JP2012066195A - 液滴吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】従来の吐出装置では、描画品質を向上させることが困難である。
【解決手段】液状体を液滴として吐出するノズル３７が設けられたノズルプレートを有する吐出ヘッド３３と、前記ノズルプレートのノズル３７が設けられている面であるノズル面３５の一部に接触し、電気的に接地された導電部材を有し、ノズル面３５には、ノズル３７の外側の領域において、前記導電部材の接触が許可される領域である許可領域４０ａ及び許可領域４０ｂが設けられており、前記ノズルプレートは、導電性を有する材料で構成されており、ノズル面３５側に前記液状体に対する撥液性が高められた撥液膜を有しており、前記撥液膜は、ノズル面３５の許可領域４０ａ及び許可領域４０ｂよりも外側に設けられている、ことを特徴とする液滴吐出装置。
【選択図】図３

Description

本発明は、液滴吐出装置等に関する。

液状体を液滴として吐出することができる液滴吐出装置の１つとして、インクジェット装置が知られている。インクジェット装置では、インクなどの液状体を吐出ヘッドから液滴として吐出することができる。このようなインクジェット装置では、従来から、ノズルが形成されたノズルプレートと、導電性を有し、ノズルプレートと当接するプレートと、プレートに接触する除電ブラシと、を有するものがある（例えば、特許文献１参照）。

特開２００７−２１０１２３号公報（第５頁、第５図）

上記特許文献１に記載されたインクジェット装置では、導電性を有するプレートと、除電ブラシを接触させることによって、プレートを除電させることができる。
ところで、インクジェット装置では、一般的に、ノズルとワークとの間の距離が長くなるほど液滴のワークへの着弾位置の精度が低くなる傾向がある。このため、ノズルとワークとの間の距離を短くすることが望ましい。ところが、上記特許文献１に記載されたインクジェット装置では、ノズルプレートにプレートが被さっているので、ノズルとワークとの間の距離を短くすることが困難である。そこで、プレートを省略することが考えられる。プレートを省略すれば、その分だけ、ノズルとワークとの間の距離を短くすることができる。

ここで、ノズルプレートには、フッ素化合物などの成分を含む撥液膜が設けられていることが多い。この撥液膜によって、液滴の吐出性能や吐出精度が高められている。一般的に、フッ素は、帯電しやすく絶縁性が高い。このため、撥液膜が設けられたノズルプレートを除電するには、ノズルプレートの全面にわたって除電ブラシでこすることが求められる。しかしながら、ノズルプレートの全面を除電ブラシでこすると、ノズルやノズル内の液状体にも除電ブラシが接触してしまうことがある。ノズルやノズル内の液状体に除電ブラシが接触してしまうと、液状体のメニスカスが壊れやすくなる。この結果、液滴の吐出性能や吐出精度が低下しやすくなるため、ワークにおける描画品位が低下しやすい。
つまり、従来の液滴吐出装置では、描画品位を向上させることが困難であるという課題がある。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。

［適用例１］液状体を液滴として吐出するノズルが設けられたノズルプレートを有する吐出ヘッドと、前記ノズルプレートの前記ノズルが設けられている面であるノズル面の一部に接触し、電気的に接地された導電部材と、を有し、前記ノズル面には、前記ノズルの外側の領域において、前記導電部材の接触が許可される領域である許可領域が設けられており、前記ノズルプレートは、導電性を有する材料で構成されており、前記ノズル面側に前記液状体に対する撥液性が高められた撥液膜を有しており、前記撥液膜は、前記ノズル面の前記許可領域よりも外側に設けられている、ことを特徴とする液滴吐出装置。

この適用例の液滴吐出装置は、吐出ヘッドと、導電部材と、を有している。
吐出ヘッドは、ノズルプレートを有する。ノズルプレートには、液状体を液滴として吐出するノズルが設けられている。
導電部材は、ノズル面の一部に接触する。ノズル面は、ノズルプレートのノズルが設けられている面である。導電部材は、電気的に接地されている。
ノズル面には、導電部材の接触が許可される領域である許可領域が設けられている。許可領域は、ノズルの外側の領域に設けられている。
ノズルプレートは、導電性を有する材料で構成されている。ノズルプレートは、ノズル面側に撥液膜を有している。撥液膜は、液状体に対する撥液性が高められている。撥液膜は、ノズル面の許可領域よりも外側に設けられている。

この液滴吐出装置では、撥液膜がノズル面の許可領域よりも外側に設けられているので、ノズル面の許可領域は、導電性が保たれている。そして、電気的に接地されている導電部材が許可領域に接触するので、撥液膜の静電気は、ノズルプレートから許可領域を経て導電部材を介して除去され得る。ここで、許可領域は、ノズルの外側の領域に設けられている。このため、ノズルと導電部材との接触を避けやすくすることができる。この結果、液滴の吐出性能や吐出精度を維持しやすくすることができるため、描画品位を向上させやすくすることができる。

［適用例２］上記の液滴吐出装置であって、前記吐出ヘッドに対する前記導電部材の位置を変化させる変位装置を有しており、前記導電部材は、前記導電部材の位置を基準としたときに前記吐出ヘッドが描く軌跡に重なっている、ことを特徴とする液滴吐出装置。

この適用例では、吐出ヘッドに対する導電部材の位置を変化させることによって、導電部材を許可領域に接触させることができる。

［適用例３］上記の液滴吐出装置であって、前記ノズルプレートは、複数の前記ノズルが配列したノズル列を有しており、前記変位装置は、前記吐出ヘッドに対する前記導電部材の位置を、前記ノズル列の延在方向とは交差する方向に変化させる、ことを特徴とする液滴吐出装置。

この適用例では、ノズルの外側に設けられた許可領域に導電部材が接触するときノズルと導電部材との接触を避けやすくすることができる。

［適用例４］上記の液滴吐出装置であって、前記導電部材は、前記液状体でパターンを描画することができる領域である描画領域の外側に設けられている、ことを特徴とする液滴吐出装置。

この適用例では、導電部材が描画領域の外側に設けられているので、描画領域の外側で吐出ヘッドと導電部材とを接触させることができる。

［適用例５］上記の液滴吐出装置であって、前記描画領域の外側に、前記吐出ヘッドを保守するメンテナンス装置が設けられており、前記導電部材は、平面視で、前記描画領域と前記メンテナンス装置との間に設けられている、ことを特徴とする液滴吐出装置。

この適用例では、導電部材が描画領域とメンテナンス装置との間に設けられているので、描画領域とメンテナンス装置との間で吐出ヘッドと導電部材とを接触させることができる。

本実施形態における液滴吐出装置の概略の構成を示す斜視図。 本実施形態におけるヘッドユニットを図１中のＡ視方向に見たときの正面図。 本実施形態における吐出ヘッドの底面図。 図２中のＢ−Ｂ線における断面図。 本実施形態におけるワークテーブル及び除電装置を示す正面図。 本実施形態におけるワークテーブル及び除電装置を示す正面図。

図面を参照しながら、実施形態について説明する。なお、各図面において、それぞれの構成を認識可能な程度の大きさにするために、構成や部材の縮尺が異なっていることがある。

本実施形態における液滴吐出装置１は、図１に示すように、ワーク搬送装置３と、ヘッドユニット５と、キャリッジ７と、キャリッジ搬送装置９と、メンテナンス装置１１と、除電装置１３と、除電装置１５と、を有している。
液滴吐出装置１では、基板などのワークＷとヘッドユニット５との平面視での相対位置を変化させつつ、ヘッドユニット５から液状体を液滴として吐出させることによって、ワークＷに液状体で所望のパターンを描画することができる。なお、図中のＹ方向はワークＷの移動方向を示し、Ｘ方向は平面視でＹ方向とは直交する方向を示している。また、Ｘ方向及びＹ方向によって規定されるＸＹ平面と直交する方向は、Ｚ方向として規定される。

このような液滴吐出装置１は、例えば、液晶表示パネル等に用いられるカラーフィルターの製造や、有機ＥＬ装置の製造などに適用され得る。
赤、緑及び青の３色のフィルターエレメントを有するカラーフィルターの場合、液滴吐出装置１は、例えば、基板に赤、緑及び青の各着色層を形成する工程で好適に使用され得る。この場合、ヘッドユニット５から各着色層に対応する各液状体を、ワークＷに液滴として吐出させることによって、ワークＷに赤、緑及び青のそれぞれのフィルターエレメントのパターンが描画される。
また、有機ＥＬ装置の製造では、例えば、赤、緑及び青の画素ごとに、各色に対応する機能層（有機層）を形成する工程で好適に使用され得る。この場合、ヘッドユニット５から各色の機能層に対応する各液状体を、ワークＷに液滴として吐出させることによって、ワークＷに赤、緑及び青のそれぞれの機能層のパターンが描画される。

ここで、液滴吐出装置１の各構成について、詳細を説明する。
ワーク搬送装置３は、図１に示すように、定盤２１と、ガイドレール２３ａと、ガイドレール２３ｂと、ワークテーブル２５と、を有している。
定盤２１は、例えば石などの熱膨張係数が小さい材料で構成されており、Ｙ方向に沿って延びるように据えられている。ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂは、定盤２１の上面２１ａ上に配設されている。ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂは、それぞれ、Ｙ方向に沿って延在している。ガイドレール２３ａとガイドレール２３ｂとは、互いにＸ方向に隙間をあけた状態で並んでいる。

ワークテーブル２５は、ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂを挟んで定盤２１の上面２１ａに対向した状態で設けられている。ワークテーブル２５は、定盤２１から浮いた状態でガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂ上に載置されている。ワークテーブル２５は、ワークＷが載置される面である載置面２５ａを有している。載置面２５ａは、定盤２１側とは反対側（上側）に向けられている。ワークテーブル２５は、ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂによってＹ方向に沿って案内され、定盤２１上をＹ方向に沿って往復移動可能に構成されている。

ワークテーブル２５は、図示しない移動機構及び動力源によって、Ｙ方向に往復動可能に構成されている。移動機構としては、例えば、ボールねじとボールナットとを組み合わせた機構や、リニアガイド機構などが採用され得る。また、本実施形態では、ワークテーブル２５をＹ方向に沿って移動させるための動力源として、ワーク搬送モーターが採用されている。ワーク搬送モーターとしては、ステッピングモーター、サーボモーター、リニアモーターなどの種々のモーターが採用され得る。
ワーク搬送モーターからの動力は、移動機構を介してワークテーブル２５に伝達される。これにより、ワークテーブル２５は、ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂに沿って、すなわちＹ方向に沿って往復移動することができる。つまり、ワーク搬送装置３は、ワークテーブル２５の載置面２５ａに載置されたワークＷを、Ｙ方向に沿って往復移動させることができる。

ヘッドユニット５は、ヘッドユニット５を図１中のＡ視方向に見たときの正面図である図２に示すように、ヘッドプレート３１と、吐出ヘッド３３と、を有している。
吐出ヘッド３３は、底面図である図３に示すように、ノズル面３５を有している。ノズル面３５には、複数のノズル３７が形成されている。なお、図３では、ノズル３７をわかりやすく示すため、ノズル３７が誇張され、且つノズル３７の個数が減じられている。
複数のノズル３７は、Ｙ方向に沿って所定のピッチＰで配列形成されており、Ｙ方向に延在するノズル列３９を構成している。

ここで、ノズル面３５には、許可領域４０ａと、許可領域４０ｂと、が設けられている。許可領域４０ａ及び許可領域４０ｂは、それぞれ、図１に示す除電装置１３の除電ブラシ４３及び除電装置１５の除電ブラシ４５の接触が許可される領域である。許可領域４０ａ及び許可領域４０ｂは、それぞれ、ノズル３７の外側の領域に設けられている。本実施形態では、許可領域４０ａ及び許可領域４０ｂは、それぞれ、ノズル列３９をＹ方向に挟んで互いに対峙する位置に設けられている。

吐出ヘッド３３は、図２中のＢ−Ｂ線における断面図である図４に示すように、ノズルプレート５１と、キャビティープレート５２と、振動板５３と、複数の圧電素子５４と、を有している。
ノズルプレート５１は、ノズル面３５を有している。複数のノズル３７は、ノズルプレート５１に設けられている。
キャビティープレート５２は、ノズルプレート５１のノズル面３５とは反対側の面に設けられている。キャビティープレート５２には、複数のキャビティー５５が形成されている。各キャビティー５５は、各ノズル３７に対応して設けられており、対応する各ノズル３７に連通している。各キャビティー５５には、図示しないタンクから機能液５６（液状体）が供給される。

振動板５３は、キャビティープレート５２のノズルプレート５１側とは反対側の面に設けられている。振動板５３は、Ｚ方向に振動（縦振動）することによって、キャビティー５５内の容積を拡大したり、縮小したりする。
複数の圧電素子５４は、それぞれ、振動板５３のキャビティープレート５２側とは反対側の面に設けられている。各圧電素子５４は、各キャビティー５５に対応して設けられており、振動板５３を挟んで各キャビティー５５に対向している。各圧電素子５４は、駆動信号に基づいて、伸長する。これにより、振動板５３がキャビティー５５内の容積を縮小する。このとき、キャビティー５５内の機能液５６に圧力が付与される。その結果、ノズル３７から、機能液５６が液滴５７として吐出される。吐出ヘッド３３による液滴５７の吐出法は、インクジェット法の１つである。

本実施形態では、ノズルプレート５１は、導電性を有する材料で構成されている。ノズルプレート５１は、ノズル面３５側に撥液膜５９を有している。撥液膜５９は、機能液５６に対する撥液性が高められている。撥液膜５９は、ノズル面３５の許可領域４０ａおよび４０ｂよりも外側に設けられている。つまり、本実施形態では、撥液膜５９は、許可領域４０ａ及び許可領域４０ｂを除くノズル面３５に設けられている。このため、ノズル面３５の許可領域４０ａおよび４０ｂは、導電性が保たれている。

上記の構成を有する吐出ヘッド３３は、図２に示すように、ノズル面３５がヘッドプレート３１から突出した状態で、ヘッドプレート３１に支持されている。
キャリッジ７は、図１に示すように、ヘッドユニット５を支持している。ここで、ヘッドユニット５は、ノズル面３５（図２）がＺ方向の下方に向けられた状態でキャリッジ７に支持されている。
なお、本実施形態では、縦振動型の圧電素子５４が採用されているが、機能液５６に圧力を付与するための加圧手段は、これに限定されず、例えば、下電極と圧電体層と上電極とを積層形成した撓み変形型の圧電素子も採用され得る。また、加圧手段としては、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルから液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなども採用され得る。さらに、発熱体を用いてノズル内に泡を発生させ、その泡によって機能液に圧力を付与する構成も採用され得る。

キャリッジ搬送装置９は、図１に示すように、架台６１と、ガイドレール６３と、を有している。
架台６１は、Ｘ方向に延在しており、ワーク搬送装置３及びメンテナンス装置１１をＸ方向にまたいでいる。架台６１は、ワークテーブル２５の定盤２１側とは反対側で、ワーク搬送装置３及びメンテナンス装置１１のそれぞれに対向している。架台６１は、支柱６７ａと支柱６７ｂとによって支持されている。支柱６７ａ及び支柱６７ｂは、定盤２１を挟んでＸ方向に互いに対峙する位置に設けられている。支柱６７ａ及び支柱６７ｂは、それぞれ、ワークテーブル２５よりもＺ方向の上方に突出している。これにより、架台６１とワークテーブル２５との間、及び架台６１とメンテナンス装置１１との間には、それぞれ隙間が保たれている。

ガイドレール６３は、架台６１の定盤２１側に設けられている。ガイドレール６３は、Ｘ方向に沿って延在しており、架台６１のＸ方向における幅にわたって設けられている。
前述したキャリッジ７は、ガイドレール６３に支持されている。キャリッジ７がガイドレール６３に支持された状態において、吐出ヘッド３３のノズル面３５は、Ｚ方向においてワークテーブル２５側に向いている。キャリッジ７は、ガイドレール６３によってＸ方向に沿って案内され、Ｘ方向に往復動可能な状態でガイドレール６３に支持されている。なお、平面視で、キャリッジ７がワークテーブル２５に重なっている状態において、ノズル面３５とワークテーブル２５の載置面２５ａとは、互いに隙間を保った状態で対向する。

キャリッジ７は、図示しない移動機構及び動力源によって、Ｘ方向に往復動可能に構成されている。移動機構としては、例えば、ボールねじとボールナットとを組み合わせた機構や、リニアガイド機構などが採用され得る。また、本実施形態では、キャリッジ７をＸ方向に沿って移動させるための動力源として、キャリッジ搬送モーターが採用されている。キャリッジ搬送モーターとしては、ステッピングモーター、サーボモーター、リニアモーターなどの種々のモーターが採用され得る。
キャリッジ搬送モーターからの動力は、移動機構を介してキャリッジ７に伝達される。これにより、キャリッジ７は、ガイドレール６３に沿って、すなわちＸ方向に沿って往復移動することができる。つまり、キャリッジ搬送装置９は、キャリッジ７に支持されたヘッドユニット５を、Ｘ方向に沿って往復移動させることができる。

メンテナンス装置１１は、図１に示すように、定盤７１と、ガイドレール７３ａと、ガイドレール７３ｂと、保守テーブル７５と、キャッピングユニット７６と、フラッシングユニット７７と、ワイピングユニット７９と、を有している。
定盤７１は、例えば石などの熱膨張係数が小さい材料で構成されており、Ｘ方向に支柱６７ａを挟んで定盤２１と対峙する位置に設けられている。
ガイドレール７３ａ及びガイドレール７３ｂは、定盤７１の上面７１ａ上に配設されている。ガイドレール７３ａ及びガイドレール７３ｂは、それぞれ、Ｙ方向に沿って延在している。ガイドレール７３ａとガイドレール７３ｂとは、互いにＸ方向に隙間をあけた状態で並んでいる。
保守テーブル７５は、ガイドレール７３ａ及びガイドレール７３ｂを挟んで定盤７１の上面７１ａに対向した状態で設けられている。保守テーブル７５は、定盤７１から浮いた状態でガイドレール７３ａ及びガイドレール７３ｂ上に載置されている。

保守テーブル７５には、キャッピングユニット７６や、フラッシングユニット７７、ワイピングユニット７９などの保守ユニットが載置される。本実施形態では、保守ユニットは、キャッピングユニット７６と、フラッシングユニット７７と、ワイピングユニット７９と、を含んでいる。
保守テーブル７５は、ガイドレール７３ａ及びガイドレール７３ｂによってＹ方向に沿って案内され、定盤７１上をＹ方向に沿って往復移動可能に構成されている。
フラッシングユニット７７は、保守テーブル７５の定盤７１側とは反対側に設けられている。
ここで、ワークＷへのパターンの描画とは無関係に、吐出ヘッド３３から機能液５６を吐出させる動作は、フラッシング動作と呼ばれる。フラッシング動作には、例えば、ノズル３７内に滞留する機能液５６がノズル３７内で固化してしまうことを予防する効果がある。フラッシングユニット７７は、フラッシング動作のときに、吐出ヘッド３３から吐出される機能液５６を受ける装置である。

キャッピングユニット７６は、吐出ヘッド３３に蓋をする装置である。吐出ヘッド３３から吐出される機能液５６では、液体成分が蒸発することがある。一般的に、機能液５６における液体成分が蒸発すると、機能液５６の粘度が高くなる。吐出ヘッド３３内の機能液５６の粘度が高くなると、ノズル３７における液滴５７を吐出する性能（以下、吐出性能と呼ぶ）が低下することがある。吐出性能の低下としては、例えば、ノズル３７から吐出された液滴５７の進行方向が曲がってしまったり（飛行曲がり）、ノズル３７から液滴５７が吐出されなかったり（不吐出）することなどが挙げられる。なお、キャッピングユニット７６で吐出ヘッド３３に蓋をする動作は、キャッピング動作と呼ばれる。

キャッピングユニット７６は、吐出ヘッド３３に蓋をすることで、機能液５６における液体成分がノズルから蒸発することを低く抑える。これにより、吐出ヘッド３３における吐出性能を維持しやすくすることができる。
ワイピングユニット７９は、吐出ヘッド３３のノズル面３５を拭く装置である。液滴吐出装置１では、ノズル面３５に機能液５６が付着することがある。ノズル面３５に機能液５６が付着すると、吐出ヘッド３３における吐出性能が低下することがある。ワイピングユニット７９は、ノズル面３５を拭くことによって、ノズル面３５に付着している機能液５６を払拭する。これにより、吐出ヘッド３３における吐出性能を維持しやすくすることができる。なお、ワイピングユニット７９でノズル面３５を拭く動作は、ワイピング動作と呼ばれる。

保守テーブル７５は、図示しない移動機構及び動力源によって、Ｙ方向に往復動可能に構成されている。移動機構としては、例えば、ボールねじとボールナットとを組み合わせた機構や、リニアガイド機構などが採用され得る。また、本実施形態では、保守テーブル７５をＹ方向に沿って移動させるための動力源として、テーブル搬送モーターが採用されている。テーブル搬送モーターとしては、ステッピングモーター、サーボモーター、リニアモーターなどの種々のモーターが採用され得る。
テーブル搬送モーターからの動力は、移動機構を介して保守テーブル７５に伝達される。これにより、保守テーブル７５は、ガイドレール７３ａ及びガイドレール７３ｂに沿って、すなわちＹ方向に沿って往復移動することができる。
つまり、メンテナンス装置１１は、キャッピングユニット７６や、フラッシングユニット７７、ワイピングユニット７９などの保守ユニットを、Ｙ方向に沿って往復移動させることができる。これにより、平面視で吐出ヘッド３３がメンテナンス装置１１に重なっている状態において、吐出ヘッド３３をキャッピングユニット７６、フラッシングユニット７７及びワイピングユニット７９のそれぞれに対向させることができる。

除電装置１３及び除電装置１５は、図１に示すように、それぞれ、平面視で、定盤２１の領域よりも外側に設けられている。除電装置１３と、除電装置１５とは、定盤２１をＸ方向に挟んで互いに対峙している。また、除電装置１３及び除電装置１５は、それぞれ、平面視で、ヘッド可動領域に重なっている。ヘッド可動領域は、キャリッジ搬送装置９によって可動する吐出ヘッド３３が可動域内で描く軌跡に重なる領域である。
なお、液滴吐出装置１では、ヘッド可動領域と、ワークＷのＹ方向に沿った軌跡とが重なり合う領域が描画領域として設定されている。
このため、液滴吐出装置１において、除電装置１３及び除電装置１５は、それぞれ、平面視で、描画領域の外側に設けられている。
つまり、本実施形態では、除電装置１３及び除電装置１５は、それぞれ、描画領域の外側において、吐出ヘッド３３がＸ方向に沿って描く軌跡に重なっている。
除電装置１３は、平面視で、メンテナンス装置１１と定盤２１との間に位置している。また、除電装置１５は、平面視で、定盤２１のメンテナンス装置１１側とは反対側に位置している。

除電装置１３は、図１に示すように、２つの除電ブラシ４３を有している。２つの除電ブラシ４３は、Ｙ方向に互いに隙間をあけた状態でＹ方向に沿って並んでいる。
除電装置１５は、２つの除電ブラシ４５を有している。２つの除電ブラシ４５は、Ｙ方向に互いに隙間をあけた状態でＹ方向に沿って並んでいる。
２つの除電ブラシ４３及び２つの除電ブラシ４５は、それぞれ、電気的に接地されている。除電ブラシ４３や除電ブラシ４５の材料としては、例えば、導電性繊維などが採用され得る。
なお、以下において、２つの除電ブラシ４３のそれぞれを識別する場合に、２つの除電ブラシ４３は、それぞれ、除電ブラシ４３ａ及び除電ブラシ４３ｂと表記される。同様に、２つの除電ブラシ４５のそれぞれを識別する場合に、２つの除電ブラシ４５は、それぞれ、除電ブラシ４５ａ及び除電ブラシ４５ｂと表記される。

除電ブラシ４３ａ及び除電ブラシ４５ａは、それぞれ、吐出ヘッド３３がキャリッジ搬送装置９によってＸ方向に沿って搬送されるときに、許可領域４０ａが描く軌跡に重なっている。
また、除電ブラシ４３ｂ及び除電ブラシ４５ｂは、それぞれ、吐出ヘッド３３がキャリッジ搬送装置９によってＸ方向に沿って搬送されるときに、許可領域４０ｂが描く軌跡に重なっている。
２つの除電ブラシ４３は、図５に示すように、それぞれ、ノズル面３５のＺ方向における高さよりも突出している。同様に、２つの除電ブラシ４５も、それぞれ、ノズル面３５のＺ方向における高さよりも突出している。
このため、吐出ヘッド３３をＸ方向に移動させると、図６に示すように、２つの除電ブラシ４３及び２つの除電ブラシ４５は、それぞれ、ノズル面３５に当接する。

上記の構成を有する液滴吐出装置１では、ワークＷと吐出ヘッド３３とを互いに対向させた状態で吐出ヘッド３３をＸ方向に往復移動させつつ、吐出ヘッド３３から液滴５７を吐出させることによって、ワークＷに対するパターンの描画が行われる。
このとき、吐出ヘッド３３のＸ方向における往復移動の往動から復動への折り返しや復動から往動への折り返しのときに、ノズル面３５に除電ブラシ４３や除電ブラシ４５を当接させることができる。
このとき、除電ブラシ４３ａが許可領域４０ａに当接し、除電ブラシ４３ｂが許可領域４０ｂに当接する。また、除電ブラシ４５ａが許可領域４０ａに当接し、除電ブラシ４５ｂが許可領域４０ｂに当接する。

本実施形態では、吐出ヘッド３３をＸ方向に往復移動させるときに、吐出ヘッド３３を除電装置１３及び除電装置１５のそれぞれの定盤２１側とは反対側まで移動させる。つまり、吐出ヘッド３３は、描画領域内から除電装置１３及び除電装置１５のそれぞれを超えて描画領域の外側まで移動する。
このため、許可領域４０ａは、Ｘ方向の幅寸法にわたって、除電ブラシ４３ａや除電ブラシ４５ａによってこすられる。同様に、許可領域４０ｂは、Ｘ方向の幅寸法にわたって、除電ブラシ４３ｂや除電ブラシ４５ｂによってこすられる。
これにより、撥液膜５９に帯電した静電気を除電装置１３及び除電装置１５で除電することができる。なお、吐出ヘッド３３を除電ブラシ４３や除電ブラシ４５に当接させる動作は、除電動作と呼ばれる。

本実施形態において、除電ブラシ４３及び除電ブラシ４５のそれぞれが導電部材に対応し、キャリッジ搬送装置９が変位装置に対応している。
本実施形態では、除電ブラシ４３及び除電ブラシ４５のそれぞれの接触が許可される許可領域４０ａ及び許可領域４０ｂが、それぞれ、ノズル面３５においてノズル３７の外側の領域に設けられている。このため、ノズル３７やノズル３７内の機能液５６と除電ブラシ４３や除電ブラシ４５との接触を避けやすくすることができる。このため、ノズル３７内の機能液５６のメニスカスを維持しやすくすることができる。この結果、液滴５７の吐出性能や吐出精度を維持しやすくすることができるため、描画品位を向上させやすくすることができる。

この液滴吐出装置１では、吐出ヘッド３３は、キャリッジ搬送装置９によって、ノズル列３９の延在方向とは交差するＸ方向に移動する。そして、吐出ヘッド３３のノズル面３５において、許可領域４０ａ及び許可領域４０ｂは、Ｙ方向にノズル列３９を挟んで互いに対峙する位置に設定されている。上記の構成により、ノズル３７と除電ブラシ４３や除電ブラシ４５との接触を避けやすくすることができる。

また、この液滴吐出装置１では、図１に示すように、描画領域とメンテナンス装置１１との間に除電装置１３が設けられている。このため、キャッピング動作、フラッシング動作、ワイピング動作などの後に吐出ヘッド３３を除電装置１３で除電することができる。
キャッピング動作では、キャッピングユニット７６が吐出ヘッド３３に接触する。また、ワイピング動作では、吐出ヘッド３３のノズル面３５がワイピングユニット７９によってこすられる。このため、キャッピング動作やワイピング動作によって、ノズル面３５の撥液膜５９が帯電しやすくなる。
これに対し、本実施形態では、描画領域とメンテナンス装置１１との間に除電装置１３が設けられているので、キャッピング動作、フラッシング動作、ワイピング動作などの後に吐出ヘッド３３を除電装置１３で効率よく除電することができる。

なお、本実施形態では、往復移動する吐出ヘッド３３の往動から復動への折り返し及び復動から往動への折り返しのそれぞれにおいて、除電動作を実施する方法が採用されているが、除電動作を実施する頻度は、これに限定されない。除電動作を実施する頻度としては、任意の頻度が採用され得る。例えば、吐出ヘッド３３の１往復ごとに除電動作を実施する頻度とすれば、描画処理にかかる時間を短縮しやすくすることができる。

また、本実施形態では、Ｘ方向に定盤２１を挟んで互いに対峙する除電装置１３及び除電装置１５が設けられているが、液滴吐出装置１の構成はこれに限定されない。液滴吐出装置１の構成としては、除電装置１３及び除電装置１５のいずれか一方を省略した構成も採用され得る。これにより、液滴吐出装置１の小型化を図りやすくすることができる。

また、本実施形態では、導電性繊維で構成された除電ブラシ４３や除電ブラシ４５が採用されている。しかしながら、除電ブラシ４３や除電ブラシ４５の材料としては、導電性繊維などに限定されず、例えば、導電ゴム、導電樹脂や金属細線などの種々の材料が採用され得る。しかしながら、除電ブラシ４３や除電ブラシ４５の材料として導電性繊維を採用することは、許可領域４０ａや許可領域４０ｂに付着した機能液５６の少なくとも一部を払拭することができる点で好ましい。これにより、吐出ヘッド３３における吐出性能を維持しやすくすることができる。

また、本実施形態では、メンテナンス装置１１が、キャッピングユニット７６、フラッシングユニット７７及びワイピングユニット７９を有している。しかしながら、メンテナンス装置１１の構成は、これに限定されず、これらのうちの少なくとも１つを有する構成や、これらの他に別のユニットを有する構成などの種々の構成が採用され得る。

１…液滴吐出装置、９…キャリッジ搬送装置、１１…メンテナンス装置、１３…除電装置、１５…除電装置、３３…吐出ヘッド、３５…ノズル面、３７…ノズル、３９…ノズル列、４０ａ，４０ｂ…許可領域、４３…除電ブラシ、４３ａ，４３ｂ…除電ブラシ、４５…除電ブラシ、４５ａ，４５ｂ…除電ブラシ、５１…ノズルプレート、５６…機能液、５７…液滴、５９…撥液膜、７６…キャッピングユニット、７７…フラッシングユニット、７９…ワイピングユニット。

Claims (5)

1. 液状体を液滴として吐出するノズルが設けられたノズルプレートを有する吐出ヘッドと、
   前記ノズルプレートの前記ノズルが設けられている面であるノズル面の一部に接触し、電気的に接地された導電部材と、を有し、
   前記ノズル面には、前記ノズルの外側の領域において、前記導電部材の接触が許可される領域である許可領域が設けられており、
   前記ノズルプレートは、導電性を有する材料で構成されており、前記ノズル面側に前記液状体に対する撥液性が高められた撥液膜を有しており、
   前記撥液膜は、前記ノズル面の前記許可領域よりも外側に設けられている、
   ことを特徴とする液滴吐出装置。
2. 前記吐出ヘッドに対する前記導電部材の位置を変化させる変位装置を有しており、
   前記導電部材は、前記導電部材の位置を基準としたときに前記吐出ヘッドが描く軌跡に重なっている、
   ことを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
3. 前記ノズルプレートは、複数の前記ノズルが配列したノズル列を有しており、
   前記変位装置は、前記吐出ヘッドに対する前記導電部材の位置を、前記ノズル列の延在方向とは交差する方向に変化させる、
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴吐出装置。
4. 前記導電部材は、前記液状体でパターンを描画することができる領域である描画領域の外側に設けられている、
   ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
5. 前記描画領域の外側に、前記吐出ヘッドを保守するメンテナンス装置が設けられており、
   前記導電部材は、平面視で、前記描画領域と前記メンテナンス装置との間に設けられている、
   ことを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出装置。

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