JP2011203070A

JP2011203070A - 波形測定装置および半導体試験装置

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Publication number: JP2011203070A
Application number: JP2010069903A
Authority: JP
Inventors: Masanori Okada; 昌典岡田
Original assignee: Yokogawa Electric Corp
Current assignee: Yokogawa Electric Corp
Priority date: 2010-03-25
Filing date: 2010-03-25
Publication date: 2011-10-13

Abstract

【課題】測定対象から入力した波形を表示装置に短時間で表示することを目的とする。
【解決手段】測定対象から入力した波形を表示する表示装置６を備える波形測定装置１であって、入力した波形をアナログデータからデジタルデータの浮動小数点データに変換するＡＤ変換回路１３と、浮動小数点データを入力して、入力した浮動小数点データから表示装置６に波形を表示するための表示データにデータ形式を変換して生成する表示データ生成回路１４と、表示データ生成回路１４が生成した表示データを表示装置６に表示させるために記憶するメモリ４と、を備えている。メモリ４に記憶する前に予め表示装置６が表示可能な表示データに変換してメモリ４に記憶しているため、メモリ４から読み出した表示データを即時に表示装置６に表示できるようになる。
【選択図】図１

Description

本発明は、測定対象から入力した波形を表示装置に表示させて測定を行う波形測定装置およびこの波形測定装置を適用した半導体試験装置に関するものである。

測定対象から波形を入力して画面上に表示して測定或いは観測を行う波形測定装置が従来から用いられている。この種の波形測定装置は特許文献１に開示されるように、入力した波形をＡ／Ｄコンバータ（ＡＤ変換回路）でアナログデータからデジタルデータに変換して、波形メモリに記憶させている。そして、波形メモリに記憶されたデータを読み出して、画面上に表示させている。

従来の波形測定装置の概略を図４に示す。図４の波形測定装置１０１はＮ（Ｎは自然数）個のチャネル１０２（第１チャネル１０２−１〜第Ｎチャネル１０２−Ｎ）と入力側メモリコントローラ１０３と波形メモリ１０４と出力側メモリコントローラ１０５とコンピュータ１０６と表示装置１０７とを備えて概略構成している。

各チャネル１０２はそれぞれ波形入力部１１１と増幅器１１２とＡＤ変換回路１１３とを備えて概略構成している。各チャネル１０２は基本的にはそれぞれ異なる測定対象に接続して波形を入力している。従って、合計Ｎ個の波形が入力される。測定対象からの波形はアナログデータとして波形入力部１１１に入力され、増幅器１１２により増幅される。

ＡＤ変換回路１１３は増幅されたアナログデータの波形をデジタルデータに変換する。従って、Ｎ個のチャネル１０２から合計Ｎ個の波形を示すデジタルデータが出力される。入力側メモリコントローラ１０３は各デジタルデータを波形メモリ１０４の所定アドレスに記憶させる。

波形入力部１１１に入力される波形は経時的に値が変化しており、ＡＤ変換回路１１３は微小時間ごとに波形の値をデジタルデータとして変換している。つまり、微小時間ごとに波形の値を数値化して記憶しており、各デジタルデータを集合させて波形を表現している。よって、波形メモリ１０４には微小時間ごとに変化する波形の値が高速且つ大量に記憶されていく。

出力側メモリコントローラ１０５は波形メモリ１０４に記憶されたデータを読み出して、コンピュータ１０６に出力する。コンピュータ１０６では入力したデジタルデータに対して所定のソフトウェア処理を行って、表示装置１０７に出力する。表示装置１０７は基本的にはディスプレイであり、このディスプレイの画面上に波形を表示するようになっている。

特開２００６−２９８３８号公報

近年の波形測定装置１０１では、ＡＤ変換回路１１３がアナログデータをデジタルデータに変換するときに、浮動小数点データとしてデジタルデータに変換するようになっている。浮動小数点データを用いることで、扱える数値の範囲を広くすることができ、また演算処理の高速化が可能になる。浮動小数点データは指数部と仮数部と符号部とを有しており、通常の整数を表現するデータとはデータ形式が異なる。

一方、表示装置１０７であるディスプレイは所定の画面解像度を有しており、縦横に設けられる表示画素（ドット）により、情報を表示するようになっている。波形表示も同様であり、波形を描画するように表示画素のオン・オフ制御により、画面上に波形を表示する。

各画素の表示制御は固定小数点データ（特に、固定小数点データのうち小数点以下を表現しない整数データ）を用いて行う。つまり、縦横に形成される各画素を駆動するか否かによって表示制御を行うため、画素の駆動制御は縦横の画素を特定して行う。このため、各画素の表示制御は、浮動小数点データとはデータ形式が異なる整数データによって行われる。従って、浮動小数点データのままでは表示装置１０７の画面上に波形表示を行うことができず、表示装置１０７に波形表示を行うためには浮動小数点データを表示装置１０７に表示可能なデータ（整数データ）に変換しなければならない。

このための変換処理はコンピュータ１０６で動作するソフトウェアが行う。つまり、波形メモリ１０４から読み出した浮動小数点データを表示データに変換する処理をソフトウェアが行い、変換後の表示データを表示装置１０７に出力して、表示装置１０７が表示を行う。

ここで、近年の記憶素子の大容量化に伴い、波形メモリ１０４には波形データを長時間にわたって記憶させることができるようになっている。これに伴い、長時間の波形を測定することが可能になり、波形メモリ１０４には長時間の波形の浮動小数点データが記憶される。従って、浮動小数点データの情報量は非常に大きなものになる。

この点、コンピュータ１０６のソフトウェアは変換処理にある程度の時間を要することから、変換処理を行う浮動小数点データの情報量が多くなるに応じて、変換処理のために多くの時間を費やすことになる。このソフトウェア処理のための時間は無駄な待機時間となる。その結果、測定対象から入力した波形を表示するまでの時間が長時間化する。

そこで、本発明は、測定対象から入力した波形を表示装置に短時間で表示することを目的とする。

以上の課題を解決するため、本発明の請求項１の波形測定装置は、測定対象から入力した波形を表示する表示装置を備える波形測定装置であって、前記入力した波形をアナログデータからデジタルデータの浮動小数点データに変換するＡＤ変換回路と、前記浮動小数点データを入力して、入力した浮動小数点データから前記表示装置に波形を表示するための表示データにデータ形式を変換して生成する表示データ生成回路と、この表示データ生成回路が生成した表示データを前記表示装置に表示させるために記憶するメモリと、を備えたことを特徴とする。

この波形測定装置によれば、浮動小数点データを予め表示データに変換してメモリに記憶している。これにより、メモリから読み出して表示装置に表示するためのデータは表示装置が表示可能なデータ形式になっているため、データを読み出した後に直ちに表示することが可能になる。これにより、波形を表示するまでの時間を短縮することができるようになる。また、表示データ生成回路は回路により構成しているため、ＡＤ変換回路の動作速度に追従させることができるようになる。

本発明の請求項２の波形測定装置は、請求項１の波形測定装置であって、前記ＡＤ変換回路から前記表示データ生成回路に前記浮動小数点データを出力する経路を分岐させて、前記ＡＤ変換回路が変換した浮動小数点データをそのまま前記メモリに記憶させるための分岐経路を設けたことを特徴とする。

この波形測定装置によれば、浮動小数点データをそのままメモリに記憶させることが可能になる。表示データは浮動小数点データを変換したものであり、元の情報が失われているが、浮動小数点データをそのまま記憶させる経路を設けたことで、元の浮動小数点データの活用を図ることができるようになる。

本発明の請求項３の波形測定装置は、請求項１の波形測定装置であって、前記表示データ生成回路と前記メモリとの間に設けられ、前記表示データを前記表示装置に設けた波形を表示するための波形表示領域に表示可能なサイズにまで時間軸方向に圧縮するデータ圧縮回路をさらに備えたことを特徴とする。

この波形測定装置によれば、時間軸方向に表示データを圧縮することで、波形が長時間のような場合であっても、画面上に時間軸方向の波形の全てを表示することができるようになる。

本発明の請求項４の波形測定装置は、請求項１の波形測定装置であって、前記表示データ生成回路と前記メモリとの間に並列に接続され、前記表示データを前記表示装置に設けた波形を表示するための波形表示領域に表示可能なサイズであり且つ時間軸方向にそれぞれ異なる圧縮率で圧縮する複数のデータ圧縮回路をさらに備えたことを特徴とする。

この波形測定装置によれば、異なる圧縮率で表示データを圧縮しており、メモリから読み出した後に格別の圧縮処理を行うことなく、圧縮率の異なる複数の波形を画面上に表示することができるようになる。

本発明の請求項５の半導体試験装置は、請求項１乃至４の何れか１項に記載の波形測定装置を備えていることを特徴とする。

前述した波形測定装置は、測定対象を被試験デバイスとして、被試験デバイスから取り込んだ波形を測定して被試験デバイスの試験を行う半導体試験装置に適用することができる。

本発明は、メモリに記憶する前に予め浮動小数点データを表示装置に表示させるための表示データに変換し、変換後の表示データをメモリに記憶している。これにより、表示装置がメモリから読み出した表示データをそのまま表示することができるため、表示時間するまでの時間を短縮することができる。表示データ生成回路はＡＤ変換回路と同じく回路により構成しているため、ＡＤ変換回路が浮動小数点データを生成する速度とほぼ同じ速度で表示データを生成することができるようになる。

実施形態の波形測定装置の概略構成を示すブロック図である。データ形式の変換を説明するための概念図である。変形例の波形測定装置の概略構成を示すブロック図である。従来の波形測定装置の概略構成を示すブロック図である。

以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。図１に示す本発明の波形測定装置１は、Ｎ（Ｎは自然数）個のチャネル２（第１チャネル２−１〜第Ｎチャネル２−Ｎ）と入力側メモリコントローラ３とメモリ４と出力側メモリコントローラ５と表示装置６とを備えて概略構成している。ここでは、波形測定装置１は被試験デバイスの試験を行う半導体試験装置の一部を構成しているものとして説明するが、半導体試験装置以外の装置に適用してもよいし、単体で用いることもできる。

Ｎ個のチャネル２はそれぞれ測定対象である被試験デバイスに接続されている。例えば、ピンエレクトロニクスカードをチャネル２として適用することができる。チャネル２はそれぞれ異なる（同じであってもよい）被試験デバイスに接続されており、被試験デバイスから波形を入力する。図１ではチャネル２が複数個の場合を示しているが、チャネル２の個数は１つであってもよい。

各チャネル２は波形入力部１１と増幅器１２とＡＤ変換回路１３と表示データ生成回路１４とデータ圧縮回路１５とを備えて概略構成している。波形入力部１１は測定対象である被試験デバイスから波形を入力する。波形入力部１１が入力する波形はアナログデータになっており、入力した波形が増幅器１２で増幅される。

ＡＤ変換回路１３は増幅した波形をアナログデータからデジタルデータに変換を行う。波形入力部１１に入力される波形は経時的に値が変化するアナログデータであり、ＡＤ変換回路１３では微小時間ごとに波形の値をデジタルデータに変換している。従って、変換後のデジタルデータは時間軸上のある１点の値になっており、これを時間軸方向に連続させることで、波形が表現される。

ここでは、ＡＤ変換回路１３はデジタルデータを浮動小数点データとして生成している。浮動小数点データを用いることにより、扱える数値の範囲を広くすることができ、また演算処理の高速化が可能になる。なお、ＡＤ変換回路１３に入力されるアナログデータが浮動小数点データを表現するものであってもよい。例えば、浮動小数点データが３２ビットで表現される場合には、３２本の信号線により伝送されたアナログデータの浮動小数点データをＡＤ変換回路１３がデジタルデータの浮動小数点データに変換するものであってもよい。

表示データ生成回路１４は入力した浮動小数点データを変換して表示データを生成している。表示装置６は情報を表示するためのディスプレイであり、所定の画面解像度を有している。つまり、縦横に多数の表示画素（ドット）を形成しており、各表示画素のオン・オフにより情報を表示している。表示装置６の画面解像度は縦横の画素数（ドット数）が「７６８×１０２４」や「１０２４×１２８０」等のように、表示装置６ごとに定められている。

各画素のオン・オフ制御は整数で表現される整数データ（固定小数データの１つ）を用いて行われる。つまり、画面上にマトリクス状に形成される各画素は縦横の番号を用いて特定されてオン・オフ制御がされる。よって、オン・オフ制御は浮動小数点データとは異なるデータ形式の整数データを用いて行われる。このため、データ形式の変換を表示データ生成回路１４が行う。つまり、表示データ生成回路１４は浮動小数点データを変換して、表示装置６の画面上に情報を表示するためのデータを表示データ（整数データ）として生成して出力を行う。

データ圧縮回路１５は表示データを時間軸方向に圧縮する処理を行う。波形入力部１１には長時間の波形を入力することが可能になっており、入力した波形の全てを表示装置６の画面上に表示することはできない。そこで、時間軸方向に表示データの圧縮を行う。圧縮手法としては、所定の時間幅ごとに平均化を行う手法や一部のデータを間引く手法等、任意の手法を用いることができる。なお、短時間の波形を入力して、圧縮しなくても時間軸方向に全ての波形を表示できるときは、データ圧縮回路１５は不要になる。

図１に示すように、ＡＤ変換回路１３から表示データ生成回路１４に浮動小数点データを出力する経路ＬＡは途中で経路ＬＢ（分岐経路）に分かれる。経路ＬＡでは浮動小数点データはデータ形式の変換および時間軸方向の圧縮が行われるが、経路ＬＢでは浮動小数点データは変換・圧縮等の処理が行われずに、浮動小数点データがそのまま出力される。

入力側メモリコントローラ３はＮ個のチャネル２に接続されており、各チャネル２から表示データおよび浮動小数点データを入力する。各チャネル２はそれぞれ異なる測定対象（被試験デバイス）に接続されており、それぞれ異なる波形を入力している（同じ波形であってもよい）。そして、入力側メモリコントローラ３は複数のチャネル２から出力された表示データおよび浮動小数点データをメモリ４に記憶させる制御を行っている。このとき、入力側メモリコントローラ３はメモリ４の所定アドレスに記憶させる制御を行う。

メモリ４は各チャネル２の表示データおよび浮動小数点データを記憶している。出力側メモリコントローラ５はメモリ４に記憶されている表示データおよび浮動小数点データを読み出す処理を行う。そして、表示装置６は出力側メモリコントローラ５が読み出した各データを画面上に表示する。

前述したように、表示装置６はディスプレイであり、所定の画面解像度を有している。表示画面は複数の領域に分割されており、分割された１つの領域を波形表示領域（波形を表示するための領域）としている。この波形表示領域が画面上の多くの部分を占める領域になっている。他の領域としては、各種設定の情報を表示する領域や画面を操作するためのボタンやアイコン等を表示する領域等とすることができる。なお、表示画面を１つの領域から構成して、この領域を波形表示領域としてもよい。

波形表示領域は表示画面の一部の領域であり、縦横に所定の画素数（ドット数）を有して構成される領域である。勿論、その画素数は表示装置６の全体の画面解像度の画素数よりは少ない。この波形表示領域の表示画素のオン・オフ制御を行うことで、当該領域に波形が描画される。このオン・オフ制御（特に、描画する波形を形成するための表示画素をオンにする制御）は整数データにより行われる。表示装置６はメモリ４に記憶されている表示データ（整数データ）に基づいて波形表示を行う。

また、分割された１つの領域を、パラメータ（浮動小数点データの数値）を表示するためのパラメータ表示領域として設ける。例えば、浮動小数点データの最大値や最小値、或いはこれらの値に対して簡単な演算を行なった数値等がパラメータとして表示される。これは、メモリ４に記憶されている浮動小数点データの数値に基づいて表示を行う。

以上が概略構成である。次に、動作について説明する。各チャネル２の波形入力部１１は測定対象である被試験デバイスから波形を入力し、増幅器１２が増幅を行って、ＡＤ変換回路１３に入力される。ＡＤ変換回路１３はアナログデータからデジタルデータの浮動小数点データに変換して出力を行う。出力される浮動小数点データは経路ＬＡにより表示データ生成回路１４に入力されると共に、経路ＬＢにより入力側メモリコントローラ３にそのまま出力される。

表示データ生成回路１４はデータ形式の変換を行う。図２は変換処理の概念を示している。変換前は３２ビットの浮動小数点データになっており、変換後の表示データは１６ビットの整数データになっている。勿論、浮動小数点データは３２ビットではなくてもよく、整数データも１６ビットでなくてもよい。浮動小数点データは符号部と指数部と仮数部とを有するデータであり、表示データとはデータ形式が異なる。

浮動小数点データが示す値は経時的に変化する波形の値（数値）であり、つまり振幅方向の値になっている。そして、微小時間ごとに変化する浮動小数点データを連続させると、もともとの波形が形成される。従って、時間軸を横軸とすると、浮動小数点データは縦軸（振幅方向）になる。よって、直交する２軸（横軸および縦軸）により波形を表現することができる。表示データ生成回路１４は縦軸の変換を行う。

表示データ生成回路１４は予め浮動小数点データの最大値（ＭＡＸ１：３２ビットの浮動小数点データ）および最小値（ＭＩＮ１：３２ビットの浮動小数点データ）を認識しており、これにより浮動小数点データの波形の振幅Ａ１を「Ａ１＝ＭＡＸ１−ＭＩＮ１」として認識している。

なお、これらＭＡＸ１およびＭＩＮ１は実際に入力された浮動小数点データに基づいて設定してもよいが、基本的には波形自体の最大値および最小値は予め認識されていることが通常であるため、事前に認識されているＭＡＸ１およびＭＩＮ１を用いる。

一方、表示装置６の波形表示領域の振幅方向（縦軸）に表示可能な範囲があり、縦軸方向に表示可能な画素数（ドット数）をＡ２とする。この画素数Ａ２の範囲内に波形の振幅が収まるように描画するためのデータ形式の変換を行う。この変換を行うための式は「（（ＤＡＴＡ−ＭＩＮ１）／Ａ１）×Ａ２−Ａ２／２」になる。

このうち、ＤＡＴＡはＡＤ変換回路１３で変換される浮動小数点データになり、このＤＡＴＡは「ＭＩＮ１≦ＤＡＴＡ≦ＭＡＸ１」の間で経時的に変化する。つまり、振幅Ａ１の中におけるＤＡＴＡの相対的な値（相対値α＝（ＤＡＴＡ−ＭＩＮ１）／Ａ１）になる。この相対値α（０＜α＜１）はあくまでも浮動小数点データの中でのＤＡＴＡの相対的な値になり、当該相対値αは浮動小数点データではなく固定小数点データで表現される。

この相対値αに画素数Ａ２を乗じる。相対値αも画素数Ａ２も固定小数点データで表現されるため、演算は可能になる。これにより、波形表示領域の表示範囲に変換される。そして、Ａ２を乗じた値からＡ２／２を減じる。この場合も固定小数点データ同士の演算であるため、演算は可能になる。これにより、波形表示領域の中心を振幅方向における波形中心とすることができるようになる。このときのデータが表示データになる。なお、最終的に算出される値（表示データ）に小数を生じる場合には、四捨五入等を行うことにより、小数点以下を生じない整数データとして算出する。

表示データ生成回路１４が生成した表示データはデータ圧縮回路１５において、時間軸方向の圧縮が行われる。波形入力部１１は長時間の波形を入力しており、この波形を時間軸方向に圧縮する。例えば、時間軸方向に１０００個ずつの表示データの平均値を計算して、これを１個の表示データとすることができる。これにより、時間軸方向の圧縮を行うことができる。勿論、９９９個を間引く等の処理を行ってもよいが、平均値を計算する方がより正確な波形を表示できる。

データ圧縮回路１５が出力した圧縮済みの表示データは入力側メモリコントローラ３に入力されると共に、当該入力側メモリコントローラ３には経路ＬＢを介して浮動書数点データがそのまま入力される。表示データは変換および圧縮を行ったデータであり、元の浮動小数点データは失われているが、ＡＤ変換回路１３から浮動小数点データをそのまま入力することで、一切の情報が失われていない。これにより、浮動小数点データと表示データとの２つのデータをメモリ４に記憶させることができる。

表示装置６の波形表示領域に波形を表示させるときには、出力側メモリコントローラ５がメモリ４から読み出した表示データを表示装置６が入力し、そのまま表示を行う。表示データは表示装置６の画面に形成される各画素のオン・オフ制御を行うための情報になっており、この表示データに基づいてそのまま波形表示領域に波形を表示させることができる。つまり、メモリ４から読み出した表示データをダイレクトに表示装置６が表示することができ、即時に波形表示を行うことが可能になる。

これは、メモリ４に記憶する前に表示データを生成しているためである。従来は、表示装置６の波形表示領域に波形を表示させるための処理（変換・圧縮）はソフトウェアで行っていた。このために、ＡＤ変換回路１３で変換した浮動小数点データ等のデジタルデータをそのままメモリ４に記憶させ、メモリ４からデータを読み出してソフトウェア処理が行われる。

これは、ＡＤ変換回路１３は大量の浮動小数点データを連続して高速出力しており、ＡＤ変換回路１３が浮動小数点データを生成する速度は極めて高速であるのに対して、ソフトウェアの処理速度は浮動小数点データの生成速度に比べて非常に低速になるためである。このため、表示データの生成速度を浮動小数点データの生成速度に追従させることができないため、いったんメモリ４に記憶させた後にソフトウェア処理を行うようにしている。

本発明では、表示データ生成回路１４およびデータ圧縮回路１５をＡＤ変換回路１３と同じく回路により構成している。これにより、表示データ生成回路１４およびデータ圧縮回路１５をＡＤ変換回路１３とほぼ同程度の速度（同程度の動作周波数）で動作させることができ、浮動小数点データの生成速度と表示データの生成速度とを同じ速度、或いはほぼ同じ速度にすることができる。これにより、メモリ４に記憶させる前に表示データを生成することが可能になる。

一方で、表示データは元の浮動小数点データに対して変換・圧縮を行っており、情報の損失を生じている。このとき、波形ではなく、元の浮動小数点データの数値或いは当該数値に簡単な演算を行った結果等をパラメータとして表示する要請もある。当該要請を満たすために、浮動小数点データについてもメモリ４に記憶させる。この浮動小数点データは基本的には波形を表示するためのものではなく、数値を表示させるためのものであることから、表示装置６に即時に表示することは可能になる。

以上説明したように、予め表示装置６に表示させるための表示データを生成してメモリ４に記憶させるようにしているため、表示装置６に表示させるための無駄な待機時間を生じることなく、波形が表示されるまでの時間を短縮することができるようになる。

次に、変形例について説明する。図３は変形例を示しており、表示データ生成回路１４が生成した表示データを第１データ圧縮回路１４Ａと第２データ圧縮回路１４Ｂと第３データ圧縮回路１４Ｃとの３つに出力している。各データ圧縮回路１４Ａ〜１４Ｃはそれぞれ時間軸方向に異なる圧縮率を有する。

例えば、第１データ圧縮回路１４Ａは時間軸方向に５００個の表示データを平均化し、第２データ圧縮回路１４Ｂは時間軸方向に１０００個の表示データを平均化し、第３データ圧縮回路１４Ｃは時間軸方向に１５００個の表示データを平均化する。これにより、時間軸方向に異なる圧縮率で圧縮した表示データを生成することができる。

予め複数の圧縮率で圧縮した表示データを用意することで、表示装置６に表示するときにメモリ４から読み出した表示データに対して改めて圧縮処理を行う必要がなくなる。これにより、表示の高速化を図ることができるようになる。なお、この場合には、複数の波形表示領域を画面上に設けるようにして、各波形を表示するようにする。例えば、振幅方向に１列に各波形を並列して表示するように波形表示領域を設けることで、圧縮率によって表示される波形がどのように変化するかを容易に認識することができるようになる。

１波形測定装置２チャネル
３入力側メモリコントローラ４メモリ
５出力側メモリコントローラ６表示装置
１１波形入力部１３ＡＤ変換回路
１４表示データ生成回路１５データ圧縮回路

Claims

測定対象から入力した波形を表示する表示装置を備える波形測定装置であって、
前記入力した波形をアナログデータからデジタルデータの浮動小数点データに変換するＡＤ変換回路と、
前記浮動小数点データを入力して、入力した浮動小数点データから前記表示装置に波形を表示するための表示データにデータ形式を変換して生成する表示データ生成回路と、
この表示データ生成回路が生成した表示データを前記表示装置に表示させるために記憶するメモリと、
を備えたことを特徴とする波形測定装置。
前記ＡＤ変換回路から前記表示データ生成回路に前記浮動小数点データを出力する経路を分岐させて、前記ＡＤ変換回路が変換した浮動小数点データをそのまま前記メモリに記憶させるための分岐経路を設けたこと
を特徴とする請求項１記載の波形測定装置。
前記表示データ生成回路と前記メモリとの間に設けられ、前記表示データを前記表示装置に設けた波形を表示するための波形表示領域に表示可能なサイズにまで時間軸方向に圧縮するデータ圧縮回路をさらに備えたこと
を特徴とする請求項１記載の波形測定装置。
前記表示データ生成回路と前記メモリとの間に並列に接続され、前記表示データを前記表示装置に設けた波形を表示するための波形表示領域に表示可能なサイズであり且つ時間軸方向にそれぞれ異なる圧縮率で圧縮する複数のデータ圧縮回路をさらに備えたこと
を特徴とする請求項１記載の波形測定装置。
請求項１乃至４の何れか１項に記載の波形測定装置を備えていることを特徴とする半導体試験装置。