JP2011243821A - 光半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光を検出する第1の光部品と、光の光路上に配置され、鉄(Fe)およびニッケル(Ni)の少なくともいずれか一方を含む基体と、基体の表面に設けられ第1光部品の方向に光の光路を変える反射面と、を有する第2の光部品と、を備えたことを特徴とする光半導体装置が提供される。さらに、第1の光部品が配置された基板の主面に、第2の光部品をレーザ溶着により固定することを特徴とする光半導体装置の製造方法が提供される。
【選択図】図1
Description
図1は、第1の実施形態に係る光半導体装置100における光部品の平面配置を示す模式図である。
本実施形態に例示する光半導体装置100は、半導体発光素子10と、第1の光部品である受光素子40と、第2の光部品である金属ミラー30と、第3の光部品であるビームスプリッタ20と、を備えている。
ビームスプリッタ20は、半導体発光素子10の出力光LOの光路上に配置され、半導体発光素子10の出力光LOをメインビームLMとモニタービームLSに分岐する。
受光素子40は、金属ミラー30の反射面34で光路を変えられたモニタービームLSを検出する。
図1に示す光半導体装置100では、ケース3に収納された基板2の主面上に複数の光部品が配置されている。ここに例示する光半導体装置100は、例えば、半導体発光素子10として半導体レーザを用いた半導体レーザ装置であり、素子の発振波長を安定化させるためのフィードバック系、所謂波長ロッカを備えている。
例えば、図1に示すように、金属ミラー30においてモニタービームLSの光路を90°変更し、半導体発光素子10の出力光LOに平行に配置されたエタロン31および受光素子40へと導くことができる。これにより、波長ロッカの光学系を備えた光半導体装置100を小型のパッケージ内への収納すること可能となる。
例えば、高温になり易い半導体発光素子10の近辺を避けて配置するなど、長期間に渡り安定な信頼性の高い固定が可能となる。
金属ミラー30の位置決めを容易にするために、例えば、反射面34は、金属ミラー30の底面に対してほぼ垂直となるように加工することができる。
これらFeおよびNiを含む金属は、熱伝導率が比較的小さく、レーザ光LAを照射して局部的に加熱することが容易であり、レーザ溶着の被溶着材として適している。
図4は、第2の実施形態に係る光半導体装置300における光部品の平面配置を示す模式図である。
本実施形態に例示する半導体発光装置300は、第1の光部品である受光素子55と、第2の光部品である金属ミラー60と、を備えている。
図5(a)に示す光半導体装置310では、光ファイバ25から放出された信号光LBは、レンズ65を用いて受光素子55の受光面に直接集光される構成となっている。受光素子55は、実装ブロック54の光ファイバに対向する側面78に接着され、信号処理回路58は、受光素子55が接着された側面78と直交する側面77に接着されている。
図5(b)中に示すセラミックキャリア56bでは、受光素子55がボンディングされたボンディング面81から、ボンディング面81に直交する側面82まで、ボンディングパッド57bが延在して設けられている。
例えば、光伝送装置では、複数の束ねられた光ファイバの出力面に対向して、複数の光半導体装置が並列に配置される。このため、光ファイバ出力面に対向する光半導体装置の配列方向において、スペース的な制約が大きくサイズの縮小が求められる。
したがって、本実施形態に係る光半導体装置300は、上記の問題を解決する手段としても有効である。
Claims (5)
- 光を検出する第1の光部品と、
前記光の光路上に配置され、鉄(Fe)およびニッケル(Ni)の少なくともいずれか一方を含む基体と、前記基体の表面に設けられ前記第1の光部品の方向に前記光の光路を変える反射面と、を有する第2の光部品と、
を備えたことを特徴とする光半導体装置。 - 前記第2の光部品の前記基体は、クロム(Cr)を含む鉄(Fe)を主成分としたことを特徴とする請求項1記載の光半導体装置。
- 前記第2の光部品の前記反射面に、反射膜がコーティングされたことを特徴とする請求項1または2に記載の光半導体装置。
- 前記光を放射する半導体発光素子と、
前記半導体発光素子の出力光の光路上に配置され、前記出力光をメインビームとモニタービームに分岐する第3の光部品と、
をさらに備え、
前記第2の光部品は、前記第3の光部品により分岐された前記モニタービームの光路上に配置され、前記モニタービームを前記第1の光部品の方向に反射することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の光半導体装置。 - 光を検出する第1の光部品と、
前記光の光路上に配置され、鉄(Fe)およびニッケル(Ni)の少なくともいずれか一方を含む基体と、前記基体の表面に設けられ前記第1の光部品の方向に前記光の光路を変える反射面と、を有する第2の光部品と、
を備える光半導体装置の製造方法であって、
前記第1の光部品が配置された基板の主面に、前記第2の光部品をレーザ溶着により固定することを特徴とする光半導体装置の製造方法。
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