JP2012006089A

JP2012006089A - 研磨装置

Info

Publication number: JP2012006089A
Application number: JP2010141344A
Authority: JP
Inventors: Keiichi Miyakoshi; 恵一宮越; Fumiaki Saito; 文昭斎藤
Original assignee: ST LINK KK
Current assignee: ST LINK KK
Priority date: 2010-06-22
Filing date: 2010-06-22
Publication date: 2012-01-12
Anticipated expiration: 2030-06-22
Also published as: JP5557614B2

Abstract

【課題】研磨体の研磨面が消耗しても、研磨面が設定したワーク研磨位置に移動するように制御されて安定した研磨作業が行われる研磨装置を提供すること。
【解決手段】昇降機構４を介して研磨体２を支持部１に対し上昇移動若しくは下降移動した際にこの研磨体２下端の研磨面３が予め設定した基準位置Ｐ１に位置したことを検出する基準位置検出手段５と、基準位置検出手段５が前記基準位置Ｐ１に位置した研磨体２の研磨面３を検出した際に、この基準位置Ｐ１から研磨体２を予め設定した移動量Ｌだけ上昇移動若しくは下降移動させてこの研磨体２の研磨面３がワーク研磨位置Ｐ２に位置するように昇降機構４を駆動制御する制御部を備えた研磨装置。
【選択図】図１

Description

本発明は、ワークの研磨やバリ取りを行う研磨装置に関するものである。

この種の研磨装置としては、例えば特開平５−３３７８１２号（特許文献１）がある。

この特許文献１を簡単に説明すると、ワークを載置して移送するベルトコンベアと、該コンベアのコンベアライン上に配置されてこのコンベア上のワークを下面（研磨面）で押圧した状態で研磨する複数の回転研磨体とを備えている。

また、この種の研磨装置は、機械操作により前記研磨体の高さ調整を行うことができるように構成されていて、ワークの高さ（厚さ）に応じて、あるいは研磨体の摩耗具合いに応じて高さ調整を行うことで、ワークに対する所望の押し当て力を実現できるようになっている。

即ち、例えば、高さのあるワークに対しては研磨体を上昇させ、高さのないワークに対しては研磨体を下降させ、また、研磨体の研磨面が摩耗してきたら、研磨体を下降させることで対応できるように構成されている。

特開平５−３３７８１２号公報

この種の研磨装置の研磨体の高さ調整は、研磨体の研磨面をワークに対して若干押し付けた状態で目視しながら調整しているが、この作業を精度良く行うのは非常に難しく、時間と手間のかかる作業であった。

本発明は、このような従来の研磨装置の欠点に注目し、これを解決しようとするもので、研磨体の研磨面が消耗しても、研磨面が設定したワーク研磨位置に移動するように制御されて安定した研磨作業が行われる研磨装置を提供するものである。

添付図面を参照して本発明の要旨を説明する。

ワークＷを載置若しくは固定する支持部１と、この支持部１の上方に設けられて支持部１に載置若しくは固定した前記ワークＷを研磨する研磨体２と、この研磨体２を前記ワークＷの高さに応じて前記支持部１に対し昇降移動可能な昇降機構４とを備えた研磨装置において、前記昇降機構４を介して前記研磨体２を前記支持部１に対し上昇移動若しくは下降移動した際にこの研磨体２下端の研磨面３が予め設定した基準位置Ｐ１に位置したことを検出する基準位置検出手段５と、基準位置検出手段５が前記基準位置Ｐ１に位置した前記研磨体２の研磨面３を検出した際に、この基準位置Ｐ１から研磨体２を予め設定した移動量Ｌだけ上昇移動若しくは下降移動させてこの研磨体２の研磨面３がワーク研磨位置Ｐ２に位置するように前記昇降機構４を駆動制御する制御部を備えたことを特徴とする研磨装置に係るものである。

また、前記研磨体２の研磨面３のワーク研磨位置Ｐ２を、前記ワークＷの高さに応じて設定変更可能な研磨位置設定手段と、この研磨位置設定手段の設定値に基づいて、前記基準位置Ｐ１から前記ワーク研磨位置Ｐ２までの研磨体２の前記移動量Ｌを自動設定する移動量設定手段とを前記制御部に設けたことを特徴とする請求項１記載の研磨装置に係るものである。

また、前記基準位置検出手段５は、前記支持部１に載置若しくは固定した前記ワークＷの上面より高い位置に設けて、この基準位置検出手段５が前記昇降機構４を介して上昇移動する前記研磨体２の研磨面３をワークＷ上面より上方の前記基準位置Ｐ１で検出し得るように構成し、この基準位置検出手段５が前記基準位置Ｐ１で前記研磨面３を検出した際に、前記制御部は、前記基準位置Ｐ１から前記研磨体２を予め設定した移動量Ｌだけ下降移動させてこの研磨体２の研磨面３を前記ワーク研磨位置Ｐ２に位置するように前記昇降機構４を駆動制御する構成としたことを特徴とする請求項１，２のいずれか１項に記載の研磨装置に係るものである。

また、一つのワークＷの研磨作業終了後あるいは所定数のワークＷの研磨作業終了後あるいは研磨作業開始から所定時間経過後に、前記研磨体２を上昇移動若しくは下降移動させて前記基準位置検出手段５による前記研磨体２の研磨面３の基準位置検出が行われるように前記昇降機構４を駆動制御する定期駆動手段を前記制御部に設けたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の研磨装置に係るものである。

また、前記基準位置検出手段５は、前記研磨体２に対し非接触で前記研磨面３を検出可能な光電センサー５を採用したことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の研磨装置に係るものである。

また、予め設定した高さ以上の高さを有するワークＷを検出する想定外ワーク検出手段６を備え、この想定外ワーク検出手段６が前記ワークＷを検出した際に研磨作業を停止する緊急停止手段を前記制御部に設けたことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の研磨装置に係るものである。

また、前記支持部１は、ワークＷを載置若しくは固定して移送する移送機構７を備え、この支持部１の移送機構７の移送始端側に前記想定外ワーク検出手段６を設けると共に、この想定外ワーク検出手段６は、支持部１に対し昇降移動可能に設けて、この想定外ワーク検出手段６で検出するワークＷの高さを設定変更可能な構成としたことを特徴とする請求項６記載の研磨装置に係るものである。

本発明は上述のように構成したから、たとえ研磨体の研磨面が摩耗しても、この摩耗した研磨面で新たな基準位置を設定し直した上で、この基準位置から予め設定した移動量だけ研磨体を自動的に移動制御してワーク研磨位置に位置させるので、このワーク研磨位置の研磨体は、研磨面の位置が研磨作業開始当初のワーク研磨位置の研磨体の研磨面と同じ位置となり、従って適時研磨面の基準位置検出を行うようにすることで、摩耗した研磨面でも研磨開始当初と同等のワークに対する所望押し当て力を自動的に実現でき、常に安定した研磨性能を発揮できることになる極めて実用性に優れた研磨装置となる。

また、請求項２記載の発明においては、異なる高さのワークに対応して安定した研磨性能を発揮でき、しかも、研磨位置設定手段でワーク研磨位置を設定するだけで、基準位置からワーク研磨位置までの研磨体の前記移動量が自動設定される一層実用性に優れた構成の研磨装置となる。

また、請求項３記載の発明においては、高さのない板状のワークへの研磨加工に好適な極めて実用性に優れた構成の研磨装置となる。

また、請求項４記載の発明においては、基準位置検出手段による研磨体の研磨面の基準位置検出が自動で定期的に行われるので、一層安定した研磨作業が実現することになる極めて実用性に優れた構成の研磨装置となる。

また、請求項５記載の発明においては、光電センサーによる信頼性の高い研磨面の基準位置検出が可能であると共に、研磨体が自転したり、複数の研磨体が公転するような装置構成であっても、確実に基準位置を検出することができる一層実用性に優れた構成の研磨装置となる。

また、請求項６記載の発明においては、想定以上の高さのワークを研磨してしまうことによる故障を防止できる一層実用性に優れた構成の研磨装置となる。

また、請求項７記載の発明においては、移送機構により移送されたワークを次々と研磨して効率的に研磨作業を行うことができ、しかも、故障の懸念のあるワークが移送されてきた場合には、このワークが研磨される前に研磨作業が確実に停止して故障を未然に防止することができ、その上、想定外ワーク検出手段で検出するワークの高さを設定変更可能であるなど、一層実用性に優れた構成の研磨装置となる。

本実施例を示す概略説明側面図である。本実施例の要部を示す概略説明斜視図である。本実施例の使用状態における、研磨体の研磨面がワークに対して所望の押し当て力で研磨する様子を示した概略説明正面図である。本実施例の使用状態における、研磨体の研磨面が摩耗した様子を示した概略説明正面図である。本実施例の使用状態における、研磨体を上昇移動させて摩耗した研磨面を基準位置検出手段で検出する様子を示した概略説明正面図である。図５に続いて、研磨体が基準位置から予め設定した移動量だけ下降移動してワーク研磨位置に位置し、研磨体の研磨面がワークに対して所望の押し当て力で研磨する様子を示した概略説明正面図である。本実施例の想定外ワーク検出手段の動作説明図である。

好適と考える本発明の実施形態を、図面に基づいて本発明の作用を示して簡単に説明する。

予め基準位置検出手段５で検出する基準位置Ｐ１と、この基準位置Ｐ１とワークＷの高さ（厚さ）の関係に基づいて、この基準位置Ｐ１からワーク研磨位置Ｐ２までの研磨体２の前記移動量Ｌを設定しておく。

支持部１にワークＷを載置若しくは固定すると共に、支持部１上方に設けられた研磨体２をワーク研磨位置Ｐ２に位置させると、この研磨体２の下端の研磨面３でワークＷを研磨することができる。

この研磨作業を継続すると、研磨体２の研磨面３に摩耗を生じてくるが、適時昇降機構４を介して前記研磨体２を前記支持部１に対し上昇移動若しくは下降移動させると、基準位置検出手段５が研磨体２下端の研磨面３が予め設定した前記基準位置Ｐ１に位置したことを検出し、この際、制御部が基準位置Ｐ１から研磨体２を予め設定しておいた前記移動量Ｌだけ上昇移動若しくは下降移動させてこの研磨体２の研磨面３が前記ワーク研磨位置Ｐ２に位置するように前記昇降機構４を駆動制御することになる。

即ち、研磨体２の研磨面３に摩耗を生じても、その摩耗した研磨面３を新たな基準位置Ｐ１に設定し直し、その上でこの基準位置Ｐ１から予め設定した移動量Ｌだけ研磨体２を移動させてワーク研磨位置Ｐ２に位置させるので、このワーク研磨位置Ｐ２の研磨体２は、その研磨面３の位置が研磨作業開始当初のワーク研磨位置Ｐ２の研磨体２の研磨面３と同じ位置に位置することになる。

従って、たとえ研磨面３が摩耗しても、この摩耗した研磨面３を基準位置Ｐ１で検出することにより研磨開始当初と同等のワークＷに対する所望押し当て力を自動的に実現できるので、研磨面３の基準位置Ｐ１検出を適時行うようにすることで常に安定した研磨性能を発揮できることになる。

また、例えば、前記研磨体２の研磨面３のワーク研磨位置Ｐ２を、前記ワークＷの高さに応じて設定変更可能な研磨位置設定手段と、この研磨位置設定手段の設定値に基づいて、前記基準位置Ｐ１から前記ワーク研磨位置Ｐ２までの研磨体２の前記移動量Ｌを自動設定する移動量設定手段とを前記制御部に設ければ、異なる高さのワークＷに対しても、研磨位置設定手段でワーク研磨位置Ｐ２を設定変更することで良好に対応できるし、この研磨位置設定手段でワーク研磨位置Ｐ２を設定すると、この基準位置Ｐ１から前記ワーク研磨位置Ｐ２までの研磨体２の前記移動量Ｌが移動量設定手段により自動設定されることになる。

また、例えば、前記基準位置検出手段５は、前記支持部１に載置若しくは固定した前記ワークＷの上面より高い位置に設けて、この基準位置検出手段５が前記昇降機構４を介して上昇移動する前記研磨体２の研磨面３をワークＷ上面より上方の前記基準位置Ｐ１で検出し得るように構成し、この基準位置検出手段５が前記基準位置Ｐ１で前記研磨面３を検出した際に、前記制御部は、前記基準位置Ｐ１から前記研磨体２を予め設定した移動量Ｌだけ下降移動させてこの研磨体２の研磨面３を前記ワーク研磨位置Ｐ２に位置するように前記昇降機構４を駆動制御する構成とすれば、前記昇降機構４を介して前記研磨体２を前記支持部１に対し上昇移動させると、基準位置検出手段５が研磨体２下端の研磨面３が予め設定した基準位置Ｐ１に位置したことを検出した際、制御部が基準位置Ｐ１から研磨体２を予め設定しておいた前記移動量Ｌだけ下降移動させてこの研磨体２の研磨面３がワーク研磨位置Ｐ２に位置するように前記昇降機構４を駆動制御することになる。

従って、例えば高さのない板状のワークＷへの研磨加工に際しては、研磨体２を下降移動させるストロークが確保できないような場合が想定されるが、そのような板状のワークＷに対してもワークＷの上面より高い位置で基準位置Ｐ１を検出することができ、この基準位置Ｐ１からワーク研磨位置Ｐ２へ支障なく下降移動させることができるので、高さのないワークＷの研磨加工に好適である。

また、例えば、一つのワークＷの研磨作業終了後あるいは所定数のワークＷの研磨作業終了後あるいは研磨作業開始から所定時間経過後に、前記研磨体２を上昇移動若しくは下降移動させて前記基準位置検出手段５による前記研磨体２の研磨面３の基準位置検出が行われるように前記昇降機構４を駆動制御する定期駆動手段を前記制御部に設ければ、基準位置検出手段５による前記研磨体２の研磨面３の基準位置検出が、自動で定期的に行われる。

特に、定期駆動手段を、所定数のワークＷの研磨作業終了後あるいは研磨作業開始から所定時間経過後に、前記昇降機構４を駆動制御する構成とすれば、研磨作業効率をさほど低下させることなく、基準位置検出を行うことができるので実用的となる。

また、例えば、前記基準位置検出手段５は、前記研磨体２に対し非接触で前記研磨面３を検出可能な光電センサー５を採用すれば、信頼性の高い光電センサー５によって精度良く研磨面３の基準位置Ｐ１を検出でき、更に研磨体２が自転したり、複数の研磨体２が公転するような装置構成であっても、これらの動作に支障を与えることなく非接触の光電センサー５によって確実に基準位置Ｐ１を検出することができる。

また、例えば、予め設定した高さ以上の高さを有するワークＷを検出する想定外ワーク検出手段６を備え、この想定外ワーク検出手段６が前記ワークＷを検出した際に研磨作業を停止する緊急停止手段を前記制御部に設ければ、高さがありすぎて研磨体２や装置自体に故障を生じる懸念のあるワークＷは、想定外ワーク検出手段６に検出されて緊急停止手段により研磨作業が停止するので、故障を防止できる。

また、例えば、前記支持部１は、ワークＷを載置若しくは固定して移送する移送機構７を備え、この支持部１の移送機構７の移送始端側に前記想定外ワーク検出手段６を設けると共に、この想定外ワーク検出手段６は、支持部１に対し昇降移動可能に設けて、この想定外ワーク検出手段６で検出するワークＷの高さを設定変更可能な構成とすれば、移送機構７により移送されたワークＷを研磨体２で次々と研磨できるので、効率的な研磨作業がなされる。

しかし、高さがありすぎて故障の懸念のあるワークＷが移送されてくると、このワークＷが移送機構７の移送始端側で想定外ワーク検出手段６に検出されて研磨体２による研磨が行われる前に研磨作業が停止するので、想定外のワークＷを研磨してしまうことによる故障が未然に防止されることになる。

また、想定外ワーク検出手段６は、支持部１に対し昇降移動できるので、この想定外ワーク検出手段６で検出するワークＷの高さを研磨するワークＷの高さに応じて設定変更可能である。

本発明の具体的な実施例について図面に基づいて説明する。

本実施例は、板状のワークＷを研磨したりバリ取りしたりするための研磨装置に適用したもので、装置本体８にワークＷを載置若しくは固定する支持部１を設け、この装置本体８の前記支持部１の上方に、支持部１に載置若しくは固定した前記ワークＷを研磨する研磨体２と、この研磨体２を前記ワークＷの高さに応じて前記支持部１に対し昇降移動可能な昇降機構４とを設けている。

具体的には、本実施例の支持部１は、ワークＷを載置して移送する移送機構７としてのベルトコンベア７で構成し、このベルトコンベア７を装置本体８に水平に配設して、ワークＷ移送方向が水平方向となるように構成している。また、図示していないが、この支持部１には、ベルトコンベア７上に載置したワークＷを固定しながら移送するための固定手段（吸着装置など）を設けている。

また、本実施例の研磨体２は、円板形の基板部から下向きに多数の等長ブラシ毛を密集状態に突設した研磨ブラシ２を採用しており、この研磨ブラシ２の多数のブラシ毛の下端部が集合してなす水平面状の研磨体２下端部を、板状のワークＷの表面を研磨するための研磨面３としている。

また、この研磨体２は、複数個（図面では四個）を装置本体８内の前記支持部１上方に配設したベース板９に対して夫々水平方向に回転可能に設けている。

また、このベース板９は、装置本体８に対して水平方向に回転可能に設けている。

そして、本実施例では、研磨体２とベース板９の双方の回転駆動源として装置本体８内に研磨駆動モータ10を設け、この研磨駆動モータ10により研磨体２がベース板９に対し自転駆動すると共に、同時にベース板９も装置本体８に対し例えば研磨体２の自転方向と反対方向に回転（公転）駆動して、前記支持部１上に載置したワークＷの表面を研磨する構成としている。

また、本実施例の昇降機構４は、前記ベース板９に螺子杆11を立設状態にして回動自在に設けると共に、この螺子杆11を装置本体８内に設けた雌螺子部12に螺着支持した構成として、この雌螺子部12に対して螺子杆11を回動螺動させると、前記ベース板９（研磨体２）が装置本体８（支持部１）に対して昇降移動するように構成している。

また、この螺子杆11にはスプロケット13を設け、一方、装置本体８内の上部に設けた昇降駆動源としての昇降駆動モータ14にもスプロケット13を設け、この螺子杆11のスプロケット13と昇降駆動モータ14のスプロケット13とをチェーン15で連結している。従って、昇降駆動モータ14の回転駆動力がチェーン15を介して螺子杆11に伝達されて、ベース板９（研磨体２）が昇降移動する構成としている。

本実施例は、前記昇降機構４を介して前記研磨体２を前記支持部１に対し上昇移動若しくは下降移動した際にこの研磨体２下端の前記研磨面３が予め設定した基準位置Ｐ１に位置したことを検出する基準位置検出手段５と、基準位置検出手段５が前記基準位置Ｐ１に位置した前記研磨体２の研磨面３を検出した際に、この基準位置Ｐ１から研磨体２を予め設定した移動量Ｌだけ上昇移動若しくは下降移動させてこの研磨体２の研磨面３がワーク研磨位置Ｐ２に位置するように前記昇降機構４を駆動制御する制御部を備えている。

具体的には、本実施例の基準位置検出手段５は、前記研磨体２に対し非接触で前記研磨面３を検出可能な光電センサー５を採用し、この光電センサー５を前記支持部１に載置若しくは固定した前記ワークＷの上面より高い位置に設けて、この基準位置検出手段５が前記昇降機構４を介して上昇移動する前記研磨体２の研磨面３をワークＷ上面より上方の前記基準位置Ｐ１で検出し得るように構成している。

即ち、本実施例では、前記昇降機構４を介して前記研磨体２を前記支持部１に対し上昇移動させると、光電センサー５が研磨体２下端の研磨面３が予め設定した基準位置Ｐ１に位置したことを検出し、この際制御部が基準位置Ｐ１から研磨体２を予め設定しておいた前記移動量Ｌだけ下降移動させてこの研磨体２の研磨面３がワーク研磨位置Ｐ２に位置するように昇降機構４を駆動制御することになる構成としている。

更に詳しくは、前記光電センサー５は、バリ取り時の粉塵飛散環境下でも安定した検出が可能な信頼性の高い透過型の光ファイバーセンサー５を採用し、この光ファイバーセンサー５の発信器５Ａと受信器５Ｂを、前記支持部１（ベルトコンベア７）の移送方向と直交する方向の両外側位置に固定し、この発信器５Ａからの信号光を研磨体２が遮光する光量によって研磨体２の研磨面３を検出し、この検出信号を前記制御部に発信する構成としている。

本実施例の制御部（図示省略）は、装置本体８に設けているが、装置本体８から遠隔位置に設けても良い。

この制御部は、前記基準位置Ｐ１から前記ワーク研磨位置Ｐ２までの研磨体２の移動量Ｌを記憶する移動量記憶手段と、前記基準位置検出手段５からの検出信号を受信すると、前記昇降駆動モータ14（昇降機構４）に前記移動量記憶手段で記憶した移動量Ｌの駆動信号を発信する駆動信号発信手段とを備えている。尚、例えば、昇降駆動モータ14にステッピングモータを採用して移動量Ｌが常に一定量となるようにする。また、ステッピングモータを使用せずに、エンコーダ（例えば、前記スプロケット13の回転を読むロータリーエンコーダなど）を用いた制御を行うことで、移動量Ｌが常に一定量となるようにしても良い。

また、本実施例では、前記研磨体２の研磨面３のワーク研磨位置Ｐ２を、前記ワークＷの高さに応じて設定変更可能な研磨位置設定手段と、この研磨位置設定手段の設定値に基づいて、前記基準位置Ｐ１から前記ワーク研磨位置Ｐ２までの研磨体２の前記移動量Ｌを自動設定する移動量設定手段とを前記制御部に設けている。

具体的には、本実施例で言うワーク研磨位置Ｐ２は、支持部１（ベルトコンベア７）からの研磨面３の高さで設定するものとし、前記研磨位置設定手段は、このワーク研磨位置Ｐ２（研磨面３の設定高さＨ）の数値を入力するための入力装置（図示省略）を備えている。

また、移動量設定手段は、前記支持部１からの前記基準位置検出手段５の高さ（前記基準位置Ｐ１の高さ）を記憶する基準高さ記憶手段と、この基準高さ記憶手段で記憶された基準位置検出手段５の高さから前記研磨位置設定手段の設定値（設定高さＨ）を引き算して前記基準位置Ｐ１から前記ワーク研磨位置Ｐ２までの研磨体２の前記移動量Ｌを算出する算出手段とを備え、この算出手段で算出された算出信号が、前記移動量記憶手段に記憶される構成としている。

また、本実施例では、所定数のワークＷの研磨作業終了後あるいは研磨作業開始から所定時間経過後に、前記研磨体２を上昇移動させて前記基準位置検出手段５による前記研磨体２の研磨面３の基準位置検出が行われるように前記昇降機構４を駆動制御する定期駆動手段を前記制御部に設けている。

定期駆動手段は、ワークＷの研磨数をカウントする、あるいは研磨作業開始からの経過時間をカウントするカウント手段と、予め設定した研磨数あるいは経過時間を記憶する定期記憶手段と、この定期記憶手段で記憶された研磨数あるいは経過時間と前記カウント手段から出力されるカウント信号とを照合して、このカウント信号と記憶数あるいは記憶時間とが一致した時に前記昇降駆動モータ14（昇降機構４）に研磨体２を上昇移動させる駆動信号を発信する検出動作命令発信手段とを備えている。

尚、一つのワークＷの研磨作業が終了する度に、前記研磨体２を上昇移動させて前記基準位置検出手段５による前記研磨体２の研磨面３の基準位置検出が行われるように定期駆動手段を構成しても良い。

また、本実施例では、予め設定した高さ以上の高さを有するワークＷを検出する想定外ワーク検出手段６を、支持部１（ベルトコンベア７）の移送始端側に設け、この想定外ワーク検出手段６が前記ワークＷを検出した際に研磨作業を停止する緊急停止手段を前記制御部に設けている。

具体的には、本実施例の想定外ワーク検出手段６は、ワークＷに対し非接触で高さを検出可能な反射型の光電センサー６を採用し、この光電センサー６の発信・受信器６Ａと反射器６Ｂとを前記支持部１（ベルトコンベア７）の移送方向と直交する方向の両外側位置に、この支持部１より高い位置に設け、この発信・受信器６Ａから発信して反射器６Ｂで反射した信号孔をワークＷが遮光することで検出し、この検出信号を前記緊急停止手段に発信する構成としている。

また、この想定外ワーク検出手段６は、支持部１（ベルトコンベア７）に対し昇降移動可能に設けて、この想定外ワーク検出手段６で検出するワークＷの高さを設定変更可能な構成としている。

具体的には、前記装置本体８内にセンサー取付部16を設け、このセンサー取付部16に設けた縦長のガイド長窓17に光電センサー６の発信・受信器６Ａを取付すると共に、この発信・受信器６Ａをガイド長窓17をガイドとして適宜な駆動源により上下方向に昇降駆動するように取付している。

即ち、本実施例の想定外ワーク検出手段６は、発信・受信器６Ａだけを昇降移動可能に設け、反射器６Ｂは、昇降移動する発信・受信器６Ａがどの位置にあっても信号光を反射可能な大きなのものを固定している。

また、本実施例では、この発信・受信器６Ａは、前記研磨位置設定手段の設定高さＨの変更に同期して自動的に昇降移動するように構成している。具体的には、この発信・受信器６Ａの位置は、予め前記設定高さＨ＋所定値α（この所定値αは、例えば研磨体２で研磨した際に故障の懸念のあるワークＷの高さに設定する。）と定め、研磨位置設定手段に入力された設定値（高さＨ）に所定値αが加えられた高さ位置に自動的に昇降移動する構成としている。尚、発信・受信器６Ａの昇降移動が、研磨位置設定手段の設定高さＨの変更に同期しない構成としても良い。

また、緊急停止手段は、前記想定外ワーク検出手段６からの検出信号を受信すると、前記研磨駆動モータ10と、ベルトコンベア７の駆動源とに駆動停止信号を発信する駆動停止信号発信手段を備えている。

次に、本実施例の作動を説明する。

予め研磨位置設定手段に設定高さＨを入力して、基準位置Ｐ１からワーク研磨位置Ｐ２までの研磨体２の移動量Ｌを設定しておく。

ベルトコンベア７にワークＷを載置固定し、研磨体２をワーク研磨位置Ｐ２に位置させて装置を駆動すると、ベルトコンベア７によって移送されるワークＷが次々と研磨体２の研磨面３で研磨されていくことになる（図３参照）。

この研磨作業を継続しているうちに、研磨体２の研磨面３に徐々に摩耗を生じてくるが（図４参照）、所定数のワークＷの研磨作業終了後あるいは研磨作業開始から所定時間経過後に、定期駆動手段が昇降機構４を駆動制御して自動的に研磨体２を上昇移動させ、この際に基準位置検出手段５による研磨体２の研磨面３の基準位置検出が行われる（図５参照）。

すると、この基準位置検出手段５の検出信号を受けて、制御部が基準位置Ｐ１から研磨体２を予め設定しておいた前記移動量Ｌだけ研磨体２を下降移動させてこの研磨体２の研磨面３が前記ワーク研磨位置Ｐ２に位置するように前記昇降機構４を駆動制御することになる（図６参照）。

即ち、研磨体２の研磨面３に摩耗を生じても、その摩耗した研磨面３を新たな基準位置Ｐ１に設定し直し、その上でこの基準位置Ｐ１から予め設定した移動量Ｌだけ研磨体２を移動させてワーク研磨位置Ｐ２に位置させるので、このワーク研磨位置Ｐ２の研磨体２は、その研磨面３の位置が研磨作業開始当初のワーク研磨位置Ｐ２の研磨体２の研磨面３と同じ位置に位置することになり、研磨開始当初と同等のワークＷに対する所望押し当て力を自動的に実現できる。

また、研磨作業中に、高さがありすぎて故障の懸念のあるワークＷが移送されてくると、このワークＷが移送機構７の移送始端側で想定外ワーク検出手段６に検出されて研磨体２による研磨が行われる前に研磨作業が停止する（図７参照）。

尚、本発明は、本実施例に限られるものではなく、各構成要件の具体的構成は適宜設計し得るものである。

１支持部
２研磨体
３研磨面
４昇降機構
５基準位置検出手段（光電センサー）
６想定外ワーク検出手段
７移送機構
Ｌ移動量
Ｐ１基準位置
Ｐ２ワーク研磨位置
Ｗワーク

Claims

ワークを載置若しくは固定する支持部と、この支持部の上方に設けられて支持部に載置若しくは固定した前記ワークを研磨する研磨体と、この研磨体を前記ワークの高さに応じて前記支持部に対し昇降移動可能な昇降機構とを備えた研磨装置において、前記昇降機構を介して前記研磨体を前記支持部に対し上昇移動若しくは下降移動した際にこの研磨体下端の研磨面が予め設定した基準位置に位置したことを検出する基準位置検出手段と、基準位置検出手段が前記基準位置に位置した前記研磨体の研磨面を検出した際に、この基準位置から研磨体を予め設定した移動量だけ上昇移動若しくは下降移動させてこの研磨体の研磨面がワーク研磨位置に位置するように前記昇降機構を駆動制御する制御部を備えたことを特徴とする研磨装置。
前記研磨体の研磨面のワーク研磨位置を、前記ワークの高さに応じて設定変更可能な研磨位置設定手段と、この研磨位置設定手段の設定値に基づいて、前記基準位置から前記ワーク研磨位置までの研磨体の前記移動量を自動設定する移動量設定手段とを前記制御部に設けたことを特徴とする請求項１記載の研磨装置。
前記基準位置検出手段は、前記支持部に載置若しくは固定した前記ワークの上面より高い位置に設けて、この基準位置検出手段が前記昇降機構を介して上昇移動する前記研磨体の研磨面をワーク上面より上方の前記基準位置で検出し得るように構成し、この基準位置検出手段が前記基準位置で前記研磨面を検出した際に、前記制御部は、前記基準位置から前記研磨体を予め設定した移動量だけ下降移動させてこの研磨体の研磨面を前記ワーク研磨位置に位置するように前記昇降機構を駆動制御する構成としたことを特徴とする請求項１，２のいずれか１項に記載の研磨装置。
一つのワークの研磨作業終了後あるいは所定数のワークの研磨作業終了後あるいは研磨作業開始から所定時間経過後に、前記研磨体を上昇移動若しくは下降移動させて前記基準位置検出手段による前記研磨体の研磨面の基準位置検出が行われるように前記昇降機構を駆動制御する定期駆動手段を前記制御部に設けたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の研磨装置。
前記基準位置検出手段は、前記研磨体に対し非接触で前記研磨面を検出可能な光電センサーを採用したことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の研磨装置。
予め設定した高さ以上の高さを有するワークを検出する想定外ワーク検出手段を備え、この想定外ワーク検出手段が前記ワークを検出した際に研磨作業を停止する緊急停止手段を前記制御部に設けたことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の研磨装置。
前記支持部は、ワークを載置若しくは固定して移送する移送機構を備え、この支持部の移送機構の移送始端側に前記想定外ワーク検出手段を設けると共に、この想定外ワーク検出手段は、支持部に対し昇降移動可能に設けて、この想定外ワーク検出手段で検出するワークの高さを設定変更可能な構成としたことを特徴とする請求項６記載の研磨装置。