JP2011215109A

JP2011215109A - 検査装置および検査方法

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Publication number: JP2011215109A
Application number: JP2010085903A
Authority: JP
Inventors: Juichi Nakada; 寿一中田
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2010-04-02
Filing date: 2010-04-02
Publication date: 2011-10-27
Anticipated expiration: 2030-04-02
Also published as: JP5291657B2

Abstract

【課題】サンプル装置が指定した平均サンプル数で正しく平均化しているかどうかを検査する。
【解決手段】トリガ信号毎に被測定信号の値を指定された平均化期間の間平均化して出力するサンプル装置を検査する検査装置であって、単調増加または減少する第１信号をサンプル装置に供給し、第１信号と異なる種類の曲線で単調増加または減少する第２信号をサンプル装置に供給する信号供給部と、第１信号の予め定められたタイミングおよび第２信号の予め定められたタイミングのそれぞれにおいてトリガ信号をサンプル装置に供給するトリガ供給部と、トリガ信号に応じてサンプル装置が出力する第１信号の平均値および第２信号の平均値に基づいて、サンプル装置が被測定信号を平均化するサンプル数が、平均化期間に応じたサンプル数であるか否かを判定する判定部と、を備える検査装置を提供する。
【選択図】図１

Description

本発明は、検査装置および検査方法に関する。

試験装置は、多数のＤＡ変換器を内部に備える。試験装置は、キャリブレーションにおいて、内部に備えるＤＡ変換器のリニアリティを検査する。試験装置は、精度良くＤＡ変換器のリニアリティを検査することを目的として、検査対象のＤＡ変換器から一のデータに応じた出力信号を複数回出力させ、複数の出力信号のレベルの平均値を検査する。このような検査モードを例えばアベレージモードという。

試験装置は、アベレージモードによるＤＡ変換器の検査において、ＤＡ変換器の出力信号をサンプル装置にサンプルさせる。これとともに、試験装置は、平均化期間を指定するトリガ信号をサンプル装置に供給して、平均化期間の間においてサンプルした出力信号の値を平均化して出力させる。

また、試験装置は、平均化期間を変更することにより、サンプル装置が平均化するべきサンプル数（平均サンプル数）を設定する。試験装置は、一例として、平均サンプル数を１回、２回、４回、８回…、といったように設定することができる。試験装置は、一例として、設定した平均サンプル数毎に、アベレージモードによるＤＡ変換器の検査を実施する。

ここで、トリガ信号は、ＤＡ変換器の出力信号とともに送信され、サンプル装置のサンプリングクロックとは同期していない。従って、トリガ信号により指定される平均化期間の開始タイミングまたは終了タイミングと、サンプリングクロックのタイミングとがほぼ一致する場合がある。このような場合、サンプル装置は、平均化処理が不安定となり、予め想定される平均サンプル数より少ないサンプル数分の平均を行ったり、予め想定される平均サンプル数より多いサンプル数分の平均を行ったりする可能性がある。

従って、試験装置は、アベレージモードによるＤＡ変換器の検査に先立って、ＤＡ変換器から出力された信号を、サンプル装置が指定した平均サンプル数で正しく平均化しているかどうかを確認することが望ましい。

上記課題を解決するために、本発明の第１の態様においては、トリガ信号毎に被測定信号の値を指定された平均化期間の間平均化して出力するサンプル装置を検査する検査装置であって、単調増加または減少する第１信号を前記サンプル装置に供給し、前記第１信号と異なる種類の曲線で単調増加または減少する第２信号を前記サンプル装置に供給する信号供給部と、前記第１信号の予め定められたタイミングおよび前記第２信号の予め定められたタイミングのそれぞれにおいてトリガ信号を前記サンプル装置に供給するトリガ供給部と、前記トリガ信号に応じて前記サンプル装置が出力する前記第１信号の平均値および前記第２信号の平均値に基づいて、前記サンプル装置が前記被測定信号を平均化するサンプル数が、前記平均化期間に応じたサンプル数であるか否かを判定する判定部と、を備える検査装置、および、検査方法を提供する。

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。

本実施形態に係る試験装置１０の構成を示す。キャリブレーションにおいて、アベレージモードによりＤＡ変換器を検査する場合の、被測定信号、トリガ信号およびサンプリングクロックの一例を示す。検査装置３０がサンプル装置２０に供給する第１信号、第２信号およびトリガ信号の一例を示す。検査装置３０により測定された第１信号の平均値および第２信号の平均値、および、第１信号の平均値から予測された第２信号の平均値の予測値の一例を示す。本実施形態に係る検査装置３０の処理フローの一例を示す。

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

図１は、本実施形態に係る試験装置１０の構成を示す。試験装置１０は、被試験デバイスを試験する。試験装置１０は、アナログ信号を出力する少なくとも１つのＤＡ変換器を備える。少なくとも１つのＤＡ変換器のそれぞれは、一例として、当該試験装置１０内の部材に電圧を設定する。

更に、試験装置１０は、サンプル装置２０と、検査装置３０とを備える。サンプル装置２０は、キャリブレーションにおいて、当該試験装置１０の内部のＤＡ変換器から出力される被測定信号をサンプルする。これとともに、サンプル装置２０は、平均化をする期間を示す平均化期間を指定するトリガ信号を入力して、トリガ信号毎に被測定信号の値を指定された平均化期間の間平均化して出力する。

サンプル装置２０は、一例として、ＡＤＣ１２と、平均化部１４とを有する。ＡＤＣ１２は、サンプリングクロック毎に被測定信号をサンプルして、サンプルした被測定信号の値を表すデータを出力する。平均化部１４は、トリガ信号により指定された平均化期間の間、ＡＤＣ１２から出力された被測定信号の値を平均化して出力する。

このようなサンプル装置２０は、キャリブレーションにおいて、当該試験装置１０の内部に備えるＤＡ変換器から一のデータに応じた出力信号を複数回出力させ、複数の出力信号のレベルの平均値を検査するアベレージモードを実行することができる。これにより、サンプル装置２０は、当該試験装置１０の内部に備えるＤＡ変換器を精度良く検査することができる。

検査装置３０は、キャリブレーションにおけるアベレージモードによるＤＡ変換器の検査に先立って、サンプル装置２０を検査する。より詳しくは、検査装置３０は、外部から供給された信号をサンプル装置２０指定した平均サンプル数で正しく平均化できるかどうかを検査する。

検査装置３０は、タイミング発生部２２と、信号供給部２４と、トリガ供給部２６と、制御部２８と、判定部３２とを有する。検査装置３０は、一例として、ＤＵＴが載置されるパフォーマンスボードに代えて、信号供給部２４およびトリガ供給部２６と、サンプル装置２０とを接続するキャリブレーションボード５０を備えてもよい。

タイミング発生部２２は、信号供給部２４およびトリガ供給部２６からサンプル装置２０へと供給する信号の基準タイミングを示すタイミング信号を発生する。タイミング発生部２２は、タイミング信号を信号供給部２４およびトリガ供給部２６に供給する。

信号供給部２４は、単調増加または減少する第１信号を被測定信号としてサンプル装置２０に供給する。更に、信号供給部２４は、第１信号と異なる種類の曲線で単調増加または減少する第２信号を被測定信号としてサンプル装置２０に供給する。信号供給部２４は、一例として、タイミング発生部２２により発生された基準タイミングから変化を開始する第１信号および第２信号を出力する。

第１信号が供給されたサンプル装置２０は、サンプリングクロック毎に第１信号をサンプルして、第１信号の値を表すデータを順次に出力する。また、第２信号が供給されたサンプル装置２０は、サンプリングクロック毎に第２信号をサンプルして、第２信号の値を表すデータを順次に出力する。

信号供給部２４は、一例として、波形発生部４２と、ＤＡＣ４４とを含む。波形発生部４２は、まず、タイミング発生部２２により発生された基準タイミングに同期させて第１信号の波形データを出力し、続いて、タイミング発生部２２により発生された基準タイミングに同期させて第２信号の波形データを出力する。

トリガ供給部２６は、第１信号の予め定められたタイミングおよび第２信号の予め定められたタイミングのそれぞれにおいて、平均化期間を指定するトリガ信号をサンプル装置２０に供給する。トリガ供給部２６は、一例として、１サンプル分の値、２サンプル分の値、４サンプル分の値、８サンプル分の値、１６サンプル分の値、…をサンプル装置２０に平均化させる平均化期間を指定するトリガ信号を出力する。

トリガ供給部２６は、一例として、平均化期間に応じたパルス幅のトリガ信号を出力する。より具体的には、トリガ供給部２６は、基準タイミングから設定時間遅延したタイミングにおいて第１論理（例えばＬ論理）から第２論理（例えばＨ論理）に変化し、第２論理に変化してから平均化期間が経過したタイミングにおいて第２論理から第１論理に変化するパルス状のトリガ信号を、第１信号および第２信号のそれぞれとともに出力する。

トリガ信号が供給されたサンプル装置２０は、サンプリングクロックのタイミングにおいてサンプルした複数の第１信号の値のうち、トリガ信号により指定された平均化期間の間においてサンプルされた値を平均化して出力する。また、トリガ信号が供給されたサンプル装置２０は、サンプリングクロックのタイミングにおいてサンプルした第２信号の値のうち、トリガ信号により指定された平均化期間の間においてサンプルされた値を平均化して出力する。

制御部２８は、第１信号の波形および第２信号の波形を信号供給部２４に設定する。これにより、信号供給部２４は、設定された波形の第１信号および第２信号を出力することができる。

また、制御部２８は、平均化期間をトリガ供給部２６に設定する。制御部２８は、一例として、アベレージモードにおいてサンプル装置２０が被測定信号の値を平均化すべきサンプル数に対応する平均化期間を、トリガ供給部２６に設定する。これにより、トリガ供給部２６は、第１信号および第２信号のそれぞれとともに、設定された平均化期間を指定するタイミング信号をサンプル装置２０に供給することができる。

判定部３２は、トリガ信号に応じてサンプル装置２０が出力する第１信号の平均値および第２信号の平均値に基づいて、サンプル装置２０が被測定信号を平均化するサンプル数が、トリガ信号により指定された平均化期間に応じたサンプル数であるか否かを判定する。即ち、判定部３２は、Ｎサンプル分（Ｎは１以上の整数）の値をサンプル装置２０に平均化させる平均化期間を指定した場合において、サンプル装置２０が被測定信号のＮサンプル分の値を平均化しているか、Ｎ以外のサンプル分の値を平均化しているかを判定する。

判定部３２は、一例として、サンプル装置２０が出力する第１信号の平均値および第２信号の平均値の一方に基づき他方の平均値の予測値を算出する。そして、判定部３２は、算出した予測値と、サンプル装置２０が出力した第１信号の平均値および第２信号の平均値のうちの他方の平均値とを比較して、サンプル装置２０が被測定信号を平均化するサンプル数が平均化期間に応じたサンプル数であるか否かを判定する。

図２は、キャリブレーションにおいて、アベレージモードによりＤＡ変換器を検査する場合の、被測定信号、トリガ信号およびサンプリングクロックの一例を示す。試験装置１０は、一例として、キャリブレーションにおいて、アベレージモードにより当該試験装置１０の内部に備えられるＤＡ変換器のリニアリティを検査する。

この場合、試験装置１０は、検査対象のＤＡ変換器から、例えば１ビットずつ階段状にレベルが上昇または下降する被測定信号を出力させる。サンプル装置２０は、検査対象のＤＡ変換器から出力された被測定信号をサンプリングクロック毎にサンプルし、サンプルした被測定信号の値を表すデータを取得する。

さらに、試験装置１０は、被測定信号のレベル毎に、少なくとも１回の平均化期間を指定するトリガ信号を出力させる。サンプル装置２０は、トリガ信号により指定された平均化期間毎に、平均化期間の間においてサンプルした被測定信号の値を平均化して出力する。これにより、サンプル装置２０は、検査対象のＤＡ変換器のリニアリティを測定することができる。

ここで、サンプル装置２０のサンプリングクロックは、トリガ信号と同期していない。従って、トリガ信号により指定される平均化期間の開始タイミングまたは終了タイミングと、サンプリングクロックのタイミングとがほぼ一致する場合がある。このような場合、サンプル装置２０の平均化の動作が不安定となり、指定されたサンプル数より少ないサンプル数分の平均を行ったり、指定されたサンプル数より多いサンプル数分の平均を行ったりしてしまう。また、サンプル装置２０内の平均化処理をする回路の不良等により、指定されサンプル数とは異なるサンプル数で平均化をしてしまう場合もある。

例えば、図２（ａ）および図２（ｂ）に示されるように、被測定信号のレベル毎に４サンプル分の値を平均化する平均化期間がトリガ信号により指定されているとする。この場合、サンプル装置２０は、良好な動作を行っている場合には、図２（ｃ）に示されるように、４サンプル分の値を平均化して出力する。

しかし、トリガ信号のエッジがサンプリングクロックに一致した場合、平均化期間中に４未満のサンプリングクロックしか含まれなくなる。この場合、サンプル装置２０は、図２（ｄ）に示されるように、例えば３サンプル分の値を平均化して出力してしまう。

そこで、検査装置３０は、サンプル装置２０が良好な状態でサンプルをしているか否かを検査する。即ち、サンプル装置２０が被測定信号を平均化するサンプル数が平均化期間に応じたサンプル数であるか否かを判定して、サンプル装置２０を検査する。

図３は、検査装置３０がサンプル装置２０に供給する第１信号、第２信号およびトリガ信号の一例を示す。サンプル装置２０を検査する場合、信号供給部２４は、単調増加または減少する第１信号を被測定信号としてサンプル装置２０に供給する。信号供給部２４は、一例として、一次関数に対応する波形で変化する第１信号を出力する。

また、信号供給部２４は、第１信号とは重複しないタイミングにおいて、第１信号と異なる種類の曲線で単調増加または減少する第２信号を被測定信号としてサンプル装置２０に供給する。信号供給部２４は、一例として、二次関数に対応する波形で変化する第２信号を出力する。

なお、信号供給部２４は、第１信号と第２信号との曲線の種類が異なり、第１信号および第２信号がともに単調増加または単調減少する関数に応じた波形であれば、どのような第１信号および第２信号を出力してもよい。例えば、信号供給部２４は、第１信号および第２信号の一方として一次関数に応じた信号を出力し、他方として一次関数以外の関数に応じた信号を出力してもよい。また、信号供給部２４は、第１信号および第２信号の一方として二次関数に応じた信号を出力し、他方として二次関数以外の関数に応じた信号を出力してもよい。また、第１信号および第２信号の一方として対数関数に応じた信号を出力し、他方として対数関数以外の関数に応じた信号を出力してもよい。

さらに、トリガ供給部２６は、第１信号とともにトリガ信号をサンプル装置２０に供給する。また、トリガ供給部２６は、第２信号とともにトリガ信号をサンプル装置２０に供給する。

トリガ供給部２６は、一例として、第１信号が変化を開始する基準タイミングから設定時間遅延したタイミング（予め定められたタイミング）から、平均化期間を開始させるタイミング信号を出力する。また、トリガ供給部２６は、一例として、第２信号が変化を開始する基準タイミングから同一の設定時間遅延したタイミング（予め定められたタイミング）から、平均化期間を開始させるタイミング信号を出力する。

サンプル装置２０は、以上のような第１信号およびトリガ信号が供給されたことに応じて、平均化期間の間においてサンプルした第１信号の値の平均値を出力する。また、サンプル装置２０は、以上のような第２信号およびトリガ信号が供給されたことに応じて、平均化期間の間においてサンプルした第２信号の値の平均値を出力する。

図４は、サンプル装置２０により測定された第１信号の平均値および第２信号の平均値、および、第１信号の平均値から予測された第２信号の平均値の予測値の一例を示す。

第１信号と、第１信号とともに供給されるトリガ信号との位相関係は予め定められている。また、第１信号は、単調増加または単調減少する予め定められた関数である。従って、平均化期間中においてサンプル装置２０が信号をサンプルするサンプル数が既知であれば、サンプル装置２０が取得した第１信号の平均値から、サンプル装置２０の受信点での第１信号に対する平均化期間の位置（位相）を算出することができる。

また、第１信号とともに出力されるトリガ信号と第２信号とともに出力されるトリガ信号は、基準タイミングに対して同一のタイミングで出力される。また、第１信号とともに出力されるトリガ信号と第２信号とともに出力されるトリガ信号は、同一の平均化期間を指定する。また、第２信号は、単調増加または単調減少する予め定められた関数である。

従って、平均化期間中においてサンプル装置２０が信号をサンプルするサンプル数が既知であれば、サンプル装置２０の受信点での第１信号に対する平均化期間の位置から、サンプル装置２０が取得するべき第２信号の平均値を予測することができる。即ち、サンプル装置２０が取得した第１信号の平均値から、サンプル装置２０が取得するべき第２信号の平均値を予測することができる。

ここで、平均化期間中においてサンプル装置２０が信号をサンプルしたサンプル数が平均化期間により指定したサンプル数と一致している場合には、サンプル装置２０が算出した第２信号の平均値の予測値とサンプル装置２０が実際に取得した第２信号の平均値とは、一致する。しかし、第１信号と第２信号とが異なる種類の曲線である。従って、平均化期間中においてサンプル装置２０が信号をサンプルしたサンプル数が平均化期間により指定したサンプル数と一致していない場合には、サンプル装置２０が算出する第２信号の平均値の予測値とサンプル装置２０が実際に取得した第２信号の平均値とは一致しない。

例えば、第１信号が増加する一次関数であり第２信号が増加する二次関数であり、且つ、平均化期間にサンプル装置２０が２つのサンプル点を平均化すると想定される場合において、サンプル装置２０が実際には１サンプル分の値しか平均化していない場合、図４に示されるように、第２信号の実際の平均値は、第２信号の平均値の予測値より低くなる。

そこで、検査装置３０の判定部３２は、次のように判定処理を実行する。即ち、判定部３２は、サンプル装置２０によりサンプルされた第１信号の平均値を取得する。続いて、判定部３２は、サンプル装置２０が出力する第１信号の平均値に基づき、第２信号の平均値の予測値を算出する。続いて、判定部３２は、サンプル装置２０により測定された第２信号の平均値を取得する。

そして、判定部３２は、予測値とサンプル装置２０が出力した他方の平均値とを比較して、サンプル装置２０が被測定信号を平均化するサンプル数が平均化期間に応じたサンプル数であるか否かを判定する。判定部３２は、一例として、予測値とサンプル装置２０が出力する平均値との差が予め定められた範囲内であるか否かを判定する。これにより、検査装置３０は、サンプル装置２０が、トリガ信号により指定される平均化期間に応じたサンプル数で、被測定信号を平均化しているか否かを検査することができる。

なお、判定部３２は、第２信号の平均値に基づき第１信号の平均値の予測値を算出して、第１信号の平均値の予測値と第１信号の実際の平均値とを比較してもよい。また、サンプル装置２０は、トリガ信号により平均化期間を指定されるのではなく、トリガ信号とは別に平均化期間が設定されてもよい。この場合、サンプル装置２０は、トリガ信号により平均化を開始するタイミングが指定される。また、サンプル装置２０は、平均化期間として、平均化するサンプル数が指定されてもよい。

図５は、本実施形態に係る検査装置３０の処理フローの一例を示す。検査装置３０は、サンプル装置２０が信号を平均化するサンプル数（平均サンプル数）毎に、ステップＳ１２からステップＳ１８の処理を実行する（Ｓ１１とＳ１９との間のループ処理）。検査装置３０は、一例として、１、２、４、８、１６、…、といった平均サンプル数毎に、ステップＳ１２からステップＳ１８の処理を実行する。

まず、検査装置３０の制御部２８は、平均サンプル数およびサンプル装置２０に与えられるサンプリングクロックの周期に基づき、平均化期間を設定する（Ｓ１２）。制御部２８は、一例として、トリガ信号のＨ論理期間の開始タイミングおよび時間幅を設定する。

続いて、信号供給部２４は、第１信号をサンプル装置２０に供給するとともにトリガ信号をサンプル装置２０に供給する（Ｓ１３）。これにより、サンプル装置２０は、トリガ信号により指定される平均化期間の間においてサンプルされた第１信号の値を平均化することができる。

続いて、判定部３２は、第１信号の平均値をサンプル装置２０から取得する（Ｓ１４）。続いて、判定部３２は、第１信号の平均値に基づき、第２信号の平均値の予測値を算出する（Ｓ１５）。

続いて、信号供給部２４は、第２信号をサンプル装置２０に供給するとともにトリガ信号をサンプル装置２０に供給する（Ｓ１６）。これにより、サンプル装置２０は、トリガ信号により指定される平均化期間の間においてサンプルされた第２信号の値を平均化することができる。

続いて、判定部３２は、第２信号の平均値をサンプル装置２０から取得する（Ｓ１７）。続いて、判定部３２は、第２信号の平均値の予測値と第２信号の実際の平均値とを比較して、サンプル装置２０が被測定信号を平均化するサンプル数が、平均化期間に応じた予め想定されたサンプル数であるか否かを判定する。そして、検査装置３０は、以上のステップＳ１２からステップＳ１８の処理を、全ての平均サンプル数（例えば１、２、４、８、１６、…といったサンプル数）について終了すると、処理を終了する。

なお、制御部２８は、一例として、サンプル装置２０が被測定信号を平均化するサンプル数が、予め想定されたサンプル数でない場合、例えば、トリガ信号により指定する平均化期間の開始タイミングをずらして、再度、ステップＳ１２から処理を実行してもよい。これにより、検査装置３０は、トリガ信号のエッジ位置とサンプリングクロックの位置とが一致していることにより、サンプル装置２０が平均化するサンプル数が想定されたサンプル数と異なってしまった場合、信号を平均化するサンプル数を予め想定されたサンプル数とすることができる。

また、信号供給部２４は、制御部２８がサンプル数を設定する毎に、第１信号または第２信号の一方の波形を固定し、他方の波形を設定するサンプル数が大きくなるほど変化量が小さくなるように変更してもよい。これにより、検査装置３０は、サンプル装置２０が平均化をするサンプル数が少ない場合であっても、サンプル装置２０が平均化するサンプル数が想定されたサンプル数と異なる場合における、予測値と実際の平均値との差を大きくすることができる。

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。

１０試験装置、２０サンプル装置、１２ＡＤＣ、１４平均化部、３０検査装置、２２タイミング発生部、２４信号供給部、２６トリガ供給部、２８制御部、３２判定部、４２波形発生部、４４ＤＡＣ、５０キャリブレーションボード

Claims

トリガ信号毎に被測定信号の値を指定された平均化期間の間平均化して出力するサンプル装置を検査する検査装置であって、
単調増加または減少する第１信号を前記サンプル装置に供給し、前記第１信号と異なる種類の曲線で単調増加または減少する第２信号を前記サンプル装置に供給する信号供給部と、
前記第１信号の予め定められたタイミングおよび前記第２信号の予め定められたタイミングのそれぞれにおいてトリガ信号を前記サンプル装置に供給するトリガ供給部と、
前記トリガ信号に応じて前記サンプル装置が出力する前記第１信号の平均値および前記第２信号の平均値に基づいて、前記サンプル装置が前記被測定信号を平均化するサンプル数が、前記平均化期間に応じたサンプル数であるか否かを判定する判定部と、
を備える検査装置。
前記トリガ供給部は、平均化期間を指定するトリガ信号を前記サンプル装置に供給する
請求項１に記載の検査装置。
前記判定部は、前記サンプル装置が出力する前記第１信号の平均値および前記第２信号の平均値の一方に基づき他方の平均値の予測値を算出し、前記予測値と前記サンプル装置が出力した他方の平均値とを比較して、前記サンプル装置が前記被測定信号を平均化するサンプル数が前記平均化期間に応じたサンプル数であるか否かを判定する
請求項１または２に記載の検査装置。
前記判定部は、前記予測値と前記サンプル装置が出力する平均値との差が予め定められた範囲内であるか否かを判定する
請求項３に記載の検査装置。
前記信号供給部は、前記第１信号および前記第２信号の一方として一次関数に応じた信号を出力し、他方として一次関数以外の関数に応じた信号を出力する
請求項１から４の何れかに記載の検査装置。
前記信号供給部は、前記第１信号および前記第２信号の一方として二次関数に応じた信号を出力し、他方として二次関数以外の関数に応じた信号を出力する
請求項１から５の何れかに記載の検査装置。
前記信号供給部は、前記第１信号および前記第２信号の一方として対数関数に応じた信号を出力し、他方として対数関数以外の関数に応じた信号を出力する
請求項１から５の何れかに記載の検査装置。
前記被測定信号の値を平均化すべきサンプル数に対応する平均化期間を前記トリガ供給部に設定する制御部を更に備え、
前記トリガ供給部は、設定された平均化期間に応じたパルス幅のトリガ信号を前記サンプル装置に供給し、
前記判定部は、設定したサンプル数毎に、前記サンプル装置が前記被測定信号を平均化するサンプル数が設定したサンプル数であるか否かを判定する
請求項１から７の何れかに記載の検査装置。
前記信号供給部は、前記制御部がサンプル数を設定する毎に、前記第１信号または第２信号の一方の波形を固定し、他方の波形を設定するサンプル数が小さくなるほど変化量が大きくなるように変更する
請求項８に記載の検査装置。
トリガ信号毎に被測定信号の値を指定された平均化期間の間平均化して出力するサンプル装置を検査する検査方法であって、
単調増加または減少する第１信号を前記サンプル装置に供給し、前記第１信号と異なる種類の曲線で単調増加または減少する第２信号を前記サンプル装置に供給し、
前記第１信号の予め定められたタイミングおよび前記第２信号の予め定められたタイミングのそれぞれにおいてトリガ信号を前記サンプル装置に供給し、
前記トリガ信号に応じて前記サンプル装置が出力する前記第１信号の平均値および前記第２信号の平均値に基づいて、前記サンプル装置が前記被測定信号を平均化するサンプル数が、前記平均化期間に応じたサンプル数であるか否かを判定する
検査方法。