JP2011528504A - パルス状レーザ加工から半導体を保護する薄い犠牲マスキング膜 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 いくつかの実施形態では、薄い犠牲保護マスク層は、1回のレーザ加工工程がレーザ処理されるべき製品または材料の表面に適用された後に期限が切れる。薄い保護マスク層は、レーザのエネルギーを反射するか、吸収するか、または、そうでなければ、レーザのエネルギーから下にある製品または材料を保護する。
【選択図】 図3
Description
Claims (28)
- 半導体製品を処理する方法であって、
前記半導体製品の表面の少なくとも第1のエリアに犠牲保護マスク層を形成する工程と、
前記半導体製品および前記保護マスク層にパルス状レーザ光源を印加する工程と、
前記半導体製品の前記表面から前記保護マスク層を除去する工程と、
を有する方法。 - 請求項1記載の方法において、前記表面の少なくとも第1のエリアに保護マスク層を形成する前記工程は、前記表面の前記第1のエリアへ保護膜材料を堆積する工程を有するものである。
- 請求項1記載の方法において、前記表面の少なくとも第1のエリアに保護マスク層を形成する前記工程は、前記表面の前記第1のエリアへ保護膜材料をスパッタリングする工程を有するものである。
- 請求項1記載の方法において、前記表面の少なくとも第1のエリアに保護マスク層を形成する前記工程は、前記保護マスク層を形成すべきパターンを決定する工程と、前記パターンによって決定された前記第1のエリアに前記保護マスク層を塗布する工程とを有するものである。
- 請求項1記載の方法において、前記パルス状レーザ光を印加する前記工程は、短時間パルス状レーザ光を印加する工程を有するものである。
- 請求項5記載の方法において、前記短時間パルス状レーザ光を印加する前記工程は、実質的にフェムト秒のパルス時間でレーザ光を印加する工程を有するものである。
- 請求項5記載の方法において、前記短時間パルス状レーザ光を印加する前記工程は、実質的にピコ秒のパルス時間でレーザ光を印加する工程を有するものである。
- 請求項1記載の方法において、この方法は、さらに、
少なくとも第2のエリアに第2の保護マスク層を塗布する工程を有するものである。 - 請求項8記載の方法において、前記第2の保護マスク層を塗布する工程は、前記第1のエリアと異なる空間的な被覆領域をもつエリアに前記第2の保護マスクを塗布する工程を有するものである。
- 請求項1記載の方法において、前記保護マスク層を形成する前記工程は、薄い金属層を形成する工程を有するものである。
- 請求項10記載の方法において、前記薄い金属層を形成する前記工程は、アルミニウムの薄層を形成する工程を有するものである。
- 請求項1記載の方法において、前記保護マスク層を形成する前記工程は、金属合金の薄い保護層を形成する工程を有するものである。
- 請求項1記載の方法において、前記保護マスク層を形成する前記工程は、薄い半導体保護層を形成する工程を有するものである。
- 請求項1記載の方法において、前記保護マスク層を形成する前記工程は、薄い重合体保護層を有するものである。
- 請求項1記載の方法において、前記犠牲保護マスク層は、前記半導体製品への1回のレーザ加工工程の後に期限が切れ、別の半導体製品をマスクするため使用できないものである。
- 請求項1記載の方法において、この方法は、さらに、
前記第1のエリアに前記保護マスク層を形成するためリソグラフィ加工を実行する工程を有するものである。 - 請求項1記載の方法において、前記保護マスク層を形成する前記工程は、1層ずつ重ねて、しかし、各層が必ずしも前記半導体製品の前記表面の同じエリアに拘束されることなく、複数の層を形成する工程を有するものである。
- 請求項1記載の方法において、半導体製品を処理するこの方法は、シリコン基板を処理する方法を有するものである。
- 請求項1記載の方法において、前記レーザ光を印加する工程は、前記保護マスク層によって覆われてない領域内で前記半導体製品の材料変質を引き起こすように、高出力パルス状レーザ光を印加する工程を有するものである。
- 請求項1記載の方法において、この方法は、さらに、
前記半導体製品に前記パルス状レーザを印加している間に前記半導体製品にドーパント材料を塗布する工程を有するものである。 - 製品であって、
表面を有する半導体ベース層と、
前記表面に塗布された薄い犠牲保護マスク層によって覆われている前記表面の第1のエリアと、
前記薄い保護マスク層によって覆われていない前記表面の第2のエリアと、
を有し、
前記表面の前記第2のエリアは、短時間パルス状レーザ光によって変更された前記表面に近接した領域を有し、
前記表面の前記第1のエリアは、前記短時間パルス状レーザ光によって実質的に変更されていない前記表面に近接した領域を有する製品。 - 請求項21に記載の製品において、前記第1のエリアは、所定のサイズおよび形状を有するものである。
- 請求項21に記載の製品において、この製品は、さらに、
ドーパントによってドープされている前記半導体ベースの前記表面に近接した領域を有するものである。 - 請求項21に記載の製品において、前記薄い犠牲保護マスク層は、薄い金属層を有するものである。
- 請求項24に記載の製品において、前記薄い金属層は、薄いアルミニウム層を有するものである。
- 請求項21に記載の製品において、前記薄い犠牲保護マスク層は、薄い金属合金層を有するものである。
- 請求項21に記載の製品において、前記薄い犠牲保護マスク層は、薄い半導体保護層を有するものである。
- 請求項21に記載の製品において、前記薄い犠牲保護マスク層は、薄い重合体保護層を有するものである。
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