JP2011222687A - 太陽電池 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】透光性絶縁基板の上に、少なくとも透明導電膜からなる表面電極層と、シリコン薄膜を含む光電変換層とが、この順に積層され、透明導電膜が、亜鉛と、元素M(Mはアルミニウムおよび/またはガリウム)、チタン及び酸素から構成され、かつ元素の原子比が、
(M+Ti)/(Zn+M+Ti)=0.004〜0.06
M/(Zn+M+Ti)=0.002〜0.058
Ti/(Zn+M+Ti)=0.002〜0.058
であることを特徴とする太陽電池。
【選択図】図1
Description
(M+Ti)/(Zn+M+Ti)=0.001〜0.2
であることを特徴とする太陽電池である。
(M+Ti)/(Zn+M+Ti)=0.001〜0.2
である。これによって、良好な光透過性と耐久性を兼ね備えた太陽電池とすることができる。
(M+Ti)/(Zn+M+Ti)=0.004〜0.06
M/(Zn+M+Ti)=0.002〜0.058
Ti/(Zn+M+Ti)=0.002〜0.058
である。これによって、一層良好な光透過性と耐久性を兼ね備えた太陽電池とすることができる。
さらに好ましくは、(M+Ti)/(Zn+M+Ti)は0.005〜0.055である。
これによって、さらに良好な光透過性と耐久性を兼ね備えた太陽電池とすることができる。
I(002)/(I(100)+I(002)+I(101))≧0.9
であることがより好ましい。この範囲を下回ると、抵抗が増加し、耐久性が悪化することがあるので好ましくない。この範囲の上限は1で、X線的に(002)面の回折ピークのみが観察されていることを示している。このようにすることにより、より一層良好な光透過性と耐久性を兼ね備えた太陽電池とすることができる。
各元素の原料粉末は特に限定されるものではなく、例えば、金属酸化物粉末、金属水酸化物粉末、塩化物、硝酸塩、炭酸塩等の金属塩粉末、金属アルコキシド等を用いることが可能であるが、取扱性を考慮すると金属酸化物粉末が好ましい。なお、本発明においては、金属酸化物粉末以外を用いた場合に、粉末をあらかじめ大気中等の酸化性雰囲気で加熱処理等を施して金属酸化物粉末として用いても同様の効果を奏するが、加熱処理等の操作が工程に含まれ煩雑となるため、原料粉末として金属酸化物粉末を用いることが好ましい。
Dbz=6/(S×5.68)
Dba=6/(S×3.99)
Dbg=6/(S×5.88)
Dbt=6/(S×4.2)
なおそれぞれの粉末の平均粒径は、COULTER LS130(COULTER ELECTRONICS社製)を用い、蒸留水中、液体モジュールで測定した。測定値は体積基準である。
(M+Ti)/(Zn+M+Ti)=0.001〜0.2
となるように原料を混合する。
(M+Ti)/(Zn+M+Ti)=0.004〜0.06
M/(Zn+M+Ti)=0.002〜0.058
Ti/(Zn+M+Ti)=0.002〜0.058
となるように、更に好ましくは(M+Ti)/(Zn+M+Ti)=0.005〜0.055となるように原料を混合する。
成形方法は、金属酸化物の混合粉末(仮焼した場合には仮焼した混合粉末)を目的とした形状に成形できれば特に限定されるものではない。プレス成形法、鋳込成形法、射出成形法等が例示できる。成形圧力はクラック等の発生がなく、取り扱いが可能な成形体が得られれば特に限定されるものではないが、比較的高い成形圧力で、例えばプレス成形の場合、500kg/cm2〜3.0ton/cm2で成形すると、本発明の複合酸化物焼結体において、元素Mの酸化物粒子や酸化チタン粒子が存在しないものが得られやすく、また相対密度80%以上のものが得られやすい。また成形密度は可能な限り高めた方が好ましい。そのために冷間静水圧(CIP)成形等の方法を用いることも可能である。なお、成形処理に際しては、ポリビニルアルコール、アクリル系ポリマー、メチルセルロース、ワックス類、オレイン酸等の成形助剤を用いても良い。
次に得られた成形体を600〜1500℃で焼成する。この温度範囲で焼成することにより、微細な平均粒径を有する粒子から成る複合酸化物焼結体を得ることが可能である。特に酸化亜鉛系複合酸化物特有の揮発消失が抑制され、かつ焼結密度を高められる点から、焼成温度は800〜1400℃の範囲がより好ましい。また焼成温度を800〜1400℃とすると、元素Mの酸化物粒子や酸化チタン粒子が存在しないものが得られやすく、また相対密度80%以上のものが得られやすい。
まず、透光性絶縁基板(1)として表面が平滑な無アルカリガラス基板を用い、その主面上にマグネトロンスパッタリング法により表面電極層(2)の透明導電膜を形成し、その表面処理を行った。得られた透明導電膜の特性を表1,2に示す。
市販の無アルカリガラスに焼結密度99%以上のスパッタリングターゲットを用いたマグネトロンスパッタリング法により、表1に示す表面電極層を形成した。
酸化亜鉛粉末:純度99.8%、BET比表面積4m2/g、平均粒径Dsz2.4μm。
酸化アルミニウム粉末:純度99.99%、BET比表面積14m2/g、平均粒径Dsa1.6μm。
酸化ガリウム粉末:純度99.99%、BET比表面積8m2/g、平均粒径Dsg1.8μm。
酸化チタン粉末:純度99.9%、BET比表面積6.5m2/g、平均粒径Dst2.2μm。
(BET比表面積)
MONOSORB(米国QUANTACHROME社製)を用い、BET式1点法により測定した。
(粉末の平均粒径)
COULTER LS130(COULTER ELECTRONICS社製)を用い、蒸留水中、液体モジュールで測定した。測定値は体積基準である。
亜鉛、アルミニウム、チタンの原子数の比が表に記載の値となるように、酸化亜鉛粉末、酸化アルミニウム粉末及び酸化チタン粉末を湿式ビーズミルで混合、粉砕し、乾燥した後、直径150mmの金型に充填し、300kg/cm2で一軸成形し、次いで3.0ton/cm2でCIP成形した。得られた成形体を昇温速度50℃/h、降温速度100℃/h、焼成温度1100℃、保持時間3時間、窒素中の条件で焼成して、複合酸化物焼結体を得た。
亜鉛、アルミニウム、チタンの原子数の比が表に記載の値となるようにし、かつ焼成温度を1200℃とした以外は実施例1と同様にして複合酸化物焼結体を得た。
亜鉛、アルミニウム、チタンの原子数の比が表に記載の値となるようにし、かつ焼成温度を1400℃とした以外は実施例1と同様にして複合酸化物焼結体を得た。
亜鉛、アルミニウム、チタンの原子数の比が表に記載の値となるようにし、かつ焼成温度を1300℃とした以外は実施例1と同様にして複合酸化物焼結体を得た。
亜鉛、アルミニウム、チタンの原子数の比が表に記載の値となるようにし、かつ焼成温度を1400℃とした以外は実施例1と同様にして複合酸化物焼結体を得た。
亜鉛、アルミニウム、ガリウム、チタンの原子数の比が表に記載の値となるように酸化亜鉛粉末、酸化アルミニウム粉末、酸化ガリウム粉末及び酸化チタン粉末を湿式ビーズミルで混合、粉砕し、乾燥した後、直径150mmの金型に充填し、300kg/cm2で一軸成形し、次いで3.0ton/cm2でCIP成形した。得られた成形体を昇温速度50℃/h、降温速度100℃/h、焼成温度1200℃、保持時間3時間、窒素中の条件で焼成して、複合酸化物焼結体を得た。
亜鉛、アルミニウムの原子数の比が表に記載の値となるように、酸化亜鉛粉末と酸化アルミニウム粉末を湿式ビーズミルで混合、粉砕し、乾燥した後、直径150mmの金型に充填し、300kg/cm2で一軸成形し、次いで3.0ton/cm2でCIP成形した。得られた成形体を昇温速度50℃/h、降温速度100℃/h、焼成温度1300℃、保持時間3時間、窒素中の条件で焼成して、複合酸化物焼結体を得た。
亜鉛、アルミニウム、チタンの原子数の比が表に記載の値となるようにし、かつ焼成温度1400℃とした以外は実施例1と同様にして、複合酸化物焼結体を得た。
作製した焼結体を所定の形状に加工してスパッタリングターゲットとして用いた。ターゲットのスパッタリング面となる面は、平面研削盤とダイヤモンド砥粒の砥石を用いて加工した。
・装置 :DCマグネトロンスパッタリング装置(アルバック社製)
・磁界強度 :1000Gauss(ターゲット直上、水平成分)
・基板温度 :200℃
・到達真空度 :5×10−5Pa
・スパッタリングガス :アルゴン
・スパッタリングガス圧:0.5Pa
・DCパワー :300W
・膜厚 :1000nm。
ICP発光分光分析装置(セイコーインスツルメンツ社製)を用いて、ICP発光分光分析法により定量を行った。
測定条件は以下の通りである。
・X線源 :CuKα
・パワー :40kV、40mA
・走査速度 :1°/分。
基板を含めた光透過率を分光光度計U−4100(日立製作所製)で測定し、波長400nmから800nmの透過率の平均値を可視光領域の透過率、波長800nmから1200nmの透過率の平均値を赤外領域の透過率とした。
薄膜試料を温度85℃、相対湿度85%の環境に連続的に曝し、抵抗率の変化を観察した。このとき、試験前後の抵抗率をそれぞれA、Bとしたときに、(B−A)/Aの値を%単位で求めて耐久性の指標とした。通常、この値は試験時間とともに増加傾向にあり、値が小さいほど耐久性が優れていることを示している。
薄膜の抵抗率は、HL5500(日本バイオ・ラッド ラボラトリーズ社製)を用いて測定した。
光散乱能の指標としてヘイズ率(H)を評価した。ヘイズ率は、評価するサンプルを通過する光の中、サンプルによって散乱された光量を示すパラメータであり、この値が大きいと、そのサンプルの光散乱能が大きいことを意味し、一般的に光散乱を評価するパラメータとして用いられる。ここで、ヘイズ率は、サンプルの全透過率(Tt)と拡散透過率(Td)を用いて、下式により求めた。
H(%)=(Td(%)/Tt(%))×100
(ここで、Td=Tt−Tp 平行透過率:Tp(%))
測定は、分光光度計U−4100(日立ハイテクノロジー社製)で行った。
2 表面電極層
3 光電変換層
4 バリア層
5 裏面金属電極層
Claims (4)
- 透光性絶縁基板の上に、少なくとも透明導電膜からなる表面電極層と、シリコンを含む薄膜からなる光電変換層とが、この順に積層され、透明導電膜が、亜鉛と、元素M(Mはアルミニウムおよび/またはガリウム)、チタン及び酸素から構成され、かつ元素の原子比が、
(M+Ti)/(Zn+M+Ti)=0.001〜0.2
であることを特徴とする太陽電池。 - 透明導電膜を構成する元素の原子比が、
(M+Ti)/(Zn+M+Ti)=0.004〜0.06
M/(Zn+M+Ti)=0.002〜0.058
Ti/(Zn+M+Ti)=0.002〜0.058
である請求項1に記載の太陽電池。 - 透明導電膜のCuを線源とするX線回折パターンの2Θ=30〜40°の範囲内に検出される回折ピークが、六方晶系ウルツ型構造に帰属される(100)面、(002)面、(101)面の少なくとも1つの面の回折ピークである請求項1または2に記載の太陽電池。
- 透明導電膜の、Cuを線源とするX線回折パターンの2Θ=30〜40°の範囲内に検出される回折ピークにおいて、六方晶系ウルツ型構造に帰属される(100)面、(002)面、(101)面の回折ピークの積分強度をそれぞれI(100)、I(002)、I(101)としたときに、
I(002)/(I(100)+I(002)+I(101))≧0.9
である請求項3に記載の太陽電池。
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