JP2011215109A - 検査装置および検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】トリガ信号毎に被測定信号の値を指定された平均化期間の間平均化して出力するサンプル装置を検査する検査装置であって、単調増加または減少する第1信号をサンプル装置に供給し、第1信号と異なる種類の曲線で単調増加または減少する第2信号をサンプル装置に供給する信号供給部と、第1信号の予め定められたタイミングおよび第2信号の予め定められたタイミングのそれぞれにおいてトリガ信号をサンプル装置に供給するトリガ供給部と、トリガ信号に応じてサンプル装置が出力する第1信号の平均値および第2信号の平均値に基づいて、サンプル装置が被測定信号を平均化するサンプル数が、平均化期間に応じたサンプル数であるか否かを判定する判定部と、を備える検査装置を提供する。
【選択図】図1
Description
Claims (10)
- トリガ信号毎に被測定信号の値を指定された平均化期間の間平均化して出力するサンプル装置を検査する検査装置であって、
単調増加または減少する第1信号を前記サンプル装置に供給し、前記第1信号と異なる種類の曲線で単調増加または減少する第2信号を前記サンプル装置に供給する信号供給部と、
前記第1信号の予め定められたタイミングおよび前記第2信号の予め定められたタイミングのそれぞれにおいてトリガ信号を前記サンプル装置に供給するトリガ供給部と、
前記トリガ信号に応じて前記サンプル装置が出力する前記第1信号の平均値および前記第2信号の平均値に基づいて、前記サンプル装置が前記被測定信号を平均化するサンプル数が、前記平均化期間に応じたサンプル数であるか否かを判定する判定部と、
を備える検査装置。 - 前記トリガ供給部は、平均化期間を指定するトリガ信号を前記サンプル装置に供給する
請求項1に記載の検査装置。 - 前記判定部は、前記サンプル装置が出力する前記第1信号の平均値および前記第2信号の平均値の一方に基づき他方の平均値の予測値を算出し、前記予測値と前記サンプル装置が出力した他方の平均値とを比較して、前記サンプル装置が前記被測定信号を平均化するサンプル数が前記平均化期間に応じたサンプル数であるか否かを判定する
請求項1または2に記載の検査装置。 - 前記判定部は、前記予測値と前記サンプル装置が出力する平均値との差が予め定められた範囲内であるか否かを判定する
請求項3に記載の検査装置。 - 前記信号供給部は、前記第1信号および前記第2信号の一方として一次関数に応じた信号を出力し、他方として一次関数以外の関数に応じた信号を出力する
請求項1から4の何れかに記載の検査装置。 - 前記信号供給部は、前記第1信号および前記第2信号の一方として二次関数に応じた信号を出力し、他方として二次関数以外の関数に応じた信号を出力する
請求項1から5の何れかに記載の検査装置。 - 前記信号供給部は、前記第1信号および前記第2信号の一方として対数関数に応じた信号を出力し、他方として対数関数以外の関数に応じた信号を出力する
請求項1から5の何れかに記載の検査装置。 - 前記被測定信号の値を平均化すべきサンプル数に対応する平均化期間を前記トリガ供給部に設定する制御部を更に備え、
前記トリガ供給部は、設定された平均化期間に応じたパルス幅のトリガ信号を前記サンプル装置に供給し、
前記判定部は、設定したサンプル数毎に、前記サンプル装置が前記被測定信号を平均化するサンプル数が設定したサンプル数であるか否かを判定する
請求項1から7の何れかに記載の検査装置。 - 前記信号供給部は、前記制御部がサンプル数を設定する毎に、前記第1信号または第2信号の一方の波形を固定し、他方の波形を設定するサンプル数が小さくなるほど変化量が大きくなるように変更する
請求項8に記載の検査装置。 - トリガ信号毎に被測定信号の値を指定された平均化期間の間平均化して出力するサンプル装置を検査する検査方法であって、
単調増加または減少する第1信号を前記サンプル装置に供給し、前記第1信号と異なる種類の曲線で単調増加または減少する第2信号を前記サンプル装置に供給し、
前記第1信号の予め定められたタイミングおよび前記第2信号の予め定められたタイミングのそれぞれにおいてトリガ信号を前記サンプル装置に供給し、
前記トリガ信号に応じて前記サンプル装置が出力する前記第1信号の平均値および前記第2信号の平均値に基づいて、前記サンプル装置が前記被測定信号を平均化するサンプル数が、前記平均化期間に応じたサンプル数であるか否かを判定する
検査方法。
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JPS63119325A (ja) * | 1986-11-06 | 1988-05-24 | Yokogawa Hewlett Packard Ltd | デイジタル・アナログ・コンバ−タの動的直線性評価方法 |
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