JP5367036B2 - 有機またはポリマー固体試料の放電発光分光分析による測定方法 - Google Patents
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Description
−放電発光ランプに前記試料を配置するステップと、
−放電発光ランプに、少なくとも1つの希ガスと気体酸素とを含む混合気を投入し、気体酸素の濃度が、混合気の1質量%〜10質量%であり、前記放電発光ランプの電極に無線周波数タイプの電気放電を行って放電発光プラズマを発生し、前記有機材料層を前記プラズマで照射して、酸素を含まない前記希ガスの存在下で放電発光プラズマにより発生するエッチング速度よりも早い有機層のエッチング速度を得るようにするステップと、
−前記プラズマのイオン種および/または励起種を示す少なくとも1つの信号を分光分析計により測定するステップとを含む。
前記少なくとも1つの希ガスが、アルゴン、ネオン、ヘリウム、または前記希ガスの混合物の中から選択される。
−無線周波数パルスタイプの電気放電を行う。
−質量分析計により前記プラズマのイオン種を示す少なくとも1つの信号を測定する。
−発光分光分析計により前記プラズマの励起種を示す少なくとも1つの信号を測定する。
−放電発光ランプに公知の組成の有機試料を配置し、
−放電発光ランプに、少なくとも1つの希ガスと気体酸素とを含む混合気を投入し、気体酸素の濃度が混合気の1質量%〜10質量%であり、前記放電発光ランプの電極に無線周波数タイプの電気放電を行って放電発光プラズマを発生し、前記公知の組成の有機試料を前記プラズマで照射し、
−前記プラズマのイオン種および/または励起種を示す少なくとも1つの信号を分光分析により測定し、
−前記有機試料の公知の組成に関して分光分析による測定を校正する。
3 固体試料
4 分光分析計
13、33 有機材料層
Claims (10)
- 少なくとも1つの有機材料層を含む固体試料の元素および/または分子の化学組成を放電発光分光分析により測定する方法であって、
放電発光ランプの電極に対向させて前記固体試料を配置し、
希ガスと濃度が1質量%〜10質量%である気体酸素とを含む混合気を前記放電発光ランプへ供給し、
前記電極で無線周波数タイプの電気放電を行って放電発光プラズマを発生させて、前記有機材料層を前記放電発光プラズマで照射することにより、酸素を含まない希ガスの下でのエッチング速度よりも高速で前記有機材料層をエッチングし、
前記放電発光プラズマのイオン種および/または励起種を示す少なくとも1つの信号を分光分析計により測定すること
を特徴とする測定方法。 - 前記希ガスは、アルゴン、ネオンまたはヘリウムの内の少なくとも1つを含んでいることを特徴とする請求項1に記載の測定方法。
- 無線周波数パルスタイプの電気放電を行うことを特徴とする請求項1または2に記載の測定方法。
- 質量分析計により前記放電発光プラズマのイオン種を示す少なくとも1つの信号を測定することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の測定方法。
- 発光分光分析計により前記放電発光プラズマの励起種を示す少なくとも1つの信号を測定することを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の測定方法。
- 前記固体試料は、多層構造であり、
前記放電発光プラズマで照射される層の化学組成に応じて、前記混合気中の気体酸素の濃度を調節することを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の測定方法。 - 前記放電発光プラズマの発生中に、前記放電発光ランプの軸に対して軸方向または横方向の磁界を同時に付与することを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の測定方法。
- 前記放電発光ランプの電極に対向させて公知の組成の有機試料を配置し、
希ガスと濃度が1質量%〜10質量%である気体酸素とを含む混合気を前記放電発光ランプへ供給し、
前記電極で無線周波数タイプの電気放電を行って放電発光プラズマを発生させて、前記有機材料層を前記放電発光プラズマで照射し、
前記放電発光プラズマのイオン種および/または励起種を示す少なくとも1つの信号を分光分析計により測定し、
前記有機試料の公知の組成に関して分光分析による測定を校正すること
を特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の測定方法。 - 前記固体試料はポリマーからなる有機材料層を少なくとも1つ含んでいることを特徴とする請求項1から8までのいずれか一項に記載の測定方法。
- 前記ポリマーはポリエチレンテレフタラートであることを特徴とする請求項9に記載の測定方法。
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