JP2011228748A - 固体撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】固体撮像装置1は、半導体基板10と受光部20とを備えている。受光部20は、半導体基板10の表面S1(第1面)側の表層に設けられている。この受光部20の表面20aは、シリサイド化されている。固体撮像装置1は、半導体基板10の裏面S2(第2面)に入射した被撮像体からの光を半導体基板10の内部で光電変換し、その光電変換により発生した電荷を受光部20で受けて上記被撮像体を撮像するものである。
【選択図】図1
Description
2 固体撮像装置
10 半導体基板
12 P型ウエル領域
20 受光部
32 ゲート絶縁膜
34 ゲート電極
36 N型不純物拡散層
38 N型不純物拡散層
40 ソースフォロアアンプ
42 選択スイッチ用FET
44 検出用FET
46 負荷用FET
48 出力端子
52 素子分離領域
54 配線
Claims (8)
- 半導体基板と、
前記半導体基板の第1面側の表層に設けられ、表面がシリサイド化された受光部と、を備え、
前記半導体基板の第2面に入射した被撮像体からの光を当該半導体基板の内部で光電変換し、当該光電変換により発生した電荷を前記受光部で受けて前記被撮像体を撮像することを特徴とする固体撮像装置。 - 請求項1に記載の固体撮像装置において、
前記受光部の表面全体がシリサイド化されている固体撮像装置。 - 請求項1または2に記載の固体撮像装置において、
前記受光部は、隣接する前記半導体基板との間でPN接合を形成する第1の不純物拡散層である固体撮像装置。 - 請求項1乃至3いずれかに記載の固体撮像装置において、
前記半導体基板の前記第1面上に、前記受光部と隣接して設けられたゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上に設けられたゲート電極と、
前記ゲート絶縁膜および前記ゲート電極を挟んで、前記受光部の反対側に設けられた第2の不純物拡散層と、を備え、
前記受光部、前記ゲート絶縁膜、前記ゲート電極および前記第2の不純物拡散層は、電界効果トランジスタを構成している固体撮像装置。 - 請求項4に記載の固体撮像装置において、
前記第2の不純物拡散層の表面がシリサイド化されている固体撮像装置。 - 請求項1乃至3いずれかに記載の固体撮像装置において、
前記半導体基板の前記第1面側の前記表層に、前記受光部と隣接して設けられた第2の不純物拡散層と、
前記半導体基板の前記第1面上に、前記第2の不純物拡散層と隣接して設けられたゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上に設けられたゲート電極と、
前記ゲート絶縁膜および前記ゲート電極を挟んで、前記第2の不純物拡散層の反対側に設けられた第3の不純物拡散層と、を備え、
前記第2の不純物拡散層、前記ゲート絶縁膜、前記ゲート電極および前記第3の不純物拡散層は、電界効果トランジスタを構成している固体撮像装置。 - 請求項6に記載の固体撮像装置において、
前記第2および第3の不純物拡散層の表面がシリサイド化されている固体撮像装置。 - 請求項4乃至7いずれかに記載の固体撮像装置において、
前記ゲート電極の表面がシリサイド化されている固体撮像装置。
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