JP2011511477A - 太陽電池吸収体を形成するための前駆体膜のリール・ツー・リール反応 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1
Description
Cu(In、Ga)(S、Se)2吸収体層は図2の単一の室反応装置設計を使用して形成されることができる。反応前の例示的なフレキシブル構造106Aが図3Aに示されている。ベース20は図1のベース20と類似してもよい。前駆体層200がベース20上に設けられている。前駆体層200はCuと、InとGaの少なくとも一方を含んでいる。好ましくは前駆体層200はCu、In、Gaの全てを含んでいる。Se層201は随意選択的に、前駆体層200上に配置されることができ、Seを搬送する前駆体層202を形成する。Seは前駆体層200(図示せず)で混合されることもでき、別のバージョンのSeを搬送する前駆体層を形成する。反応ステップ後のフレキシブル構造が図3Bに示されている。この場合、フレキシブル構造106Bはベース20と、前駆体層200またはSeを搬送する前駆体層202の反応により得られるCu(In、Ga)(S、Se)2膜のようなグループIB・IIIA・VIA化合物層203を含んでいる。
Cu(In、Ga)(S、Se)2吸収体層は図4の3セクション室反応装置を使用して形成されることができる。反応されていないフレキシブル構造106を挿入し、例1に記載されているようにシステムのポンピング及びパージ後、プロセスが開始される。3セクション室450のセクションA、B、Cは相互に等しくても等しくなくてもよい温度T1、T2、T3を有することができる。さらに、各セクションA、B、Cはそれらのそれぞれの長さに沿って正確に一定の温度ではなく温度プロフィールを有することができる。処理期間中、N2のような第1のプロセスガスが入口403を通じてセクションB中の低容積セグメント410に導入されることができ、第2のプロセスガスと第3のプロセスガスはそれぞれ入口401と402を通ってそれぞれセクションAとCに導入されることができる。
Claims (38)
- 連続的なワークピース上に配置された前駆体材料を反応させるために使用する装置において、
前記連続的なワークピースは太陽電池吸収体を形成するために前記装置を通ってその各部分が連続的に供給され、
前記装置は、
前記連続的なワークピースが移動する連続的で漏洩のない処理ギャップを含んでいる迅速な熱処理ツールを具備し、
前記処理ギャップは上部壁と下部壁とを具備し、1/50乃至1/1000の縦横比を有しており、それらの上部壁と下部壁は2つの異なる温度の処理ゾーンとそれら2つの処理ゾーンの間に配置され、それら2つの処理ゾーンを連結している第1のバッファゾーンとに区画されており、
前記第1のバッファは前記上部壁と前記下部壁の少なくとも一方中に形成されている複数の空洞を含んでおり、それらの空洞は第1のバッファゾーンの両側の前記2つの異なる温度の処理ゾーン間の熱伝導を減少させて、漏洩のない処理ギャップを維持しながら2つの処理ゾーン間の熱伝導を防止する低熱伝導度の領域を形成している装置。 - 前記2つの異なる温度の処理ゾーンは、
前記連続的なワークピースの1セクションが第1のゾーンを通過するとき前記連続的なワークピースが第1の温度範囲にさらされるように実質的に前記第1の温度範囲に維持される第1の処理ゾーンと、
前記連続的なワークピースの1セクションが第2のゾーンを通過するとき前記連続的なワークピースが第2の温度範囲にさらされるように実質的に前記第2の温度範囲に維持される第2の処理ゾーンとを含み、前記第2の温度範囲は前記第1の温度範囲よりも高い温度である請求項1記載の装置。 - 各上部壁と下部壁は、隣接する2つの異なる温度の処理ゾーンへの熱エネルギの転送を共に阻止する低い熱伝導領域を与える複数の空洞を含んでいる請求項2記載の装置。
- さらに、予め定められた速度で前記第1及び第2の処理ゾーンと前記第1のバッファゾーンを通って前記連続的なワークピースの部分を動かすための移動機構を含んでおり、前記予め定められた速度における前記第1のバッファゾーン内の前記連続的なワークピースの部分における加熱速度は10℃/秒以上である請求項3記載の装置。
- 前記第1のバッファゾーンの長さは前記第2のプロセスゾーンの長さの10%未満である請求項4記載の装置。
- 前記第1のバッファゾーンの長さは前記第2のゾーンの長さの1−5%の範囲である請求項5記載の装置。
- 前記第1のバッファゾーンの長さは10cm未満である請求項6記載の装置。
- 前記第1のバッファゾーンの長さは5cm未満である請求項6記載の装置。
- さらに、前記第1の処理ゾーンと前記第2の処理ゾーンの間の温度差を300℃以上に維持する温度制御装置を含んでいる請求項4記載の装置。
- 前記空洞は前記上部壁と前記下部壁内の孔である請求項4記載の装置。
- 前記孔は実質的に円筒形である請求項10記載の装置。
- 前記空洞は前記連続的なワークピースの移動方向に対して実質的に垂直な方向で配置されているスリットである請求項4記載の装置。
- 各スリットの幅は2mm以上である請求項12記載の装置。
- 各スリットの深さは前記上部壁と前記下部壁の厚さの50%乃至80%である請求項13記載の装置。
- さらに、第3の温度範囲に維持される第3のゾーンと、前記第2のゾーンと前記第3のゾーンとの間に配置されている第2のバッファゾーンとを具備し、前記第2のバッファゾーンは処理ギャップを維持し、前記第2のバッファゾーンを含み、漏洩のない状態でありながら、前記第2のゾーンと前記第3のゾーンとの間の熱エネルギの伝導を共に阻止するさらに低い熱伝導領域を与える、前記上部壁と前記下部壁内の別の複数の空洞を含んでおり、前記移動機構は前記第1、第2、第3のゾーンと前記第1及び第2のバッファゾーンを通って予め定められた速度で前記連続的なワークピースを連続的に動かすように構成されている請求項4記載の装置。
- 前記第2のバッファゾーンの長さは前記第2のプロセスゾーンの長さの10%未満である請求項15記載の装置。
- 前記第1のバッファゾーンと前記第2のバッファゾーンの長さは10cm未満である請求項61記載の装置。
- 前記第1のバッファゾーンと前記第2のバッファゾーンの長さは5cm未満である請求項16記載の装置。
- 前記第1のバッファゾーンの長さは前記第2のプロセスゾーンの長さの10%未満である請求項3記載の装置。
- 前記第1のバッファゾーンの長さは前記第2のゾーンの長さの1−5%の範囲である請求項19記載の装置。
- 前記第1のバッファゾーンの長さは10cm未満である請求項20記載の装置。
- 前記第1のバッファゾーンの長さは5cm未満である請求項20記載の装置。
- さらに、前記第1の処理ゾーンと前記第2の処理ゾーンの間の温度差を300℃以上に維持する温度制御装置を含んでいる請求項3記載の装置。
- 連続的なワークピース上に配置された前駆体材料を反応させる方法において、
前記連続的なワークピースは連続的に供給されるシートで形成されており、前記方法は、
予め定められた速度範囲で、漏洩のない処理ギャップを通って前記連続的なワークピースのシートの実質的な長さを供給し、
実質的に第1の温度範囲に維持されている前記処理ギャップの第1の処理ゾーン内で前記連続的なワークピースのシートの実質的な長さの各部分を加熱し、
実質的に第2の温度範囲に維持されている前記処理ギャップの第1の処理ゾーン内で前記連続的なワークピースのシートの実質的な長さの各部分を加熱し、前記第2の温度範囲は前記第1の温度範囲よりも高い温度であり、
前記第1のゾーンを前記第2のゾーンへ接続している前記処理ギャップの第1のバッファゾーンを通って前記連続的なワークピースのシートの実質的な長さの各部分を通過させるステップを含んでおり、
前記予め定められた速度範囲は、前記ワークピースのシートの実質的な長さの部分が、第2の処理ゾーン内に位置される場合の10%未満の時間前記第1のバッファゾーン中に位置されるような速度範囲であり、
第1のバッファゾーンは低い熱伝導性を与えるために空洞が設けられており、それによって第1のバッファゾーンの漏洩のない処理ギャップを維持しながら第2の処理ゾーンから第1の処理ゾーンへの熱エネルギの伝導を阻止している前駆材料を反応させる方法。 - 前記第1のバッファゾーンを通って前記連続的なワークピースのシートの実質的な長さの各部分を通過させる前記ステップは前記第1のバッファゾーン内で10℃/秒未満であるその部分における加熱速度を生成する請求項24記載の方法。
- 前記第1の温度範囲と前記第2の温度範囲間の差は300℃以上である請求項25記載の方法。
- 実質的に第3の温度範囲で維持される前記処理ギャップの第3のゾーン中で前記連続的なワークピースのシートの実質的な長さの各部分を処理し、
前記第2の処理ゾーンを前記第3の処理ゾーンへ接続する前記処理ギャップの第2のバッファゾーンを通って前記連続的なワークピースのシートの実質的な長さの各部分を通過させるステップをさらに含んでおり、前記予め定められた速度範囲は各部分が前記第2の処理ゾーン内に配置される別の期間の10%未満である期間中前記実質的な長さの各部分を前記第2のバッファゾーン内に配置させ、前記第2のバッファゾーンは漏洩のない状態でありながら、処理ギャップを維持し、前記第2の処理ゾーンと前記第3の処理ゾーン間の熱エネルギの伝導を阻止する低い熱伝導性の空洞を含んでいる方法。 - 前面と背面とを有する連続的なワークピースの部分を連続的に供給し、太陽電池の吸収体を形成するために前記連続的なワークピースの前面上に配置された前駆体層を反応させる装置において、
前記連続的なワークピースが移動する連続的で漏洩のない処理ギャップを含んでおり、前記処理ギャップは上部壁、下部壁、側壁を有し、その高さと幅の関係は1/50乃至1/1000の縦横比である迅速熱処理ツールと、
前記連続的なワークピースの前記前駆体層と前記上部壁との間に距離を維持し、背面と前記下部壁との物理的接触を維持して前記処理ギャップを通って連続的なワークピースを移動させるための移動機構とを具備し、
前記処理ギャップはさらに、
第1の温度範囲を有する上部コールド領域と、前記上部壁に関連される第2の温度範囲を有する上部ホット領域と、前記上部コールド領域と前記上部ホット領域との間に位置する上部バッファ領域と、
下部コールド領域と、下部バッファ領域と、前記下部壁に関連される下部ホット領域とを具備し、
前記下部バッファ領域は前記下部コールド領域と前記下部ホット領域の間に位置し、
したがって前記連続的なワークピースの1セクションは前記連続的なワークピースの前記セクションが前記下部コールド領域上を移動するときに第3の温度範囲にさらされ、前記連続的なワークピースの前記セクションが前記下部ホット領域上を移動するときに第4の温度範囲にさらされ、前記第4の温度範囲は前記第3の温度範囲よりも高い温度であり、
前記上部バッファ領域と前記下部バッファ領域はそれぞれ、低い熱伝導領域を与える各前記上部壁及び前記下部壁内に複数の空洞を含んでおり、漏洩のない処理ギャップを維持しながら、前記上部ホット領域から前記上部コールド領域へ、および前記下部ホット領域から前記下部コールド領域への熱エネルギの伝導を阻止している装置。 - 前記下部バッファ領域の一部は前記上部ホット領域の別の部分の下に位置されている請求項28記載の装置。
- 前記下部コールド領域の一部は前記上部ホット領域の別の部分の下に位置されている請求項28記載の装置。
- 前記下部コールド領域の一部は前記上部バッファ領域の別の部分の下に位置されている請求項28記載の装置。
- 前記移動機構は前記処理ギャップを通って予め定められた速度範囲で前記連続的なワークピースを移動させ、前記予め定められた速度における、前記連続的なワークピースの前記セクションの前記加熱速度は前記連続的なワークピースが前記下部バッファ領域を通過するとき10℃/秒以上である請求項28記載の装置。
- 前記空洞は前記上部壁と前記下部壁の部分に切り込まれた孔である請求項28記載の装置。
- 前記空洞は前記連続的なワークピースの移動方向に対して実質的に垂直な方向の切り込みである請求項28記載の装置。
- 前記空洞は実質的に方形であり、方形の突出部により相互の空洞が分離されている請求項34記載の装置。
- 各空洞の幅は少なくとも2mmである請求項35記載の装置。
- 前記各空洞の深さは前記上部壁と前記下部壁の厚さの50%乃至80%である請求項36記載の装置。
- 前記空洞は実質的に円筒形である請求項34記載の装置。
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