KR101216490B1 - film cleaning system - Google Patents

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사토루 스기타니
노부오 츠마키
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가부시키가이샤 히타치플랜트테크놀로지
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Abstract

본 발명은 플라스틱 필름의 표면에 부착된 수 ㎛라는 매우 미세한 먼지, 플라스틱 필름, 오염까지도 연속적으로 제거할 수 있는 필름의 세정 시스템을 제공하는 것이다.

이를 위해 본 발명에서는, 주행하는 필름(12)에, 세정액을 사용하여 세정을 행하는 세정부(36)와, 세정한 상기 주행하는 필름의 건조를 행하는 건조부(38)를 구비하고, 세정부(36)는, 필름(12)을 주행시키면서 당해 필름 표리면의 적어도 한쪽 면측에 세정액을 공급함으로써, 적어도 한쪽 면을 따른 수류(水流)로 세정하는 구조이도록 한다.

Figure R1020090086289

The present invention provides a cleaning system for a film which can continuously remove even very fine dust, plastic film, and contamination of several micrometers attached to the surface of a plastic film.

To this end, in the present invention, the running film 12 is provided with a washing unit 36 for washing with a cleaning liquid, and a drying unit 38 for drying the washed running film. 36 is a structure which wash | cleans by the water flow along at least one surface, by supplying a washing | cleaning liquid to the at least one surface side of the said film front and back surface while running the film 12. As shown in FIG.

Figure R1020090086289

Description

필름 세정 시스템{FILM CLEANING SYSTEM} Film cleaning system {FILM CLEANING SYSTEM}

본 발명은, 플라스틱 필름의 표면에 부착된 먼지, 필름편, 오염을 연속적으로 세정하는 필름의 세정 시스템에 관한 것으로, 특히 깨끗한 것이 요구되는 FPD(플랫 패널 디스플레이) 분야, 일렉트로닉스 분야, 광학용 분야의 필름 세정 시스템에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cleaning system for films that continuously clean dust, film pieces, and contaminants adhering to the surface of a plastic film. The present invention particularly relates to the fields of FPD (flat panel display), electronics, and optics where cleanness is required. A film cleaning system.

플라스틱 필름은, FPD 분야, 일렉트로닉스 분야, 광학용 분야 등, 여러가지 분야에서 사용되고 있다. FDP 분야, 일렉트로닉스 분야에 사용되는 플라스틱 필름은, 제막(製膜), 도공(塗工), 접합 등의 공정을 거쳐 부재, 프로세스재로서 사용된다. 그 제조공정은, 시종 깨끗한 환경 하에서의 취급이 필수이며, 먼지, 섬유, 필름 찌꺼기 등의 이물의 제품으로의 혼입이나 부착 등의 결함, 및 그것들에 기인하는 상처, 눌린 자국 등의 물리적 결함의 발생은 엄중하게 관리되고 있다. 이들 결함의 발생 빈도에 대한 시장의 요구 기준은 급속하게 엄격해지고 있다. 또, 결함의 정도에 대해서도, 종래 문제가 되지 않았던 매우 미세한 결함이 허용되지 않게 되어 있어, 개선이 요구되고 있다. Plastic films are used in various fields, such as the field of FPD, the field of electronics, and the field of optics. The plastic film used for the field of FDP and electronics is used as a member and a process material through processes, such as film forming, coating, joining, and the like. In the manufacturing process, handling in a clean environment is essential, and defects such as incorporation and adhesion of foreign matter such as dust, fibers, and film debris into products, and physical defects such as scars and dents caused by them It is strictly managed. Market requirements for the frequency of occurrence of these defects are rapidly becoming strict. Moreover, also about the grade of a defect, the very fine defect which did not become a problem conventionally is not accepted, and improvement is calculated | required.

이와 같은 문제를 해소하는 방법으로서, 점착 롤을 사용하여, 플라스틱 필름 표면으로부터 먼지, 섬유, 필름 찌꺼기를 제거하는 맞붙임이 행하여지고 있으나, 점착 롤로부터의 먼지와 티끌의 재전이 등에 의해 이물제거의 효과는 충분하지 않다. 또한, 점착 롤로부터 박리할 때에 발생하는 정전기가 플라스틱 필름에 잔존하기 때문에, 주변의 이물을 끌어당기는 결과, 결함 빈도가 증가한다는 문제가 염려된다. As a method of solving such a problem, bonding is used to remove dust, fibers, and film debris from the surface of the plastic film by using an adhesive roll, but the effect of removing foreign substances by retransition of dust and dust from the adhesive roll, etc. Is not enough. In addition, since static electricity generated when peeling from the adhesive roll remains in the plastic film, there is a concern that a problem that the defect frequency increases as a result of attracting the surrounding foreign matter.

그리고, 플라스틱 필름에 고압의 공기를 분출과 흡인을 연속으로 실시하고, 먼지와 티끌을 제거하는 맞붙임이 실시되고 있으나, 강고하게 부착된 것에 대해서는, 충분히 제거할 수 없다는 문제가 있다.In addition, although a high pressure air is blown out and sucked in a plastic film continuously, and the bonding which removes dust and dust is performed, there exists a problem that it cannot remove sufficiently about what adhered firmly.

최근, 플라스틱 필름을 세정함으로써, 먼지와 티끌을 제거하는 맞붙임이 행하여지고 있다. 특허문헌 1에서는, 필름 롤의 권출부를 설치하고, 권출한 필름을 알콜 세정액으로 세정하는 세정부, 증기 건조부, 공기 건조부, 권취부를 순서대로 설치하는 것을 특징으로 하는 플라스틱 필름의 세정장치가 제안되어 있다.In recent years, laminating | stacking which removes dust and dust is performed by wash | cleaning a plastic film. In patent document 1, the unwinding part of a film roll is provided, The washing | cleaning apparatus of the plastic film characterized by providing the washing | cleaning part which wash | cleans the unwinded film by alcohol washing | cleaning liquid, a steam drying part, an air drying part, and a winding part in order. It is.

그리고, 특허문헌 2에서는, 필름을, 초음파로 진동시키면서 계면활성제를 함유하는 세정액으로 세정한 후, 필름 양면에 슬릿 노즐 또는 직렬 다공 노즐에 의하여 필름의 진행방향 앞쪽에서 비스듬하게 공기를 내뿜어 건조하는 세정장치가 제안되어 있다.And in patent document 2, after wash | cleaning a film with the washing | cleaning liquid containing surfactant, vibrating with an ultrasonic wave, washing | cleaning which blows air obliquely from the advancing direction forward of a film by a slit nozzle or a series porous nozzle on both surfaces of a film, and washes. An apparatus has been proposed.

또, 특허문헌 3에서는, 플라스틱 필름의 세정부와 건조부 전체를 둘러싸서, 장치 내 분위기 온도를 올리고, 또한 건조장치 내 가이드롤 표면 온도를 건조 분위기와 동등한 온도로 함으로써, 표면이 젖은 플라스틱 필름에 효율적으로 열을 부여하여, 건조가 재빨리 진행되도록 한 세정장치가 제안되어 있다. Moreover, in patent document 3, it surrounds the washing | cleaning part and the whole dry part of a plastic film, raises the atmosphere temperature in an apparatus, and makes the guide roll surface temperature in a drying apparatus the temperature equivalent to a dry atmosphere, A washing apparatus has been proposed in which heat is efficiently applied so that drying proceeds quickly.

또한, 특허문헌 4에서는, 세정수단으로서 세정 노즐로부터 연속하여 세정액을 분무하고, 세정액 재순환수단으로서 낙하한 세정액을 재순환시켜, 건조수단이 연속하여 온풍을 내뿜는 광학용 플라스틱 필름의 세정·건조방법이 제안되어 있다.In addition, Patent Document 4 proposes a cleaning and drying method of an optical plastic film in which a cleaning liquid is continuously sprayed from the cleaning nozzle as the cleaning means, the cleaning liquid dropped as the cleaning liquid recycling means is recycled, and the drying means continuously blows out the warm air. It is.

[특허문헌 1][Patent Document 1]

일본국 특개2002-316116호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-316116

[특허문헌 2][Patent Document 2]

일본국 특개2003-300025호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-300025

[특허문헌 3][Patent Document 3]

일본국 특개2002-86079호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-86079

[특허문헌 4][Patent Document 4]

일본국 특개2002-292347호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-292347

그러나, 특허문헌 1에서는, 광학용 플라스틱 필름에는 가소제가 함유되어 있고, 알콜로 세정한 경우에는 가소제의 용출이 생겨, 필름 특성의 변화와 균일성의 저하가 문제가 된다.However, in patent document 1, a plasticizer is contained in the optical plastic film, and when it washes with alcohol, a plasticizer elutes, and a change of a film characteristic and a fall of uniformity become a problem.

그리고, 특허문헌 2에서는, 세정액에 계면활성제가 함유되어 있는 경우, 필름 표면의 젖음성의 저하가 일어난다. 그 결과, 필름 표면에 도공층을 설치할 경우에, 도공액의 탄력이나 도공층의 밀착 저하라는 문제가 발생하여, 범용성이 얻어지지 않는다. And in patent document 2, when surfactant contains in a washing | cleaning liquid, the wettability of the film surface arises. As a result, when providing a coating layer on a film surface, the problem of the elasticity of a coating liquid and the adhesive fall of a coating layer arises, and versatility is not obtained.

또, 특허문헌 3에서는, 스프레이와 브러시에 의한 세정을 행한 경우, 먼지와 티끌의 제거는 충분히 실시할 수 있으나, 광학 플라스틱 필름 표면에 미세한 상처가 발생하여, 전자 디스플레이 분야, 일렉트로닉스 분야에서의 부재, 프로세스재에는 사용할 수 없다. 또, 세정액으로서 알칼리, 알콜, 케톤 등을 사용한 경우는, 광학 플라스틱 필름의 가소제가 용출하고, 필름 특성의 변화와 균일성의 저하가 문제가된다.Moreover, in patent document 3, when washing | cleaning with a spray and a brush, although dust and a dust can be fully removed, a minute wound | wounds generate | occur | produce on the surface of an optical plastic film, and the member in the field of electronic display, electronics, It cannot be used for process materials. Moreover, when alkali, alcohol, ketone, etc. are used as a washing | cleaning liquid, the plasticizer of an optical plastic film elutes, and a change of a film characteristic and a fall of a uniformity become a problem.

또한, 특허문헌 4에서는, 세정액으로서 알콜, 에스테르 등을 사용한 경우는, 광학 플라스틱 필름의 가소제가 용출하고, 필름 특성의 변화와 균일성의 저하가 문제가 된다. 또, 롤 또는 바에 의한 스퀴징만으로는, 세정액을 충분히 제거할 수 없어, 생산성이 낮다는 문제가 있다. In addition, in patent document 4, when alcohol, ester, etc. are used as a washing | cleaning liquid, the plasticizer of an optical plastic film elutes, and a change of a film characteristic and a fall of uniformity become a problem. Moreover, only the squeegeeing by a roll or bar does not remove a washing | cleaning liquid enough, and there exists a problem that productivity is low.

그리고, 이들 특허문헌 1~4와 같이 필름을 세정하여도, 필름 상의 수 ㎛라 는 매우 미세한 이물은 필름에 대한 부착력이 강하여, 바람직하게 제거할 수 없다는 문제가 있었다. And even if it wash | cleans a film like these patent documents 1-4, the very fine foreign material of several micrometers on a film has the problem that adhesive force with respect to a film is strong, and cannot be removed preferably.

본 발명은, 이와 같은 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 플라스틱 필름의 표면에 부착된 수 ㎛라는 매우 미세한 먼지, 필름편, 오염까지도 연속적으로 제거할 수 있는 필름의 세정 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.This invention is made | formed in view of such a situation, and an object of this invention is to provide the cleaning system of the film which can remove continuously the very fine dust of several micrometers, a film piece, and contamination attached to the surface of a plastic film.

본 발명은, 상기 목적을 달성하기 위하여, 주행하는 필름에, 세정액을 사용하여 세정하는 세정부와, 세정한 필름의 건조를 행하는 건조부를 적어도 구비한 필름의 세정 시스템으로서, 상기 세정부는, 상기 필름을 주행시키면서 당해 필름 표리면의 적어도 한쪽 면측에 세정액을 공급함으로써, 상기 적어도 한쪽 면을 따른 수류로 세정하는 구조인 것을 특징으로 하는 필름의 세정 시스템을 제공한다. 그리고, 이 세정부는, 복수단 설치되어 있어도 된다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM This invention is a washing | cleaning system of the film which has at least the washing | cleaning part which wash | cleans using a washing | cleaning liquid, and the drying part which dries the cleaned film, in the film which runs in order to achieve the said objective, The said washing | cleaning part is the said It provides a cleaning system for a film, wherein the cleaning liquid is supplied to at least one surface side of the film front and back while running the film, thereby cleaning with water flow along the at least one surface. And this washing | cleaning part may be provided in multiple stages.

이 세정부는, 1 또는 2매의 평행부재와, 평행부재에 형성되고, 필름 표리면의 적어도 한쪽 면측에 대하여 세정액을 내뿜는 세정액 공급 슬릿을 구비한 것을 특징으로 한다. 이 경우, 평행부재와 필름의 간극은, 0.25 mm 이하인 것이 바람직하다. 또는, 수속 초음파를 사용한 초음파 세정기가 필름 표리면의 적어도 한쪽 면측에 설치되어 있는 것을 특징으로 한다. The cleaning section includes one or two parallel members and a cleaning liquid supply slit formed on the parallel member and flushing the cleaning liquid to at least one surface side of the film front and back. In this case, the gap between the parallel member and the film is preferably 0.25 mm or less. Or an ultrasonic cleaner using convergent ultrasound is provided on at least one surface side of the film front and back.

이와 같이 구성된 필름의 세정 시스템에 의하여 플라스틱 필름의 표면에 부착된 수 ㎛라는 매우 미세한 먼지, 필름편, 오염까지도 연속적으로 제거할 수 있다.The film cleaning system configured as described above can continuously remove even very fine dust, film fragments, and dirt of several micrometers attached to the surface of the plastic film.

즉, 세정액을 필름 표리면의 적어도 한쪽 면측에 대하여 공급하는 세정액 공급 슬릿과, 평행부재와 필름으로 이루어지는 0.25 mm 이하의 간극으로 이루어짐으로써, 공급 슬릿으로부터 공급된 세정액이 0.25 mm 이하의 좁은 간극에서 큰 속도 구배를 가지게 되기 때문에, 수 ㎛라는 매우 미세한 먼지, 필름편, 오염을 필름으로부터 제거할 수 있다. 또, 수속 초음파를 사용한 초음파 세정기를 설치한 세정부에서 세정함에 의해서도, 수 ㎛라는 매우 미세한 먼지, 필름편, 오염을 필름으로부터 제거할 수 있다.That is, the cleaning liquid supplied from the supply slit is made up of a clearance of 0.25 mm or less consisting of the cleaning liquid supply slit for supplying the cleaning liquid to at least one surface side of the film front and back and the parallel member and the film, so that the cleaning liquid supplied from the supply slit has a large gap of 0.25 mm or less. Since it has a velocity gradient, very fine dust, film pieces, and contamination of several micrometers can be removed from the film. Moreover, also by washing | cleaning in the washing | cleaning part provided with the ultrasonic cleaner using convergent ultrasonic wave, very fine dust, film piece, and contamination of several micrometers can be removed from a film.

여기서, 세정액 공급 슬릿이나 초음파 세정기를 필름 표리면의 한쪽 면측에 만 설치하는 경우에는, 필름의 한쪽 면만을 세정하고 싶을 때에 적용된다.Here, when providing a washing | cleaning liquid supply slit and an ultrasonic cleaner only in the one surface side of a film front and back, it is applied when only one surface of a film is to be cleaned.

본 발명의 필름의 세정 시스템은, 필름을 권회한 롤로부터 필름을 권출하는 권출부와, 상기 건조부에서 건조된 필름의 대전을 제거하는 제전부와, 당해 제전을 끝낸 필름을 롤 형상으로 권취하는 권취부를 구비하는 것이 바람직하다. 이 경우, 권취부의 전단에는, 필름의 이물을 검사하는 이물 검사장치를 설치하는 것이 바람직하다.The washing | cleaning system of the film of this invention WHEREIN: The unwinding part which unwinds a film from the roll which wound the film, the static electricity removal part which removes the charge of the film dried by the said drying part, and the film which finished the said static electricity in roll shape It is preferable to have a winding part to take. In this case, it is preferable to provide a foreign material inspection apparatus for inspecting foreign substances of the film at the front end of the winding portion.

본 발명의 필름의 세정 시스템은, 또한, 상기 세정부의 후단에는, 상기 필름에 부착되어 있는 세정액을 제거하는 에어나이프와, 상기 에어나이프의 분출구에 공급되는 공기를 이온화하는 제전기구를 구비하는 것이 바람직하다. 그리고, 본 발명의 필름의 세정 시스템은, 시스템 전체를 커버하는 전체 커버를 가지고 있는 것이 바람직하다. 또한, 이 전체 커버에는, 필름 폭방향의 풍향이 되도록 FFU(팬·필터·유닛)에 의한 깨끗한 공기를 공급하는 기기를 구비한 것이 바람직하다. 그리고, 이 깨끗한 공기를 공급하는 기기가 구비되고 있는 경우, 전체 커버에는, 구비된 부마다를 분리하여, 필름이 지나는 슬릿을 가지는 분리 커버가 설치되어 있는 것이 바람직하다. The cleaning system of the film of the present invention further includes, at a rear end of the cleaning part, an air knife for removing the cleaning liquid attached to the film, and an electrostatic discharge mechanism for ionizing the air supplied to the air outlet of the air knife. desirable. And it is preferable that the washing | cleaning system of the film of this invention has the whole cover which covers the whole system. Moreover, it is preferable to equip this whole cover with the apparatus which supplies clean air by FFU (fan filter unit) so that it may become a wind direction of a film width direction. And when the apparatus which supplies this clean air is provided, it is preferable that the separation | cover cover which has a slit through which the film | membrane passes and removes every provided part is provided in the whole cover.

본 발명에 의하면, 플라스틱 필름의 표면에 부착된 수 ㎛라는 매우 미세한 먼지, 필름편, 오염까지도 연속적으로 제거할 수 있는 필름의 세정 시스템을 제공할 수 있다. According to the present invention, it is possible to provide a film cleaning system capable of continuously removing even very fine dust, film pieces, and contamination of several micrometers attached to the surface of a plastic film.

이하, 첨부도면에 따라, 본 발명의 실시형태를 상세하게 설명한다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described in detail according to an accompanying drawing.

도 1은, 필름의 도포장치에 본 발명의 필름의 세정 시스템을 조립하였을 때의 전체 구성을 나타내는 개략 측면도이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a schematic side view which shows the whole structure when the washing | cleaning system of the film of this invention is assembled to the coating device of a film.

도 1에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 필름의 도포장치(40)는, 플라스틱 필름 롤의 권출부(42), 본 발명의 필름의 세정 시스템(10), 도공부(44), 건조부(도공 후의 건조부)(46), 권취부(48)를 순서대로 설치하고 있다. 플라스틱 필름 롤의 권출부(42)로부터 차례로 권출된 시트형상의 플라스틱 필름(12)은, 반송 롤러(14, 16)로 본 발명의 필름의 세정 시스템(10)으로 반송된다. As shown in FIG. 1, the coating device 40 of the film of this embodiment is the unwinding part 42 of the plastic film roll, the cleaning system 10 of the film of this invention, the coating part 44, and the drying part ( The drying part after coating) 46 and the winding-up part 48 are provided in order. The sheet-shaped plastic film 12 unwound from the unwinding part 42 of a plastic film roll is conveyed by the conveyance rollers 14 and 16 to the washing | cleaning system 10 of the film of this invention.

도 1의 필름의 세정 시스템(10)은, 주행하는 필름에 세정액을 사용하여 세정을 행하는 세정부(36, 36)와, 세정한 필름의 건조를 행하는 건조부(38)를 구비하고 있다. 여기서, 세정부(36)는 2단, 건조부(38)가 1단인 예를 나타내고 있으나, 한정은 아니고, 예를 들면, 세정부(36)가 3단, 건조부(38)가 2단이어도 된다. 또한, 필름의 세정 시스템(10)에는, 시스템 전체를 커버하는 전체 커버(50)를 가지고 있는 것이 바람직하다.The washing | cleaning system 10 of the film of FIG. 1 is equipped with the washing | cleaning parts 36 and 36 which wash | clean by using a washing | cleaning liquid for the film which runs, and the drying part 38 which drys the cleaned film. Here, although the washing | cleaning part 36 shows the example which is two steps and the drying part 38 is one step, it is not limited, For example, even if the washing | cleaning part 36 is three steps and the drying part 38 is two steps, for example. do. Moreover, it is preferable to have the whole cover 50 which covers the whole system in the washing | cleaning system 10 of a film.

본 발명에서의 세정대상은, 플라스틱 필름의 표면에 부착된 수 ㎛라는 매우 미세한 먼지, 필름편, 오염이다.The objects to be cleaned in the present invention are very fine dust, film pieces, and stains of several micrometers attached to the surface of the plastic film.

그리고, 본 발명에 관한 세정부(36)는, 필름을 주행시키면서 필름 표리면의 적어도 한쪽 면측에 세정액을 공급함으로써, 적어도 한쪽 면을 따른 수류로 세정하는 구조이다. 그리고, 세정액은 끊임없이 공급되고 있다.And the washing | cleaning part 36 which concerns on this invention is a structure which wash | cleans by the water flow along at least one surface by supplying a washing | cleaning liquid to the at least one surface side of the film front and back surface while running a film. And the cleaning liquid is constantly supplied.

도 2는, 본 발명에 관한 세정부(36)의 실시형태를 나타낸 것으로, 도 2(a)는 사시도이고, 도 2(b)는 측면에서 본 단면의 일부를 나타낸 단면도이다. 또한, 도 2의 세정부(36)는, 필름의 한쪽 면을 세정하는 경우이다.FIG. 2: shows embodiment of the washing | cleaning part 36 which concerns on this invention, FIG. 2 (a) is a perspective view, FIG. 2 (b) is sectional drawing which shows a part of cross section seen from the side surface. In addition, the washing | cleaning part 36 of FIG. 2 is a case where it wash | cleans one side of a film.

도 2에 나타낸 세정부(36)는, 1매의 평행부재(53)와, 세정액을 필름의 한쪽 면에 대하여 수직하게 공급하는 평행부재(53)에 설치된 세정액 공급 슬릿(52, 52)으로 이루어진다. 평행부재와 필름의 간극(54)은, 0.25 mm 이하의 폭(D)인 것이 바람직하다.The cleaning part 36 shown in FIG. 2 consists of one parallel member 53 and the cleaning liquid supply slits 52 and 52 provided in the parallel member 53 which supplies a cleaning liquid perpendicularly to one side of a film. . The gap 54 between the parallel member and the film is preferably a width D of 0.25 mm or less.

이와 같은 좁은 간극(54)에 세정액을 흘림으로써, 0.25 mm 이하의 좁은 간극에서 세정액의 유속이 큰 속도 구배를 가지게 되기 때문에, 필름 표면과의 평행부재(53)와의 사이에는, 필름면에 평행하고 또한 유속이 빠른 평행류가 발생한다. 이것에 의하여, 수 ㎛라는 매우 미세한 먼지, 필름편, 오염이라도 필름으로부터 제거하는 것이 가능해진다.By flowing the cleaning liquid into such a narrow gap 54, the flow velocity of the cleaning liquid has a large velocity gradient in the narrow gap of 0.25 mm or less, so that it is parallel to the film surface between the parallel members 53 and the film surface. In addition, parallel flows with high flow rates occur. This makes it possible to remove very fine dust, film pieces, and dirt of several micrometers from the film.

도 3은, 본 발명에 관한 세정부(36)의 다른 실시형태를 나타낸 것이다.3 shows another embodiment of the cleaning unit 36 according to the present invention.

도 3에 나타낸 세정부(36)는, 2매의 평행부재(53, 53)와, 세정액을 필름 표리면에 대하여 수직하게 공급하는 평행부재(53, 53)에 설치된 세정액 공급 슬릿(52, 52)으로 이루어진다. 2매의 평행부재(53, 53)는, 각각 평행부재와 필름과의 간극의 폭(D)이 0.25 mm 이하인 좁은 간극(54, 54)을 형성한다.The cleaning part 36 shown in FIG. 3 is the cleaning liquid supply slit 52 and 52 provided in the two parallel members 53 and 53 and the parallel members 53 and 53 which supply a cleaning liquid perpendicularly to the film front and back. ) The two parallel members 53 and 53 respectively form narrow gaps 54 and 54 in which the width D of the gap between the parallel member and the film is 0.25 mm or less.

이와 같은 좁은 간극(54)에 세정액을 흘림으로써 0.25 mm 이하의 좁은 간극에서 세정액의 유속이 큰 속도 구배를 가지게 되기 때문에, 필름 표리면과 2매의 평행부재(53, 53)의 사이에는, 필름면에 평행하고 또한 유속이 빠른 평행류가 발생한다. 이에 의하여, 수 ㎛라는 매우 미세한 먼지, 필름편, 오염이라도 필름으로부터 제거하는 것이 가능해진다.Since the flow rate of the cleaning liquid has a large velocity gradient in the narrow gap of 0.25 mm or less by flowing the cleaning liquid into such a narrow gap 54, a film is formed between the film front and back and the two parallel members 53 and 53. Parallel flows that are parallel to the plane and have a high flow rate occur. This makes it possible to remove very fine dust, film pieces, and dirt of several micrometers from the film.

도 4(a)는, 본 발명에 관한 세정부(36)의 다른 실시형태를 나타낸 것으로, 도 3의 세정액 공급 슬릿(52)이 필름 표리면에 각각 복수 설치되어 있는 것이다. 또, 세정액 공급 슬릿이 다수 설치되어 있음으로써 세정액이 좁은 간극에 체류하는 것을 방지하기 위하여, 좁은 간극으로부터 세정액을 배출하기 위한 세정액 배출 슬릿(56)이 세정액 공급 슬릿(52, 52) 사이에 설치되어 있다. 이 도 4(a)의 세정부(36)로 함으로써, 도 3의 세정부에서의 세정방법을 복수단 반복할 수 있기 때문에, 필름 상의 미세한 이물을 더욱 제거할 수 있다. 또한, 도 4(b)와 같이, 필름 표리면에서 세정액 공급 슬릿(52)의 위치가 어긋나 있어도 된다.FIG. 4A shows another embodiment of the cleaning unit 36 according to the present invention, in which a plurality of cleaning liquid supply slits 52 of FIG. 3 are provided on the film front and back. In addition, in order to prevent the cleaning liquid from remaining in the narrow gap by providing a plurality of cleaning liquid supply slits, a cleaning liquid discharge slit 56 for discharging the cleaning liquid from the narrow gap is provided between the cleaning liquid supply slits 52 and 52. have. By setting it as the washing | cleaning part 36 of FIG. 4 (a), since the washing | cleaning method in the washing | cleaning part of FIG. 3 can be repeated in multiple steps, the fine foreign material on a film can be further removed. In addition, as shown in FIG.4 (b), the position of the washing | cleaning liquid supply slit 52 may shift in the film front and back.

도 5는, 본 발명에 관한 세정부(36)의 다른 실시형태를 나타낸 것으로, 이 세정부(36)에는 수속 초음파를 사용한 초음파 세정기(65)가 설치되어 있다. 이 초음파 세정기(65)는, 판 형상의 초음파 진동자(66)가 설치되어 있고, 그 초음파 진 동자(66)에 음향 렌즈(68)가 설치되어 있다. 초음파 진동자(66)로부터 발신된 초음파는, 이 음향 렌즈(68)에 의해 소정의 집속 초점에 집속되어 세정액에 조사되는, 이와 같이 초음파를 집속시킴으로써, 집속 초점 근방에서 효율적으로 세정에 기여하는 라디칼을 발생시킬 수 있다. 따라서, 이 집속 초점은, 필름(12)의 표면 근방에 설정된다. 또한, 필름(12)의 이면은 롤러(67)로 지지되고 있다. 또, 이 세정부(36)에는, 세정액 공급 슬릿(52)과 세정액 배출 슬릿(56)이 설치되어 있다.5 shows another embodiment of the cleaning unit 36 according to the present invention, and the cleaning unit 36 is provided with an ultrasonic cleaner 65 using convergent ultrasonic waves. The ultrasonic cleaner 65 is provided with a plate-shaped ultrasonic vibrator 66, and an acoustic lens 68 is provided on the ultrasonic vibrator 66. Ultrasonic waves transmitted from the ultrasonic vibrator 66 are focused on the predetermined focusing focal point by the acoustic lens 68 and irradiated to the cleaning liquid. Thus, the ultrasonic waves are focused so that radicals that contribute to the cleaning efficiently near the focusing focal point are concentrated. Can be generated. Therefore, this focusing focus is set in the vicinity of the surface of the film 12. In addition, the back surface of the film 12 is supported by the roller 67. In addition, the cleaning part 36 is provided with a cleaning liquid supply slit 52 and a cleaning liquid discharge slit 56.

이와 같은 구성의 세정부(36)에서 좁은 간극(54)에 세정액을 흘림으로써 세정액의 유속이 큰 속도 구배를 가지게 되기 때문에, 롤러(67)로 지지된 필름 표면과 초음파 세정기(65)의 사이에는, 필름면에 평행하고 또한 유속이 빠른 평행류가 발생한다. 수 ㎛라는 매우 미세한 먼지, 필름편, 오염이라도 필름으로부터 제거하는 것이 가능해진다. The flow rate of the cleaning liquid has a large velocity gradient by flowing the cleaning liquid through the narrow gap 54 in the cleaning part 36 having such a configuration, so that the film is supported between the film surface supported by the roller 67 and the ultrasonic cleaner 65. In addition, parallel flow is generated which is parallel to the film surface and has a high flow velocity. It is possible to remove even very fine dust, film pieces, and dirt of several micrometers from the film.

또한, 라디칼의 발생에 적합한 초음파의 주파수 범위는, 0.3 MHz ~ 1 MHz 이다.In addition, the frequency range of the ultrasonic wave suitable for generation | occurrence | production of radicals is 0.3 MHz-1 MHz.

또, 본 실시형태에서는, 세정액 중에 조사하는 초음파를 음향 렌즈(18)에 의하여 집속시키는 구성으로 하고 있지만, 집속시키지 않고 조사하여도 좋으나, 초음파를 집속시킴으로써, 집속 초점 근방에서 세정에 기여하는 라디칼을 효율적으로 발생시킬 수 있어, 세정효과를 높일 수 있다.In addition, in this embodiment, although the ultrasonic wave irradiated to a washing | cleaning liquid is made into the structure which focuses with the acoustic lens 18, you may irradiate without focusing, but by converging an ultrasonic wave, the radical which contributes to washing | cleaning near a focusing focal point It can generate | occur | produce efficiently, and the washing | cleaning effect can be improved.

또한, 본 실시형태에서는, 음향 렌즈를 사용하여 초음파 진동자로부터 발진된 초음파를 소정의 집속 초점에 집속시키고 있으나, 초음파를 집속시키는 구성은, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 초음파 진동자의 초음파를 발진시키는 면의 형상을 원호 형상으로 형성(초음파 진동자의 형상을 이른바 홈통형으로 형성한다)함에 의해서도, 소정의 집속 초점에 초음파를 집속시킬 수 있다. 이 경우, 음향 렌즈는 불필요하게 된다.In addition, in this embodiment, although the ultrasonic wave oscillated from the ultrasonic vibrator is focused to a predetermined focusing point using an acoustic lens, the structure which focuses an ultrasonic wave is not limited to this. For example, the ultrasonic wave can be focused at a predetermined focusing point by forming the surface of the ultrasonic oscillator to oscillate in an arc shape (the ultrasonic vibrator is formed into a so-called trough). In this case, the acoustic lens becomes unnecessary.

여기서, 도 5와 같이 초음파 세정기(65)가 복수 설치되어 있는 세정부(36)인 경우, 도 6에 나타내는 부분에서 칸막이하는 칸막이판(70)을 설치하는 것이 바람직하다.Here, when it is the washing | cleaning part 36 in which two or more ultrasonic cleaners 65 are provided like FIG. 5, it is preferable to provide the partition plate 70 which divides in the part shown in FIG.

칸막이판(70)은, 도 7(a)에 나타내는 바와 같이, 필름(12)이 지나는 슬릿(71)이 설치되어 있고, 그 슬릿의 상류측과 하류측의 각각에 필름(12)을 지지하는 1쌍의 롤러(72)가 설치된다. 또, 그 슬릿에는, 도 7(b)에 나타내는 바와 같이, 필름(12)을 사이에 끼우는 1쌍의 롤러(72)가 설치되어 있는 것이 바람직하다.As shown in FIG. 7 (a), the partition plate 70 is provided with a slit 71 through which the film 12 passes, and supports the film 12 on each of the upstream side and the downstream side of the slit. A pair of rollers 72 are provided. Moreover, as shown to FIG. 7 (b), it is preferable that the pair of roller 72 which pinches the film 12 is provided in the slit.

이와 같이 칸막이판(70)을 도 4의 세정부(36)에 설치함으로써, 초음파 세정기(65, … 65) 각각에 대하여 세정액을 밀폐화할 수 있다. 따라서, 각각의 초음파세정기(65)에 대하여 세정액이 채워지는 공간이 독립되기 때문에, 공간마다 다른 종류의 세정액을 사용하여 필름을 세정하는 것이 가능하다. Thus, by providing the partition plate 70 in the washing | cleaning part 36 of FIG. 4, the washing | cleaning liquid can be sealed with respect to each of the ultrasonic cleaners 65, ... 65. Therefore, since the space in which the cleaning liquid is filled is independent for each of the ultrasonic cleaners 65, it is possible to clean the film using different kinds of cleaning liquids for each space.

이상과 같이, 본 발명의 필름의 세정 시스템(10)의 세정부(36)에서 세정된 필름(12)은, 롤러(24, 25)에 의해 건조부(38)로 보내진다.As mentioned above, the film 12 wash | cleaned by the washing | cleaning part 36 of the washing | cleaning system 10 of the film of this invention is sent to the drying part 38 by the rollers 24 and 25. FIG.

또한, 세정부(36)의 후단에는, 필름에 부착되어 있는 세정액을 제거하는 에어나이프와 에어나이프의 분출구에 공급되는 공기를 이온화하는 제전기구를 구비하고 있는 것이 바람직하다.Moreover, it is preferable to provide the air knife which removes the washing | cleaning liquid adhered to a film, and the static electricity removal mechanism which ionizes the air supplied to the blower outlet of the air knife in the rear end of the washing | cleaning part 36.

세정·건조된 필름(12)은, 도공부(44)에서 도포액이 도포되고, 롤러로 반송 되면서 건조부(46)를 통과하고, 권취부(48)에서 롤 상태로 권취된다.The coated liquid 12 is applied to the cleaned and dried film 12, passes through the drying part 46 while being conveyed by a roller, and is wound in a roll state by the winding part 48.

본 발명에 사용되는 플라스틱 필름은, 투명한 시트 또는 필름형상의 것이면 특별히 한정되는 것은 아니고, 예를 들면, 폴리에스테르 필름, 폴리에틸렌 필름, 폴리프로필렌 필름, 셀로판 필름, 디아세틸셀룰로스 필름, 트리아세틸셀룰로스 필름, 아세틸셀룰로스부틸레이트 필름, 폴리염화비닐 필름, 폴리염화비닐리덴 필름, 폴리비닐알콜 필름, 에틸렌비닐알콜 필름, 폴리스티렌 필름, 폴리카보네이트 필름, 폴리메틸펜텔 필름, 폴리술폰 필름, 폴리에테르케톤 필름, 폴리에테르술폰 필름, 폴리에테르이미드 필름, 폴리이미드 필름, 불소수지 필름, 나일론 필름, 폴리시클로올레핀 필름, 아크릴 필름 등의 열가소성 수지 필름 및 이들 플라스틱 필름의 적어도 한쪽 면에, 도포, 도공, 접합, 인쇄 등의 처리를 실시한 다층 필름을 들 수 있다. 투과율이 높고, 높은 필름 균일성이 요구되는 트리아세틸셀룰로스 필름, 폴리에스테르 필름, 폴리시클로올레핀 필름, 폴리카보네이트 필름을 사용한 경우에, 먼지와 티끌 등에 기인한 결점의 확인이 용이하기 때문에, 효과가 크다. The plastic film used in the present invention is not particularly limited as long as it is in a transparent sheet or film form. For example, a polyester film, polyethylene film, polypropylene film, cellophane film, diacetyl cellulose film, triacetyl cellulose film, Acetylcellulose butyrate film, polyvinyl chloride film, polyvinylidene chloride film, polyvinyl alcohol film, ethylene vinyl alcohol film, polystyrene film, polycarbonate film, polymethylpentel film, polysulfone film, polyether ketone film, polyether To thermoplastic resin films, such as a sulfone film, a polyetherimide film, a polyimide film, a fluororesin film, a nylon film, a polycycloolefin film, an acrylic film, and at least one surface of these plastic films, such as application | coating, coating, bonding, printing, etc. The multilayer film which processed. In the case of using a triacetylcellulose film, a polyester film, a polycycloolefin film, or a polycarbonate film having a high transmittance and requiring high film uniformity, it is easy to identify defects caused by dust, dirt, and the like. .

본 발명에 사용되는 플라스틱 필름의 두께는, 5~2000 ㎛, 바람직하게는 15~500 ㎛, 특히 바람직하게는 20~200 ㎛의 범위에서 임의로 선택할 수 있다. The thickness of the plastic film used for this invention can be arbitrarily selected in 5-2000 micrometers, Preferably it is 15-500 micrometers, Especially preferably, it is the range of 20-200 micrometers.

또한, 본 발명의 필름의 세정 시스템(10)에는, 도 8에 나타내는 바와 같이, 필름을 권회한 롤로부터 필름을 권출하는 권출부와, 필름을 롤 형상으로 권취하는 권취부를 구비하고 있어도 된다. 이에 의하여, 도 1과 같이 필름의 도포장치(40)에 조립하지 않고 독립하여 필름을 세정할 수 있다.Moreover, the cleaning system 10 of the film of this invention may be equipped with the unwinding part which unwinds a film from the roll which wound the film, and the winding-up part which winds a film in roll shape as shown in FIG. Thereby, a film can be wash | cleaned independently, without being assembled to the coating device 40 of a film like FIG.

또한, 도 8의 필름의 세정 시스템(10)에는, 건조부(38)에서 건조된 필름의 대전을 제거하는 제전부(도시 생략)를 구비하는 것이 바람직하다. 또한, 권취부(48)의 전단에는, 필름의 이물을 검사하는 이물 검사장치(도시 생략)를 설치하는 것도 바람직하다. Moreover, it is preferable that the cleaning system 10 of the film of FIG. 8 is equipped with the static electricity removal part (not shown) which removes the charge of the film dried by the drying part 38. FIG. Moreover, it is also preferable to install the foreign material inspection apparatus (not shown) which inspects the foreign material of a film in the front end of the winding-up part 48.

이상, 본 발명의 필름의 세정 시스템에 대하여, 도면에 의거하여 설명하였으나, 본 발명은 상기 도면에 기재한 구성에 한정되는 것은 아니고, 각 도면에 기재한 구성을 적절하게 조합시키는 등, 그 취지를 일탈하지 않는 범위에서 적절하게 그 구성을 변경할 수 있는 것이다.As mentioned above, although the washing | cleaning system of the film of this invention was demonstrated based on drawing, this invention is not limited to the structure described in the said drawing, The meaning of combining the structure described in each drawing suitably, etc. The configuration can be changed as appropriate without departing from the scope.

예를 들면, 도 1과 도 8의 전체 커버(50)에는, 필름 폭방향의 풍향이 되도록 FFU(팬·필터·유닛)에 의한 깨끗한 공기를 공급하는 기기를 구비하는 것도 바람직하다.For example, it is also preferable to equip the whole cover 50 of FIG. 1 and FIG. 8 with the apparatus which supplies clean air by FFU (fan filter unit) so that the wind direction of a film width direction may be provided.

또, 도 1과 도 8의 전체 커버(50)에는, 구비된 부마다를 분리하여, 필름이 지나는 슬릿을 가지는 분리 커버가 설치되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같은 분리 커버의 슬릿부분은, 도 7(b)에 나타낸 칸막이판(70)을 사용할 수 있다. In addition, it is preferable that the separation cover which has the slit through which the film | membrane separates each provided part is provided in the whole cover 50 of FIG. 1 and FIG. As the slit portion of the separation cover, a partition plate 70 shown in Fig. 7B can be used.

도 1은 본 발명의 필름의 세정 시스템을 조립한 필름의 도포장치를 나타내는 도,BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The figure which shows the coating device of the film which assembled the cleaning system of the film of this invention.

도 2는 본 발명에 관한 세정부의 실시형태를 나타내는 도,2 is a diagram showing an embodiment of a cleaning unit according to the present invention;

도 3은 본 발명에 관한 세정부의 다른 실시형태를 나타내는 도,3 shows another embodiment of the cleaning unit according to the present invention;

도 4는 본 발명에 관한 세정부의 다른 실시형태를 나타내는 도,4 shows another embodiment of the cleaning unit according to the present invention;

도 5는 본 발명에 관한 세정부의 다른 실시형태를 나타내는 도,5 shows another embodiment of the cleaning unit according to the present invention;

도 6은 본 발명에 관한 세정부의 다른 실시형태로서, 칸막이판의 위치를 나타내는 도,6 is a view showing the position of the partition plate as another embodiment of the cleaning unit according to the present invention;

도 7은 칸막이판을 나타내는 도,7 is a view showing a partition plate;

도 8은 본 발명의 필름의 세정 시스템의 다른 실시형태를 나타내는 도면이다.It is a figure which shows another embodiment of the cleaning system of the film of this invention.

※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명[Description of Drawings]

10 : 필름의 세정 시스템 12 : 필름 10 film cleaning system 12 film

36 : 세정부 38 : 건조부 36: washing part 38: drying part

40 : 필름의 도포장치 42 : 권출부 40: coating device of film 42: unwinding part

48 : 권취부 50 : 전체 커버 48: winding 50: full cover

52 : 세정액 공급 슬릿 53 : 평행부재52: cleaning liquid supply slit 53: parallel member

54 : 간극 56 : 세정액 배출 슬릿 54: gap 56: cleaning liquid discharge slit

65 : 초음파 세정기 66 : 초음파 진동자 65: ultrasonic cleaner 66: ultrasonic vibrator

68 : 음향 렌즈 70 : 칸막이판68: acoustic lens 70: partition plate

71 : 슬릿 72 : 1쌍의 롤러71: slit 72: 1 pair of roller

D : 평행부재와 필름의 간극의 폭 D: width of gap between parallel member and film

Claims (11)

주행하는 필름에, 세정액을 사용하여 세정하는 세정부와, 세정한 필름의 건조를 행하는 건조부를 적어도 구비한 필름의 세정 시스템에 있어서,In the washing | cleaning system of the film provided with the washing | cleaning part which wash | cleans using a washing | cleaning liquid and the drying part which dries the cleaned film to the film which runs, 상기 세정부는, The cleaning unit, 상기 필름을 주행시키면서 당해 필름 표리면의 적어도 한쪽 면측에 세정액을 공급함으로써, 상기 적어도 한쪽 면을 따른 수류(水流)로 세정하는 구조이고,It is a structure which wash | cleans by the water flow along the at least one surface by supplying a washing | cleaning liquid to the at least one surface side of the said film front and back surface while running the said film, 상기 세정부는, 1 또는 2매의 평행부재와, 상기 평행부재에 형성되어, 상기 필름 표리면의 적어도 한쪽 면측에 대하여 세정액을 내뿜는 세정액 공급 슬릿을 구비하고,The cleaning unit includes one or two parallel members and a cleaning liquid supply slit formed on the parallel member to flush the cleaning liquid to at least one surface side of the film front and back, 상기 평행부재와 상기 필름의 간극은, 0.25 mm 이하로 하고,The gap between the parallel member and the film is 0.25 mm or less, 상기 필름의 두께는, 20 ~ 200 μm인 것을 특징으로 하는 필름의 세정 시스템. The film thickness is 20 to 200 μm, the film cleaning system, characterized in that. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 세정부는, 복수단 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 필름의 세정 시스템.The said washing part is provided in multiple steps, The cleaning system of the film characterized by the above-mentioned. 삭제delete 삭제delete 제 1항 또는 제 2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 세정부는, The cleaning unit, 수속 초음파를 사용한 초음파 세정기가 상기 필름 표리면의 적어도 한쪽 면측에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 필름의 세정 시스템.An ultrasonic cleaning machine using convergent ultrasound is provided on at least one surface side of the film front and back. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 필름의 세정 시스템은, 필름을 권회한 롤로부터 필름을 권출하는 권출부와, 상기 건조부에서 건조된 필름의 대전을 제거하는 제전부와, 당해 제전을 끝낸 필름을 롤 형상으로 권취하는 권취부를 더 구비한 것을 특징으로 하는 필름의 세정 시스템.The cleaning system for the film includes a winding-up unit which unwinds the film from a roll wound around the film, an antistatic unit for removing the charge of the film dried in the drying unit, and winding-up winding the film after the static elimination. It further comprises a part, The cleaning system of the film characterized by the above-mentioned. 제 6항에 있어서,The method according to claim 6, 상기 권취부의 전단에는, 필름의 이물을 검사하는 이물 검사장치를 설치한 것을 특징으로 하는 필름의 세정 시스템.The front end of the said winding part, the foreign material inspection apparatus which inspects the foreign material of a film was provided, The film cleaning system characterized by the above-mentioned. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 세정부의 후단, 상기 건조부의 전단에는, At the rear end of the washing section and the front end of the drying section, 상기 필름에 부착되어 있는 세정액을 제거하는 에어나이프와, 상기 에어나이프의 분출구에 공급되는 공기를 이온화하는 제전기구를 구비한 것을 특징으로 하는 필름의 세정 시스템.And an air knife for removing the cleaning liquid adhering to the film, and an electrostatic charge mechanism for ionizing air supplied to the air outlet of the air knife. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 필름의 세정 시스템은, 시스템 전체를 커버하는 전체 커버를 가지고 있는 것을 특징으로 하는 필름의 세정 시스템.The cleaning system for the film has a total cover covering the entire system. 제 9항에 있어서,10. The method of claim 9, 상기 전체 커버에는, 필름 폭방향의 풍향이 되도록 FFU(팬·필터·유닛)에 의한 깨끗한 공기를 공급하는 기기를 구비한 것을 특징으로 하는 필름의 세정 시스템.The said whole cover was equipped with the apparatus which supplies clean air by FFU (fan filter unit) so that the wind direction of a film width direction may be provided, The film cleaning system characterized by the above-mentioned. 제 9항에 있어서,10. The method of claim 9, 상기 전체 커버에는, 구비된 부마다를 분리하여, 필름이 지나는 슬릿을 가지는 분리 커버가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 필름의 세정 시스템. The said whole cover is provided with the separation cover which isolate | separates every provided part and has a slit through which a film passes, The film cleaning system characterized by the above-mentioned.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101868820B1 (en) 2017-06-16 2018-07-23 윤중식 Washing type's film cleaning equipment

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103990620B (en) * 2014-05-16 2017-04-05 广东壮丽彩印股份有限公司 A kind of method and apparatus of basement membrane dealuminzation
CN105170576B (en) * 2015-05-11 2017-11-14 柏弥兰金属化研究股份有限公司 The cleaning method and its system of volume to volume polyimide film
CN105234562B (en) * 2015-10-13 2017-11-07 英诺激光科技股份有限公司 The cutting of PI cover layers automatic laser removes carbon system and method
CN106276350A (en) * 2016-06-20 2017-01-04 安庆市鑫顺塑业有限公司 A kind of film cleaning device
CN106111584A (en) * 2016-06-20 2016-11-16 安庆市鑫顺塑业有限公司 A kind of plastic sheeting cleans device
CN106733920A (en) * 2017-03-14 2017-05-31 江苏伟建工具科技有限公司 A kind of supersonic wave cleaning machine for high-speed steel cleaning and drying one
CN112871785A (en) * 2020-12-09 2021-06-01 江苏海乐塑胶有限公司 PVC calendering film cleaning device

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002316116A (en) * 2001-04-23 2002-10-29 Toppan Printing Co Ltd Washing apparatus of plastic film and washing method using the same
KR100758220B1 (en) * 2005-10-20 2007-09-17 주식회사 케이씨텍 Apparatus having numbers of slit nozzles for rinsing substarte and method for rinsing substrate using the saem

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07313948A (en) * 1994-05-20 1995-12-05 Namitei Kk Apparatus for treating surface of belt-shaped material
CN2207237Y (en) * 1994-12-28 1995-09-13 北京化工大学 Supersonic cleaner for wasted plastic film
JP2003103224A (en) * 2001-09-28 2003-04-08 Fuji Photo Film Co Ltd Dust removing method and dust removing device
JP2006007104A (en) * 2004-06-25 2006-01-12 Shimada Phys & Chem Ind Co Ltd Ultrasonic cleaning device
CN101008689A (en) * 2006-01-26 2007-08-01 达信科技股份有限公司 Cleaning method of optical film
JP4839986B2 (en) * 2006-07-03 2011-12-21 大日本印刷株式会社 Wet cleaning device
JP2008093495A (en) * 2006-10-05 2008-04-24 Kaneka Corp Removing method of adhered foreign matter on sheet-like body and its device
JP2008104690A (en) * 2006-10-26 2008-05-08 Aruze Corp Foreign matter removal device

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002316116A (en) * 2001-04-23 2002-10-29 Toppan Printing Co Ltd Washing apparatus of plastic film and washing method using the same
KR100758220B1 (en) * 2005-10-20 2007-09-17 주식회사 케이씨텍 Apparatus having numbers of slit nozzles for rinsing substarte and method for rinsing substrate using the saem

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101868820B1 (en) 2017-06-16 2018-07-23 윤중식 Washing type's film cleaning equipment

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Publication number Publication date
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CN101712033A (en) 2010-05-26

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