JP2012078476A - Composite etalon filter - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、レーザ装置に用いられる複合型エタロンフィルタに関する。 The present invention relates to a composite etalon filter used in a laser apparatus.
従来、レーザ装置は、半導体レーザと、この半導体レーザから照射されるレーザ光を平行にする光学系と、レーザ光を2系統に分割するビームスプリッタと、分割された一方のレーザ光に所定の波長の共振をさせるファブリペロー共振器と、このレーザ光が入射される光検出器とから主に構成される。 Conventionally, a laser apparatus includes a semiconductor laser, an optical system that collimates laser light emitted from the semiconductor laser, a beam splitter that divides the laser light into two systems, and a predetermined wavelength for one of the divided laser lights. This is mainly composed of a Fabry-Perot resonator that resonates and a photodetector to which the laser light is incident.
このように構成されるレーザ装置において、ファブリペロー共振器を2枚の反射板を用いた構造が知られている。この構造のファブリペロー共振器は、2枚の反射板の高い設置精度が求められる。例えば、2枚の反射板は、秒単位の平行度で設置しなければ、レーザ光の光透過特性が変わってしまうという問題があった(例えば、特許文献1参照)。 In the laser device configured as described above, a structure using two reflectors for a Fabry-Perot resonator is known. The Fabry-Perot resonator having this structure is required to have high installation accuracy of the two reflecting plates. For example, there is a problem in that the light transmission characteristics of the laser light change unless the two reflectors are installed with a parallelism in seconds (for example, see Patent Document 1).
そこで、ファブリペロー共振器に代えてエタロンフィルタを用いたレーザ装置が提案されている。従来のエタロンフィルタには、例えば、ソリッド構造とエアギャップ構造の2種類のものが用いられている。 Therefore, a laser apparatus using an etalon filter instead of the Fabry-Perot resonator has been proposed. As a conventional etalon filter, for example, two types of filters, a solid structure and an air gap structure, are used.
ソリッド構造のエタロンフィルタは、例えば、四角柱形状の部材の平行となる2平面に反射膜を設けた構造となっている。反射膜を設けた2平面のうち、一方の平面側から他方の平面に向けて光が透過するようになっている(例えば、特許文献1参照)。
ここで、エタロンフィルタを透過する光の特性について説明する。例えば、図1(b)に示すように、エタロンフィルタを透過する光は、縦軸を透過強度T(λ)、横軸を波長λとしたとき、所定の間隔で透過強度T(λ)の強度が高くなるピークを複数生じさせる特性を有している。
The solid structure etalon filter has a structure in which, for example, a reflective film is provided on two parallel planes of a quadrangular prism-shaped member. Of the two planes provided with the reflective film, light is transmitted from one plane side toward the other plane (see, for example, Patent Document 1).
Here, the characteristics of light transmitted through the etalon filter will be described. For example, as shown in FIG. 1B, the light transmitted through the etalon filter has a transmission intensity T (λ) at predetermined intervals, where the vertical axis indicates the transmission intensity T (λ) and the horizontal axis indicates the wavelength λ. It has the characteristic of producing a plurality of peaks with high intensity.
この複数のピークのうちの隣り合う2つのピークの間隔をFSR(フリー・スペクトラム・レンジ)という。
このFSRは、2平面に設けた反射膜の間をエタロンフィルタの光路の物理長数Lとしソリッドの屈折率をnとしたとき、光路の物理長数Lとソリッドの屈折率をnの積及び波長λによって決まる値でもある。
例えば、FSRは、以下の式で近似される。
FSR=λ2/(2nL)
The interval between two adjacent peaks among the plurality of peaks is called FSR (free spectrum range).
This FSR is a product of the physical length L of the optical path and the refractive index of the solid, where n is the physical length L of the optical path of the optical path of the etalon filter and n is the refractive index between the reflecting films provided on the two planes. It is also a value determined by the wavelength λ.
For example, FSR is approximated by the following equation.
FSR = λ 2 / ( 2 nL)
エアギャップ構造のエタロンフィルタは、2つの平板状の透明部材の間に2つの板部材を挟み、これら2つの板部材を所定の間隔をあけて2つの透明部材の間に空間を形成した構造となっている(例えば、特許文献2参照)。ここで2つの平板状の透明部材には、互いに向かい合う平面に反射膜が設けられている。このようなエアギャップ構造のエタロンフィルタは、2つの板部材によって、2つの平板状の透明部材の距離を所定の間隔に保つことができるようになっている。
ここで、エアギャップ構造のエタロンフィルタは、2つの透明部材に設けられた反射膜の間を光路の物理長数Lとしている。この場合のFSRは、ソリッド構造のエタロンフィルタと同様に光路の物理長数Lとエアギャップ部の媒質の屈折率nの積によって決まる。
また、エアギャップ構造のエタロンフィルタは、2つの平板状の透明部材の間に設けられる板部材を接合するために、接着剤を用いている。エアギャップ構造のエタロンフィルタは、接合に接着剤を用いることで容易な製造を可能としている。
また、接着剤を用いない接合としては、従来周知のオプティカルコンタクト法による接合が提案されている。
また、従来のレーザ装置は、前記半導体レーザ、光学系、ビームスプリッタ、エタロンフィルタ、光検出器を所定の間隔をあけて配置してモジュール化した半導体レーザモジュールが組み込まれている。
An etalon filter having an air gap structure has a structure in which two plate members are sandwiched between two flat transparent members, and a space is formed between the two transparent members with a predetermined interval between the two plate members. (For example, refer to Patent Document 2). Here, the two flat transparent members are provided with reflective films on the planes facing each other. Such an etalon filter having an air gap structure can keep the distance between two flat transparent members at a predetermined interval by two plate members.
Here, in the etalon filter having an air gap structure, the physical length L of the optical path is set between the reflective films provided on the two transparent members. The FSR in this case is determined by the product of the physical length L of the optical path and the refractive index n of the medium in the air gap portion, as in the case of the solid structure etalon filter.
The etalon filter having an air gap structure uses an adhesive to join a plate member provided between two flat transparent members. An etalon filter having an air gap structure can be easily manufactured by using an adhesive for bonding.
In addition, as a joining without using an adhesive, joining by a conventionally known optical contact method has been proposed.
Further, the conventional laser apparatus incorporates a semiconductor laser module in which the semiconductor laser, the optical system, the beam splitter, the etalon filter, and the photodetector are arranged at predetermined intervals to form a module.
しかしながら、従来のエアギャップ構造のエタロンフィルタにおいて、所定の波長温度特性を得るために、2つの平板状の透明部材の間隔を維持する必要がある。この間隔は、ソリッド構造のエタロンフィルタよりも長く設定される。また、エタロンフィルタから所定の間隔をあけてビームスプリッタが設けられるため、レーザ装置を小型にすることが困難となっていた。 However, in an etalon filter having a conventional air gap structure, it is necessary to maintain a distance between two flat transparent members in order to obtain a predetermined wavelength temperature characteristic. This interval is set longer than the solid structure etalon filter. Further, since the beam splitter is provided at a predetermined interval from the etalon filter, it has been difficult to reduce the size of the laser device.
また、エアギャップ構造のエタロンフィルタにおいて、接着剤を用いた接合状態では、製造の状況により接着剤の厚みにバラツキが生じる場合がある。このとき、接着剤の厚みのバラツキがエタロンフィルタの光路の物理長数Lを狂わせる原因となる。
したがって、光路の物理長数Lと定めたエタロンフィルタが接着剤により異なる光路の物理長数L´となってしまう。
これにより、エタロンフィルタを透過する光の特性が、縦軸を透過強度T(λ)、横軸を波長λとしたとき、エタロンフィルタの光路の物理長数Lで定めたFSRとは異なる位置にずれて新たなFSR´となる(図1(b)参照)。
そのため、所定の透過強度T(λ)に対して波長λが異なった値を示すこととなり、光学装置で使用されている発振波長を正しく知ること、つまり、発振波長のモニターが正しくできなくなる恐れがある。
Further, in an etalon filter having an air gap structure, when the adhesive is used, the thickness of the adhesive may vary depending on manufacturing conditions. At this time, the variation in the thickness of the adhesive causes the physical length L of the optical path of the etalon filter to be distorted.
Therefore, the etalon filter defined as the physical length L of the optical path has a different physical length L ′ of the optical path depending on the adhesive.
As a result, the characteristic of the light transmitted through the etalon filter is different from the FSR defined by the physical length number L of the optical path of the etalon filter, where the vertical axis represents the transmission intensity T (λ) and the horizontal axis represents the wavelength λ. It shifts to become a new FSR ′ (see FIG. 1B).
For this reason, the wavelength λ shows a different value with respect to the predetermined transmission intensity T (λ), and there is a possibility that the oscillation wavelength used in the optical device can be known correctly, that is, the oscillation wavelength cannot be monitored correctly. is there.
そこで、本発明では、前記した問題を解決し、レーザ装置の小型化に貢献できる複合型エタロンフィルタを提供することを課題とする。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a composite etalon filter that can solve the above-described problems and contribute to downsizing of a laser device.
前記課題を解決するため、本発明は、複合型エタロンフィルタであって、レーザ光を2系統に分割するビームスプリッタと、第二の透明部材と、前記ビームスプリッタと前記第二の透明部材との間に設けられる中空部材と、を備え、前記ビームスプリッタが、前記中空部材と対向する面に反射膜を備えつつ前記反射膜上に第一接合膜を備え、前記第二の透明部材が、前記中空部材と対向する面に反射膜を備えつつ前記反射膜上に第二接合膜を備え、前記中空部材が、中空部分の開口周囲であって前記ビームスプリッタと対向する面及び前記第二の透明部材と対向する面に第三接合膜を備え、前記ビームスプリッタの第一接合膜と前記中空部材の第三接合膜とが原子拡散接合法により接合され、前記第二の透明部材の第二接合膜と前記中空部材の第三接合膜とが原子拡散接合法により接合されることを特徴とする。 In order to solve the above problems, the present invention provides a composite etalon filter comprising: a beam splitter that divides laser light into two systems; a second transparent member; and the beam splitter and the second transparent member. A hollow member provided therebetween, and the beam splitter includes a first bonding film on the reflective film while including a reflective film on a surface facing the hollow member, and the second transparent member includes the second transparent member, A second bonding film is provided on the reflection film while a reflection film is provided on a surface facing the hollow member, and the hollow member is formed around the opening of the hollow portion and faces the beam splitter and the second transparent film. A third bonding film is provided on a surface facing the member, the first bonding film of the beam splitter and the third bonding film of the hollow member are bonded by an atomic diffusion bonding method, and the second bonding of the second transparent member Membrane and hollow member A third bonding film is characterized in that it is joined by atomic diffusion bonding.
また、本発明は、前記第一接合膜、前記第二接合膜、前記第三接合膜の膜厚が1nm以下となっていても良い。 In the present invention, the first bonding film, the second bonding film, and the third bonding film may have a film thickness of 1 nm or less.
このような複合型エタロンフィルタによれば、エタロンフィルタとビームスプリッタとが接合されているため、レーザ光が通る経路が短くなり、レーザ装置の小型化に貢献できる。
また、このような複合型エタロンフィルタによれば、接着剤を用いずにビームスプリッタと中空部材と第二の透明部材とを接合でき、かつ、厚みのバラツキを軽減することができるので、複合型エタロンフィルタの光路の物理長数Lの変化を起こしにくくすることができる。
また、前記第一接合膜、前記第二接合膜、前記第三接合膜の膜厚が1nm以下となっているので、入射される光の屈折を考慮する必要がなく、また、前記第一接合膜と前記第三接合膜との接合、及び前記第二接合膜と前記第三接合膜との接合が原子拡散接合により接合されているので、熱環境による剥がれを防ぐことができる。
According to such a composite type etalon filter, since the etalon filter and the beam splitter are joined, the path through which the laser light passes is shortened, which can contribute to the miniaturization of the laser device.
Further, according to such a composite type etalon filter, the beam splitter, the hollow member, and the second transparent member can be joined without using an adhesive, and variation in thickness can be reduced. The change in the physical length L of the optical path of the etalon filter can be made difficult to occur.
Further, since the film thickness of the first bonding film, the second bonding film, and the third bonding film is 1 nm or less, it is not necessary to consider the refraction of incident light, and the first bonding Since the bonding between the film and the third bonding film and the bonding between the second bonding film and the third bonding film are bonded by atomic diffusion bonding, peeling due to the thermal environment can be prevented.
次に、本発明を実施するための最良の形態(以下、「実施形態」という。)について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各構成要素について、状態をわかりやすくするために、誇張して図示している。 Next, the best mode for carrying out the present invention (hereinafter referred to as “embodiment”) will be described in detail with reference to the drawings as appropriate. Note that each component is exaggerated for easy understanding of the state.
図1(a)に示すように、本発明の実施形態に係る複合型エタロンフィルタ100は、ビームスプリッタ10と第二の透明部材20と中空部材30とから主に構成されている。
As shown in FIG. 1A, the
ビームスプリッタ10は、レーザ光を2系統に分割する役割を果たす。
このビームスプリッタ10は、透明部材であって例えばガラス又は結晶材料が用いられる。また、ビームスプリッタ10は、三角柱部材10a、10bが接合されて四角柱形状となっており、三角柱部材10a、10bのいずれか一方の斜面10cに光を分割するための光学膜が備わっている。例えば、一方の三角柱部材10aは、直角三角形に厚みを持たせた形状となっている。同様に、他方の三角柱部材10bも直角三角形に厚みを持たせた形状となっている。これら三角柱部材10aの斜辺と三角柱部材10bの斜辺とを重ねて四角柱形状のビームスプリッタ10が構成される。このビームスプリッタ10において、斜辺を含まないように三角柱部材10a、10bのどちらか一方の1つの面に反射膜が設けられている。なお、本実施形態では、三角柱部材10bに反射膜11が設けられるとする。このとき、ビームスプリッタ10は、反射膜11上に膜厚が1nm以下の金属からなる第一接合膜12を備えている。
また、ビームスプリッタ10は、反射膜11が設けられる面と直交する2つの面に反射防止膜13、14が設けられている。
なお、このビームスプリッタ10では、三角柱部材10aと三角柱部材10bとが接合している面でレーザ光を2系統に分割にしている。
The
The
The
In this
第二の透明部材20は、透明部材であって、例えばガラス又は結晶材料からなり、四角柱形状に形成されている。この第二の透明部材20は、例えばビームスプリッタ10と向かい合い、それぞれの向かい合う面の面積が同一となっている。
この四角柱形状の第二の透明部材20は、所定の平行する2面間を光が透過するようになっている。この所定の平行する2面のうちの一方の面は、後述する中空部材30と対向している。また、この第二の透明部材20は、後述する中空部材30と対向する面に反射膜21を備えつつこの反射膜21上に膜厚が1nm以下の金属からなる第二接合膜22を備えている。
なお、第二の透明部材20は、中空部材30と対向する面と平行となる面に反射防止膜23を設けても良い。
The 2nd
The quadrangular prism-shaped second
The second
中空部材30は、ビームスプリッタ10と第二の透明部材20との間に設けられるガラス又は結晶材料からなる。
この中空部材30は、壁部31を環状に形成して中空部分30aを形成した筒状となっており、壁部31に沿いつつ中空部分30aの中心を通る中心線Cに対して直交する方向の断面形状が四角形となっている。言い換えれば、中空部材30を輪切りにした場合の断面形状は、外形の輪郭形状がビームスプリッタ10及び第二の透明部材20と同じ形状の四角形となり、中空部分30aの輪郭が外形形状よりも大きさが小さい四角形となっている。
この中空部材30は、中空部分30aの開口周囲であってビームスプリッタ10と対向する面及び第二の透明部材20と対向する面に膜厚が1nm以下の第三接合膜32を備えている。
The
The
The
ビームスプリッタ10と中空部材30とは、ビームスプリッタ10に設けられた第一接合膜12と中空部材30に設けられた第三接合膜32とが原子拡散接合法により接合されている。
同様に、第二の透明部材20と中空部材30とは、第二の透明部材20に設けられた第二接合膜22と中空部材30に設けられた第三接合膜32とが原子拡散接合法により接合されている。
なお、ビームスプリッタ10と中空部材30との接合及び第二の透明部材20と中空部材30との接合の際は、例えば、真空雰囲気中で行われる。
また例えば、中空部材30の中空部分30aは、真空の他に、大気圧を維持した気密状態としても良いし、不活性ガス雰囲気中であって所定の圧力が維持された気密状態としても良い。
In the
Similarly, the second
In addition, the joining of the
In addition, for example, the
このような複合型エタロンフィルタ100によれば、エタロンフィルタとビームスプリッタとが接合されているため、レーザ光が通る経路が短くなり、レーザ装置の小型化に貢献できる。
また、このような複合型エタロンフィルタ100によれば、接着剤を用いずにビームスプリッタ10と中空部材30と第二の透明部材20とを接合でき、かつ、厚みのバラツキが軽減してFSRのずれを防ぐことができ、エタロンフィルタ100の光路の物理長数Lと中空部の媒質の屈折率nの積の変化を起こしにくくすることができる。これにより、光学装置で使用されている発振波長のモニターを精度良く行うことができる。
また、第一接合膜12、第二接合膜22、第三接合膜32の膜厚が1nm以下となっているので、入射される光の屈折を考慮する必要がなく、また、第一接合膜12と第三接合膜32との接合、及び第二接合膜22と第三接合膜32との接合が原子拡散接合により接合されているので、熱環境による剥がれを防ぐことができる。
According to such a composite
Moreover, according to such a composite
Further, since the film thickness of the
また、本発明の実施形態に係る複合型エタロンフィルタ100は、以下のように製造することができる。
本発明の実施形態に係る複合型エタロンフィルタを製造する際は、図3及び図4に示すように、ビームスプリッタとなる第一ウェハ10Wと、第二の透明部材となる第二ウェハ20Wと、中空部材となる第三ウェハ30Wとを用意する。
The
When manufacturing a composite type etalon filter according to an embodiment of the present invention, as shown in FIGS. 3 and 4, a
ここで、ビームスプリッタとなる第一ウェハ10Wは、例えば、図2(a)に示すように、所定の厚さの透明部材W,W・・・を複数枚重ねて接合してブロックBを形成し、重ねあわされて形成されるブロックBの積層部B1側から見た場合に、積層部B1に対して所定の角度で、かつ、所定の厚さとなるように切断線S1に沿って切断することで形成される(図2(b)参照)。
なお、図3及び図4は、反射防止膜を省略して図示している。
Here, for example, as shown in FIG. 2A, the
In FIGS. 3 and 4, the antireflection film is omitted.
次に図3に示すように、第一ウェハ10Wの一方の主面に例えばスパッタ等を用いて反射膜11を設ける。
同様に、第二ウェハ20Wの一方の主面に例えばスパッタ等を用いて反射膜21を設ける。なお、第二ウェハの他方の主面には、反射防止膜23(図1(a)参照)を設けておいても良い。
また、第三ウェハ30Wに厚み方向に貫通する貫通方向と直角になる方向で切断したときの断面が四角形状となる貫通孔30aを複数形成する。
なお、断面は四角形状以外でも構わない。例えば、円形状でもよい。
Next, as shown in FIG. 3, a
Similarly, the
Further, a plurality of through
The cross section may be other than a square shape. For example, it may be circular.
この状態において、第一ウェハ10Wの反射膜11上に第一接合膜12を設け、かつ、第三ウェハ30Wの一方の主面に第三接合膜32を設ける。
第一ウェハ10Wの反射膜11上に設けられた第一接合膜12と第三ウェハ30Wの一方の主面に設けられた第三接合膜32とを重ね合わせて原子拡散接合により接合する。
ここで、前記原子拡散接合法とは、互いに重なり合う接合面において、互いを構成する材料の原子が拡散し合うことによって接合する方法である。
In this state, the
The
Here, the atomic diffusion bonding method is a method of bonding by diffusing atoms of materials constituting each other on bonding surfaces that overlap each other.
第一ウェハ10Wと第三ウェハ30Wとが接合された状態において、第三ウェハ30Wの他方の主面に第三接合膜32を設け、かつ、第二ウェハ20Wの反射膜21上に第二接合膜22を設ける。
第二ウェハ20Wの反射膜21上に設けられた第二接合膜22と第三ウェハ30Wの他方の主面に設けられた第三接合膜32とを重ね合わせて原子拡散接合により、例えば、真空雰囲気中で接合する。
In a state where the
The
これにより、第一ウェハ10Wと第三ウェハ30Wと第二ウェハ20Wとが接合されて本発明の実施形態に係る複数の複合型エタロンフィルタ100が連なった状態となる(図4参照)。
この状態で、例えば、第三ウェハ30Wに設けた複数の貫通孔30aの間を目印にして、隣り合う貫通孔30aの間S2を切断することで、個々の複合型エタロンフィルタ100を得ることができる。なお、このときの貫通孔30aは、図1における中空部材30の中空部分30aを指す。
Thereby, the
In this state, for example, individual composite etalon filters 100 can be obtained by cutting S2 between adjacent through-
このように製造することにより、例えば、貫通孔30a内部、つまり中空部材30の中空部分30aを真空以外に大気圧の状態で気密することができる。なお、中空部分30a内は、不活性ガスを所定の圧力で気密しても良いし、大気であっても良い。
By manufacturing in this way, for example, the inside of the through
このようにすれば、本発明の実施形態に係る複合型エタロンフィルタを容易に製造することができる。 In this way, the composite etalon filter according to the embodiment of the present invention can be easily manufactured.
以上、本発明に係る実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。透明部材としては、接合膜あるいは反射膜を設けることができる耐熱性に優れた部材が好ましく、例えば、結晶材料である水晶や、ガラスや、ポリカーボネート等の樹脂を用いることができる。また、接合膜は拡散係数の大きいCuやTiなどの金属を用いることが好ましい。 As mentioned above, although embodiment which concerns on this invention was described, it cannot be overemphasized that this invention is not limited to the example which concerns. As the transparent member, a member excellent in heat resistance that can be provided with a bonding film or a reflection film is preferable. For example, a crystal material such as quartz, glass, or a resin such as polycarbonate can be used. The bonding film is preferably made of a metal such as Cu or Ti having a large diffusion coefficient.
100 複合型エタロンフィルタ
10 ビームスプリッタ
11 反射膜
12 第一接合膜
20 第二の透明部材
21 反射膜
22 第二接合膜
30 中空部材
30a 中空部分(貫通孔)
32 第三接合膜
DESCRIPTION OF
32 Third bonding film
Claims (2)
第二の透明部材と、
前記ビームスプリッタと前記第二の透明部材との間に設けられる中空部材と、を備え、
前記ビームスプリッタが、前記中空部材と対向する面に反射膜を備えつつ前記反射膜上に第一接合膜を備え、
前記第二の透明部材が、前記中空部材と対向する面に反射膜を備えつつ前記反射膜上に第二接合膜を備え、
前記中空部材が、中空部分の開口周囲であって前記ビームスプリッタと対向する面及び前記第二の透明部材と対向する面に第三接合膜を備え、
前記ビームスプリッタの第一接合膜と前記中空部材の第三接合膜とが原子拡散接合法により接合され、
前記第二の透明部材の第二接合膜と前記中空部材の第三接合膜とが原子拡散接合法により接合されることを特徴とする複合型エタロンフィルタ。 A beam splitter that splits the laser light into two systems;
A second transparent member;
A hollow member provided between the beam splitter and the second transparent member,
The beam splitter includes a first bonding film on the reflective film while including a reflective film on a surface facing the hollow member;
The second transparent member includes a second bonding film on the reflective film while including a reflective film on a surface facing the hollow member,
The hollow member includes a third bonding film on a surface facing the beam splitter and a surface facing the second transparent member around the opening of the hollow portion,
The first bonding film of the beam splitter and the third bonding film of the hollow member are bonded by an atomic diffusion bonding method,
A composite etalon filter, wherein the second bonding film of the second transparent member and the third bonding film of the hollow member are bonded by an atomic diffusion bonding method.
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016050863A (en) * | 2014-09-01 | 2016-04-11 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | Optical cell and manufacturing method thereof |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6169626B1 (en) * | 1999-06-29 | 2001-01-02 | E-Tek Dynamics | Optical signal interleaver |
JP2001281443A (en) * | 2000-03-28 | 2001-10-10 | Toyo Commun Equip Co Ltd | Air gap type fabry-perot etalon |
US6587204B2 (en) * | 2000-12-27 | 2003-07-01 | Optoplex Corporation | Application of a step-phase interferometer in optical communication |
JP2003294937A (en) * | 2002-03-29 | 2003-10-15 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | Optical resonator and wavelength management module |
JP2004337927A (en) * | 2003-05-15 | 2004-12-02 | Tadatomo Suga | Substrates joining method and substrates joining device |
JP2007315844A (en) * | 2006-05-24 | 2007-12-06 | Matsushita Electric Works Ltd | Beam splitter and laser marker using same |
JP2008062267A (en) * | 2006-09-06 | 2008-03-21 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Method and apparatus for room temperature joining |
JP2008076749A (en) * | 2006-09-21 | 2008-04-03 | Yokogawa Electric Corp | Fabry-perot element |
JP2008116669A (en) * | 2006-11-02 | 2008-05-22 | Seiko Epson Corp | Optical device, manufacturing method of optical device, wavelength variable filter, wavelength variable filter module and optical spectrum analyzer |
JP2008207221A (en) * | 2007-02-27 | 2008-09-11 | Takehito Shimazu | Room temperature joining method |
JP2010046696A (en) * | 2008-08-22 | 2010-03-04 | Musashino Eng:Kk | Nuclear diffusion joining method and structure joined thereby |
-
2010
- 2010-09-30 JP JP2010222310A patent/JP2012078476A/en active Pending
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6169626B1 (en) * | 1999-06-29 | 2001-01-02 | E-Tek Dynamics | Optical signal interleaver |
JP2001281443A (en) * | 2000-03-28 | 2001-10-10 | Toyo Commun Equip Co Ltd | Air gap type fabry-perot etalon |
US6587204B2 (en) * | 2000-12-27 | 2003-07-01 | Optoplex Corporation | Application of a step-phase interferometer in optical communication |
JP2003294937A (en) * | 2002-03-29 | 2003-10-15 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | Optical resonator and wavelength management module |
JP2004337927A (en) * | 2003-05-15 | 2004-12-02 | Tadatomo Suga | Substrates joining method and substrates joining device |
JP2007315844A (en) * | 2006-05-24 | 2007-12-06 | Matsushita Electric Works Ltd | Beam splitter and laser marker using same |
JP2008062267A (en) * | 2006-09-06 | 2008-03-21 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Method and apparatus for room temperature joining |
JP2008076749A (en) * | 2006-09-21 | 2008-04-03 | Yokogawa Electric Corp | Fabry-perot element |
JP2008116669A (en) * | 2006-11-02 | 2008-05-22 | Seiko Epson Corp | Optical device, manufacturing method of optical device, wavelength variable filter, wavelength variable filter module and optical spectrum analyzer |
JP2008207221A (en) * | 2007-02-27 | 2008-09-11 | Takehito Shimazu | Room temperature joining method |
JP2010046696A (en) * | 2008-08-22 | 2010-03-04 | Musashino Eng:Kk | Nuclear diffusion joining method and structure joined thereby |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016050863A (en) * | 2014-09-01 | 2016-04-11 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | Optical cell and manufacturing method thereof |
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