210a and 210b are cradle portions of the light receiving side lead frame, 270 is a light receiving side concave portion, and 311 is a protrusion 150 and an opening. This is a resin mold that covers a portion where 250 is fitted.

特開2010−10201号公報JP 2010-10201 A 特開平6−132561号公報Japanese Patent Laid-Open No. 6-132561

しかしながら、前述した従来の光結合半導体装置では、一般に構成部材の価格構成比率の高いものとして、半導体素子(発光素子、受光素子)、封止樹脂、リードフレームがあり、安価な光結合半導体装置の製造するためにはその価格を抑制する必要があった。   However, in the conventional optically coupled semiconductor device described above, there are generally semiconductor elements (light emitting elements, light receiving elements), sealing resin, and lead frames that have a high price component ratio. In order to manufacture, it was necessary to control the price.

例えば、特許文献1に記載のもの(図10)では、第1のリード部材にて発光素子側及び受光素子側に各々専用に設け、更に第2のリード部材を別途要し、第1と第2のリード部材を結合している。この場合、発光素子側及び受光素子側に各々専用の第1のリード部材、更に第2のリード部材を必要とすることから、リードフレームに要する価格が高価であり、光結合半導体装置あたりのリードフレームに占める材料価格が高くなるという問題があった。   For example, in the device described in Patent Document 1 (FIG. 10), the first lead member is provided exclusively on the light emitting element side and the light receiving element side, and a second lead member is additionally required. Two lead members are coupled. In this case, since a dedicated first lead member and a second lead member are required on the light emitting element side and the light receiving element side, respectively, the cost required for the lead frame is high, and the lead per optical coupling semiconductor device There was a problem that the material price in the frame was high.

図11に示すものや特許文献2に開示のもの(図12および図13)の場合、発光素子側及び受光素子側の各々のリードフレームを準備する上に、それぞれのリードフレームには端子形成の為の空間スペースがあり、リードフレームの単位面積当たりの取れ率には無駄が多い、つまり、光結合半導体装置あたりのリードフレームに占める材料価格が高くなるという問題があった。   In the case of the one shown in FIG. 11 or the one disclosed in Patent Document 2 (FIGS. 12 and 13), in addition to preparing each lead frame on the light emitting element side and the light receiving element side, each lead frame is provided with terminals. Therefore, there is a problem that the yield per unit area of the lead frame is wasteful, that is, the material cost of the lead frame per optical coupling semiconductor device is high.

本発明は、上記問題点を解決するためになされたもので、リードフレームの有効面積を効果的に活用した安価な光結合半導体装置、およびこのような光結合半導体装置を搭載した電気機器を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and provides an inexpensive optically coupled semiconductor device that effectively utilizes the effective area of a lead frame, and an electrical apparatus equipped with such an optically coupled semiconductor device. The purpose is to do.

本発明に係る光結合半導体装置は、リードフレームに含まれる複数の素子領域の各々に、発光素子及び受光素子をこれらが光結合するよう同一面内に配置して樹脂封止し、該リードフレームの樹脂封止した樹脂封止部を個々のパッケージに分離してなる光結合半導体装置であって、該リードフレームは、該素子領域毎に設けられ、樹脂封止時に封止樹脂の流れ止めとして機能するタイバー部を有し、該タイバー部は、その加工により、該発光素子及び該受光素子の、該パッケージの外部に延びる外部端子が形成される構造を有しており、そのことにより上記目的が達成される。   In the optically coupled semiconductor device according to the present invention, a light emitting element and a light receiving element are disposed in the same plane so that they are optically coupled to each of a plurality of element regions included in the lead frame, and the lead frame is sealed. An optically coupled semiconductor device in which a resin-sealed resin-sealed portion is separated into individual packages, wherein the lead frame is provided for each element region and serves as a sealing resin flow stop during resin-sealing. The tie bar portion has a structure in which external terminals extending to the outside of the package of the light emitting element and the light receiving element are formed by the processing. Is achieved.

本発明は、上記光結合半導体装置において、前記リードフレームの素子領域は、前記発光素子を搭載する発光側ヘッダ部と、該発光素子の外部端子となる発光側タイバー部と、該発光側タイバー部と該発光側ヘッダ部とを連結する発光側連結部と、前記受光素子を搭載する受光側ヘッダ部と、該受光素子の外部端子となる受光側タイバー部と、該受光側タイバー部と該受光側ヘッダ部とを連結する受光側連結部とを含むことが好ましい。   According to the present invention, in the optically coupled semiconductor device, the element region of the lead frame includes a light emitting side header portion on which the light emitting element is mounted, a light emitting side tie bar portion serving as an external terminal of the light emitting element, and the light emitting side tie bar portion. A light-emitting side connecting part that connects the light-emitting side header part, a light-receiving side header part that mounts the light-receiving element, a light-receiving side tie bar part that serves as an external terminal of the light-receiving element, the light-receiving side tie bar part, It is preferable that the light receiving side connection part which connects a side header part is included.

本発明は、上記光結合半導体装置において、前記リードフレームの、前記発光側ヘッダ部から前記発光側連結部を介して前記発光側タイバー部に至る発光側リード部は、該発光側ヘッダ部及び該発光側タイバー部と該発光側連結部との接続部で略90度の角度で屈曲しており、前記リードフレームの、前記受光側ヘッダ部から前記受光側連結部を介して前記受光側タイバー部に至る受光側リード部は、該受光側ヘッダ部及び該受光側タイバー部と該受光側連結部との接続部で略90度の角度で屈曲していることが好ましい。   According to the present invention, in the optically coupled semiconductor device, the light emitting side lead portion of the lead frame from the light emitting side header portion to the light emitting side tie bar portion through the light emitting side connecting portion is formed of the light emitting side header portion and the light emitting side header portion. The connection portion between the light emitting side tie bar portion and the light emitting side coupling portion is bent at an angle of approximately 90 degrees, and the light receiving side tie bar portion of the lead frame from the light receiving side header portion through the light receiving side coupling portion. It is preferable that the light-receiving-side lead portion that extends to be bent at an angle of approximately 90 degrees at the connection portion between the light-receiving-side header portion and the light-receiving-side tie bar portion and the light-receiving-side connecting portion.

本発明は、上記光結合半導体装置において、前記リードフレームの素子領域は、前記発光素子を搭載する発光側ヘッダ部から該発光素子の外部端子に至る発光側リード部として、該発光素子の一対の素子電極に対応する第1及び第2の発光側リード部を有し、かつ、前記受光素子を搭載する受光側ヘッダ部から該受光素子の外部端子に至る受光側リード部として、該受光素子の一対の素子電極に対応する第1及び第2の受光側リード部を有し、該第1及び第2の発光側リード部と第1及び第2の受光側リード部とは、該発光側ヘッダ部に搭載された発光素子及び該受光側ヘッダ部に搭載された受光素子を囲むよう配置されていることが好ましい。   According to the present invention, in the optically coupled semiconductor device, the element region of the lead frame is a light emitting side lead portion extending from a light emitting side header portion on which the light emitting element is mounted to an external terminal of the light emitting element. As a light receiving side lead portion having first and second light emitting side lead portions corresponding to the element electrodes and extending from the light receiving side header portion on which the light receiving device is mounted to the external terminal of the light receiving device, First and second light receiving side lead portions corresponding to a pair of element electrodes, and the first and second light emitting side lead portions and the first and second light receiving side lead portions are the light emitting side headers. It is preferable that the light-emitting element mounted on the light-receiving portion and the light-receiving element mounted on the light-receiving side header portion are disposed so as to surround the light-emitting element.

本発明は、上記光結合半導体装置において、前記リードフレームの素子領域では、前記タイバー部が複数形成されており、前記第1の発光側リード部に含まれる外部端子と、前記第2の発光側リード部に含まれる外部端子とは、前記複数のタイバー部のうちの発光側タイバー部として連結されており、前記第1の受光側リード部に含まれる外部端子と、前記第2の受光側リード部に含まれる外部端子とは、前記複数のタイバー部のうちの受光側タイバー部として連結されていることが好ましい。   In the optically coupled semiconductor device according to the present invention, a plurality of the tie bar portions are formed in the element region of the lead frame, the external terminals included in the first light emitting side lead portion, and the second light emitting side. The external terminal included in the lead portion is connected as a light emitting side tie bar portion of the plurality of tie bar portions, and the external terminal included in the first light receiving side lead portion and the second light receiving side lead. It is preferable that the external terminal included in the portion is connected as a light receiving side tie bar portion among the plurality of tie bar portions.

本発明は、上記光結合半導体装置において、前記リードフレームでは、前記発光素子及び前記受光素子の外部端子に加工されるタイバー部が、隣接する素子領域の間で連結されていることが好ましい。   According to the present invention, in the above-described optically coupled semiconductor device, in the lead frame, it is preferable that a tie bar portion processed into an external terminal of the light emitting element and the light receiving element is connected between adjacent element regions.

本発明は、上記光結合半導体装置において、前記リードフレームでは、前記第1の発光側リード部に含まれる外部端子と前記第2の発光側リード部に含まれる外部端子とに分離されるべき前記タイバー部と、前記第1の受光側リード部に含まれる外部端子と前記第2の受光側リード部に含まれる外部端子とに分離されるべき前記タイバー部とが、隣接する素子領域の間で連結されていることが好ましい。   According to the present invention, in the optically coupled semiconductor device, the lead frame should be separated into an external terminal included in the first light emitting side lead portion and an external terminal included in the second light emitting side lead portion. A tie bar portion and the tie bar portion to be separated into an external terminal included in the first light receiving side lead portion and an external terminal included in the second light receiving side lead portion are between adjacent element regions. It is preferable that it is connected.

本発明は、上記光結合半導体装置において、前記リードフレームは、前記素子領域の側縁に沿って位置するタイバー部を、その側面が、前記発光素子及び前記受光素子を樹脂封止する封止金型から流出した樹脂の流れ止めとして機能するよう構成したものであることが好ましい。   According to the present invention, in the optically coupled semiconductor device, the lead frame includes a tie bar portion positioned along a side edge of the element region, and a side surface of the lead frame that seals the light emitting element and the light receiving element with resin. It is preferable that it is configured to function as a flow stopper for the resin flowing out from the mold.

本発明は、上記光結合半導体装置において、前記第1の発光側リード部に含まれる外部端子と、前記第2の発光側リード部に含まれる外部端子とは、これらの外部端子が一体として連結されてなる前記発光側タイバー部を切断し、該発光側タイバー部の切断部分の両側を屈曲させて形成したものであり、前記第1の受光側リード部に含まれる外部端子と、前記第2の受光側リード部に含まれる外部端子とは、これらの外部端子が一体として連結されてなる前記受光側タイバー部を切断し、該受光側タイバー部の切断部分の両側を屈曲させて形成したものであることが好ましい。   According to the present invention, in the optically coupled semiconductor device, the external terminal included in the first light emitting side lead portion and the external terminal included in the second light emitting side lead portion are connected together. The light emitting side tie bar portion is cut and bent on both sides of the light emitting side tie bar portion. The external terminals included in the first light receiving side lead portion, and the second The external terminal included in the light receiving side lead part is formed by cutting the light receiving side tie bar part in which these external terminals are integrally connected and bending both sides of the cut part of the light receiving side tie bar part. It is preferable that

本発明は、上記光結合半導体装置において、前記発光素子は、プリコート樹脂により被覆され、該プリコート樹脂により被覆された発光素子と、前記受光素子とが、透光性の内部モールド樹脂により被覆され、該内部モールド樹脂の外側が遮光性の外部モールド樹脂により被覆されていることが好ましい。   In the optically coupled semiconductor device according to the present invention, the light emitting element is covered with a precoat resin, the light emitting element covered with the precoat resin and the light receiving element are covered with a translucent internal mold resin, It is preferable that the outside of the internal mold resin is covered with a light-shielding external mold resin.

本発明は、上記光結合半導体装置において、前記発光素子と前記受光素子とが透光性のドッキング樹脂により被覆され、該ドッキング樹脂の外側が遮光性のモールド樹脂により被覆されていることが好ましい。   In the optically coupled semiconductor device according to the aspect of the invention, it is preferable that the light emitting element and the light receiving element are covered with a light-transmitting docking resin, and the outside of the docking resin is covered with a light-blocking mold resin.

本発明に係る電気機器は、光結合半導体装置を搭載した電気機器であって、該光結合半導体装置は、上述した本発明に係る光結合半導体装置であり、そのことにより上記目的が達成される。   An electrical device according to the present invention is an electrical device on which an optically coupled semiconductor device is mounted, and the optically coupled semiconductor device is the above-described optically coupled semiconductor device according to the present invention, whereby the above object is achieved. .

次に作用について説明する。   Next, the operation will be described.

本発明においては、リードフレームに素子領域毎に設けられた、樹脂封止時に封止樹脂の流れ止めとして機能するタイバー部を、その加工により、発光素子及び受光素子の、パッケージの外部に延びる外部端子が形成される構造としたので、リードフレームにおける、樹脂封止時には樹脂の流れとめのためのタイバー部として用いた部分を、その中央部を切断して切断部分の両側を折り曲げるだけでパッケージの外部端子として用いることができ、リードフレームを構成する材料の無駄を削減することできる。   In the present invention, the tie bar portion provided for each element region in the lead frame, which functions as a sealing resin flow stop at the time of resin sealing, is processed so that the light emitting element and the light receiving element are externally extended to the outside of the package. Since the terminal is structured, the part of the lead frame used as the tie bar part for resin flow stop at the time of resin sealing is cut at the center and bent on both sides of the cut part. It can be used as an external terminal, and waste of material constituting the lead frame can be reduced.

また、リードフレームの、発光側ヘッダ部から発光側連結部を介して発光側タイバー部に至る発光側リード部を、発光側ヘッダ部及び発光側タイバー部と発光側連結部との接続部で略90度の角度で屈曲させた構造とし、さらに、リードフレームの、受光側ヘッダ部から受光側連結部を介して受光側タイバー部に至る受光側リード部を、受光側ヘッダ部及び受光側タイバー部と受光側連結部との接続部で略90度の角度で屈曲させた構造としているので、リードフレームにおける大きさに制限のある素子領域内で、リードフレームの構造を複雑にすることなく、ヘッダ部、タイバー部、および連結部の長さと幅を確保できる。   Further, the light emitting side lead portion of the lead frame from the light emitting side header portion to the light emitting side tie bar portion via the light emitting side connecting portion is substantially the same as the light emitting side header portion and the connecting portion between the light emitting side tie bar portion and the light emitting side connecting portion. The lead frame has a structure bent at an angle of 90 degrees, and further, the light receiving side lead portion of the lead frame from the light receiving side header portion to the light receiving side tie bar portion via the light receiving side connecting portion is connected to the light receiving side header portion and the light receiving side tie bar portion. In the element area where the size of the lead frame is limited, the header is not complicated and the header is not complicated. The length and width of the part, the tie bar part, and the connecting part can be secured.

さらに、発光素子の一対の素子電極に対応する第1及び第2の発光側リード部と、受光素子の一対の素子電極に対応する第1及び第2の受光側リード部とは、発光側ヘッダ部に搭載された発光素子及び受光側ヘッダ部に搭載された受光素子を囲むよう配置しているので、発光素子および受光素子を、リードフレームにおける各素子領域内の中央に配置でき、素子領域を効率よく使って樹脂封止部を形成できる。   Further, the first and second light emitting side lead portions corresponding to the pair of element electrodes of the light emitting element and the first and second light receiving side lead portions corresponding to the pair of element electrodes of the light receiving element are the light emitting side header. Since the light emitting element mounted on the light receiving element and the light receiving element mounted on the light receiving side header part are disposed so as to surround the light emitting element and the light receiving element, the light emitting element and the light receiving element can be disposed in the center of each element region in the lead frame. The resin sealing portion can be formed efficiently.

また、発光素子をプリコート樹脂により被覆しているので、脆い材料で構成される発光素子を、モールド樹脂から保護することができ、また該プリコート樹脂により被覆された発光素子と、受光素子とを、透光性の内部モールド樹脂により被覆しているので、発光素子と受光素子との間での光信号の伝達を確保することができる。また、該内部モールド樹脂の外側を遮光性の外部モールド樹脂により被覆しているので、外部からの受光素子への光の入射や、発光素子からの出射光の外部への漏れを回避することができる。   In addition, since the light emitting element is covered with the precoat resin, the light emitting element made of a brittle material can be protected from the mold resin, and the light emitting element covered with the precoat resin and the light receiving element, Since it is covered with a translucent internal mold resin, it is possible to ensure transmission of an optical signal between the light emitting element and the light receiving element. In addition, since the outer side of the internal mold resin is covered with a light-shielding external mold resin, it is possible to avoid the incidence of light from the outside to the light receiving element and the leakage of the emitted light from the light emitting element to the outside. it can.

さらに、発光素子のみプリコート樹脂により被覆しているので、パッケージにおけるプリコート樹脂の占有堆積を小さくして、プリコート樹脂の熱膨張による破損を抑制することができる。   Furthermore, since only the light emitting element is covered with the precoat resin, it is possible to reduce the occupied deposition of the precoat resin in the package, and to prevent the precoat resin from being damaged due to thermal expansion.

またさらに、リードフレームにおける素子領域の間には、リードフレームの素子領域内の部分を支持する一対の装置間タイバー部が配置されているだけであるので、リードフレームの単位面積あたりに高集積に発光素子および受光素子を搭載することが可能となり、従来に無い高効率の構成部材活用、つまり、安価な光結合半導体装置を実現することができる。   Furthermore, since only a pair of tie bar portions between the devices that support the portion in the element region of the lead frame is disposed between the element regions in the lead frame, the integration is high per unit area of the lead frame. It is possible to mount a light emitting element and a light receiving element, and it is possible to realize an unprecedented highly efficient component utilization, that is, an inexpensive optically coupled semiconductor device.

また、本発明においては、発光素子と受光素子とが透光性のドッキング樹脂により被覆され、該ドッキング樹脂の外側が遮光性のモールド樹脂により被覆されており、つまり、発光素子および受光素子をドッキング樹脂で一体に被覆することで、インナーモールド樹脂を用いていないので、発光素子および受光素子との間でのインナーモールド樹脂による光の減衰を回避することができる。   In the present invention, the light-emitting element and the light-receiving element are covered with a light-transmitting docking resin, and the outside of the docking resin is covered with a light-shielding mold resin, that is, the light-emitting element and the light-receiving element are docked. Since the inner mold resin is not used by integrally covering with the resin, attenuation of light by the inner mold resin between the light emitting element and the light receiving element can be avoided.

以上のように、本発明によれば、リードフレームに素子領域毎に設けられた、樹脂封止時に封止樹脂の流れ止めとして機能するタイバー部を、その加工により、発光素子及び受光素子の、パッケージの外部に延びる外部端子が形成される構造としたので、リードフレームにおける、樹脂封止時には樹脂の流れとめのためのタイバー部として用いた部分を、その中央部を切断して切断部分の両側を折り曲げるだけでパッケージの外部端子として用いることができ、リードフレームを構成する材料の無駄を削減することできる。   As described above, according to the present invention, the tie bar portion that functions as a flow stop of the sealing resin at the time of resin sealing, which is provided for each element region in the lead frame, can be used to process the light emitting element and the light receiving element. Since the external terminals extending to the outside of the package are formed, the part of the lead frame used as the tie bar part for stopping the resin flow at the time of resin sealing is cut at the center part on both sides of the cut part. It can be used as an external terminal of a package simply by bending the lead frame, and waste of materials constituting the lead frame can be reduced.

その結果、リードフレームの有効面積を効果的に活用した光結合半導体装置を安価に実現でき、このような光結合半導体装置を搭載した安価な電気機器を提供することができる。   As a result, an optically coupled semiconductor device that effectively utilizes the effective area of the lead frame can be realized at low cost, and an inexpensive electrical device equipped with such an optically coupled semiconductor device can be provided.

図1は、本発明の実施形態1による光結合半導体装置に用いられるリードフレームを説明する図であり、リードフレームの1つの素子領域における構造を示している。FIG. 1 is a view for explaining a lead frame used in the optically coupled semiconductor device according to Embodiment 1 of the present invention, and shows a structure in one element region of the lead frame. 図2は、本発明の実施形態1による光結合半導体装置に用いられるリードフレームを説明する図であり、リードフレームの隣接する4つの素子領域における構造を示している。FIG. 2 is a view for explaining a lead frame used in the optically coupled semiconductor device according to Embodiment 1 of the present invention, and shows a structure in four adjacent element regions of the lead frame. 図3は、本発明の実施形態1による光結合半導体装置を説明する図であり、リードフレームの素子領域に発光素子および受光素子を載置した状態を示している。FIG. 3 is a diagram for explaining the optically coupled semiconductor device according to the first embodiment of the present invention, and shows a state in which a light emitting element and a light receiving element are placed in the element region of the lead frame. 図4は、本発明の実施形態1による光結合半導体装置を説明する図であり、該光結合半導体装置における発光素子および受光素子を樹脂封止した状態を示している。FIG. 4 is a diagram for explaining the optically coupled semiconductor device according to Embodiment 1 of the present invention, and shows a state in which the light emitting element and the light receiving element in the optically coupled semiconductor device are sealed with resin. 図5は、本発明の実施形態2による光結合半導体装置を説明する図であり、該光結合半導体装置における発光素子および受光素子を樹脂封止した状態を示している。FIG. 5 is a diagram for explaining an optically coupled semiconductor device according to Embodiment 2 of the present invention, in which a light emitting element and a light receiving element in the optically coupled semiconductor device are sealed with resin. 図6は本発明の実施形態1による光結合半導体装置に用いられるリードフレームを説明する図であり、リードフレームの切断箇所を示している。FIG. 6 is a view for explaining a lead frame used in the optically coupled semiconductor device according to the first embodiment of the present invention, and shows a cut portion of the lead frame. 図7は本発明の実施形態1による光結合半導体装置に用いられるリードフレームを説明する図であり、端子フォーミング前の状態を示している。FIG. 7 is a view for explaining a lead frame used in the optically coupled semiconductor device according to Embodiment 1 of the present invention, and shows a state before terminal forming. 図8は本発明の実施形態1による光結合半導体装置に用いられるリードフレームを説明する図であり、端子フォーミング後の状態を示している。FIG. 8 is a view for explaining a lead frame used in the optically coupled semiconductor device according to Embodiment 1 of the present invention, and shows a state after terminal forming. 図9は、本発明の実施形態1による光結合半導体装置を説明する図であり、端子フォーミング後の光結合半導体装置の平面図(図9(a))、正面図(図9(b))、および側面図(図9(c))である。FIG. 9 is a diagram for explaining the optically coupled semiconductor device according to Embodiment 1 of the present invention, and is a plan view (FIG. 9A) and a front view (FIG. 9B) of the optically coupled semiconductor device after terminal forming. And a side view (FIG. 9C). 図10は、特許文献1に開示の光結合半導体装置及びその製造方法を説明する図であり、図10(a)は断面構造を示し、図10(b)は側面を示している。10A and 10B are diagrams for explaining an optically coupled semiconductor device disclosed in Patent Document 1 and a manufacturing method thereof. FIG. 10A shows a cross-sectional structure and FIG. 10B shows a side surface. 図11は、従来の代表的な光結合半導体装置として2層モールドタイプのものを示している。FIG. 11 shows a two-layer mold type as a typical conventional optically coupled semiconductor device. 図12は、特許文件2に開示の光結合半導体装置に用いるリードフレームを説明する平面図であり、光結合素子用リードフレームを構成する発光側リードフレーム500(図12(a))および受光側リードフレーム600(図12(b))、並びにこれらのリードフレームを組み合わせて樹脂封止体を形成した状態(図12(c))を示している。FIG. 12 is a plan view for explaining a lead frame used in the optically coupled semiconductor device disclosed in Patent Document 2. The light emitting side lead frame 500 (FIG. 12A) and the light receiving side constituting the optical coupling element lead frame. The lead frame 600 (FIG. 12B) and the state (FIG. 12C) in which these lead frames are combined to form a resin sealing body are shown. 図13は、上記特許文献2に開示の改良型のリードフレームを示す図であり、その発光側リードフレームの平面図及び側面図(図13(a))、受光側リードフレームの平面図及び側面図(図13(b))、発光側リードフレームと受光側リードフレームとを組み合わせて1次モールドを施した状態の平面図(図13(c))である。FIG. 13 is a view showing an improved lead frame disclosed in the above-mentioned Patent Document 2, a plan view and a side view of the light emitting side lead frame (FIG. 13A), and a plan view and a side view of the light receiving side lead frame. FIG. 13 (b) is a plan view (FIG. 13 (c)) showing a state where the primary mold is applied by combining the light emitting side lead frame and the light receiving side lead frame.

以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(実施形態1)
図1〜図4、図6〜図9は、本発明の実施形態1による光結合半導体装置を説明する図である。
(Embodiment 1)
1 to 4 and FIGS. 6 to 9 are views for explaining an optically coupled semiconductor device according to Embodiment 1 of the present invention.

図1および図2は、本発明の実施形態1による光結合半導体装置100aに用いられるリードフレームを説明する図であり、図1はリードフレームの1つの素子領域における構造を示し、図2は、リードフレームの隣接する4つの素子領域における構造を示している。   1 and 2 are views for explaining a lead frame used in the optically coupled semiconductor device 100a according to the first embodiment of the present invention. FIG. 1 shows a structure in one element region of the lead frame, and FIG. A structure in four adjacent element regions of the lead frame is shown.

また、図3は、リードフレームの素子領域に発光素子および受光素子を載置した状態を示し、図4はこれらの素子を樹脂封止した状態を示している。図6はリードフレームの切断箇所を示し、図7は端子フォーミング前の状態を示し、図8は端子フォーミング後の状態を示し、図9は、端子フォーミング後の光結合半導体装置の外観を示す図であり、図9(a)は平面図、図9(b)は正面図、図9(c)は側面図である。   FIG. 3 shows a state in which the light emitting element and the light receiving element are placed in the element region of the lead frame, and FIG. 4 shows a state in which these elements are sealed with resin. 6 shows the cutting position of the lead frame, FIG. 7 shows the state before terminal forming, FIG. 8 shows the state after terminal forming, and FIG. 9 shows the appearance of the optically coupled semiconductor device after terminal forming. FIG. 9A is a plan view, FIG. 9B is a front view, and FIG. 9C is a side view.

この実施形態1の光結合半導体装置100aは、リードフレームLfに含まれる複数の素子領域20の各々に、発光素子Ee及び受光素子Reをこれらが光結合するよう同一面内に配置して樹脂封止し、該リードフレームの樹脂封止した樹脂封止部を個々のパッケージPa(図8参照)に分離してなるものである。なお、図2中Lfa〜Lfdは、リードフレームLfにおける隣接する4つの素子領域に対応する部分であり、ここで、素子領域は、リードフレームにおける上記樹脂封止部が形成される部分である。   In the optical coupling semiconductor device 100a according to the first embodiment, the light emitting element Ee and the light receiving element Re are arranged in the same plane in each of the plurality of element regions 20 included in the lead frame Lf so as to optically couple them. The resin-sealed resin-sealed portion of the lead frame is separated into individual packages Pa (see FIG. 8). In FIG. 2, Lfa to Lfd are portions corresponding to four adjacent element regions in the lead frame Lf, and the element region is a portion where the resin sealing portion in the lead frame is formed.

該リードフレームLfは、該素子領域20毎に設けられ、樹脂封止時に封止樹脂の流れ止めとして機能するタイバー部TaおよびTb、21aおよび21bを有している。   The lead frame Lf is provided for each element region 20 and has tie bar portions Ta and Tb, 21a and 21b that function as a flow stop of the sealing resin when the resin is sealed.

該タイバー部Taは、その加工により、該受光素子Reの、該パッケージPaの外部に延びる外部端子22cおよび23cが形成される構造を有している。該タイバー部Tbは、その加工により、該発光素子Eeの、該パッケージPaの外部に延びる外部端子24cおよび25cが形成される構造を有している。   The tie bar portion Ta has a structure in which external terminals 22c and 23c of the light receiving element Re extending to the outside of the package Pa are formed by the processing. The tie bar portion Tb has a structure in which external terminals 24c and 25c of the light emitting element Ee extending to the outside of the package Pa are formed by the processing.

すなわち、上記リードフレームLfの1つの素子領域に対応する部分(素子領域対応部)20は、上記発光素子Eeを搭載する発光側ヘッダ部25bと、該発光素子の一方の外部端子となる発光側タイバー部25cと、該発光側タイバー部と該発光側ヘッダ部とを連結する発光側連結部25aと、該受光素子Reを搭載する受光側ヘッダ部23bと、該受光素子の一方の外部端子となる受光側タイバー部23cと、該受光側タイバー部と該受光側ヘッダ部とを連結する受光側連結部23aとを含んでいる。   That is, a portion (element region corresponding portion) 20 corresponding to one element region of the lead frame Lf includes a light emitting side header portion 25b on which the light emitting element Ee is mounted, and a light emitting side serving as one external terminal of the light emitting element. A tie bar portion 25c, a light emitting side connecting portion 25a for connecting the light emitting side tie bar portion and the light emitting side header portion, a light receiving side header portion 23b on which the light receiving element Re is mounted, and one external terminal of the light receiving element; A light receiving side tie bar portion 23c, and a light receiving side connecting portion 23a for connecting the light receiving side tie bar portion and the light receiving side header portion.

また、リードフレームLfの素子領域対応部20は、上記発光素子Eeとボンディングワイヤにより接続される発光側ヘッダ部24bと、該発光素子の他方の外部端子となる発光側タイバー部24cと、該発光側タイバー部24cと該発光側ヘッダ部24bとを連結する発光側連結部24aと、該受光素子Reとボンディングワイヤにより接続される受光側ヘッダ部22bと、該受光素子の他方の外部端子となる受光側タイバー部22cと、該受光側タイバー部22cと該受光側ヘッダ部22bとを連結する受光側連結部22aとを含んでいる。   The element region corresponding portion 20 of the lead frame Lf includes a light emitting side header portion 24b connected to the light emitting element Ee by a bonding wire, a light emitting side tie bar portion 24c serving as the other external terminal of the light emitting element, and the light emission. The light emitting side connecting portion 24a for connecting the side tie bar portion 24c and the light emitting side header portion 24b, the light receiving side header portion 22b connected to the light receiving element Re by a bonding wire, and the other external terminal of the light receiving element It includes a light receiving side tie bar portion 22c and a light receiving side connecting portion 22a that connects the light receiving side tie bar portion 22c and the light receiving side header portion 22b.

ここで、上記タイバー部Ta(受光側タイバー部23cおよび22c)とタイバー部Tb(発光側タイバー部25cおよび24c)とは、それぞれの両側で、装置間タイバー部21aおよび21bに接続されている。なお、図1中、cpは、外部端子を形成する際に、タイバー部TaおよびTbを切断する箇所であり、タイバー部の延びる方向と直角方向に切断する場合を示している。ただし、タイバー部を切断するときの切断方向は、これが延びる方向と直角方向に切断する場合に限定されるものではなく、タイバー部をこれが延びる方向に対して斜めに切断する場合は、その切断する角度を変えることで、タイバー部から得られる外部端子の長さを調節することができる。   Here, the tie bar portion Ta (light receiving side tie bar portions 23c and 22c) and the tie bar portion Tb (light emitting side tie bar portions 25c and 24c) are connected to the inter-device tie bar portions 21a and 21b on both sides. In FIG. 1, cp is a portion where the tie bar portions Ta and Tb are cut when forming the external terminals, and shows a case where the tie bar portions are cut in a direction perpendicular to the extending direction of the tie bar portions. However, the cutting direction when cutting the tie bar portion is not limited to cutting in a direction perpendicular to the direction in which the tie bar portion extends. If the tie bar portion is cut obliquely with respect to the direction in which the tie bar portion extends, the tie bar portion is cut. By changing the angle, the length of the external terminal obtained from the tie bar portion can be adjusted.

また、リードフレームの、発光側ヘッダ部25b、24bから発光側連結部25a、24aを介して発光側タイバー部25c、24cに至る発光側リード部(第1、第2の発光側リード部)25、24は、発光側ヘッダ部25b、24b及び発光側タイバー部25c、24cと発光側連結部25a、24aとの接続部で略90度の角度で屈曲している。   Further, the light emitting side lead portion (first and second light emitting side lead portions) 25 from the light emitting side header portions 25b, 24b of the lead frame to the light emitting side tie bar portions 25c, 24c via the light emitting side connecting portions 25a, 24a. , 24 are bent at an angle of approximately 90 degrees at the connection portion between the light emitting side header portions 25b, 24b and the light emitting side tie bar portions 25c, 24c and the light emitting side coupling portions 25a, 24a.

リードフレームの、受光側ヘッダ部23b、22bから受光側連結部23a、22aを介して受光側タイバー部23c、22cに至る受光側リード部(第1、第2の受光側リード部)23、22は、該受光側ヘッダ部23b、22b及び受光側タイバー部23c、22cと受光側連結部23a、22aとの接続部で略90度の角度で屈曲している。   Light receiving side lead portions (first and second light receiving side lead portions) 23, 22 from the light receiving side header portions 23b, 22b of the lead frame to the light receiving side tie bar portions 23c, 22c through the light receiving side coupling portions 23a, 22a. Are bent at an angle of approximately 90 degrees at the connection portion between the light receiving side header portions 23b and 22b and the light receiving side tie bar portions 23c and 22c and the light receiving side coupling portions 23a and 22a.

また、ここで、発光素子Eeおよび受光素子Reは、裏面側に一方の素子電極が形成され、表面側に他方の素子電極が形成されている。例えば、発光素子Eeの裏面側の素子電極(図示せず)は、一方の発光側ヘッダ部25bに接触することで電気的に接続されており、表面側の素子電極(図示せず)はボンディングワイヤWにより他方の発光側ヘッダ部24bに電気的に接続されている。受光素子Reの裏面側の素子電極(図示せず)は、一方の受光側ヘッダ部23bに接触することで電気的に接続されており、表面側の素子電極(図示せず)はボンディングワイヤWにより他方の受光側ヘッダ部22bに電気的に接続されている。   Here, in the light emitting element Ee and the light receiving element Re, one element electrode is formed on the back surface side, and the other element electrode is formed on the front surface side. For example, a device electrode (not shown) on the back surface side of the light emitting device Ee is electrically connected by contacting one light emitting header portion 25b, and a device electrode (not shown) on the front surface side is bonded. The wire W is electrically connected to the other light emitting side header portion 24b. An element electrode (not shown) on the back surface side of the light receiving element Re is electrically connected by contacting one light receiving side header portion 23b, and an element electrode (not shown) on the front surface side is bonded to the bonding wire W. Is electrically connected to the other light receiving side header portion 22b.

また、第1、第2の発光側リード部25、24と第1、第2の受光側リード部23、22とは、発光側ヘッダ部に搭載された発光素子Ee及び該受光側ヘッダ部に搭載された受光素子Reを囲むよう配置されている。   The first and second light emitting side lead portions 25 and 24 and the first and second light receiving side lead portions 23 and 22 are connected to the light emitting element Ee mounted on the light emitting side header portion and the light receiving side header portion. It arrange | positions so that the mounted light receiving element Re may be enclosed.

また、リードフレームLfでは、発光素子Eeの外部端子(発光側タイバー部)25c、24cに加工されるタイバー部Tbと、受光素子Reの外部端子(受光側タイバー部)23c、22cに加工されるタイバー部Taとが、隣接する素子領域の間で近接して連結されている。   In the lead frame Lf, the tie bar portion Tb processed into the external terminals (light emitting side tie bar portions) 25c, 24c of the light emitting element Ee and the external terminals (light receiving side tie bar portions) 23c, 22c of the light receiving element Re are processed. A tie bar portion Ta is connected in close proximity between adjacent element regions.

また、リードフレームLfでは、素子領域20の側縁に沿って位置するタイバー部Ta、Tb,21a、21bは、その側面が、発光素子Ee及び受光素子Reの樹脂封止する封止金型から流出した樹脂の流れ止めとして機能するよう配置されている。   Further, in the lead frame Lf, the tie bar portions Ta, Tb, 21a, and 21b positioned along the side edges of the element region 20 have side surfaces thereof from a sealing mold for resin-sealing the light emitting element Ee and the light receiving element Re. It is arranged to function as a flow stop for the resin that has flowed out.

さらに、第1の発光側リード部25に含まれる外部端子25cと、第2の発光側リード部24に含まれる外部端子24cとは、これらの外部端子が一体として連結されてなる発光側タイバー部Tbを切断し、発光側タイバー部の切断部分cpの両側を屈曲させて形成したものである。また、第1の受光側リード部23に含まれる外部端子23cと、第2の受光側リード部22に含まれる外部端子22cとは、これらの外部端子が一体として連結されてなる受光側タイバー部Taを切断し、該受光側タイバー部の切断部分cpの両側を屈曲させて形成したものである。なお、図7中、FpaおよびFpbはタイバー部TaおよびTbの折曲部分である。   Furthermore, the external terminal 25c included in the first light emitting side lead portion 25 and the external terminal 24c included in the second light emitting side lead portion 24 are a light emitting side tie bar portion formed by integrally connecting these external terminals. It is formed by cutting Tb and bending both sides of the cut portion cp of the light emitting side tie bar portion. The external terminal 23c included in the first light receiving side lead portion 23 and the external terminal 22c included in the second light receiving side lead portion 22 are a light receiving side tie bar portion in which these external terminals are connected together. It is formed by cutting Ta and bending both sides of the cut portion cp of the light receiving side tie bar portion. In FIG. 7, Fpa and Fpb are bent portions of the tie bar portions Ta and Tb.

さらに、この実施形態1の光結合半導体装置100aでは、発光素子Eeは、シリコーン樹脂などのプリコート樹脂Pcにより被覆され、該プリコート樹脂により被覆された発光素子Eeと、受光素子Reとが、透光性の内部モールド樹脂Trにより被覆され、該内部モールド樹脂Trの外側が遮光性の外部モールド樹脂Srにより被覆されている。   Furthermore, in the optically coupled semiconductor device 100a of the first embodiment, the light emitting element Ee is covered with a precoat resin Pc such as a silicone resin, and the light emitting element Ee covered with the precoat resin and the light receiving element Re are made transparent. The inner mold resin Tr is coated with a light-shielding external mold resin Sr.

なお、本実施形態1の光結合半導体装置は、例えば、家電製品などの電気機器における入力回路や出力回路でフォトカプラとして用いられるものである。   The optically coupled semiconductor device according to the first embodiment is used as a photocoupler in an input circuit or an output circuit in an electric device such as a home appliance.

次に光結合半導体装置の製造方法について説明する。   Next, a method for manufacturing the optically coupled semiconductor device will be described.

まず、図3に示すように、リードフレームの発光側ヘッダー部25b、および受光側ヘッダ部23bに発光素子Ee、受光素子Reの各々を個別に導電性ペースト等でダイボンドし、各々の素子の電極(図示せず)と隣接する所定のリードフレーム部分、つまり発光側ヘッダ部24bおよび受光側ヘッダ部22bとをAu線等でワイヤボンドする。   First, as shown in FIG. 3, each of the light emitting element Ee and the light receiving element Re is individually die-bonded to the light emitting side header portion 25b and the light receiving side header portion 23b of the lead frame with a conductive paste or the like, and an electrode of each element is obtained. A predetermined lead frame portion (not shown) adjacent to the light emitting side header portion 24b and the light receiving side header portion 22b is wire-bonded with Au wire or the like.

続いて、図4に示すように、ジャンクションコーティング用シリコーン樹脂Pcにて発光素子を被覆(プリコート)する。この場合、シリコーン樹脂Pcは発光素子Ee全体を被覆するように塗布(ポッティング)により形成する。このように発光素子Eeに被覆することで、GaAs系の脆い材料で構成されている発光素子へ加わる封止樹脂からの機械的応力を効果的に緩和することが可能となる。   Subsequently, as shown in FIG. 4, the light emitting element is coated (precoated) with a silicone resin Pc for junction coating. In this case, the silicone resin Pc is formed by coating (potting) so as to cover the entire light emitting element Ee. By covering the light emitting element Ee in this manner, mechanical stress from the sealing resin applied to the light emitting element made of a GaAs brittle material can be effectively relieved.

また、受光素子Reがダイボンドされた受光側ヘッダ部23b、および受光素子ReからのワイヤWがボンディングされた受光側ヘッダ部22b、並びに、発光素子がダイボンドされ、かつプリコートされた発光側ヘッダ部25b、および発光素子からのワイヤがボンディングされた発光側ヘッダ部24bを、インナーパッケージ用モールド金型に位置精度よくセットした後、透光性の内部モールド樹脂Trによる封止成型によりインナーパッケージを図4に示すように形成する。この際、漏れた余分な箇所の樹脂バリをバリ抜き用金型やブラスター等を用いて機械的に除去する。   The light receiving side header portion 23b to which the light receiving element Re is die-bonded, the light receiving side header portion 22b to which the wire W from the light receiving element Re is bonded, and the light emitting side header portion 25b to which the light emitting element is die bonded and precoated. 4 and the light emitting side header portion 24b to which the wires from the light emitting elements are bonded are set in a mold for inner package with high positional accuracy, and then the inner package is formed by sealing with a translucent internal mold resin Tr. As shown in FIG. At this time, the excess resin burrs that have leaked are mechanically removed using a deburring mold, blaster, or the like.

次に、外乱光の入光や内部からの光漏れを招くことなく、発光素子Eeから受光素子Reへの光信号の伝達ができるよう、遮光性の外部モールド樹脂(例えば、エポキシ樹脂)Srにてアウターパッケージを図4に示すように形成する。   Next, a light-shielding external mold resin (for example, epoxy resin) Sr is used so that an optical signal can be transmitted from the light-emitting element Ee to the light-receiving element Re without causing incident light or light leakage from the inside. The outer package is formed as shown in FIG.

上記封止工程の後、リードフレームの外装めっき処理を行う。ただし、リードフレームに始めからめっき表面処理を施している場合は、この外装めっき処理は省略される。   After the sealing step, lead frame exterior plating is performed. However, when the plating surface treatment is applied to the lead frame from the beginning, this exterior plating treatment is omitted.

リードフレームLfの装置間タイバー21aおよび21bと、端子用のタイバー部TaおよびTbとの接続部CpaおよびCpbを切断し、端子用のタイバー部TaおよびTbの中央部を切断するタイバーカットと、封止樹脂のバリをカットするレジンカットとを行う。このようにタイバーカットおよびレジンカットを行った後、図8に示すように、端子用のタイバー部TaおよびTbの切断箇所cpの両側を折り曲げて、受光素子Reの外部端子23cおよび22c、並びに発光素子Eeの外部端子25cおよび24cを形成する(図9(a)〜図9(c))。   A tie bar cut for cutting the connection portions Cpa and Cpb between the inter-device tie bars 21a and 21b of the lead frame Lf and the terminal tie bar portions Ta and Tb, and cutting the center portion of the terminal tie bar portions Ta and Tb; Resin cutting to cut off burrs of stop resin. After performing the tie bar cut and the resin cut in this way, as shown in FIG. 8, both sides of the cut portions cp of the terminal tie bar portions Ta and Tb are bent, and the external terminals 23c and 22c of the light receiving element Re, and the light emission External terminals 25c and 24c of the element Ee are formed (FIGS. 9A to 9C).

このような構成の本実施形態1では、リードフレームに素子領域毎に設けられた、樹脂封止時に封止樹脂の流れ止めとして機能するタイバー部TaおよびTbを、その加工により、発光素子Ee及び受光素子Reの、パッケージ(樹脂封止部)Paの外部に延びる外部端子25cおよび24c、外部端子23cおよび22cが形成される構造としたので、リードフレームにおける、樹脂封止時には樹脂の流れ止めのためのタイバー部として用いた部分を、その中央部を切断して切断部分の両側を折り曲げるだけでパッケージの外部端子として形成することができ、リードフレームを構成する材料の無駄を削減することできる。   In the first embodiment having such a configuration, the tie bar portions Ta and Tb, which are provided in the lead frame for each element region and function as a sealing resin flow stop at the time of resin sealing, are processed into light emitting elements Ee and Since the external terminals 25c and 24c and the external terminals 23c and 22c extending to the outside of the package (resin sealing portion) Pa of the light receiving element Re are formed, the flow of the resin is prevented during resin sealing in the lead frame. Therefore, the portion used as the tie bar portion can be formed as an external terminal of the package simply by cutting the central portion and bending both sides of the cut portion, and waste of the material constituting the lead frame can be reduced.

また、リードフレームの、発光側ヘッダ部から発光側連結部を介して発光側タイバー部に至る発光側リード部25、24を、発光側ヘッダ部及び発光側タイバー部と発光側連結部との接続部で略90度の角度で屈曲させた構造とし、さらに、リードフレームの、受光側ヘッダ部から受光側連結部を介して受光側タイバー部に至る受光側リード部23、22を、受光側ヘッダ部及び受光側タイバー部と受光側連結部との接続部で略90度の角度で屈曲させた構造としているので、リードフレームにおける大きさに制限のある素子領域内で、リードフレームの構造を複雑にすることなく、ヘッダ部、タイバー部、および連結部の長さと幅を確保できる。   Further, the light emitting side lead portions 25 and 24 from the light emitting side header portion to the light emitting side tie bar portion through the light emitting side connecting portion of the lead frame are connected to the light emitting side header portion and the light emitting side tie bar portion and the light emitting side connecting portion. The light receiving side lead portions 23 and 22 extending from the light receiving side header portion to the light receiving side tie bar portion through the light receiving side connecting portion of the lead frame are also formed on the light receiving side header. The lead frame structure is bent at an angle of about 90 degrees at the connection portion between the light receiving side tie bar portion and the light receiving side coupling portion, so that the structure of the lead frame is complicated within the element region where the size of the lead frame is limited. Therefore, the length and width of the header part, the tie bar part, and the connecting part can be secured.

さらに、発光素子の一対の素子電極に対応する第1及び第2の発光側リード25および24と、受光素子の一対の素子電極に対応する第1及び第2の受光側リード23および22とは、発光側ヘッダ部25bに搭載された発光素子Ee及び受光側ヘッダ部23bに搭載された受光素子Reを囲むよう配置しているので、発光素子および受光素子を、リードフレームにおける各素子領域内の中央に配置でき、素子領域を効率よく使って樹脂封止部を形成できる。   Further, the first and second light emitting side leads 25 and 24 corresponding to the pair of element electrodes of the light emitting element and the first and second light receiving side leads 23 and 22 corresponding to the pair of element electrodes of the light receiving element are Since the light emitting element Ee mounted on the light emitting side header portion 25b and the light receiving element Re mounted on the light receiving side header portion 23b are disposed so as to surround the light emitting element and the light receiving element, The resin sealing portion can be formed using the element region efficiently by being arranged in the center.

また、発光素子Eeをプリコート樹脂Pcにより被覆しているので、脆い材料で構成される発光素子を、モールド樹脂から保護することができ、また該プリコート樹脂により被覆された発光素子Eeと、受光素子Reとを、透光性の内部モールド樹脂Trにより被覆しているので、発光素子Eeと受光素子Reとの間での光信号の伝達を確保することができる。また、該内部モールド樹脂の外側を遮光性の外部モールド樹脂Srにより被覆しているので、外部からの受光素子への光の入射や、発光素子からの出射光の外部への漏れを回避することができる。   Further, since the light emitting element Ee is covered with the precoat resin Pc, the light emitting element made of a brittle material can be protected from the mold resin, and the light emitting element Ee covered with the precoat resin and the light receiving element Since Re is covered with the translucent internal mold resin Tr, transmission of an optical signal between the light emitting element Ee and the light receiving element Re can be ensured. Further, since the outer side of the internal mold resin is covered with the light-shielding external mold resin Sr, it is possible to avoid the incidence of light from the outside to the light receiving element and the leakage of the emitted light from the light emitting element to the outside. Can do.

さらに、発光素子のみプリコート樹脂により被覆しているので、パッケージにおけるプリコート樹脂の占有堆積を小さくして、熱膨張係数の大きいプリコート樹脂の熱膨張による破損を抑制することができる。   Furthermore, since only the light-emitting element is covered with the precoat resin, the occupational deposition of the precoat resin in the package can be reduced, and damage due to the thermal expansion of the precoat resin having a large thermal expansion coefficient can be suppressed.

さらに、リードフレームにおける素子領域の間には、リードフレームの素子領域内の部分を支持する一対の装置間タイバー部21aおよび21bが配置されているだけであるので、リードフレームの単位面積あたりに高集積に発光素子および受光素子を搭載することが可能となり、従来に無い高効率の構成部材活用により安価な光結合半導体装置を実現することができる。
(実施形態2)
図5は、本発明の実施形態2による光結合半導体装置を説明する図であり、該光結合半導体装置における発光素子および受光素子を樹脂封止した状態を示している。
Furthermore, between the element regions in the lead frame, only a pair of inter-device tie bar portions 21a and 21b that support a portion in the element region of the lead frame are disposed. A light emitting element and a light receiving element can be mounted in an integrated manner, and an inexpensive optically coupled semiconductor device can be realized by utilizing a highly efficient structural member that has not been conventionally available.
(Embodiment 2)
FIG. 5 is a diagram for explaining an optically coupled semiconductor device according to Embodiment 2 of the present invention, in which a light emitting element and a light receiving element in the optically coupled semiconductor device are sealed with resin.

この実施形態2の光結合半導体装置100bは、実施形態1の光結合半導体装置100aとは樹脂封止構造が異なっている。つまり、この光結合半導体装置100bでは、発光素子Eeと受光素子Reとがこれらが光学的に結合されるよう透光性のドッキング樹脂Drにより一体として被覆され、このドッキング樹脂Drの外側が遮光性の外部モールド樹脂Srにより被覆されている。   The optically coupled semiconductor device 100b of the second embodiment is different from the optically coupled semiconductor device 100a of the first embodiment in the resin sealing structure. That is, in this optically coupled semiconductor device 100b, the light emitting element Ee and the light receiving element Re are integrally covered with the translucent docking resin Dr so that they are optically coupled, and the outside of the docking resin Dr is shielded from light. Of the outer mold resin Sr.

以下簡単にこの実施形態2の光結合半導体装置の製造方法について説明する。   A method for manufacturing the optically coupled semiconductor device of the second embodiment will be briefly described below.

まず、図3に示すように、リードフレームの発光側ヘッダー部25bおよび受光側ヘッダ部23bに発光素子Eeおよび受光素子Reを各々個別に導電性ペースト等でダイボンドし、各々の素子の電極(図示せず)と隣接する所定のリードフレーム部分、つまり発光側ヘッダ部24bおよび受光側ヘッダ部22bとをAu線等でワイヤボンドする。   First, as shown in FIG. 3, the light emitting element Ee and the light receiving element Re are individually die-bonded with a conductive paste or the like to the light emitting side header portion 25b and the light receiving side header portion 23b of the lead frame. A predetermined lead frame portion adjacent to the light emitting side header portion 24b and the light receiving side header portion 22b are wire-bonded with Au wire or the like.

続いて、図5に示すように、ジャンクションコーティング用シリコーン樹脂(ドッキング樹脂)Drにて発光素子Ee及び受光素子Reを一体に被覆(ドッキング)する。その後、外乱光の入光や内部からの光漏れを招くことなく、発光素子Eeから受光素子Reへの光信号の伝達ができるよう、遮光性の外部モールド樹脂(例えば、エポキシ樹脂)Srにてアウターパッケージを形成する。   Subsequently, as shown in FIG. 5, the light emitting element Ee and the light receiving element Re are integrally covered (docked) with a silicone resin (docking resin) Dr for junction coating. Thereafter, a light-shielding external mold resin (for example, epoxy resin) Sr is used so that an optical signal can be transmitted from the light-emitting element Ee to the light-receiving element Re without causing disturbance light to enter or light leakage from the inside. An outer package is formed.

上記封止工程の後、リードフレームの外装めっき処理を行う。ただし、リードフレームに始めからめっき表面処理を施している場合は、この外装めっき処理は省略される。   After the sealing step, lead frame exterior plating is performed. However, when the plating surface treatment is applied to the lead frame from the beginning, this exterior plating treatment is omitted.

リードフレームLfの装置間タイバー部21aおよび21bと、端子用のタイバー部TaおよびTbとの接続部CpaおよびCpb(図6参照)を切断し、端子用のタイバー部TaおよびTbの中央部を切断するタイバーカットと、封止樹脂のバリをカットするレジンカットとを行う。このようにタイバーレジンカットを行った後、図8に示すように、端子用のタイバー部TaおよびTbの切断箇所cpの両側を折り曲げて、受光素子Reの外部端子23cおよび22c、並びに発光素子Eeの外部端子25cおよび24cを形成する。これにより本実施形態2の光結合半導体装置100bを得る。   The connection portions Cpa and Cpb (see FIG. 6) between the inter-device tie bar portions 21a and 21b of the lead frame Lf and the terminal tie bar portions Ta and Tb are cut, and the center portions of the terminal tie bar portions Ta and Tb are cut. A tie bar cut is performed, and a resin cut is performed to cut burrs of the sealing resin. After performing the tie bar resin cut in this manner, as shown in FIG. 8, both sides of the cut portions cp of the terminal tie bar portions Ta and Tb are bent to external terminals 23c and 22c of the light receiving element Re and the light emitting element Ee. External terminals 25c and 24c are formed. Thereby, the optically coupled semiconductor device 100b of the second embodiment is obtained.

このような構成の本実施形態2では、上記実施形態1と同様の効果が得られるが、この実施形態2の光結合半導体装置100bでは、発光素子および受光素子をプリコート樹脂で一体に被覆することで、インナーモールド樹脂(透光性の内部モールド樹脂)Trを用いないので、発光素子および受光素子との間でのインナーモールド樹脂による光の減衰を回避することができる。   In the second embodiment having such a configuration, the same effect as in the first embodiment can be obtained. However, in the optically coupled semiconductor device 100b of the second embodiment, the light emitting element and the light receiving element are integrally covered with a precoat resin. Since the inner mold resin (translucent internal mold resin) Tr is not used, attenuation of light by the inner mold resin between the light emitting element and the light receiving element can be avoided.

さらに、上記実施形態2の光結合半導体装置も、実施形態1の光結合半導体装置と同様に種々の電気機器の入力回路や出力回路でフォトカプラとして用いることができるものである。   Further, the optically coupled semiconductor device of the second embodiment can also be used as a photocoupler in input circuits and output circuits of various electric devices, like the optically coupled semiconductor device of the first embodiment.

以上のように、本発明の好ましい実施形態を用いて本発明を例示してきたが、本発明は、この実施形態に限定して解釈されるべきものではない。本発明は、特許請求の範囲によってのみその範囲が解釈されるべきであることが理解される。当業者は、本発明の具体的な好ましい実施形態の記載から、本発明の記載および技術常識に基づいて等価な範囲を実施することができることが理解される。本明細書において引用した特許文献は、その内容自体が具体的に本明細書に記載されているのと同様にその内容が本明細書に対する参考として援用されるべきであることが理解される。   As mentioned above, although this invention has been illustrated using preferable embodiment of this invention, this invention should not be limited and limited to this embodiment. It is understood that the scope of the present invention should be construed only by the claims. It is understood that those skilled in the art can implement an equivalent range based on the description of the present invention and the common general technical knowledge from the description of specific preferred embodiments of the present invention. It is understood that the patent documents cited in the present specification should be incorporated by reference into the present specification in the same manner as the content itself is specifically described in the present specification.

本発明は、発光素子と受光素子とを光結合するよう有してなる光結合半導体装置、および光結合半導体装置をフォトカプラとして用いた電気機器の分野において、光結合半導体装置をリードフレームの有効面積を効果的に活用可能で安価な構造とすることができ、安価な電気機器を提供できるものである。   The present invention relates to an optical coupling semiconductor device having a light emitting element and a light receiving element so as to optically couple, and an electric coupling semiconductor device in the field of electrical equipment using the optical coupling semiconductor device as a photocoupler. The area can be effectively utilized and an inexpensive structure can be obtained, and an inexpensive electrical device can be provided.

20 素子領域
21a、21b、Ta、Tb タイバー部
22 第2の受光側リード部
22a、23a 受光側連結部
22b、23b 受光側ヘッダ部
22c、23c 受光側タイバー部(外部端子)
23 第1の受光側リード部
24 第2の発光側リード部
24a、25a 発光側連結部
24b、25b 発光側ヘッダ部
24c、25c 発光側タイバー部(外部端子)
25 第1の発光側リード部
100a、100b 光結合半導体装置
cp、Cpa、Cpb 切断箇所
Dr ドッキング樹脂
Ee 発光素子
Fpa、Fpb 折曲部分
Lf リードフレーム
Pa パッケージ
Pc プリコート樹脂
Re 受光素子
Sr 遮光性の外部モールド樹脂
Tr 透光性の内部モールド樹脂
20 Element region 21a, 21b, Ta, Tb Tie bar part 22 Second light receiving side lead part 22a, 23a Light receiving side coupling part 22b, 23b Light receiving side header part 22c, 23c Light receiving side tie bar part (external terminal)
23 1st light reception side lead part 24 2nd light emission side lead part 24a, 25a Light emission side connection part 24b, 25b Light emission side header part 24c, 25c Light emission side tie bar part (external terminal)
25 1st light emission side lead part 100a, 100b Optocoupled semiconductor device cp, Cpa, Cpb Cutting location Dr docking resin Ee Light emitting element Fpa, Fpb Bending part Lf Lead frame Pa package Pc Precoat resin Re Light receiving element Sr Light shielding external Mold resin Tr Translucent internal mold resin

Claims (12)

リードフレームに含まれる複数の素子領域の各々に、発光素子及び受光素子をこれらが光結合するよう同一面内に配置して樹脂封止し、該リードフレームの樹脂封止した樹脂封止部を個々のパッケージに分離してなる光結合半導体装置であって、
該リードフレームは、
該素子領域毎に設けられ、樹脂封止時に封止樹脂の流れ止めとして機能するタイバー部を有し、
該タイバー部は、その加工により、該発光素子及び該受光素子の、該パッケージの外部に延びる外部端子が形成される構造を有している、光結合半導体装置。
A light-emitting element and a light-receiving element are arranged in the same plane so that they are optically coupled to each of a plurality of element regions included in the lead frame and resin-sealed. An optically coupled semiconductor device separated into individual packages,
The lead frame is
Provided for each element region, having a tie bar portion that functions as a flow stop of the sealing resin at the time of resin sealing,
The tie bar portion has a structure in which an external terminal of the light emitting element and the light receiving element extending to the outside of the package is formed by the processing.
請求項1に記載の光結合半導体装置において、
前記リードフレームの素子領域は、
前記発光素子を搭載する発光側ヘッダ部と、
該発光素子の外部端子となる発光側タイバー部と、
該発光側タイバー部と該発光側ヘッダ部とを連結する発光側連結部と、
前記受光素子を搭載する受光側ヘッダ部と、
該受光素子の外部端子となる受光側タイバー部と、
該受光側タイバー部と該受光側ヘッダ部とを連結する受光側連結部とを含む、光結合半導体装置。
The optically coupled semiconductor device according to claim 1,
The element region of the lead frame is
A light emitting side header portion on which the light emitting element is mounted;
A light emitting side tie bar portion serving as an external terminal of the light emitting element;
A light emitting side connecting portion that connects the light emitting side tie bar portion and the light emitting side header portion;
A light receiving side header portion on which the light receiving element is mounted;
A light receiving side tie bar portion serving as an external terminal of the light receiving element;
An optically coupled semiconductor device, comprising: a light receiving side connecting portion that connects the light receiving side tie bar portion and the light receiving side header portion.
請求項2に記載の光結合半導体装置において、
前記リードフレームの、前記発光側ヘッダ部から前記発光側連結部を介して前記発光側タイバー部に至る発光側リード部は、該発光側ヘッダ部及び該発光側タイバー部と該発光側連結部との接続部で略90度の角度で屈曲しており、
前記リードフレームの、前記受光側ヘッダ部から前記受光側連結部を介して前記受光側タイバー部に至る受光側リード部は、該受光側ヘッダ部及び該受光側タイバー部と該受光側連結部との接続部で略90度の角度で屈曲している、光結合半導体装置。
The optically coupled semiconductor device according to claim 2,
The light emitting side lead portion of the lead frame from the light emitting side header portion to the light emitting side tie bar portion via the light emitting side connecting portion is composed of the light emitting side header portion, the light emitting side tie bar portion, and the light emitting side connecting portion. Is bent at an angle of approximately 90 degrees at the connection part of
The light receiving side lead portion of the lead frame from the light receiving side header portion to the light receiving side tie bar portion via the light receiving side connecting portion is formed of the light receiving side header portion, the light receiving side tie bar portion, and the light receiving side connecting portion. The optically coupled semiconductor device is bent at an angle of approximately 90 degrees at the connecting portion.
請求項1に記載の光結合半導体装置において、
前記リードフレームの素子領域は、
前記発光素子を搭載する発光側ヘッダ部から該発光素子の外部端子に至る発光側リード部として、該発光素子の一対の素子電極に対応する第1及び第2の発光側リード部を有し、
かつ、前記受光素子を搭載する受光側ヘッダ部から該受光素子の外部端子に至る受光側リード部として、該受光素子の一対の素子電極に対応する第1及び第2の受光側リード部を有し、
該第1及び第2の発光側リード部と第1及び第2の受光側リード部とは、
該発光側ヘッダ部に搭載された発光素子及び該受光側ヘッダ部に搭載された受光素子を囲むよう配置されている、光結合半導体装置。
The optically coupled semiconductor device according to claim 1,
The element region of the lead frame is
As the light emitting side lead portion from the light emitting side header portion on which the light emitting element is mounted to the external terminal of the light emitting device, there are first and second light emitting side lead portions corresponding to the pair of element electrodes of the light emitting device,
In addition, as the light receiving side lead portion from the light receiving side header portion on which the light receiving element is mounted to the external terminal of the light receiving device, there are first and second light receiving side lead portions corresponding to the pair of element electrodes of the light receiving device. And
The first and second light emitting side lead portions and the first and second light receiving side lead portions are:
An optically coupled semiconductor device arranged to surround a light emitting element mounted on the light emitting side header portion and a light receiving element mounted on the light receiving side header portion.
請求項4に記載の光結合半導体装置において、
前記リードフレームの素子領域では、前記タイバー部が複数形成されており、
前記第1の発光側リード部に含まれる外部端子と、前記第2の発光側リード部に含まれる外部端子とは、前記複数のタイバー部のうちの発光側タイバー部として連結されており、
前記第1の受光側リード部に含まれる外部端子と、前記第2の受光側リード部に含まれる外部端子とは、前記複数のタイバー部のうちの受光側タイバー部として連結されている、光結合半導体装置。
The optically coupled semiconductor device according to claim 4,
In the element region of the lead frame, a plurality of the tie bar portions are formed,
The external terminal included in the first light emission side lead portion and the external terminal included in the second light emission side lead portion are coupled as a light emission side tie bar portion of the plurality of tie bar portions,
An external terminal included in the first light receiving side lead part and an external terminal included in the second light receiving side lead part are coupled as a light receiving side tie bar part among the plurality of tie bar parts. Bonded semiconductor device.
請求項1に記載の光結合半導体装置において、
前記リードフレームでは、
前記発光素子及び前記受光素子の外部端子に加工されるタイバー部が、隣接する素子領域の間で連結されている、光結合半導体装置。
The optically coupled semiconductor device according to claim 1,
In the lead frame,
An optically coupled semiconductor device, wherein a tie bar portion processed into an external terminal of the light emitting element and the light receiving element is connected between adjacent element regions.
請求項5に記載の光結合半導体装置において、
前記リードフレームでは、
前記第1の発光側リード部に含まれる外部端子と前記第2の発光側リード部に含まれる外部端子とに分離されるべき前記タイバー部と、前記第1の受光側リード部に含まれる外部端子と前記第2の受光側リード部に含まれる外部端子とに分離されるべき前記タイバー部とが、隣接する素子領域の間で連結されている、光結合半導体装置。
The optically coupled semiconductor device according to claim 5,
In the lead frame,
The tie bar portion to be separated into an external terminal included in the first light emitting side lead portion and an external terminal included in the second light emitting side lead portion, and an external included in the first light receiving side lead portion An optically coupled semiconductor device, wherein a terminal and the tie bar portion to be separated into an external terminal included in the second light receiving side lead portion are connected between adjacent element regions.
請求項1に記載の光結合半導体装置において、
前記リードフレームは、
前記素子領域の側縁に沿って位置するタイバー部を、その側面が、前記発光素子及び前記受光素子を樹脂封止する封止金型から流出した樹脂の流れ止めとして機能するよう構成したものである、光結合半導体装置。
The optically coupled semiconductor device according to claim 1,
The lead frame is
The tie bar portion positioned along the side edge of the element region is configured such that its side surface functions as a flow stopper for the resin flowing out from a sealing mold for resin-sealing the light emitting element and the light receiving element. An optically coupled semiconductor device.
請求項5に記載の光結合半導体装置において、
前記第1の発光側リード部に含まれる外部端子と、前記第2の発光側リード部に含まれる外部端子とは、これらの外部端子が一体として連結されてなる前記発光側タイバー部を切断し、該発光側タイバー部の切断部分の両側を屈曲させて形成したものであり、
前記第1の受光側リード部に含まれる外部端子と、前記第2の受光側リード部に含まれる外部端子とは、これらの外部端子が一体として連結されてなる前記受光側タイバー部を切断し、該受光側タイバー部の切断部分の両側を屈曲させて形成したものである、光結合半導体装置。
The optically coupled semiconductor device according to claim 5,
The external terminal included in the first light emitting side lead part and the external terminal included in the second light emitting side lead part cut the light emitting side tie bar part formed by integrally connecting these external terminals. , It is formed by bending both sides of the cut part of the light emitting side tie bar part,
The external terminal included in the first light receiving side lead portion and the external terminal included in the second light receiving side lead portion cut the light receiving side tie bar portion in which these external terminals are integrally connected. The optically coupled semiconductor device is formed by bending both sides of the cut portion of the light receiving side tie bar portion.
請求項1に記載の光結合半導体装置において、
前記発光素子は、プリコート樹脂により被覆され、
該プリコート樹脂により被覆された発光素子と、前記受光素子とが、透光性の内部モールド樹脂により被覆され、
該内部モールド樹脂の外側が遮光性の外部モールド樹脂により被覆されている、光結合半導体装置。
The optically coupled semiconductor device according to claim 1,
The light emitting element is coated with a precoat resin,
The light emitting element covered with the precoat resin and the light receiving element are covered with a translucent internal mold resin,
An optically coupled semiconductor device, wherein an outer side of the internal mold resin is covered with a light-shielding external mold resin.
請求項1に記載の光結合半導体装置において、
前記発光素子と前記受光素子とが透光性のドッキング樹脂により被覆され、
該ドッキング樹脂の外側が遮光性のモールド樹脂により被覆されている、光結合半導体装置。
The optically coupled semiconductor device according to claim 1,
The light emitting element and the light receiving element are covered with a translucent docking resin,
An optically coupled semiconductor device, wherein the outside of the docking resin is coated with a light-shielding mold resin.
光結合半導体装置を搭載した電気機器であって、
該光結合半導体装置は、請求項1乃至請求項11のいずれかに記載の光結合半導体装置である、電気機器。
An electrical device equipped with an optically coupled semiconductor device,
The optically coupled semiconductor device is an optical device which is the optically coupled semiconductor device according to any one of claims 1 to 11.
JP2010230942A 2010-10-13 2010-10-13 Optical coupling semiconductor device and electric appliance Withdrawn JP2012084749A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010230942A JP2012084749A (en) 2010-10-13 2010-10-13 Optical coupling semiconductor device and electric appliance

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010230942A JP2012084749A (en) 2010-10-13 2010-10-13 Optical coupling semiconductor device and electric appliance

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2012084749A true JP2012084749A (en) 2012-04-26

Family

ID=46243310

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010230942A Withdrawn JP2012084749A (en) 2010-10-13 2010-10-13 Optical coupling semiconductor device and electric appliance

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2012084749A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112259534A (en) * 2020-12-21 2021-01-22 宁波群芯微电子有限责任公司 Photoelectric coupler and forming method thereof

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112259534A (en) * 2020-12-21 2021-01-22 宁波群芯微电子有限责任公司 Photoelectric coupler and forming method thereof

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20090128557A (en) Optical coupler package
JP5956783B2 (en) Manufacturing method of semiconductor device
US4877756A (en) Method of packaging a semiconductor laser and photosensitive semiconductor device
US8748907B2 (en) Optical coupling device
JP2020088091A (en) Optical coupling device
JP2000232235A (en) Semiconductor device
KR100391094B1 (en) Dual die package and manufacturing method thereof
KR101644913B1 (en) Semiconductor package by using ultrasonic welding and methods of fabricating the same
JP2012084749A (en) Optical coupling semiconductor device and electric appliance
JP2007287809A (en) Laminated semiconductor device and method of the same
US7009304B2 (en) Resin-sealed semiconductor device
JP2011192817A (en) Surface mounted semiconductor device and method of manufacturing the same
CN104112811A (en) LED (light emitting diode) packaging method
JP7292241B2 (en) Semiconductor device and its manufacturing method
JPH05315540A (en) Semiconductor device
JPH06216313A (en) Semiconductor device sealed with resin
JP2013012567A (en) Semiconductor device
JPH11150291A (en) Optical coupler
JP2006032773A (en) Semiconductor device
JPH0366150A (en) Semiconductor integrated circuit device
JP2017208421A (en) Semiconductor device
JPH07221255A (en) Method for forming semiconductor device
JP5003451B2 (en) Resin mold package type electronic device and manufacturing method thereof
JPH0864745A (en) Semiconductor device
JP2010040826A (en) Semiconductor chip and method of manufacturing the same

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20140107