JP2012000548A - 精製水の製造装置とその使用方法 - Google Patents

Abstract

【課題】RO装置とEDI処理装置を組み合わせた精製水の製造装置であり、ＥＤＩ処理水を採水して使用する際、ＥＤＩ処理装置の出口時点と同程度の精製度合いを維持することができる、精製水の製造装置と、その使用方法を提供する。
【解決手段】RO装置10の処理水を貯水する第１貯水タンク11、EDI装置12の処理水を貯水する第２貯水タンク13が仕切壁２により仕切られている。EDI装置12から第２貯水タンク13への処理水の流入量（V1）と、第２貯水タンク13からのEDI処理水の採水量（V2）を調整することで、第２貯水タンク13のEDI処理水が常に天井面13aと接触しているので、EDI処理水中に気体が溶存することが防止される。
【選択図】図２

Description

本発明は、医療用又は工業用の精製水の製造装置として適した精製水の製造装置と、その使用方法に関する。

精製水の製造装置として、逆浸透膜処理装置（ＲＯ装置）と電気再生式脱イオン装置（ＥＤＩ装置）を組み合わせた装置が知られている（特許文献１）。

特許文献１の図２、図３には、ＲＯ装置１０、ＲＯ装置による処理水（ＲＯ処理水）の貯水タンク３１、ＥＤＩ装置１１、ＥＤＩ装置による処理水（ＥＤＩ処理水）の貯水タンク２０を備えた装置が示されている。
貯水タンク２０内にＥＤＩ処理水が流入し、水位が設定上限位置に達したとき、レベルスイッチ３０からの信号により、貯水タンク２０内へのＥＤＩ処理水の流入が停止されることが記載されている（段落番号４２）。そして、図２、図３からも容易に理解できるとおり、貯水タンク２０の天井面からは間隔をおいてレベルスイッチの上限が設置されている。
このため、貯水タンク２０内のＥＤＩ処理水は、タンク内に存在する空間と常に接触した状態となっており、その界面で、あるいは、貯水タンク２０内の水位の変動やタンク上部からのＥＤＩ処理水の流入、落下による液面の乱れ等により、ＥＤＩ処理水中には前記空間内に存在する気体が溶け込み、ＥＤＩ処理装置の出口から出された時点と比べると、精製度合いが低下（電気伝導度が低下）している可能性がある。

特許文献２には、膜式脱気装置及び原水の脱気方法に関する発明が開示されている。
図１の装置では、蒸気ヒーター１３による原水Ｗの加熱により、溶存酸素が減少された後、管路２４を通して膜モジュール３へ圧送されて脱気処理がなされ、脱気水Ｗ₀が脱気水タンク２へ供給されることが記載さている（段落番号１７）。
しかし、段落番号１８の記載と図１から明らかなとおり、脱気水タンク２の天井面と脱気水Ｗ₀の水面との間には空間が存在している。このため、引用文献１と同様に、その界面で、あるいは、脱気水タンク２内の水面の変動や脱気水流入により液面の乱れ等により、脱気水Ｗ₀中には前記空間内に存在する気体が溶け込んでいる可能性がある。

特開平９−５７２７１号公報 特許第２５６８９５４号公報

本発明は、ＲＯ装置とＥＤＩ処理装置を組み合わせた精製水の製造装置であり、ＥＤＩ処理水を採水して使用する際、ＥＤＩ処理装置の出口時点と同程度の精製度合いを維持することができる、精製水の製造装置と、その使用方法を提供することを課題とする。

本願請求項１の発明は、課題の解決手段として、
逆浸透膜処理装置（以下「ＲＯ装置」という）、ＲＯ装置の処理水（以下「ＲＯ処理水」という）を貯水するための第１貯水タンク、電気再生式脱イオン装置（以下「ＥＤＩ装置」という）、ＥＤＩ装置の処理水（以下「ＥＤＩ処理水」という）を貯水するための第２貯水タンクを有する精製水の製造装置であって、
ＲＯ装置と第１貯水タンクが管で接続され、第１貯水タンクとＥＤＩ装置が管で接続され、ＥＤＩ装置と第２貯水タンクが管で接続され、第２貯水タンクと第１貯水タンクが管で接続されており、第２貯水タンク内のＥＤＩ処理水を採水して使用するものであり、
運転時においては、ＥＤＩ装置から第２貯水タンクへのＥＤＩ処理水の流入量（Ｖ１）と、第２貯水タンクからのＥＤＩ処理水の採水量（Ｖ２）がＶ１＞Ｖ２の関係を満たすように調整されるようになっており、
第２貯水タンク内において、ＥＤＩ処理水が常に天井面と接触し、気体と接触しない状態に維持されるようになっている、精製水の製造装置を提供する。

本願請求項５の発明は、他の課題の解決手段として、
請求項１〜４のいずれか１項記載の精製水の製造装置により製造した精製水の使用方法であって、
原水をＲＯ装置に供給してＲＯ処理水を製造し、第１貯水タンクに貯水する工程、
第１貯水タンクのＲＯ処理水をＥＤＩ装置に供給し、ＥＤＩ処理水を製造し、第２貯水タンクに貯水する工程により精製水を製造した後、
第２貯水タンク内の精製水を採水して使用するとき、ＥＤＩ処理装置から第２貯水タンクにＥＤＩ処理水を供給する量（Ｖ１）と第２貯水タンク内の精製水を採水する量（Ｖ２）が、Ｖ１＞Ｖ２になるように調整する、精製水の使用方法を提供する。

本発明の精製水の製造装置を用いることにより、より純度の高い（より電気伝導度の小さい）精製水を安定して採水することができる。

本発明の製造装置の一実施形態を示す概略図。 本発明の製造装置の他実施形態を示す概略図。 図２の製造装置の部分概略図。 図２の製造装置のさらに他の実施形態を示す部分概略図。

＜精製水の製造装置＞
（１）図１に示す精製水の製造装置
水源（水道水、地下水等）と接続された原水ライン２０とＲＯ装置１０が接続されている。なお、原水ライン２０には、必要に応じて軟水装置、プレフィルター（ミクロフィルター等）、活性炭処理装置等の前処理装置を設置することができる。

ＲＯ装置１０は、ＲＯ装置１０で処理されたＲＯ処理水を送るためのＲＯ処理水ライン２１により、第１貯水タンク１１と接続されている。

ＲＯ処理装置１０は、公知のものを用いることができ、例えば、ダイセン・メンブレン・システムズ株式会社より販売されている、装置型式ＶＣＲ４０シリーズ、ＶＣＲ８０シリーズ、ＮＥＲ４０シリーズ、ＮＥＲ８０シリーズ、ＳＨＲシリーズのほか、実施例で使用したもの等を用いることができる。

第１貯水タンク１１は、ＲＯ処理水の送水ライン２２により、ＥＤＩ装置１２と接続されている。送水ライン２２には、駆動ポンプ６１と開閉弁（電磁弁等）５１が設置されている。

第１貯水タンク１１はＲＯ処理水を貯水するためのものであり、レベルセンサー、紫外線殺菌灯、エアフィルター（空気中の微粒子、ウィルス、雑菌等を除去できる機能を有しているもの）等を設置することができる。

ＥＤＩ装置１２は、ＥＤＩ装置１２で処理した処理水（ＥＤＩ処理水）を送るためのＥＤＩ処理水ライン２３により、第１貯水タンク１１とは別に設置された第２貯水タンク１３と接続されている。

ＥＤＩ装置１２は、イオン交換室（脱塩室）、濃縮室、電極室（正及び負の電極室）を有する公知の装置であり、イオン交換室で脱イオン処理して脱塩水（ＥＤＩ処理水）を取り出すことができるものである。ＥＤＩ装置としては、例えば、特開平１１−２４４８５３号公報、特開２００１−２３９２７０号公報、特開２００１−３５３４９８号公報、特開２００４−７４１０９号公報に記載のもののほか、市販のＥＤＩ装置である、ＥＤＩシステムシリーズ，商品名ＭＯＬＳＥＰ（登録商標）（ダイセン・メンブレン・システムズ（株）販売）、実施例で使用したもの等を用いることができる。

第２貯水タンク１３はＥＤＩ処理水を貯水するためのものであり、レベルセンサー、紫外線殺菌灯、エアフィルター（空気中の微粒子、ウィルス、雑菌等を除去できる機能を有しているもの）等を設置することができる。

第２貯水タンク１３は、ユースポイントに繋がる採水ライン２４と接続されている。
採水ライン２４には開閉弁５３が設置されており、採水ライン２４と第１貯水タンクに１１は、採水時の余剰のＥＤＩ処理水を返送するためのライン２８で接続されている。
ライン２８は、図１に示すライン２８に代えて、採水ライン２４と第２貯水タンク１３を接続するラインにすることもできる。

採水ライン２４から採水したときでも、第２貯水タンク１３内に満たされたＥＤＩ処理水は、常に天井面１３ａと接触した状態（満水状態）になるように維持されている。このため、第２貯水タンク１３内の水面（ＥＤＩ処理水面）と天井面１３ａとの間には空間が存在していない。

第２貯水タンク１３において天井面１３ａに対して、常に水面が接触した状態に維持できるようにする手段としては、
（I）第２貯水タンク１３内に設置されたレベルセンサー、
（II）ライン２３に設置された流量計とライン２４に設置された流量計の組み合わせ、
（III）上記の（I）と（II）の両方の組み合わせ、
等を適用することができる。

そして、運転時において、上記の（I）〜（III）の手段により、ＥＤＩ装置１２からライン２３を通って第２貯水タンク１３に供給されるＥＤＩ処理水の流入量（Ｖ１）と、第２貯水タンク１３から採水ライン２４により採水されるＥＤＩ処理水の採水量（Ｖ２）がＶ１＞Ｖ２の関係を満たすように調整されるようにする。
こうすることにより、第２貯水タンク１３内において、ＥＤＩ処理水が常に天井面１３ａと接触し、気体と接触しない状態（満水状態）に維持されるようになる。このため、第２貯水タンク１３内のＥＤＩ処理水に気体（特に二酸化炭素）が溶解することが防止されるため、採水したＥＤＩ処理水の純度（電気伝導度で評価される）が低下することが防止される。

第２貯水タンク１３は、オーバーフローライン２５により、第１貯水タンク１１と接続されている。運転時には、ＥＤＩ処理水流入量（Ｖ１）＞ＥＤＩ処理水の採水量（Ｖ２）が保持されるため、第２貯水タンク１３内のＥＤＩ処理水量は常に満水状態で、第２貯水タンク容量を上回るＥＤＩ処理水はオーバーフローライン２５を通って第１貯水タンク１１へと流出する。

ライン２６は、ライン２３、採水ライン２４と共に、ＥＤＩ装置１２と第２貯水タンク１３との間でＥＤＩ処理水の循環ラインを形成している。循環ラインは、第２貯水タンク１３内のＥＤＩ処理水をＥＤＩ装置１２に循環させることで、ＥＤＩ装置１２内に吸着したイオン類を脱着させて洗浄したり、第２貯水タンク１３に貯水したままで長時間放置したりしたときには、ＥＤＩ処理水をＥＤＩ装置１２で再処理するためのラインである。循環ラインにて洗浄等をするときには、ポンプ６２を駆動させ、開閉弁５１、５３を閉じ、開閉弁５２を開ける。ＥＤＩ装置１２を洗浄したときの洗浄排水は、開閉弁５４を操作して、ライン２７から排水する。

（２）図２に示す精製水の製造装置
図２に示す製造装置は、図１の装置が第１貯水タンク１１と第２貯水タンク１３を別々に設置していることに対して、第１貯水タンク１１と第２貯水タンク１３を全体として１つのタンクにしたことが異なっている。なお、図２にて図１と同一番号は、同一のものであることを示す。

タンク１は、内部が仕切壁２により縦方向（高さ方向）に２つに仕切られており、一方はＲＯ処理水が入る第１貯水タンク１１、他方はＥＤＩ処理水が入る第２貯水タンク１３になっている。

第２貯水タンク１３内に満たされたＥＤＩ処理水は、常に天井面１３ａと接触した状態になるように維持されている。このため、第２貯水タンク１３内の水面（ＥＤＩ処理水面）と天井面１３ａとの間には空間が存在していない。

図３は、図２に示すタンク１（第１貯水タンク１１と第２貯水タンク１３）の別実施形態を示す図である。
第１貯水タンク１１には、レベルセンサー３１、紫外線殺菌灯３２、エアフィルター３３が備えられている。
第１貯水タンク１１の天井面１１ａには、ＲＯ処理水ライン２１が接続されて、底面にはＥＤＩ装置１２への送水ライン２２が接続されている。

第２貯水タンク１３には、レベルセンサー４１、紫外線殺菌灯４２、エアフィルター４３が備えられている。
第２貯水タンク１３の天井面１３ａには、ＥＤＩ処理水ライン２３が接続され、底面にはユースポイントへの採水ライン２４が接続されている。

採水ライン２４には開閉弁５３が設置されており、採水ライン２４と第１貯水タンクに１１は、採水時の余剰のＥＤＩ処理水を返送するためのライン２８で接続されている。
ライン２８は、図２に示すライン２８に代えて、採水ライン２４と第２貯水タンク１３を接続するラインにすることもできる。

第２貯水タンク１３の天井面１３ａは、第１貯水タンク１１の天井面１１ａよりも高くなるように設定されており、天井面１３ａと天井面１１ａの間には段差（段差面１４）が形成されている。この段差面１４から天井面１１ａを通って、オーバーフローライン２５が接続されている。なお、図３の形態において、天井面１３ａから天井面１１ａを通ってオーバーフローライン２５が接続されていてもよい。

図４は、図２に示すタンク１（第１貯水タンク１１と第２貯水タンク１３）のさらに別実施形態を示す図である。
第１貯水タンク１１には、レベルセンサー３１、紫外線殺菌灯３２、エアフィルター３３が備えられている。
第１貯水タンク１１の天井面１１ａには、ＲＯ処理水ライン２１が接続されて、底面にはＥＤＩ装置１２への送水ライン２２が接続されている。

第２貯水タンク１３は、天井面１３ａの中心部から突き出された凸部１５を有している。
第２貯水タンク１３の凸部１５の天井面１５ａは、第１貯水タンク１１の天井面１１ａよりも高くなるように設定されている。
天井面１５ａ近傍の側面１５ｂから天井面１１ａを通ってオーバーフローライン２５が接続されている。ここで、図示するように、側面１５ｂのオーバーフローライン２５の接続部の高さは、天井面１１ａよりも高い位置になっている。なお、オーバーフローライン２５は、凸部の天井面１５ａから天井面１１ａを通って接続されていてもよい。

第２貯水タンク１３には、天井面１３ａ側にレベルセンサー４１が設置され、凸部天井面１５ａ側に紫外線殺菌灯４２、エアフィルター４３が設置されているが、これらの設置場所は、天井面１３ａ側及び凸部天井面１５ａ側のいずれでもよい。
第２貯水タンク１３の天井面１３ａには、ＥＤＩ処理水ライン２３が接続され、底面にはユースポイントへの採水ライン２４が接続されている。

＜精製水の製造装置の使用方法＞
（１）図１及び図２に示す精製水の製造装置の使用方法
図１及び図２（図３、図４の実施形態も含む）で示す精製水の製造装置は、第１貯水タンク１１と第２貯水タンク１３が別々に設置されているか、一つのタンク内に設置されているかの違いであり、使用方法は同一である。以下においては、図２及び図３に示す精製水の製造装置の使用方法として説明する。

水源と接続された原水ライン２０からＲＯ装置１０に原水を送る。原水は、必要に応じて原水ライン２０に設置された前処理装置で前処理する。

ＲＯ装置１０にて原水を処理してＲＯ処理水を得た後、ＲＯ処理水ライン２１により、第１貯水タンク１１に送って貯水する。第１貯水タンク１１では、貯水量はレベルセンサー３１にて管理され、ＲＯ処理水は必要に応じて紫外線殺菌灯３２により殺菌される。

次に、第１貯水タンク１１からＲＯ処理水の送水ライン２２により、ＥＤＩ装置１２にＲＯ処理水を送って処理して、ＥＤＩ処理水を得る。ＥＤＩの運転条件は特に制限されるものではなく、例えば、特許第４４４０９８９号号公報の段落番号２６に記載の運転条件と同じ条件で運転することができる。

次に、ＥＤＩ処理水ライン２３により、第２貯水タンク１３に送って貯水する。
第２貯水タンク１３では、ＥＤＩ処理水は必要に応じて紫外線殺菌灯４２により殺菌される。
第２貯水タンク１３に設置されたレベルセンサー４１は、ポンプが空引き運転となるのを防止するためのセンサーである。
また、エアフィルター４３は、第２貯水タンク１３から排水する際にタンク内への通気孔の役目をするものであり、精製水の製造時及び採水時においては、エアフィルタ−４３から第２貯水タンク１３内に通気されることはない。

第２貯水タンク１３内のＥＤＩ処理水は、微生物やエンドトキシンが除去された精製水であり、これを採水ライン２４から採水して、人工透析液製造用となる人工透析用水等の各種用途に使用する。採水ライン２４からの採水時における余剰のＥＤＩ処理水は、ライン２８から第１貯水タンク１１に返送する。ライン２８が第２貯水タンク１３に接続されているときは、第２貯水タンク１３に返送する。

人工透析液製造用の人工透析用水として使用する場合は、人工透析用水の採水は間歇的に行われるが、ＥＤＩ装置は運転を停めることなく、常時運転を継続して、ＥＤＩ装置の頻繁な発停による水質の変動や、ＥＤＩ装置内の圧力の変動を避けて、高品質の精製水を安定して供給できるようにする。ＥＤＩ装置の運転中に、第２貯水タンク１３から精製水を採水するとき、採水量（Ｖ２）を超える量のＥＤＩ処理水（Ｖ１）がＥＤＩ処理水ライン２３から供給される。オーバーフローしたＥＤＩ処理水は、ライン２５から第１貯水タンク１１に返送される。このときのＶ１とＶ２の調整は、ライン２３に設置された流量計とライン２４に設置された流量計の組み合わせ（上記の手段（II））により実施される。
このとき、ＥＤＩ装置１２から第２貯水槽１３へのＥＤＩ処理水の流入量（Ｖ１；単位Ｌ／ｈｒ）と、第２貯水タンク１３からライン２４により採水されるＥＤＩ処理水の採水量（Ｖ２；単位Ｌ／ｈｒ）はＶ１＞Ｖ２の関係を満たすように調整する。好ましくはＶ１とＶ２の比率Ｖ１／Ｖ２＝１．１〜２、より好ましくは１．１〜１．５の範囲になるように調整する。

このようにＶ１とＶ２の比率を調整することにより、さらにオーバーフローライン２５を組み合わせることにより、第２貯水タンク１３内に満たされたＥＤＩ処理水が、常に天井面１３ａと接触した状態（満水状態）になるように維持することができる。そのため、第２貯水タンク１３内の水面（ＥＤＩ処理水面）と天井面１３ａとの間には空間が存在していない。
このような満水状態に維持されていることから、第２貯水タンク１３内のＥＤＩ処理水に気体（特に二酸化炭素）が溶存することが防止されるため、採水したＥＤＩ処理水の純度（電気伝導度で評価される）が低下することが防止される。

（精製水の製造装置）
ＲＯ処理装置１０：ＳＨＲ−８２（ダイセン・メンブレン・システムズ(株)製）
ＲＯ膜：ＳＶ０８−ＤＲＡ９８
ＲＯ処理水量（透過水量）：１６００Ｌ／ｈｒ
運転圧力：０．５６ＭＰａ
第１貯水タンク１１：容量２００Ｌ、材質：ポリエチレン
ＥＤＩ装置１２：装置型番ＥＤＩ１０００（ダイセン・メンブレン・システムズ(株)製）
ＥＤＩ電極面積：４．２ｄｍ²
（測定装置）
比抵抗計(プラグインタイプ)（（株）堀場アドバンスドテクノ)

実施例１
図２及び図３に示す製造装置にて精製水の製造及び使用を行った。
予め水道水を軟水装置・活性炭で前処理したものをＲＯ処理装置１０に供給して、ＲＯ処理水を得た。ＲＯ処理水はライン２１から第１貯水タンク１１に送って貯水した。

貯水タンク１１に貯水されたＲＯ処理水をライン２２からＥＤＩ装置１２に送って処理し、ＥＤＩ処理水を得た。ＥＤＩ処理水はライン２３から第２貯水タンク１３に送り、貯水した。
ＥＤＩ装置１２の運転条件は次のとおりである。
ＥＤＩ処理水量（第２貯水タンク１３への流入量）（V1）：１４００Ｌ／hr
濃縮水流量：６０Ｌ／hr
電極室水量：１０Ｌ／hr
電流：０．６〜１．５Ａ
電圧：２５０〜３５０Ｖ

第２貯水タンク１３内のＥＤＩ処理水を採水ライン２４から採水（採水量V2：１０００Ｌ／hr）しながら、精製装置の運転を８時間継続した後、停止した。
この運転過程において、第２貯水タンク１３の天井面１３ａは常にＥＤＩ処理水が接触するように満水状態を維持しており、運転停止時においてもこの状態を維持した。

その結果、運転停止時の第２貯水タンク１３内のＥＤＩ処理水の電気伝導度は、０．１３μS／cmであり、１５時間経過後の電気伝導度は０．１５μS／cmであった。
一方、運転停止直後に採水ライン２４から採水して、第２貯水タンク１３の水位を満水から約２／３まで下げた状態で１５時間放置した。水位を満水から約２／３まで下げた直後の電気伝導度は０．２２μS／cm、であり、１５時間経過後の電気伝導度は０．４０μS／cmであった。

電気伝導度の測定結果から明らかなとおり、第２貯水タンク１３の天井面１３ａが常にＥＤＩ処理水と接触するように維持する（満水状態に維持する）ことにより、第２貯水タンク１３内のＥＤＩ処理水への気体の溶解が防止できることから、ＥＤＩ処理水の電気伝導度を低い数値に維持することができる。
上記測定は運転停止時の電気伝導度の測定であるが、運転中において、第２貯水タンク１３内において液面と天井面の間に空間が形成されるようにすると、電気伝導度の低下はより顕著になるものと考えられる。

本発明の製造装置は、医薬品の製造用水、人工透析用水等の医療用精製水、半導体の製造工程における洗浄用の精製水等を製造するための製造装置として利用することができる。

１０ ＲＯ装置
１１ 第１貯水タンク
１２ ＥＤＩ装置
１３ 第２貯水タンク
２０ 原水ライン
２１ ＲＯ処理水ライン
２２ ＲＯ処理水の送水ライン
２３ ＥＤＩ処理水ライン
２４ 採水ライン
２５ オーバーフローライン

Claims (6)

1. 逆浸透膜処理装置（以下「ＲＯ装置」という）、ＲＯ装置の処理水（以下「ＲＯ処理水」という）を貯水するための第１貯水タンク、電気再生式脱イオン装置（以下「ＥＤＩ装置」という）、ＥＤＩ装置の処理水（以下「ＥＤＩ処理水」という）を貯水するための第２貯水タンクを有する精製水の製造装置であって、
   ＲＯ装置と第１貯水タンクがＲＯ処理水ラインで接続され、
   第１貯水タンクとＥＤＩ装置が送水ラインで接続され、
   ＥＤＩ装置と第２貯水タンクがＥＤＩ処理水ラインで接続され、
   第２貯水タンクと第１貯水タンクがオーバーフローラインで接続されており、
   第２貯水タンク内のＥＤＩ処理水を採水して使用するものであり、
   運転時においては、ＥＤＩ装置から第２貯水タンクへのＥＤＩ処理水の流入量（Ｖ１）と、第２貯水タンクからのＥＤＩ処理水の採水量（Ｖ２）がＶ１＞Ｖ２の関係を満たすように調整されるようになっており、
   第２貯水タンク内において、ＥＤＩ処理水が常に天井面と接触し、気体と接触しない状態に維持されるようになっている、精製水の製造装置。
2. 第１貯水タンクと第２貯水タンクが、１つのタンクが仕切壁により縦方向に２つに仕切られてなるものである、請求項１記載の精製水の製造装置。
3. 第１貯水タンクと第２貯水タンクが、
   第２貯水タンクの天井面が第１貯水タンクの天井面よりも高い位置にあり、
   第２貯水タンクの天井面又は天井面近傍の側面と第１貯水タンクの天井面がオーバーフローラインで接続されている、請求項１又は２記載の精製水の製造装置。
4. 第２貯水タンクが天井面の一部に凸部を有しており、前記凸部天井面が第１貯水タンクの天井面よりも高い位置にあり、
   前記凸部天井面又は凸部天井面近傍の側面と第１貯水タンクの天井面がオーバーフローラインで接続されている、請求項１又は２記載の精製水の製造装置。
5. 請求項１〜４のいずれか１項記載の精製水の製造装置により製造した精製水の使用方法であって、
   原水をＲＯ装置に供給してＲＯ処理水を製造し、第１貯水タンクに貯水する工程、
   第１貯水タンクのＲＯ処理水をＥＤＩ装置に供給し、ＥＤＩ処理水を製造し、第２貯水タンクに貯水する工程により精製水を製造した後、
   第２貯水タンク内の精製水を採水して使用するとき、ＥＤＩ処理装置から第２貯水タンクにＥＤＩ処理水を供給する量（Ｖ１）と第２貯水タンク内の精製水を採水する量（Ｖ２）が、Ｖ１＞Ｖ２になるように調整する、精製水の使用方法。
6. Ｖ１／Ｖ２＝１．１〜２の範囲になるように調整する、請求項５記載の精製水の使用方法。

Images