JP2011226775A - Waste gas treatment apparatus - Google Patents

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ヨン フア チュン
Sung Chul Yoon
サン チュル ヨオン
Ki Suk Lee
キ スク リー
Yun Taek Jang
ユン タク ジャン
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a waste gas treatment apparatus capable of completely combusting a waste gas by preheating the waste gas and after that combusting.SOLUTION: The waste gas treatment apparatus is provided with: a combustion chamber 200 having a combustion part 210 where the waste gas flows in from one side, combustion air and a gliding plasma are supplied and the combustion of the waste gas is carried out; a gliding ignition generating portion 300 provided in the upper part of the combustion chamber to supply the gliding plasma into the combustion chamber 200; and a preheating part 220 for preheating the waste gas supplied to the inside of the combustion part 210. After preheated in the preheating part 220, the waste gas is combusted in the combustion part 210.

Description

本発明は、廃ガス処理装置に関する。   The present invention relates to a waste gas treatment apparatus.

半導体及びその他の一般産業の生産に使用され排出される廃ガスを処理するために、ガススクラバー（Ｇａｓ Ｓｃｒｕｂｂｅｒ）が使用されている。
最近では、ガススクラバーのうち、加熱タイプスクラバー（Ｈｅａｔｉｎｇ Ｔｙｐｅ Ｓｃｒｕｂｂｅｒ）と燃焼タイプスクラバー（Ｂｕｒｎｉｎｇ Ｔｙｐｅ Ｓｃｒｕｂｂｅｒ）とが廃ガスを処理するのにおいて代表的に使用されている。 Gas scrubbers are used to treat waste gases that are used and produced in the production of semiconductors and other general industries.
Recently, among gas scrubbers, a heating type scrubber and a combustion type scrubber are typically used for treating waste gas.

加熱タイプスクラバーは、雰囲気温度（自然発火）を利用して廃ガスを処理するために、基本的に加熱に対する電気消費量を増加させる。また、加熱タイプスクラバーでは、廃ガスの発熱及び水素脆化によりヒータの寿命が短くなるから、ヒータの交替による費用が増加できる。   The heating type scrubber basically increases the amount of electricity consumed for heating in order to treat the waste gas using the ambient temperature (spontaneous ignition). Further, in the heating type scrubber, the life of the heater is shortened due to the heat generation of the waste gas and hydrogen embrittlement, so that the cost for replacing the heater can be increased.

燃焼タイプスクラバーは、廃ガスを処理するために化石燃料を直接的に使用し、このような化石燃料に対する別途のユーティリティを必要とするために、化石燃料に対する費用及び別途のユーティリティに対する費用を増加させる。また、ＣＨ4のような化石燃料は、自体的に爆発危険性があり、環境的な側面において二酸化炭素の発生量を増加させて地球温暖化を加速化させるようになる。 Combustion-type scrubbers use fossil fuels directly to treat waste gas and require separate utilities for such fossil fuels, thus increasing the costs for fossil fuels and for separate utilities . In addition, fossil fuels such as CH 4 have their own explosion risk, and increase the amount of carbon dioxide generated in an environmental aspect to accelerate global warming.

本発明は、廃ガスを予備加熱した後に燃焼処理することによって、廃ガスの完全燃焼処理を可能にすることのできる廃ガス処理装置を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to provide a waste gas treatment apparatus capable of enabling a complete combustion treatment of waste gas by subjecting the waste gas to preheating and then performing a combustion treatment.

上記の目的を達成すべく、本発明に係る廃ガス処理装置は、一方から廃ガスが流入し、上部から燃焼エアーとグライディングプラズマとが供給されて、前記廃ガスの燃焼が行われる燃焼部を有する燃焼チャンバーと、前記燃焼チャンバーの上部に設けられ、前記グライディングプラズマを前記燃焼チャンバーに供給するグライディング点火発生部とを備え、前記燃焼チャンバーは、前記燃焼部の内部に供給される前記廃ガスを予備加熱する予備加熱部をさらに備えることを特徴とする。   In order to achieve the above object, the waste gas treatment apparatus according to the present invention includes a combustion section in which waste gas flows from one side, combustion air and gliding plasma are supplied from above, and combustion of the waste gas is performed. And a combustion ignition generator provided at an upper part of the combustion chamber for supplying the gliding plasma to the combustion chamber, the combustion chamber containing the waste gas supplied to the inside of the combustion unit. A preheating unit for preheating is further provided.

前記予備加熱部は、前記燃焼部にて行われた前記廃ガスの燃焼により発生する熱を利用して、前記燃焼部に供給される前記廃ガスを予備加熱することができる。
また、本発明に係る廃ガス処理装置は、前記予備加熱部の外側に設けられるヒータをさらに備えることができる。 The preheating unit may preheat the waste gas supplied to the combustion unit using heat generated by the combustion of the waste gas performed in the combustion unit.
In addition, the waste gas treatment apparatus according to the present invention can further include a heater provided outside the preheating unit.

また、本発明に係る廃ガス処理装置は、前記燃焼チャンバーの下部に設けられる冷却部をさらに備えることができる。
前記冷却部は、外側に設けられて内部に冷却エアーを供給するブロワーと、内部に設けられて前記廃ガスが燃焼処理されて発生した燃焼処理ガスが接触して冷却される接触部とを備えることができる。また、前記冷却部は、内部にジグ状の燃焼処理ガス流れ経路が形成されるように設けられた冷却プレートを備えることができる。前記冷却部は、内部に水を噴射する噴射ノズルを備えることができる。 In addition, the waste gas treatment apparatus according to the present invention may further include a cooling unit provided at a lower portion of the combustion chamber.
The cooling unit includes a blower that is provided outside and supplies cooling air to the inside, and a contact unit that is provided inside and that is cooled by contact with the combustion processing gas generated by the combustion processing of the waste gas. be able to. The cooling unit may include a cooling plate provided so that a jig-like combustion processing gas flow path is formed therein. The cooling unit may include an injection nozzle that injects water therein.

前記廃ガスの予備加熱温度は、前記廃ガスの自然発火点の１／３以上〜１０００℃未満でありうる。
前記燃焼チャンバーは、管状を有する内壁と、前記内壁の外側に離隔し、管状を有する外壁を有することができる。このとき、前記燃焼部は、前記内壁の内部空間であり、前記予備加熱部は、前記内壁と外壁との間の離隔空間でありうる。 The preheating temperature of the waste gas may be not less than 1/3 to less than 1000 ° C. of the spontaneous ignition point of the waste gas.
The combustion chamber may have an inner wall having a tubular shape and an outer wall spaced apart from the inner wall and having a tubular shape. At this time, the combustion part may be an internal space of the inner wall, and the preheating part may be a separation space between the inner wall and the outer wall.

前記燃焼チャンバーは、前記予備加熱部に連結する廃ガス流入管を備え、前記廃ガス流入管を介して流入する廃ガスが前記予備加熱部を通過して、前記燃焼部の上部に供給されることができる。   The combustion chamber includes a waste gas inflow pipe connected to the preheating unit, and waste gas flowing in through the waste gas inflow pipe passes through the preheating unit and is supplied to an upper portion of the combustion unit. be able to.

前記外壁は、前記内壁より高く形成されることができる。
前記燃焼チャンバーは、前記予備加熱部にて前記燃焼部の側面から突出するように形成されるガイド隔壁をさらに備えることができる。 The outer wall may be formed higher than the inner wall.
The combustion chamber may further include a guide partition formed to protrude from a side surface of the combustion unit at the preheating unit.

前記ガイド隔壁は、一方に開口を有する第１突起と他方に開口を有する第２突起とが前記予備加熱部の下部から上部に交互に配置されて形成されることができる。
前記ガイド隔壁は、前記予備加熱部の下部から上部に螺旋状に配置されて形成されることができる。 The guide partition may be formed by alternately arranging a first protrusion having an opening on one side and a second protrusion having an opening on the other from the lower part to the upper part of the preheating unit.
The guide barrier rib may be formed to be spirally disposed from a lower part to an upper part of the preheating unit.

前記燃焼チャンバーは、前記燃焼部の上部に設けられ、燃焼エアー流入口の形成された上部連結部と、前記燃焼部の下部に設けられ、前記廃ガスが燃焼処理された燃焼処理ガスが排出するように形成された下部連結部と、前記廃ガス流入管に連結され、不活性ガスが流入する経路を提供する不活性ガス流入管とをさらに備えることができる。   The combustion chamber is provided at an upper part of the combustion part, and is provided with an upper connection part in which a combustion air inlet is formed and a lower part of the combustion part, and a combustion processing gas in which the waste gas is subjected to combustion processing is discharged. A lower connection part formed as described above and an inert gas inflow pipe connected to the waste gas inflow pipe and providing a path through which the inert gas flows can be further provided.

前記グライディング点火発生部は、前記燃焼部の上部に設けられ、前記燃焼部と連結されるように形成される結合部と、前記結合部を貫通して前記燃焼部に連結するグライディングプラズマ発生部と、前記グライディングプラズマ発生部が貫通されるように形成され、前記結合部に結合されるシーリングフランンジ部と、前記シーリングフランンジ部に結合され、前記点火エアーが供給される点火エアー供給口を有する蓋部とを備えることができる。   The gliding ignition generating unit is provided at an upper portion of the combustion unit and is formed to be coupled to the combustion unit, and a gliding plasma generating unit that penetrates the coupling unit and is coupled to the combustion unit. The gliding plasma generator is formed to pass therethrough, and has a sealing flange section coupled to the coupling section, and an ignition air supply port coupled to the sealing flange section and supplied with the ignition air. And a lid.

前記グライディング点火発生部は、前記結合部の外側に形成された冷却水流入管をさらに備えることができる。   The gliding ignition generator may further include a cooling water inflow pipe formed outside the coupling part.

本発明の廃ガス処理装置によれば、半導体製造工程及びその他の一般産業で使用され排出される廃ガスを予備加熱した後に燃焼処理することによって、廃ガスの完全燃焼処理が可能であるという効果がある。   According to the waste gas treatment apparatus of the present invention, the waste gas used in the semiconductor manufacturing process and other general industries is preheated and then subjected to combustion treatment, thereby effecting complete combustion treatment of the waste gas. There is.

また、本発明の廃ガス処理装置によれば、既存に廃ガスの未燃焼の際、ウェット処理で処理された水溶性ガスを完全燃焼処理することによって、別途のウェット処理装置が要らなくなり、ウェット処理装置の水分による腐食が防止されうるという効果がある。   Further, according to the waste gas treatment device of the present invention, when the waste gas is not yet burned, the water-soluble gas treated by the wet treatment is completely burned, so that a separate wet treatment device is not required. There is an effect that corrosion due to moisture in the processing apparatus can be prevented.

また、本発明の廃ガス処理装置によれば、燃焼部から発生した熱を利用して流入する廃ガスの予備加熱を行うことによって、ヒータの電力消費量を減らすことができ、常温の廃ガス流入による温度偏差を減らして、Ｐ．Ｉ．Ｄ制御の安全性が向上することができるという効果がある。   Further, according to the waste gas treatment apparatus of the present invention, by preheating the inflowing waste gas using the heat generated from the combustion section, the power consumption of the heater can be reduced, and the waste gas at normal temperature can be reduced. Reduce temperature deviation due to inflow. I. There is an effect that the safety of the D control can be improved.

また、本発明の廃ガス処理装置によれば、ブロワーと接触部とを備える冷却部、冷却プレートを備える冷却部、及び噴射ノズルを備える冷却部のうち、何れか一つを利用することによって、燃焼処理ガスを冷却させることができるという効果がある。   Further, according to the waste gas treatment apparatus of the present invention, by using any one of a cooling unit including a blower and a contact unit, a cooling unit including a cooling plate, and a cooling unit including an injection nozzle, There is an effect that the combustion processing gas can be cooled.

本発明の実施の形態に係る廃ガス処理装置の斜視図である。It is a perspective view of the waste gas processing apparatus which concerns on embodiment of this invention. 図１の廃ガス処理装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the waste gas processing apparatus of FIG. 図２の燃焼チャンバーを示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing the combustion chamber of FIG. 2. 図２の燃焼チャンバーを示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing the combustion chamber of FIG. 2. 図３に示すガイド隔壁の他の例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the other example of the guide partition shown in FIG. 図２の冷却部を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the cooling part of FIG. 図２の冷却部の他の例を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the other example of the cooling unit of FIG. 図２の冷却部のさらに他の例を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the other example of the cooling part of FIG.

以下、添付された図面を参照して、本発明の実施の形態に係る廃ガス処理装置について、さらに詳細に説明する。
図１は、本発明の実施の形態に係る廃ガス処理装置の斜視図で、図２は、図１の廃ガス処理装置を示す断面図で、図３は、図２の燃焼チャンバーを示す斜視図で、図４は、図２の燃焼チャンバーを示す断面図で、図５は、図３に示すガイド隔壁の他の例を示す斜視図で、図６は、図２の冷却部を示す概略構成図で、図７は、図２の冷却部の他の例を示す概略構成図で、図８は、図２の冷却部のさらに他の例を示す概略構成図である。 Hereinafter, a waste gas treatment apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.
1 is a perspective view of a waste gas treatment apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view of the waste gas treatment apparatus of FIG. 1, and FIG. 3 is a perspective view of a combustion chamber of FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating the combustion chamber of FIG. 2, FIG. 5 is a perspective view illustrating another example of the guide partition wall illustrated in FIG. 3, and FIG. 6 is a schematic diagram illustrating the cooling unit of FIG. FIG. 7 is a schematic configuration diagram showing another example of the cooling unit in FIG. 2, and FIG. 8 is a schematic configuration diagram showing still another example of the cooling unit in FIG.

図１〜図４に示すように、本発明の実施の形態に係る廃ガス処理装置１００は、燃焼チャンバー２００、グライディング点火発生部３００、ヒータ４００及び冷却部５００を備えて形成される。   As shown in FIGS. 1 to 4, the waste gas treatment apparatus 100 according to the embodiment of the present invention includes a combustion chamber 200, a gliding ignition generation unit 300, a heater 400, and a cooling unit 500.

前記燃焼チャンバー２００は、一方から廃ガスが流入し、上部から燃焼エアーとグライディングプラズマが供給されるように形成される。具体的に、前記燃焼チャンバー２００は、燃焼部２１０、予備加熱部２２０、廃ガス流入管２３０及びガイド隔壁２４０、上部連結部２５０、下部連結部２６０及び不活性ガス流入管２７０を備えることができる。ここで、前記燃焼チャンバー２００は、燃焼部２１０と予備加熱部２２０の形成のために内壁２００ａと外壁２００ｂとを有する。前記内壁２００ａは、略管状を有し、外壁２００ｂは、内壁２００ａから離隔される外側から内壁２００ａを取り囲むように略管状を有し、内壁２００ａの直径より大きな直径を有する。   The combustion chamber 200 is formed such that waste gas flows from one side and combustion air and gliding plasma are supplied from above. Specifically, the combustion chamber 200 may include a combustion unit 210, a preheating unit 220, a waste gas inflow pipe 230 and a guide partition 240, an upper connection part 250, a lower connection part 260, and an inert gas inflow pipe 270. . Here, the combustion chamber 200 has an inner wall 200 a and an outer wall 200 b for forming the combustion part 210 and the preheating part 220. The inner wall 200a has a substantially tubular shape, and the outer wall 200b has a substantially tubular shape so as to surround the inner wall 200a from the outside separated from the inner wall 200a, and has a diameter larger than the diameter of the inner wall 200a.

前記燃焼部２１０は、燃焼チャンバー２００の上部から供給される燃焼エアーとグライディングプラズマにより廃ガスの燃焼が行われる燃焼空間を提供する。このような燃焼部２１０は、内壁２００ａの内部空間であり、内壁２００ａは、廃ガスの燃焼時に発生する高温の熱から耐えることができる耐火物又はステンレススチールから形成される。   The combustion unit 210 provides a combustion space in which waste gas is burned by combustion air and gliding plasma supplied from the upper part of the combustion chamber 200. Such a combustion part 210 is an internal space of the inner wall 200a, and the inner wall 200a is formed of a refractory material or stainless steel that can withstand high-temperature heat generated during combustion of waste gas.

前記予備加熱部２２０は、燃焼チャンバー２００の内壁２００ａと外壁２００ｂとの間の離隔空間であり、ガス流入管２３０を介して流入する廃ガスを燃焼部２１０にて行われた廃ガスの燃焼により発生する熱を利用して予備加熱する。すなわち、前記予備加熱部２２０は、廃ガスが燃焼部２１０にて燃焼される前に予備加熱されるようにする。ここで、前記外壁２００ｂは、内壁２００ａより高く形成されて、図４のように廃ガスが予備加熱部２２０を通過して燃焼部２１０の上部に進入するようにする。一方、前記予備加熱部２２０は、廃ガスの予備加熱温度が廃ガスの自然発火点の約１／３以上〜１０００℃未満になるようにする。下記の表１は、予備加熱部２２０を利用して廃ガスを予備加熱し、燃焼部２１０を利用して予備加熱した廃ガスを燃焼処理したテスト結果である。   The preheating unit 220 is a separation space between the inner wall 200 a and the outer wall 200 b of the combustion chamber 200, and waste gas that flows in through the gas inflow pipe 230 is burned in the combustion unit 210. Preheat using the generated heat. That is, the preheating unit 220 is preheated before the waste gas is burned in the combustion unit 210. Here, the outer wall 200b is formed higher than the inner wall 200a so that the waste gas passes through the preheating part 220 and enters the upper part of the combustion part 210 as shown in FIG. Meanwhile, the preheating unit 220 sets the preheating temperature of the waste gas to be about 1/3 to less than 1000 ° C. of the spontaneous ignition point of the waste gas. Table 1 below shows test results of preheating waste gas using the preheating unit 220 and burning the preheated waste gas using the combustion unit 210.

Figure 2011226775
Figure 2011226775

前記表１から、廃ガスが自然発火点の約１／３以上である予備加熱温度に予備加熱され燃焼処理された場合、燃焼処理の効率が高いことが分かる。一方、廃ガスの予備加熱温度が１０００℃以上又は廃ガスの自然発火点以上に設定されれば、予備加熱のためのヒータの電力消費量が増加し、内壁２００ａの熱的損傷が発生する。また、廃ガスの予備加熱温度が廃ガスの自然発火点以上に設定されれば、予備加熱部２２０に未然の外部空気が流入する場合、廃ガスは、燃焼部２１０ではない予備加熱部２２０にて燃焼されることができる。   From Table 1, it can be seen that the efficiency of the combustion treatment is high when the waste gas is preheated to a preheating temperature that is about 1/3 or more of the spontaneous ignition point and burned. On the other hand, if the preheating temperature of the waste gas is set to 1000 ° C. or higher or higher than the spontaneous ignition point of the waste gas, the power consumption of the heater for preheating increases and thermal damage to the inner wall 200a occurs. Further, if the preheating temperature of the waste gas is set to be equal to or higher than the spontaneous ignition point of the waste gas, when the external air flows into the preheating unit 220, the waste gas is not supplied to the preheating unit 220 that is not the combustion unit 210. Can be burned.

上記のように、予備加熱部２２０は、廃ガス流入管２３０を介して流入する廃ガスを予備加熱して、燃焼部２１０に供給される廃ガスが燃焼時に必要な熱量を一部確保するようにすることによって、燃焼部２１０にて廃ガスの燃焼処理効率を高くすることができる。また、前記予備加熱部２２０は、廃ガス流入管２３０を介して流入し、予備加熱部２２０を通過した廃ガスの拡散速度を増加させることによって、燃焼部２１０で廃ガス拡散現象により燃焼エアーの希釈比率を上昇させて、燃焼処理効率を高くすることができる。また、前記予備加熱部２２０は、燃焼部２１０にて行われた廃ガスの燃焼により発生する熱を、廃ガス流入管２３０から流入して予備加熱部２２０を通過する廃ガスに転移させることによって、燃焼部２１０の熱的損傷を減らすようにすることができる。また、前記予備加熱部２２０は、廃ガス流入管２３０から流入して予備加熱部２２０を通過する廃ガスのうち、複合化合物、例えばＮＨ3の予備加熱を介して分解を容易にして、燃焼部２１０において廃ガスの燃焼処理速度を増加させることができる。また、前記予備加熱部２２０は、既存に廃ガスの未燃焼の際、ウェット処理で処理された水溶性ガス（例えば、窒素）を燃焼部２１０で完全燃焼処理されるようにすることによって、別途のウェット処理装置を要らなくすることができ、ウェット処理装置の水分による腐食を防止することができる。また、前記予備加熱部２２０は、燃焼部２１０から発生した熱を利用して廃ガスの予備加熱を行うことで、ヒータの電力消費量を減らすようにし、常温の廃ガス流入による温度偏差を減らしてＰ．Ｉ．Ｄ制御の安全性を向上させることができる。 As described above, the preheating unit 220 preheats the waste gas flowing in through the waste gas inflow pipe 230 so that the waste gas supplied to the combustion unit 210 partially secures the amount of heat necessary for combustion. By doing so, the combustion treatment efficiency of waste gas can be increased in the combustion section 210. In addition, the preheating unit 220 flows in through the waste gas inflow pipe 230 and increases the diffusion rate of the waste gas that has passed through the preheating unit 220, so that the combustion unit 210 generates combustion gas due to the waste gas diffusion phenomenon. By increasing the dilution ratio, the combustion processing efficiency can be increased. In addition, the preheating unit 220 transfers heat generated by the combustion of the waste gas performed in the combustion unit 210 to the waste gas that flows from the waste gas inflow pipe 230 and passes through the preheating unit 220. The thermal damage of the combustion unit 210 can be reduced. In addition, the preheating unit 220 facilitates decomposition through preheating of a complex compound, for example, NH 3 , out of the waste gas flowing in from the waste gas inflow pipe 230 and passing through the preheating unit 220, so that the combustion unit At 210, the waste gas combustion treatment rate can be increased. In addition, the preheating unit 220 may be separately provided by completely burning the water-soluble gas (for example, nitrogen) treated by the wet treatment in the combustion unit 210 when the waste gas is not yet burned. Therefore, the wet processing apparatus can be eliminated, and corrosion of the wet processing apparatus due to moisture can be prevented. In addition, the preheating unit 220 preheats waste gas using heat generated from the combustion unit 210, thereby reducing the power consumption of the heater and reducing temperature deviation due to inflow of normal temperature waste gas. P. I. The safety of D control can be improved.

前記廃ガス流入管２３０は、予備加熱部２２０の下部に連結され、廃ガス流入口２３１を介して外部から廃ガスが流入して予備加熱部２２０に供給されるようにする。
前記ガイド隔壁２４０は、予備加熱部２２０において内壁２００ａの側面から突出するように形成される。前記ガイド隔壁２４０は、予備加熱部２２０を複数の領域に区画し、廃ガス流入管２３０を介して流入する廃ガスが予備加熱部２２０で回転しつつ通過されるようにする。このために、前記ガイド隔壁２４０は、一方に開口２４１ａを有する第１突起２４１と他方に開口２４２ａを有する第２突起２４２が予備加熱部２２０の下部から上部に交互に配置されて形成される。このようなガイド隔壁２４０は、予備加熱部２２０を通過する廃ガスの流れ経路を増加させて、廃ガスの予備加熱効率を上げることができる。一方、前記ガイド隔壁２４０の他に、図５に示すように、予備加熱部２２０の下部から上部に螺旋状に配置されるガイド隔壁２４０´を形成することができる。 The waste gas inflow pipe 230 is connected to a lower portion of the preheating unit 220 so that waste gas flows from the outside through the waste gas inflow port 231 and is supplied to the preheating unit 220.
The guide partition 240 is formed to protrude from the side surface of the inner wall 200a in the preheating unit 220. The guide partition 240 divides the preheating unit 220 into a plurality of regions so that waste gas flowing in through the waste gas inflow pipe 230 passes through the preheating unit 220 while rotating. For this, the guide partition 240 is formed by alternately arranging first protrusions 241 having openings 241a on one side and second protrusions 242 having openings 242a on the other side from the lower part to the upper part of the preheating unit 220. Such a guide partition 240 can increase the waste gas flow path passing through the preheating unit 220, thereby increasing the waste gas preheating efficiency. On the other hand, in addition to the guide partition 240, a guide partition 240 'disposed in a spiral shape from the lower part to the upper part of the preheating unit 220 may be formed as shown in FIG.

前記上部連結部２５０は、燃焼部２１０の上部に設けられ、グライディング点火発生部３００と結合するように形成される。ここで、前記上部連結部２５０は、外部から燃焼エアーが流入する燃焼エアー流入口２０１を備える。前記燃焼エアーは、燃焼部２１０でグライディングプラズマを利用して廃ガスを燃焼させるときに用いられる。   The upper connection part 250 is provided at an upper part of the combustion part 210 and is connected to the gliding ignition generating part 300. Here, the upper connection part 250 includes a combustion air inlet 201 through which combustion air flows from the outside. The combustion air is used when the waste gas is burned in the combustion unit 210 using gliding plasma.

前記下部連結部２６０は、燃焼部２１０の下部に設けられ、冷却部５００と結合されるように形成される。
前記不活性ガス流入管２７０は、廃ガス流入管２３０に連結して、不活性ガス流入口２７１を介して外部からＮ2等、不活性ガスが流入して予備加熱部２２０及び燃焼部２１０に供給されるようにする。前記不活性ガスは、予備加熱部２２０及び燃焼部２１０に流入する廃ガス量のバラツキの発生を防止して、真空状態である半導体工程から真空ポンピング（Ｐｕｍｐｉｎｇ）を介して排出する廃ガスの量が不安定な場合、予備加熱部２２０及び燃焼部２１０に流入する廃ガスの流入量を安定的に補正する。例えば、前記不活性ガスは、真空状態である半導体工程から真空ポンピングを介して排出される廃ガスの量が少ない場合、予備加熱部２２０及び燃焼部２１０にさらに供給されて、最終的に予備加熱部２２０及び燃焼部２１０に流入する廃ガスの流入量を一定にする。また、前記不活性ガスは、燃焼チャンバー２００に対する廃ガス流入圧力及び廃ガス排気圧力の揺れにより予備加熱部２２０及び燃焼部２１０から発生する廃ガスの不安定な燃焼を防止できる。ここで、前記不活性ガス流入管２７０は、「Ｌ」字状を有することができ、不活性ガス流入口２７１を介して流入する不活性ガスは、略１０〜１００ＬＰＭ（Ｌｉｔｅｒｐｅｒ Ｍｉｎｕｔｅ）でありうる。 The lower connection part 260 is provided at the lower part of the combustion part 210 and is connected to the cooling part 500.
The inert gas inflow pipe 270 is connected to the waste gas inflow pipe 230 so that an inert gas such as N 2 flows from the outside through the inert gas inlet 271 to the preheating unit 220 and the combustion unit 210. To be supplied. The inert gas prevents the occurrence of variations in the amount of waste gas flowing into the preheating unit 220 and the combustion unit 210, and the amount of waste gas discharged from the semiconductor process in a vacuum state via vacuum pumping. Is unstable, the inflow amount of the waste gas flowing into the preheating unit 220 and the combustion unit 210 is stably corrected. For example, the inert gas is further supplied to the preheating unit 220 and the combustion unit 210 and finally preheated when the amount of waste gas discharged from the semiconductor process in a vacuum state through vacuum pumping is small. The inflow amount of the waste gas flowing into the part 220 and the combustion part 210 is made constant. Further, the inert gas can prevent unstable combustion of the waste gas generated from the preheating unit 220 and the combustion unit 210 due to fluctuations of the waste gas inflow pressure and the waste gas exhaust pressure with respect to the combustion chamber 200. Here, the inert gas inflow pipe 270 may have an “L” shape, and the inert gas flowing in via the inert gas inlet 271 may be approximately 10 to 100 LPM (Literper Minute). .

前記グライディング点火発生部３００は、燃焼チャンバー２００の上部に設けられ、外部から供給される点火エアーによりグライディングプラズマを燃焼チャンバー２００に供給して廃ガスの燃焼が行われるようにする。   The gliding ignition generator 300 is provided in the upper part of the combustion chamber 200, and supplies gliding plasma to the combustion chamber 200 by ignition air supplied from the outside so that the waste gas is burned.

具体的に、前記グライディング点火発生部３００は、結合部３１０、グライディングプラズマ発生部３２０、シーリングフランンジ部３３０及び蓋部３４０を備えることができる。   Specifically, the gliding ignition generator 300 may include a coupling part 310, a gliding plasma generator 320, a sealing flange part 330 and a lid part 340.

前記結合部３１０は、燃焼チャンバー２００の上部連結部２５０を貫通して燃焼部２１０と連結するように形成される。前記結合部３１０は、外側に形成されてグライディング点火発生部３００の冷却のための冷却水が流入する冷却水流入管３１１を備えることができる。   The coupling part 310 is formed to pass through the upper connection part 250 of the combustion chamber 200 and to be connected to the combustion part 210. The coupling part 310 may include a cooling water inflow pipe 311 that is formed outside and into which cooling water for cooling the gliding ignition generating part 300 flows.

前記グライディングプラズマ発生部３２０は、結合部３１０を貫通して燃焼部２１０に連結されるように形成される。このようなグライディングプラズマ発生部３２０は、陰極電極と陽極電極を含んで実質的にグライディングプラズマを形成する。前記グライディングプラズマは、外部電源（図示せず）から電気が印加される陰極電極と陽極電極のアーク放電により形成され、外部から供給される点火エアーにより燃焼部２１０の内部に供給されることができる。   The gliding plasma generator 320 is formed to pass through the coupling part 310 and be connected to the combustion part 210. The gliding plasma generator 320 includes a cathode electrode and an anode electrode, and substantially forms a gliding plasma. The gliding plasma is formed by arc discharge of a cathode electrode and an anode electrode to which electricity is applied from an external power source (not shown), and can be supplied into the combustion unit 210 by ignition air supplied from outside. .

前記シーリングフランンジ部３３０は、グライディングプラズマ発生部３２０が貫通されるように形成され、結合部３１０に結合される。このようなシーリングフランンジ部３３０は、外部作業者がグライディングプラズマ発生部３２０から発生する高電圧に露出する危険を遮断し、グライディングプラズマ発生部３２０の内部に外部空気が流入するのを防止する。   The sealing flange 330 is formed to penetrate the gliding plasma generator 320 and is coupled to the coupling unit 310. The sealing flange unit 330 prevents the external worker from being exposed to a high voltage generated from the gliding plasma generation unit 320 and prevents external air from flowing into the gliding plasma generation unit 320.

前記蓋部３４０は、シーリングフランンジ部３３０に結合され、外部から点火エアーが供給される点火エアー供給口３４１を備える。ここで、前記点火エアー供給口３４１を通過する点火エアーは、グライディングプラズマ発生部３２０を経て陰極電極と陽極電極の放電により形成されるアークを燃焼部２１０に押し詰めてグライディング化されるようにする。   The lid portion 340 includes an ignition air supply port 341 that is coupled to the ceiling flange portion 330 and is supplied with ignition air from the outside. Here, the ignition air passing through the ignition air supply port 341 is made to be grounded by pressing the arc formed by the discharge of the cathode electrode and the anode electrode through the gliding plasma generation unit 320 into the combustion unit 210. .

前記ヒータ４００は、燃焼チャンバー２００の予備加熱部２２０の外側に設けられる。前記ヒータ４００は、燃焼チャンバー２００の初期加熱を行い、グライディングプラズマによる廃ガスの燃焼時の安全のための補充加熱を行うことができる。また、前記ヒータ４００は、廃ガスの点火点（発火点）が高いガスの場合、廃ガスの円滑な燃焼のために熱を提供することができる。また、前記ヒータ４００は、予備加熱部２２０で廃ガスの温度が自然発火点の１／３以上になるように熱を提供することによって、燃焼部２１０にて廃ガスの完全燃焼を可能にすることができる。   The heater 400 is provided outside the preheating unit 220 of the combustion chamber 200. The heater 400 may perform initial heating of the combustion chamber 200 and replenishment heating for safety during combustion of waste gas by gliding plasma. In addition, the heater 400 can provide heat for smooth combustion of the waste gas when the ignition point (ignition point) of the waste gas is high. Further, the heater 400 provides heat so that the temperature of the waste gas is 1/3 or more of the spontaneous ignition point in the preheating unit 220, thereby allowing the combustion unit 210 to completely burn the waste gas. be able to.

前記冷却部５００は、下部連結部２６０の下部に設けられる。前記冷却部５００は、燃焼チャンバー２００で廃ガスが燃焼処理されて放出される燃焼処理ガスを冷却させて排出する。このために、前記冷却部５００は、図６に示すように、外側に設けられて内部に冷却エアーを供給するブロワー５１０と、内部に設けられて冷却エアーにより低い温度を有し、燃焼処理ガスが接触して冷却される接触部５２０とを備える。前記冷却部５００を通過した燃焼処理ガスは、排出管６００を介して外部に排出される。一方、前記冷却部５００の他の例として、図７に示すように内部にジグ状の燃焼処理ガス流れ経路が形成されるように設けられた冷却プレート１５１０を有する冷却部１５００を備えることができる。ここで、前記燃焼チャンバー２００から流入する燃焼処理ガスは、冷却部１５００の一方に流入して他方に排出し、排出管６００を介して外部に排出される。また、前記冷却部５００のさらに他の例として、図８に示すように内部に水を噴射する噴射ノズル２５１０を有する冷却部２５００を備えることができる。ここで、前記燃焼チャンバー２００から流入する燃焼処理ガスは、冷却部２５００の一方に流入して他方に排出され、排出管６００を介して外部に排出される。前記冷却部２５００は、廃ガス量が増加するほど燃焼処理ガスの冷却効率を増進させるのに有利である。   The cooling unit 500 is provided below the lower connection unit 260. The cooling unit 500 cools and discharges the combustion processing gas emitted from the combustion chamber 200 after the waste gas is burnt. To this end, as shown in FIG. 6, the cooling unit 500 includes a blower 510 provided outside and supplying cooling air to the inside, and a cooling temperature provided inside and having a lower temperature than the cooling air. And a contact portion 520 that is cooled by contact. The combustion processing gas that has passed through the cooling unit 500 is discharged to the outside through the discharge pipe 600. On the other hand, as another example of the cooling unit 500, a cooling unit 1500 having a cooling plate 1510 provided to form a jig-like combustion processing gas flow path therein may be provided as shown in FIG. . Here, the combustion processing gas flowing from the combustion chamber 200 flows into one of the cooling units 1500 and is discharged to the other, and is discharged to the outside through the discharge pipe 600. Furthermore, as another example of the cooling unit 500, a cooling unit 2500 having an injection nozzle 2510 that injects water into the interior as shown in FIG. 8 may be provided. Here, the combustion processing gas flowing in from the combustion chamber 200 flows into one of the cooling units 2500 and is discharged to the other, and is discharged to the outside through the discharge pipe 600. The cooling unit 2500 is advantageous for increasing the cooling efficiency of the combustion processing gas as the amount of waste gas increases.

上記のように、本発明の実施の形態に係る廃ガス処理装置１００は、廃ガスを予備加熱部２２０により予備加熱した後、燃焼部２１０により燃焼処理することによって、廃ガスの完全燃焼処理を可能にすることができる。   As described above, the waste gas treatment apparatus 100 according to the embodiment of the present invention performs complete combustion treatment of waste gas by preheating the waste gas by the preheating unit 220 and then performing combustion treatment by the combustion unit 210. Can be possible.

また、本発明の実施の形態に係る廃ガス処理装置１００は、既存に廃ガスの未燃焼の際、ウェット処理により処理された水溶性ガスを完全燃焼処理することによって、別途のウェット処理装置が要らなく、ウェット処理装置の水分による腐食の発生を防止することができる。   In addition, the waste gas treatment apparatus 100 according to the embodiment of the present invention has a separate wet treatment apparatus by completely burning the water-soluble gas treated by the wet treatment when the waste gas is not yet burned. It is not necessary, and the occurrence of corrosion due to moisture in the wet processing apparatus can be prevented.

また、本発明の実施の形態に係る廃ガス処理装置１００は、燃焼部２１０から発生した熱を利用して廃ガスの予備加熱を行うことによって、ヒータ４００の電力消費量を減らすことができ、常温の廃ガス流入時に発生する温度偏差を減らし、Ｐ．Ｉ．Ｄ制御による安全性を向上させることができる。   Further, the waste gas treatment apparatus 100 according to the embodiment of the present invention can reduce the power consumption of the heater 400 by preheating the waste gas using the heat generated from the combustion unit 210, Reduce the temperature deviation that occurs when waste gas flows at room temperature. I. Safety by D control can be improved.

また、本発明の実施の形態に係る廃ガス処理装置１００は、ブロワー５１０と接触部５２０とを有する冷却部５００、冷却プレート１５１０を有する冷却部１５００、及び噴射ノズル２５１０を有する冷却部２５００のうち、何れか一つを利用することによって、燃焼処理ガスを冷却させることができる。   Further, the waste gas treatment apparatus 100 according to the embodiment of the present invention includes a cooling unit 500 having a blower 510 and a contact unit 520, a cooling unit 1500 having a cooling plate 1510, and a cooling unit 2500 having an injection nozzle 2510. By using any one of them, the combustion processing gas can be cooled.

以下では、上記のような構成を有する廃ガス処理装置１００を利用して廃ガスを予備加熱し燃焼処理する場合と、既存の廃ガス処理装置を利用して予備加熱無しで燃焼処理する場合において、総窒素含有量を測定した結果を表２を介して検討する。以下の表２において、総窒素量は、燃焼処理ガスをウェット処理後、水から検出された総窒素量である。   In the following, in the case where the waste gas is preheated and burnt using the waste gas treatment apparatus 100 having the above-described configuration, and the case where the existing waste gas treatment apparatus is used for the combustion treatment without preheating. The results of measuring the total nitrogen content are examined through Table 2. In Table 2 below, the total nitrogen amount is the total nitrogen amount detected from water after the wet treatment of the combustion treatment gas.

Figure 2011226775
Figure 2011226775

表２に示すように、条件１、２のそれぞれは、廃ガスにＨ2、ＮＨ3が含まれない時の廃ガスの総窒素量が０．１７ｍｇ／Ｌと０．２８ｍｇ／Ｌであることを示す。条件３は、８０ＳＬＭ（Ｓｔａｎｄａｒｄ Ｌｉｔｅｒ ｐｅｒ Ｍｉｎｕｔｅ）のＨ2と６０ＳＬＭのＮＨ3を含む廃ガスを予備加熱無しで２時間の間に燃焼処理したとき、燃焼処理ガスの総窒素量が５６８．１４ｍｇ／Ｌであることを示す。条件４は、６０ＳＬＭのＮＨ3を含む廃ガスを予備加熱し、２時間の間に燃焼処理したとき、燃焼処理ガスの総窒素量が０．５６ｍｇ／Ｌであることを示す。条件５は、８０ＳＬＭのＨ2と６０ＳＬＭのＮＨ3を含む廃ガスを予備加熱無しで４時間の間に燃焼処理したとき、燃焼処理ガスの総窒素量が９３２．５２ｍｇ／Ｌであることを示す。条件６は、８０ＳＬＭのＨ2と６０ＳＬＭのＮＨ3を含む廃ガスを予備加熱して４時間の間に燃焼処理したとき、燃焼処理ガスの総窒素量が７．０２ｍｇ／Ｌであることを示す。条件７は、６０ＳＬＭのＮＨ3を含む廃ガスを予備加熱して４時間の間に燃焼処理したとき、燃焼処理ガスの総窒素量が０．２３ｍｇ／Ｌであることを示す。 As shown in Table 2, in each of the conditions 1 and 2 , the total amount of nitrogen in the waste gas when the waste gas does not contain H 2 or NH 3 is 0.17 mg / L and 0.28 mg / L Indicates. Condition 3 is that when waste gas containing 80 SLM (Standard Liter per Minute) H 2 and 60 SLM NH 3 was combusted for 2 hours without preheating, the total nitrogen amount of the combusted gas was 568.14 mg / Indicates L. Condition 4 indicates that when the waste gas containing 60 SLM NH 3 is preheated and combusted for 2 hours, the total amount of nitrogen in the combusted gas is 0.56 mg / L. Condition 5 indicates that when a waste gas containing 80 SLM H 2 and 60 SLM NH 3 is combusted for 4 hours without preheating, the total nitrogen amount of the combusted gas is 932.52 mg / L. . Condition 6 indicates that when a waste gas containing 80 SLM H 2 and 60 SLM NH 3 is preheated and combusted for 4 hours, the total nitrogen amount of the combusted gas is 7.02 mg / L. . Condition 7 indicates that when the waste gas containing 60 SLM NH 3 is preheated and combusted for 4 hours, the total amount of nitrogen in the combusted gas is 0.23 mg / L.

前記条件３、５から廃ガスを予備加熱無しで燃焼処理すれば、廃ガス量によって燃焼処理ガスの総窒素量が増加することが分かり、条件４、７から廃ガスを予備加熱し燃焼処理すれば、燃焼処理ガスの総窒素量が減少することが分かる。これから、予備加熱後燃焼処理を行う廃ガス処理装置１００が廃ガスの燃焼処理効率を上げることができることが分かる。   It can be seen from the conditions 3 and 5 that if the waste gas is combusted without preheating, the total amount of nitrogen in the combustion gas increases according to the amount of waste gas. From the conditions 4 and 7, the waste gas is preheated and combusted. It can be seen that the total amount of nitrogen in the combustion process gas decreases. From this, it can be seen that the waste gas treatment apparatus 100 that performs the combustion treatment after preheating can increase the combustion treatment efficiency of the waste gas.

本発明の詳細な説明では具体的な実施の形態について説明したが、本発明の範囲から逸脱しない範囲内で多様な変形が可能であることは勿論である。したがって、本発明の範囲は、上述の実施の形態に限って決まらず、特許請求の範囲だけでなく、特許請求の範囲と均等なものによって決まらねばならない。   Although the specific embodiments have been described in the detailed description of the present invention, it is needless to say that various modifications can be made without departing from the scope of the present invention. Therefore, the scope of the present invention is not limited to the above-described embodiment, but must be determined not only by the claims but also by the equivalents of the claims.

１００ 廃ガス処理装置
２００ 燃焼チャンバー
３００ グライディング点火発生部
４００ ヒータ
５００、１５００、２５００ 冷却部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Waste gas processing apparatus 200 Combustion chamber 300 Gliding ignition generation part 400 Heater 500, 1500, 2500 Cooling part

Claims (17)

一方から廃ガスが流入し、上部から燃焼エアーとグライディングプラズマとが供給されて、前記廃ガスの燃焼が行われる燃焼部を有する燃焼チャンバーと、
前記燃焼チャンバーの上部に設けられ、前記グライディングプラズマを前記燃焼チャンバーに供給するグライディング点火発生部とを備え、
前記燃焼チャンバーは、前記燃焼部の内部に供給される前記廃ガスを予備加熱する予備加熱部をさらに備えることを特徴とする廃ガス処理装置。 Waste gas flows in from one side, combustion air and gliding plasma are supplied from above, and a combustion chamber having a combustion section in which the waste gas is burned,
A gliding ignition generator provided at an upper part of the combustion chamber and supplying the gliding plasma to the combustion chamber;
The combustion chamber further includes a preheating unit that preheats the waste gas supplied into the combustion unit. 前記予備加熱部は、前記燃焼部にて行われた前記廃ガスの燃焼により発生する熱を利用して、前記燃焼部に供給される前記廃ガスを予備加熱することを特徴とする請求項１に記載の廃ガス処理装置。   The preheating unit preheats the waste gas supplied to the combustion unit using heat generated by the combustion of the waste gas performed in the combustion unit. The waste gas treatment apparatus described in 1. 前記予備加熱部の外側に設けられるヒータをさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の廃ガス処理装置。   The waste gas treatment apparatus according to claim 1, further comprising a heater provided outside the preheating unit. 前記燃焼チャンバーの下部に設けられる冷却部をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の廃ガス処理装置。   The waste gas treatment apparatus according to claim 1, further comprising a cooling unit provided at a lower portion of the combustion chamber. 前記冷却部は、
外側に設けられて内部に冷却エアーを供給するブロワーと、
内部に設けられて前記廃ガスが燃焼処理されて発生した燃焼処理ガスが接触して冷却される接触部とを備えることを特徴とする請求項４に記載の廃ガス処理装置。 The cooling part is
A blower provided outside and supplying cooling air to the inside;
The waste gas processing apparatus according to claim 4, further comprising: a contact portion that is provided inside and that is cooled by contact with the combustion processing gas generated by combustion processing of the waste gas. 前記冷却部は、内部にジグ状の燃焼処理ガス流れ経路が形成されるように設けられた冷却プレートを備えることを特徴とする請求項４に記載の廃ガス処理装置。   The waste gas treatment apparatus according to claim 4, wherein the cooling unit includes a cooling plate provided so that a jig-like combustion treatment gas flow path is formed therein. 前記冷却部は、内部に水を噴射する噴射ノズルを備えることを特徴とする請求項４に記載の廃ガス処理装置。   The waste gas treatment apparatus according to claim 4, wherein the cooling unit includes an injection nozzle that injects water therein. 前記廃ガスの予備加熱温度は、前記廃ガスの自然発火点の１／３以上〜１０００℃未満であることを特徴とする請求項１に記載の廃ガス処理装置。   The waste gas treatment apparatus according to claim 1, wherein the waste gas preheating temperature is not less than 1/3 to less than 1000 ° C of a spontaneous ignition point of the waste gas. 前記燃焼チャンバーは、管状を有する内壁と、前記内壁の外側に離隔し、管状を有する外壁を有し、
前記燃焼部は、前記内壁の内部空間であり、前記予備加熱部は、前記内壁と外壁との間の離隔空間であることを特徴とする請求項１に記載の廃ガス処理装置。 The combustion chamber has an inner wall having a tubular shape and an outer wall having a tubular shape spaced apart from the inner wall,
The waste gas treatment apparatus according to claim 1, wherein the combustion unit is an internal space of the inner wall, and the preheating unit is a separation space between the inner wall and the outer wall. 前記燃焼チャンバーは、前記予備加熱部に連結する廃ガス流入管を備え、
前記廃ガス流入管を介して流入する廃ガスが前記予備加熱部を通過して、前記燃焼部の上部に供給されることを特徴とする請求項９に記載の廃ガス処理装置。 The combustion chamber includes a waste gas inflow pipe connected to the preheating unit,
The waste gas treatment apparatus according to claim 9, wherein waste gas flowing in through the waste gas inflow pipe passes through the preheating unit and is supplied to an upper portion of the combustion unit. 前記外壁は、前記内壁より高く形成されることを特徴とする請求項９に記載の廃ガス処理装置。   The waste gas treatment apparatus according to claim 9, wherein the outer wall is formed higher than the inner wall. 前記燃焼チャンバーは、前記予備加熱部にて前記燃焼部の側面から突出するように形成されるガイド隔壁をさらに備えることを特徴とする請求項９に記載の廃ガス処理装置。   The waste gas treatment apparatus according to claim 9, wherein the combustion chamber further includes a guide partition formed to protrude from a side surface of the combustion unit in the preheating unit. 前記ガイド隔壁は、一方に開口を有する第１突起と他方に開口を有する第２突起とが前記予備加熱部の下部から上部に交互に配置されて形成されることを特徴とする請求項１２に記載の廃ガス処理装置。   13. The guide partition according to claim 12, wherein first guide protrusions having an opening on one side and second protrusions having an opening on the other are alternately arranged from a lower part to an upper part of the preheating unit. The waste gas treatment apparatus as described. 前記ガイド隔壁は、前記予備加熱部の下部から上部に螺旋状に配置されて形成されることを特徴とする請求項１２に記載の廃ガス処理装置。   The waste gas treatment apparatus according to claim 12, wherein the guide partition wall is formed in a spiral shape from a lower part to an upper part of the preheating unit. 前記燃焼チャンバーは、
前記燃焼部の上部に設けられ、燃焼エアー流入口の形成された上部連結部と、
前記燃焼部の下部に設けられ、前記廃ガスが燃焼処理された燃焼処理ガスが排出するように形成された下部連結部と、
前記廃ガス流入管に連結され、不活性ガスが流入する経路を提供する不活性ガス流入管とをさらに備えることを特徴とする請求項１０に記載の廃ガス処理装置。 The combustion chamber comprises
An upper connection part provided at an upper part of the combustion part and formed with a combustion air inlet;
A lower connection part provided at a lower part of the combustion part and formed so as to discharge a combustion treatment gas obtained by burning the waste gas;
The waste gas treatment apparatus according to claim 10, further comprising an inert gas inflow pipe connected to the waste gas inflow pipe and providing a path through which the inert gas flows. 前記グライディング点火発生部は、
前記燃焼部の上部に設けられ、前記燃焼部と連結されるように形成される結合部と、
前記結合部を貫通して前記燃焼部に連結するグライディングプラズマ発生部と、
前記グライディングプラズマ発生部が貫通されるように形成され、前記結合部に結合されるシーリングフランンジ部と、
前記シーリングフランンジ部に結合され、前記点火エアーが供給される点火エアー供給口を有する蓋部とを備えることを特徴とする請求項９に記載の廃ガス処理装置。 The gliding ignition generator is
A coupling portion provided on an upper portion of the combustion portion and formed to be connected to the combustion portion;
A gliding plasma generating part that penetrates the coupling part and connects to the combustion part;
A sealing flange portion formed so as to penetrate the gliding plasma generating portion and coupled to the coupling portion;
The waste gas treatment apparatus according to claim 9, further comprising: a lid portion that is coupled to the sealing flange portion and has an ignition air supply port to which the ignition air is supplied. 前記グライディング点火発生部は、前記結合部の外側に形成された冷却水流入管をさらに備えることを特徴とする請求項１６に記載の廃ガス処理装置。   The waste gas treatment apparatus according to claim 16, wherein the gliding ignition generating unit further includes a cooling water inflow pipe formed outside the coupling unit.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014081190A (en) * 2012-10-15 2014-05-08 Csk Inc Burner for scrubber
CN107246616A (en) * 2017-06-09 2017-10-13 加拿大艾浦莱斯有限公司 A kind of plasma-catalytic syngas combustor
WO2022101981A1 (en) * 2020-11-10 2022-05-19 カンケンテクノ株式会社 Gas processing furnace and exhaust gas processing device in which same is used

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101413183B1 (en) * 2012-08-29 2014-06-27 한국에너지기술연구원 Waste gas incineration apparatus and method
KR101428722B1 (en) * 2012-10-08 2014-08-12 김재용 Gas Scrubber
KR101475663B1 (en) * 2013-02-21 2014-12-23 주식회사 지앤비에스엔지니어링 Combustible gas scrubber
KR101418358B1 (en) * 2013-05-15 2014-07-09 주식회사 케이피씨 Hybrid burning chamber for scrubber
KR101504829B1 (en) * 2013-07-18 2015-03-20 주식회사 에코에너젠 Scrubber of removing Flammable Gas
KR101657468B1 (en) * 2015-01-22 2016-09-19 주식회사 글로벌스탠다드테크놀로지 Exhaust gas pre-treatment apparatus for incineration treatment of non-degradable noxious gas and exhaust gas pre-treatment method using the same
KR101930463B1 (en) * 2016-12-09 2018-12-18 (주)트리플코어스코리아 Plasma scrubber having baffle plate
KR101879244B1 (en) * 2017-04-06 2018-07-18 전주대학교 산학협력단 Plasma system for treatment of semiconductor waste gas CF4
KR101959165B1 (en) * 2018-04-27 2019-03-15 (주)엔노피아 Plasma waste gas processing apparatus and system
CN115738564A (en) * 2022-11-01 2023-03-07 徐州市三淮重工设备有限公司 Mining environmental protection dust collector

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5153547U (en) * 1974-10-21 1976-04-23
JPS5284858A (en) * 1975-12-15 1977-07-14 Uop Inc Method of and apparatus for controlling burninggup of waste gas
JPS5955231U (en) * 1982-09-30 1984-04-11 株式会社新潟鐵工所 gas combustion furnace
JPH0861644A (en) * 1994-06-17 1996-03-08 Daiei Sangyo Kk Incinerator for moisture-containing waste material
JPH10199697A (en) * 1997-01-10 1998-07-31 Pearl Kogyo Kk Surface treatment device by atmospheric pressure plasma
JP2002078784A (en) * 2000-09-08 2002-03-19 Takubo Industrial Corp Oxidation catalyst deodorizing device
JP2003014219A (en) * 2001-06-28 2003-01-15 Daiki Aluminium Industry Co Ltd Method and apparatus for removing dioxins in exhaust gas
JP2004349442A (en) * 2003-05-22 2004-12-09 Sony Corp Method and apparatus for detoxifying exhaust gas
WO2008136217A1 (en) * 2007-05-02 2008-11-13 Kanken Techno Co., Ltd. Heat exchanger and gas treatment device using the same
JP2009210210A (en) * 2008-03-05 2009-09-17 Taiyo Nippon Sanso Corp Exhaust gas decomposing device

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5153547U (en) * 1974-10-21 1976-04-23
JPS5284858A (en) * 1975-12-15 1977-07-14 Uop Inc Method of and apparatus for controlling burninggup of waste gas
JPS5955231U (en) * 1982-09-30 1984-04-11 株式会社新潟鐵工所 gas combustion furnace
JPH0861644A (en) * 1994-06-17 1996-03-08 Daiei Sangyo Kk Incinerator for moisture-containing waste material
JPH10199697A (en) * 1997-01-10 1998-07-31 Pearl Kogyo Kk Surface treatment device by atmospheric pressure plasma
JP2002078784A (en) * 2000-09-08 2002-03-19 Takubo Industrial Corp Oxidation catalyst deodorizing device
JP2003014219A (en) * 2001-06-28 2003-01-15 Daiki Aluminium Industry Co Ltd Method and apparatus for removing dioxins in exhaust gas
JP2004349442A (en) * 2003-05-22 2004-12-09 Sony Corp Method and apparatus for detoxifying exhaust gas
WO2008136217A1 (en) * 2007-05-02 2008-11-13 Kanken Techno Co., Ltd. Heat exchanger and gas treatment device using the same
JP2009210210A (en) * 2008-03-05 2009-09-17 Taiyo Nippon Sanso Corp Exhaust gas decomposing device

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014081190A (en) * 2012-10-15 2014-05-08 Csk Inc Burner for scrubber
CN107246616A (en) * 2017-06-09 2017-10-13 加拿大艾浦莱斯有限公司 A kind of plasma-catalytic syngas combustor
CN107246616B (en) * 2017-06-09 2018-12-18 加拿大艾浦莱斯有限公司 A kind of plasma-catalytic syngas combustor
WO2022101981A1 (en) * 2020-11-10 2022-05-19 カンケンテクノ株式会社 Gas processing furnace and exhaust gas processing device in which same is used
JP7284546B2 (en) 2020-11-10 2023-05-31 カンケンテクノ株式会社 Gas treatment furnace and exhaust gas treatment equipment using the same

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