JP2011232144A5 - - Google Patents
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- 所与の物理量を検出する物理量センサーであって、
第1の共振器を有し、前記第1の共振器の共振周波数と対応づけられた第1の周波数信号を発生する第1の周波数信号発生部と、前記周波数信号に基づいて生成される基準値生成信号のクロック数をカウントする第1のカウント部とを備えている第1系統と、
加速度の変化に応じて共振周波数が変化する第2の共振器を有し、前記第2の共振器の共振周波数と対応づけられた第2の周波数信号を発生する第2の周波数信号発生部、前記第2の周波数信号を基準信号としてPLL出力信号を出力する分数分周方式のPLL回路、および前記PLL出力信号のクロック数をカウントする第2のカウント部を備えている第2系統と、
前記第1のカウント部が出力したカウント値と前記第2のカウント部が出力したカウント値とに基づいて、前記基準値生成信号のクロック数と前記PLL出力信号のクロック数との差であるクロック差分値を出力するデジタル演算部と、
前記クロック差分値に基づいて、前記物理量に応じたデジタル値の検出信号を出力する検出信号生成部と、
前記第1の周波数信号発生部が出力した周波数信号を受け取り、加速度が加わっていない状態における前記基準値生成信号の周波数と前記PLL出力信号の周波数が一致するように前記PLL回路を制御する制御部と、を含む、物理量センサー。 - 前記PLL回路は、
分周数としてPまたはP+1のいずれかを選択できる分周器であるデュアルモジュールプリスケーラーと、
カウント動作中は前記デュアルモジュールプリスケーラーに前記分周数としてP+1を選択させ、カウント停止中は前記分周数としてPを選択させるスワローカウンターと、を含み、
前記制御部は、
前記スワローカウンターがカウントを停止するタイミングを指定する、請求項1に記載の物理量センサー。 - 前記第1の周波数信号発生部が出力した周波数信号を基準信号としてPLL出力信号を
出力するPLL回路を第1系統に含み、
前記第1の共振器は、加速度の変化に応じて共振周波数が変化し、
前記基準値生成信号は前記第1系統のPLL出力信号であり、
前記制御部は、
前記第1の周波数信号に代えて前記第1系統のPLL出力信号を受け取り、加速度が加わっていない状態における前記基準値生成信号の周波数と前記第2系統のPLL出力信号の周波数が一致するように前記第1系統のPLL回路および前記第2系統のPLL回路を制御する、請求項1または2に記載の物理量センサー。 - 前記第1の共振器及び前記第2の共振器は、加速度の検出方向が互いに逆方向になるように配置されている、請求項3に記載の物理量センサー。
- 前記第1の周波数信号発生部が出力した周波数信号を受け取り、前記第1の周波数信号を分周した分周信号を出力する分周回路を第1系統に含み、
前記基準値生成信号は前記分周信号である、請求項1または2に記載の物理量センサー。 - 前記検出信号生成部は、
前記デジタル演算部が出力した前記クロック差分値に所与の係数を乗算し、速度に応じたデジタル値の前記検出信号である速度信号を生成する、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の物理量センサー。 - 前記検出信号生成部は、
前記速度信号を積分し、移動距離に応じたデジタル値の前記検出信号を生成する、請求項6に記載の物理量センサー。 - 前記検出信号生成部は、
前記速度信号を微分し、加速度に応じたデジタル値の前記検出信号を生成する、請求項6に記載の物理量センサー。 - 前記第2の周波数信号発生部は、前記第2の共振器を発振させるとともに、入力されたアナログ信号に基づいて前記第2の周波数信号を調整でき、
前記制御部は、D/Aコンバーターを含み、前記D/Aコンバーターから出力される前記アナログ信号を制御する、請求項1乃至8のいずれか一項に記載の物理量センサー。
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