JP2012038958A - 半導体発光素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】実施形態によれば、n形半導体層と、p形半導体層と、n形半導体層とp形半導体層との間に設けられた多層構造体と、多層構造体とp形半導体層との間で多層構造体に接する発光部と、を備えた半導体発光素子が提供される。多層構造体は交互に積層された第1層と第2層とを含む。発光部は交互に積層された障壁層と井戸層とを含む。第1層、第2層及び障壁層のIn組成比は井戸層のIn組成比よりも低い。多層構造体の、積層方向に対して垂直な第1方向の軸の平均格子定数は、n形半導体層の第1方向の軸の平均格子定数よりも大きい。多層構造体の第1方向の軸の平均格子定数と発光部の第1方向の軸の平均格子定数との差の絶対値は、多層構造体の第1方向の軸の平均格子定数とn形半導体層の第1方向の軸の平均格子定数との差の絶対値よりも小さい。
【選択図】図1
Description
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
なお、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1は、実施形態に係る半導体発光素子の構成を例示する模式的断面図である。
図1に表したように、本実施形態に係る半導体発光素子110は、n形半導体層10と、p形半導体層20と、多層構造体40と、発光部30と、を備える。
多層構造体40の第1方向に沿った軸の平均格子定数と、発光部30の第1方向に沿った軸の平均格子定数と、の差の絶対値は、多層構造体40の第1方向に沿った軸の平均格子定数と、n形半導体層10の第1方向に沿った軸の平均格子定数と、の差の絶対値よりも小さい。
以下では、多層構造体40の第1方向に沿った軸の平均格子定数が、多層構造体40のa軸の平均格子定数であり、n形半導体層10の第1方向に沿った軸の平均格子定数が、n形半導体層10のa軸の平均格子定数であり、発光部30の第1方向に沿った軸の平均格子定数が、発光部30のa軸の平均格子定数である場合として説明する。
半導体発光素子110の作製方法の例は、以下である。
半導体発光素子110に含まれる半導体結晶の成長には、有機金属気相成長(MOVPE:Metal-Organic Vapor Phase Epitaxy)法が用いられる。
第1参考例の半導体発光素子119a(図示せず)は、半導体発光素子110において多層構造体40を設けないものである。第1参考例の半導体発光素子119aは、上記で説明した製造工程において、多層構造体40の形成(第1層41及び第2層42の形成)を実施しないで、n形半導体層10の上に、発光部30の形成(障壁層31及び井戸層32の形成)を実施したものである。それ以外の条件は、半導体発光素子110と同様である。
すなわち、同図は、上記の半導体発光素子110、119a及び119bの特性を評価した結果を示している。横軸は、入力した電流Ic(ミリアンペア:mA)であり、縦軸は、発光出力OP(任意目盛り)である。
図3(a)、図3(b)及び図3(c)は、半導体発光素子の特性を例示する模式図である。
すなわち、これらの図は、上記の半導体発光素子110、119a及び119bにおける、n形半導体層10、多層構造体40及び発光部30の格子定数を測定した結果を示す(204)逆格子マップである。それぞれの図において、横軸は、基板5の主面に対して水平方向(第1方向)の格子間隔の逆数を示し、縦軸は、基板5の主面に対して垂直方向(Z軸方向)の格子間隔の逆数を示す。すなわち、横軸は、a軸方向の格子定数の逆数の指標となり、縦軸は、c軸方向の格子定数の逆数の指標となる。
逆格子マップから、n形半導体層10、多層構造体40及び発光部30における平均の格子定数が得られる。
発光部平均In組成比A2は、以下の第2式で表されるものとする。
このとき、多層構造体平均In組成比A1は、発光部平均In組成比A2以下に設定することが望ましい。これにより、多層構造体40に含まれる材料のa軸の格子定数が、発光部30に含まれる材料のa軸の格子定数と、n形半導体層10のa軸の格子定数と、の間に設定されることで、過度な歪みが発生し難くなり、より好ましい。
このような構成において、発光部30とn形半導体層10との間における格子不整合が特に大きく、結晶品質の向上の効果が特に効果的に発揮される。
例えば、多層構造体40において、最もn形半導体層10に近い側に第1層41が配置され、そして第2層42と第1層41とが交互に積層され、さらに、多層構造体40において最も発光部30に近い側に第1層41が配置されても良い。この場合において、例えば、発光部30のうちで多層構造体40に最も近い側に、井戸層32が配置されても良く、または、障壁層31が配置されても良い。
例えば、結晶成長には、窒化物半導体を成長させるために用いられる任意の方法が採用できる。
また、各具体例のいずれか2つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
Claims (7)
- 窒化物半導体を含むn形半導体層と、
窒化物半導体を含むp形半導体層と、
前記n形半導体層と前記p形半導体層との間に設けられ、複数の第1層と、前記複数の第1層どうしの間のそれぞれに設けられInを含む第2層と、を含む多層構造体と、
前記多層構造体と前記p形半導体層との間において前記多層構造体に接し、複数の障壁層と、前記複数の障壁層どうしの間のそれぞれに設けられInを含む井戸層と、を含む発光部と、
を備え、
前記第1層のIII族元素中におけるIn組成比は、前記井戸層のIII族元素中におけるIn組成比よりも低く、
前記第2層のIII族元素中におけるIn組成比は、前記井戸層のIII族元素中におけるIn組成比よりも低く、
前記障壁層のIII族元素中におけるIn組成比は、前記井戸層のIII族元素中におけるIn組成比よりも低く、
前記多層構造体の前記n形半導体層から前記p形半導体層に向かう積層方向に対して垂直な第1方向に沿った軸の平均格子定数は、前記n形半導体層の前記第1方向に沿った軸の平均格子定数よりも大きく、
前記多層構造体の前記第1方向に沿った前記軸の前記平均格子定数と、前記発光部の前記第1方向に沿った軸の平均格子定数と、の差の絶対値は、前記多層構造体の前記第1方向に沿った前記軸の前記平均格子定数と、前記n形半導体層の前記第1方向に沿った前記軸の前記平均格子定数と、の差の絶対値よりも小さいことを特徴とする半導体発光素子。 - 前記発光部の格子は、前記多層構造体の格子とコヒーレントであることを特徴とする請求項1記載の半導体発光素子。
- 前記複数の第1層の数をN1(N1は2以上の整数)とし、前記複数の第1層のうちのi番目(iは2以上N1以下の整数)の前記第1層は、III族元素中におけるIn組成比x1iを有し、層厚t1i(ナノメートル)を有し、
前記複数の第2層の数をN2(N2は2以上の整数)とし、前記複数の第2層のうちのj番目(jは2以上N2以下の整数)の前記第2層は、III族元素中におけるIn組成比x2jを有し、層厚t2j(ナノメートル)を有し、
前記複数の障壁層の数をN3(N3は2以上の整数)とし、前記複数の障壁層のうちのk番目(kは2以上N3以下の整数)の前記障壁層は、III族元素中におけるIn組成比x3kを有し、層厚t3k(ナノメートル)を有し、
前記複数の井戸層の数をN4(N4は2以上の整数)とし、前記複数の井戸層のうちのl番目(lは2以上N4以下の整数)の前記井戸層は、III族元素中におけるIn組成比x4lを有し、層厚t4l(ナノメートル)を有し、
多層構造体平均In組成比A1を
とし、発光部平均In組成比A2を
としたとき、前記多層構造体平均In組成比A1は、前記発光部平均In組成比A2以下であることを特徴とする半導体発光素子。 - 前記多層構造体平均In組成比A1と前記発光部平均In組成比A2との差の絶対値の前記多層構造体平均In組成比A1に対する比は、1よりも小さいことを特徴とする請求項3記載の半導体発光素子。
- 前記井戸層におけるIn組成比は、0.15以上0.25以下であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の半導体発光素子。
- 前記多層構造体のバンドギャップエネルギーは、前記発光部のバンドギャップエネルギーよりも大きいことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の半導体発光素子。
- 前記多層構造体の前記バンドギャップエネルギーは、前記n形半導体層のバンドギャップエネルギーよりも小さく、前記多層構造体の前記バンドギャップエネルギーと前記n形半導体層の前記バンドギャップエネルギーとの差の絶対値は、前記発光部の前記バンドギャップエネルギーと前記n形半導体層の前記バンドギャップエネルギーとの差の絶対値よりも小さいことを特徴とする請求項6記載の半導体発光素子。
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