JP2012032230A5 - - Google Patents
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- 測定変位に応じた位置情報を出力する位置検出装置において、
測定対象物の変位に伴い正弦波状に変化するとともに互いに位相が９０度異なる２つの信号を出力する位置センサと、
前記位置センサからの出力信号に含まれるオフセット成分を、当該出力信号から除去するオフセット成分除去手段と
前記オフセット成分除去後の２つの信号を位置情報に変換する内挿演算手段と、
前記位置センサからの２つの信号又は、前記オフセット成分除去後の２つの信号の自乗和の平方根を演算する半径演算手段と、
前記半径演算手段の出力の変動成分と前記位置センサからの２つの信号とをそれぞれ乗算する相関演算手段と、
前記相関演算手段の出力値のＤＣ成分を抽出するＤＣ成分抽出手段と、
前記ＤＣ成分抽出手段の出力値に基づいて、オフセット変位分を含んだオフセット成分を出力する手段と、
を備えることを特徴とする位置検出装置。
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