JP2012064589A - プラズマ発生装置及びプラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】大気よりも減圧された雰囲気を維持可能なプラズマ発生室60と、マイクロ波の進行波を共振させる環状共振器10と、環状共振器10からマイクロ波を分配する複数の結合器42と、複数の結合器42のそれぞれに結合され、プラズマ発生室60にマイクロ波を導入する相互に離隔して設けられた複数のアプリケータ50と、を備え、複数のアプリケータ50はプラズマ発生室60にマイクロ波を導入する誘電体から形成された導波体54をそれぞれ有し、導波体54からプラズマ発生室60に導入されたマイクロ波によりプラズマを生成する。
【選択図】図1
Description
ここで、前記位相差調整手段としては、可変ショート・プランジャを用いることができる。
従って、例えば、大面積で均一なプラズマ処理を形成したり、逆に、局所的に強いプラズマ処理を形成することも容易に実現できる。
その結果として、大面積の半導体ウェーハや液晶ディスプレイ用基板などに対して、均一且つ迅速にエッチング、アッシング、薄膜堆積、表面改質あるいはプラズマドーピングなどのプラズマ処理を実施することができ、あるいは、各種の被処理物に対して、局所的なプラズマ処理を実行することも可能となり、産業上のメリットは多大である。
すなわち、方向性結合器20は、例えば、入力ポート21と出力ポート22とを有する。入力ポート21から環状進行波共振器10にマイクロ波成分M2が入力され、環状進行波共振器10から出力ポート22にマイクロ波成分M3が出力される。そして、方向性結合器20の出力ポート22からの出力は、整合(マッチング)されたダミーロード(dummy load)72により吸収される。
図3は、「進行波分配」と「定在波分配」とを比較説明するための概念図である。
すなわち、同図(a)は、「進行波分配」を表し、マイクロ波の進行波が伝搬する導波管100に結合器42が結合されてマイクロ波が分配される。進行波の場合には、導波管100を伝搬するマイクロ波の強度は進行方向に対して均一であるので、どの場所で取り出してもその強度はほぼ一定であり、分配のバランスを維持することが容易である。
これに対して、「定在波分配」の場合、同図(b)に表したように、定在波の強度分布すなわち定在波の「腹」と「節」により、マイクロ波の強度は不均一である。従って、結合器42の位置に応じて、マイクロ波の強度が変化する。逆にいうと、一定の強度を維持するためには、定在波の波長に応じて結合器42の配置を決定しなければならない。
すなわち、環状進行波共振器10内でのマイクロ波の強度は、(4)式により表される合計の伝搬係数(total transmission coefficient)Tにより決定される。合計の伝搬係数Tが1に近づく(すなわち、減衰が抑制される)ほど、環状進行波共振器10内でのマイクロ波の強度は高くなる。(3)式が満足され、結合が良好な状態においては、環状進行波共振器10内でのマイクロ波の強度は、次式により与えられる。
倍である」ことを表している。
ちなみに、複数の結合器42のパワー結合係数の合計が20パーセントの場合、環状進行波共振器10内を伝搬しているマイクロ波のパワーは、導入パワーの5倍にもなる。以上、環状進行波共振器10内でのマイクロ波の強度について説明した。
上記の説明は、それぞれのアプリケータ50で反射が無い場合の理論である。実際には、それぞれのアプリケータ50で多少の反射が生ずる。すべてのアプリケータ50に入力したパワーの合計は導入パワーと等しく、環状進行波共振器10内でのマイクロ波パワーの
パーセントになる((9)式参照)。
が小さければ、プラズマの揺らぎによる反射が生じた場合でも、環状進行波共振器10内でのマイクロ波の伝搬状態は殆ど変化せず、マイクロ波の分配を維持できる。つまり、結合係数Ciを小さくすると、プラズマの揺らぎが生じてもマイクロ波の反射の増大を抑制できる。実用的には、環状進行波共振器10内でのマイクロ波の反射波パワーが入射波パワーの20パーセントを超えないようにするために、結合器42のそれぞれのパワー結合係数の合計が20パーセント以下となるように調整することが望ましい。
図4は、本発明の第2の実施の形態にかかるプラズマ発生装置の要部基本構成を例示する概念図である。同図については、図1乃至図3に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
本実施形態においては、環状進行波共振器10からマイクロ波を取り出すための結合器として、方向性の結合器40が設けられている。環状進行波共振器10内を伝搬するマイクロ波は、その進行方向の波のみにより構成されるので、方向性の結合器40により取り出した場合も同様の結果が得られる。ただし、結合器40の結合係数Ciは、図1に関して前述した場合と同様に、数パーセント以下に抑えることが望ましい。結合器40の結合係数を低く抑えることより、プラズマPのインピーダンスの変化による環状進行波共振器10の共振条件の変動や、複数の結合器40の間の分配バランスの変動を抑制することができる。その結果として、プラズマPの状態に依存せず、常に所定の条件で進行波の共振による波動場を形成し、この波動場から所定のバランスでマイクロ波を複数のアプリケータ50に分配することができる。
本実施形態においては、環状進行波共振器10にパワーモニタ80と位相調節器(phase shifter)90が設けられている。すなわち、本発明においては、環状進行波共振器10において、マイクロ波の進行波による共振を励起する。このためには、図1に関して前述したように、環状進行波共振器10とその内部部品は、その内部を伝搬する前記進行波の一周位相差が360度の整数倍と実質的に等しくなるように生成する必要がある。また、その管内波長は、プラズマ発生室60のサイズや、放電空間において生成されるプラズマなどの条件に応じて変化する。
また、図6に例示した如く、導入導波管70の終端にダミーロード72を設け、その途中経路にダミーロード74とともにパワーモニタ82を設けてマイクロ波のパワーをモニタしてもよい。
いずれの場合においても、マイクロ波の共振条件が満足されると、入射パワーPfに対して反射パワーPrが大幅に低下する。
図7及び図8は、本発明の第4の実施の形態にかかるプラズマ発生装置の要部基本構成を例示する概念図である。これらの図についても、図1乃至図6に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
本実施形態においては、環状進行波共振器10からマイクロ波を取り出すための結合器として方向性の結合器40が設けられ、また、マイクロ波の共振条件を調節するために、パワーモニタ80と位相調節器90が設けられている。これらの要素に関する作用効果は、図1乃至図6に関して前述した通りである。
また、図10は、そのA−A線断面図である。
また、図11は、そのB−B線断面図である。
例えば、図9に関して前述したプラズマ発生装置の場合、複数のアプリケータ50のうちで、導入導波管70に近いものと遠いものとでは、生成するプラズマ密度に差が生ずることがあり得る。典型的には、導入導波管70から近いアプリケータ50においてはプラズマ密度が高く、導入導波管70から遠いアプリケータ50においてはプラズマ密度が低くなる場合などがあり得る。このような場合、導入導波管70から近いアプリケータ50の結合度は低く、導入導波管70から遠いアプリケータ50においては結合度を高く設定すると、プラズマ密度を均一にすることが可能である。
すなわち、導入導波管70と環状進行波共振器10とが方向性結合器20により結合されている。方向性結合器20の出力ポートは、固定ショート・プランジャ73により終端させ、反射波が生ずるようにする。
つまり、環状進行波共振器10の中には進行波M4とは反対方向の弱い反射波R2が励起されることとなる。
図20は、このアプリケータの部分のA−A線断面構造の具体例を表す模式図である。
また、図21は、図20のB−B線断面構造を表す模式図である。
また、図23は、本実施例のプラズマ発生装置の構成を表す模式断面図である。
本実施例においては、直径40センチメータの略円筒状の内部空間を有する処理チャンバ60を用いた。そして、この処理チャンバ60の上方に環状進行波共振器10を配置し、方向性結合器40を介して結合された6個のアプリケータ50を均等な間隔で処理チャンバ60の上蓋に取り付けた。それぞれのアプリケータ50には、可変ショート・プランジャ58が設けられている。ここでは、6個のアプリケータ50のそれぞれに「1番」〜「6番」の番号を付すこととする。なお、1番のアプリケータ50は、導入導波管70によるマイクロ波Mの導入位置から最も遠い位置に配置されている。
すなわち、図24に例示したケースでは、1番のアプリケータ50(導入導波管70から最も遠いアプリケータ)の近傍におけるアッシング速度が他の5個のアプリケータの近傍におけるアッシング速度に比べて非常に低い。つまり、1番のアプリケータ50からのマイクロ波の出力が他の5個のアプリケータからの出力よりも非常に低いことが分かる。
すなわち、図24と図25とを比較すると、可変ショート・プランジャ58を調節することにより、アッシング速度を極めて広い範囲で制御できることが分かる。つまり、本実施例によれば、装置の配置やプロセス条件、または使用履歴などに応じて、非常に幅広い範囲でマイクロ波の導入パワーをアプリケータ毎に独立に制御でき、極めて幅広い調整マージンが得られる。
1番乃至6番のアプリケータの近傍において、ほぼ均一なアッシング速度が得られており、大面積に亘り均一なプラズマ処理が可能であることが分かる。
なお、図22乃至図26においては、6個のアプリケータが設けられ、それぞれに可変ショート・プランジャ58が設けられた具体例を表したが、本発明はこれには限定されない。すなわち、アプリケータの個数は6個よりも多くても少なくともよく、また、これらアプリケータの全てに可変ショート・プランジャを設けてもよく、またはそれらのうちの一部のアプリケータのみに可変ショート・プランジャを設けもよい。
5 導波管
10 環状進行波共振器
16 ステージ
20 方向性結合器
21 入力ポート
22 出力ポート
40 方向性結合器
42、44 結合器
50 アプリケータ
52 導入導波管
53 ダミー出力ポート
54 導波体
58 可変ショート・プランジャ
60 プラズマ発生室(処理チャンバ)
70 導入導波管
72、74 ダミーロード
80、82 パワーモニタ
90 位相調節器
100 導波管
101 導波管
102 スロット
103 導入部
503 導波管
521 分配ブロック
522 スロット
523 マイクロ波
525 波
M マイクロ波
P プラズマ
W 被処理物
すなわち、環状進行波共振器10内でのマイクロ波の強度は、(4)式により表される合計の伝搬係数(total transmission coefficient)Tにより決定される。合計の伝搬係数Tが1に近づく(すなわち、減衰が抑制される)ほど、環状進行波共振器10内でのマイクロ波の強度は高くなる。(3)式が満足され、結合が良好な状態においては、環状進行波共振器10内でのマイクロ波の強度は、次式により与えられる。
倍である」ことを表している。
ちなみに、複数の結合器42のパワー結合係数の合計が20パーセントの場合、環状進行波共振器10内を伝搬しているマイクロ波のパワーは、導入パワーの5倍にもなる。以上、環状進行波共振器10内でのマイクロ波の強度について説明した。
が小さければ、プラズマの揺らぎによる反射が生じた場合でも、環状進行波共振器10内でのマイクロ波の伝搬状態は殆ど変化せず、マイクロ波の分配を維持できる。つまり、結合係数C i を小さくすると、プラズマの揺らぎが生じてもマイクロ波の反射の増大を抑制できる。実用的には、環状進行波共振器10内でのマイクロ波の反射波パワーが入射波パワーの20パーセントを超えないようにするために、結合器42のそれぞれのパワー結合係数の合計が20パーセント以下となるように調整することが望ましい。
図4は、本発明の第2の実施の形態にかかるプラズマ発生装置の要部基本構成を例示する概念図である。同図については、図1乃至図3に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
本実施形態においては、環状進行波共振器10からマイクロ波を取り出すための結合器として、方向性の結合器40が設けられている。環状進行波共振器10内を伝搬するマイクロ波は、その進行方向の波のみにより構成されるので、方向性の結合器40により取り出した場合も同様の結果が得られる。ただし、結合器40の結合係数C i は、図1に関して前述した場合と同様に、数パーセント以下に抑えることが望ましい。結合器40の結合係数を低く抑えることより、プラズマPのインピーダンスの変化による環状進行波共振器10の共振条件の変動や、複数の結合器40の間の分配バランスの変動を抑制することができる。その結果として、プラズマPの状態に依存せず、常に所定の条件で進行波の共振による波動場を形成し、この波動場から所定のバランスでマイクロ波を複数のアプリケータ50に分配することができる。
Claims (11)
- 大気よりも減圧された雰囲気を維持可能なプラズマ発生室と、
マイクロ波の進行波を共振させる環状共振器と、
前記環状共振器からマイクロ波を分配する複数の結合器と、
前記複数の結合器のそれぞれに結合され、前記プラズマ発生室にマイクロ波を導入する相互に離隔して設けられた複数のアプリケータと、
を備え、
前記複数のアプリケータは前記プラズマ発生室にマイクロ波を導入する誘電体から形成された導波体をそれぞれ有し、前記導波体から前記プラズマ発生室に導入されたマイクロ波によりプラズマを生成可能としたことを特徴とするプラズマ発生装置。 - 導入導波管と、
前記導入導波管と前記環状共振器とを結合する方向性結合器と、
をさらに備え、
前記導入導波管から前記方向性結合器を介して前記環状共振器を励振することにより、
前記環状共振器において前記マイクロ波の進行波を形成することを特徴とする請求項1記載のプラズマ発生装置。 - 前記環状共振器には、前記進行波とともに、前記進行波よりも弱い反射波が励起され、
前記複数のアプリケータの少なくともいずれかには、前記進行波と前記反射波との位相差を可変とした位相差調整手段を介して前記進行波と前記反射波とが供給されることを特徴とする請求項1または2に記載のプラズマ発生装置。 - 前記位相差調整手段は、可変ショート・プランジャであることを特徴とする請求項3記載のプラズマ発生装置。
- 前記複数の結合器のそれぞれの振幅結合係数は、前記プラズマの電子密度が変化しても前記マイクロ波に対するインピーダンスが実質的に変化しないように低く設定されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載のプラズマ発生装置。
- 前記複数の結合器のそれぞれのパワー結合係数の合計値は、20パーセント以下であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1つに記載のプラズマ発生装置。
- 前記環状共振器の管路と内部部品は、その内部を伝搬する前記進行波の一周位相差が360度の整数倍と実質的に等しくなるように形成されてなることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1つに記載のプラズマ発生装置。
- 前記アプリケータとプラズマとの結合係数は、前記結合器と前記環状共振器との結合係数よりも大きいことを特徴とする請求項1〜8のいずれか1つに記載のプラズマ発生装置
- 前記複数の結合器は、方向性結合器であることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1つに記載のプラズマ発生装置。
- 請求項1〜10のいずれか1つに記載のプラズマ発生装置を備え、
前記アプリケータを介して導入されたマイクロ波により生成された前記プラズマによって被処理物のプラズマ処理を実施可能としたことを特徴とするプラズマ処理装置。
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