JP2011203252A5 - - Google Patents

Claims (20)

1. エッチング剤溶液中のケイ素濃度を決定する方法であって、
   その方法が：
   所定体積の前記エッチング剤溶液を含む試験溶液を提供する工程；
   所定濃度のフッ化物イオンを前記試験溶液に添加する工程；
   前記試験溶液中のフッ化物イオンの測定濃度を測定する工程；および
   前記試験溶液中のフッ化物イオンの前記所定濃度と前記測定濃度との差から前記ケイ素濃度を決定する工程
   を含み、
   前記フッ化物イオンが、
   フッ化物化合物の一部として前記試験溶液に添加される
   方法。
2. 前記フッ化物化合物が、
   ＨＦ、ＬｉＦ、ＮａＦ、ＫＦ、ＮＨ_４ＨＦ_２、ＮＨ_４Ｆおよびこれらの混合物から成る群から選択される、
   請求項１に記載の方法。
3. 前記試験溶液中のフッ化物イオンの前記測定濃度を測定する工程が：
   フッ化物イオン選択性電極（ＩＳＥ）および参照電極を前記試験溶液と接触するように配置する工程、および
   前記参照電極に対する前記フッ化物ＩＳＥの電位を測定する工程
   を含み、
   前記フッ化物ＩＳＥおよび前記参照電極は、
   別個の電極であるか、または複合電極として組み合わされることを含む、
   請求項１に記載の方法。
4. 背景電解質に添加された異なる所定濃度のケイ素を有する少なくとも２つの較正溶液において、
   所定の較正温度で前記参照電極に対する前記フッ化物ＩＳＥの電位を測定することによって較正曲線を得る工程をさらに含み、
   前記試験溶液中の前記ケイ素濃度が、
   前記試験溶液に関して測定された前記フッ化物ＩＳＥの電位と、前記較正曲線とを比較することによって決定される、
   請求項３に記載の方法。
5. 前記試験溶液の温度を測定する工程；および
   前記試験溶液の温度と前記所定の較正温度との差の作用に関して前記フッ化物ＩＳＥについて測定された電位を補正する工程
   をさらに含む、
   請求項４に記載の方法。
6. 前記試験溶液が、
   さらに前記エッチング剤溶液を希釈するために添加された所定体積の水を含む、
   請求項１に記載の方法。
7. 前記所定濃度のフッ化物イオンを、
   水中に溶解させた所定濃度の前記フッ化物化合物を含む標準フッ化物溶液を介して前記試験溶液に添加する、
   請求項１に記載の方法。
8. 前記エッチング剤溶液が、リン酸を含む、
   請求項１に記載の方法。
9. エッチング剤溶液中のケイ素濃度を決定する装置であって、
   所定の体積の前記エッチング剤溶液および所定濃度のフッ化物イオンを含む試験溶液を含有する分析セル；
   前記所定体積の前記エッチング剤溶液を提供する手段；
   前記試験溶液中に前記所定濃度のフッ化物イオンを添加する手段；
   前記試験溶液中のフッ化物イオンの濃度を測定する手段；および
   適切なインターフェースにより、本発明の方法の少なくとも基本的な工程を行うように動作可能な保存されたアルゴリズムを備えた記憶素子を有するコンピュータデバイス
   を含み、
   その方法が、
   前記所定体積の前記エッチング剤溶液を含む前記試験溶液を提供する工程；
   前記所定濃度のフッ化物イオンを前記試験溶液に添加する工程；
   前記試験溶液中のフッ化物イオンの測定濃度を測定する工程；および
   前記試験溶液中のフッ化物イオンの前記所定濃度と前記測定濃度との差から前記エッチング剤溶液中の前記ケイ素濃度を決定する工程
   を含み、
   前記フッ化物イオンが、
   フッ化物化合物の一部として前記試験溶液に添加される、
   装置。
10. 前記試験溶液中のフッ化物イオンの濃度を測定する手段が：
    前記試験溶液と接触したフッ化物イオン選択性電極（ＩＳＥ）、
    前記試験溶液と接触した参照電極、および
    前記参照電極に対して前記フッ化物ＩＳＥの電位を測定する電圧計
    を含み、
    前記フッ化物ＩＳＥおよび前記参照電極は、
    別個の電極であるか、または複合電極として組み合わされることを含む、
    請求項９に記載の装置。
11. 前記記憶素子が、
    コンピュータのハードドライブ、マイクロプロセッサチップ、読み取り専用メモリ（ＲＯＭ）チップ、プログラム可能な読み取り専用メモリ（ＰＲＯＭ）チップ、磁性保存デバイス、コンピュータディスク（ＣＤ）、およびデジタルビデオディスク（ＤＶＤ）から成る群から選択される、
    請求項８に記載の装置。
12. 前記試験溶液の温度を測定する温度センサをさらに含み、
    前記コンピュータデバイスが、
    さらに前記温度センサからの温度データを獲得して、温度作用に関して前記フッ化物ＩＳＥについて測定された電位を補正するように動作可能である、
    請求項９に記載の装置。
13. 所定温度に前記試験溶液の温度を制御する手段をさらに含む、
    請求項９に記載の装置。
14. エッチング剤容器からの所定体積の前記エッチング剤溶液を前記分析セルに流すように動作可能なサンプリングデバイス；および
    試薬貯蔵器からの所定濃度の前記フッ化物化合物を含む所定体積の試薬溶液を前記分析セルに流すように動作可能な試薬デバイス
    をさらに含み、
    前記保存されたアルゴリズムを備えた前記コンピュータデバイスが、さらに前記サンプリングデバイスおよび前記試薬デバイスを制御するように動作可能である、
    請求項９に記載の装置。
15. 水貯蔵器からの所定体積の水を前記分析セルに流すように動作可能な希釈デバイス
    をさらに含み、
    前記保存されたアルゴリズムを備えた前記コンピュータデバイスが、
    さらに希釈デバイスを制御するように動作可能である、
    請求項９に記載の装置。
16. 前記試験溶液を所定温度に迅速に冷却する手段
    をさらに含む、
    請求項９に記載の装置。
17. エッチング剤溶液中のケイ素濃度を決定する装置であって、
    所定体積画分の前記エッチング剤溶液および所定濃度のフッ化物イオンを含む所定体積画分の試薬溶液を含む試験溶液を含有する分析セル；
    前記所定体積画分の前記エッチング剤溶液を提供するために、エッチング剤容器からの計量流量の前記エッチング剤溶液を前記分析セルに提供するように動作可能なサンプリングデバイス；
    前記所定体積画分の前記試薬溶液を提供するために、試薬貯蔵器からの計量流量の前記試薬溶液を前記分析セルに提供するように動作可能な試薬デバイス；
    前記試験溶液中の前記フッ化物イオンの濃度を測定する手段であって、
    前記分析セル中の前記試験溶液と接触したフッ化物イオン選択性電極（ＩＳＥ）、
    前記分析セル中の前記試験溶液と接触した参照電極、および
    前記参照電極に対して前記フッ化物ＩＳＥの電位を測定する電圧計
    を含む手段；
    前記試験溶液の温度を測定する温度センサ；および
    適切なインターフェースにより、本発明の方法の工程を行うように動作可能な保存されたアルゴリズムを備えた記憶素子を有するコンピュータデバイスであって、
    その方法が：
    背景電解質に添加された異なる所定濃度のケイ素を有する少なくとも２つの較正溶液において、所定の較正温度で前記参照電極に対する前記フッ化物ＩＳＥの電位を測定することによって較正曲線を得る工程、
    前記所定体積画分の前記エッチング剤溶液および前記所定体積画分の前記試薬溶液を前記分析セルに流すことによって前記試験溶液を提供する工程、
    前記試験溶液の温度を測定する工程、
    前記試験溶液中の前記参照電極に対して前記フッ化物ＩＳＥの電位を測定する工程、
    前記試験溶液に関して測定された前記温度と前記較正温度との差の作用に関して前記試験溶液中の前記フッ化物ＩＳＥに関して測定された電位を補正して、補正された測定電位を与える工程、および
    前記試験溶液中の前記フッ化物ＩＳＥの前記補正された測定電位を前記較正曲線と比較することによって前記試験溶液中の前記ケイ素濃度を決定する工程
    を含むデバイス、
    を含む装置。
18. 前記分析セル中の前記試験溶液を所定温度に維持する手段
    をさらに含む、
    請求項１７に記載の装置。
19. 前記試験溶液中の所定体積画分の水を与えるために、水貯蔵器からの計量流量の水を前記分析セルに提供するように動作可能な希釈デバイス
    をさらに含み、
    前記保存されたアルゴリズムを備えた前記コンピュータデバイスが、
    さらに前記希釈デバイスを制御するように動作可能である、
    請求項１７に記載の装置。
20. 前記サンプリングデバイスが、
    前記分析セルを通る所定エッチング剤溶液流量にて、前記エッチング剤溶液の流量を提供し、
    前記試薬デバイスが、
    前記分析セルを通る所定試薬溶液流量にて、前記試薬溶液の流量を提供し、
    それによって前記エッチング剤溶液中の前記ケイ素濃度を連続的に測定できる、
    請求項１７に記載の装置。