JP2012068247A - 有機またはポリマー固体試料の放電発光分光分析による測定方法 - Google Patents
有機またはポリマー固体試料の放電発光分光分析による測定方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】少なくとも1つの有機材料層を含む固体試料の放電発光分光分析による測定方法に関し、放電発光ランプに前記試料を配置するステップと、放電発光ランプに、少なくとも1つの希ガスと酸素とを含む混合気を投入し、酸素の濃度が混合気の1質量%〜10質量%であるステップと、前記放電発光ランプの電極に無線周波数の放電を行って放電発光プラズマを発生するステップと、前記有機材料層を前記プラズマで照射するステップと、前記プラズマのイオン種及び/又は励起種を示す少なくとも1つの信号を分光分析により測定するステップとを含む。
【選択図】図1
Description
−放電発光ランプに前記試料を配置するステップと、
−放電発光ランプに、少なくとも1つの希ガスと気体酸素とを含む混合気を投入し、気体酸素の濃度が、混合気の1質量%〜10質量%であり、前記放電発光ランプの電極に無線周波数タイプの電気放電を行って放電発光プラズマを発生し、前記有機材料層を前記プラズマで照射して、酸素を含まない前記希ガスの存在下で放電発光プラズマにより発生するエッチング速度よりも早い有機層のエッチング速度を得るようにするステップと、
−前記プラズマのイオン種および/または励起種を示す少なくとも1つの信号を分光分析計により測定するステップとを含む。
前記少なくとも1つの希ガスが、アルゴン、ネオン、ヘリウム、または前記希ガスの混合物の中から選択される。
−無線周波数パルスタイプの電気放電を行う。
−質量分析計により前記プラズマのイオン種を示す少なくとも1つの信号を測定する。
−発光分光分析計により前記プラズマの励起種を示す少なくとも1つの信号を測定する。
−放電発光ランプに公知の組成の有機試料を配置し、
−放電発光ランプに、少なくとも1つの希ガスと気体酸素とを含む混合気を投入し、気体酸素の濃度が混合気の1質量%〜10質量%であり、前記放電発光ランプの電極に無線周波数タイプの電気放電を行って放電発光プラズマを発生し、前記公知の組成の有機試料を前記プラズマで照射し、
−前記プラズマのイオン種および/または励起種を示す少なくとも1つの信号を分光分析により測定し、
−前記有機試料の公知の組成に関して分光分析による測定を校正する。
3 固体試料
4 分光分析計
13、33 有機材料層
Claims (10)
- 少なくとも1つの有機材料層(13、33)を含む固体試料(3)の元素および/または分子の化学組成を放電発光分光分析により測定する方法であって、
−放電発光ランプ(2)に前記試料(3)を配置するステップと、
−放電発光ランプ(2)に、少なくとも1つの希ガスと気体酸素とを含む混合気を投入し、気体酸素の濃度が、混合気の1質量%〜10質量%であり、前記放電発光ランプの電極に無線周波数タイプの電気放電を行って放電発光プラズマを発生し、前記有機材料層を前記プラズマで照射して、酸素を含まない前記希ガスの存在下で放電発光プラズマにより発生するエッチング速度よりも早い有機層のエッチング速度を得るようにするステップと、
−前記プラズマのイオン種および/または励起種を示す少なくとも1つの信号を分光分析計(4)により測定するステップとを含むことを特徴とする方法。 - 前記少なくとも1つの希ガスが、アルゴン、ネオン、ヘリウム、または前記希ガスの混合気の中から選択されることを特徴とする請求項1に記載の放電発光分光分析による測定方法。
- 無線周波数パルスタイプの電気放電を行うことを特徴とする請求項1または2に記載の放電発光分光分析による測定方法。
- 質量分析計により前記プラズマのイオン種を示す少なくとも1つの信号を測定することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の放電発光分光分析による測定方法。
- 発光分光分析計により前記プラズマの励起種を示す少なくとも1つの信号を測定することを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の放電発光分光分析による測定方法。
- 測定すべき試料が、薄膜の積層体を含んでおり、前記プラズマで照射される積層体の薄膜に応じて、放電発光プラズマの照射中の混合気の酸素濃度を修正することを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の方法。
- 無線周波数電界と、放電ランプの軸に対して軸方向または横方向の磁界とを同時に付与することを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の方法。
- 前記方法が、さらに、
−放電発光ランプに公知の組成の有機試料を配置し、
−放電発光ランプに、少なくとも1つの希ガスと気体酸素とを含む混合気を投入し、気体酸素の濃度が混合気の1質量%〜10質量%であり、前記放電発光ランプの電極に無線周波数タイプの電気放電を行って放電発光プラズマを発生し、前記公知の組成の有機試料を前記プラズマで照射し、
−前記プラズマのイオン種および/または励起種を示す少なくとも1つの信号を分光分析により測定し、
−前記有機試料の公知の組成に関して分光分析による測定を校正する、
校正ステップを含んでいることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の方法。 - 少なくとも1つのポリマータイプの有機材料層を含む試料への請求項1から8のいずれか一項に記載の方法の適用。
- ポリエチレンテレフタラートタイプの有機ポリマー材料の少なくとも1つの層を含んでいる試料への請求項9に記載の方法の適用。
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