JP2012033260A - 変換器ヘッドおよび変換器ヘッド上のコンタクトパッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 コンタクトパッドは、第1の降伏強度を有する材料の第1の層と、第1の層に積層された、第2の降伏強度を有する材料の第2の層とを含む。第1の層および第2の層からなる積層複合体の第3の降伏強度は、ホールペッチ現象のため、第1の降伏強度および第2の降伏強度を上回る。保護膜が、コンタクトパッドの第1の層および第2の層の端部を覆うことによって磨耗を防止する。コンタクトパッドまたはその他の超小型電子部品構造の製造方法は、第1の降伏強度を有する材料の第1の層を基板上に配置することを含む。第2の降伏強度を有する材料の第2の層を第1の層の上に配置する。第1の層および第2の層の端部を保護膜材料で被覆して第1および第2の層の磨耗を防止する。
【選択図】図2
Description
磁気記憶システムにおいて、薄膜変換器ヘッドは、スライダの表面上に配置された複数の超小型電子部品(たとえば再生部、記録部、1つ以上の再生部シールド、および1つ以上の戻り磁極)を含む。この変換器ヘッドは、アクチュエータアームの遠位端に設けられ、回転する磁気ディスクの表面の上に位置付けられる。揚力が、スライダと回転するディスクとの間の空気力学的相互作用によって生じる。この揚力に対抗して、等しくかつ逆向きのばね力がアクチュエータアームを通して加えられることにより、回転する磁気ディスクの表面上で、予め定められた浮上高さが保たれる。この浮上高さは、回転する磁気ディスクの表面とスライダアセンブリの最下点(すなわちコンタクトパッド)との間の間隔であると定義される。
ある実施例において、ここで開示される技術は、再生部およびコンタクトパッドを有する変換器ヘッドを含む。コンタクトパッドは、再生部を超えて延在し、材料の第1の層と、材料の第2の層と、保護膜とを含む。材料の第1の層は、第1の降伏強度を有する。材料の第2の層は、第2の降伏強度を有し、材料の第1の層に積層される。第1の層および第2の層からなる積層複合体の第3の降伏強度は、第1の降伏強度および第2の降伏強度を上回る。保護膜は、第1の層および第2の層の端部と接触する。
ディスク動作がさまざまな状態にある間に、変換器ヘッドスライダ上のコンタクトパッドは、回転する磁気ディスク上の最も高い表面突起と接触する。たとえば、コンタクトパッドとディスクとの接触は、ハードディスクの組立および検査中に、または変換器ヘッドスライダの浮上高さを設定する定期的調整作業中に生じることがある。さらに、何らかの製造欠陥またはスライダの経路にある汚染物質が、ディスク動作中にコンタクトパッドに当たることがある。加えて、ディスク固有の凹凸によってコンタクトパッドが周期的に磁気ディスクに接触する場合がある。また、ハードディスクの急激な運動によって(たとえばハードディスクドライブを備えたラップトップコンピュータが落下して硬い面に当たったとき)、コンタクトパッドがディスクと接触することもある。
Claims (20)
- 変換器ヘッドであって、
再生部と、
コンタクトパッドとを備え、前記コンタクトパッドは、前記再生部を超えて延在し、
第1の降伏強度を有する材料の第1の層と、
前記第1の層に積層された、第2の降伏強度を有する材料の第2の層とを含み、前記第1の層および前記第2の層からなる積層複合体の第3の降伏強度は、前記第1の降伏強度および前記第2の降伏強度を上回り、前記コンタクトパッドはさらに、
前記第1の層および前記第2の層の端部と接触する保護膜を含む、変換器ヘッド。 - 前記コンタクトパッドはさらに、前記第2の層に積層された、第4の降伏強度を有する材料の第3の層を含み、
前記第1の層、前記第2の層、および前記第3の層からなる積層複合体の第5の降伏強度は、前記第1の降伏強度、前記第2の降伏強度および前記第4の降伏強度を上回り、前記保護膜はさらに前記第3の層の端部と接触する、請求項1に記載の変換器ヘッド。 - 前記コンタクトパッドはさらに、
前記第2の層に積層された、前記第1の降伏強度を有する材料の第3の層と、
前記第3の層に積層された、前記第2の降伏強度を有する材料の第4の層とを含み、
前記第1の層、前記第2の層、前記第3の層、および前記第4の層からなる積層複合体の第4の降伏強度は、前記第1の降伏強度および前記第2の降伏強度を上回り、前記保護膜はさらに前記第3の層および前記第4の層の端部と接触する、請求項1に記載の変換器ヘッド。 - 前記第1の材料および前記第2の材料のうち少なくとも一方は元素金属を含む、請求項1に記載の変換器ヘッド。
- 前記第1の材料および前記第2の材料のうち少なくとも一方は磁性体である、請求項1に記載の変換器ヘッド。
- 前記コンタクトパッドは、戻り磁極および再生部シールドのうちの一方または双方である、請求項1に記載の変換器ヘッド。
- 前記保護膜はデータ記憶媒体に対向する、請求項1に記載の変換器ヘッド。
- 変換器ヘッドであって、
記録部と、
戻り磁極とを備え、前記戻り磁極は、前記記録部を超えて延在し、第1の降伏強度を有する材料の第1の層と、第2の降伏強度を有する材料の第2の層とを含み、前記第2の層は前記第1の層に積層され、前記第1の層および前記第2の層からなる積層複合体の第3の降伏強度は、前記第1の降伏強度および前記第2の降伏強度を上回り、
前記戻り磁極はさらに、前記第1の層の端部および前記第2の層の端部と接触する保護膜を含む、変換器ヘッド。 - 前記戻り磁極はさらに、前記第2の層に積層された、第4の降伏強度を有する材料の第3の層を含み、前記第1の層、前記第2の層、および前記第3の層からなる積層複合体の第5の降伏強度は、前記第1の降伏強度、前記第2の降伏強度、および前記第4の降伏強度を上回り、前記保護膜はさらに前記第3の層の端部と接触する、請求項8に記載の変換器ヘッド。
- 前記戻り磁極はさらに、前記第2の層に積層された、前記第1の降伏強度を有する材料の第3の層と、前記第3の層に積層された、前記第2の降伏強度を有する材料の第4の層とを含み、前記第1の層、前記第2の層、前記第3の層、および前記第4の層からなる積層複合体の第4の降伏強度は、前記第1の降伏強度および前記第2の降伏強度を上回り、前記保護膜はさらに前記第3の層および前記第4の層の端部と接触する、請求項8に記載の変換器ヘッド。
- 前記第1の材料および前記第2の材料のうち少なくとも一方は元素金属を含む、請求項8に記載の変換器ヘッド。
- 前記第1の材料および前記第2の材料のうち少なくとも一方は磁性体である、請求項8に記載の変換器ヘッド。
- 前記保護膜はデータ記憶媒体に対向する、請求項8に記載の変換器ヘッド。
- 前記戻り磁極は、データ記憶媒体と対向するように構成されたコンタクトパッドである、請求項8に記載の変換器ヘッド。
- 変換器ヘッド上のコンタクトパッドの製造方法であって、
第1の降伏強度を有する材料の第1の層を、変換器ヘッド上の基板上に配置するステップと、
第2の降伏強度を有する材料の第2の層を、前記第1の層の上に配置するステップとを含み、前記第1の層および前記第2の層からなる複合体の第3の降伏強度は、前記第1の降伏強度および前記第2の降伏強度を上回り、
前記第1の層および前記第2の層の端部を被膜で覆うステップを含み、前記第1の層、前記第2の層、および前記被膜が合わさってコンタクトパッドを構成し、前記コンタクトパッドはデータ記憶媒体に対向するように構成される、方法。 - 第4の降伏強度を有する材料の第3の層を前記第2の層の上に配置するステップをさらに含み、前記第1の層、前記第2の層、および前記第3の層からなる複合体の第5の降伏強度は、前記第1の降伏強度、前記第2の降伏強度、および前記第4の降伏強度を上回り、前記被膜で覆うステップはさらに、前記第3の層の端部を被膜で覆うステップを含む、請求項15に記載の方法。
- 前記第2の降伏強度を有する材料の第3の層を前記第2の層の上に配置するステップと、
前記第2の降伏強度を有する材料の第4の層を前記第3の層の上に配置するステップとをさらに含み、
前記第1の層、前記第2の層、前記第3の層、および前記第4の層からなる複合体の第4の降伏強度は、前記第1の降伏強度および前記第2の降伏強度を上回り、前記被膜で覆うステップはさらに、前記第3の層および前記第4の層の端部を被膜で覆うステップを含む、請求項15に記載の方法。 - 前記第1の材料および前記第2の材料のうち少なくとも一方は元素金属を含む、請求項15に記載の方法。
- 前記第1の材料および前記第2の材料のうち少なくとも一方は磁性体である、請求項15に記載の方法。
- 前記第1の層および前記第2の層各々の厚みは50ナノメートルよりも大きく200ナノメートルよりも小さい、請求項15に記載の方法。
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