JP2012009670A - 粘着物を有する構造体の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】粘着性を有する粘着物を被マウント材上に搭載してなる粘着物を有する構造体を製造するにあたって、コレットを用いて、当該粘着物を被着体から拾い上げて被マウント材上に貼り付けることを適切に行う。
【解決手段】粘着物１がその他面側にて貼り付けられている被着体１００を用意し、コレット１０として、その一面に開口する貫通穴２３を有するものを用い、粘着物１の一面側をコレット１０の一面に貼り付けて貫通穴２３に粘着物１を食い込ませた状態とし、この状態で粘着物１を被着体１００から剥がして拾い上げ、次に、コレット１０によって粘着物１の他面を被マウント材２に貼り付け、次に、貫通穴２３を介してロッド３２で粘着物１の一面を押さえ付けた状態で、コレット１０の一面と粘着物１とを剥離させる。
【選択図】図１

Description

本発明は、粘着性を有する粘着物を被マウント材上に搭載してなる粘着物を有する構造体の製造方法に関する。

従来では、たとえばセンサチップを、ダイシングテープなどの粘着テープから剥がして拾い上げる方法として、光を当てると粘着力が低下する光反応性の粘着テープに光を当てたり（たとえば、特許文献１参照）、粘着テープをたわみ変形させたり（たとえば、特許文献２参照）することにより、粘着テープとセンサチップとの密着力を低下させ、その後、コレットの吸引力によって、センサチップを粘着テープから拾い上げる方法が提案されている。

特開２００５−６４１５１号公報 特開２００４−５５６６１号公報

ところで、たとえばセンサチップを配線基板などの被マウント材上に搭載・固定する場合、樹脂などよりなる粘着物を介して、センサチップと配線基板とを接着するのが一般的である。ここで、粘着物は、その一面および当該一面とは反対側の他面の両面が粘着性を有するものであり、一面側にてセンサチップ、他面側にて被マウント材に接着するものである。

そして、近年においては、予め、この粘着物を被マウント材上に搭載・固定した後、その上にセンサチップを搭載して、粘着物を介したセンサチップおよび被マウント材の接着を行いたいという要望がある。

この場合、粘着物は、テープ部材などの被着体に貼り付けられたものを、コレットを用いて被着体から剥がして拾い上げ、その後、コレットによって、粘着物を被マウント材上に移動させて貼り付ける方法が考えられる。ここで、コレットとは、たとえば一般的なセンサチップのマウントを行うコレットと同様、粘着物についてピックアップおよびマウントを行うものである。

しかしながら、一般的なコレットは、吸引力によってセンサチップをピックアップするものであるため、粘着物をピックアップすることはできない。つまり、粘着物は、その他面にて粘着力により被着体に貼りついているため、コレットの吸引力では、粘着物を被着体から剥離させることは容易ではない。

本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、粘着性を有する粘着物を被マウント材上に搭載してなる粘着物を有する構造体を製造するにあたって、コレットを用いて、当該粘着物を被着体から拾い上げて被マウント材上に貼り付けることを適切に行うことを目的とする。

上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明においては、粘着物（１）がその他面側にて粘着力により貼り付けられている被着体（１００）を用意し、粘着物（１）の一面側をコレット（１０）の一面に貼り付けた後、コレット（１０）とともに粘着物（１）を被着体（１００）から剥がして拾い上げるピックアップ工程と、次に、コレット（１０）によって粘着物（１）の他面を被マウント材（２）に押し付けて、粘着物（１）の他面の粘着力により貼り付ける被マウント材貼り付け工程と、次に、コレット（１０）と粘着物（１）とを剥離させることで、粘着物（１）を被マウント材（２）上に固定した状態で搭載するコレット剥離工程と、を備えている。

さらに、請求項１に記載の発明においては、コレット（１０）として、当該コレット（１０）の一面に開口する穴（２３、４３）を有するものを用い、ピックアップ工程では、コレット（１０）の一面を粘着物（１）の一面に押し付けて、穴（２３、４３）の部分にて穴（２３、４３）に粘着物（１）を食い込ませた状態とし、この状態で、コレット（１０）とともに粘着物（１）を被着体（１００）から剥がして拾い上げるようにし、穴（２３、４３）に粘着物（１）を食い込ませた状態で、被マウント材貼り付け工程を行い、コレット剥離工程では、粘着物（１）の一面のうちコレット（１０）の一面が押し付けられている部位以外の部位に対して、粘着物（１）を被マウント材（２）に押し付けるような押圧力を加えつつ、コレット（１０）の一面と粘着物（１）の一面とを剥離させることを特徴としている。

それによれば、被着体（１００）から粘着物（１）を剥がすピックアップ工程では、コレット（１０）を粘着物（１）に押し付けて、コレット（１０）の穴（２３、４３）に粘着物（１）を食い込ませた状態とするから、粘着物（１）が穴（２３、４３）に食い込むことによるアンカー効果と、粘着力との両方により、従来のコレットの吸引力よりも強いコレット（１０）と粘着物（１）との強固な接合が実現される。そのため、コレット（１０）とともに粘着物（１）を被着体（１００）から拾い上げることが確実に行える。

そして、コレット剥離工程では、粘着物（１）の一面のうちコレット（１０）の一面が押し付けられている部位以外の部位に対して、粘着物（１）を被マウント材（２）に押し付けるような押圧力、すなわち、コレット（１０）から粘着物（１）を引き離す方向に押圧力を加えるため、粘着物（１）の他面を被マウント材（２）に貼り付けつつ、コレット（１０）の一面と粘着物（１）の一面とを容易に剥離させることができる。

よって、本発明によれば、粘着性を有する粘着物（１）を被マウント材（２）上に搭載してなる粘着物を有する構造体を製造するにあたって、コレット（１０）を用いて、当該粘着物（１）を被着体（１００）から拾い上げて被マウント材（２）上に貼り付けることを適切に行うことができる。

また、請求項２に記載の発明では、請求項１の製造方法において、コレット（１０）として、当該コレット（１０）の一面および当該一面に設けられた穴（２３、４３）を有する第１コレット部（２０、４０）と、第１コレット部（２０、４０）とは独立にコレット（１０）の一面と垂直方向に移動する第２コレット部（３０、５０）とを有するものを用いる。

そして、請求項２に記載の発明によれば、コレット剥離工程では、第２コレット部（３０、５０）を第１コレット部（２０、４０）におけるコレット（１０）の一面よりも粘着物（１）側に突出させるように移動させて、当該突出した第２コレット部（３０、５０）の先端部を粘着物（１）の一面に押し付けることにより、前記押圧力を加え、コレット（１０）の一面と粘着物（１）の一面との剥離を行った後、当該突出した第２コレット部（３０、５０）の先端部を粘着物（１）の一面から剥離させるものであり、粘着物（１）の一面に押し付けられる第２コレット部（３０、５０）の先端部の面積は、粘着物（１）と被マウント材（２）との密着面積よりも小さいことを特徴としている。

それによれば、コレット剥離工程では、粘着物（１）の一面に対して押圧力を適切に加えることができる。また、粘着物（１）の一面に押し付けられる第２コレット部（３０）の先端部の面積は、粘着物（１）と被マウント材（２）との密着面積よりも小さいから、すでに、他面全体が被マウント材（２）に貼り付いている粘着物（１）の一面から第２コレット部（３０、５０）を容易に剥離させることができる。

ここで、請求項３に記載の発明のように、請求項２の製造方法においては、第２コレット部（３０）は、第１コレット部（２０）における穴（２３）を通る棒状のロッド（３２）を有するものであり、突出した第２コレット部（３０）の先端部は、穴（２３）から突出するロッド（３２）の先端部であり、このロッド（３２）の先端部を粘着物（１）の一面に押し付けて前記押圧力を加えるようにしたものにできる。

また、請求項４に記載の発明のように、請求項２の製造方法においては、第２コレット部は、第１コレット部（４０）の外周囲に位置するガイド（５０）であり、このガイド（５０）を、その内周に位置する第１コレット部（４０）におけるコレット（１０）の一面よりも粘着物（１）側に突出させることにより、当該突出したガイド（５０）の先端部を、突出した第２コレット部（５０）の先端部として、粘着物（１）の一面に押し付けて前記押圧力を加えるようにしたものとしてもよい。

また、請求項５に記載の発明のように、請求項１の製造方法においては、穴（２３）を介して空気による加圧を行うことにより、前記押圧力を加えるようにしてもよい。

なお、特許請求の範囲およびこの欄で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。

本発明の第１実施形態に係る粘着物を有する構造体の製造方法におけるピックアップ工程を示す概略断面図である。 図１に続く被マウント材貼り付け工程を示す概略断面図である。 図２に続くコレット剥離工程を示す概略断面図である。 本発明の第２実施形態に係る粘着物を有する構造体の製造方法におけるピックアップ工程を示す概略断面図である。 図４に続く被マウント材貼り付け工程を示す概略断面図である。 図５に続くコレット剥離工程を示す概略断面図である。 本発明の第３実施形態に係る粘着物を有する構造体の製造方法におけるピックアップ工程を示す概略断面図である。 図７に続く被マウント材貼り付け工程を示す概略断面図である。 図８に続くコレット剥離工程を示す概略断面図である。

以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。

（第１実施形態）
図１、図２、図３は、本発明の第１実施形態に係る粘着物１を有する構造体の製造方法を示す概略断面図であり、図１はピックアップ工程を示す図、図２は被マウント材貼り付け工程を示す図、図３はコレット剥離工程を示す図である。

本実施形態の製造方法は、最終的には、図３に示されるような、粘着物１が被マウント材２上に搭載されてなる粘着物を有する構造体３を製造するものである。ここで、粘着物１は、コレット１０側となる一面および当該一面とは反対側の他面の両面が、粘着性を有するものである。

具体的には、粘着物１は、エポキシ樹脂やシリコーン樹脂などの接着剤となる樹脂が硬化せずに、粘着性を有する半硬化状態となっているものである。そして、この粘着物１は、たとえばセンサチップなどの半導体チップを被マウント材に搭載したときの接着に用いるものである。また、その粘着物１の形状は、半導体チップ同様の典型的な矩形のシート状をなすものとされる。

また、被マウント材２は、たとえばセラミック基板、プリント基板などの配線基板や、リードフレーム、ヒートシンク、さらには、筺体などである。この被マウント材２の材質としては、樹脂、金属、セラミックなど、特に限定されない。

次に、この構造体３の製造方法について、図１〜図３を参照して述べる。まず、図１に示されるように、粘着物１が貼り付けられている被着体１００を用意する。この被着体１００においては、当該被着体１００の表面に、粘着物１の他面側が、その粘着力により貼り付けられている。

このような被着体１００は、たとえば、テープ状をなすものである。この場合、当該テープの一面に複数の粘着物１が、その粘着力によって貼り付けられ、当該テープは巻き取られた状態とされている。そして、粘着物１を使用するときには、必要な分のテープを引き出して使うようにする。

そして、図１に示されるピックアップ工程では、粘着物１の一面側をコレット１０の一面に貼り付けた後、コレット１０とともに粘着物１を被着体１００から剥がして拾い上げる。ここでは、コレット１０として、当該コレット１０の一面に開口する穴２３を有するものを用いる。

このコレット１０は、電動式のアクチュエータなどにより、上下左右方向に移動できるようになっている。ここでは、コレット１０は、第１コレット部２０と第２コレット部３０とを備えて構成されたものである。このコレット１０すなわち第１、第２コレット部２０、３０は、ステンレスなどの金属、セラミック、樹脂などよりなる。

第１コレット部２０は、その軸方向（図１中の上下方向）の両端が各底２１、２２によって閉塞された角筒形状をなす。ここで、第１コレット部２０における粘着物１側に位置する下底２２の外面が、粘着物１の一面に押し付けられるコレット１０の一面に相当する。つまり、第１コレット部２０の軸方向は、コレット１０の一面と垂直方向となっている。

一方、第２コレット部３０は、第１コレット部２０の中空部に配置されている。第２コレット部３０は、第１コレット部２０の中空部を軸方向に２つの空間に区画する板状をなす板部３１と、この板部３１より第１コレット部２０の下底２２側に突出する複数本の棒状のロッド３２とが一体とされたものである。

ここで、第１コレット部２０の下底２２には、ロッド３２に対応する位置に、中空部と外部とを連通する貫通穴２３が設けられている。この貫通穴２３は第２コレット部３０の軸方向に延びる穴であり、第１コレット部２０の下底２２の外面すなわちコレット１０の一面に開口する穴２３として構成されている。そして、ロッド３２は、第１コレット部２０の中空部側から、この貫通穴２３に通されている。

また、第１コレット部２０の中空部は、第２コレット部３０の板部３１により、上底２１側の第１の空間２４、下底２２側の第２の空間２５に区画されている。そして、第１コレット部２０の側壁には、これら各空間２４、２５に空気を送り込むための空気穴２６が設けられている。そして、この空気穴２６より各空間２４、２５に、空気が導入されることで、当該空間２４、２５内部が正圧とされるようになっている。

具体的には、第１の空間２４には空気を導入せずに第２の空間２５に空気を導入し、第２の空間２５を第１の空間２４よりも大きな正圧とした場合には、その圧力差による力が板部３１に加わることにより、第２コレット部３０が、第１コレット部２０の上底２１側に押し上げられるように移動する。それと同時に、ロッド２３の先端部は、図１に示されるように、第１コレット部２０の下底２２における貫通穴２３の開口部より引っこんだ状態とされる。

逆に、第２の空間２５には空気を導入せずに第１の空間２４に空気を導入し、第１の空間２４を第２の空間２５よりも大きな正圧とした場合には、その圧力差による力が板部３１に加わることにより、第２コレット部３０が、第１コレット部２０の下底２３側に押し下げられるように移動する。それと同時に、ロッド２３の先端部は、図３に示されるように、第１コレット部２０の下底２２における貫通穴２３の開口部より突出した状態とされる。

つまり、これら第１の空間２４と第２の空間２５の圧力差を利用して、第２コレット部３０は第１コレット部２０の軸方向（つまり、コレット１０の一面に垂直方向）に対して、第１コレット部２０とは独立して移動できるようになっている。

ここで、空気穴２６に送り込まれる空気は、たとえば工業エアーやボンベなどの一般的な手法により供給され、そのオン−オフはレギュレータなどにより制御するようになっている。

また、図１に示されるように、第２コレット部３０の板部３１における第１の空間２４側の板面、および第２の空間２５側の板面には、それぞれ当該板面より突出する突起２７が設けられている。

この突起２７は、第２コレット部３０が上記軸方向に移動したときに、各突起２７がそれぞれ第１コレット部２０の各底２１、２２に当たることで、第１空間２４、第２空間２５の容積が０となるのを防止し、これら空間体積を確保するためのものである。

このように、本実施形態では、コレット１０として、当該コレット１０の一面および当該一面に開口して設けられた貫通穴２３を有する第１コレット部２０と、この第１コレット部２０とは独立にコレット１０の一面と垂直方向に移動する第２コレット部３０とを有するものを用いる。

そして、本実施形態のピックアップ工程では、図１に示されるように、コレット１０の一面すなわち第１コレット部２０の下底２２の外面を、粘着物１の一面に押し付けて、貫通穴２３の部分にて貫通穴２３に粘着物１を食い込ませた状態とする。

また、このコレット１０の一面を粘着物１の一面に押し付けるとき、ロッド２３の先端部は、第１コレット部２０の下底２２における貫通穴２３の開口部より引っこんだ状態とする。つまり、当該押し付けは、第２コレット部３０を粘着物１の一面から離した状態で行う。

具体的には、第１の空間２４に送り込む空気をＯＦＦ、第２の空間２５に送り込む空気をＯＮとして、ロッド２３の先端部を上記引っこんだ状態とする。そして、この状態のまま、コレット１０全体をアクチュエータ駆動により、粘着物１の一面の上方から当該粘着物１の一面に押し付け、荷重を加える。これにより、粘着物１が貫通穴２３に入り込むのである。

そして、図１に示される貫通穴２３に粘着物１を食い込ませた状態にて、アクチュエータ駆動により、コレット１０全体を上方に移動させる。それにより、コレット１０とともに粘着物１を被着体１００から剥がして拾い上げる。

このとき、粘着物１が貫通穴２３に食い込んでいるから、それによるアンカー効果と粘着力との両方により、コレット１０と粘着物１との強固な接合が実現され、粘着物１は被着体１００から剥離して、コレット１０に拾い上げられる。

次に、コレット１０によって、粘着物１を被マウント材２上にまで移動させる。そして、図２に示される被マウント材貼り付け工程では、コレット１０全体を被マウント材２方向へ下降させて、粘着物１を被マウント材２に貼り付ける。

このとき、貫通穴２３に粘着物１を食い込ませた状態を維持しつつ、コレット１０によって粘着物１の他面を被マウント材２に押し付けて、粘着物１の粘着力により、粘着物１の他面を被マウント材２に貼り付ける。この状態が図２に示される。

こうして、被マウント材貼り付け工程を行った後、図３に示されるコレット剥離工程を行う。本工程では、コレット１０と粘着物１とを剥離させることで、粘着物１を被マウント材２上に固定した状態で搭載する。

本実施形態のコレット剥離工程では、粘着物１の一面のうちコレット１０の一面である下底２２の外面が押し付けられている部位以外の部位に対して、粘着物１を被マウント材２に押し付けるような押圧力を加える。そして、この押圧力を加えた状態で、コレット１０の一面と粘着物１の一面とを剥離させる。

ここでは、第２コレット部３０は、第１コレット部２０の貫通穴２３を通る棒状のロッド３２を有するものであるから、このロッド３２を、第１コレット部２０の下底２２の外面よりも粘着物１側に突出させるように移動させる。そして、当該突出した第２コレット部３０の先端部すなわちロッド３２の先端部を、粘着物１の一面に押し付けることにより、上記押圧力を加える。

具体的には、第１の空間２４に送り込む空気をＯＮ、第２の空間２５に送り込む空気をＯＦＦとして、ロッド２３の先端部を上記突出した状態とする。それと同時に、コレット１０全体をアクチュエータ駆動により、粘着物１の一面の上方へ移動させる。これにより、粘着物１はロッド２３に押さえ付けられながら、第１コレット部２０の下底２２の外面から剥離する。

こうして、コレット１０の一面である第１コレット部２０の下底２２の外面と、粘着物１の一面との剥離を行った後、さらに、コレット１０全体の粘着物１の一面の上方への移動を続ける。

このとき、本実施形態のコレット１０においては、粘着物１の一面に押し付けられる第２コレット部３０の先端部であるロッド３２の先端部の面積は、粘着物１と被マウント材２との密着面積よりも小さいものとされている。

そのため、ロッド３２の先端部と粘着物１の一面との接触面積と、被マウント材２と粘着物１の他面との接触面積とでは、前者の方が小さいものとなる。そして、この面積差により、ロッド３２の先端部が、粘着物１の一面から剥離し、粘着物１は被マウント材２に密着する。こうして、コレット剥離工程が終了する。

以上が、本製造方法であり、これにより、粘着物１が被マウント材２上に搭載されてなる本実施形態の粘着物を有する構造体３ができあがる。なお、この構造体３においては、この後、たとえばセンサチップなどを粘着物１上に搭載し、粘着物１を硬化させるなどにより、粘着物１を介して当該センサチップと被マウント材２とを固定するなどの工程が行われる。

ところで、本実施形態によれば、ピックアップ工程では、コレット１０の一面である第１コレット部２０の下底２２の外面を粘着物１に押し付けて、貫通穴２３に粘着物１を食い込ませた状態とするから、粘着物１が貫通穴２３に食い込むことによるアンカー効果と、粘着力との両方により、従来のコレットの吸引力よりも強いコレット１０と粘着物１との強固な接合が実現される。そのため、コレット１０とともに粘着物１を被着体１００から拾い上げることが確実に行える。

そして、コレット剥離工程では、粘着物１の一面のうち第１コレット部２０の下底２２の外面が押し付けられている部位以外の部位に対し、貫通穴２３を介してロッド３２の先端部から、粘着物１を被マウント材２に押し付けるような押圧力を加えている。そのため、粘着物１の他面を被マウント材２に貼り付けつつ、コレット１０の一面と粘着物１の一面とを容易に剥離させることができる。

よって、本実施形態によれば、粘着物１を被マウント材２上に搭載してなる粘着物を有する構造体３を製造するにあたって、コレット１０を用いて、粘着物１を被着体１００から拾い上げて被マウント材２上に貼り付けることを適切に行うことができる。

また、本実施形態によれば、粘着物１の一面に押し付けられる第２コレット部３０のロッド３２の先端部の面積を、粘着物１と被マウント材２との密着面積よりも小さいものとしているから、コレット剥離工程において、すでに、他面全体が被マウント材２に貼り付いている粘着物１の一面から第２コレット部３０のロッド３２を容易に剥離させることができる。

（第２実施形態）
図４、図５、図６は、本発明の第２実施形態に係る粘着物１を有する構造体の製造方法を示す概略断面図であり、図４はピックアップ工程を示す図、図５は被マウント材貼り付け工程を示す図、図６はコレット剥離工程を示す図である。

本実施形態の製造方法も、上記第１実施形態と同様、最終的には、図６に示されるような、粘着物１が被マウント材２上に搭載されてなる粘着物を有する構造体３を製造するものである。ここでは、本実施形態と上記第１実施形態との相違点を中心に述べることとする。

図４に示されるように、本実施形態のコレット１０は、第１コレット部と第２コレット部を有するものではなく、上記第１実施形態に示した第１コレット部２０に実質相当するものである。

つまり、本実施形態のコレット１０も、その軸方向（図４中の上下方向）の両端が各底２１、２２によって閉塞された角筒形状をなす。ここで、コレット１０における粘着物１側に位置する下底２２の外面が、粘着物１の一面に押し付けられるコレット１０の一面に相当する。つまり、コレット１０の軸方向は、コレット１０の一面と垂直方向となっている。

ここで、コレット１０の下底２２には、中空部と外部とを連通する貫通穴２３が設けられている。この貫通穴２３はコレット１０の軸方向に延びる穴であり、コレット１０の一面であるコレット１０の下底２２の外面に開口する穴２３として構成されている。

また、本実施形態のコレット１０では、空気穴２６を介してコレット１０の中空部内に空気を送り込んだり、当該中空部内の空気を吸い出したりできるようになっている。具体的には、たとえば減圧ポンプと空気供給用のボンベとを、切替弁を介して空気穴２６に接続することで、当該中空部への空気の供給と吸引が行える。

そして、本実施形態のピックアップ工程では、図４に示されるように、コレット１０の下底２２の外面を、粘着物１の一面に押し付けて、貫通穴２３の部分にて貫通穴２３に粘着物１を食い込ませた状態とする。このとき、空気穴２６を介して、コレット１０の中空部を負圧としておく。それにより、粘着物１の食い込みが促進される。

そして、図４に示される貫通穴２３に粘着物１を食い込ませ、コレット１０と粘着物１との強固な接合を実現した状態にて、アクチュエータ駆動により、コレット１０を上方に移動させ、コレット１０とともに粘着物１を被着体１００から剥がして拾い上げる。

次に、コレット１０によって、粘着物１を被マウント材２上にまで移動させる。そして、図５に示される被マウント材貼り付け工程では、コレット１０を被マウント材２方向へ下降させて、粘着物１を被マウント材２に貼り付ける。

こうして、被マウント材貼り付け工程を行った後、図６に示されるコレット剥離工程を行い、コレット１０と粘着物１とを剥離させることで、粘着物１を被マウント材２上に固定した状態で搭載する。

ここでは、空気穴２６を介して、コレット１０の中空部を正圧とする。それにより、粘着物１の一面のうちコレット１０の下底２２の外面が押し付けられている部位以外の部位、すなわち貫通穴２３に位置する粘着物１の一面に対して、貫通穴２３から空気による加圧が行われる。

そして、この空気による加圧は、粘着物１を被マウント材２に押し付けるような押圧力となる。この空気による加圧を行っている状態で、コレット１０をアクチュエータ駆動により、粘着物１の一面の上方へ移動させる。これにより、粘着物１はコレット１０の下底２２の外面から剥離する。

以上が、本製造方法であり、これにより、粘着物１が被マウント材２上に搭載されてなる本実施形態の粘着物を有する構造体３ができあがる。

このように、本実施形態によっても、ピックアップ工程では、コレット１０の下底２２の外面を粘着物１に押し付けて、貫通穴２３に粘着物１を食い込ませた状態とするから、上記したアンカー効果と粘着力との両方により、従来のコレットの吸引力よりも強いコレット１０と粘着物１との強固な接合が実現される。そのため、コレット１０とともに粘着物１を被着体１００から拾い上げることが確実に行える。

そして、コレット剥離工程では、粘着物１の一面に対し、貫通穴２３から空気の加圧によって上記押圧力を加えているため、粘着物１の他面を被マウント材２に貼り付けつつ、コレット１０の一面と粘着物１の一面とを容易に剥離させることができる。

よって、本実施形態によっても、粘着物１を被マウント材２上に搭載してなる粘着物を有する構造体３を製造するにあたって、コレット１０を用いて、粘着物１を被着体１００から拾い上げて被マウント材２上に貼り付けることを適切に行うことができる。

（第３実施形態）
図７、図８、図９は、本発明の第３実施形態に係る粘着物１を有する構造体の製造方法を示す概略断面図であり、図７はピックアップ工程を示す図、図８は被マウント材貼り付け工程を示す図、図９はコレット剥離工程を示す図である。

本実施形態の製造方法も、上記各実施形態と同様、最終的には、図９に示されるような、粘着物１が被マウント材２上に搭載されてなる粘着物を有する構造体３を製造するものである。ここでは、本実施形態と上記第１実施形態との相違点を中心に述べる。

本実施形態も、コレット１０として、コレット１０の一面および当該一面に設けられた穴４３を有する第１コレット部４０と、第１コレット部４０とは独立にコレット１０の一面と垂直方向に移動する第２コレット部５０とを有するものを用いることは同様である。ここで、本実施形態では、これら第１、第２コレット部４０、５０の構成が上記第１実施形態とは相違する。

上記第１実施形態では、第２コレット部３０は、第１コレット部２０の中空部に位置していたが（上記図１参照）、本実施形態では、図７に示されるように、これとは逆に、第２コレット部５０は、第１コレット部４０の外周囲に位置するガイド５０である。つまり、第１、第２コレット部４０、５０の内外の位置関係が上記第１実施形態とは逆とされている。

具体的に、図７に示されるように、本実施形態のコレット１０において、第２コレット部であるガイド５０は、粘着物１とは反対側の端部が上底５１により閉塞され、粘着淵１側の端部が開口する角筒形状をなす。そして、第１コレット部４０は、このガイド５０の中空部に配置されている。

ここで、ガイド５０の内壁には、第１コレット部４０を摺動可能に支持する支持板５２が設けられている。第１コレット部４０は、この支持板５２に設けられた貫通穴５３に通された状態でガイド５０の中空部にて支持されている。

図７に示されるように、第１コレット部４０は、ガイド５０の軸方向に延びる柱状をなすものであり、その軸方向の両端には、板部４２、４３が形成されている。ここで、板部４１、４２はガイド５０の上底５１側に位置する上板部４１と、ガイド５０の開口端側に位置する下板部４２とよりなる。

これら上板部４１、下板部４２は、ともに柱状の第１コレット４０部のうち両端の中間に位置する第１コレット部４０の柱状部分に対して、その軸方向と直交方向に張り出した板である。そして、その平面サイズは、ガイド５０の支持板５２の貫通穴５３の開口面積よりも大きいものである。

そして、この第１コレット部４０の上板部４１は、ガイド５０における上底５１と支持板５２との間の中空部を、上底５１側の第１の空間５４と支持板５２側の第２の空間５５とに区画している。そして、ガイド５０の側壁には、これら各空間５４、５５に空気を送り込むための空気穴５６が設けられている。

そして、この空気穴５６より各空間５４、５５に、空気が導入されることで、当該空間５４、５５内部が正圧とされるようになっている。これにより、本実施形態においても、上記第１実施形態と同様の圧力差による両コレット部４０、５０の独立した相対移動が可能とされている。

具体的には、第２の空間５５を第１の空間５４よりも大きな正圧とした場合、第１コレット部４０が、ガイド５０の上底５１側に押し上げられるように移動する。逆に、第１の空間５４を第２の空間５５よりも大きな正圧とした場合、第１コレット部４０が、ガイド５０の開口端側に押し下げられるように移動する。

このように、本実施形態においても、第１及び第２コレット部４０、５０は、第１コレット部４０の軸方向に対して、互いに独立して移動できるようになっている。また、図７に示されるように、第１コレット部４０の上板部４１における第１の空間５４側の板面、および第２の空間５５側の板面には、それぞれ当該板面より突出する突起５７が設けられている。

この突起５７は、第１コレット部４０が上記軸方向に移動したときに、各突起５７がそれぞれガイド５０の上底５１、支持板５２に当たることで、第１空間５４、第２空間５５の容積が０となるのを防止し、これら空間体積を確保するためのものである。

また、第１コレット部４０の下板部４２側の端面、つまり下板部４２の粘着物１と対向する板面は、粘着物１の一面に押し付けられるコレット１０の一面に相当する。つまり、本実施形態においても、第１コレット部４０の軸方向は、コレット１０の一面と垂直方向となっている。

そして、この下板部４２の粘着物１と対向する板面には、コレット１０の一面に開口する穴としての凹部４３が設けられている。上記第１実施形態では、コレット１０の一面に開口する穴は貫通穴２３であったが、本実施形態では、有底の穴としての凹部４３としている。

そして、本実施形態のピックアップ工程では、図７に示されるように、コレット１０の一面すなわち第１コレット部４０の下板部４２の板面を、粘着物１の一面に押し付けて、凹部４３の部分にて凹部４３に粘着物１を食い込ませた状態とする。

具体的には、第１の空間５４に送り込む空気をＯＦＦ、第２の空間５５に送り込む空気をＯＮとして、第１コレット部４０の下板部４２の板面を、ガイド５０の開口端に位置させる。

そして、この状態のまま、コレット１０全体をアクチュエータ駆動により、粘着物１の一面の上方から当該粘着物１の一面に押し付け、荷重を加える。これにより、粘着物１が凹部４３に入り込むのである。このとき、本実施形態では、ガイド５０の開口端側の端面も、粘着物１の一面に押し付けられて貼り付く。

そして、図７に示される凹部４３に粘着物１を食い込ませた状態にて、アクチュエータ駆動により、コレット１０全体を上方に移動させる。このとき、本実施形態においても、粘着物１の凹部４３への食い込みによるアンカー効果および粘着力により、コレット１０と粘着物１とは強固に接合され、粘着物１は被着体１００から剥離して、コレット１０に拾い上げられる。

次に、コレット１０によって、粘着物１を被マウント材２上にまで移動させる。そして、図８に示される被マウント材貼り付け工程では、コレット１０全体を被マウント材２方向へ下降させて、粘着物１を被マウント材２に貼り付ける。

このとき、凹部４３に粘着物１を食い込ませた状態を維持しつつ、コレット１０によって粘着物１の他面を被マウント材２に押し付けて、粘着物１の粘着力により、粘着物１の他面を被マウント材２に貼り付ける。この状態が図８に示される。

こうして、被マウント材貼り付け工程を行った後、図９に示されるコレット剥離工程を行う。本実施形態のコレット剥離工程も、上記第１実施形態と同様、第２コレット部であるガイド５０を第１コレット部４０におけるコレット１０の一面よりも粘着物１側に突出させるように移動させて、当該突出したガイド５０の先端部を粘着物１の一面に押し付けることにより、上記押圧力を加え、コレット１０の一面と粘着物１の一面との剥離を行った後、ガイド５０の先端部を粘着物１の一面から剥離させるものである。

ここでは、ガイド５０の先端部である開口端側の端面を、その内周に位置する第１コレット部４０の下板部４２の板面よりも粘着物１側に突出させることにより、そのガイド５０の開口端側の端面を、粘着物１の一面に押し付けて押圧力を加える。

具体的には、第１の空間５４に送り込む空気をＯＮ、第２の空間５５に送り込む空気をＯＦＦとし、この状態にて、コレット１０全体をアクチュエータ駆動により、粘着物１の一面の上方へ移動させる。これにより、第１コレット２０には、粘着物１から離れる方向の圧力が加わるため、粘着物１はガイド５０に押さえ付けられながら、第１コレット部４０から剥離する。

こうして、コレット１０の一面である第１コレット部４０の下板部４２の板面と、粘着物１の一面との剥離を行った後、さらに、コレット１０全体の粘着物１の一面の上方への移動を続ける。

このとき、本実施形態のコレット１０においては、粘着物１の一面に押し付けられるガイド５０の開口端部の端面の面積は、粘着物１と被マウント材２との密着面積よりも小さいものとされている。

そのため、ガイド５０の開口端と粘着物１の一面との接触面積と、被マウント材２と粘着物１の他面との接触面積とでは、前者の方が小さいものとなる。そして、この面積差により、ガイド５０の開口端が、粘着物１の一面から剥離し、粘着物１は被マウント材２に密着する。

こうして、コレット１０と粘着物１とを剥離させることで、粘着物１が被マウント材２上に固定された状態で搭載され、コレット剥離工程が終了する。以上が、本製造方法であり、これにより、粘着物１が被マウント材２上に搭載されてなる本実施形態の粘着物を有する構造体３ができあがる。

このように、本実施形態によっても、ピックアップ工程では、コレット１０の一面である第１コレット部４０の下板部４２の板面を粘着物１に押し付けて、貫通穴４３に粘着物１を食い込ませた状態とするから、上記したアンカー効果と粘着力との両方により、従来のコレットの吸引力よりも強いコレット１０と粘着物１との強固な接合が実現される。そのため、コレット１０とともに粘着物１を被着体１００から拾い上げることが確実に行える。

そして、コレット剥離工程では、粘着物１の一面のうち第１コレット部４０の下板部４２の板面が押し付けられている部位以外の部位に対し、ガイド５０の開口端の端面から、上記押圧力を加えているため、粘着物１の他面を被マウント材２に貼り付けつつ、コレット１０の一面と粘着物１の一面とを容易に剥離させることができる。

よって、本実施形態によっても、粘着物１を被マウント材２上に搭載してなる粘着物を有する構造体３を製造するにあたって、コレット１０を用いて、粘着物１を被着体１００から拾い上げて被マウント材２上に貼り付けることを適切に行うことができる。

また、本実施形態によっても、粘着物１の一面に押し付けられるガイド５０の開口端の端面の面積を、粘着物１の一面に押し付けられる第１コレット部４０の下板部４２の板面の面積よりも小さいものとしているから、コレット剥離工程において、粘着物１の一面からガイド５０を容易に剥離させることができる。

（他の実施形態）
なお、上記第１、第３実施形態のコレット１０について、第１コレット部２０、４０と第２コレット部３０、５０との独立した移動は空気圧により行うものであったが、たとえば電動式のアクチュエータ等により移動するようにしてもかまわない。

また、粘着物としては、コレットに貼り付く側の一面と、被着体および被マウント材に貼り付く側の他面との両面が粘着性を有するものであればよく、上記した樹脂以外にも、無機材料などにより構成されたものであってもよい。

１ 粘着物
２ 被マウント材
１０ コレット
２０、４０ 第１コレット部
２３ コレットの一面に開口する穴としての貫通穴
３０ 第２コレット部
３２ ロッド
４３ コレットの一面に開口する穴としての凹部
５０ 第２コレット部としてのガイド
１００ 被着体

Claims (5)

1. 一面および当該一面とは反対側の他面の両面が粘着性を有する粘着物（１）を被マウント材（２）上に搭載してなる粘着物を有する構造体の製造方法であって、
   前記粘着物（１）がその他面側にて粘着力により貼り付けられている被着体（１００）を用意し、
   前記粘着物（１）の一面側をコレット（１０）の一面に貼り付けた後、前記コレット（１０）とともに前記粘着物（１）を前記被着体（１００）から剥がして拾い上げるピックアップ工程と、
   次に、前記コレット（１０）によって前記粘着物（１）の他面を前記被マウント材（２）に押し付けて、前記粘着物（１）の他面の粘着力により貼り付ける被マウント材貼り付け工程と、
   次に、前記コレット（１０）と前記粘着物（１）とを剥離させることで、前記粘着物（１）を前記被マウント材（２）上に固定した状態で搭載するコレット剥離工程と、を備え、
   前記コレット（１０）として、当該コレット（１０）の一面に開口する穴（２３、４３）を有するものを用い、
   前記ピックアップ工程では、前記コレット（１０）の一面を前記粘着物（１）の一面に押し付けて、前記穴（２３、４３）の部分にて前記穴（２３、４３）に前記粘着物（１）を食い込ませた状態とし、この状態で、前記コレット（１０）とともに前記粘着物（１）を前記被着体（１００）から剥がして拾い上げるようにし、
   前記穴（２３、４３）に前記粘着物（１）を食い込ませた状態で、前記被マウント材貼り付け工程を行い、
   前記コレット剥離工程では、前記粘着物（１）の一面のうち前記コレット（１０）の一面が押し付けられている部位以外の部位に対して、前記粘着物（１）を前記被マウント材（２）に押し付けるような押圧力を加えつつ、前記コレット（１０）の一面と前記粘着物（１）の一面とを剥離させることを特徴とする粘着物を有する構造体の製造方法。
2. 前記コレット（１０）として、当該コレット（１０）の一面および当該一面に設けられた前記穴（２３、４３）を有する第１コレット部（２０、４０）と、前記第１コレット部（２０、４０）とは独立に前記コレット（１０）の一面と垂直方向に移動する第２コレット部（３０、５０）とを有するものを用い、
   前記コレット剥離工程では、前記第２コレット部（３０、５０）を前記第１コレット部（２０、４０）における前記コレット（１０）の一面よりも前記粘着物（１）側に突出させるように移動させて、当該突出した前記第２コレット部（３０、５０）の先端部を前記粘着物（１）の一面に押し付けることにより、前記押圧力を加え、前記コレット（１０）の一面と前記粘着物（１）の一面との剥離を行った後、当該突出した前記第２コレット部（３０、５０）の先端部を前記粘着物（１）の一面から剥離させるものであり、
   前記粘着物（１）の一面に押し付けられる前記第２コレット部（３０、５０）の先端部の面積は、前記粘着物（１）と前記被マウント材（２）との密着面積よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載の粘着物を有する構造体の製造方法。
3. 前記第２コレット部（３０）は、前記第１コレット部（２０）における前記穴（２３）を通る棒状のロッド（３２）を有するものであり、
   前記突出した前記第２コレット部（３０）の先端部は、前記穴（２３）から突出する前記ロッド（３２）の先端部であり、このロッド（３２）の先端部を前記粘着物（１）の一面に押し付けて前記押圧力を加えるようにしたことを特徴とする請求項２に記載の粘着物を有する構造体の製造方法。
4. 前記第２コレット部は、前記第１コレット部（４０）の外周囲に位置するガイド（５０）であり、
   このガイド（５０）を、その内周に位置する前記第１コレット部（４０）における前記コレット（１０）の一面よりも前記粘着物（１）側に突出させることにより、当該突出したガイド（５０）の先端部を、前記突出した前記第２コレット部（５０）の先端部として、前記粘着物（１）の一面に押し付けて前記押圧力を加えるようにしたことを特徴とする請求項２に記載の粘着物を有する構造体の製造方法。
5. 前記穴（２３）を介して空気による加圧を行うことにより、前記押圧力を加えることを特徴とする請求項１に記載の粘着物を有する構造体の製造方法。

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