JP2012002580A - 内挿誤差測定装置、内挿誤差測定方法、エンコーダおよび位置検出方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】所定の固有周波数で振動する振動子(40)と、前記振動子に設けられ、位置を示す符号が付されている符号板(10)と、前記符号が示す位置を位置情報として検出して、前記位置情報を含む検出信号を出力する検出部(30)と、前記検出部から出力された検出信号と前記固有周波数に対応する周波数成分とに基づいて、前記位置情報の内挿誤差を計測する計測部(60)とを備える。
【選択図】図1
Description
上述のような内挿誤差の計測は、例えば、可動体に基準センサとして高精度静電容量センサなどを装備して、検査対象とするセンサ(被検査センサ)と基準センサとによって検出された位置情報の差を取ることによって行われていた(例えば、特許文献1、非特許文献1参照)。
しかしながら、例えば、センサの検出精度を評価する基準センサを用いて評価する場合の基準センサでさえ、1nm以下の検出精度を十分に満足して計測することが困難な場合がある。また、仮に、必要とされる検出精度の基準センサを実現させたとしても、非常に高価なものとなり、その調整も難しいことから容易に実現することが困難であるという問題があった。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、内挿誤差の検出精度を高めた内挿誤差測定装置、内挿誤差測定方法、エンコーダおよび位置検出方法を提供することを目的とする。
(第1実施形態)
図1は、本実施形態による内挿誤差測定装置の構成を示すブロック図である。
この図に示される内挿誤差測定装置100は、例えば、短寸法の符号板10、該符号板10の変位を検出するエンコーダヘッド、音叉40、信号源50及び内挿誤差計測部60を備える。
エンコーダヘッドは、光源20、検出部30を備える。
符号板10は、パターン11を含んだアブソリュート・トラックを備え、そのアブソリュート・トラックに位置を示すパターン11(符号)が付されている。
アブソリュート・トラックに含まれるパターン11は、検出部30に設けられたセンサ31と符号板10との位置関係を絶対位置として示す位置情報を符号化して示す。その符号化は、例えばM系列符号が適用できる。9次のM系列符号を用いた場合では、「0」と「1」の2値の符号の(9+1)個の連続する組み合わせにより、最大512箇所の絶対位置を識別することが可能となる。各符号の間隔は、等間隔の基本ピッチTで定められる。
基本ピッチとは、隣接して設けられる符号が配置される間隔(識別符号の基本間隔)のことであり、並べて配置された符号の位置を定める単位長さを示す。
このパターン11を検出する方法には、透過式と反射式がある。透過式は、光源20とセンサ31との間に設けられた符号板10を介して透過した光をセンサ31で検出する。例えば、センサ31は、符号板10に設けられたパターンの影を検出する。反射式は、符号板10の表面において光源20からの光を照射し、符号板10からの反射光をセンサ31で検出する。
検出部30は、パターン11(符号)が示す位置を位置情報として検出して、検出した位置情報を含む検出信号を出力する。検出部30は、センサ31、増幅部32、AD変換部33A、33B、内挿処理部34を備える。
センサ31は、符号板10のトラックに設けられたパターン11を検出する。例えば、センサ31は、その受光面に2次元の格子上に配置された光検出素子(受光素子)が設けられた受光センサである。センサ31は、その受光面が符号板10のトラックに向けて配置される。また、センサ31の光検出素子は、符号板10に設けられたトラックの接線方向と並行に、又は、トラックに沿った方向に沿って設けられる。センサ31の各光検出素子は、受光量に応じて光電変換を行い、それぞれの受光量に対応した電圧によって示されるアナログ信号に変換する。各光検出素子には、例えば、光電変換素子(例、フォトダイオードなど)、C−MOS(Complementary-Metal Oxide Semiconductor)センサなどが適用できる。
AD変換部33Aは、増幅部32によって出力された正弦波A相の信号をデジタル信号に変換する。AD変換部33Bは、増幅部32によって出力された正弦波B相の信号をデジタル信号に変換する。
90度の位相差がある信号に基づいた内挿処理として、式(1)に示す演算式によって内挿処理結果の位相θが算出できることが知られている。
また、内挿誤差測定装置100における音叉40(振動子)は、二股に分岐した振動部を備え、その振動部が所定の固有周波数で振動する。固有振動数は、音叉40の形状、材質の硬性に依存して定まる、音叉40の共振周波数である。
音叉40には、二股に分岐した振動部(腕)が振動する位置(振動位置)の一方に符号板10が設けられる。また、音叉40には、二股に分岐した振動部が振動する位置(振動位置)の他方に、符号板10と同じ質量の部材が設けられている。パターン11(符号)が並べられて配置されている方向と、音叉40(振動子)が振動する方向とが一致するように符号板10が音叉40(振動子)に設けられる。
発信器51は、音叉40の固有周波数と同じ周波数の信号を発生する。増幅部52は、発信器51が発生した信号を増幅する。スピーカ53(供給部)は、発信器51が発生した信号に基づいた振動を音叉40に供給する。これにより、音叉40の固有振動数と同じ周波数の振動が振動源50から供給された音叉40は、その振動により共振する。
計測部60は、位置情報取得部61、検出信号記憶部62、周波数変換処理部63、フィルタ部64、及び、周波数逆変換部65を備える。
位置情報取得部61は、検出部30から出力された検出信号を取得し、検出信号記憶部62に記憶させる。検出信号記憶部62は、位置情報取得部61が取得した検出信号と時間を示す情報とを関連付けて記憶する。
周波数逆変換部65は、周波数変換処理部63によって変換された信号の周波数成分から、フィルタ部64が、音叉40の固有周波数に対応する周波数成分を減じた周波数領域の信号を時間領域の信号に変換する。周波数逆変換部65は、時間領域の信号に変換された信号を出力する。その変換された時間領域の信号の振幅が、内挿誤差の大きさを示す。
エンコーダ1の符号板10が、音叉40が共振して振動する部位(振動位置)に設けられている。振動源50は、音叉40に対して、音叉の固有振動数とおなじ周波数の振動を供給する。供給される振動により、音叉40が共振する。
発振器51から、125Hzの正弦波を発生させて、増幅器52を通じてスピーカ53を鳴らす。スピーカ53の近傍で、スピーカ53が出力する音(振動)が届く位置に、125Hzに共振周波数を持つ音叉40を設置する。音叉40の腕(共振して振動する部位)の中ほどには、短寸法のエンコーダ1の符号板10(スケール)を貼り付けている。スケールの変位を計測するために検出部30をスケールから所定距離だけ離して設置する。多くの高精度センサがそうであるように、この光源20と検出部30とを含むエンコーダヘッドはスケールと非接触で計測する。図示していないが、音叉40の共鳴特性に影響を与えないように、反対の腕にも、符号板10(スケール)と同じ重量のダミースケールを貼り付ける。
アンプで音量を調整し、音叉40を内挿誤差計測に十分な振幅、すなわち符号板10のスケールピッチ(パターン11の基本ピッチ)の数倍の振幅で、エンコーダ1の符号板10の移動方向に振動させる。例えば、エンコーダ1におけるパターン11の基本ピッチが2μmであれば、基本ピッチの倍以上の振幅を確保するように、符号板10を移動させる振幅を5μm程度にする。共振周波数が125Hzの音叉40であれば、十分にこの振幅を得ることができる。なお、外部からの音による計測誤差を防ぐために、この装置全体を遮音チャンバに入れることが望ましい。
このような条件の下で、エンコーダ1の符号板10に単振動を与えることにより、与えた単振動の高調波の周波数に、基本ピッチの幅を1周期として変化する誤差成分が変換される。
上記では、説明を単純にするために、基本ピッチの幅を1周期として変化する誤差成分を例にして示したが、さらに高次の周期性を有する誤差成分は、単振動の周波数の倍の周波数より高次の周波数成分に変換される。このように、単振動の周波数の倍以上の周波数成分を検出することにより、内挿誤差を判定することが可能となる。
図2は、本実施形態における内挿誤差を判定における信号処理を示す図である。
図2(a)の波形は、振動源50から振動を供給して、音叉40を一定振幅で振動させている状態で、エンコーダ1が内挿処理を行って出力される位置情報の変化を示す。その状態で、エンコーダ1から出力される位置情報を位置情報取得部61が継続的に取得して、予め定められた一定時間の位置情報の変化を検出信号記憶部62に記録する。記録される情報は、時間経過に応じて変化する時間軸データである。
図2(b)の波形は、周波数軸データに変換された位置情報の変化を示す。
この変換により、エンコーダ1が内挿誤差を持つ場合には、音叉40の固有周波数(音叉周波数である125Hz)の高調波成分が現われる。高調波成分の値は、内挿誤差の大きさに応じて変化する。
図2(c)の波形が示すように、フィルタ部64は、周波数軸データ(FFTデータ)から、音叉40の固有周波数の成分を低減(又は消去)する。この固有周波数の成分の消去は、固有周波数の高調波成分の情報(高調波成分の振幅と位相)に影響を与えないように、固有周波数を含む狭い周波数帯域で行う。
図2(d)の波形は、特定周波数消去処理(固有周波数の成分の低減処理)後の周波数データに対して逆FFT処理(周波数逆変換処理)を行った結果を示す。このように、周波数逆変換処理によって内挿誤差成分の波形を得ることができる。
音叉40の振動は、非常に繰り返し性が良いので、長時間のデータ収集を行っても、その間に発生する振動の状態変化が少ない。収集した長時間のデータに含まれる時間経過による影響が少ないことから、長時間のデータを用いることによって、検出データの時間依存性を低減させることができ、精度よく平均化処理がなされるという効果を得ることができる。この方法によれば、基準センサを用いることなく、高精度な内挿誤差測定を安価に実現できる。
図3は、本実施形態によるエンコーダの構成を示すブロック図である。
この図に示されるエンコーダ1Aは、符号板10A、10B、光源20、検出部30、音叉40、内挿誤差算出部70、減算器80を備える。図1に示した構成と同じ構成には、同じ符号を附す。また、エンコーダ1Aは、振動源50を用いて内挿誤差を計測する。
符号板10Aは、符号板10(図1)と同じく位置を示すパターン11Aが付されている。符号板10Aは、パターン11Aを含んだアブソリュート・トラックを備える。符号板10Bは、符号板10(図1)と同じく位置を示すパターン11Bが付されている。符号板10Bは、パターン11Bを含んだアブソリュート・トラックを備える。
符号板10Aと符号板10Bとは、エンコーダ1Aの移動方向の延長線上に位置して、エンコーダ1Aによって位置を計測可能な範囲に設けられる。
符号板10Aは、符号板10(図1)と同じく音叉40の腕に設けられ、エンコーダ1Aにおける内挿誤差の計測に用いられる。一方、符号板10Bは、被検出対象の移動位置の計測に用いられる。
また、符号板10Aに付されているパターン11Aと、10Bに付されているパターン11Bとは、同じ符号を示し、例えば、パターン11(図1)に示した符号とそれぞれ同じ符号を示す。
内挿誤差算出部70は、位置情報取得部71、検出信号記憶部72、周波数変換処理部73、フィルタ部74、周波数逆変換部75、補正情報記憶部76、補正情報出力処理部77を備える。
内挿誤差算出部70における位置情報取得部71、検出信号記憶部72、周波数変換処理部73、及び、フィルタ部74は、計測部60における位置情報取得部61、検出信号記憶部62、周波数変換処理部63、及び、フィルタ部64に対応し、特記した構成以外はそれぞれ同じである。
周波数逆変換部75は、周波数変換処理部73によって変換された誤差情報の周波数成分から、フィルタ部74が、音叉40の固有周波数に対応する周波数成分を減じた周波数領域の信号を時間領域の信号に変換する。周波数逆変換部65は、時間領域の信号に変換された信号が示す情報の時間軸を、パターン11Aの基本ピッチを1周期として示す空間座標軸に変換する。座標変換された情報は、パターン11Aの基本ピッチを1周期に対応する内挿誤差の情報となる。周波数逆変換部75は、座標変換された情報をパターン11Aの基本ピッチを1周期とする位相情報をキーにして対応する情報(補正情報)を、補正情報記憶部76に記録する。
補正情報出力処理部77は、内挿誤差の補正情報を取得する初期化処理する場合、パターン11Aの基本ピッチの基準位相に対して生じる実際の誤差情報と、補正情報記憶部76に記憶される誤差情報との差が小さくなる位相を検出し、その位相差を示す位相オフセット値を補正情報記憶部76に記憶する。
補正情報出力処理部77は、パターン11Bの位置を補正する内挿誤差の補正量を出力する場合、補正情報記憶部76に記憶されている情報(補正情報)を実際の誤差情報と、補正情報記憶部76に記憶される誤差情報との位相差を調整する位相オフセット値に基づいて参照し、補正情報記憶部76に記憶されている当該補正情報を出力する。
また、減算器80(補正部)は、内挿処理部34から出力される位置情報に、補正情報出力処理部77から出力された補正情報を減算し、内挿処理部34から出力される位置情報を補正して出力する。
内挿処理部34によって、例えば2相の正弦波から逆正接計算によって内挿処理された位置情報を得ることができる。このとき正弦波にオフセットや2相の振幅差があると内挿誤差が生じることが知られている。内挿誤差は周期的であるのでエンコーダ信号の一周期(パターン11の基本ピッチに相当)に対する位相の関数と考えることができる。第1実施形態に示した内挿誤差計測装置60は、内挿誤差の波形を知ることができるが、これはエンコーダ1が出力する原エンコーダ信号との位相関係を明示的に知ることは難しい。
最初に行う第1のステップのキャリブレーション処理において、位置情報取得部71は、計測された内挿誤差の変化に基づいて生成される誤差波形を、補正情報記憶部76(誤差補正メモリ)に一旦記憶する。この第1のステップの処理は、前述の第1実施形態に示した処理と同様の処理である。
このキャリブレーション処理を終えた後に、エンコーダ1Aは、符号板10Bの位置まで移動させて、符号板10Bに設けられたパターン11Bによって示される位置情報を検出し、その位置情報に含まれる内挿誤差を、キャリブレーション処理により生成された補正情報に基づいて補正する。この補正では、内挿処理部34によってない挿入処理された位置情報から、補正情報記憶部76に記憶された補正情報を、位相オフセット値に従って位相調整を行って減算することにより、内挿処理部34が生成した位置情報に含まれていた内挿誤差を低減させることができる。
エンコーダ1Aにおいては、以上に示した手順の内挿入誤差補正処理による内挿誤差を補正することにより、内挿誤差の検出精度を高めることが可能となる。
図4を参照し、上述の符号板を振動させる他の態様について示す。
図4は、符号板が設けられるステージ部を示す構成図である。
図1に示した音叉40とスピーカ53の代わりに、図4に示すように共振点をもったステージ部40A(振動子)を用いる構成としてもよい。
ステージ部40Aは、圧電素子53Aで駆動される可動台40A−1に、板バネ40A−2で連結されたステージ40A−3を備える。
このステージ部40Aは、ステージ40A−3の重量と板バネ40A−2の剛性で決まる特定の共振点(共振周波数)を持つ。
例えば、パターン11は、絶対位置を示すアブソリュートパターンに限られず、相対位置を示すインクリメンタルパターンであってもよく、また、双方を組み合わせたものであっても良い。
また、本実施形態におけるエンコーダは、上記に示した構成を一体化したものに限られず、構成の一部を分離して構成することができる。
10 符号板
30 検出部
40 音叉(振動子)
60 内挿誤差計測部(計測部)
Claims (15)
- 所定の固有周波数で振動する振動子と、
前記振動子に設けられ、位置を示す符号が付されている符号板と、
前記符号が示す位置を位置情報として検出して、前記位置情報を含む検出信号を出力する検出部と、
前記検出部から出力された検出信号と前記固有周波数に対応する周波数成分とに基づいて、前記位置情報の内挿誤差を計測する計測部と
を備えることを特徴とする内挿誤差測定装置。 - 前記計測部は、前記検出信号から前記固有周波数に対応する周波数成分を減じた信号に基づいて、前記内挿誤差を計測する
ことを特徴とする請求項1に記載の内挿誤差測定装置。 - 前記検出信号と時間を示す情報とを関連付けて記憶する検出信号記憶部を備え、
前記計測部は、前記検出信号記憶部に記憶された前記検出信号を周波数領域の信号に変換し、前記変換された信号の周波数成分から前記固有周波数に対応する周波数成分を減じた信号に基づいて前記内挿誤差を計測する
ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の内挿誤差測定装置。 - 前記計測部は、前記変換された信号の周波数成分から前記固有周波数に対応する周波数成分を減じた信号に含まれる前記固有周波数の高次の周波数成分に基づいて前記内挿誤差を計測する
ことを特徴とする請求項3に記載の内挿誤差測定装置。 - 前記計測部は、前記変換された信号の周波数成分から前記固有周波数に対応する周波数成分を減じた周波数領域の信号を時間領域の信号に変換し、前記変換された時間領域の信号が示す振幅に基づいて前記内挿誤差を計測する
ことを特徴とする請求項3に記載の内挿誤差測定装置。 - 前記振動子は、二股に分岐した振動部を備える音叉である
ことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の内挿誤差測定装置。 - 前記音叉は、前記二股に分岐した振動部の一方に前記符号板が設けられる
ことを特徴とする請求項6に記載の内挿誤差測定装置。 - 前記音叉は、前記二股に分岐した振動部の他方に、前記符号板と同じ質量の部材が設けられている
ことを特徴とする請求項7に記載の内挿誤差測定装置。 - 前記固有周波数と同じ周波数の振動を前記振動子に対して供給する振動源
を備え、
前記振動源は、
前記固有周波数と同じ周波数の信号を発生する発信器と、
前記発生された信号に基づいた振動を供給する供給部と、
を備えることを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の内挿誤差測定装置。 - 前記発信器は、
前記固有周波数と同じ周波数の正弦波を発生する
ことを特徴とする請求項9に記載の内挿誤差測定装置。 - 前記符号板には、前記振動子が振動する振幅より狭い基本間隔に従って、前記符号が並べられて配置され、
前記符号板は、前記符号が並べられて配置されている方向と、前記振動子が振動する方向とが一致するように前記振動子に設けられる
ことを特徴とする請求項1から10のいずれか1項に記載の内挿誤差測定装置。 - 前記振動子は、前記固有周波数で共振する
ことを特徴とする請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の内挿誤差測定装置。 - 振動子が所定の固有周波数で振動する過程と、
前記振動子に設けられた符号板の符号が示す位置を位置情報として検出して、前記位置情報を含む検出信号を出力する過程と、
前記検出信号と前記固有周波数に対応する周波数成分とに基づいて、前記位置情報の内挿誤差を計測する過程と、
を含むことを特徴とする内挿誤差測定方法。 - 所定の固有周波数で振動共振する振動子と、
前記振動子に設けられ、位置を示す符号が付されている符号板と、
前記符号が示す位置を位置情報として検出して、前記位置情報を含む検出信号を出力する検出部と、
前記検出された位置情報を補正する補正情報を記憶する補正情報記憶部と、
前記検出信号と前記固有周波数に対応する周波数成分とに基づいて前記補正情報を算出し、前記補正情報を前記補正情報記憶部に記憶させる内挿誤差算出部と、
前記振動子を振動させない状態において、前記位置情報を内挿処理する際に、前記補正情報に基づいて前記位置情報を補正する補正部と、
を備えることを特徴とするエンコーダ。 - 振動子が所定の固有周波数で振動する過程と、
前記振動子に設けられた符号板の符号が示す位置を位置情報として検出して、前記位置情報を含む検出信号を出力する過程と、
前記検出信号と前記固有周波数に対応する周波数成分とに基づいて算出された補正情報を補正情報記憶部に記憶させる過程と、
前記振動子を振動させない状態において、前記位置情報を内挿処理する際に、前記補正情報に基づいて前記位置情報を補正する過程と、
を含むことを特徴とする位置検出方法。
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