JP2012021133A - Low temperature curable polyimide resin and method for producing the same - Google Patents

Low temperature curable polyimide resin and method for producing the same Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a polyimide resin which is curable at a low temperature ranging from 150 to 250°C, by polymerization reaction of diamine and dianhydride in the presence of a solvent having a boiling point of 130-180°C.SOLUTION: Because the polyimide resin is curable even at a low temperature, when the polyimide resin is used as an electronic material, damage to equipment due to a high temperature process can be minimized. In addition, the polyimide resin can be intensively used as an electronic material such as for a plastic substrate.

Description

本発明は、ポリイミド樹脂及びその製造方法に関し、特に、低温硬化が可能なポリイミド樹脂とその製造方法に関する。   The present invention relates to a polyimide resin and a method for producing the same, and more particularly to a polyimide resin capable of being cured at a low temperature and a method for producing the same.

近年、半導体及び液晶表示素子を中心とする半導体素子の分野においては、電子素子の高集積化、高密度化、高信頼化、高速化などの動きの急激な拡散に伴い、加工性と高純度化などが容易な有機材料の利点を用いようとする研究が活発に進められている。   In recent years, in the field of semiconductor elements such as semiconductors and liquid crystal display elements, with the rapid diffusion of movements such as higher integration, higher density, higher reliability, and higher speed of electronic elements, workability and high purity Research has been actively conducted to use the advantages of organic materials that are easy to make.

特に、ポリイミド樹脂は、高耐熱性、優れた機械的強度、低誘電率及び高絶縁性などの優れた電気特性の他にも、コーティング表面の平坦化特性が良く、素子の信頼性を低下させる不純物の含有量が非常に低く、容易に微細形状に作ることができるという利点があり、近年、これを含んだ感光性樹脂をはじめとする感光性絶縁膜の用途が、半導体のみならず、ディスプレイの分野にまで拡大している。   In particular, polyimide resin has good flattening characteristics of the coating surface in addition to excellent electrical characteristics such as high heat resistance, excellent mechanical strength, low dielectric constant, and high insulation, and reduces device reliability. There is an advantage that the content of impurities is very low and it can be easily made into a fine shape. In recent years, photosensitive insulating films including photosensitive resins containing them have been used not only for semiconductors but also for displays. It has expanded to the field.

一般に、ポリイミドの合成方法としては、2段階縮合重合としてジアミン成分と二無水物成分をN-メチル-2-ピロリドン(NMP)、ジメチルアセトアミド(DMAc)及びジメチルホルムアミド(DMF)のような極性有機溶媒中で重合させることにより、ポリイミド前駆体溶液を得、これをシリコンウェハやガラスなどにコーティングした後、高温で熱処理を行って硬化させる方法がある。   In general, as a method for synthesizing polyimide, polar organic solvents such as N-methyl-2-pyrrolidone (NMP), dimethylacetamide (DMAc) and dimethylformamide (DMF) are used as a two-stage condensation polymerization in which a diamine component and a dianhydride component are used. There is a method in which a polyimide precursor solution is obtained by polymerizing in, and this is coated on a silicon wafer or glass and then cured by heat treatment at a high temperature.

商業化された電子材料用ポリイミド製品は、ポリイミド前駆体溶液或いはポリイミドフィルム状態で供給され、半導体素子の分野では主にポリイミド前駆体溶液状態で供給される。   Commercialized polyimide products for electronic materials are supplied in a polyimide precursor solution or polyimide film state, and are mainly supplied in a polyimide precursor solution state in the field of semiconductor devices.

しかしながら、このようなポリイミド重合体の製造方法は、高い硬化温度(300℃以上)を必要とするため、熱に脆弱な工程には用いることができないという問題があり、高温の硬化を経ても前記ポリイミド前駆体溶液が完全にポリイミドに転換し難しいという問題がある。   However, the method for producing such a polyimide polymer requires a high curing temperature (300 ° C. or higher), and thus has a problem that it cannot be used in a heat-fragile process. There is a problem that it is difficult to completely convert the polyimide precursor solution into polyimide.

このような問題点を解決するために、従来の工程では、触媒を用いて液状で化学的イミド化をする重合方法が開発されたが、このような工程も依然と高温工程を必要とすることはもちろん、溶媒においても高沸点溶媒をそのまま使用しているため、前記重合工程以後に溶媒の除去のために再び高温の硬化工程を経なければならないという問題がある。   In order to solve such problems, in the conventional process, a polymerization method in which chemical imidization is performed in a liquid state using a catalyst has been developed. However, such a process still requires a high-temperature process. Of course, since the high-boiling point solvent is used as it is in the solvent, there is a problem that after the polymerization step, a high-temperature curing step must be performed again to remove the solvent.

また、前記ポリイミド樹脂の製造のために、高温の熱処理を行い生産効率を高めるためには熱設備が大型化されるという点も問題となる。   In addition, in order to increase the production efficiency by performing a high-temperature heat treatment for the production of the polyimide resin, there is a problem that the heat equipment is enlarged.

本発明は、上述のような従来技術の問題を解決するためになされたものであり、発明者らは、ポリイミドの製造工程に低沸点の溶媒を用いたり、或いは前記低沸点溶媒と共に低沸点及び高い反応性のアミン系触媒を添加することにより、低温でもポリイミドの製造が可能であることを見出し、このような方法により製造された低温ポリイミドは、耐熱性及び加工性において依然と優れた性質を保持していることを確認して本発明を完成した。   The present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the prior art, and the inventors have used a low-boiling solvent in the polyimide production process, or have a low boiling point and a low boiling point solvent together with the low-boiling solvent. By adding a highly reactive amine-based catalyst, it was found that polyimide can be produced even at low temperatures, and the low-temperature polyimide produced by such a method still has excellent properties in heat resistance and workability. The present invention was completed by confirming that it was held.

本発明の目的は、低沸点の溶媒を用いて低温でもイミド化が可能なポリイミド樹脂の製造方法を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a method for producing a polyimide resin that can be imidized even at a low temperature using a low boiling point solvent.

なお、本発明の他の目的は、前記低沸点の溶媒と共に低沸点及び高い反応性の特定触媒を用いて低温でもイミド化が可能なポリイミド樹脂の製造方法を提供することにある。   Another object of the present invention is to provide a method for producing a polyimide resin that can be imidized even at a low temperature by using a low boiling point and highly reactive specific catalyst together with the low boiling point solvent.

なお、本発明の又他の目的は、前記ポリイミド樹脂を含む感光性組成物及びプリント用インク組成物を提供することにある。   Another object of the present invention is to provide a photosensitive composition and a printing ink composition containing the polyimide resin.

なお、本発明の又他の目的は、低温硬化が可能なポリイミド樹脂を提供することにある。   It is another object of the present invention to provide a polyimide resin that can be cured at a low temperature.

前記の目的を達成するための本発明のポリイミド樹脂の製造方法は、沸点130〜180℃の低沸点溶媒を用いてポリイミド樹脂を重合する段階を含むことができる。   The method for producing the polyimide resin of the present invention for achieving the above object may include a step of polymerizing the polyimide resin using a low boiling point solvent having a boiling point of 130 to 180 ° C.

前記低沸点溶媒は、例えば、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、メチル3-メトキシプロピオネート、エチル3-エトキシプロピオネート、プロピレングリコールメチルエーテルプロピオネート、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、シクロヘキサノン及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)からなる群より選ばれる1種以上である。   Examples of the low boiling point solvent include diethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, dipropylene glycol dimethyl ether, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, propylene glycol methyl ether propionate, diethylene glycol One or more selected from the group consisting of propylene glycol dimethyl ether, cyclohexanone and propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA).

前記低沸点溶媒は、例えば、ポリイミド樹脂の製造のためのモノマー100重量部に対し20〜2000重量部で含まれる。   The low boiling point solvent is included, for example, in an amount of 20 to 2000 parts by weight with respect to 100 parts by weight of a monomer for producing a polyimide resin.

本発明の方法によれば、前記ポリイミドは、ポリアミド酸前駆体の製造段階を経ず、直接ポリイミド樹脂を製造することができる。   According to the method of the present invention, the polyimide can directly produce a polyimide resin without passing through the production step of the polyamic acid precursor.

前記ポリイミド樹脂は、沸点60〜100℃の触媒存在下で製造することができる。   The polyimide resin can be produced in the presence of a catalyst having a boiling point of 60 to 100 ° C.

前記触媒は、例えば、N,N-ジエチルメチルアミン、N,N-ジメチルイソプロピルアミン、N-メチルピロリジン(N-Methylpyrrolidine)、ピロリジン(pyrrolidine)、及びトリエチルアミンからなる群より選ばれる1種以上である。   The catalyst is at least one selected from the group consisting of N, N-diethylmethylamine, N, N-dimethylisopropylamine, N-methylpyrrolidine, pyrrolidine, and triethylamine, for example. .

前記触媒は、例えば、ポリイミド樹脂の出発原料のジアミンと二無水物100重量部に対し0.5〜30重量部で含まれる。   The catalyst is included, for example, in an amount of 0.5 to 30 parts by weight with respect to 100 parts by weight of diamine and dianhydride as starting materials for polyimide resin.

本発明の方法によれば、前記重合は、120〜200℃の温度で行うことができる。   According to the method of the present invention, the polymerization can be performed at a temperature of 120 to 200 ° C.

前記ポリイミド樹脂は、
例えば、
及び3,5-ジアミノベンゾ酸から由来する2価の有機基などフェノール性水酸基、カルボキシル基又は水酸基を含む2価の有機基からなる群より選ばれる1種以上の芳香族ジアミン;p-フェニレンジアミン、m-フェニレンジアミン、2,4,6-トリメチル-1,3-フェニレンジアミン、2,3,5,6-テトラメチル-1,4-フェニレンジアミン、4,4'-ジアミノジフェニルエーテル、3,4'-ジアミノジフェニルエーテル、3,3'-ジアミノジフェニルエーテル、4,4'-ジアミノジフェニルスルフィド、4,4'-ジアミノジフェニルメタン、3,4'-ジアミノジフェニルメタン、3,3'-ジアミノジフェニルメタン、4,4'-メチレン-ビス(2-メチルアニリン)、4,4'-メチレン-ビス(2,6-ジメチルアニリン)、4,4'-メチレン-ビス(2,6-ジエチルアニリン)、4,4'-メチレン-ビス(2-イソプロピル-6-メチルアニリン)、4,4'-メチレン-ビス(2,6-ジイソプロピルアニリン)、4,4'-ジアミノジフェニルスルホン、3,3'-ジアミノジフェニルスルホン、ベンジジン、o-トリジン、m-トリジン、3,3',5,5'-テトラメチルベンジジン、2,2'-ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン、1,4-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、及び2,2-ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]プロパンからなる群より選ばれる1種以上の芳香族ジアミン;1,6-ヘキサンジアミン、1,4-シクロヘキサンジアミン、1,3-シクロヘキサンジアミン、1,4-ビス(アミノメチル)シクロヘキサン、1,3-ビス(アミノメチル)シクロヘキサン、4,4'-ジアミノジシクロヘキシルメタン、及び4,4'-ジアミノ-3,3'-ジメチルジシクロヘキシルメタン及び4,4'-ジアミノ-3,3'-ジメチルジシクロヘキシルメタン、1,2-ビス-(2-アミノエトキシ)エタン、ビス(3-アミノプロピル)エーテル、1,4-ビス(3-アミノプロピル)ピペラジン、3,9-ビス(3-アミノプロピル)-2,4,8,10-テトラオキサスピロ[5.5]ウンデカン、1,3-ビス(3-アミノプロピル)テトラメチルジシロキサンからなる群より選ばれる1種以上の脂肪族ジアミンからなる群より選ばれる1種以上のジアミンを出発原料として用いることができる。
The polyimide resin is
For example,
And one or more aromatic diamines selected from the group consisting of dihydric organic groups such as divalent organic groups derived from 3,5-diaminobenzoic acid, such as phenolic hydroxyl groups, carboxyl groups or hydroxyl groups; p-phenylenediamine M-phenylenediamine, 2,4,6-trimethyl-1,3-phenylenediamine, 2,3,5,6-tetramethyl-1,4-phenylenediamine, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 3,4 '-Diaminodiphenyl ether, 3,3'-diaminodiphenyl ether, 4,4'-diaminodiphenyl sulfide, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 3,4'-diaminodiphenylmethane, 3,3'-diaminodiphenylmethane, 4,4' -Methylene-bis (2-methylaniline), 4,4'-methylene-bis (2,6-dimethylaniline), 4,4'-methylene-bis (2,6-diethylaniline), 4,4'- Tylene-bis (2-isopropyl-6-methylaniline), 4,4'-methylene-bis (2,6-diisopropylaniline), 4,4'-diaminodiphenylsulfone, 3,3'-diaminodiphenylsulfone, benzidine O-tolidine, m-tolidine, 3,3 ′, 5,5′-tetramethylbenzidine, 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, , 3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl ] One or more aromatics selected from the group consisting of sulfone, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, and 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] propane Group diamine; 1,6-hexanediamine, 1, -Cyclohexanediamine, 1,3-cyclohexanediamine, 1,4-bis (aminomethyl) cyclohexane, 1,3-bis (aminomethyl) cyclohexane, 4,4'-diaminodicyclohexylmethane, and 4,4'-diamino- 3,3′-dimethyldicyclohexylmethane and 4,4′-diamino-3,3′-dimethyldicyclohexylmethane, 1,2-bis- (2-aminoethoxy) ethane, bis (3-aminopropyl) ether, 4-Bis (3-aminopropyl) piperazine, 3,9-bis (3-aminopropyl) -2,4,8,10-tetraoxaspiro [5.5] undecane, 1,3-bis (3-amino One or more diamines selected from the group consisting of one or more aliphatic diamines selected from the group consisting of (propyl) tetramethyldisiloxane can be used as starting materials.

前記ポリイミド樹脂は、例えば、無水ピロメリット酸、3,3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ブタン-1,2,3,4-テトラカルボン酸二無水物、3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3',4,4'-ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、3,3',4,4'-ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、2,2-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロイソプロピリデン二無水物、3,3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、4,4'-ヘキサフルオロイソプロピリデンジフタル酸無水物、3,3',4,4'-ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4-シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2-ジメチル-1,2,3,4-シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4-テトラメチル-1,2,3,4-シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4-シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5-シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、3,4-ジカルボキシ-1,2,3,4-テトラヒドロ-1-ナフタレンコハク酸二無水物、5-(2,5-ジオキソテトラヒドロフリル)-3-メチル-3-シクロヘキセン-1,2-ジカルボン酸二無水物、2,3,5-トリカルボキシ-2-シクロペンタン酢酸二無水物、ビシクロ[2.2.2]オクト-7-エン-2,3,5,6-テトラカルボン酸二無水物、2,3,4,5-テトラヒドロフランテトラカルボン酸二無水物及び3,5,6-トリカルボキシ-2-ノルボルナン酢酸二無水物からなる群より選ばれる1種以上の酸無水物及びその誘導体からなる群より選ばれる1種以上の二無水物を出発原料として用いることができる。   Examples of the polyimide resin include pyromellitic anhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, butane-1,2,3,4-tetracarboxylic dianhydride, and 3,3. ', 4,4'-Benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ', 4,4'-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) hexafluoroisopropylidene dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4 '-Benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 4,4'-hexafluoroisopropylidene diphthalic anhydride, 3,3', 4,4'-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, 1,2,3, 4-Cyclobutanetetracarboxylic dianhydride, 1,2-dimethyl-1,2,3,4-si Clobutanetetracarboxylic dianhydride 1,2,3,4-tetramethyl-1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride 1,2,3,4-cyclopentanetetracarboxylic dianhydride Anhydride, 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride, 3,4-dicarboxy-1,2,3,4-tetrahydro-1-naphthalene succinic dianhydride, 5- (2, 5-Dioxotetrahydrofuryl) -3-methyl-3-cyclohexene-1,2-dicarboxylic dianhydride, 2,3,5-tricarboxy-2-cyclopentaneacetic dianhydride, bicyclo [2.2. 2] Oct-7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride, 2,3,4,5-tetrahydrofurantetracarboxylic dianhydride and 3,5,6-tricarboxy-2- From the group consisting of one or more acid anhydrides selected from the group consisting of norbornane acetic dianhydride and derivatives thereof One or more dianhydrides Bareru can be used as a starting material.

本発明は、前記の他の目的を達成するために、沸点130〜180℃の低沸点溶媒を用いて製造されたポリイミド樹脂を提供することができる。   The present invention can provide a polyimide resin produced using a low boiling point solvent having a boiling point of 130 to 180 ° C. in order to achieve the other object.

前記ポリイミドのガラス移転温度は150〜400℃であることが望ましい。   The glass transition temperature of the polyimide is preferably 150 to 400 ° C.

前記ポリイミド樹脂の重量平均分子量は1,000〜100,000であることが望ましい。   The polyimide resin preferably has a weight average molecular weight of 1,000 to 100,000.

前記ポリイミド樹脂中の残留触媒量は、ポリイミド樹脂の総重量に対し0.001〜0.1重量%であることが望ましい。   The amount of residual catalyst in the polyimide resin is preferably 0.001 to 0.1% by weight with respect to the total weight of the polyimide resin.

本発明は、前記の又他の目的を達成するために、前記のような方法により製造されたポリイミド樹脂を含んだ低温硬化が可能な感光性樹脂組成物を提供することができる。   In order to achieve the above and other objects, the present invention can provide a photosensitive resin composition that can be cured at a low temperature and includes a polyimide resin produced by the method as described above.

前記感光性樹脂組成物は150〜250℃で硬化が可能であることを特徴とする。   The photosensitive resin composition can be cured at 150 to 250 ° C.

前記感光性樹脂組成物は、硬化後、感光性樹脂組成物中に残留溶媒が存在しないことを特徴とする。   The photosensitive resin composition is characterized in that no residual solvent is present in the photosensitive resin composition after curing.

また、前記感光性樹脂組成物は、硬化後、感光性樹脂組成物中に残留溶媒が0.05重量%未満であることを特徴とする。   The photosensitive resin composition is characterized in that after curing, the residual solvent in the photosensitive resin composition is less than 0.05% by weight.

前記感光性樹脂組成物を用いた感光膜は、予備焼成(prebake)後、EBR solvent(edge bead removal solvent)により除去することができるという特徴がある。   The photosensitive film using the photosensitive resin composition is characterized in that it can be removed by EBR solvent (edge bead removable solvent) after pre-baking.

前記感光性樹脂組成物は、ドレインの混用時、沈殿の発生なく溶解されるという特徴がある。   The photosensitive resin composition is characterized in that it is dissolved without precipitation when drain is mixed.

又、本発明は、前記の方法により製造されたポリイミド樹脂を含むプリント用インク組成物を提供することができる。   Moreover, this invention can provide the ink composition for printing containing the polyimide resin manufactured by the said method.

本発明は、前記又他の目的を達成するために、前記の方法により製造されたポリイミド樹脂を含むプリント用インク組成物を提供することができる。   In order to achieve the above and other objects, the present invention can provide a printing ink composition containing a polyimide resin produced by the above method.

又、本発明は、前記感光性樹脂組成物を含んで製造されるOLED、LCD又は半導体絶縁膜を提供することができる。   In addition, the present invention can provide an OLED, an LCD, or a semiconductor insulating film manufactured by including the photosensitive resin composition.

又、前記プリンティング用インク組成物を含んで製造されるOLED、LCD又は半導体絶縁膜を提供することができる。   In addition, it is possible to provide an OLED, an LCD, or a semiconductor insulating film manufactured by including the printing ink composition.

本発明によれば、低沸点溶媒を用いてポリイミド前駆体のポリアミド酸の製造段階を含まず、直接ポリイミド樹脂の製造が可能である。   According to the present invention, a polyimide resin can be directly produced by using a low boiling point solvent without including a production step of a polyamic acid as a polyimide precursor.

また、このように製造されたポリイミド樹脂は、低温でも硬化が可能であるため、電子材料として用いられる場合、高温工程による装備の損傷などを最小化することができ、且つプラスチック基板などにも用いることができるため、電子材料としてより幅広く使用できる。   In addition, since the polyimide resin manufactured in this way can be cured even at a low temperature, when used as an electronic material, damage to equipment due to a high-temperature process can be minimized, and also used for a plastic substrate or the like. Therefore, it can be used more widely as an electronic material.

なお、本発明の製造方法によるポリイミド樹脂は、十分な機械的強度を有し、且つ加工性に優れ、生産効率が高いので、様々なディスプレイの感光性樹脂組成物のみならず、プリント用インク組成物などにも使用が可能であるという利点がある。   The polyimide resin produced by the production method of the present invention has sufficient mechanical strength, excellent workability, and high production efficiency. Therefore, not only photosensitive resin compositions for various displays but also printing ink compositions. There is an advantage that it can be used for things.

本発明に係るポリイミド樹脂は、感光性樹脂組成物に含まれて電子材料の感光膜として用いられる場合、予備焼成後、EBR solventにより低い温度でも容易に除去することができる。   When the polyimide resin according to the present invention is contained in a photosensitive resin composition and used as a photosensitive film of an electronic material, it can be easily removed even at a low temperature by EBR solvent after preliminary baking.

なお、本発明に係るポリイミド樹脂を含む感光性樹脂組成物は、ドレインの混用時、沈殿の発生なく溶解されるという特徴がある。   In addition, the photosensitive resin composition containing the polyimide resin which concerns on this invention has the characteristics that it melt | dissolves without generation | occurrence | production of precipitation at the time of mixing of a drain.

本発明の実施例による感光性樹脂組成物の硬化後の残留溶媒量の分析グラフである。It is an analysis graph of the amount of residual solvents after hardening of the photosensitive resin composition by the Example of this invention. 本発明の比較例による感光性樹脂組成物の硬化後の残留溶媒量の分析グラフである。It is an analysis graph of the amount of residual solvents after hardening of the photosensitive resin composition by the comparative example of this invention.

以下、本実施形態をより詳しく説明する。本明細書で使用された用語は特定の実施例を説明するために用いられ、本発明を制限するものではない。本明細書で使用されているように、単数形態は、文脈上特定ケースをはっきり指摘するものでなければ、複数形態を含むことができる。   Hereinafter, this embodiment will be described in more detail. The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments and is not intended to be limiting of the invention. As used herein, the singular forms may include the plural forms unless the context clearly indicates a particular case.

また、本明細書で使用される「含む(comprise、comprising)」は、言及した形状、数字、段階、動作、部材、要素および/または、これらのグループの存在を特定するものであり、一つ以上の他の形状、数字、動作、部材、要素および/または、グループの存在若しくは付加を排除するものではない。   Also, as used herein, “comprising” is to identify the presence of the mentioned shape, number, step, action, member, element and / or group thereof, It does not exclude the presence or addition of other shapes, numbers, actions, members, elements and / or groups.

本実施形態は、ジアミンと二無水物とを反応させてポリイミド樹脂を製造するにおいて、沸点が低い特定触媒と溶媒を用いることにより、低温硬化が可能なのみでなく、可溶性のポリイミド樹脂を製造することができる。   In the present embodiment, when a polyimide resin is produced by reacting diamine and dianhydride, by using a specific catalyst and a solvent having a low boiling point, not only low-temperature curing is possible, but also a soluble polyimide resin is produced. be able to.

本実施形態のポリイミド樹脂は、従来のようにジアミンと二無水物(dianhydride)からポリアミド酸前駆体を製造し、これを高温硬化させてポリイミドフィルムに製造するものではなく、前記ジアミンと二無水物から直接ポリイミド樹脂を製造するものである。   The polyimide resin of this embodiment is not a polyamic acid precursor produced from a diamine and a dianhydride as in the prior art, and is cured at a high temperature to produce a polyimide film. The polyimide resin is produced directly from

これは、本実施形態において、低温でもポリイミド樹脂の合成を可能にするために、沸点130〜180℃の低沸点の溶媒を用いることに特徴がある。   This is characterized in that a low boiling point solvent having a boiling point of 130 to 180 ° C. is used in this embodiment in order to enable the synthesis of the polyimide resin even at a low temperature.

通常、ポリイミド樹脂の合成は、ポリアミド酸前駆体を製造し、これを320℃ 以上の高温で硬化させることにより製造した。しかしながら、本実施形態では、ポリアミド酸前駆体の段階を経ず、直接ポリイミド樹脂に製造するが、従来よりさらに低い温度でポリイミド樹脂を合成するために上述のように低沸点溶媒を用いる。   Usually, the synthesis | combination of the polyimide resin manufactured the polyamic-acid precursor, and manufactured this by making it harden at the high temperature of 320 degreeC or more. However, in the present embodiment, the polyimide resin is directly produced without passing through the polyamic acid precursor stage, but a low-boiling solvent is used as described above in order to synthesize the polyimide resin at a temperature lower than the conventional one.

上述のように、沸点130〜180℃の低沸点の溶媒の具体的な例としては、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、メチル3-メトキシプロピオネート、エチル3-エトキシプロピオネート、プロピレングリコールメチルエーテルプロピオネート、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、シクロヘキサノン及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)等からなる群より選ばれる1種以上であるか、若しくは前記温度範囲の沸点を有する低沸点の溶媒であれば良く、これに限定されない。   As described above, specific examples of the low boiling point solvent having a boiling point of 130 to 180 ° C. include diethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, dipropylene glycol dimethyl ether, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3 -One or more selected from the group consisting of ethoxypropionate, propylene glycol methyl ether propionate, dipropylene glycol dimethyl ether, cyclohexanone and propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA), or the boiling point of the above temperature range Any low boiling point solvent may be used, and the present invention is not limited to this.

本実施形態に係る溶媒の沸点が130℃未満である場合は、ポリイミドの作製において十分なエネルギーにならず転換率が低下する可能性があり、また、溶媒の沸点が180℃を超える場合は、硬化時にこれより高い200℃以上の温度を加えなければ溶媒が残留してしまうことから、硬化温度を低くし難いという問題があるため望ましくない。   When the boiling point of the solvent according to this embodiment is less than 130 ° C., there is a possibility that the conversion rate is lowered without sufficient energy in the production of polyimide, and when the boiling point of the solvent exceeds 180 ° C., Since the solvent remains unless a higher temperature of 200 ° C. or higher is applied during curing, it is not desirable because there is a problem that it is difficult to lower the curing temperature.

前記低沸点溶媒は、ジアミンと二無水物とを含んだ総モノマー100重量部に対し20〜2000重量部、望ましくは100〜1000重量部、最も望ましくは200〜400重量部で含まれ、前記溶媒の含有量が20重量部未満である場合は、ポリイミドを十分に溶解できなく、2000重量部を超える場合は、基板に塗布する時に十分な厚さの塗膜が形成できないという問題があるため望ましくない。   The low boiling point solvent may be included in an amount of 20 to 2000 parts by weight, preferably 100 to 1000 parts by weight, and most preferably 200 to 400 parts by weight based on 100 parts by weight of the total monomer containing diamine and dianhydride. If the content is less than 20 parts by weight, polyimide cannot be sufficiently dissolved, and if it exceeds 2000 parts by weight, there is a problem that a coating film having a sufficient thickness cannot be formed when applied to a substrate. Absent.

本実施形態では、前記ポリイミド樹脂の製造時、低沸点触媒を含むことができる。   In this embodiment, a low boiling point catalyst may be included during the production of the polyimide resin.

前記触媒は、低温でイミド化が可能であり、反応後に除去が容易な触媒であって、低沸点且つ高い反応性を有する触媒が望ましい。   The catalyst is preferably a catalyst that can be imidized at a low temperature and can be easily removed after the reaction, and has a low boiling point and high reactivity.

具体的に、前記触媒は、沸点が60〜120℃、 望ましくは70〜100℃、 最も望ましくは80〜90℃である。触媒の沸点が60℃未満に非常に低いと、重合途中に全て蒸発してしまい望ましくなく、また、120℃を超えると、反応終了後に反応性の大きい触媒が残留してしまい、組成物の製造時に副反応を起こす恐れがある。   Specifically, the catalyst has a boiling point of 60 to 120 ° C, desirably 70 to 100 ° C, and most desirably 80 to 90 ° C. When the boiling point of the catalyst is very low below 60 ° C., it is undesirable to evaporate all during polymerization, and when it exceeds 120 ° C., a highly reactive catalyst remains after completion of the reaction, thereby producing a composition. May cause side reactions.

本実施形態に係る前記触媒の具体的な例としては、N,N-ジエチルメチルアミン、N,N-ジメチルイソプロピルアミン、N-メチルピロリジン(N-Methylpyrrolidine)、ピロリジン(pyrrolidine)及びトリエチルアミンからなる群より選ばれる1種以上であるが、これに限定されない。   Specific examples of the catalyst according to the embodiment include N, N-diethylmethylamine, N, N-dimethylisopropylamine, N-methylpyrrolidine, pyrrolidine, and triethylamine. Although it is 1 or more types chosen from more, it is not limited to this.

前記触媒は、ポリイミド樹脂の合成に用いられる前記ジアミンと二無水物とを含んだ総モノマー100重量部に対し0.5〜30重量部、望ましくは2〜20重量部、最も望ましくは5〜10重量部で含まれ、前記触媒の含有量が0.5重量部未満である場合は、触媒量が足りずポリイミドへの転換率が低下し、30重量部を超える場合は、未反応触媒の残留による付加反応が起きる可能性があるため、望ましくない。   The catalyst is 0.5 to 30 parts by weight, preferably 2 to 20 parts by weight, most preferably 5 to 10 parts by weight based on 100 parts by weight of the total monomer containing the diamine and dianhydride used for the synthesis of the polyimide resin. When the content of the catalyst is less than 0.5 parts by weight, the amount of catalyst is insufficient and the conversion rate to polyimide decreases, and when it exceeds 30 parts by weight, residual unreacted catalyst remains. This is not desirable because of the possibility of an addition reaction due to.

また、本実施形態のポリイミド樹脂に用いられるモノマーのジアミンと二無水物とは、通常のポリイミド樹脂の製造時に用いられるものであれば特に限定されなく、ただし、所定の用途に応じて選択して用いることができる。   Further, the diamine and dianhydride of the monomer used in the polyimide resin of the present embodiment are not particularly limited as long as they are used at the time of production of a normal polyimide resin, but are selected according to a predetermined use. Can be used.

例えば、酸無水物又はその誘導体としては、無水ピロメリット酸、3,3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ブタン-1,2,3,4-テトラカルボン酸二無水物、3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3',4,4'-ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、3,3',4,4'-ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、2,2-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロイソプロピリデン二無水物、3,3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、4,4'-ヘキサフルオロイソプロピリデンジフタル酸無水物、3,3',4,4'-ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4-シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2-ジメチル-1,2,3,4-シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4-テトラメチル-1,2,3,4-シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4-シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5-シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、3,4-ジカルボキシ-1,2,3,4-テトラヒドロ-1-ナフタレンコハク酸二無水物、5-(2,5-ジオキソテトラヒドロフリル)-3-メチル-3-シクロヘキセン-1,2-ジカルボン酸二無水物、2,3,5-トリカルボキシ-2-シクロペンタン酢酸二無水物、ビシクロ[2.2.2]オクト-7-エン-2,3,5,6-テトラカルボン酸二無水物、2,3,4,5-テトラヒドロフランテトラカルボン酸二無水物、及び3,5,6-トリカルボキシ-2-ノルボルナン酢酸二無水物からなる群より選ばれる1種以上の酸無水物及びその誘導体が挙げられる。   For example, acid anhydrides or derivatives thereof include pyromellitic anhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, butane-1,2,3,4-tetracarboxylic dianhydride 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfonetetra Carboxylic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) hexafluoroisopropylidene dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′ 4,4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 4,4'-hexafluoroisopropylidene diphthalic anhydride, 3,3 ', 4,4'-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, 2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride, 1,2-dimethyl-1, 2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-tetramethyl-1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-cyclo Pentanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride, 3,4-dicarboxy-1,2,3,4-tetrahydro-1-naphthalene succinic dianhydride, 5- (2,5-dioxotetrahydrofuryl) -3-methyl-3-cyclohexene-1,2-dicarboxylic dianhydride, 2,3,5-tricarboxy-2-cyclopentaneacetic acid dianhydride, bicyclo [2.2.2] Oct-7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride, 2,3,4,5-tetrahydrofuran tetracarboxylic dianhydride, and 3,5,6 One or more acid anhydrides selected from the group consisting of 2-tricarboxy-2-norbornaneacetic acid dianhydride and derivatives thereof, It is below.

前記ジアミンとしては、芳香族及び脂肪族ジアミンを用いることができ、ジアミン化合物の具体的な例としては、
及び3,5-ジアミノベンゾ酸から由来する2価の有機基などフェノール性水酸基、カルボキシル基又は水酸基を含む2価の有機基からなる群より選ばれる1種以上の芳香族ジアミン;p-フェニレンジアミン、m-フェニレンジアミン、2,4,6-トリメチル-1,3-フェニレンジアミン、2,3,5,6-テトラメチル-1,4-フェニレンジアミン、4,4'-ジアミノジフェニルエーテル、3,4'-ジアミノジフェニルエーテル、3,3'-ジアミノジフェニルエーテル、4,4'-ジアミノジフェニルスルフィド、4,4'-ジアミノジフェニルメタン、3,4'-ジアミノジフェニルメタン、3,3'-ジアミノジフェニルメタン、4,4'-メチレン-ビス(2-メチルアニリン)、4,4'-メチレン-ビス(2,6-ジメチルアニリン)、4,4'-メチレン-ビス(2,6-ジエチルアニリン)、4,4'-メチレン-ビス(2-イソプロピル-6-メチルアニリン)、4,4'-メチレン-ビス(2,6-ジイソプロピルアニリン)、4,4'-ジアミノジフェニルスルホン、3,3'-ジアミノジフェニルスルホン、ベンジジン、o-トリジン、m-トリジン、3,3',5,5'-テトラメチルベンジジン、2,2'-ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン、1,4-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、及び2,2-ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]プロパンからなる群より選ばれる1種以上の芳香族ジアミン;1,6-ヘキサンジアミン、1,4-シクロヘキサンジアミン、1,3-シクロヘキサンジアミン、1,4-ビス(アミノメチル)シクロヘキサン、1,3-ビス(アミノメチル)シクロヘキサン、4,4'-ジアミノジシクロヘキシルメタン、及び4,4'-ジアミノ-3,3'-ジメチルジシクロヘキシルメタン4,4'-ジアミノ-3,3'-ジメチルジシクロヘキシルメタン、1,2-ビス-(2-アミノエトキシ)エタン、ビス(3-アミノプロピル)エーテル、1,4-ビス(3-アミノプロピル)ピペラジン、3,9-ビス(3-アミノプロピル)-2,4,8,10-テトラオキサスピロ[5.5]-ウンデカン、1,3-ビス(3-アミノプロピル)テトラメチルジシロキサンからなる群より選ばれる1種以上の脂肪族ジアミンが挙げられ、前記芳香族及び脂肪族ジアミンを混合して用いることができるが、これに限定されるのではない。
Aromatic and aliphatic diamines can be used as the diamine, and specific examples of the diamine compound include:
And one or more aromatic diamines selected from the group consisting of dihydric organic groups such as divalent organic groups derived from 3,5-diaminobenzoic acid, such as phenolic hydroxyl groups, carboxyl groups or hydroxyl groups; p-phenylenediamine M-phenylenediamine, 2,4,6-trimethyl-1,3-phenylenediamine, 2,3,5,6-tetramethyl-1,4-phenylenediamine, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 3,4 '-Diaminodiphenyl ether, 3,3'-diaminodiphenyl ether, 4,4'-diaminodiphenyl sulfide, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 3,4'-diaminodiphenylmethane, 3,3'-diaminodiphenylmethane, 4,4' -Methylene-bis (2-methylaniline), 4,4'-methylene-bis (2,6-dimethylaniline), 4,4'-methylene-bis (2,6-diethylaniline), 4,4'- Tylene-bis (2-isopropyl-6-methylaniline), 4,4'-methylene-bis (2,6-diisopropylaniline), 4,4'-diaminodiphenylsulfone, 3,3'-diaminodiphenylsulfone, benzidine O-tolidine, m-tolidine, 3,3 ′, 5,5′-tetramethylbenzidine, 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, , 3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl ] One or more aromatics selected from the group consisting of sulfone, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, and 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] propane Group diamine; 1,6-hexanediamine, 1, -Cyclohexanediamine, 1,3-cyclohexanediamine, 1,4-bis (aminomethyl) cyclohexane, 1,3-bis (aminomethyl) cyclohexane, 4,4'-diaminodicyclohexylmethane, and 4,4'-diamino- 3,3′-dimethyldicyclohexylmethane 4,4′-diamino-3,3′-dimethyldicyclohexylmethane, 1,2-bis- (2-aminoethoxy) ethane, bis (3-aminopropyl) ether, 1,4 -Bis (3-aminopropyl) piperazine, 3,9-bis (3-aminopropyl) -2,4,8,10-tetraoxaspiro [5.5] -undecane, 1,3-bis (3-amino One or more aliphatic diamines selected from the group consisting of (propyl) tetramethyldisiloxane can be mentioned, and the aromatic and aliphatic diamines can be used in a mixed manner, but are not limited thereto.

一方、本実施形態に係るポリイミド樹脂の重合は、120〜200℃、望ましくは130〜180℃、最も望ましくは140〜160℃の低い温度で行うことができる。 上述のような過程でポリイミドを製造する場合、重合時、転換率は90〜100%であり、ポリイミド樹脂中の残留触媒量は、総ポリイミド樹脂中に0.001〜0.1重量%であることが望ましい。   On the other hand, the polymerization of the polyimide resin according to this embodiment can be performed at a low temperature of 120 to 200 ° C., desirably 130 to 180 ° C., most desirably 140 to 160 ° C. When the polyimide is produced in the above-described process, the conversion is 90 to 100% at the time of polymerization, and the residual catalyst amount in the polyimide resin is 0.001 to 0.1% by weight in the total polyimide resin. It is desirable.

本実施形態に係る前記ポリイミドの製造方法は、比較的低い温度で重合するにもかかわらず、転換率が高く、最終製造されたポリイミド樹脂中の残留触媒量が少ないことが確認できるため、これから本実施形態に係る製造方法によりポリイミド樹脂を効果的に製造できることが分かる。   The method for producing the polyimide according to the present embodiment can confirm that the conversion rate is high and the amount of residual catalyst in the final produced polyimide resin is small despite polymerization at a relatively low temperature. It can be seen that the polyimide resin can be effectively produced by the production method according to the embodiment.

このような一連の過程により製造された本実施形態に係るポリイミド樹脂は、150〜250℃の温度範囲で低温硬化が可能であり、可溶性である。   The polyimide resin according to the present embodiment manufactured through such a series of processes can be cured at a low temperature in a temperature range of 150 to 250 ° C. and is soluble.

これにより、従来、320℃以上の高温でのポリイミドの硬化による工程上の困難、及び熱に脆弱な工程には用いることはできないという問題、高温硬化を経ても前記ポリアミド酸前駆体溶液からポリイミド樹脂への低い転換率などの問題を解決することができる。   As a result, the conventional process is difficult due to the curing of polyimide at a high temperature of 320 ° C. or higher, and the process cannot be used in a process that is vulnerable to heat, and the polyimide resin from the polyamic acid precursor solution even after high temperature curing. Can solve problems such as low conversion rate.

通常、ポリイミド樹脂は、溶媒に対する溶解度が極めて制限的であることで知られているのに対し、本実施形態により製造されたポリイミド樹脂は、溶解度が低い溶媒にも可溶性を有することができる。   In general, a polyimide resin is known to have extremely limited solubility in a solvent, whereas a polyimide resin manufactured according to the present embodiment can be soluble in a solvent having low solubility.

通常、ポリイミドは、溶解度が非常に低くて、可溶性を有するためには可溶性の機能を付与できるモノマーを導入しなければならない。この場合も極性が高い高沸点溶媒により容易に溶ける傾向がある。   Usually, a polyimide has a very low solubility, and in order to have solubility, a monomer capable of imparting a soluble function must be introduced. In this case as well, it tends to be easily dissolved by a high boiling point solvent having high polarity.

しかしながら、本実施形態に係る低温硬化型ポリイミドは、可溶特性に優れ、本実施形態に用いられる沸点が130〜180℃の溶媒のように低沸点溶媒に対して優れた可溶性を有する。   However, the low-temperature curable polyimide according to this embodiment has excellent solubility characteristics, and has excellent solubility in a low boiling point solvent such as a solvent having a boiling point of 130 to 180 ° C. used in this embodiment.

そのため、イミド環を作るために、塗布後、高温でイミド化させなくても良く、溶媒だけ除去すればポリイミド膜を得ることができる。また、既に化学的にイミド化させているため、高い転換率を有しており、イミド化されないポリアミド酸やポリアミド酸エステルから発生したout-gassingによって素子の信頼度が低下するという問題が生じない。特に、低沸点の溶媒を用いる場合は、溶媒の沸点に応じてその温度をより低くすることができ、低温工程が必要な素子工程に適用して既存のポリイミドのような高い機械的、熱的安全性を有する薄膜を形成できるという利点がある。   Therefore, in order to make an imide ring, it is not necessary to imidize at a high temperature after coating, and a polyimide film can be obtained by removing only the solvent. In addition, since it has already been chemically imidized, it has a high conversion rate, and there is no problem that the reliability of the device decreases due to out-gassing generated from a polyamic acid or a polyamic acid ester that is not imidized. . In particular, when a low-boiling solvent is used, the temperature can be lowered according to the boiling point of the solvent, and it can be applied to an element process that requires a low-temperature process. There is an advantage that a thin film having safety can be formed.

本実施形態に係る前記ポリイミド樹脂のガラス移転温度は、例えば150〜400℃である。また、前記ポリイミド樹脂は、1,000〜500,000、望ましくは5,000〜100,000の重量平均分子量を有する。   The glass transition temperature of the polyimide resin according to this embodiment is, for example, 150 to 400 ° C. The polyimide resin has a weight average molecular weight of 1,000 to 500,000, desirably 5,000 to 100,000.

前記のような方法により製造されたポリイミド樹脂を含む低温硬化が可能な感光性樹脂組成物を提供することができ、150〜250℃の低温で硬化が可能であるという特徴を有する。   A photosensitive resin composition that can be cured at a low temperature, including the polyimide resin produced by the method as described above, can be provided, and can be cured at a low temperature of 150 to 250 ° C.

また、本実施形態に係る前記感光性樹脂組成物は、硬化後、感光性樹脂組成物中の残留溶媒量が0.05重量%未満であり、より望ましくは、硬化後、感光性樹脂組成物中に残留溶媒が存在しない(0重量%)。   Further, in the photosensitive resin composition according to the present embodiment, after curing, the residual solvent amount in the photosensitive resin composition is less than 0.05% by weight, and more desirably, after curing, the photosensitive resin composition. There is no residual solvent in (0% by weight).

前記感光性樹脂組成物を用いた感光膜は、予備焼成後、EBR solventにより容易に除去できるという特徴がある。これは通常のポリイミドの重合に使用してはいないが、普通のフォトレジストには汎用のグリム(glyme)系溶媒、プロピオネート(propionate)、PGMEAなどの溶媒を用いて重合を行い汎用のEBR solventによって低い温度で除去が容易だという特徴がある。   A photosensitive film using the photosensitive resin composition is characterized in that it can be easily removed by EBR solvent after preliminary baking. This is not used for normal polyimide polymerization, but for ordinary photoresists, polymerization is performed using a general-purpose solvent such as a glyme solvent, propionate, or PGMEA, and a general-purpose EBR solvent is used. It is easy to remove at low temperatures.

したがって、その他の半導体ラインや、OLED、LCDなどのディスプレイラインにおいて、製造工程時、リワーク(rework)に使用する一般的な溶剤で除去が可能であり、ドレイン(drain)の混用時に発生する沈殿の発生なく溶解され、配管の詰まりなどを防ぐことができるという特徴がある。   Therefore, in other semiconductor lines and display lines such as OLEDs and LCDs, it can be removed with a common solvent used for rework during the manufacturing process, and precipitation that occurs when drains are mixed is used. It has a feature that it can be dissolved without being generated to prevent clogging of piping.

なお、プリンティング用組成物の場合、通常のポリミイドの重合に用いられるNMP、GBL、DMAc、DMFなどの溶媒は使用が不可能であるが、本実施形態のポリミイド樹脂は、このような溶媒を使用しないため、プリンティング用インク組成物に有利に用いることができる。   In the case of a printing composition, it is impossible to use a solvent such as NMP, GBL, DMAc, or DMF that is used for normal polymerization of a polymer, but the polymer resin of this embodiment uses such a solvent. Therefore, it can be advantageously used in a printing ink composition.

結論的に、本実施形態に係るポリイミド樹脂は、OLED、LCDを含んだ様々な電子材料の感光性樹脂組成物及びプリンティング用インク組成物のバインダー樹脂として用いることができるが、これに限定されるのではない。   In conclusion, the polyimide resin according to this embodiment can be used as a binder resin for photosensitive resin compositions and printing ink compositions of various electronic materials including OLEDs and LCDs, but is not limited thereto. Not.

したがって、本実施形態は、前記感光性樹脂組成物を含んで製造されたポリイミドフィルムや、前記プリンティング用インク組成物を含んで製造されるポリイミドフィルムを提供することができ、さらに、前記ポリイミドフィルムを用いて製造されるOLED、LCD又は半導体絶縁膜を提供することができる。   Therefore, the present embodiment can provide a polyimide film manufactured by including the photosensitive resin composition and a polyimide film manufactured by including the printing ink composition. An OLED, LCD or semiconductor insulating film manufactured using the same can be provided.

(実施の形態)
以下、本発明を実施例に基づいてより詳しく説明するが、本発明はこれらの実施例により限定されるものではない。
(Embodiment)
EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated in detail based on an Example, this invention is not limited by these Examples.

(実施例1:低温ポリイミドの重合例)
100ml丸底フラスコに2,2-ビス(3-アミノ-4-ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン12.1gとプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート60gとを順次投入し、ゆっくり撹はんして完全に溶解させた後、前記フラスコを水浴(water bath)で室温に維持しながら、3,3',4,4'-ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物10.2gをゆっくり添加した。前記混合溶液に11gのトルエンと4gのトリエチルアミンとを入れ、ディーンスターク蒸留装置(dean-stark distillation)により水を除去できるように設けた後、150℃で5時間還流させた。ディーン-スターク蒸留装置の水を除去した後、触媒の除去のために2時間追加還流させ、常温冷却して可溶性ポリイミド溶液を得ることができた。
(Example 1: Polymerization example of low-temperature polyimide)
To a 100 ml round bottom flask, 12.1 g of 2,2-bis (3-amino-4-hydroxyphenyl) hexafluoropropane and 60 g of propylene glycol monomethyl ether acetate were sequentially added, and slowly stirred until completely dissolved. Thereafter, 10.2 g of 3,3 ′, 4,4′-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride was slowly added while maintaining the flask at room temperature with a water bath. 11 g of toluene and 4 g of triethylamine were added to the mixed solution, and the mixture was provided so that water could be removed by a Dean-Stark distillation apparatus, and then refluxed at 150 ° C. for 5 hours. After removing water from the Dean-Stark distillation apparatus, the mixture was refluxed for 2 hours to remove the catalyst, and cooled at room temperature to obtain a soluble polyimide solution.

IRにてポリイミドの生成ピークを確認し、GPCにて測定された前記ポリイミド樹脂の重量平均分子量は40,000であり、多分散指数(Polydisperse index、PDI)は1.5であった。   The production peak of polyimide was confirmed by IR, and the weight average molecular weight of the polyimide resin measured by GPC was 40,000, and the polydispersity index (PDI) was 1.5.

(実施例2:低温ポリイミドの重合例)
100ml丸底フラスコに2,2-ビス(3-アミノ-4-ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン12.1gとプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート60gとを順次投入し、ゆっくり撹はんして完全に溶解させた後、前記フラスコを水浴で室温に維持しながら、ブタン-1,2,3,4-テトラカルボン酸二無水物6.5gをゆっくり添加した。前記混合溶液に11gのトルエンと4gのトリエチルアミンとを入れ、ディーン-スターク蒸留装置により水を除去できるように設けた後、150℃で5時間還流させた。ディーン-スターク蒸留装置の水を除去した後、触媒の除去のために2時間追加還流させ、常温冷却して可溶性ポリイミド溶液を得ることができた。
(Example 2: Polymerization example of low-temperature polyimide)
To a 100 ml round bottom flask, 12.1 g of 2,2-bis (3-amino-4-hydroxyphenyl) hexafluoropropane and 60 g of propylene glycol monomethyl ether acetate were sequentially added, and slowly stirred until completely dissolved. Thereafter, 6.5 g of butane-1,2,3,4-tetracarboxylic dianhydride was slowly added while maintaining the flask at room temperature with a water bath. 11 g of toluene and 4 g of triethylamine were added to the mixed solution, and the mixture was provided so that water could be removed by a Dean-Stark distillation apparatus, and then refluxed at 150 ° C. for 5 hours. After removing water from the Dean-Stark distillation apparatus, the mixture was refluxed for 2 hours to remove the catalyst, and cooled at room temperature to obtain a soluble polyimide solution.

IRにてポリイミドの生成ピークを確認し、GPCにて測定された前記ポリイミド樹脂の重量平均分子量は35,000であり、多分散指数は1.7であった。   The production peak of polyimide was confirmed by IR, and the weight average molecular weight of the polyimide resin measured by GPC was 35,000, and the polydispersity index was 1.7.

(比較例1:高温ポリイミドの重合例)
100ml丸底フラスコに2,2-ビス(3-アミノ-4-ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン12.1gとγ-ブチロラクトン60gとを順次投入し、ゆっくり撹はんして完全に溶解させた後、前記フラスコを水浴で室温に維持しながら、3,3',4,4'-ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物10.2gをゆっくり添加した。前記混合溶液を16時間室温で撹はんした後、7gのトルエンを入れ、ディーン-スタークにより水を除去できるように設けた後、180℃で3時間還流させた。ディーン-スターク蒸留装置の水を除去した後、触媒の除去のために2時間追加還流させ、常温冷却して可溶性ポリイミド溶液を得ることができた。
(Comparative example 1: Polymerization example of high temperature polyimide)
Into a 100 ml round bottom flask, 12.1 g of 2,2-bis (3-amino-4-hydroxyphenyl) hexafluoropropane and 60 g of γ-butyrolactone were sequentially added, and stirred slowly until completely dissolved. While maintaining the flask at room temperature with a water bath, 10.2 g of 3,3 ′, 4,4′-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride was slowly added. After stirring the mixed solution for 16 hours at room temperature, 7 g of toluene was added, and water was removed by Dean-Stark, followed by refluxing at 180 ° C. for 3 hours. After removing water from the Dean-Stark distillation apparatus, the mixture was refluxed for 2 hours to remove the catalyst, and cooled at room temperature to obtain a soluble polyimide solution.

IRにてポリイミドの生成ピークを確認し、GPCにて測定された前記ポリイミド樹脂の重量平均分子量は40,000であり、多分散指数は1.6であった。   The formation peak of polyimide was confirmed by IR, and the weight average molecular weight of the polyimide resin measured by GPC was 40,000, and the polydispersity index was 1.6.

(比較例2:ポリイミド前駆体の重合例)
1Lの丸底ジャケット反応器に4,4'-オキシジアニリン73.3g及びγ-ブチロラクトン300gとを順次投入し、ゆっくり撹はんして完全に溶解させた後、反応器のジャケット温度を20℃に維持しながら、3,3',4,4'-ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物55.8gをゆっくり添加して撹はんさせた。前記混合溶液を2時間撹はんして十分に反応させた後、16時間室温でさらに撹はんさせ、ポリアミド酸を製造した。IRにてポリアミド酸の生成ピークを確認し、GPCにて測定された前記ポリイミド樹脂の重量平均分子量は50,000であり、多分散指数は1.6であった。
(Comparative example 2: Polymerization example of polyimide precursor)
After sequentially charging 73.3 g of 4,4′-oxydianiline and 300 g of γ-butyrolactone into a 1 L round bottom jacketed reactor, the mixture was slowly stirred and completely dissolved, and then the jacket temperature of the reactor was adjusted to 20%. While maintaining the temperature at 5 ° C., 55.8 g of 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride was slowly added and stirred. The mixed solution was stirred for 2 hours to sufficiently react and then further stirred at room temperature for 16 hours to produce polyamic acid. The formation peak of polyamic acid was confirmed by IR, and the weight average molecular weight of the polyimide resin measured by GPC was 50,000, and the polydispersity index was 1.6.

(実験例1)
1. イミド化率の評価
- 120℃、4分間プレベーク(prebake)した後、250℃、1時間ハードベーク(hardbake)し、それぞれの場合のFT-IRを用いて測定した。
- 各試料の300℃、1時間硬化試料のCN bandの積分値を転換率100%と仮定し、各硬化条件で硬化した試料のCN bandの積分値によりイミド化率を確認した。
(Experiment 1)
1. Evaluation of imidization rate
-Prebaked at 120 ° C for 4 minutes, then hardbaked at 250 ° C for 1 hour, and measured using FT-IR in each case.
-The integrated value of CN band of each sample cured at 300 ° C for 1 hour was assumed to be a conversion rate of 100%, and the imidization rate was confirmed by the integrated value of CN band of the sample cured under each curing condition.

前記表1の結果から、本実施形態の方法のように低温でポリイミド樹脂を直接製造した実施例1、2の場合、高温で製造した比較例1に比べイミド化率が同等に維持されるか、或いは、むしろ優れたことが分かる。   From the results in Table 1, in the case of Examples 1 and 2 in which polyimide resin was directly produced at a low temperature as in the method of the present embodiment, is the imidization rate maintained equivalent to that in Comparative Example 1 produced at high temperature? Or rather, it turns out to be excellent.

2. 残留触媒量の分析
:GC-MS分析による残留触媒量を定量分析し、結果は次の表2に示す。
2. Analysis of residual catalyst amount
: Quantitative analysis of residual catalyst amount by GC-MS analysis is shown in Table 2 below.

前記表2から、本実施形態のように低沸点触媒を用いる場合、ポリイミド樹脂中に残留する触媒量が比較例1に比べて顕著に減ったことが分かる。このような結果から、本実施形態の方法のようにポリイミド樹脂を製造することが効果的であることが分かる。   From Table 2, it can be seen that when a low-boiling point catalyst is used as in this embodiment, the amount of catalyst remaining in the polyimide resin is significantly reduced compared to Comparative Example 1. From such a result, it turns out that it is effective to manufacture a polyimide resin like the method of this embodiment.

(実施例3:感光性樹脂組成物の製造例(ポリイミド組成物))
前記実施例1で合成した溶解性ポリイミド1.6gに光活性化合物としてジアゾナフトキノンエステル化合物(TPPA 320:OD/(OD+OH)=2/3の比率によりOH及びODのうち選択的に与えられる。)0.5g、溶媒のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)4gを加えて室温で1時間撹はんさせた後、これを細孔の大きさ1μmのフィルターでろ過して感光性樹脂組成物を製造した。
(Example 3: Production example of photosensitive resin composition (polyimide composition))
A diazonaphthoquinone ester compound (1.6 mg of TPPA 320: OD / (OD + OH) = 2/3 is selectively given as a photoactive compound) to 1.6 g of the soluble polyimide synthesized in Example 1 above. 0.5 g and 4 g of propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA) as a solvent were added, and the mixture was stirred at room temperature for 1 hour, and then filtered through a filter having a pore size of 1 μm to produce a photosensitive resin composition. did.

(比較例3:感光性樹脂組成物の製造例(ポリイミド組成物))
前記比較例1で合成した溶解性ポリイミド1.6gに光活性化合物としてジアゾナフトキノンエステル化合物(TPPA 320:OD/(OD+OH)=2/3の比率によりOH及びODのうち選択的に与えられる。)0.5g、γ-ブチロラクトン(GHL)4gを加えて室温で1時間撹はんさせた後、これを細孔の大きさ1μmのフィルターでろ過して感光性樹脂組成物を製造した。
(Comparative Example 3: Production Example of Photosensitive Resin Composition (Polyimide Composition))
A diazonaphthoquinone ester compound (1.6 mg of TPPA 320: OD / (OD + OH) = 2/3 is selectively given as a photoactive compound) to 1.6 g of the soluble polyimide synthesized in Comparative Example 1) 0.5 g and 4 g of γ-butyrolactone (GHL) were added, and the mixture was stirred at room temperature for 1 hour, and then filtered through a filter having a pore size of 1 μm to produce a photosensitive resin composition.

(実験例2:残留溶媒量の分析)
:Purge&Trap-GC/MSD装備を利用して残留溶媒量を分析する。
基板に前記実施例3と比較例3の組成物を塗布した後、120℃で2分間プレベークし、200℃で1時間ハードベークして塗膜を形成した。前記塗膜を280℃でそれぞれ2時間後、3時間後、4時間後に捕集される溶媒量を分析して図1及び図2に示した。
(Experimental example 2: Analysis of residual solvent amount)
: Analyze residual solvent using a Charge & Trap-GC / MSD instrument.
After coating the composition of Example 3 and Comparative Example 3 on the substrate, it was pre-baked at 120 ° C. for 2 minutes and hard baked at 200 ° C. for 1 hour to form a coating film. The amount of the solvent collected in the coating film at 280 ° C. after 2 hours, 3 hours and 4 hours was analyzed and shown in FIGS.

図1は、実施例3による残留溶媒量の分析グラフであり、図2は、比較例3の残留溶媒量の分析グラフである。図1に示すように、実施例3の場合、残留溶媒によるピーク(peak)の発生がないことを確認でき、組成物の分解によるピークだけ確認された。反面、図2では、残留溶媒によるピークによりGBLのピークが280℃、4時間捕集時まで確認されていることが分かる。   FIG. 1 is an analysis graph of the amount of residual solvent according to Example 3, and FIG. 2 is an analysis graph of the amount of residual solvent according to Comparative Example 3. As shown in FIG. 1, in the case of Example 3, it was confirmed that there was no peak due to the residual solvent, and only the peak due to the decomposition of the composition was confirmed. On the other hand, in FIG. 2, it can be seen that the peak due to the residual solvent confirms the GBL peak at 280 ° C. for 4 hours.

Claims (23)

沸点130〜180℃の低沸点溶媒を用いたポリイミド樹脂を重合する段階を含むポリイミド樹脂の製造方法。   A method for producing a polyimide resin, comprising polymerizing a polyimide resin using a low boiling point solvent having a boiling point of 130 to 180 ° C. 前記低沸点溶媒は、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、メチル3-メトキシプロピオネート、エチル3-エトキシプロピオネート、プロピレングリコールメチルエーテルプロピオネート、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、シクロヘキサノン及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)からなる群より選ばれる1種以上であることを特徴とする請求項1に記載のポリイミド樹脂の製造方法。   The low boiling point solvent is diethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, dipropylene glycol dimethyl ether, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, propylene glycol methyl ether propionate, dipropylene glycol 2. The method for producing a polyimide resin according to claim 1, wherein the polyimide resin is one or more selected from the group consisting of dimethyl ether, cyclohexanone and propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA). 前記低沸点溶媒は、ポリイミド樹脂の製造のためのモノマー100重量部に対し20〜2000重量部で含まれることを特徴とする請求項1または2に記載のポリイミド樹脂の製造方法。   The method for producing a polyimide resin according to claim 1 or 2, wherein the low boiling point solvent is contained in an amount of 20 to 2000 parts by weight with respect to 100 parts by weight of a monomer for producing the polyimide resin. ポリアミド酸前駆体の製造段階を経ず、直接ポリイミド樹脂を製造することを特徴とする請求項1から3の何れか1項に記載のポリイミド樹脂の製造方法。   4. The method for producing a polyimide resin according to claim 1, wherein the polyimide resin is produced directly without passing through the production step of the polyamic acid precursor. 5. 前記ポリイミド樹脂は、沸点60〜100℃の触媒存在下で製造されることを特徴とする請求項1から4の何れか1項に記載のポリイミド樹脂の製造方法。   The said polyimide resin is manufactured in presence of a catalyst with a boiling point of 60-100 degreeC, The manufacturing method of the polyimide resin of any one of Claim 1 to 4 characterized by the above-mentioned. 前記触媒は、N,N-ジエチルメチルアミン、N,N-ジメチルイソプロピルアミン、N-メチルピロリジン(N-Methylpyyolidine)、ピロリジン(pyrrolidine)及びトリエチルアミンからなる群より選ばれる1種以上であることを特徴とする請求項5に記載のポリイミド樹脂の製造方法。   The catalyst is at least one selected from the group consisting of N, N-diethylmethylamine, N, N-dimethylisopropylamine, N-methylpyrrolidine, pyrrolidine, and triethylamine. The manufacturing method of the polyimide resin of Claim 5. 前記触媒は、ポリイミド樹脂の出発原料のジアミンと二無水物100重量部に対し0.5〜30重量部で含まれることを特徴とする請求項5または6に記載のポリイミド樹脂の製造方法。   The method for producing a polyimide resin according to claim 5 or 6, wherein the catalyst is contained in an amount of 0.5 to 30 parts by weight with respect to 100 parts by weight of diamine and dianhydride as starting materials for the polyimide resin. 前記重合は、120〜200℃の温度で行われる段階を含むことを特徴とする請求項1から7の何れか1項に記載のポリイミド樹脂の製造方法。   The method for producing a polyimide resin according to any one of claims 1 to 7, wherein the polymerization includes a step performed at a temperature of 120 to 200 ° C. 前記ポリイミド樹脂は、
及び3,5-ジアミノベンゾ酸から由来する2価の有機基などフェノール性水酸基、カルボキシル基又は水酸基を含む2価の有機基からなる群より選ばれる1種以上の芳香族ジアミン;p-フェニレンジアミン、m-フェニレンジアミン、2,4,6-トリメチル-1,3-フェニレンジアミン、2,3,5,6-テトラメチル-1,4-フェニレンジアミン、4,4'-ジアミノジフェニルエーテル、3,4'-ジアミノジフェニルエーテル、3,3'-ジアミノジフェニルエーテル、4,4'-ジアミノジフェニルスルフィド、4,4'-ジアミノジフェニルメタン、3,4'-ジアミノジフェニルメタン、3,3'-ジアミノジフェニルメタン、4,4'-メチレン-ビス(2-メチルアニリン)、4,4'-メチレン-ビス(2,6-ジメチルアニリン)、4,4'-メチレン-ビス(2,6-ジエチルアニリン)、4,4'-メチレン-ビス(2-イソプロピル-6-メチルアニリン、4,4'-メチレン-ビス(2,6-ジイソプロピルアニリン)、4,4'-ジアミノジフェニルスルホン、3,3'-ジアミノジフェニルスルホン、ベンジジン、o-トリジン、m-トリジン、3,3',5,5'-テトラメチルベンジジン、2,2'-ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン、1,4-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、 及び2,2-ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]プロパンからなる群より選ばれる1種以上の芳香族ジアミン;1,6-ヘキサンジアミン、1,4-シクロヘキサンジアミン、1,3-シクロヘキサンジアミン、1,4-ビス(アミノメチル)シクロヘキサン、1,3-ビス(アミノメチル)シクロヘキサン、4,4'-ジアミノジシクロヘキシルメタン、及び4,4'-ジアミノ-3,3'-ジメチルジシクロヘキシルメタン及び4,4'-ジアミノ-3,3'-ジメチルジシクロヘキシルメタン、1,2-ビス-(2-アミノエトキシ)エタン、ビス(3-アミノプロピル)エーテル、1,4-ビス(3-アミノプロピル)ピペラジン、3,9-ビス(3-アミノプロピル)-2,4,8,10-テトラオキサスピロ[5.5]ウンデカン、1,3-ビス(3-アミノプロピル)テトラメチルジシロキサンからなる群より選ばれる1種以上の脂肪族ジアミンからなる群より選ばれる1種以上のジアミンを出発原料として用いることを特徴とする請求項1から8の何れか1項に記載のポリイミド樹脂の製造方法。
The polyimide resin is
And one or more aromatic diamines selected from the group consisting of dihydric organic groups such as divalent organic groups derived from 3,5-diaminobenzoic acid, such as phenolic hydroxyl groups, carboxyl groups or hydroxyl groups; p-phenylenediamine M-phenylenediamine, 2,4,6-trimethyl-1,3-phenylenediamine, 2,3,5,6-tetramethyl-1,4-phenylenediamine, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 3,4 '-Diaminodiphenyl ether, 3,3'-diaminodiphenyl ether, 4,4'-diaminodiphenyl sulfide, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 3,4'-diaminodiphenylmethane, 3,3'-diaminodiphenylmethane, 4,4' -Methylene-bis (2-methylaniline), 4,4'-methylene-bis (2,6-dimethylaniline), 4,4'-methylene-bis (2,6-diethylaniline), 4,4'- Tylene-bis (2-isopropyl-6-methylaniline, 4,4'-methylene-bis (2,6-diisopropylaniline), 4,4'-diaminodiphenylsulfone, 3,3'-diaminodiphenylsulfone, benzidine, o-tolidine, m-tolidine, 3,3 ′, 5,5′-tetramethylbenzidine, 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1, 3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] One or more aromatics selected from the group consisting of sulfone, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, and 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] propane Diamine; 1,6-hexanediamine, 1, -Cyclohexanediamine, 1,3-cyclohexanediamine, 1,4-bis (aminomethyl) cyclohexane, 1,3-bis (aminomethyl) cyclohexane, 4,4'-diaminodicyclohexylmethane, and 4,4'-diamino- 3,3′-dimethyldicyclohexylmethane and 4,4′-diamino-3,3′-dimethyldicyclohexylmethane, 1,2-bis- (2-aminoethoxy) ethane, bis (3-aminopropyl) ether, 4-Bis (3-aminopropyl) piperazine, 3,9-bis (3-aminopropyl) -2,4,8,10-tetraoxaspiro [5.5] undecane, 1,3-bis (3-amino 9. One or more diamines selected from the group consisting of one or more aliphatic diamines selected from the group consisting of (propyl) tetramethyldisiloxane are used as starting materials. Method for producing a polyimide resin according to.
前記ポリイミド樹脂は、無水ピロメリット酸、3,3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ブタン-1,2,3,4-テトラカルボン酸二無水物、3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3',4,4'-ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、3,3',4,4'-ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、2,2-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロイソプロピリデン二無水物、3,3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、4,4'-ヘキサフルオロイソプロピリデンジフタル酸無水物、3,3',4,4'-ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4-シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2-ジメチル-1,2,3,4-シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4-テトラメチル-1,2,3,4-シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4-シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5-シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、3,4-ジカルボキシ-1,2,3,4-テトラヒドロ-1-ナフタレンコハク酸二無水物、5-(2,5-ジオキソテトラヒドロフリル)-3-メチル-3-シクロヘキセン-1,2-ジカルボン酸二無水物、2,3,5-トリカルボキシ-2-シクロペンタン酢酸二無水物、ビシクロ[2.2.2]オクト-7-エン-2,3,5,6-テトラカルボン酸二無水物、2,3,4,5-テトラヒドロフランテトラカルボン酸二無水物及び3,5,6-トリカルボキシ-2-ノルボルナン酢酸二無水物からなる群より選ばれる1種以上の酸無水物及びその誘導体からなる群より選ばれる1種以上の二無水物を出発原料として用いることを特徴とする請求項1から8の何れか1項に記載のポリイミド樹脂の製造方法。   The polyimide resin contains pyromellitic anhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, butane-1,2,3,4-tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) hexafluoroisopropylidene dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′- Benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 4,4′-hexafluoroisopropylidene diphthalic anhydride, 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4- Cyclobutanetetracarboxylic dianhydride, 1,2-dimethyl-1,2,3,4-cyclobuta Tetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-tetramethyl-1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-cyclopentanetetracarboxylic dianhydride 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride, 3,4-dicarboxy-1,2,3,4-tetrahydro-1-naphthalene succinic dianhydride, 5- (2,5 -Dioxotetrahydrofuryl) -3-methyl-3-cyclohexene-1,2-dicarboxylic dianhydride, 2,3,5-tricarboxy-2-cyclopentaneacetic acid dianhydride, bicyclo [2.2.2 Oct-7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride, 2,3,4,5-tetrahydrofurantetracarboxylic dianhydride and 3,5,6-tricarboxy-2-norbornane Selected from the group consisting of one or more acid anhydrides selected from the group consisting of acetic dianhydride and derivatives thereof The method of producing a polyimide resin according to any one of claims 1 to 8, which comprises using a seed or more dianhydride as the starting material. 請求項1から10の何れか1項に記載の方法により製造されたポリイミド樹脂。   The polyimide resin manufactured by the method of any one of Claim 1 to 10. 前記ポリイミドのガラス移転温度は150〜400℃であることを特徴とする請求項11に記載のポリイミド樹脂。   The polyimide resin according to claim 11, wherein a glass transition temperature of the polyimide is 150 to 400 ° C. 前記ポリイミド樹脂の重量平均分子量は1,000〜100,000であることを特徴とする請求項11または12に記載のポリイミド樹脂。   The polyimide resin according to claim 11 or 12, wherein the polyimide resin has a weight average molecular weight of 1,000 to 100,000. 前記ポリイミド樹脂中の残留触媒量は、ポリイミド樹脂の総重量中に0.001〜0.1重量%であることを特徴とする請求項11から13の何れか1項に記載のポリイミド樹脂。   14. The polyimide resin according to claim 11, wherein the amount of residual catalyst in the polyimide resin is 0.001 to 0.1% by weight in the total weight of the polyimide resin. 請求項1から10の何れか1項に記載の方法により製造されたポリイミド樹脂を含む低温硬化が可能な感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition in which the low temperature hardening which contains the polyimide resin manufactured by the method of any one of Claim 1 to 10 is possible. 前記感光性樹脂組成物は150〜250℃で硬化可能であることを特徴とする請求項15に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to claim 15, wherein the photosensitive resin composition is curable at 150 to 250 ° C. 前記感光性樹脂組成物は、硬化後、感光性樹脂組成物中に残留溶媒が存在しないことを特徴とする請求項15または16に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to claim 15, wherein the photosensitive resin composition is free from residual solvent in the photosensitive resin composition after being cured. 前記感光性樹脂組成物は、硬化後、感光性樹脂組成物中に残留溶媒量が0.05重量%未満であることを特徴とする請求項15から17の何れか1項に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to any one of claims 15 to 17, wherein the photosensitive resin composition has a residual solvent amount of less than 0.05% by weight in the photosensitive resin composition after curing. Resin composition. 前記感光性樹脂組成物を用いた感光膜は、予備焼成(prebake)後、EBR solvent(edge bead removal solvent)により除去できることを特徴とする請求項15から18の何れか1項に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive film according to any one of claims 15 to 18, wherein the photosensitive film using the photosensitive resin composition can be removed by EBR solvent (edge bead removable solvent) after prebaking. Resin composition. 前記感光性樹脂組成物は、ドレインの混用時、沈殿の発生なく溶解されることを特徴とする請求項15から19の何れか1項に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to any one of claims 15 to 19, wherein the photosensitive resin composition is dissolved without causing precipitation when the drain is mixed. 請求項1から10の何れか1項に記載の方法により製造されたポリイミド樹脂を含むプリント用インク組成物。   The ink composition for printing containing the polyimide resin manufactured by the method of any one of Claim 1 to 10. 請求項15から20の何れか1項に記載の感光性樹脂組成物を含んで製造されるOLED、LCD又は半導体絶縁膜。   21. An OLED, an LCD, or a semiconductor insulating film produced by including the photosensitive resin composition according to any one of claims 15 to 20. 請求項21に記載のプリント用インク組成物を含んで製造されるOLED、LCD又は半導体絶縁膜。   An OLED, an LCD, or a semiconductor insulating film produced by including the printing ink composition according to claim 21.
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