JP2012074667A - Wiring board - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a compact wiring board having high bond strength between a terminal electrode and an insulation substrate.SOLUTION: The wiring board includes: an insulation substrate 1; a terminal electrode 2 disposed on the top face of the insulation substrate 1; and a lead terminal 5 bonded to the terminal electrode 2 and extending to the face direction of the insulation substrate 1. The wiring board further includes a metallic body 2a protruding from the terminal electrode 2 into the insulation substrate 1. The metallic body 2a is disposed at least on an end portion of the terminal electrode 2 on the opposite side to the extending direction of the lead terminal 5. Even if tensile force is applied to the terminal electrode 2 by the application of stress to pull the lead terminal 5 to the face direction of the insulation substrate 1, the metallic body 2a is engaged inside the insulation substrate 1, and thus, the terminal electrode 2 can be prevented from being peeled from the insulation substrate 1.

Description

本発明は、半導体素子等の電子部品を収容して搭載するための配線基板に関するものである。   The present invention relates to a wiring board for accommodating and mounting an electronic component such as a semiconductor element.

従来、半導体素子や水晶振動子等の電子部品を搭載するための配線基板は、例えば、酸化アルミニウム質焼結体等の電気絶縁材料から成る絶縁基板の表面に、タングステンやモリブデン等の金属粉末メタライズから成る配線導体や端子電極が配設されることによって形成されている。   Conventionally, wiring boards for mounting electronic components such as semiconductor elements and crystal resonators are made of metal powder metallization such as tungsten or molybdenum on the surface of an insulating substrate made of an electrically insulating material such as an aluminum oxide sintered body. The wiring conductor and terminal electrode which consist of are formed.

このような配線基板には、通常、電子部品に接続するために表面に導出された配線導体を備える電子部品搭載領域を備えている。そして、このような配線基板の電子部品搭載領域に電子部品を搭載するとともに、電子部品の各電極を半田やボンディングワイヤ等の電気的接続手段を介して対応する各配線導体に電気的に接続することによって、電子装置が作製される。また、電子装置は、必要に応じて、金属,セラミックス,ガラスまたは樹脂等からなる蓋体、あるいはレンズ鏡筒で電子部品を覆うように接合することによって電子部品を封止する(特許文献1を参照。)。このような電子装置は、端子電極と外部回路基板の電極とを接合材を介して電気的に接続したり、端子電極にリード端子を接合する等の方法で外部の電気回路等に電気的に接続していた。   Such a wiring board is usually provided with an electronic component mounting region including a wiring conductor led to the surface for connection to the electronic component. And while mounting an electronic component in the electronic component mounting area | region of such a wiring board, each electrode of an electronic component is electrically connected to each corresponding wiring conductor via electrical connection means, such as solder and a bonding wire. Thus, an electronic device is manufactured. Moreover, an electronic device seals an electronic component by joining so as to cover the electronic component with a lid made of metal, ceramics, glass, resin, or the like, or a lens barrel as necessary (see Patent Document 1). reference.). Such an electronic device is electrically connected to an external electric circuit or the like by a method such as electrically connecting a terminal electrode and an electrode of an external circuit board via a bonding material or bonding a lead terminal to the terminal electrode. I was connected.

特開2003−163297号公報JP2003-163297

しかしながら、近年は、電子装置の小型化,薄型化および高精度化に伴い、配線基板も小型化されてきており、端子電極も小さくなってきている。端子電極に、配線基板の主面の面方向に延びるようなリード端子を接合する場合であれば、端子電極が小さくなると、リード端子から引っ張られて端子電極に応力が加わると、リード端子と端子電極との接合強度よりも端子電極と絶縁基板との接合強度が低いので、端子電極が絶縁基板から剥がれてしまうことがあった。このように端子電極が絶縁基板から剥がれる際には、端子電極は、端子電極のリード端子の延びる方向とは反対側の端部から剥がれやすいものであった。   However, in recent years, with the miniaturization, thinning, and high precision of electronic devices, wiring boards have also been miniaturized, and terminal electrodes have also become smaller. If a lead terminal that extends in the surface direction of the main surface of the wiring board is joined to the terminal electrode, if the terminal electrode becomes smaller, if the terminal electrode is pulled and stress is applied to the terminal electrode, the lead terminal and the terminal Since the bonding strength between the terminal electrode and the insulating substrate is lower than the bonding strength with the electrode, the terminal electrode may be peeled off from the insulating substrate. Thus, when the terminal electrode is peeled off from the insulating substrate, the terminal electrode is easily peeled off from the end of the terminal electrode opposite to the extending direction of the lead terminal.

本発明は上記従来技術の問題点に鑑み案出されたもので、その目的は、小型で、端子電極と絶縁基基板との接合強度の高い配線基板を提供することにある。   The present invention has been devised in view of the above problems of the prior art, and an object of the present invention is to provide a wiring board that is small in size and has high bonding strength between a terminal electrode and an insulating base board.

本発明の配線基板は、絶縁基板と、該絶縁基板の上面に配置された端子電極と、該端子電極に接合されて、前記絶縁基板の面方向に延びたリード端子とを備えた配線基板において、前記端子電極の端部は、前記絶縁基板の内部から前記絶縁基板上面に至る金属体に接合されていることを特徴とするものである。   The wiring board of the present invention includes an insulating substrate, a terminal electrode disposed on the upper surface of the insulating substrate, and a lead terminal bonded to the terminal electrode and extending in the surface direction of the insulating substrate. The end portions of the terminal electrodes are bonded to a metal body extending from the inside of the insulating substrate to the upper surface of the insulating substrate.

また、本発明の配線基板は、上記構成において、前記金属体は上面側よりも下面側が大きいことを特徴とするものである。   The wiring board of the present invention is characterized in that, in the above configuration, the metal body is larger on the lower surface side than on the upper surface side.

また、本発明の配線基板は、上記構成において、前記リード端子は前記絶縁基板の前記
外周から前記絶縁基板の外側に延びており、前記端子電極の端部が前記絶縁基板の外周に接して配置され、前記金属体が前記端子電極の前記絶縁基板の外周側にも配置されるとともに前記絶縁基板の側面に露出しており、前記リード端子は、前記絶縁基板の側面に露出した前記金属体および前記端子電極に接合されていることを特徴とするものである。
In the wiring board of the present invention, the lead terminal extends from the outer periphery of the insulating substrate to the outside of the insulating substrate, and the end of the terminal electrode is in contact with the outer periphery of the insulating substrate. The metal body is also disposed on the outer peripheral side of the insulating substrate of the terminal electrode and exposed on a side surface of the insulating substrate, and the lead terminal is exposed on the side surface of the insulating substrate and It is joined to the terminal electrode.

また、本発明の配線基板は、上記構成において、前記絶縁基板の上面から前記端子電極の前記端部にかけて被覆するように絶縁層が形成されていることを特徴とするものである。   The wiring board of the present invention is characterized in that, in the above configuration, an insulating layer is formed so as to cover from the upper surface of the insulating substrate to the end of the terminal electrode.

また、本発明の配線基板は、上記構成において、前記金属体は、前記リード端子の延びる方向とは反対側の前記端子電極の端と平面視で重なるように配置されていることを特徴とするものである。   The wiring board according to the present invention is characterized in that, in the above configuration, the metal body is disposed so as to overlap with an end of the terminal electrode opposite to the extending direction of the lead terminal in a plan view. Is.

また、本発明の配線基板は、上記構成において、前記金属体は複数配置され、前記絶縁基板の内部で前記金属体同士がつながっていることを特徴とするものである。   The wiring board according to the present invention is characterized in that, in the above configuration, a plurality of the metal bodies are arranged, and the metal bodies are connected to each other inside the insulating substrate.

本発明の配線基板は、端子電極の端部が、絶縁基板の内部から絶縁基板上面に至る金属体に接合されていることから、リード端子に絶縁基板の面方向に引っ張られるような応力が加わることで、端子電極にリード端子の延びる方向から引っ張られる力が加わっても、金属体が絶縁基板内に引っかかるので、端子電極が端部から剥がれることを抑制できる。   In the wiring board of the present invention, since the end of the terminal electrode is joined to a metal body extending from the inside of the insulating substrate to the top surface of the insulating substrate, stress is applied to the lead terminal so as to be pulled in the surface direction of the insulating substrate. Thus, even if a force pulled from the direction in which the lead terminal extends is applied to the terminal electrode, the metal body is caught in the insulating substrate, so that the terminal electrode can be prevented from peeling off from the end.

また、本発明の配線基板は、上記構成において、金属体は上面側よりも下面側が大きい場合には、端子電極に引っ張られるような力が加わっても、金属体の下面側が絶縁基板に引っかかるので、端子電極が絶縁基板からより剥がれにくくなる。   In the wiring board of the present invention, in the above configuration, when the metal body is larger on the lower surface side than the upper surface side, the lower surface side of the metal body is caught on the insulating substrate even if a force that is pulled on the terminal electrode is applied. The terminal electrode is more difficult to peel off from the insulating substrate.

また、本発明の配線基板は、上記構成において、リード端子は絶縁基板の外周から絶縁基板の外側に延びており、端子電極の端部が絶縁基板の外周に接して配置され、金属体が端子電極の絶縁基板の外周側にも配置されるとともに絶縁基板の側面に露出しており、リード端子は、絶縁基板の側面に露出した金属体および端子電極に接合されている場合には、リード端子が絶縁基板の上面と側面とにまたがって接合されているので、リード端子と端子電極との接合強度を高めることができる。   In the wiring board according to the present invention, the lead terminal extends from the outer periphery of the insulating substrate to the outside of the insulating substrate, the end of the terminal electrode is disposed in contact with the outer periphery of the insulating substrate, and the metal body is the terminal. When the lead terminal is also disposed on the outer peripheral side of the insulating substrate of the electrode and exposed to the side surface of the insulating substrate, and the lead terminal is bonded to the metal body and the terminal electrode exposed on the side surface of the insulating substrate, the lead terminal Is bonded over the upper surface and the side surface of the insulating substrate, so that the bonding strength between the lead terminal and the terminal electrode can be increased.

また、本発明の配線基板は、上記構成において、絶縁基板の上面から端子電極の前記端部にかけて被覆するように絶縁層が形成されている場合には、端子電極を引っ張るような力が加わっても、端子電極の剥がれの起点となる端が絶縁層に埋設されて押さえられているので、端子電極が絶縁基板から剥がれることを抑制するのにより有効である。   In the wiring board of the present invention, in the above configuration, when an insulating layer is formed so as to cover from the upper surface of the insulating substrate to the end portion of the terminal electrode, a force that pulls the terminal electrode is applied. However, since the end from which the terminal electrode is peeled off is embedded and pressed in the insulating layer, it is more effective to suppress the terminal electrode from peeling off from the insulating substrate.

また、本発明の配線基板は、上記構成において、金属体が、リード端子の延びる方向とは反対側の端子電極の端と、平面視で重なるように配置されている場合には、端子電極を引っ張るような力が加わっても、端子電極の剥がれの起点となる端が同じ金属の金属体と接合して接合強度が高いので、端子電極が絶縁基板から剥がれることを抑制するのにより有効である。   In the wiring board of the present invention, when the metal body is arranged so as to overlap the end of the terminal electrode on the side opposite to the direction in which the lead terminal extends in the above configuration, the terminal electrode Even if a pulling force is applied, the end of the terminal electrode from which the terminal electrode peels off is bonded to the same metal body and the bonding strength is high, so it is more effective to suppress the terminal electrode from peeling off the insulating substrate. .

また、本発明の配線基板は、上記構成において、金属体は複数配置され、絶縁基板の内部で金属体同士がつながっている場合には、端子電極を引っ張るような力が加わっても、金属体同士をつないでいる部分が絶縁基板に引っかかって、端子電極が絶縁基板から剥がれることを抑制するのに有効である。   In the wiring board of the present invention, in the above configuration, when a plurality of metal bodies are arranged and the metal bodies are connected to each other inside the insulating substrate, the metal bodies are applied even if a force that pulls the terminal electrode is applied. This is effective in suppressing the portion where the terminals are connected to each other from being caught on the insulating substrate and the terminal electrode from being peeled off from the insulating substrate.

(a)は、本発明の配線基板の実施の形態の要部の一例を示す平面図であり、(b)は(a)のA−A線における断面図である。(A) is a top view which shows an example of the principal part of embodiment of the wiring board of this invention, (b) is sectional drawing in the AA of (a). (a)および(b)は、それぞれ本発明の配線基板の実施の形態の他の例を示す断面図である。(A) And (b) is sectional drawing which shows the other example of embodiment of the wiring board of this invention, respectively. (a)は、本発明の配線基板の実施の形態の一例を示す平面図であり、(b)は(a)のA−A線における断面図である。(A) is a top view which shows an example of embodiment of the wiring board of this invention, (b) is sectional drawing in the AA of (a). (a)は、本発明の配線基板の実施の形態の他の例を示す平面図であり、(b)は(a)のA−A線における断面図である。(A) is a top view which shows the other example of embodiment of the wiring board of this invention, (b) is sectional drawing in the AA of (a). (a)は、本発明の配線基板の実施の形態の他の例を示す平面図であり、(b)は(a)のA−A線における断面図である。(A) is a top view which shows the other example of embodiment of the wiring board of this invention, (b) is sectional drawing in the AA of (a). (a)は、本発明の配線基板の実施の形態の他の例を示す平面図であり、(b)は(a)のA−A線における断面図である。(A) is a top view which shows the other example of embodiment of the wiring board of this invention, (b) is sectional drawing in the AA of (a). (a)は、本発明の配線基板の実施の形態の他の例を示す平面図であり、(b)は(a)のA−A線における断面図である。(A) is a top view which shows the other example of embodiment of the wiring board of this invention, (b) is sectional drawing in the AA of (a). (a)および(b)は、それぞれ本発明の配線基板の実施の形態の他の例を示す断面図である。(A) And (b) is sectional drawing which shows the other example of embodiment of the wiring board of this invention, respectively.

本発明の配線基板について、添付の図面を参照しつつ説明する。図1〜図6において、1は絶縁基板、1aは絶縁層、2は端子電極、2aは金属体、3は配線導体、4は接続電極、5はリード端子である。   The wiring board of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. 1 to 6, 1 is an insulating substrate, 1a is an insulating layer, 2 is a terminal electrode, 2a is a metal body, 3 is a wiring conductor, 4 is a connection electrode, and 5 is a lead terminal.

本発明の配線基板は、図1〜図6に示す例のように、絶縁基板1と、絶縁基板1の上面に配置された端子電極2と、端子電極2に接合されて、絶縁基板1の面方向に延びたリード端子5とを備えた配線基板において、リード端子5の延びる方向とは反対側の端子電極2の端部は、絶縁基板1の内部から絶縁基板1上面に至る金属体2aに接合されていることから、リード端子5に絶縁基板1の面方向に引っ張られるような応力が加わることで、端子電極2に引っ張られる力が加わっても、金属体2aが絶縁基板1内に引っかかるので、端子電極2がリード端子5の延びる方向の反対側の端部から剥がれることを抑制できる。   1 to 6, the wiring board of the present invention is bonded to the insulating substrate 1, the terminal electrode 2 disposed on the upper surface of the insulating substrate 1, and the terminal electrode 2. In the wiring board having the lead terminals 5 extending in the surface direction, the end of the terminal electrode 2 opposite to the direction in which the lead terminals 5 extend is the metal body 2a extending from the inside of the insulating substrate 1 to the upper surface of the insulating substrate 1. Therefore, even if a force to be pulled by the terminal electrode 2 is applied to the lead terminal 5 due to a stress that is pulled in the surface direction of the insulating substrate 1, the metal body 2 a is placed in the insulating substrate 1. Since it is caught, it can suppress that the terminal electrode 2 peels from the edge part on the opposite side to the direction where the lead terminal 5 is extended.

また、金属体2aは、図2に示す例のように、上面側よりも下面側が大きい場合には、端子電極2に引っ張られるような力が加わっても、金属体2aの下面側が絶縁基板1に引っかかるので、端子電極2が絶縁基板1から剥がれることを低減するのにより有効である。   Further, when the lower surface side of the metal body 2a is larger than the upper surface side as in the example shown in FIG. 2, the lower surface side of the metal body 2a remains on the insulating substrate 1 even if a force that is pulled by the terminal electrode 2 is applied. Therefore, it is more effective to reduce the peeling of the terminal electrode 2 from the insulating substrate 1.

また、図3に示す例のように、リード端子5は絶縁基板1の外周から絶縁基板1の外側に延びており、端子電極2の端部が絶縁基板1の外周に接して配置され、金属体2aが端子電極2の絶縁基板1の外周側にも配置されるとともに絶縁基板1の側面に露出しており、リード端子5が、絶縁基板1の側面に露出した金属体2aおよび端子電極2に接合されている場合には、リード端子5は絶縁基板1の上面と側面とにまたがって接合されているので、リード端子5と端子電極2との接合強度を高めることができる。また、配線導体3が絶縁基板1の側面に露出された表面は接続電極4に接続されている。   Further, as in the example shown in FIG. 3, the lead terminal 5 extends from the outer periphery of the insulating substrate 1 to the outside of the insulating substrate 1, and the end portion of the terminal electrode 2 is disposed in contact with the outer periphery of the insulating substrate 1. The body 2a is also disposed on the outer peripheral side of the insulating substrate 1 of the terminal electrode 2 and is exposed on the side surface of the insulating substrate 1, and the lead terminal 5 is exposed on the side surface of the insulating substrate 1 and the terminal electrode 2 In the case where the lead terminals 5 are joined to each other, the lead terminals 5 are joined across the upper surface and the side surface of the insulating substrate 1, so that the joining strength between the lead terminals 5 and the terminal electrodes 2 can be increased. The surface where the wiring conductor 3 is exposed on the side surface of the insulating substrate 1 is connected to the connection electrode 4.

また、図4に示す例のように、絶縁基板1の上面から端子電極2の端部にかけて被覆するように絶縁層1aが形成されている場合には、端子電極2を引っ張るような力が加わっても、端子電極2の剥がれの起点となる端が絶縁層1aに埋設されて押さえられているので、端子電極2が絶縁基板1から剥がれることを抑制するのにより有効である。   In addition, as in the example shown in FIG. 4, when the insulating layer 1 a is formed so as to cover from the upper surface of the insulating substrate 1 to the end of the terminal electrode 2, a force that pulls the terminal electrode 2 is applied. However, since the end from which the terminal electrode 2 is peeled off is embedded and pressed in the insulating layer 1a, it is more effective to suppress the terminal electrode 2 from being peeled from the insulating substrate 1.

また、図5および図6に示す例のように、金属体2aが、リード端子5の延びる方向と
は反対側の端子電極2の端と、平面視で重なるように配置されている場合には、端子電極2を引っ張るような力が加わっても、端子電極2の剥がれの起点となる端が同じ金属の金属体2aと接合しており接合強度が高いので、端子電極2が絶縁基板1から剥がれることを抑制するのに有効である。
Further, as in the example shown in FIGS. 5 and 6, when the metal body 2 a is disposed so as to overlap with the end of the terminal electrode 2 on the opposite side to the extending direction of the lead terminal 5 in plan view. Even when a force that pulls the terminal electrode 2 is applied, the end from which the terminal electrode 2 is peeled off is bonded to the same metal body 2a and the bonding strength is high. It is effective in suppressing peeling.

また、図7に示す例のように、金属体2aは複数配置され、絶縁基板1の内部で金属体2a同士がつながっている場合には、端子電極2を引っ張るような力が加わっても、金属体2a同士をつないでいる部分が絶縁基板1に引っかかって、端子電極2が絶縁基板1から剥がれることを抑制するのに有効である。   In addition, as in the example shown in FIG. 7, a plurality of metal bodies 2 a are arranged, and when the metal bodies 2 a are connected to each other inside the insulating substrate 1, even if a force that pulls the terminal electrode 2 is applied, It is effective to suppress the portion where the metal bodies 2a are connected to each other from being caught on the insulating substrate 1 and peeling off the terminal electrode 2 from the insulating substrate 1.

絶縁基板1は、セラミックスや樹脂等の絶縁体から成るものである。セラミックスから成る場合は、例えば、酸化アルミニウム質焼結体(アルミナセラミックス),窒化アルミニウム質焼結体,ムライト質焼結体およびガラスセラミックス質焼結体等が挙げられ、樹脂からなる場合は、例えば、エポキシ樹脂,ポリイミド樹脂,アクリル樹脂,フェノール樹脂,ポリエステル樹脂、および四フッ化エチレン樹脂を始めとするフッ素系樹脂等が挙げられる。また、ガラスエポキシ樹脂のように、ガラス繊維から成る基材に樹脂を含浸させたものが挙げられる。   The insulating substrate 1 is made of an insulator such as ceramics or resin. When made of ceramics, for example, aluminum oxide sintered bodies (alumina ceramics), aluminum nitride sintered bodies, mullite sintered bodies, glass ceramic sintered bodies, and the like can be mentioned. , Fluororesins such as epoxy resin, polyimide resin, acrylic resin, phenol resin, polyester resin, and tetrafluoroethylene resin. Moreover, what impregnated resin to the base material which consists of glass fibers like glass epoxy resin is mentioned.

絶縁基板1が、例えば、酸化アルミニウム質焼結体からなる場合には、アルミナ(Al),シリカ(SiO),カルシア(CaO)およびマグネシア(MgO)等の原料粉末に適当な有機溶剤および溶媒を添加混合して泥漿状となすとともに、これを従来周知のドクターブレード法やカレンダーロール法等を採用してシート状に成形することによってセラミックグリーンシートを得て、次に、セラミックグリーンシートに適当な打ち抜き加工を施すとともに必要に応じて複数枚積層し、高温(約1500〜1800℃)で焼成することによって製作され 絶縁基板1が、例えば、樹脂から成る場合は、所定の配線基板の形状に成形できるような金型を用いて、トランスファーモールド法やインジェクションモールド法等によって成形することができる。また、例えば、ガラスエポキシ樹脂のように、ガラス繊維から成る基材に樹脂を含浸させたものであってもよく、この場合は、ガラス繊維から成る基材にエポキシ樹脂の前駆体を含浸させ、このエポキシ樹脂前駆体を所定の温度で熱硬化させることによって形成することができる。 When the insulating substrate 1 is made of, for example, an aluminum oxide sintered body, organic materials suitable for raw material powders such as alumina (Al 2 O 3 ), silica (SiO 2 ), calcia (CaO), and magnesia (MgO) are used. A ceramic green sheet is obtained by adding a solvent and a solvent to form a slurry, and forming this into a sheet using a conventionally known doctor blade method, calendar roll method, etc. Appropriate punching processing is performed on the sheet, and a plurality of sheets are laminated as necessary, and the sheet is manufactured by firing at a high temperature (about 1500 to 1800 ° C). Using a mold that can be molded into any shape, using the transfer molding method, injection molding method, etc. It can be. Further, for example, a glass fiber base material impregnated with a resin, such as glass epoxy resin, in this case, a glass fiber base material is impregnated with an epoxy resin precursor, The epoxy resin precursor can be formed by thermosetting at a predetermined temperature.

端子電極2,配線導体3および接続電極4は、絶縁基板1がセラミックスからなる場合は、タングステン(W),モリブデン(Mo),マンガン(Mn),銀(Ag),銅(Cu)等の金属粉末メタライズから成り、絶縁基板1用のセラミックグリーンシートに端子電極2,配線導体3または接続電極4用の導体ペーストをスクリーン印刷法等により所定形状に印刷して、絶縁基板1用のセラミックグリーンシートと同時に焼成することによって、配線基板の所定位置に形成される。   The terminal electrode 2, the wiring conductor 3, and the connection electrode 4 are made of metal such as tungsten (W), molybdenum (Mo), manganese (Mn), silver (Ag), or copper (Cu) when the insulating substrate 1 is made of ceramics. A ceramic green sheet for insulating substrate 1, which is made of powder metallization, is printed on a ceramic green sheet for insulating substrate 1 in a predetermined shape with a conductive paste for terminal electrode 2, wiring conductor 3 or connection electrode 4 by screen printing or the like. By baking simultaneously, it forms in the predetermined position of a wiring board.

配線導体3には、絶縁基板1の表面や絶縁層間に配置される配線導体と、絶縁層を貫通して上下に位置する配線導体3同士を電気的に接続する貫通導体とがある。絶縁基板1がセラミックスからなる場合は、絶縁層間に配置される配線導体は、絶縁基板1用のセラミックグリーンシートにスクリーン印刷法等の印刷手段によって配線導体3用のメタライズペーストを印刷塗布し、母基板1用の生成形体とともに焼成することによって形成される。また、貫通導体は、配線導体3を形成するためのメタライズペーストの印刷塗布に先立って絶縁基板1用のセラミックグリーンシートに金型やパンチングによる打ち抜き加工またはレーザ加工等の加工方法によって貫通導体用の貫通孔を形成し、この貫通孔に貫通導体用のメタライズペーストをスクリーン印刷法等の印刷手段によって充填しておき、絶縁基板1となる生成形体とともに焼成することによって形成する。メタライズペーストは、主成分の金属粉末に有機バインダーおよび有機溶剤、また必要に応じて分散剤等を加えてボールミル,三本ロールミルまたはプラネタリーミキサー等の混練手段によって混合およ
び混練することで作製する。また、セラミックグリーンシートの焼結挙動に合わせたり、焼成後の絶縁基板1との接合強度を高めたりするために、ガラスやセラミックスの粉末を添加してもよい。貫通導体用のメタライズペーストは、有機バインダーや有機溶剤の種類や添加量によって、充填に適した、一般的に配線導体3用のメタライズペーストよりも高い粘度に調整される。なお、メタライズペーストには絶縁基板1との接合強度を高めるために、ガラスやセラミックスを含んでいても構わない。
The wiring conductor 3 includes a wiring conductor disposed between the surface of the insulating substrate 1 and the insulating layers, and a through conductor that electrically connects the wiring conductors 3 positioned vertically through the insulating layer. When the insulating substrate 1 is made of ceramics, the wiring conductor disposed between the insulating layers is obtained by printing and applying a metallized paste for the wiring conductor 3 on a ceramic green sheet for the insulating substrate 1 by printing means such as a screen printing method. It is formed by firing together with a generated shape for the substrate 1. Further, the through conductor is formed for the through conductor by a processing method such as punching or laser processing using a die or punching on the ceramic green sheet for the insulating substrate 1 prior to printing and application of the metallized paste for forming the wiring conductor 3. A through hole is formed, and a metallized paste for a through conductor is filled in the through hole by a printing means such as a screen printing method, and is fired together with a generated shape to be the insulating substrate 1. The metallized paste is prepared by adding an organic binder and an organic solvent to the main component metal powder and, if necessary, a dispersing agent and the like, and mixing and kneading by a kneading means such as a ball mill, a three-roll mill or a planetary mixer. Further, glass or ceramic powder may be added to match the sintering behavior of the ceramic green sheet or to increase the bonding strength with the insulating substrate 1 after firing. The metallized paste for the through conductor is adjusted to a viscosity higher than that of the metallized paste for the wiring conductor 3, which is suitable for filling, depending on the type and amount of the organic binder or organic solvent. The metallized paste may contain glass or ceramics in order to increase the bonding strength with the insulating substrate 1.

また、絶縁基板1が樹脂から成る場合には、端子電極2,配線導体3および接続電極4は、銅,金,アルミニウム,ニッケル,クロム,モリブデン,チタンおよびそれらの合金等の金属材料から成る。例えば、ガラスエポキシ樹脂から成る樹脂シート上に端子電極2の形状に加工した銅箔を転写し、銅箔が転写された樹脂シートを積層して接着剤で接着することによって形成する。また、配線導体3のうち、樹脂シートを厚み方向に貫通する貫通導体は、導体ペーストの印刷やめっき法によって樹脂シートに形成した貫通孔の内面に被着形成するか、貫通孔を充填して形成すればよい。また、金属箔や金属柱を樹脂成形によって一体化させたり、絶縁基板1にスパッタリング法,蒸着法等,めっき法等を用いて被着させて形成される。   When the insulating substrate 1 is made of resin, the terminal electrode 2, the wiring conductor 3, and the connection electrode 4 are made of a metal material such as copper, gold, aluminum, nickel, chromium, molybdenum, titanium, and alloys thereof. For example, the copper foil processed into the shape of the terminal electrode 2 is transferred onto a resin sheet made of glass epoxy resin, and the resin sheet on which the copper foil is transferred is laminated and bonded with an adhesive. Further, among the wiring conductors 3, the through conductors that penetrate the resin sheet in the thickness direction are deposited on the inner surfaces of the through holes formed in the resin sheet by conductor paste printing or plating, or filled with the through holes. What is necessary is just to form. Further, it is formed by integrating a metal foil or a metal column by resin molding or by depositing the insulating substrate 1 using a sputtering method, a vapor deposition method, a plating method or the like.

端子電極2は、図1〜図6に示す例のように、絶縁基板1の一方主面および側面の少なくとも一方に配置されている。特に、端子電極2は、端子電極2の端部が絶縁基板1の外周に接して配置され、絶縁基板1の外周側に配置された金属体2aが絶縁基板1の側面に露出されていることが好ましい。   The terminal electrode 2 is disposed on at least one of the one main surface and the side surface of the insulating substrate 1 as in the example shown in FIGS. In particular, the terminal electrode 2 is disposed so that the end of the terminal electrode 2 is in contact with the outer periphery of the insulating substrate 1, and the metal body 2 a disposed on the outer peripheral side of the insulating substrate 1 is exposed on the side surface of the insulating substrate 1. Is preferred.

また、絶縁層1aは、絶縁基板1が例えばセラミックスから成る場合には、上記したセラミックグリーンシートを積層した積層体の上面に、セラミックグリーンシートまたはセラミックスグリーンシートと同じ材料からなるセラミックペーストを用いて、端子電極2となる導体ペーストの端部を被覆するように塗布または配置すればよい。絶縁層1aは、セラミックペーストを用いて作製すると、セラミックグリーンシートを用いる場合のように加圧する必要がないので積層体が変形しにくい。また、絶縁層1aを薄層化できる。したがって、セラミックペーストを用いて絶縁層1aを形成すると、絶縁基板1が変形することを抑制しつつ小型化するのに有効である。また、絶縁基板1が例えば樹脂から成る場合には、例えば光硬化性樹脂を塗布した後、適当な波長の光を照射して硬化させればよい。なお、光硬化性樹脂の代わりに熱硬化性樹脂等を用いても構わない。   Further, when the insulating substrate 1 is made of ceramics, for example, the insulating layer 1a is formed by using a ceramic paste made of the same material as the ceramic green sheet or the ceramic green sheet on the upper surface of the laminate in which the ceramic green sheets are laminated. Then, it may be applied or arranged so as to cover the end portion of the conductor paste to be the terminal electrode 2. When the insulating layer 1a is produced using a ceramic paste, it is not necessary to apply pressure as in the case of using a ceramic green sheet, so that the laminate is not easily deformed. Further, the insulating layer 1a can be thinned. Therefore, when the insulating layer 1a is formed using the ceramic paste, it is effective to reduce the size while suppressing the deformation of the insulating substrate 1. Further, when the insulating substrate 1 is made of, for example, a resin, for example, after applying a photocurable resin, it may be cured by irradiating with light of an appropriate wavelength. A thermosetting resin or the like may be used instead of the photocurable resin.

端子電極2の金属体2aは、上記した貫通導体と同様にして形成される。すなわち、セラミックグリーンシートに貫通孔を形成した後、貫通孔に導体ペーストを印刷することによって貫通孔を導体ペーストで充填する。金型を用いて貫通孔を形成する場合には、貫通孔に対応する位置に凸形状(ピン形状)が形成された凸金型と、凸形状に対応する凹形状が形成された凹金型をセラミックグリーンシートの上下に配し、それらを噛み合わせることでセラミックグリーンシートを切断することで貫通孔を形成することができる。また、レーザーを用いて貫通孔を形成する場合には、適当なレーザー光(炭酸ガスレーザーやYAGレーザー等)を貫通孔に対応する位置に収束させて照射し、セラミックグリーンシートを瞬間的に加熱することで貫通孔を形成することができる。このようにして形成した貫通孔に、端子電極2用の導体ペーストと実質的に同等な導体ペーストを充填した後、セラミックグリーンシートを焼成することで端子電極2と同時に端子電極2の金属体2aを形成することができる。なお、レーザーの出力を落として凹部を形成した後、凹部に導体ペーストを充填しても構わない。このような方法は、配線基板の厚みおよび層構成に制約がある場合に有効である。すなわち、セラミックグリーンシートを2枚用意し、1枚に貫通孔を形成した後、これらのセラミックグリーンシートを積層して金属体2aとなる凹部を形成するよりも、セラミックグリーンシート1枚にレーザーを用いて金属体2aとなる凹部を形成するほうが、セラミックグリーンシートの厚さを薄くすることがないので、セラ
ミックグリーンシートの伸びを抑えるのに有効である。また、絶縁基板1が樹脂からなる場合には、適当な金型を用いて絶縁基板1を形成した後、ドリル等の機械加工や、レーザー加工を用いて金属体2a用の貫通孔を形成しても構わない。
The metal body 2a of the terminal electrode 2 is formed in the same manner as the above-described through conductor. That is, after the through hole is formed in the ceramic green sheet, the through hole is filled with the conductive paste by printing the conductive paste in the through hole. When forming a through hole using a mold, a convex mold in which a convex shape (pin shape) is formed at a position corresponding to the through hole, and a concave mold in which a concave shape corresponding to the convex shape is formed Is arranged above and below the ceramic green sheet, and the ceramic green sheet is cut by meshing them to form a through hole. In addition, when forming a through-hole using a laser, an appropriate laser beam (carbon dioxide laser, YAG laser, etc.) is focused on the position corresponding to the through-hole and irradiated to instantaneously heat the ceramic green sheet. By doing so, a through hole can be formed. After filling the through hole formed in this way with a conductive paste substantially equivalent to the conductive paste for the terminal electrode 2, the ceramic green sheet is fired to simultaneously form the metallic body 2 a of the terminal electrode 2 with the terminal electrode 2. Can be formed. In addition, after forming the recessed part by reducing the output of the laser, the recessed part may be filled with a conductive paste. Such a method is effective when the thickness and layer configuration of the wiring board are limited. That is, rather than preparing two ceramic green sheets and forming through-holes in one sheet, and laminating these ceramic green sheets to form a recess that becomes the metal body 2a, a laser is applied to one ceramic green sheet. It is more effective to suppress the elongation of the ceramic green sheet because the thickness of the ceramic green sheet is not reduced by forming the concave portion to be the metal body 2a. Further, when the insulating substrate 1 is made of resin, after forming the insulating substrate 1 using an appropriate mold, a through hole for the metal body 2a is formed using machining such as a drill or laser processing. It doesn't matter.

また、図1(b)に示す例のように、通常は、端子電極2に接続される配線導体3の貫通導体は、端子電極2の中央部に接続される。このとき、端子電極2の金属体2aは、リード端子5が延びる方向とは反対側の端子電極2の端部に配置されている。リード端子5が延びる方向から端子電極2に力が加わっても、金属体2aが絶縁基板1に引っかかるので、端子電極2がリード端子の延びる方向とは反対側の端部から剥がれることを抑制することができる。   In addition, as in the example shown in FIG. 1B, the through conductor of the wiring conductor 3 connected to the terminal electrode 2 is normally connected to the center portion of the terminal electrode 2. At this time, the metal body 2a of the terminal electrode 2 is disposed at the end of the terminal electrode 2 on the side opposite to the direction in which the lead terminal 5 extends. Even if a force is applied to the terminal electrode 2 from the direction in which the lead terminal 5 extends, the metal body 2a is caught by the insulating substrate 1, so that the terminal electrode 2 is prevented from peeling off from the end opposite to the direction in which the lead terminal extends. be able to.

また、図2(b)に示す例のように、端子電極2のリード端子5が延びる方向の端部にも、金属体2aが配置されていることが好ましい。金属体2aをこのように配置することによって、端子電極2がさらに剥がれにくくする上で有効である。   Moreover, it is preferable that the metal body 2a is also arrange | positioned also at the edge part of the direction where the lead terminal 5 of the terminal electrode 2 is extended like the example shown in FIG.2 (b). Arranging the metal body 2a in this way is effective in making the terminal electrode 2 more difficult to peel off.

また、図2(a)に示す例のように、端子電極2に接続される配線導体3の貫通導体が、端子電極2のリード端子5が延びる方向の端部に接続されているときには、端子電極2のリード端子5が延びる方向の端部にも金属体2aが配置されている場合と同様の効果を得ることができる。   2A, when the through conductor of the wiring conductor 3 connected to the terminal electrode 2 is connected to the end of the terminal electrode 2 in the direction in which the lead terminal 5 extends, The same effect as when the metal body 2a is also arranged at the end of the electrode 2 in the direction in which the lead terminal 5 extends can be obtained.

また、金属体2aは、図2に示す例のように、絶縁基板1の上面側よりも下面側の方が大きいことが好ましい。図2(a)に示す例のように、金属体2aが絶縁基板1の上面側から下面側に向かって徐々に大きくなっている場合には、金属体2a用の穴に導体ペーストを充填する際に、穴の内面に角がないことから、導体ペーストが穴内に隙間なく充填されやすいので、導体ペーストを良好に充填して絶縁基板1との接合面積を広くして金属体2aと絶縁基板1との接合強度を確保するのに有効である。また、図2(b)に示す例のように、金属体2aの下面側が上面側よりも大きく、上面側と下面側との間に段差部がある場合には、金属体2aが絶縁基板1に引っかかりやすくなるので、端子電極2が絶縁基板1から剥がれにくくする上で有効である。   Moreover, it is preferable that the lower surface side of the metal body 2a is larger than the upper surface side of the insulating substrate 1, as in the example shown in FIG. When the metal body 2a is gradually increased from the upper surface side to the lower surface side of the insulating substrate 1 as in the example shown in FIG. 2A, the hole for the metal body 2a is filled with the conductive paste. At this time, since there is no corner on the inner surface of the hole, the conductor paste is easily filled in the hole without any gap. Therefore, the metal paste 2a and the insulating substrate can be filled with the conductor paste well to increase the bonding area with the insulating substrate 1. It is effective to ensure the bonding strength with 1. Further, as in the example shown in FIG. 2B, when the lower surface side of the metal body 2 a is larger than the upper surface side and there is a step portion between the upper surface side and the lower surface side, the metal body 2 a is the insulating substrate 1. Therefore, it is effective in making the terminal electrode 2 difficult to peel off from the insulating substrate 1.

絶縁基板1の上面側よりも下面側の方が大きい貫通孔は、例えば、金属体2a用の貫通孔を金型を用いて形成する場合には、凸状の金型の凸部よりも凹状の金型の凹部の方が大きい金型を用いて、セラミックグリーンシートの下面側を凹金型に接触するようにした状態でセラミックグリーンシートを打ち抜くことで形成できる。また、金属体2a用の貫通孔をレーザーを用いて形成する場合には、セラミックグリーンシートの下面側からレーザー光を照射することで形成することができる。なお、このような貫通孔に導体ペーストを充填する場合には、貫通孔が大きく形成されている下面側から充填すると隙間無く貫通孔に導体ペーストが充填されるので好ましい。   For example, when the through hole for the metal body 2a is formed using a mold, the through hole having a larger size on the lower surface side than the upper surface side of the insulating substrate 1 is concave rather than the convex portion of the convex mold. It can be formed by punching out the ceramic green sheet using a mold having a larger concave portion of the mold, with the lower surface side of the ceramic green sheet being in contact with the concave mold. Moreover, when forming the through-hole for metal bodies 2a using a laser, it can form by irradiating a laser beam from the lower surface side of a ceramic green sheet. In addition, when filling such a through-hole with a conductor paste, it is preferable to fill from the lower surface side where the through-hole is formed, because the conductor paste is filled into the through-hole without a gap.

また、金属体2aは、端子電極2のリード端子5の延びる方向の端部にも配置されている場合には、図3に示す例の様に、リード端子5の延びる方向側の端子電極2の端部が絶縁基板1の上面の外周に接して配置され、リード端子5の延びる方向側の端子電極2の端部に配置された金属体2aが絶縁基板1の側面に露出していてもよい。このような絶縁基板1の側面に露出した金属体2aは、配線基板を作製する際に、各配線基板領域の周囲にダミー領域を形成し、配線基板領域とダミー領域とにまたがるように貫通導体を形成した後、配線基板領域とダミー領域との境界線に沿って貫通孔を切断するように分割することで形成することができる。なお、貫通孔の内面に導体ペーストを塗布した場合には、側面に露出した端子電極2が凹形状に形成できるので、接合材が凹部に充填され、リード端子5と端子電極2の接合強度を向上させることができるので好ましい。   When the metal body 2a is also arranged at the end of the terminal electrode 2 in the direction in which the lead terminal 5 extends, the terminal electrode 2 on the side in which the lead terminal 5 extends as in the example shown in FIG. Even if the metal body 2 a disposed at the end of the terminal electrode 2 on the side in which the lead terminal 5 extends is exposed to the side surface of the insulating substrate 1. Good. The metal body 2a exposed on the side surface of the insulating substrate 1 forms a dummy region around each wiring substrate region when the wiring substrate is manufactured, and penetrates the wiring substrate region and the dummy region. Can be formed by dividing the through hole along the boundary line between the wiring board region and the dummy region. When the conductor paste is applied to the inner surface of the through hole, the terminal electrode 2 exposed on the side surface can be formed in a concave shape, so that the bonding material is filled in the concave portion, and the bonding strength between the lead terminal 5 and the terminal electrode 2 is increased. Since it can improve, it is preferable.

また、金属体2aが、リード端子5の延びる方向とは反対側の端子電極2の端と、平面視で重なるように配置されているときには、図5に示す例のように、金属体2aの上面と端子電極2の端とが重なって、金属体2aが絶縁基板1の上面に露出するように配置されていてもよいし、図6に示す例のように、金属体2aの端と端子電極2の端とを揃えて、平面視で金属体2aの端と端子電極2の端とが重なるように配置されていてもよい。   Further, when the metal body 2a is arranged so as to overlap with the end of the terminal electrode 2 opposite to the direction in which the lead terminal 5 extends in a plan view, the metal body 2a has a shape as shown in FIG. The upper surface and the end of the terminal electrode 2 may be overlapped so that the metal body 2a is exposed on the upper surface of the insulating substrate 1, or the end of the metal body 2a and the terminal may be disposed as in the example shown in FIG. You may arrange | position so that the edge of the electrode 2 may be aligned and the edge of the metal body 2a and the edge of the terminal electrode 2 may overlap in planar view.

図7に示す例のように、金属体2aは、端子電極2の端に複数配置され、絶縁基板1の内部で金属体2a同士がつながっている場合には、例えば、図7(b)に示す例のように、下面側が上面側よりも大きい金属体2aを複数形成し、金属体2aの下面側同士がつながるようにしておけばよい。また、金属体2aのつながっている部分は、絶縁基板1の厚み方向の途中でもよいが、金属体2aの下端側にあれば、図7(b)に示す例のような断面視で、金属体2aに囲まれた絶縁基板1の領域が大きくなり、この部分の絶縁基板1が破壊されることを抑制できるので好ましい。より好ましくは図7(b)に示す例のように、金属体2aの最下端同士を接合しておけばよい。   As shown in the example shown in FIG. 7, a plurality of metal bodies 2 a are arranged at the end of the terminal electrode 2, and when the metal bodies 2 a are connected to each other inside the insulating substrate 1, for example, FIG. As shown in the example, a plurality of metal bodies 2a whose lower surface side is larger than the upper surface side may be formed so that the lower surface sides of the metal bodies 2a are connected to each other. Further, the connected portion of the metal body 2a may be in the middle of the insulating substrate 1 in the thickness direction. It is preferable because the region of the insulating substrate 1 surrounded by the body 2a becomes large, and the insulating substrate 1 in this portion can be prevented from being destroyed. More preferably, the lower ends of the metal bodies 2a may be joined to each other as in the example shown in FIG.

このような金属体2a同士をつなぐ部分は、絶縁基板1がセラミックスから成る場合には、金属体2aの下端同士の間の絶縁層に、配線導体3に用いたものと同様のメタライズペーストを印刷塗布して作製すればよい。また、金属体2aの下端同士の間を上記した貫通導体3と同様の方法で形成した貫通導体で接合していてもよい。   When the insulating substrate 1 is made of ceramics, such a portion connecting the metal bodies 2a is printed with a metallized paste similar to that used for the wiring conductor 3 on the insulating layer between the lower ends of the metal bodies 2a. What is necessary is just to apply and produce. Moreover, you may join between the lower ends of the metal body 2a with the penetration conductor formed by the method similar to the above-mentioned penetration conductor 3. FIG.

図8に示す例のように、金属体2aと、金属体2aが接合された端子電極2に電気的に接続された配線導体3とが絶縁基板1の内部でつながっている場合にも、図7に示す例と同様の効果が得られる。また、金属体2aを複数配置する必要がないので、配線基板を小型化するのに有効である。   Even when the metal body 2a and the wiring conductor 3 electrically connected to the terminal electrode 2 joined to the metal body 2a are connected inside the insulating substrate 1 as in the example shown in FIG. The same effect as the example shown in FIG. Moreover, since it is not necessary to arrange a plurality of metal bodies 2a, it is effective for reducing the size of the wiring board.

なお、複数の金属体2aを配置する場合には、図7に示す例のように、複数の金属体2aの少なくとも一つが、端子電極2の端部に配置されていればよい。   In addition, when arrange | positioning the some metal body 2a, at least one of the some metal body 2a should just be arrange | positioned at the edge part of the terminal electrode 2 like the example shown in FIG.

配線基板の絶縁基板1がセラミックスから成る場合には、焼成時に、金属体2aの上面が凹状または凸状となることがある。金属体2aの上面が凹状である場合には、端子電極2と金属体2aとの接合強度が小さくなる場合がある。特に、金属体2aが絶縁基板1の上面に露出する露出面を有している場合には、剥がれの起点となる端子電極2の端から剥がれやすくなる。したがって、金属体2aの上面が凸状になるようにしておくと、金属体2aは露出面の中央側でも端子電極2と接合されるので接合強度が小さくなることを抑制するのに有効である。露出面を凸状にするには、配線導体3となるメタライズペーストの金属粒子や有機バインダーや有機溶剤の量を調整し、焼成時に絶縁基板1となるセラミックスよりも収縮しづらいメタライズペーストを作製し用いればよい。   When the insulating substrate 1 of the wiring substrate is made of ceramics, the upper surface of the metal body 2a may be concave or convex during firing. When the upper surface of the metal body 2a is concave, the bonding strength between the terminal electrode 2 and the metal body 2a may be reduced. In particular, when the metal body 2 a has an exposed surface exposed on the upper surface of the insulating substrate 1, the metal body 2 a is easily peeled off from the end of the terminal electrode 2 that is the starting point of the peeling. Therefore, if the upper surface of the metal body 2a is convex, the metal body 2a is bonded to the terminal electrode 2 even at the center side of the exposed surface, so that it is effective to suppress a decrease in bonding strength. . In order to make the exposed surface convex, the amount of metal particles, organic binder, and organic solvent of the metallized paste that becomes the wiring conductor 3 is adjusted, and a metallized paste that is harder to shrink than the ceramic that becomes the insulating substrate 1 during firing is prepared. Use it.

また、配線基板をいわゆる多数個取り基板で作製する場合には、分割後の絶縁基板1の側面に露出する金属体2aを形成するための貫通孔を分割するように分割溝を形成して、導体ペーストをセラミックグリーンシートよりも収縮しやすくなるように調整すると、焼成後に絶縁基板1の側面に露出した金属体2aを凹形状に形成できる。このような方法は、特に、側面に露出する金属体2aの幅が狭い場合には、貫通孔の内面に導体ペーストを塗布することが困難であり、絶縁基板1の側面に露出した金属体2aを凹形状に形成することが難しい場合に有効である。   Further, when the wiring board is made of a so-called multi-piece substrate, a dividing groove is formed so as to divide the through hole for forming the metal body 2a exposed on the side surface of the divided insulating substrate 1, When the conductive paste is adjusted so as to be more easily contracted than the ceramic green sheet, the metal body 2a exposed on the side surface of the insulating substrate 1 after firing can be formed in a concave shape. In such a method, particularly when the width of the metal body 2a exposed on the side surface is narrow, it is difficult to apply the conductor paste to the inner surface of the through hole, and the metal body 2a exposed on the side surface of the insulating substrate 1 is difficult. It is effective when it is difficult to form a concave shape.

接続電極4は、図1〜図6に示す例のように、絶縁基板1の側面に形成され、電子部品を実装するためのものである。このような接続電極4は配線導体3に電気的に接続されている。図1〜図6に示す例のように、絶縁基板1の側面と接続電極4とを面一に形成する場合には、絶縁基板1がセラミックスからなる場合であれば、配線基板を母基板から切り
出す際に、ダイシング加工によって切断すると、切断面が平坦になる。また、図1〜図6に示す例では、絶縁基板1の側面と接続電極4とが面一に形成されているが、接続電極4は、絶縁基板1の側面に凹部を形成し、この凹部の内面に形成されていてもよい。凹部に接続電極4を形成すると、電子部品を接続電極4に接合する接合材が凹部に充填され、リード端子5と端子電極2の接合強度を向上させることができるので好ましい。このような凹部は、絶縁基板1の側面を、絶縁基板1の厚み方向の一部を切り取って形成してもよいし、絶縁基板1の厚み方向に貫通するように溝状に形成してもよい。
The connection electrode 4 is formed on the side surface of the insulating substrate 1 as in the examples shown in FIGS. 1 to 6 and is for mounting electronic components. Such a connection electrode 4 is electrically connected to the wiring conductor 3. When the side surface of the insulating substrate 1 and the connection electrode 4 are formed flush with each other as in the example shown in FIGS. 1 to 6, if the insulating substrate 1 is made of ceramics, the wiring substrate is removed from the mother substrate. At the time of cutting, if cut by dicing, the cut surface becomes flat. In the example shown in FIGS. 1 to 6, the side surface of the insulating substrate 1 and the connection electrode 4 are formed flush with each other, but the connection electrode 4 forms a concave portion on the side surface of the insulating substrate 1. It may be formed on the inner surface. It is preferable to form the connection electrode 4 in the recess since the bonding material for bonding the electronic component to the connection electrode 4 is filled in the recess and the bonding strength between the lead terminal 5 and the terminal electrode 2 can be improved. Such a recess may be formed by cutting a part of the side surface of the insulating substrate 1 in the thickness direction of the insulating substrate 1 or may be formed in a groove shape so as to penetrate in the thickness direction of the insulating substrate 1. Good.

なお、端子電極2および接続電極4の露出する表面には、必要に応じて、ニッケルおよび金等の耐蝕性に優れる金属が被着される。これによって、端子電極2および接続電極4が腐食することを効果的に抑制することができるとともに、端子電極2とリード端子5との接合、端子電極2と外部電気回路基板の配線導体3との接合および接続電極4と実装される電子部品の電極やボンディングワイヤとの接合等を強固にすることができる。また、例えば、配線導体3の露出する表面には、厚さ1μm〜10μm程度のニッケルめっき層と厚さ0.1μm〜3μm程度の金めっき層とが、電解めっき法もしくは無電解めっき法によ
って順次被着される。
In addition, the metal which is excellent in corrosion resistance, such as nickel and gold | metal | money, is adhere | attached on the exposed surface of the terminal electrode 2 and the connection electrode 4 as needed. Accordingly, corrosion of the terminal electrode 2 and the connection electrode 4 can be effectively suppressed, and the bonding between the terminal electrode 2 and the lead terminal 5 and the connection between the terminal electrode 2 and the wiring conductor 3 of the external electric circuit board can be performed. The bonding between the bonding and connection electrode 4 and the electrode of the electronic component to be mounted or the bonding wire can be strengthened. Further, for example, the exposed surface of the wiring conductor 3 is successively covered with a nickel plating layer having a thickness of about 1 μm to 10 μm and a gold plating layer having a thickness of about 0.1 μm to 3 μm by an electrolytic plating method or an electroless plating method. Worn.

リード端子5は、絶縁基板1の側面に露出した金属体2aおよび端子電極2に接合されて、外部電気回路と配線導体3とを電気的に接続する。   The lead terminal 5 is bonded to the metal body 2 a exposed on the side surface of the insulating substrate 1 and the terminal electrode 2 to electrically connect the external electric circuit and the wiring conductor 3.

リード端子5は、例えばFe−Ni−Co合金やFe−Ni合金,銅(Cu),銅合金等の金属から成るものである。リード端子5の絶縁基板1との接続信頼性の観点からは、絶縁基板1の熱膨張係数との差が小さい熱膨張係数を有するものが好ましく、絶縁基板1が酸化アルミニウム質焼結体から成る場合であれば、例えば、鉄(Fe)を58%,ニッケル(Ni)を42%のFe0.58−Ni0.42合金が好ましい。リード端子5の表面には、腐
食防止や導電性の向上、あるいは接続部材の濡れ性を良好にし、端子電極2との接続抵抗を小さくして接続するために、ニッケルめっき層および金めっき層を順次被着させておくとよい。
The lead terminal 5 is made of a metal such as an Fe—Ni—Co alloy, Fe—Ni alloy, copper (Cu), or copper alloy. From the viewpoint of the connection reliability of the lead terminal 5 with the insulating substrate 1, it is preferable that the difference between the thermal expansion coefficient of the insulating substrate 1 is small and the insulating substrate 1 is made of an aluminum oxide sintered body. In this case, for example, an Fe0.58-Ni0.42 alloy containing 58% iron (Fe) and 42% nickel (Ni) is preferable. A nickel plating layer and a gold plating layer are provided on the surface of the lead terminal 5 in order to prevent corrosion, improve conductivity, improve the wettability of the connecting member, and reduce the connection resistance with the terminal electrode 2. It is good to deposit sequentially.

リード端子5と端子電極2とを接続するための接続部材は、例えば、金(Au)を80質量%,スズ(Sn)を20質量%含んだAu0.8−Sn0.2共晶合金や、金を88質量%,ゲルマニウム(Ge)を12質量%含んだAu0.88−Ge0.12共晶合金等のAu系、あるいは銀(Ag)を72質量%,銅を28質量%含んだAg0.72−Cu0.28合金や銀を55質量%,銅を22質量%,亜鉛(Zn)を17質量%,スズを5質量%含んだAg0.55−Cu0.22−Zn0.17−Sn0.05合金等のAgCu合金から成るろう材である。例えば、Au0.8−Sn0.2共晶合金を用いる場合は、絶縁基板1の端子電極2の上にAu0.8−Sn0.2共晶合金のリボンを載置し、その上にリード端子5の先端を載置して治具により固定し、還元雰囲気中にてピーク温度350℃で加熱するこことでリード端子5を端子電極2に接続することができ
る。
The connection member for connecting the lead terminal 5 and the terminal electrode 2 is, for example, an Au0.8-Sn0.2 eutectic alloy containing 80% by mass of gold (Au) and 20% by mass of tin (Sn), Au type such as Au0.88-Ge0.12 eutectic alloy containing 88% by mass of gold and 12% by mass of germanium (Ge), or Ag0 containing 72% by mass of silver (Ag) and 28% by mass of copper. Ag0.55-Cu0.22-Zn0.17-Sn0.05 containing 72-Cu0.28 alloy and 55 mass% silver, 22 mass% copper, 17 mass% zinc (Zn) and 5 mass% tin It is a brazing material made of an AgCu alloy such as an alloy. For example, when using an Au0.8-Sn0.2 eutectic alloy, a ribbon of Au0.8-Sn0.2 eutectic alloy is placed on the terminal electrode 2 of the insulating substrate 1, and the lead terminal 5 is placed thereon. The lead terminal 5 can be connected to the terminal electrode 2 by mounting the tip of the lead and fixing it with a jig and heating it at a peak temperature of 350 ° C. in a reducing atmosphere.

なお、複数のリード端子5が束ねられて一体となったFPC(フレキシブルプリント基板)を用いて端子電極2との電気的接続を行なうと、複数のリード端子5と端子電極2とを同時に接続できるので好ましい。   In addition, when the electrical connection with the terminal electrode 2 is performed using an FPC (flexible printed circuit board) in which a plurality of lead terminals 5 are bundled and integrated, the plurality of lead terminals 5 and the terminal electrode 2 can be connected simultaneously. Therefore, it is preferable.

また、金を80質料%,スズを20質料%含んだAu0.8−Sn0.2共晶合金の量と端子電極2の表面の金めっき厚みを調整して、接続後の接続部材中の金含有率を高めることで接続部材の融点を共晶合金の融点である280℃よりも高めることができる。例えば、接続後の
接続部材中の金含有率が90質量%となるように端子電極2の表面の金メッキ厚みを調整した場合には、接続後の接続部材の融点は約400℃となる。なお、より高い耐熱性を持たせ
る場合には、融点が780℃であるAg0.72−Cu0.28の合金や、融点が650℃であるAg0.
55−Cu0.22−Zn0.17−Sn0.05を接続部材として用いればよい。
Also, the gold in the connection member after connection is adjusted by adjusting the amount of Au0.8-Sn0.2 eutectic alloy containing 80% gold and 20% tin and the gold plating thickness of the surface of the terminal electrode 2 By increasing the content rate, the melting point of the connecting member can be raised above 280 ° C., which is the melting point of the eutectic alloy. For example, when the gold plating thickness on the surface of the terminal electrode 2 is adjusted so that the gold content in the connection member after connection is 90 mass%, the melting point of the connection member after connection is about 400 ° C. For higher heat resistance, an Ag0.72-Cu0.28 alloy having a melting point of 780 ° C, or Ag0.
55-Cu0.22-Zn0.17-Sn0.05 may be used as the connecting member.

電子部品は、図1に示す例のように、絶縁基板1の側面の接続電極4が配置された実装領域に実装される。   As in the example shown in FIG. 1, the electronic component is mounted in a mounting region in which the connection electrode 4 on the side surface of the insulating substrate 1 is disposed.

例えば、電子部品がフリップチップ型の撮像素子7である場合には、はんだバンプ,金バンプまたは導電性樹脂(異方性導電樹脂等)等の接続部材を介して、電子部品の電極と接続電極4とが電気的および機械的に接続することによって接続される。またこの場合は、接続部材であるバンプを介して接続した後に、撮像素子7と実装領域2との間にアンダーフィルを注入してもよい。また、いずれの場合も、必要に応じて配線基板に抵抗素子や容量素子等の小型の電子部品を搭載してもよい。   For example, when the electronic component is a flip-chip type image pickup device 7, the electrode of the electronic component and the connection electrode are connected via a connection member such as a solder bump, a gold bump, or a conductive resin (anisotropic conductive resin or the like). 4 are connected by electrical and mechanical connection. In this case, underfill may be injected between the image sensor 7 and the mounting region 2 after connecting via bumps that are connecting members. In either case, a small electronic component such as a resistor element or a capacitor element may be mounted on the wiring board as necessary.

なお、本発明は上述の実施の形態の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば種々の変更は可能である。   Note that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

例えば、図3に示す例のように、平面視で金属体2aが略半円形状である場合には、側面に露出した金属体2aの中心が絶縁基板1の外周側よりも絶縁基板1側に偏っていても構わない。このような場合には、側面視で、側面に露出した金属体2aの幅が金属体2aの半円の直径よりも狭いため、金属体2aが絶縁基板1の側面方向に引っ張られても、絶縁基板1に引っかかり、側面方向に剥離することを抑制できるので好ましい。また、絶縁基板1の主面または側面に凹部を形成し、コンデンサや抵抗といった小型の電子部品を搭載しても構わない。   For example, as in the example shown in FIG. 3, when the metal body 2 a is substantially semicircular in plan view, the center of the metal body 2 a exposed on the side surface is closer to the insulating substrate 1 than the outer peripheral side of the insulating substrate 1. You may be biased to. In such a case, the width of the metal body 2a exposed on the side surface is narrower than the diameter of the semicircle of the metal body 2a in the side view, so that even if the metal body 2a is pulled in the side surface direction of the insulating substrate 1, It is preferable because it can be prevented from being caught by the insulating substrate 1 and peeling in the side surface direction. Further, a concave portion may be formed on the main surface or side surface of the insulating substrate 1 and a small electronic component such as a capacitor or a resistor may be mounted.

1・・・・絶縁基板
1a・・・絶縁層
2・・・・端子電極
2a・・・金属体
3・・・・配線導体
4・・・・接続電極
5・・・・リード端子
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Insulating substrate 1a ... Insulating layer 2 ... Terminal electrode 2a ... Metal body 3 ... Wiring conductor 4 ... Connection electrode 5 ... Lead terminal

Claims (6)

絶縁基板と、該絶縁基板の上面に配置された端子電極と、該端子電極に接合されて、前記絶縁基板の面方向に延びたリード端子とを備えた配線基板において、
前記端子電極の端部は、前記絶縁基板の内部から前記絶縁基板上面に至る金属体に接合されていることを特徴とする配線基板。
In a wiring board comprising: an insulating substrate; a terminal electrode disposed on the upper surface of the insulating substrate; and a lead terminal bonded to the terminal electrode and extending in the surface direction of the insulating substrate.
An end portion of the terminal electrode is bonded to a metal body extending from the inside of the insulating substrate to the upper surface of the insulating substrate.
前記金属体は上面側よりも下面側が大きいことを特徴とする請求項1に記載の配線基板。   The wiring board according to claim 1, wherein the lower surface side of the metal body is larger than the upper surface side. 前記リード端子は前記絶縁基板の前記外周から前記絶縁基板の外側に延びており、前記端子電極の端部が前記絶縁基板の外周に接して配置され、前記金属体が前記端子電極の前記絶縁基板の外周側にも配置されるとともに前記絶縁基板の側面に露出しており、
前記リード端子は、前記絶縁基板の側面に露出した前記金属体および前記端子電極に接合されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の配線基板。
The lead terminal extends from the outer periphery of the insulating substrate to the outside of the insulating substrate, the end of the terminal electrode is disposed in contact with the outer periphery of the insulating substrate, and the metal body is the insulating substrate of the terminal electrode. And is also exposed on the side surface of the insulating substrate.
The wiring board according to claim 1, wherein the lead terminal is bonded to the metal body exposed on a side surface of the insulating substrate and the terminal electrode.
前記絶縁基板の上面から前記端子電極の前記端部にかけて被覆するように絶縁層が形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の配線基板。   The wiring board according to claim 1, wherein an insulating layer is formed so as to cover from an upper surface of the insulating substrate to the end of the terminal electrode. 前記金属体は、前記リード端子の延びる方向とは反対側の前記端子電極の端と平面視で重なるように配置されていることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の配線基板。   The said metal body is arrange | positioned so that it may overlap with the edge of the said terminal electrode on the opposite side to the direction where the said lead terminal is extended in planar view. Wiring board. 前記金属体は複数配置され、前記絶縁基板の内部で前記金属体同士がつながっていることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の配線基板。   6. The wiring board according to claim 1, wherein a plurality of the metal bodies are arranged, and the metal bodies are connected to each other inside the insulating substrate.
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