JP2012055854A - Film washing device - Google Patents

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Masayoshi Sakuma
正芳 佐久間
Satoru Sugitani
悟 杉谷
Nobuo Tsumaki
伸夫 妻木
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a film washing device capable of effectively removing fine foreign matters (dust) by the stream of a washing water.SOLUTION: The film washing device includes: one or two supply members; and a washing liquid-discharging port which is formed on the supply member and through which the washing liquid is blown on at least one of both sides of a film moving in parallel to the supply member. The washing liquid-discharging ports are composed so as to form the flow of the washing liquid in multiple directions on the moving film, and are preferably composed in a V shape.

Description

本発明は、フィルムなどの表面に付着した、埃、汚れを液体で洗浄するフィルム洗浄装置に関する。   The present invention relates to a film cleaning apparatus for cleaning dust and dirt attached to the surface of a film or the like with a liquid.

プラスチックフィルムは、FPD(Flat Panel Display)分野、エレクトロニクス分野、光学用分野等、様々な分野で使用されている。FPD分野、エレクトロニクス分野に使用されるプラスチックフィルムは、製膜、塗工、貼合などの工程を経て、部材やプロセス材として使用される。その製造工程は、終始クリーン環境下での取り扱いが必須であり、埃、繊維、フィルム粕などの異物の製品への混入や付着、及びそれらに起因するキズ、押し跡などの物理的欠陥の発生は厳重に管理されている。そして、これらの欠陥の発生に対する市場の要求基準は急速に厳しくなってきている。また、欠陥の程度についても、従来問題とされなかった非常に微細な欠陥が許容されなくなってきており、改善が求められている。   Plastic films are used in various fields such as FPD (Flat Panel Display), electronics, and optical fields. Plastic films used in the FPD field and the electronics field are used as members and process materials through processes such as film formation, coating, and bonding. The manufacturing process must be handled in a clean environment from beginning to end, and foreign substances such as dust, fibers, and film flaws can enter and adhere to the product, and physical defects such as scratches and imprints can be generated. Are strictly controlled. And market requirements for the occurrence of these defects are rapidly becoming stricter. In addition, with respect to the degree of defects, very fine defects that have not been regarded as problems in the past are no longer tolerated, and improvements are required.

このような問題を解消するため、近年ではプラスチックフィルムを洗浄することにより、塵埃を除去する取組みが行われている。洗浄手段としてフィルムに沿った水流の速度勾配によってフィルム上の塵埃を除去している。   In order to solve such problems, in recent years, efforts have been made to remove dust by washing plastic films. As a cleaning means, dust on the film is removed by a velocity gradient of the water flow along the film.

特許文献1には、供給部材とフィルムに対して洗浄液を供給する洗浄液吐出口とを備えた洗浄ノズル装置で、フィルムを走行させながら洗浄することにより、供給部材とフィルムとの隙間で大きな速度勾配を持つフィルムの表面に沿った水流によって、数μmという非常に微細な埃、フィルム片、汚れをフィルムから除去する構成が示されている。洗浄液吐出口から供給されてフィルムに対し平行な水流が形成される洗浄液は、次式(富樫他,機械学会)で表される水平方向の力で異物に作用して異物を除去し、フィルムへのダメージを抑えた状態で効果的に異物を除去できる。上式から異物への作用力は異物の直径dの二乗に比例する。   In Patent Document 1, a cleaning nozzle device provided with a supply member and a cleaning liquid discharge port for supplying a cleaning liquid to the film is used to clean the film while running, thereby providing a large speed gradient in the gap between the supply member and the film. A configuration is shown in which very fine dust, film pieces, and dirt of several μm are removed from the film by a water flow along the surface of the film having the following. The cleaning liquid that is supplied from the cleaning liquid discharge port and forms a water flow parallel to the film acts on the foreign matter with the horizontal force expressed by the following formula (Togashi et al., Japan Society of Mechanical Engineers) to remove the foreign matter, and to the film Foreign matter can be effectively removed while suppressing damage. The acting force on the foreign matter from the above formula is proportional to the square of the diameter d of the foreign matter.

Figure 2012055854
Figure 2012055854

Fdet:異物に働く力、d:異物の直径、u:水流の速度、η:水の粘性係数、c:補正係数 Fdet: force acting on foreign matter, d: diameter of foreign matter, u: velocity of water flow, η: viscosity coefficient of water, c: correction factor

特開2010−94618号公報JP 2010-94618 A

しかしながら、特許文献1では洗浄液の水流がフィルムの走行方向と平行な一方向(フィルム走行の前後方向を一方向とする)のみであるが、異物の付着した向きと、水流の方向によっては水流の作用力が小さくなり、効果的な除去ができない場合がある。   However, in Patent Document 1, the water flow of the cleaning liquid is only one direction parallel to the traveling direction of the film (the front-rear direction of the film traveling is one direction). However, depending on the direction in which foreign matter is attached and the direction of the water flow, There are cases where the acting force becomes small and effective removal cannot be performed.

図1に示すように、洗浄対象とする数μmの微細な異物(埃)2が、種々の方向を向いてフィルム上に付着している場合を想定する。異物2a、2b、2dは、長さL1の長辺と長さL2の短辺からなる同一長方形で、付着方向が異なっている。2cは直径L3の球形を呈している。異物2aは、長辺がフィルムの進行方向に対して直交するように付着し、異物2bは、短辺がフィルムの進行方向に対して直交するように付着している。異物2dは、長辺がフィルムの進行方向に対して斜めに交差するように付着している。   As shown in FIG. 1, it is assumed that a fine foreign matter (dust) 2 of several μm to be cleaned is attached on the film in various directions. The foreign substances 2a, 2b and 2d are the same rectangle composed of the long side of the length L1 and the short side of the length L2, and the attachment directions are different. 2c has a spherical shape with a diameter L3. The foreign matter 2a is attached so that the long side is orthogonal to the traveling direction of the film, and the foreign matter 2b is attached so that the short side is orthogonal to the traveling direction of the film. The foreign matter 2d is attached such that the long side obliquely intersects the traveling direction of the film.

洗浄液の水流の向きを矢印eの一方向とすると、異物2aは水流が長辺に直角に作用するので、最も大きな作用力を受け、異物2bは水流が短辺に直角に作用するので、最も小さな作用力を受ける。異物2dは水流が長辺と短辺に斜めに作用するので、中程度の作用力を受ける。   If the direction of the water flow of the cleaning liquid is one direction of the arrow e, the foreign matter 2a receives the largest acting force because the water flow acts at right angles to the long sides, and the foreign matter 2b acts most at right angles to the short sides. Receives a small acting force. The foreign matter 2d receives a medium acting force because the water flow acts obliquely on the long side and the short side.

各異物2a、2b、2dの付着力を同じとすると、異物2aは大きな作用力で除去され易いが、異物2bは作用力が小さいため除去できない場合がある。このように、一方向のみの水流では、異物を効果的に除去できないという問題があった。   If the adhesion forces of the foreign substances 2a, 2b and 2d are the same, the foreign substance 2a is easily removed with a large acting force, but the foreign substance 2b may not be removed because the acting force is small. As described above, there is a problem that foreign matters cannot be effectively removed by a water flow in only one direction.

本発明は、上記従来の欠点に鑑み、異物を洗浄水により効果的に除去するフィルム洗浄装置を提供するものである。   In view of the above-described conventional drawbacks, the present invention provides a film cleaning apparatus that effectively removes foreign matter with cleaning water.

上記課題を解決するため本発明は、1または2枚の供給部材と、前記供給部材に形成された洗浄液吐出口であって、前記供給部材に平行に走行するフィルムの表裏面の少なくとも一方の面に対して洗浄液を吹付ける洗浄液吐出口を備えたフィルム洗浄装置において、
前記洗浄液吐出口は、走行するフィルムの面に沿って複数方向の洗浄液の流れを形成するように構成されたことを特徴とする。
In order to solve the above-described problems, the present invention provides one or two supply members, and a cleaning liquid discharge port formed in the supply member, and at least one surface of the front and back surfaces of the film that runs parallel to the supply member In a film cleaning apparatus having a cleaning liquid discharge port for spraying a cleaning liquid against
The cleaning liquid discharge port is configured to form a flow of cleaning liquid in a plurality of directions along the surface of the traveling film.

また、上記に記載のフィルム洗浄装置において、前記洗浄液吐出口は走行するフィルムに対してV字状に構成されたことを特徴とする。   In the film cleaning apparatus described above, the cleaning liquid discharge port is formed in a V shape with respect to the traveling film.

また、上記に記載のフィルム洗浄装置において、前記洗浄液吐出口はV字状の頂点がフィルムの進行方向を向くように構成されたことを特徴とする。   In the film cleaning apparatus described above, the cleaning liquid discharge port is configured such that a V-shaped apex faces a traveling direction of the film.

また、上記に記載のフィルム洗浄装置において、前記洗浄液吐出口は前記供給部材に複数個配置されたことを特徴とする。   In the film cleaning apparatus described above, a plurality of the cleaning liquid discharge ports are arranged in the supply member.

また、上記に記載のフィルム洗浄装置において、前記供給部材に洗浄液を吸込む洗浄液吸込み口が複数設けられ、前記洗浄液吐出口と洗浄液吸込み口とは千鳥配置されたことを特徴とする。   In the film cleaning apparatus described above, the supply member is provided with a plurality of cleaning liquid suction ports for sucking a cleaning liquid, and the cleaning liquid discharge ports and the cleaning liquid suction ports are arranged in a staggered manner.

本発明によれば、洗浄液吐出口から複数方向の流れを形成することにより、異物を効果的に除去することができる。   According to the present invention, foreign matters can be effectively removed by forming a flow in a plurality of directions from the cleaning liquid discharge port.

フィルムへの異物付着の概念図である。It is a conceptual diagram of the foreign material adhesion to a film. 本発明実施例を組み込んだフィルム塗布装置の構成図。The block diagram of the film coating device incorporating the Example of this invention. 本発明実施例1のフィルム洗浄装置の要部の構成説明図。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Structure explanatory drawing of the principal part of the film cleaning apparatus of this invention Example 1. FIG. 同じくフィルム洗浄装置の動作説明図。Similarly operation | movement explanatory drawing of a film cleaning apparatus. 本発明実施例2のフィルム洗浄装置の動作説明図。Operation | movement explanatory drawing of the film cleaning apparatus of this invention Example 2. FIG.

図2は、本発明実施例を組み込んだフィルム塗布装置の概略側面図である。図2において、フィルム塗布装置40内には、プラスチックフィルムロールの巻出部42、フィルム洗浄装置36、乾燥部38、塗工部44、乾燥部(塗工後の乾燥部)46、巻取部48が順に配置されている。前記巻出部42より順次巻き出されたシート状のプラスチックフィルム12は、搬送ローラ14、16を経由してフィルムの洗浄システム10に搬送される。   FIG. 2 is a schematic side view of a film coating apparatus incorporating an embodiment of the present invention. In FIG. 2, a plastic film roll unwinding unit 42, a film cleaning unit 36, a drying unit 38, a coating unit 44, a drying unit (drying unit after coating) 46, and a winding unit are included in the film coating apparatus 40. 48 are arranged in order. The sheet-like plastic film 12 sequentially unwound from the unwinding section 42 is conveyed to the film cleaning system 10 via the conveying rollers 14 and 16.

図2のフィルムの塗布装置40は、走行するフィルム12を洗浄するフィルム洗浄装置36と、洗浄したフィルムの乾燥を行う乾燥部38とを備えている。ここで、フィルム洗浄装置36は2段、乾燥部38が1段である例を示しているがこの限りでなく、例えば、フィルム洗浄装置36が3段、乾燥部38が2段であっても良い。なお、フィルム洗浄装置36と乾燥部38との全体を覆う全体カバー50が設けられていることが好ましい。   The film coating apparatus 40 in FIG. 2 includes a film cleaning apparatus 36 that cleans the traveling film 12 and a drying unit 38 that dries the cleaned film. Here, an example is shown in which the film cleaning device 36 has two stages and the drying unit 38 has one stage. However, the present invention is not limited to this. For example, the film cleaning device 36 has three stages and the drying unit 38 has two stages. good. In addition, it is preferable that the whole cover 50 which covers the whole film cleaning apparatus 36 and the drying part 38 is provided.

本発明実施例における洗浄対象は、プラスチックフィルムの表面に付着した数μmという非常に微細な埃、フィルム片、汚れである。   The object to be cleaned in the embodiment of the present invention is very fine dust, film pieces, and dirt of several μm attached to the surface of the plastic film.

そして、本発明実施例に係るフィルム洗浄装置36は、フィルムを走行させながら、フィルム表裏面の少なくとも一方の面側に供給された洗浄液による一方の面に沿った水流で洗浄する構造であり、洗浄液は絶えず供給されている。   The film cleaning device 36 according to the embodiment of the present invention has a structure in which the film is washed and washed with a water flow along one surface by the cleaning liquid supplied to at least one surface side of the film front and back surfaces. Is constantly being supplied.

(実施例1)
図3は、本発明に係るフィルム洗浄装置36の実施例1を示したものである。図3(a)は要部の斜視図であり、図3(b)は図3(a)の下方の供給部材の洗浄液の流れを説明した斜視図である。図3のフィルム洗浄装置は、フィルム1の両面を洗浄する構成を示している。
Example 1
FIG. 3 shows Example 1 of the film cleaning apparatus 36 according to the present invention. 3A is a perspective view of the main part, and FIG. 3B is a perspective view illustrating the flow of the cleaning liquid in the supply member below FIG. 3A. The film cleaning apparatus in FIG. 3 shows a configuration for cleaning both surfaces of the film 1.

フィルム洗浄装置は、離間して配置される2枚の供給部材3、5の間に、フィルム1が平行に走行するように構成される。供給部材3、5には、それぞれ、フィルム1の表裏両面に対して垂直に洗浄液を吹付ける洗浄液吐出口4、6が一対設けられる。洗浄液吐出口4、6は、走行するフィルム1に対して連続した開口でV字状に形成される。V字状の頂点4eは、所定角度αの尖った形状となるが、フィルムの進行方向を向くように形成される。V字状の頂点4eをフィルムの進行方向を向けることにより、走行するフィルム1への頂点4eの引っ掛かかりを防止している。また、洗浄液吐出口4、6のV字状の各辺の開口は、フィルムの進行方向に対して傾斜して配置される。供給部材3、4とフィルム1との隙間は、0.25mm以下の幅が好ましい。   The film cleaning apparatus is configured such that the film 1 travels in parallel between two supply members 3 and 5 that are disposed apart from each other. Each of the supply members 3 and 5 is provided with a pair of cleaning liquid discharge ports 4 and 6 for spraying the cleaning liquid perpendicularly to both the front and back surfaces of the film 1. The cleaning liquid discharge ports 4 and 6 are formed in a V shape with continuous openings to the traveling film 1. The V-shaped apex 4e has a sharp shape with a predetermined angle α, but is formed so as to face the traveling direction of the film. The V-shaped apex 4e is directed in the traveling direction of the film, thereby preventing the apex 4e from being caught on the traveling film 1. Further, the openings of the V-shaped sides of the cleaning liquid discharge ports 4 and 6 are arranged to be inclined with respect to the film traveling direction. The gap between the supply members 3 and 4 and the film 1 preferably has a width of 0.25 mm or less.

図3はフィルム洗浄装置の要部として、供給部材3、5と洗浄液吐出口4、6を簡易化して示している。実際には、供給部材3、5に洗浄液を供給する供給路が接続され、この供給路は、洗浄液吐出口のV字状開口から均一に洗浄液が流出するのに適した形状に形成されている。また、フィルムに吹出された洗浄液は、除去された異物と共にフィルムの進行の前後方向に流出するが、これを案内する流出路が設けられ、外部に排出される。   FIG. 3 shows simplified supply members 3, 5 and cleaning liquid discharge ports 4, 6 as the main parts of the film cleaning apparatus. Actually, a supply path for supplying the cleaning liquid is connected to the supply members 3 and 5, and this supply path is formed in a shape suitable for the cleaning liquid to uniformly flow out from the V-shaped opening of the cleaning liquid discharge port. . Further, the cleaning liquid blown out to the film flows out in the front-rear direction of the film along with the removed foreign matter, and an outflow path for guiding this is provided and discharged to the outside.

上記構成において、洗浄液は、供給部材3では洗浄液吐出口4を通じて表面から裏面に流れ、供給部材5では洗浄液吐出口6を通じて裏面から表面に流れる。洗浄液は、洗浄液吐出口4、6のV字状を構成する2辺の開口からフィルム1に吹出される。図3(B)は、供給部材5の洗浄液吐出口6から吹出された洗浄液の流出状況を示している。吐出口6から吹出された洗浄液は、V字状を構成する各辺の開口から両側に垂直な矢印6a、6bと6c、6dの2方向にフィルム1の面に沿って流出する。その後は、両水流が合流してフィルム1の走行に沿った前後方向の矢印8方向に流れる。したがって、フィルム1の表面には3方向(矢印6a、6b、矢印6c、6d、矢印8)の水流が流れることになる。   In the above configuration, the cleaning liquid flows from the front surface to the back surface through the cleaning liquid discharge port 4 in the supply member 3, and flows from the back surface to the front surface through the cleaning liquid discharge port 6 in the supply member 5. The cleaning liquid is blown out to the film 1 from the openings on the two sides constituting the V shape of the cleaning liquid discharge ports 4 and 6. FIG. 3B shows the outflow situation of the cleaning liquid blown from the cleaning liquid discharge port 6 of the supply member 5. The cleaning liquid blown out from the discharge port 6 flows out along the surface of the film 1 in two directions indicated by arrows 6a, 6b and 6c, 6d perpendicular to both sides from the opening of each side constituting the V shape. After that, both water flows merge and flow in the direction of the arrow 8 in the front-rear direction along the travel of the film 1. Accordingly, water flows in three directions (arrows 6a and 6b, arrows 6c and 6d, and arrow 8) flow on the surface of the film 1.

図4は両洗浄液吐出口4、6と、吐出口から流出した洗浄液の流れの説明図であり、図4(A)は側面図で両洗浄液吐出口4、6を断面で示し、図4(B)では平面図で洗浄液吐出口4を上面から示している。   FIG. 4 is an explanatory diagram of both cleaning liquid discharge ports 4 and 6 and the flow of the cleaning liquid flowing out from the discharge ports. FIG. 4A is a side view showing both cleaning liquid discharge ports 4 and 6 in cross section, and FIG. In B), the cleaning liquid discharge port 4 is shown from the top in a plan view.

図4(B)において、前記吐出口6と同様に、吐出口4から吹出された洗浄液は、V字状を構成する各辺の開口から両側に垂直な矢印4a〜4d方向にフィルム1の面に沿って流出し、その後、両水流が合流してフィルム1の走行に沿った前後方向の矢印7方向に流れる。従って、吐出口4から流出した洗浄液は、フィルム1に沿って矢印4a〜4d、7の3方向(矢印4a、4b、矢印4c、4d)に流れることになる。   In FIG. 4 (B), the cleaning liquid blown out from the discharge port 4 is the surface of the film 1 in the directions of arrows 4a to 4d perpendicular to both sides from the openings of the sides forming the V shape. Then, the two water flows merge and flow in the direction of the arrow 7 in the front-rear direction along the travel of the film 1. Accordingly, the cleaning liquid flowing out from the discharge port 4 flows along the film 1 in three directions indicated by arrows 4a to 4d and 7 (arrows 4a and 4b, arrows 4c and 4d).

前記吐出口4、6からの3方向の水流によれば、図1に示されるように、フィルム1の両面に異なる方向に付着したゴミは、その長辺が上記3方向の水流と直交する機会、および直交に近い角度で交差する機会が増加し、効率的に除去される。   According to the water flow in the three directions from the discharge ports 4 and 6, as shown in FIG. 1, the dust attached to both surfaces of the film 1 in different directions is an opportunity that the long side is orthogonal to the water flow in the three directions. , And the chance of intersecting at near-orthogonal angles is increased and effectively eliminated.

なお、上記洗浄液吐出口4、6は複数対設けても良く、この場合付着ゴミの除去はより確実となる。   In addition, a plurality of pairs of the cleaning liquid discharge ports 4 and 6 may be provided, and in this case, removal of attached dust becomes more reliable.

(実施例2)
図5は、本発明実施例2を示したものであり、洗浄液吐出口、洗浄液吸込み口および洗浄液の流れを模擬的に示している。
(Example 2)
FIG. 5 shows a second embodiment of the present invention, and schematically shows the flow of the cleaning liquid discharge port, the cleaning liquid suction port, and the cleaning liquid.

9は洗浄液吐出口で、11は洗浄液吸込み口であり、共に図3の供給部材3と5にそれぞれ設けられている。吐出口9と吸込み口11はマトリックス状に多数配置され、吐出口9または吸込み口11を個別的にみれば、千鳥配置されている。全体として互いに千鳥配置されている。吐出口9から流出した洗浄液は、フィルム1に当たった後、吸込み口11に吸込まれるようにフィルムに沿って流れる。具体的には、図5に示すように各吐出口9から吸込み口11に向かう矢印9a〜9dで示す2方向(矢印9a、9b、矢印9c、9d)に流れる。説明を分かり易くするため、吐出口9を星型に、吸込み口11を円形に図示しているが、両者同一形状でも良く別な他の形状でも良い。   9 is a cleaning liquid discharge port, and 11 is a cleaning liquid suction port, both of which are provided in the supply members 3 and 5 in FIG. A large number of the discharge ports 9 and the suction ports 11 are arranged in a matrix, and the discharge ports 9 or the suction ports 11 are individually arranged in a staggered manner. They are staggered as a whole. The cleaning liquid flowing out from the discharge port 9 hits the film 1 and then flows along the film so as to be sucked into the suction port 11. Specifically, as shown in FIG. 5, it flows in two directions (arrows 9a and 9b, arrows 9c and 9d) indicated by arrows 9a to 9d from each discharge port 9 toward the suction port 11. In order to make the explanation easy to understand, the discharge port 9 is illustrated in a star shape and the suction port 11 is illustrated in a circular shape, but both may have the same shape or may have another shape.

吐出口9から流出した洗浄液で吸込み口11に吸込まれなかったものは、合流してフィルム1の進行方向に沿った前後の矢印7で示す方向に流れる。従って、吐出口9から流出した洗浄液は、フィルム1に沿って矢印9a〜9d、7の3方向に流れることになる。図1に示されるような、フィルム1の裏面に異なる方向に付着したゴミは、その長辺が上記3方向の水流に直交または直交に近い角度で捉えられる機会が増加し、効果的に除去される。また、フィルム1の進行に際し、千鳥配置された吐出口9と吸込み口11が繰り返し通過するので、洗浄液の水流方向が繰り返し変化して異物に振動的な圧力を与えることになり、より効果的に異物を除去できる。   The cleaning liquid that has flowed out of the discharge port 9 and has not been sucked into the suction port 11 merges and flows in the direction indicated by the front and rear arrows 7 along the traveling direction of the film 1. Therefore, the cleaning liquid flowing out from the discharge port 9 flows along the film 1 in the three directions indicated by arrows 9 a to 9 d and 7. As shown in FIG. 1, the dust attached to the back surface of the film 1 in different directions increases the chance that the long side is caught at an angle that is orthogonal or close to the water flow in the three directions, and is effectively removed. The Further, as the film 1 advances, the discharge ports 9 and the suction ports 11 that are arranged in a staggered manner repeatedly pass through, so that the water flow direction of the cleaning liquid is repeatedly changed, and vibrational pressure is applied to the foreign matter. Foreign matter can be removed.

実施例2の変形例として、供給部材3、5に上記吐出口9と吸込み口11とを全て吐出口として構成しても良い。この場合、複数の吐出口からフィルム1に吹出された洗浄水はランダムな方向に流れ、最終的に合流して矢印7の方向に流れる。この場合においても、図1に示されるようにフィルム1に異なる方向に付着したゴミは、その長辺が上記ランダムな方向と矢印7の方向の複数方向の水流により捉えられる機会が増加し、効果的に除去される。   As a modification of the second embodiment, all of the discharge port 9 and the suction port 11 may be configured as discharge ports in the supply members 3 and 5. In this case, the washing water blown to the film 1 from the plurality of discharge ports flows in a random direction, finally joins and flows in the direction of the arrow 7. Even in this case, as shown in FIG. 1, the dust attached to the film 1 in different directions increases the chance that the long side is captured by the water flow in a plurality of directions in the random direction and the direction of the arrow 7. Removed.

1、12…フィルム、2(2a〜2d)…異物、3、5…供給部材、4、6、9…洗浄液吐出口、4e…V字状の頂点、11…洗浄液吸込み口、4a〜4d、6a〜6d、7、8…複数方向の洗浄液の流れ。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,12 ... Film, 2 (2a-2d) ... Foreign substance 3, 5 ... Supply member 4, 6, 9 ... Cleaning liquid discharge port, 4e ... V-shaped vertex, 11 ... Cleaning liquid suction port, 4a-4d, 6a to 6d, 7, 8... A flow of cleaning liquid in a plurality of directions.

Claims (5)

洗浄液を供給する供給部材と、前記供給部材に形成され、前記供給部材に平行に走行するフィルムの表裏面の少なくとも一方の面に対して洗浄液を吹付ける洗浄液吐出口を備えたフィルム洗浄装置において、
前記洗浄液吐出口は、走行するフィルムの面に沿って複数方向の洗浄液の流れを形成するように構成されたことを特徴とするフィルム洗浄装置。
In a film cleaning apparatus comprising a supply member that supplies a cleaning liquid, and a cleaning liquid discharge port that sprays the cleaning liquid on at least one of the front and back surfaces of the film that is formed on the supply member and runs parallel to the supply member.
The film cleaning apparatus, wherein the cleaning liquid discharge port is configured to form a flow of cleaning liquid in a plurality of directions along a surface of a traveling film.
請求項1に記載のフィルム洗浄装置において、前記洗浄液吐出口は走行するフィルムに対してV字状に構成されたことを特徴とするフィルム洗浄装置。   2. The film cleaning apparatus according to claim 1, wherein the cleaning liquid discharge port is formed in a V shape with respect to the traveling film. 請求項2に記載のフィルム洗浄装置において、前記洗浄液吐出口はV字状の頂点がフィルムの進行方向を向くように構成されたことを特徴とするフィルム洗浄装置。   3. The film cleaning apparatus according to claim 2, wherein the cleaning liquid discharge port is configured such that a V-shaped apex faces a traveling direction of the film. 請求項1に記載のフィルム洗浄装置において、前記洗浄液吐出口は前記供給部材に複数個配置されたことを特徴とするフィルム洗浄装置。   The film cleaning apparatus according to claim 1, wherein a plurality of the cleaning liquid discharge ports are arranged in the supply member. 請求項4に記載のフィルム洗浄装置において、前記供給部材に洗浄液を吸込む洗浄液吸込み口が複数設けられ、前記洗浄液吐出口と洗浄液吸込み口とは千鳥配置されたことを特徴とするフィルム洗浄装置。   5. The film cleaning apparatus according to claim 4, wherein the supply member is provided with a plurality of cleaning liquid suction ports for sucking a cleaning liquid, and the cleaning liquid discharge ports and the cleaning liquid suction ports are arranged in a staggered manner.
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