JP2011503641A - 分散型剛体を備えた可変ミラー、可変ミラー製造ツール、および可変ミラー製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、アクチュエータまたは操作者に関わる可変ミラーの分野に関する。
本発明の別の実施形態に従って、少なくとも1つの弾性連結手段12は、アクチュエータ9の位置に位置決めされる。
有利には、少なくとも1つの機械的接続手段は、剛体板の面に対して垂直に延びる剛体棒である。
有利には、アクチュエータの位置に配置された前記弾性連結手段の少なくとも1つは、第1機械的接続手段を接着層から分離する第2機械的接続手段を含む。弾性連結手段は、前記接着層を貫通する。
特定の実施形態に従って、少なくとも1つの弾性連結手段は、第1剛体板の下方に位置する第2剛体板に固定される。第1剛体板は、弾性連結手段の位置に、ドリルで貫通孔が開けられる。
特定の一実施形態に従って、少なくとも1つの弾性連結手段は、機械的接続手段と下部結合手段の間に、調整可能空間(凹部)を含む。
着剤からなる剛体結合手段である。それぞれ上部結合手段は、エラストマ接着剤からなる弾性接続手段である。
本発明はまた、可変ミラーを製造する製造ツールを提供する。製造ツールは、
平行光線を発生する照明装置と;
波面センサと;
照明装置から生じる光の方向を、可変ミラーと波面センサの間で分割できるようにする分割キューブと;
設定点ユニットと;
波面センサと設定点ユニットそれぞれから伝送されたデータを、受信できるコンピュータと;
それぞれアクチュエータに関連する部分の前記可変ミラーの局所変形を制御するために、それぞれアクチュエータを個別に制御できるように、前記コンピュータに接続される制御ユニットと
を含む。
接着層を、可変薄膜に固定する段階と;
上部結合手段を、接着層に固定する段階と;
それぞれ弾性連結手段の上端を、上部接続手段を介して、接着層に連結する段階と;
それぞれ弾性連結手段の下端を、重合時間が1分間を超える接着剤からなる下部剛体結合手段を介して、剛体板に固定する段階と;
下部剛体結合手段を構成する接着剤の重合中、前記重合の全期間に所定の形状に従って可変ミラーの可変薄膜を予備成形するため、閉ループによって、可変ミラーのアクチュエータの復帰力を制御および最適化する段階と
を連続して含む。
本発明は、添付の図面と共に、非制限的例示実施形態に関する以下の詳細な説明を読むことでより良く理解されるだろう。
それぞれ磁気アクチュエータ9は、磁石7、コイル8、およびコイル8によって生じる磁場を制御する磁場制御装置(図示略)を含む。
有利には、磁気アクチュエータ9は、均一な分布マトリックスに従って、可変薄膜2を覆う面全体に配置される。対応する可変薄膜2の領域のうちのそれぞれ1つの変形に及ぼすそれぞれ磁気アクチュエータ9の影響は、従って同じである。そのため磁気アクチュエータ9の影響機能は、同一の空間的伸張を有する。複数の磁気アクチュエータ9同士の間
の距離は、この実施形態において2.5mmになる。
この接着剤は、ジュール効果から生じるコイル8における熱放散を防ぐために、熱拡張が小さい。ジュール効果から生じる熱放散が、剛体棒21を動かしてしまうと、制御不能な可変薄膜2の変形が引き起こされてしまう。また接着剤は、重合時間が大きいので、接着剤が硬化する前に可変薄膜2を成形できるようにする。これによって、幾何公差に対する制約が解除されるようになる。
が可能である。実のところ、復帰力は、接触面に比例する。即ち、接触面が弱いほど、可変薄膜2の変位は大きい。更に復帰力は、接着剤の他の定数パラメータ(厚さ、磁気アクチュエータ9の強度等)に比例する。
本実施形態はまた、機械的連結を減らしながら、複数の磁気アクチュエータ9同士の間の動きを増やせるようにする。
下部結合手段23は、コイル8内に埋め込まれる。実際のところ、コイル8は、中心に銅線がない。そこでコイル8の中心にドリルで穴(凹部)が開けられ、最初に接着剤がコイル8の穴の中に置かれ、剛体棒21が接着剤内に突っ込まれると、重合が起こる。
この実施形態の本発明は、第2剛体棒21’が、直接に接着層11に侵入する点で識別される。その場合、この実施形態は、第2剛体棒21’のプリントが、磁石7のものよりも低いので、可変薄膜2に及ぼすプリント作用を減らせるようにする。接着剤の二重弾性結合によって、可変薄膜2の変形が増大できるようになる。
実際に下部結合手段23と上部結合手段22は、それぞれ剛体および弾性である。そのため結合手段22,23の特徴は、先の実施形態に対して逆になる。
図11は、本発明の第9実施形態の可変ミラー1の断面図を示す。この実施形態は、本発明の先の実施形態に類似する。その違いは、結合手段22,23にある。
本発明の他の特定の実施形態において、結合手段22,23は、記載されるそれぞれ1つの他の実施形態において弾性である。
本発明の第8実施形態に類似している。その違いは、弾性結合手段23にある。
弾性結合手段23は、第2剛体板6にドリルで開けられた穴(凹部)からなる。穴は、弾性接着剤によっては完全には満たされない。何故なら、接着剤は、事前に設定された特定の深さに配置されるからである。
更に、それぞれ磁気アクチュエータ9の動きを修正することも、従って可能である。実際に円形膜において、機械的接続のため、動きも縁の近くでより小さい。従って、縁および中心で接続をより弱くすることによって、それぞれ1つの磁気アクチュエータ9の動きの均質性を高めることができる。
この製造ツールは、
平行光線を発生できるようにする照明装置30と;
波面センサ32と;
可変ミラー1と波面センサ32の間で、照明装置30から生じる光の方向を分割できるようにする分割キューブ31と;
設定点ユニット34と;
波面センサ32と設定点ユニット34によって伝送されるデータを受信できるコンピュータ33と;
コンピュータ33に接続される制御ユニット35と
を含み、
制御ユニット35は、それぞれ磁気アクチュエータ9に関連する可変ミラー1の局所変形を制御するために、それぞれ磁気アクチュエータ9を個別に制御できる。
接着層11を、可変薄膜2に固定する段階と;
上部結合手段22を、接着層11に固定する段階と;
それぞれ弾性連結手段12の上端13を、上部結合手段22を介して接着層11に連結する段階と;
それぞれ弾性連結手段12の下端14を、重合が1分間を超える接着剤からなる剛体下部結合手段23を介して、剛体板5,6のうちの少なくとも1つに固定する段階と;
剛体下部結合手段23を含む接着剤の重合中において、重合の全期間に所定形状の可変ミラー1の薄膜を予備成形するために可変性でなければならない磁気アクチュエータ9の
復帰力を、閉ループが制御および最適化する段階と
を含む。
Claims (18)
- 反射面(3)と反対面(4)を有する可変薄膜(2)と;
剛体板(5)と;
少なくとも1つのアクチュエータ(9)と
前記反対面(4)に接触される必ずしも均一ではない接着層(11)と;
少なくとも1つの弾性連結手段(12)と
を備える可変ミラー(1)であって、
少なくとも1つの前記アクチュエータ(9)が前記剛体板(5)に固定されることによって、前記アクチュエータ(9)は前記可変薄膜(2)を局所的に変形させることができ、
前記弾性連結手段(12)は、
機械的接続手段(21)と;
前記機械的接続手段(21)の上端(13)を、前記接着層(11)に連結する上部結合手段(22)と;
前記機械的接続手段(21)の下端(14)を、前記剛体板(5)に連結する下部結合手段(23)と
を備えることを特徴とする、可変ミラー(1)。 - 全ての前記弾性連結手段(12)は、複数の前記アクチュエータ(9)同士の間に配置される、
請求項1記載の可変ミラー(1)。 - 少なくとも1つの前記弾性連結手段(12)は、前記アクチュエータ(9)の位置に配置される、請求項1記載の可変ミラー(1)。
- 全ての前記弾性連結手段(12)は、前記アクチュエータ(9)の位置に配置される、
請求項3記載の可変ミラー(1)。 - 前記機械的接続手段(21)は、前記剛体板(5)の面に対して垂直に沿って延びる剛体棒である、
請求項1〜4何れか一項記載の可変ミラー(1)。 - 前記アクチュエータ(9)の位置に配置された前記弾性連結手段(12)は、前記接着層(11)から前記アクチュエータ(9)を分離する弾性の第2結合手段(22’)を有する、
請求項3〜5何れか一項記載の可変ミラー(1)。 - 前記アクチュエータ(9)の位置に配置された前記弾性連結手段(12)のうちの少なくとも1つは、前記接着層(11)から前記第2結合手段(22’)を分離する第2機械的接続手段(21’)を含み、
前記弾性連結手段(12)の上端は、前記接着層(11)を貫通できる、
請求項6記載の可変ミラー(1)。 - 前記第2機械的接続手段(21’)は、前記剛体板(5)に対して垂直に延びる剛体棒である、
請求項7記載の可変ミラー(1)。 - 少なくとも1つの前記弾性連結手段(12)は、前記第1剛体板(5)の下方に位置する第2剛体板(6)に固定され、
前記第1剛体板(5)は、前記弾性連結手段(12)の位置において、ドリルで貫通孔が開けられる、
請求項3〜8何れか一項記載の可変ミラー(1)。 - 前記アクチュエータ(9)の位置に配置された前記弾性連結手段(12)のうちの少なくとも1つは、前記第1剛体板(5)の下方に配置された第2剛体板(6)に固定され、
前記第1剛体板(5)と、前記第2剛体板(6)に固定された対応する前記アクチュエータ(9)の中心とは、前記機械的接続手段(12)の位置において、ドリルで穴が開けられる、
請求項3〜9何れか一項記載の可変ミラー(1)。 - 前記下部結合手段(23)は、前記第2剛体板(6)にドリルで事前設定可能な深さまで開けられた穴の内部に形成された、接着剤の層によって形成される、
請求項10記載の可変ミラー(1)。 - 少なくとも1つの弾性連結手段(12)は、前記機械的接続手段(21)と前記下部結合手段(23)の間に位置する調整可能空間を有する、
請求項3〜11何れか一項記載の可変ミラー(1)。 - それぞれ前記下部結合手段(23)は、重合時間が1分間を超える接着剤からなる剛体結合手段であり、
それぞれ前記上部結合手段(22)は、エラストマ接着剤からなる弾性結合手段である、
請求項1〜12何れか一項記載の可変ミラー(1)。 - それぞれ前記下部結合手段(23)は、エラストマ接着剤からなる弾性結合手段であり、
それぞれ前記上部結合手段(22)は、重合時間が1分間を超える接着剤からなる剛体結合手段である、
請求項1〜12何れか一項記載の可変ミラー(1)。 - それぞれ前記下部結合手段(23)は、エラストマ接着剤からなる弾性結合手段であり、
それぞれ前記上部結合手段(22)は、前記機械的接続手段(21,21’)が貫通するように形成された前記接着層(11)からなる、
請求項1〜12何れか一項記載の可変ミラー(1)。 - それぞれ前記下部結合手段(23)と前記上部結合手段(22)は、エラストマ接着剤によって構成される弾性結合手段である、
請求項1〜12何れか一項記載の可変ミラー(1)。 - 請求項1〜16何れか一項記載の可変ミラー(1)を製造する製造ツールであって、前記製造ツールは、
平行光線を得られるようにする照明装置(30)と;
波面センサ(32)と;
前記照明装置(30)から生じる前記平行光線の方向を、前記可変ミラー(1)と前記波面センサ(32)の間で分割できるようにする分割キューブ(31)と;
設定点ユニット(34)と;
前記波面センサ(32)と前記設定点ユニット(34)からそれぞれ伝送されるデータを、受信可能なコンピュータ(33)と;
それぞれ前記アクチュエータ(9)に関連する前記可変ミラー(1)の局所変形を制御するために、前記アクチュエータ(9)をそれぞれ個別に制御可能なように、前記コンピュータに連結される制御ユニット(35)と
を備えることを特徴とする、可変ミラー(1)の製造ツール。 - 請求項17記載の製造ツールを用いて、請求項1〜14何れか一項記載の可変ミラー(1)を予備成形する製造方法であって、前記製造方法は、
前記接着層(11)を、前記可変薄膜(2)に固定する段階と;
前記上部結合手段(22)を、前記接着層(11)に固定する段階と;
それぞれ前記弾性連結手段(12)の前記上端(13)を、前記上部結合手段(22)を介して前記接着層(11)に連結する段階と;
それぞれ弾性連結手段(12)の前記下端(14)を、重合時間が1分間を超える接着剤からなる前記下部剛体結合手段(23)を介して、前記剛体板(5,6)に固定する段階と;
前記下部剛体結合手段(23)を構成する前記接着剤が重合すると、前記重合の全期間に所定形状に従って前記可変薄膜(2)を予備成形するために、前記可変ミラー(1)の前記アクチュエータ(9)の復帰力を、閉ループによって制御および最適化する段階と
を含むことを特徴とする、可変ミラー(1)を予備成形する製造方法。
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