JP2012074111A - 広帯域1/4波長板 - Google Patents
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Abstract
【課題】薄い膜厚で加工しやすく、従って必要な位相差と高い透過率の精度を向上することができる格子構造を形成するための透明性材料と、その構造を選定した広帯域1/4波長板を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、格子構造を形成するための透明性材料は、窒化シリコン膜からなり、その厚さは800nm以下であり、要求特性に応じ各ラインパターンの断面形状を台形形状とすることにより、薄い膜厚で加工しやすく、従って必要な位相差と高い透過率の精度を向上することができる広帯域1/4波長板を提供する。
【選択図】図2
【解決手段】本発明は、格子構造を形成するための透明性材料は、窒化シリコン膜からなり、その厚さは800nm以下であり、要求特性に応じ各ラインパターンの断面形状を台形形状とすることにより、薄い膜厚で加工しやすく、従って必要な位相差と高い透過率の精度を向上することができる広帯域1/4波長板を提供する。
【選択図】図2
Description
本発明は、構造複屈折を用いた広帯域波長板に関し、特に広帯域1/4波長板に関する。
光ディスク装置などの光ピックアップ機能において、1/4波長板は、レーザの投光路と受光路を効率良く分離するための光学素子であり、波長板を透過した光のTE偏光とTM偏光の間に90°(=1/4波長)の位相差を生じさせ、円偏光を直線偏光に、直線偏光を円偏光に変換するものである。
特に近年、青色光を利用する次世代光ディスクの登場により、DVD、CDと合わせ、3波長(例えば405nm、650nm、780nm)に共通して使える、広帯域対応の1/4波長板が求められている。
特に近年、青色光を利用する次世代光ディスクの登場により、DVD、CDと合わせ、3波長(例えば405nm、650nm、780nm)に共通して使える、広帯域対応の1/4波長板が求められている。
構造複屈折は、例えば下記非特許文献1に記載されるように、透明材料の表面に微細な周期構造(例えば図1のような格子構造)を作り込み、周期構造を透過するTE偏光(電場ベクトルの方向が周期方向に直交)とTM偏光(電場ベクトルの方向が周期方向に一致)に屈折率差を与えることで、両偏光間に位相差を生じさせる。従って、構造複屈折による位相差は、周期構造の寸法(周期、線幅、高さなど)によって変化させることができる。
森川、表面技術、Vol.59、No.10、2008、p.18
しかしながら、従来の一般的な透明材料を用いて、構造複屈折により、90°程度のTE−TM間位相差と高い透過率を、しかも広い波長領域(405nm、650nm、780nm)にわたって実現するには、数百nmの構造周期に対して、少なくとも1.5μm以上の高さをもつ高アスペクト比の格子構造を精度良く作ることが必要であり、困難が伴っていた。
そこで本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、構造複屈折を利用して、1μm以下の高さによる比較的小さいアスペクト比からなり、広い波長領域(405nm、650nm、780nm)にわたって、90°程度のTE−TM偏光間位相差と、高い透過率を有する、広帯域1/4波長板を提供することを目的とする。
請求項1に記載の本発明は、透明性材料が周期的な格子構造にパターニングされ、且つ当該格子構造を透過した後のTE偏光とTM偏光との間に、波長780nmで75°以上105°以下の位相差と、90%以上のTE偏光とTM偏光の平均透過率があり、且つ波長650nmで84°以上96°以下の位相差と、90%以上のTE偏光とTM偏光の平均透過率があり、且つ波長405nmで87°以上93°以下の位相差と、85%以上のTE偏光とTM偏光の平均透過率を有し、且つ前記格子構造が、シリコンと窒素を主要な構成元素とする透明性材料のパターンからなることを特徴とする広帯域1/4波長板である。
また、請求項2に記載の本発明は、前記格子構造部分の高さが800nm以下であることを特徴とする請求項1に記載の広帯域1/4波長板である。
また、請求項3に記載の本発明は、前記格子構造部分の断面形状が、底辺が上辺よりも長い台形形状であることを特徴とする請求項1又は2に記載の広帯域1/4波長板である。
また、請求項3に記載の本発明は、前記格子構造部分の断面形状が、底辺が上辺よりも長い台形形状であることを特徴とする請求項1又は2に記載の広帯域1/4波長板である。
本発明は、周期的な格子構造を形成する材料が、適度に屈折率が大きく透明性が高い、シリコン(以下Siと表記する)と窒素を主たる構成元素とする窒化シリコン膜(以下SiNと表記する)からなるので、従来よりも薄い膜厚(従って小さいアスペクト比)で、広い波長域にわたり、1/4波長板としての位相差と、高い透過率を提供することができる。また、製造条件に応じ、格子構造を底辺が上辺よりも長い台形形状とすることによって、必要な波長における位相差と透過率の値を調整することができる。
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しつつ、説明する。実施の形態において、同一構成要素には同一符号を付け、実施の形態において重複する説明は省略する。
(第1実施形態)
図1に示すように、本発明の第1実施形態に関わる広帯域1/4波長板1は、透明基板3と、透明基板3上に成膜した透明性材料をパターニングして形成された、周期的な格子構造2からなっており、格子構造2となる透明性材料は、Siと窒素を主要な構成元素とするSiN膜である。ここで「主要な」とは、「主要な元素」の合計で95%以上の組成比を占めるものとする。
(第1実施形態)
図1に示すように、本発明の第1実施形態に関わる広帯域1/4波長板1は、透明基板3と、透明基板3上に成膜した透明性材料をパターニングして形成された、周期的な格子構造2からなっており、格子構造2となる透明性材料は、Siと窒素を主要な構成元素とするSiN膜である。ここで「主要な」とは、「主要な元素」の合計で95%以上の組成比を占めるものとする。
第1実施形態の広帯域1/4波長板1においては、格子構造2を透過した後のTE(Transverse Electric)偏光とTM(Transverse Magnetic)偏光との間に、波長780nmで75°以上105°以下の位相差があるともに、TE偏光とTM偏光の平均の透過率が85%以上となっている。さらに好ましくは、波長650nmで84°以上96°以下の位相差があるともに、平均の透過率が90%以上となっている。さらに好ましくは、波長405nmで87°以上93°以下の位相差があるともに、平均の透過率が90%以上となっている。
第1実施形態の透明基板3としては、合成ガラス、石英、アルミナなどがありうるが、波長400nmから780nmにわたって、光の吸収度をあらわす指標である消衰係数が実質的に0(ゼロ)であるものであればよい。
第1実施形態の広帯域1/4波長板1における格子構造2を形成するひとつひとつのラインパターンは、その側壁角がほぼ90°(垂直)となっている。同時に、格子構造2を決める周期p、線幅w、高さHは、前記の波長780nm、650nm、405nmにおける位相差と透過率の条件を満たすように決定されている。
第1実施形態の広帯域1/4波長板1における格子構造2を形成するひとつひとつのラインパターンは、その側壁角がほぼ90°(垂直)となっている。同時に、格子構造2を決める周期p、線幅w、高さHは、前記の波長780nm、650nm、405nmにおける位相差と透過率の条件を満たすように決定されている。
(第2実施形態)
本発明の第2実施形態に関わる広帯域1/4波長板1は、図2に示すように、格子構造2を形成するひとつひとつのラインパターンの断面形状は、底辺が上辺よりも長い台形形状となっている。同時に、格子構造2を決める周期p、上辺の線幅wa、底辺の線幅wb、高さHは、第1実施形態と同じ波長780nm、650nm、405nmにおける位相差と透過率の条件を満たすように決定されている。
本発明の第2実施形態に関わる広帯域1/4波長板1は、図2に示すように、格子構造2を形成するひとつひとつのラインパターンの断面形状は、底辺が上辺よりも長い台形形状となっている。同時に、格子構造2を決める周期p、上辺の線幅wa、底辺の線幅wb、高さHは、第1実施形態と同じ波長780nm、650nm、405nmにおける位相差と透過率の条件を満たすように決定されている。
第2実施形態の広帯域1/4波長板1における格子構造2となる透明性材料は、第1実施形態と同じSiと窒素を主要な構成元素とするSiN膜である。また、透明基板3の材料も第1実施形態の場合と同じである。
以下、本発明の第1、第2実施形態で規定する、格子構造2となる透明性材料、及び格子構造2の形状(寸法)の選択について、例をあげて説明する。
以下、本発明の第1、第2実施形態で規定する、格子構造2となる透明性材料、及び格子構造2の形状(寸法)の選択について、例をあげて説明する。
図3に、広帯域1/4波長板の一般的な目標性能を示す。図に示すように、波長405nm、659nm、780nmの広い波長域において、高い透過率と90°前後の位相差が要求される。
TE偏光とTM偏光間の位相差は、入射光が透明基板上に形成された格子構造を透過することによって、TE成分に対する屈折率とTM成分に対する屈折率に差ができることによって生じる。ここで、TE成分に対する屈折率をnTE、TM成分に対する屈折率をnTMとすると、屈折率差Δnは
Δn=|nTE−nTM| ・・・(1)
であり、格子構造の高さをH、波長をλとすると、位相差PSは、
PS(°)≒360°・Δn・H/λ ・・・(2)
で表わされる。
TE偏光とTM偏光間の位相差は、入射光が透明基板上に形成された格子構造を透過することによって、TE成分に対する屈折率とTM成分に対する屈折率に差ができることによって生じる。ここで、TE成分に対する屈折率をnTE、TM成分に対する屈折率をnTMとすると、屈折率差Δnは
Δn=|nTE−nTM| ・・・(1)
であり、格子構造の高さをH、波長をλとすると、位相差PSは、
PS(°)≒360°・Δn・H/λ ・・・(2)
で表わされる。
屈折率差Δnは、格子構造となるもともとの透明性材料の光学定数(屈折率n、消衰係数k)、格子構造
の周期p、線幅w、及び入射光の波長λに依存して決まる。従って、広帯域1/4波長板においては、それぞれ必要とする波長(例えば405nm、650nm、780nm)において同時にPS=90°前後となるように、格子構造の周期p、線幅w、及び高さHを選定する必要がある。
の周期p、線幅w、及び入射光の波長λに依存して決まる。従って、広帯域1/4波長板においては、それぞれ必要とする波長(例えば405nm、650nm、780nm)において同時にPS=90°前後となるように、格子構造の周期p、線幅w、及び高さHを選定する必要がある。
ここで、格子構造となるもともとの透明性材料の光学定数について考えると、格子構造を透過後の屈折率差Δnは、もともとの透明性材料の屈折率が大きいほど屈折率差Δnも大きくなる。屈折率差Δnが大きく
なると、(2)式より、90°の位相差を得るための格子構造の厚さHが小さくてすむようになる。つまり、格子構造のアスペクト比を小さく抑えるには、なるべく屈折率の大きい透明性材料を使うことが望ましい。しかしあまりに屈折率が大きいと、空間の屈折率(=1)との差が大きくなって、反射率が大きくなり、透過率が低下するようになるので、適度に屈折率の大きい透明性材料を使うことが望ましい。
なると、(2)式より、90°の位相差を得るための格子構造の厚さHが小さくてすむようになる。つまり、格子構造のアスペクト比を小さく抑えるには、なるべく屈折率の大きい透明性材料を使うことが望ましい。しかしあまりに屈折率が大きいと、空間の屈折率(=1)との差が大きくなって、反射率が大きくなり、透過率が低下するようになるので、適度に屈折率の大きい透明性材料を使うことが望ましい。
次に、透明性材料の消衰係数について考えると、格子構造のアスペクト比を抑えても、少なくとも数百nmの高さHは必要であるので、透過率>85%を満たすには、透明性材料の消衰係数は、必要な波長領域において、実質的に0(ゼロ)である必要がある。
上記のような観点から、格子構造を形成する透明性材料を考えると、SiN膜が候補となりうる。図4にSiN膜の、波長405nm、650nm、780nmの光学定数を示す。SiN膜の光学定数は、Siと窒素の組成比によって多少変化するが、これはもっとも典型的なSi:N=3:4の膜に対する値である。
上記のような観点から、格子構造を形成する透明性材料を考えると、SiN膜が候補となりうる。図4にSiN膜の、波長405nm、650nm、780nmの光学定数を示す。SiN膜の光学定数は、Siと窒素の組成比によって多少変化するが、これはもっとも典型的なSi:N=3:4の膜に対する値である。
図4のSiN膜を透明性材料として、広帯域1/4波長板の設計を検討した。良好な結果が得られた例を以下に示す。格子構造の周期p=400nm、線幅w=252nm、ラインパターンの断面形状は垂直として、高さHに対する、3つの波長での位相差を計算すると図5(a)、(b)、(c)のようになる。図5における帯の部分は、図3の位相差の許容範囲とそれに伴う高さの許容範囲を表わしている。
更に、前記の構造のときの高さHに対する、3つの波長での透過率を計算すると図6(a)、(b)、(c)のようになる。図5、図6より、このときの周期p=400nm、線幅w=252nmの構造においては、高さH=630nm付近で、波長405nm、650nm、780nmに対する位相差と、透過率の目標を達成することができ、前記第1実施形態の広帯域1/4波長板を作製できることが分かる。
図4のSiN膜を透明性材料として、広帯域1/4波長板の設計を検討し、良好な結果が得られた別の例を以下に示す。格子構造の周期p=400nm、各ラインパターンの断面形状を上辺の線幅wa=138nm、底辺の線幅wb=398nmの台形形状として、高さHに対する、3つの波長での位相差を計算すると図7(a)、(b)、(c)のようになる。図7における帯の部分は、図3の位相差の許容範囲とそれに伴う高さの許容範囲を表わしている。
更に、前記の構造のときの高さHに対する、3つの波長での透過率を計算すると図8(a)、(b)、(c)のようになる。図7、図8より、このときの周期p=400nm、上辺の線幅wa=138nm、底辺の線幅wb=398nmの台形形状においては、高さH=660nm付近で、波長405nm、650nm、780nmに対する位相差と、透過率の目標を達成することができ、本発明の第2実施形態の広帯域1/4波長板を作製できることが分かる。
上記の2つの例を比較すると、各ラインパターンの断面形状が垂直である場合(第1実施形態に関わる例)よりも、台形形状である場合(第2実施形態に関わる例)の方が、高さHはやや高くなっているが、どの波長においても透過率が高くなっていることが分る。これは、断面が台形形状になったことで、格子部分の垂直方向の屈折率変化が、より緩やかになり、反射率が低下したことによる。このように、各ラインパターンの断面形状を台形形状にすることで、最適高さは高くなるが、透過率の高い1/4波長板を作成することができる。
<実施例1>
まず、石英基板上に、SiN膜を、Siをターゲットとし、Arガスと窒素ガスを添加した反応性スパッタリング法により、631nmの厚さで成膜した。目的の630nmでなく、631nmとしたのは、後述の洗浄工程による膜厚減少を見越したものである。
次に、前記SiN膜上に電子線レジストを塗布し、電子線描画法と現像によりレジストパターンを形成した。パターンは周期400nm、線幅254nm、スペース幅146nmのラインアンドスペースパターンとした。目的の線幅252nmでなく、254nmとしたのは、後述の洗浄工程による量側面からの膜厚減少を見越したものである。
まず、石英基板上に、SiN膜を、Siをターゲットとし、Arガスと窒素ガスを添加した反応性スパッタリング法により、631nmの厚さで成膜した。目的の630nmでなく、631nmとしたのは、後述の洗浄工程による膜厚減少を見越したものである。
次に、前記SiN膜上に電子線レジストを塗布し、電子線描画法と現像によりレジストパターンを形成した。パターンは周期400nm、線幅254nm、スペース幅146nmのラインアンドスペースパターンとした。目的の線幅252nmでなく、254nmとしたのは、後述の洗浄工程による量側面からの膜厚減少を見越したものである。
このレジストパターンをマスクとし、フッ素ガスを主体として、あらかじめ求めておいたSiN膜の垂直な形状が得られるドライエッチング条件により、SiN膜のパターニングを行った。
次に、電子線レジストの剥離を行った後、一般的な酸およびアルカリ系の洗浄液により洗浄を行い、SiN膜からなる格子構造を形成した。
次に、電子線レジストの剥離を行った後、一般的な酸およびアルカリ系の洗浄液により洗浄を行い、SiN膜からなる格子構造を形成した。
このようにして作製したSiN膜の格子構造からなる素子について、分光光度計により透過率の測定を行ったところ、波長405nmに対して86.5%、波長650nmに対して90.7%、波長780nmに対して94.1%であった。また、回転検光子法によりTE偏光とTM偏光間の位相差を測定したところ、波長405nmに対して92°、波長650nmに対して91°、波長780nmに対して82°であり、透過率、位相差ともに目標を満たしていた。
<実施例2>
まず、石英基板上に、SiN膜を、Siをターゲットとし、Arガスと窒素ガスを添加した反応性スパッタリング法により、771nmの厚さで成膜した。目的の770nmでなく、771nmとしたのは、後述の洗浄工程による膜厚減少を見越したものである。
次に、前記SiN膜上に電子線レジストを塗布し、電子線描画法と現像によりレジストパターンを形成した。パターンは周期400nm、線幅300nm、スペース幅100nmのラインアンドスペースパターンとした。
まず、石英基板上に、SiN膜を、Siをターゲットとし、Arガスと窒素ガスを添加した反応性スパッタリング法により、771nmの厚さで成膜した。目的の770nmでなく、771nmとしたのは、後述の洗浄工程による膜厚減少を見越したものである。
次に、前記SiN膜上に電子線レジストを塗布し、電子線描画法と現像によりレジストパターンを形成した。パターンは周期400nm、線幅300nm、スペース幅100nmのラインアンドスペースパターンとした。
このレジストパターンをマスクとし、SiN膜のドライエッチングを行ったが、ドライエッチング条件は、SiN膜のパターンを台形状にするために、フッ素ガスに酸素を添加し、レジストパターン側面の後退と、SiNパターンの側壁保護により、SiN膜の断面が台形状になる条件で行った。
次に、電子線レジストの剥離を行った後、一般的な酸およびアルカリ系の洗浄液により洗浄を行い、SiN膜からなる格子構造を形成した。
次に、電子線レジストの剥離を行った後、一般的な酸およびアルカリ系の洗浄液により洗浄を行い、SiN膜からなる格子構造を形成した。
このようにして作製したSiN膜の格子構造からなる素子について、分光光度計により透過率の測定を行ったところ、波長405nmに対して93.2%、波長650nmに対して96.3%、波長780nmに対して96.8%であった。また、回転検光子法によりTE偏光とTM偏光間の位相差を測定したところ、波長405nmに対して92°、波長650nmに対して88°、波長780nmに対して83°であり、透過率、位相差ともに目標を満たしていた。
以上、詳細に説明したように、格子構造を形成する透明性材料として、窒化シリコン膜を用い、さらに必要に応じて、格子構造のラインパターンの断面形状を台形形状することで、従来よりも薄い700nmの高さで、波長405nm、650nm、780nmに対してほぼ90°のTE偏光−TM偏光間位相差を持ち、且つ高い透過率をもつ広帯域1/4波長板を得ることができることが確認された。
本発明は、光ディスク装置などの光ピックアップ機能において、レーザの投光路と受光路を効率良く分離し、光利用効率を高める広帯域1/4位相板としての利用が期待される。
特に近年、青色光を利用する次世代光ディスク、DVD、CDと合わせ、3波長(405nm、650nm、780nm)に共通して使える、広帯域対応の1/4波長板としての利用が期待される。
特に近年、青色光を利用する次世代光ディスク、DVD、CDと合わせ、3波長(405nm、650nm、780nm)に共通して使える、広帯域対応の1/4波長板としての利用が期待される。
1・・・広帯域1/4波長板
2・・・格子構造
3・・・透明基板
2・・・格子構造
3・・・透明基板
Claims (3)
- 透明性材料が周期的な格子構造にパターニングされ、且つ当該格子構造を透過した後のTE偏光とTM偏光との間に、波長780nmで75°以上105°以下の位相差と、90%以上のTE偏光とTM偏光の平均透過率があり、且つ波長650nmで84°以上96°以下の位相差と、90%以上のTE偏光とTM偏光の平均透過率があり、且つ波長405nmで87°以上93°以下の位相差と、85%以上のTE偏光とTM偏光の平均透過率を有し、且つ前記格子構造が、シリコンと窒素を主要な構成元素とする透明性材料のパターンからなることを特徴とする広帯域1/4波長板。
- 前記格子構造部分の高さが800nm以下であることを特徴とする請求項1に記載の広帯域1/4波長板。
- 前記格子構造部分の断面形状が、底辺が上辺よりも長い台形形状であることを特徴とする請求項1又は2に記載の広帯域1/4波長板。
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