JP2011199113A - 解析装置及び半導体装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 本発明の課題は、複数段の電源スイッチを段階的にオンすることによって内部回路に電源供給する半導体装置において、電源供給開始から起動可能となるまでの復帰時間を短縮することを目的とする。
【解決手段】 上記課題は、複数段の電源スイッチを段階的にオンすることによって内部回路に電源供給する電源供給回路を解析する解析装置であって、前段までの電源スイッチをオン状態とし、オンすることによって発生する許容ノイズ量を超えない最大電源ノイズ量となる電源スイッチサイズを次段の電源スイッチとして決定する電源スイッチサイズ決定手段と、前記次段の電源スイッチサイズによる電源ノイズが前記オンされてから収束判定量以下となるまでの時間をオン時間間隔として決定するオン時間間隔決定手段とにより達成される。
【選択図】 図７

Description

本発明は、電源遮断機能（Power Gating）を搭載した半導体装置の設計に関する。

近年、低消費電力化の要求が強くなり、内部に電源遮断機能（電源スイッチ）を搭載するＬＳＩ（Large Scale Integration）が採用されるケースが増加してきている。ＬＳＩの回路ブロック毎の使用有無に応じて、使用していない回路は積極的に電源遮断することによって、更なる低消費電力化しようという技術である。特に待機時の電力削減要求の厳しい通信用の携帯機器では必須の技術となっている。

この電源スイッチを搭載する問題とし電源ノイズの問題が挙げられる。これは電源遮断していた内部回路を再び使用する必要が出てきた時に電源スイッチオンする必要があるが、オンする瞬間に内部回路の安定化容量等を充電するための突入電流（rush current）が流れる。この電流によって電源ノイズ（ΔＶ）が誘起され、この電源ノイズΔＶによってＬＳＩが誤動作する危険性がある。

電源遮断したい内部回路毎に１つの電源スイッチで制御しようとした場合、電源スイッチに使用するトランジスタのサイズ（即ち、供給できる電流）を十分に小さくしておけば、スイッチオン時の突入電流を抑制できるので、電源ノイズΔＶは小さく抑制できるが、回路の消費電流（例えば、リーク電流）を賄えきれずに回路が十分に充電されない。また、電源スイッチのトランジスタを回路の消費電流を賄うのに十分なサイズにすると、今度はスイッチオン時の突入電流が大きくなり、電源ノイズΔＶが抑制できない。ゆえに、更に電源スイッチのトランジスタのサイズを大きくする等して電源スイッチのトランジスタのゲート駆動する信号の波形を鈍らせ、急に電源スイッチがオン状態にならないようにして突入電流を小さくし、電源ノイズΔＶを抑制する必要があった。

しかしながら、この信号ａの波形を鈍らせる仕組みとして、上記した（１）電源スイッチのトランジスタサイズを必要以上に大きくして電源スイッチのトランジスタのゲート容量を大きくする、（２）設計容量を電源スイッチのトランジスタのゲート信号に大量に付加する、（３）電源スイッチのトランジスタのゲート信号を駆動するバッファの駆動力を下げる、といった手法があるもののデメリットが大きい。まず、（１）及び（２）は大量にチップ内の面積を占有するため製造コストが上昇する要因となる。（３）は製造バラツキ等の観点からバッファ動作しなくなるチップが多発することによる製造歩留まりを下げることから、やはり製造コストが上昇する要因となる。また、電源遮断したい回路規模が大きくなってくると、この傾向は更に顕著になる。

このような電源ノイズの問題に対して、電源スイッチをオン状態にする瞬間の突入電流によって発生する電源ノイズを抑制するために、電源スイッチを複数のスイッチに分割して、各々の電源スイッチのスイッチングのタイミング遅延を小さくする方式、電源スイッチを複数の小さいスイッチに分割しておき、各スイッチをオンするタイミングに遅延を持たせて突入電流を抑制する方式などが提案されている。（例えば、特許文献１、非特許文献１を参照）。

特開２００８−３４６６７号公報 特開２００３−２８９２４５号公報 特開２００３−５２００８３号公報

P.Royannez, et al., "90nmLow Leakage SOC Design Techniques for Wireless Applications," ISSCC Dig. Tech. Paper, pp. 138-140, Feb. 2005

上述した電源スイッチを複数のスイッチに分割した従来技術において、特許文献１では、各電源スイッチのサイズを後段に行くほど指数関数的に大きくし、電源スイッチをオンにする間隔を後段に行くほど小さくした技術である。しかしながら、一般に、スイッチサイズとパワーゲーティングされる回路の電位ＶＤＤＶとは単純な指数関数的な関係になく、よって、単純に指数的にスイッチサイズを増加させた場合、電位ＶＤＤＶの変化を大きくしてしまうスイッチが存在し、電圧変化によって電源ノイズ量が大きくなると言った問題がある。

また、非特許文献１では、電源スイッチを１つのスイッチがオンしても突入電流によって電源ノイズΔＶが基準を超えないような小さい同じサイズのスイッチを複数個並べておき、１つのスイッチがオンした時の突入電流が十分に収まった所を見計らうためのタイミング遅延ΔＴを付加して次のスイッチをオンさせ、同じタイミング遅延ΔＴで順次オンすることにより電源ノイズΔＶを許容範囲内とし、最終的には回路の消費電流を供給するのに必要なスイッチサイズ分を全てオンさせるという方式である。

しかし、このような方式では、スイッチオン時の電源ノイズΔＶやタイミング遅延ΔＴの無駄が多いため電源オフ状態からオン状態へ復帰する起動時間が長くなってしまうという問題があった。

開示の技術は、複数段の電源スイッチを段階的にオンすることによって内部回路に電源供給する電源供給回路を解析する解析装置であって、前段までの電源スイッチをオン状態とし、オンすることによって発生する許容ノイズ量を超えない最大電源ノイズ量となる電源スイッチサイズを次段の電源スイッチとして決定する電源スイッチサイズ決定手段と、前記次段の電源スイッチサイズによる電源ノイズが前記オンされてから収束判定量以下となるまでの時間をオン時間間隔として決定するオン時間間隔決定手段とを有するように構成される。

開示の技術では、ＬＳＩ上の電源スイッチをオン（導通）する瞬間の突入電流による電源電位変動による電源ノイズを許容範囲内とすることができ、パワーゲーティングを大規模回路の動作に影響を与えることなく行うことができる。

ＬＳＩの電源遮断制御に係る領域のレイアウト図を示す図である。 電源遮断機能を有するＬＳＩの回路構成例を示す図である。 電圧変化の例を示す図である。 段階的駆動電圧制御における電圧変化と、電圧変化が安定するまでの時間の関係を説明するための図である。 段階的駆動電圧制御に係る回路設計を解析する解析装置を説明するための図である。 段階的ＰＳＷ解析部での処理で用いられるシミュレーション回路モデルの例を示す図である。 段階的ＰＳＷ解析部による基本設計フローを説明するためのフローチャート図である。 電源ノイズの時間変化を示すグラフ図である。 必要な電源スイッチのサイズと時間間隔について説明するための図である。 最小ノイズ量を考慮して次段の許容ノイズ量を設定する方法を説明する図である。 解析装置のハードウェア構成を示す図である。 最小ノイズ量を考慮した設計フローを説明するための図である。 最小ノイズ量の調整によって復帰時間を短縮するようにした設計フローを説明するための図である。 遅延回路を決定するための機能構成例を示す図である。 電源遮断回路のネットリストの例を示す図である。 電源遮断回路の例を示す図である。 電源ノイズと復帰時間との関係を示す図である。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。先ず、内部に電源遮断機能を有するＬＳＩにおける、内部回路の使用の有無に応じて電源供給を行うための電源スイッチのオン又はオフによって発生する電源ノイズについて考察する。

図１は、ＬＳＩの電源遮断制御に係る領域のレイアウト図を示す図である。図１に示すＬＳＩ２は、例えば、電源遮断制御するＰＭＵ（Power Management Unit）が配置される領域、内部回路Ａ、Ｂ、...Ｆが配置される領域Ａ、Ｂ、...Ｆを有する。ＬＳＩ２では、ＰＭＵの領域には常時電源がオンされており、例えば、内部回路Ａが動作する際には、ＰＭＵの制御によって領域Ａが電源オン状態となる。一方で、内部回路Ｂ、...Ｆが使用されない（動作しない）場合は、電源オフ状態に制御され、各内部回路Ｂ、...Ｆは機能を停止し、停止時の状態を保持する。また、全内部回路Ａ、Ｂ、...Ｆが動作する際には、全ての領域が電源オン状態に制御される。

図２は、電源遮断機能を有するＬＳＩの回路構成例を示す図である。図２において、ＬＳＩ２は、電源遮断制御するＰＭＵ３と、内部回路Ａ、Ｂ、...と、内部回路Ａ、Ｂ、...各々に対応する電源スイッチ（ＰＳＷ：Power SWitch）４ａ、４ｂ、...と、内部回路Ａ、Ｂ、...各々に対応する電源オン／オフによる電圧変動時の出力レベルを安定化させるための安定化容量ＣＡ、ＣＢ、...とを有する。

ＬＳＩ２は、夫々電源電圧ＶＤＤ及びＶＳＳを外部から印加されることにより電源供給される。ＰＭＵ３は、電源電圧ＶＤＤ及びＶＳＳにより常時電源オン状態とされ、ゲート信号ｇａ、ｇｂ、...を用いてＰＳＷ（Power SWitch）４ａ、４ｂ、...をオン／オフすることによって、内部回路Ａ、Ｂ、...に対して電源遮断制御を行う。図１中、電圧ＶＤＤＡが内部回路Ａに供給され、電圧ＶＤＤＢが内部回路Ｂに供給される。

例えば、図１に例示されるように、スリープ状態の内部回路Ａを起動させるために、ＰＳＷ４ａをオフからオンにすると突入電流となって安定化容量ＣＡへと流れるのみならず、電位ＶＤＤＶＡの急激な変化が電源ノイズとなってＰＭＵ３及び他内部回路Ｂ、...へと伝播する。

図３は、電圧変化の例を示す図である。図３において、ゲート信号ｇａがＰＭＵ３によってオフからオンされると、電位ＶＤＤＶＡが内部回路Ａが動作可能な電圧値となるまで上昇する一方で、図２に示す電圧Ｖ（ＶＤＤ−ＶＳＳ）は、電圧変化ΔＶにより急激に降下した後、電圧Ｖへと上昇する。この電圧変化ΔＶによる変動部分３ｐがＰＭＵ３及び他の内部回路Ｂ等の誤動作を引き起こす。

電源遮断制御において、この電圧変化ΔＶを誤動作とならない所定電圧変化以下に制御するために、複数の電源スイッチを段階的にオンにして、全ての電源スイッチがオンとなったときに、内部回路に印加される電位ＶＤＤＶが電源電圧ＶＤＤに達するように制御する段階的駆動電圧制御が考えられるが、電源スイッチを段階的にオンした場合の電圧変化ΔＶと、電圧変化ΔＶが安定するまでの時間について、図４を用いて検証する。電源スイッチを段階的にオフする場合も同様に検証される。

図４は、段階的駆動電圧制御における電圧変化と、電圧変化が安定するまでの時間の関係を説明するための図である。図４（Ａ）では、同一サイズの電源スイッチを段階的に１つずつオンした状態を例示している。電源スイッチの抵抗を抵抗Ｒで表し、同一抵抗Ｒの並列接続によるＲＣ回路図で、同一サイズの電源スイッチのオン状態を簡潔に示す。

１つ目をオンした状態では、時間定数τ＝ＲＣで表される。次に、２つ目をオンした状態では、時間定数τ＝ＲＣ／２で表される。更に、３つ目をオンした状態では、時間定数τ＝ＲＣ／３で表される。このように、オンされる電源スイッチが増えるに従って時間定数は小さくなる。

図４（Ｂ）では、図４（Ａ）に示すように、段階的に電源スイッチをオンした場合に、内部回路の電位ＶＤＤＶが段階的に上昇する状態と、許容ノイズ量ΔＶ＿ｔａｒｇｅｔ以下で変動する電圧Ｖの電圧変化ΔＶの状態とを例示している。

複数の電源スイッチを段階的にオンすることにより、内部回路の電位ＶＤＤＶは段階的に電源電圧ＶＤＤに達する。従って、各段の電源スイッチにかかる電圧４ｖは、内部回路の電位ＶＤＤＶと電源電圧ＶＤＤとの差分で表され、段階的に減少して行く。

一方、電圧変化ΔＶは、後段になるにつれ電位ＶＤＤＶが上昇し、電源スイッチにかかる電圧４ｖが減少することにより、電源ノイズの最大値の減少部分４ｗが大きくなることが分かる。言い換えると、電源ノイズとして発生したとしても許容できる減少部分４ｗを、後段になるにつれ無駄にしていると考えられる。

また、図４（Ａ）に示すように、後段になるにつれ時間定数τが小さくなることから、電圧変化ΔＶによる電源ノイズが発生している時間４ｔが短い時間で落ち着いてくる様子が分かる。つまり、段階的な電源スイッチのオン間隔を一定間隔ΔＴで一律に制御した場合、電源ノイズが落ち着いた後の時間が無駄に消費されてしまう。

発明者等は、（Ｉ）段階的に電源ノイズの最大値の減少４ｗが大きくなること、また、（ＩＩ）段階的に電圧変化ΔＶによる電源ノイズが短い時間で落ち着いてくることに着目し、（Ｉ）に対して段階毎に電源スイッチのサイズ（つまり、電流量）を決定し、また、（ＩＩ）に対して段階毎にオンする時間間隔（つまり、遅延時間）を設けるようにした仕組みを見出した。

図５は、段階的駆動電圧制御に係る回路設計を解析する解析装置を説明するための図である。図５に例示される解析装置１００は、ＣＰＵによって制御されるコンピュータ装置であり、段階的に電源スイッチをオン／オフするための各電源スイッチのサイズと、前段の電源スイッチがオンされてから自身がオンされるまでの各電源スイッチの時間間隔とを解析する段階的ＰＳＷ解析部７０を有する。

図５において、段階的ＰＳＷ解析部７０は、必要な電源スイッチのサイズの合計を示すＰＳＷ＿ｔｏｔａｌと、許容ノイズ量を示すΔＶ＿ｔａｒｇｅｔとを含む入力データ５を記憶領域から入力し、図６及び図７を用いて説明される基本設計フローに基づいて電源遮断回路モデル７０ｍを決定し、電源スイッチ（ＰＷＳ）の段数（個数）を示すｍ値と、ｍ個の電源スイッチの各電流量を示す各ＰＷＳサイズと、電源スイッチをオンするタイミングに基づく前段のオンから次段のオンまでの遅延時間を示すＰＳＷオン時間間隔とを含む出力データ６を記憶領域に出力する。各ＰＷＳサイズと、ＰＳＷオン時間間隔とは、設計パラメータとして扱われる。

電源遮断回路モデル７０ｍは、パワーゲーティング（電源遮断）によって消費電力化を行うと共に電源供給をする観点において、複数段の電源スイッチを段階的にオンすることによって内部回路に電源供給する電源供給回路をシミュレーション用にモデル化したものとも言える。

電源遮断回路モデル７０ｍでは、入力された必要な電源スイッチのサイズの合計（ＰＳＷ＿ｔｏｔａｌ）を満たすように電源スイッチの個数（ｍ値）が決定され、また、許容ノイズ量（ΔＶ＿ｔａｒｇｅｔ）を満たすように各電源スイッチのサイズ（ＰＷＳサイズ）が決定されている。

また、電圧変化ΔＶによって電源ノイズが発生している時間４ｔ（図４（Ｂ））に相当する遅延時間となるようにＰＳＷオン時間間隔が決定されている。ＰＳＷオン時間間隔の総和が復帰時間となる。

段階的ＰＳＷ解析部７０での処理について図６及び図７で説明する。図６は、段階的ＰＳＷ解析部での処理で用いられるシミュレーション回路モデルの例を示す図である。図６において、段階的ＰＳＷ解析部７０での処理で用いられるシミュレーション回路モデル７２ｍは、パワーゲーティングされる内部回路７ａをオン／オフするための複数の電源スイッチはＰＳＷ＿ＡとＰＳＷ＿Ｂの２つで表される電源ノイズ解析モデルである。

シミュレーション回路モデル７２ｍでは、電源電圧ＶＤＤは外部からＬＳＩに供給される電力を、コンデンサＣｌｏａｄは安定化容量を、抵抗Ｒｌｅａｋはリーク電力をシミュレーションしている。また、シミュレーション回路モデル７２ｍでは、ＰＳＷ駆動バッファ７ｂを介して供給される電源をオンする制御信号によって、電源スイッチＰＳＷ＿ＡとＰＳＷ＿Ｂがオンされることをシミュレーションする。しかし、電源スイッチＰＳＷ＿Ａは常時ＯＮ状態でシミュレーションされる。

段階的ＰＳＷ解析部７０での処理において、電源スイッチＰＳＷ＿Ａは、前段部の全ての電源スイッチを表し、かつ、常にＯＮ状態とした上で、次段の電源スイッチＰＳＷ＿Ｂをオンした際に発生する電源ノイズ（電圧変化ΔＶ）をシミュレーションする。許容ノイズ量（ΔＶ＿ｔａｒｇｅｔ）を最大量としてぎりぎり満たす電源スイッチのサイズ（ＰＷＳサイズ）と電源ノイズが発生している時間４ｔから遅延時間（ＰＳＷオン時間間隔）とを決定する。

このようにして決定した次段の電源スイッチＰＳＷ＿Ｂのサイズ（ＰＷＳサイズ）と遅延時間（ＰＳＷオン時間間隔）とを、前段の全ての電源スイッチＰＳＷ＿Ａに加算して、新たにＰＳＷ＿Ｂを次段の電源スイッチとして、必要な電源スイッチのサイズの合計（ＰＳＷ＿ｔｏｔａｌ）を満たすまで上述した同様の処理を繰り返す。

図６に示すシミュレーション回路モデル７２ｍを用いた段階的ＰＳＷ解析部による処理を図７で説明する。図７は、段階的ＰＳＷ解析部による基本設計フローを説明するためのフローチャート図である。

図７において、段階的ＰＳＷ解析部７０は、必要な電源スイッチのサイズの合計（ＰＳＷ＿ｔｏｔａｌ）と許容ノイズ量（ΔＶ＿ｔａｒｇｅｔ）とを入力して所定記憶領域に設定し（ステップＳ１１）、段数Ｎに１を設定し、ＰＳＷ＿Ａサイズにゼロを設定して初期設定を行う（ステップＳ１２）。

そして、段階的ＰＳＷ解析部７０は、電源スイッチＰＳＷ＿Ｂをオンした時に発生する電源ノイズの最大値（ΔＶｍａｘ）と、電源ノイズΔＶが落ち着くまでの時間ΔＴとをシミュレーションで求める（ステップＳ１３）。

段階的ＰＳＷ解析部７０は、シミュレーションで求めた電源ノイズの最大値（ΔＶｍａｘ）が許容ノイズ量（ΔＶ＿ｔａｒｇｅｔ）以下であるか否かを判断する（ステップＳ１４）。電源ノイズの最大値（ΔＶｍａｘ）が許容ノイズ量（ΔＶ＿ｔａｒｇｅｔ）以下である場合、段階的ＰＳＷ解析部７０は、電源スイッチＰＳＷ＿Ｂのサイズを所定サイズ（ΔＰＳＷ＿Ｂ）増加させて（ステップＳ１４−５）、ステップＳ１３へと戻り、上述した同様の処理を繰り返す。

一方、ステップＳ１４で、電源ノイズの最大値（ΔＶｍａｘ）が許容ノイズ量（ΔＶ＿ｔａｒｇｅｔ）より大であると判断した場合、段階的ＰＳＷ解析部７０は、Ｎ段目の電源スイッチ（ＰＳＷ）のサイズ（ＰＳＷｎ）をＰＳＷ＿ＢサイズからステップＳ１４−５の増加分ΔＰＳＷ＿Ｂを減算したサイズとし、Ｎ段目のＮ＋１段目の電源スイッチ（ＰＳＷ）のオン時間間隔（ΔＴｎ）を決定する（ステップＳ１５）。ＰＳＷ＿Ｂサイズは、ノイズ制約を満足する中で最大のサイズとなる。

そして、段階的ＰＳＷ解析部７０は、ＰＳＷ＿ＡサイズとＰＳＷ＿Ｂサイズとの合算値が、必要な電源スイッチのサイズの合計（ＰＳＷ＿ｔｏｔａｌ）より大であるか否かを判断する（ステップＳ１６）。ここで、ＰＳＷ＿ＡサイズとＰＳＷ＿Ｂサイズとの合算値とは、並列接続した場合（図４（Ａ））の電流量の合算を意味する。

合算値が必要な電源スイッチのサイズの合計（ＰＳＷ＿ｔｏｔａｌ）以下である場合、段階的ＰＳＷ解析部７０は、段数Ｎを１増加させ、前段までの合算を示すＰＳＷ＿Ａサイズとして、現在のＰＳＷ＿ＡサイズとＰＳＷ＿Ｂサイズとの合算値を設定して（ステップＳ１６−５）、ステップＳ１３へ戻り、上述した同様の処理を繰り返す。

一方、合算値が必要な電源スイッチのサイズの合計（ＰＳＷ＿ｔｏｔａｌ）より大である場合、段階的ＰＳＷ解析部７０は、上述した処理にて得られた、段数Ｎと、各電源スイッチサイズと、各電源スイッチのオン時間間隔とを出力データ６として記憶領域に出力した後、この処理を終了する。

図８は、電源ノイズの時間変化を示すグラフ図である。図８において、縦軸に電源ノイズ［ｍＶ］を示し、横軸に時間［μｓ］を示し、電源スイッチＰＳＷ＿Ｂがオンされた際の電源ノイズの変化を、前段までの合算を示すＰＳＷ＿Ａを考慮せずにシミュレーションした場合（ＰＳＷ＿Ａ無８ａ）と、前段までの合算を示すＰＳＷ＿Ａを考慮している図６及び図７で説明した処理によるシミュレーションの場合（ＰＳＷ＿Ａ有８ｂ）とを比較して示している。ＰＳＷ＿Ａ無８ａは、例えば、固定サイズの電源スイッチを段階的にオンする場合のシミュレーションで得られる電源ノイズを示している。

図４（Ｂ）で説明したように、後段になるほど、電源スイッチＰＳＷ＿Ａのオン電流によってＶＤＤＶが上昇して電源スイッチの電圧減少を表現でき、その状態から電源スイッチＰＳＷ＿Ｂをオンするので、電源ノイズの最大値ΔＶｍａｘを正しく算出できる。従って、ＰＳＷ＿Ａ有８ｂでは、ＰＳＷ＿Ａ無８ａのシミュレーションによる電源ノイズの最大値と比べて、減少分８１の差がでる。

また、後段になるほど、ＰＳＷ＿ＡサイズとＰＳＷ＿Ｂサイズとを合算した全電流量が大きくなる（抵抗値が小さくなる）ことによって、時間定数τ＝ＲＣの減少を表現できるため、次の電源スイッチをオンするまでの時間間隔ΔＴを正しく算出できる。従って、ＰＳＷ＿Ａ有８ｂでは、ＰＳＷ＿Ａ無８ａのシミュレーションによる時間間隔ΔＴと比べて、短縮時間分８２の差がでる。

図９は、必要な電源スイッチのサイズと時間間隔について説明するための図である。図９（Ａ）では、次の電源スイッチＰＳＷ＿Ｂのサイズと時間間隔ΔＴについて説明する。縦軸に電源ノイズを電圧変化ΔＶで示し、横軸に時間を示している。電源ノイズ波形９１は、ＰＳＷ＿Ｂのサイズが許容ノイズ量ΔＶ＿ｔａｒｇｅｔを超えた場合の波形例を示している。段階的ＰＳＷ解析部７０は、この許容ノイズ量ΔＶ＿ｔａｒｇｅｔを超えない中でも最大の電源ノイズ波形９２となる電源スイッチのサイズを決定する。

最小ノイズ量ΔＶｍｉｎは、電源ノイズが落ち着いたとみなすための、つまり、電源ノイズが収束したと判定するための収束判定量であり、電圧変化ΔＶが、最小ノイズ量ΔＶｍｉｎ以下になると、電源ノイズ量が収束判定量以下となったと判断できる値である。最大の電源ノイズ波形９２となる電源スイッチがオンされてから最小ノイズ量ΔＶｍｉｎ以下となる時間で次の電源スイッチをオンするオン時間間隔ΔＴ９３として決定する。最大の電源ノイズ波形９２と時間間隔ΔＴとは対応付けられる。

図９（Ｂ）では、オンする総ＰＳＷサイズとＶＤＤＶ到達点との関係９７を示している。縦軸に内部回路の電位ＶＤＤＶ［Ｖ］を示し、横軸に総ＰＳＷサイズ［μｍ］を示している。関係９７において、内部回路が起動するための電位ＶＤＤＶの目標到達値９６に達した総ＰＳＷサイズが必要な電源スイッチのサイズの合計（ＰＳＷ＿ｔｏｔａｌ）となる。

次に、電源ノイズが落ち着いたとみなす最小ノイズ量ΔＶｍｉｎの必要性について図１０で説明する。図１０は、最小ノイズ量を考慮して次段の許容ノイズ量を設定する方法を説明する図である。図１０（Ａ）では、ｎ−１番目の電源スイッチが発生させる電源ノイズ波形１０ａを示している。電源ノイズ波形１０ａが最小ノイズ量ΔＶｍｉｎ以下に落ち着いてきた時間Ｔ１で次のｎ番目の電源スイッチがオンされる。

図１０（Ｂ）では、ｎ番目の電源スイッチが発生させる電源ノイズ波形１０ｂを示している。電源ノイズ波形１０ｂの最大値は、ｎ−１番目の電源スイッチが発生させた電源ノイズ１０ａの時間Ｔ１を決定した最小ノイズ量ΔＶｍｉｎとなる残りの波形と電源ノイズ波形１０ｂとを合計することによって決まる。従って、ｎ−１番目の電源スイッチに対する許容ノイズ量（ΔＶ＿ｔａｒｇｅｔ）よりも最小ノイズ量ΔＶｍｉｎだけ低い値をｎ番目の電源スイッチに対する許容ノイズ量（ΔＶ＿ｔａｒｇｅｔ２）とする。

従って、図１０（Ａ）に示す電源ノイズ波形１０ａと図１０（Ｂ）に示す電源ノイズ波形１０ｂとが重畳した図１０（Ｃ）に示す電源ノイズ波形１０ｃように、最小ノイズ量ΔＶｍｉｎを考慮して次段の許容ノイズ量（ΔＶ＿ｔａｒｇｅｔ）を調整して、電源スイッチのサイズを決定することによって、段階的に複数の電源スイッチを連続してオンするシミュレーションを実行しても、全体として許容ノイズ量（ΔＶ＿ｔａｒｇｅｔ２）を超えることがない。

また、上述では、最小ノイズ量ΔＶｍｉｎを全ての段階で固定値として説明したが、各段で起動時間を短縮するために最小ノイズ量ΔＶｍｉｎを調整するようにしてもよい。

解析装置１００は、図１１に示すようなハードウェア構成を有する。図１１は、解析装置のハードウェア構成を示す図である。図１１において、解析装置１００は、コンピュータによって制御される端末であって、ＣＰＵ（Central Processing Unit）１１と、メモリユニット１２と、表示ユニット１３と、出力ユニット１４と、入力ユニット１５と、通信ユニット１６と、記憶装置１７と、ドライバ１８とを有し、システムバスＢに接続される。

ＣＰＵ１１は、メモリユニット１２に格納されたプログラムに従って解析装置１００を制御する。メモリユニット１２には、ＲＡＭ（Random Access Memory）及びＲＯＭ（Read-Only Memory）等が用いられ、ＣＰＵ１１にて実行されるプログラム、ＣＰＵ１１での処理に必要なデータ、ＣＰＵ１１での処理にて得られたデータ等を格納する。また、メモリユニット１２の一部の領域が、ＣＰＵ１１での処理に利用されるワークエリアとして割り付けられている。

表示ユニット１３は、ＣＰＵ１１の制御のもとに必要な各種情報を表示する。出力ユニット１４は、プリンタ等を有し、ユーザからの指示に応じて各種情報を出力するために用いられる。入力ユニット１５は、マウス、キーボード等を有し、ユーザが解析装置１００が処理を行なうための必要な各種情報を入力するために用いられる。通信ユニット１６は、例えばインターネット、ＬＡＮ（Local Area Network）等に接続し、外部装置との間の通信制御をするための装置である。記憶装置１７には、例えば、ハードディスクユニットが用いられ、各種処理を実行するプログラム等のデータを格納する。

解析装置１００よって行われる処理を実現するプログラムは、例えば、ＣＤ−ＲＯＭ（Compact Disc Read-Only Memory）等の記憶媒体１９によって解析装置１００に提供される。即ち、プログラムが保存された記憶媒体１９がドライバ１８にセットされると、ドライバ１８が記憶媒体１９からプログラムを読み出し、その読み出されたプログラムがシステムバスＢを介して記憶装置１７にインストールされる。そして、プログラムが起動されると、記憶装置１７にインストールされたプログラムに従ってＣＰＵ１１がその処理を開始する。尚、プログラムを格納する媒体としてＣＤ−ＲＯＭに限定するものではなく、コンピュータが読み取り可能な媒体であればよい。本実施例に係る処理を実現するプログラムは、通信ユニット１６によってネットワークを介してダウンロードし、記憶装置１７にインストールするようにしても良い。また、ＵＳＢ対応の解析装置１００であれば、ＵＳＢ接続可能な外部記憶装置からインストールするようにしても良い。更に、ＳＤカード等のフラッシュメモリ対応の解析装置１００であれば、そのようなメモリカードからインストールするようにしても良い。

解析装置１００の段階的ＰＳＷ解析部７０にて、図９で説明した最小ノイズ量ΔＶｍｉｎを考慮した設計フローについて図１２で説明する。図１２は、最小ノイズ量を考慮した設計フローを説明するための図である。図１２において、段階的ＰＳＷ解析部７０は、入力データ５−１をユーザから取得し処理に必要なパラメータを設定する（ステップＳ２１）。

ユーザは、入力データ５−１として、少なくとも許容ノイズ量ΔＶ＿ｔａｒｇｅｔと、必要な電源スイッチのサイズの合計を示すＰＳＷ＿ｔｏｔａｌとを段階的ＰＳＷ解析部７０へ入力する。また、ユーザによって、電源ノイズが落ち着き収束したと判定する最小ノイズ量ΔＶｍｉｎと、シミュレーションによる電源スイッチの所定増分サイズΔＰＳＷとを、オプションとして入力可能としてもよい。最小ノイズ量ΔＶｍｉｎと、所定増分サイズΔＰＳＷのいずれか一方又は両方が入力されなかった場合、段階的ＰＳＷ解析部７０は、電圧変化ΔＶと、電源スイッチのサイズ合計ＰＳＷ＿ｔｏｔａｌとから自動計算する。

段階的ＰＳＷ解析部７０は、段数Ｎに１を設定し、電源スイッチＰＳＷ＿Ａにゼロを設定し（ステップＳ２２）、所定増分サイズΔＰＳＷを次段の電源スイッチＰＳＷ＿Ｂのサイズとして設定する（ステップＳ２３）。

そして、段階的ＰＳＷ解析部７０は、電源スイッチＰＳＷ＿Ｂをオンした時に発生する電源ノイズの最大値（ΔＶｍａｘ）と、電源ノイズΔＶが最小ノイズ量ΔＶｍｉｎ以下となるまでの時間ΔＴとを、シミュレーション回路モデル７２ｍ（図６）を用いたシミュレーションで求める（ステップＳ２４）。

段階的ＰＳＷ解析部７０は、シミュレーションの実行結果が判定条件（＊１）を満たすか否かを判断する（ステップＳ２５）。判定条件（＊１）は、
Ａ＝０の時、ΔＶｍａｘ ＞ ΔＶ＿ｔａｒｇｅｔ を満たすか否か、
Ａ≠０の時、ΔＶ＿ｔａｒｇｅｔ２＝ΔＶ＿ｔａｒｇｅｔ−ΔＶｍｉｎとし、
ΔＶｍａｘ ＞ ΔＶ＿ｔａｒｇｅｔ２ を満たすか否か、
である。

段階的ＰＳＷ解析部７０は、シミュレーションの実行結果がこの判定条件（＊１）を満たさないと判断した場合、ＰＳＷ＿ＡサイズとＰＳＷ＿Ｂサイズの合計が電源スイッチのサイズ合計ＰＳＷ＿ｔｏｔａｌより大きいか否かを判断する（ステップＳ２５−２）。ＰＳＷ＿ＡサイズとＰＳＷ＿Ｂサイズの合計がサイズ合計ＰＳＷ＿ｔｏｔａｌ以下である場合、段階的ＰＳＷ解析部７０は、ＰＳＷ＿Ｂサイズに所定増分サイズΔＰＳＷを加算してステップＳ２４へと戻り、上述した同様の処理を繰り返す。

一方、ＰＳＷ＿ＡサイズとＰＳＷ＿Ｂサイズの合計が電源スイッチのサイズ合計ＰＳＷ＿ｔｏｔａｌより大きいと判断した場合、段階的ＰＳＷ解析部７０は、ステップＳ２７へと進む。

ステップＳ２５にて、シミュレーションの実行結果が判定条件（＊１）を満たすと判断した場合、段階的ＰＳＷ解析部７０は、ＰＳＷ＿Ｂサイズから所定増分サイズΔＰＳＷを減算した値をＰＳＷ＿Ｂサイズとする（ステップＳ２６）。

その後、段階的ＰＳＷ解析部７０は、Ｎ段目のＰＳＷｎにＰＳＷ＿Ｂサイズを設定し、Ｎ段目のオン時間間隔ΔＴｎに時間ΔＴを設定して、Ｎ段目のシミュレーションの実行結果を記憶領域に保存する（ステップＳ２７）。

そして、段階的ＰＳＷ解析部７０は、ＰＳＷ＿ＡサイズとＰＳＷ＿Ｂサイズの合計が電源スイッチのサイズ合計ＰＳＷ＿ｔｏｔａｌより大きいか否かを判断する（ステップＳ２８）。ＰＳＷ＿ＡサイズとＰＳＷ＿Ｂサイズの合計がサイズ合計ＰＳＷ＿ｔｏｔａｌ以下である場合、段階的ＰＳＷ解析部７０は、段数Ｎを１増加させ、前段までの合算を示すＰＳＷ＿Ａサイズとして、現在のＰＳＷ＿ＡサイズとＰＳＷ＿Ｂサイズとの合算値を設定して（ステップＳ２８−２）、ステップＳ２３へ戻り、上述した同様の処理を繰り返す。

一方、合算値が必要な電源スイッチのサイズの合計（ＰＳＷ＿ｔｏｔａｌ）より大である場合、段階的ＰＳＷ解析部７０は、上述した処理にて得られた、段数Ｎと、各電源スイッチサイズ（ＰＳＷｎ）と、各電源スイッチのオン時間間隔（ΔＴｎ）とを出力データ６−１として記憶領域に出力した後、この処理を終了する。

次に、最小ノイズ量Δｍｉｎを調整して、内部回路をオンしてから供給される電圧ＶＤＤＶが起動可能な電位となるまでの復帰時間を短縮するようにした処理について図１３で説明する。図１３は、最小ノイズ量の調整によって復帰時間を短縮するようにした設計フローを説明するための図である。図１３において、段階的ＰＳＷ解析部７０は、入力データ５−２をユーザから取得し処理に必要なパラメータを設定する（ステップＳ３１）。

ユーザは、入力データ５−１として、少なくとも許容ノイズ量ΔＶ＿ｔａｒｇｅｔと、必要な電源スイッチのサイズの合計を示すＰＳＷ＿ｔｏｔａｌとを段階的ＰＳＷ解析部７０へ入力する。また、ユーザによって、電源ノイズが落ち着き収束したと判定する最小ノイズ量ΔＶｍｉｎの所定増分量Δｄｉｖと、シミュレーションによる電源スイッチの所定増分サイズΔＰＳＷとを、オプションとして入力可能としてもよい。最小ノイズ量ΔＶｍｉｎの所定増分量Δｄｉｖと、所定増分サイズΔＰＳＷのいずれか一方又は両方が入力されなかった場合、段階的ＰＳＷ解析部７０は、電圧変化ΔＶと、電源スイッチのサイズ合計ＰＳＷ＿ｔｏｔａｌとから自動計算する。

段階的ＰＳＷ解析部７０は、段数Ｎに１を設定し、電源スイッチＰＳＷ＿Ａにゼロを設定し（ステップＳ３２）、所定増分サイズΔＰＳＷを次段の電源スイッチＰＳＷ＿Ｂのサイズとして設定する（ステップＳ３３）。

そして、段階的ＰＳＷ解析部７０は、電源スイッチＰＳＷ＿Ｂをオンした時に発生する電源ノイズの最大値（ΔＶｍａｘ）と、電源ノイズΔＶが最小ノイズ量ΔＶｍｉｎ以下となるまでの時間ΔＴとを、シミュレーション回路モデル７２ｍ（図６）を用いたシミュレーションで求める（ステップＳ３４）。

段階的ＰＳＷ解析部７０は、シミュレーションの実行結果が判定条件（＊１ａ）を満たすか否かを判断する（ステップＳ３５）。判定条件（＊１ａ）は、
Ａ＝０の時、ΔＶｍａｘ ＞ ΔＶ＿ｔａｒｇｅｔ を満たすか否か、
Ａ≠０の時、ΔＶ＿ｔａｒｇｅｔ２＝ΔＶ＿ｔａｒｇｅｔ−ΔＶｍｉｎとし、
ΔＶｍａｘ ＞ ΔＶ＿ｔａｒｇｅｔ２ を満たすか否か、
である。

段階的ＰＳＷ解析部７０は、シミュレーションの実行結果がこの判定条件（＊１ａ）を満たさないと判断した場合、ＰＳＷ＿ＡサイズとＰＳＷ＿Ｂサイズの合計が電源スイッチのサイズ合計ＰＳＷ＿ｔｏｔａｌより大きいか否かを判断する（ステップＳ３５−２）。ＰＳＷ＿ＡサイズとＰＳＷ＿Ｂサイズの合計がサイズ合計ＰＳＷ＿ｔｏｔａｌ以下である場合、段階的ＰＳＷ解析部７０は、ＰＳＷ＿Ｂサイズに所定増分サイズΔＰＳＷを加算してステップＳ３４へと戻り、上述した同様の処理を繰り返す。

一方、ＰＳＷ＿ＡサイズとＰＳＷ＿Ｂサイズの合計が電源スイッチのサイズ合計ＰＳＷ＿ｔｏｔａｌより大きいと判断した場合、段階的ＰＳＷ解析部７０は、ステップＳ３７へと進む。

ステップＳ３５にて、シミュレーションの実行結果が判定条件（＊１）を満たすと判断した場合、段階的ＰＳＷ解析部７０は、ＰＳＷ＿Ｂサイズから所定増分サイズΔＰＳＷを減算した値をＰＳＷ＿Ｂサイズとする（ステップＳ３６）。

その後、段階的ＰＳＷ解析部７０は、最小ノイズ量ΔＶｍｉｎを有するＮ段目のＰＳＷｎ（ΔＶｍｉｎ）にＰＳＷ＿Ｂサイズを設定し、最小ノイズ量ΔＶｍｉｎを有するＮ段目のオン時間間隔ΔＴｎ（ΔＶｍｉｎ）に時間ΔＴを設定して、Ｎ段目のシミュレーションの実行結果を記憶領域に保存する（ステップＳ３７）。

そして、段階的ＰＳＷ解析部７０は、ＰＳＷ＿ＡサイズとＰＳＷ＿Ｂサイズの合計が電源スイッチのサイズ合計ＰＳＷ＿ｔｏｔａｌより大きいか否かを判断する（ステップＳ３８）。ＰＳＷ＿ＡサイズとＰＳＷ＿Ｂサイズの合計がサイズ合計ＰＳＷ＿ｔｏｔａｌ以下である場合、段階的ＰＳＷ解析部７０は、段数Ｎを１増加させ、前段までの合算を示すＰＳＷ＿Ａサイズとして、現在のＰＳＷ＿ＡサイズとＰＳＷ＿Ｂサイズとの合算値を設定して（ステップＳ２８−２）、ステップＳ２３へ戻り、上述した同様の処理を繰り返す。

一方、合算値が必要な電源スイッチのサイズの合計（ＰＳＷ＿ｔｏｔａｌ）より大である場合、段階的ＰＳＷ解析部７０は、判定条件（＊２ａ）を満たすか否かを判断する（ステップＳ３９）。判定条件（＊２ａ）は、
ΔＶｍｉｎ ＋ ΔＶ＿ｄｉｖ ＜ （１／２） ＊ ΔＶ＿ｔａｒｇｅｔ２
を満たすか否か、である。

判定条件（＊２ａ）を満たす場合、段階的ＰＳＷ解析部７０は、最小ノイズ量ΔＶｍｉｎに所定増加分ΔＶ＿ｄｉｖを加算して（ステップＳ３９−２）、ステップＳ３２へと戻り、上述した同様の処理を最初の段から再度実行する。

一方、判定条件（＊２ａ）を満たさない場合、ＰＳＷ解析部７０は、オン時間間隔ΔＴｎ（ΔＶｍｉｎ）を最小とする最小ノイズ量ΔＶｍｉｎを算出する処理（＊３ａ）を行う（ステップＳ４０）。

処理（＊３ａ）では、ＰＳＷ解析部７０は、最小ノイズ量ΔＶｍｉｎを有するｎ段目のオン時間間隔ΔＴｎ（ΔＶｍｉｎ）（ｎ＝１、２、３、・・・、ｍ）の合計となるＴｓｕｍ（ΔＶｍｉｎ）が最小となる最小ノイズ量ΔＶｍｉｎを算出する。算出した合計のＴｓｕｍ（ΔＶｍｉｎ）が最小となる最小ノイズ量ΔＶｍｉｎとした場合の各段の電源スイッチＰＳＷｎ（ΔＶｍｉｎ）を各段の電源スイッチサイズＰＳＷｎ（ｎ＝１、２、３、・・・、ｍ）とし、また、その最小ノイズ量ΔＶｍｉｎとした場合のオン時間間隔ΔＴｎ（ΔＶｍｉｎ）を各段のオン時間間隔ΔＴｎ（ｎ＝１、２、３、・・・、ｍ）として記憶領域に出力し、この処理を終了する。

上述した段階的ＰＳＷ解析部７０による段毎の電源スイッチのサイズＰＳＷｎ及び段毎のオン時間間隔ΔＴｎの算出結果に基づいて、遅延回路の構成を決定し、電源遮断回路に係るネットリストを出力するための機能構成例について図１４で説明する。

図１４は、遅延回路を決定するための機能構成例を示す図である。図１４において、解析装置１００において、ユーザによって入力された入力データ５−１又は５−２を用いた段階的ＰＳＷ解析部７０による処理が実行され、出力データ６−１又は６−２が記憶領域に出力される（図１２又は図１３）。

解析装置１００は、段階的ＰＳＷ解析部７０による処理の終了に応じて、又は、ユーザによる操作に応じて、遅延回路決定部７６を起動させて、遅延回路の構成を決定し、電源遮断回路に係るネットリストを出力する。

遅延回路決定部７６では、物理ライブラリ１４ｐを用いて、段毎の電源スイッチの個数及び遅延回路の個数を決定する。

物理ライブラリ１４ｐは、電源スイッチ用にサイズＷμｍの（例えば、ＭＯＳＦＥＴ（Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor）等）の物理データで表される電源スイッチ回路ＰＳＷｌｉｍと、段毎の遅延回路用に１個でＴｓｅｃの遅延時間を実現する回路の物理データで表される遅延回路Ｄｌｉｍとを有する。物理ライブラリ１４ｐにおいて、例えば、電源スイッチ回路ＰＳＷｌｉｍは電源スイッチ１個のサイズＷを１００μｍで示し、遅延回路Ｄｌｉｍは回路１個の遅延時間Ｔを１００ｐｓｅｃで示している。

遅延回路決定部７６は、物理ライブラリ１４ｐを参照して電源スイッチ１個のサイズＷμｍを取得し、記憶領域から段毎の電源スイッチのサイズＰＳＷｎを読み出して、取得したサイズＷμｍで除算することによって、個数Ｍ＿ｎを算出する（ｎ＝１、２、３、・・・、ｍ）。

また、遅延回路決定部７６は、物理ライブラリ１４ｐを参照して遅延回路１個の遅延時間Ｔｐｓｅｃを取得し、記憶領域から段毎のオン時間間隔ΔＴｎを読み出して、取得した遅延時間Ｔｐｓｅｃで除算することによって、個数Ｌ＿ｎを算出する（ｎ＝１、２、３、・・・、ｍ）。

そして、遅延回路決定部７６は、全ての段について個数Ｍ＿ｎ及び個数Ｌ＿ｎ算出すると、段毎に、電源スイッチ回路ＰＳＷｌｉｍの個数Ｍ＿ｎと、遅延回路Ｄｌｉｍの個数Ｌ＿ｎとを、回路構成データ１４ｒとして記憶領域に出力する。

出力された回路構成データ１４ｒは、更に、段毎に接続情報を与えることによって、電源遮断回路のネットリスト５１として記憶領域に出力される。接続情報では、段毎に個数Ｍ＿ｎの電源スイッチ回路ＰＳＷｌｉｍが並列に接続されること、段毎に個数Ｌ＿ｎの遅延回路Ｄｌｉｍが直列に接続されることが示される。

電源ノイズを解析する解析装置１００は、上述したように、段階的ＰＳＷ解析部７０と遅延回路決定部７６とを有する構成とすることによって、例えば、図１５に示すような電源遮断回路のネットリストを生成する。図１５は、電源遮断回路のネットリストの例を示す図である。

図１５に示すネットリスト５１では、１段目として、個数Ｌ＿１の遅延回路Ｄｌｉｍが直列に接続された１段目の遅延回路構成Ｄ１と、個数Ｍ＿１の電源スイッチ回路ＰＳＷｌｉｍが並列に接続された１段目のＰＳＷ回路構成Ｐ１とを示す。２段目として、個数Ｌ＿２の遅延回路Ｄｌｉｍが直列に接続された２段目の遅延回路構成Ｄ２と、個数Ｍ＿２の電源スイッチ回路ＰＳＷｌｉｍが並列に接続された２段目のＰＳＷ回路構成Ｐ２とを示す。３段目以降ｎ段目まで同様に、３段目の遅延回路構成Ｄ３及びＰＳＷ回路構成Ｐ３、・・・ｎ段目の遅延回路構成Ｄｎ及びＰＳＷ回路構成Ｐｎとが示される。

このような電源遮断回路のネットリスト５１によって表される電源遮断回路の一例として、図１６に示す。図１６は、電源遮断回路の例を示す図である。図１６に示す電源遮断回路７８は、段毎において許容ノイズ量ΔＶ＿ｔａｒｇｅｔ以下で最大のノイズ量となるように、段々と電源スイッチのサイズを大きくすると共に、段毎において電源スイッチをオンしてから電源ノイズが収束したと判定される最小ノイズ量ΔＶｍｉｎ以下となった時間がオン時間間隔ΔＴとなるように、段々と遅延時間を短くした構成となっている。

この構成では、図１７に示すように、ＰＳＷサイズを後段につれて大きくすることにより、電源スイッチＰＳＷの段数を少なくすることができ、更に、オン時間間隔ΔＴｎを後段につれて短くすることにより、内部回路への電源供給の開始（初段の電源スイッチをオンして）から最後の電源スイッチをオンした後に内部回路の起動に十分な電圧に到達するまでの復帰時間を大幅に短縮することができる。

図１３による最小ノイズ量ΔＶｍｉｎを調節した設計フローを適応した場合では、電源スイッチＰＳＷのサイズは、例えば、初段が大きく、２段目が小さく設計される場合もある。このような構成においても、電源スイッチＰＳＷの段数を少なくし、復帰時間を短縮することができる。

以上の説明に関し、更に以下の項を開示する。
（付記１）
複数段の電源スイッチを段階的にオンすることによって内部回路に電源供給する電源供給回路を解析する解析装置であって、
前段までの電源スイッチをオン状態とし、オンすることによって発生する許容ノイズ量を超えない最大電源ノイズ量となる電源スイッチサイズを次段の電源スイッチとして決定する電源スイッチサイズ決定手段と、
前記次段の電源スイッチサイズによる電源ノイズが前記オンされてから収束判定量以下となるまでの時間をオン時間間隔として決定するオン時間間隔決定手段とを有する解析装置。
（付記２）
前記電源スイッチサイズは、前記電源スイッチの電流量を示し、
前記複数段ある電源スイッチサイズの合計値は、電源供給される内部回路の消費電流の供給サイズであることを特徴とする付記１記載の解析装置。
（付記３）
各段の電源スイッチサイズの合計値が前記内部回路の消費電流の供給サイズに達すると、電源スイッチの段数を決定する段数決定手段を更に有することを特徴とする付記２記載の解析装置。
（付記４）
前記電源スイッチサイズ決定手段は、前段までに決定した電源スイッチサイズの合計値を反映した第一電源スイッチと、次段の電源スイッチサイズを解析するための第二電源スイッチとを含む電源ノイズ解析モデルを用いて、前記オンすることによって発生する電源ノイズをシミュレーションすることを特徴とする付記３記載の解析装置。
（付記５）
１段目の電源スイッチサイズ及び２段目の電源スイッチに関し、
前記電源スイッチサイズ決定手段は、前記第一電源スイッチのサイズをゼロに設定し、オンする時の最大電源ノイズ量が、前記許容ノイズ量を超えない第二電源スイッチの最大サイズを１段目の電源スイッチサイズに設定し、
前記オン時間間隔決定手段は、電源ノイズ量が前記収束判定量以下の値になるまでの時間を２段目の電源スイッチとのオン時間間隔とすることを特徴とする付記４記載の解析装置。
（付記６）
２段目以降のｎ段目の電源スイッチサイズ及び（ｎ＋１）段目の電源スイッチに関し、
前記電源スイッチサイズ決定手段は、前記許容ノイズ量から前記収束判定量を差し引いた値を超えない最大電源ノイズ量となる電源スイッチサイズをｎ段目の電源スイッチサイズとし、
前記オン時間間隔決定手段は、前記最大電源ノイズ量が前記収束判定量以下の値になるまでの時間を（ｎ＋１）段目の電源スイッチとのオン時間間隔とすることを特徴とする付記１乃至５記載の解析装置。
（付記７）
前記収束判定量は、それより前段の電源スイッチオンによる電源ノイズ量が、ほぼ無視できるレベルに落ちている所であることを特徴とする付記１乃至５記載の解析装置。
（付記８）
前記電源スイッチサイズ決定手段は、前記収束判定量を変更しながら各段の電源スイッチサイズを決定し、
前記オン時間間隔決定手段は、変更した前記収束判定量に基づいて、各段のオン時間間隔の総和が最小値になる時の各段のオン時間間隔を選択して決定することを特徴とする付記１乃至６のいずれか一項記載の解析装置。
（付記９）
コンピュータが複数段の電源スイッチを段階的にオンすることによって内部回路に電源供給する電源供給回路を解析する解析方法であって、該コンピュータが、
前段までの電源スイッチをオン状態とし、オンすることによって発生する許容ノイズ量を超えない最大電源ノイズ量となる電源スイッチサイズを次段の電源スイッチとして決定する電源スイッチサイズ決定手順と、
前記次段の電源スイッチサイズによる電源ノイズが前記オンされてから収束判定量以下となるまでの時間をオン時間間隔として決定するオン時間間隔決定手順とを実行する解析方法。
（付記１０）
内部回路に段階的に電源供給する際に、各段の電源スイッチが順次オンされる際に発生し重畳した電源ノイズの最大量が許容ノイズ量を超えない電源スイッチサイズとした複数段の電源スイッチと、
前記複数段の電源スイッチを１段ずつ遅延させてオンするために、各段の電源スイッチのオン時間間隔を設定した遅延手段と、
を有する半導体装置。

本発明は、具体的に開示された実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲から逸脱することなく、種々の変形や変更が可能である。

２ ＬＳＩ
３ ＰＭＵ
５、５−１、５−２ 入力データ
６、６−１、６−２ 出力データ
７ａ 内部回路
７ｂ ＰＳＷ駆動バッファ
１０ａ、１０ｂ、１０ｃ 電源ノイズ波形
１１ ＣＰＵ
１２ メモリユニット
１３ 表示ユニット
１４ 出力ユニット
１５ 入力ユニット
１６ 通信ユニット
１７ 記憶装置
１８ ドライバ
１９ 記憶媒体
５１ ネットリスト
７０ 段階的ＰＳＷ解析部
７０ｍ 電源遮断回路モデル
９１ 電源ノイズ波形
９２ 最大の電源ノイズ波形
９３ オン時間間隔ΔＴ
９５ ＰＳＷ＿ｔｏｔａｌ
９６ 目標到達値
１００ 解析装置

Claims (5)

1. 複数段の電源スイッチを段階的にオンすることによって内部回路に電源供給する電源供給回路を解析する解析装置であって、
   前段までの電源スイッチをオン状態とし、オンすることによって発生する許容ノイズ量を超えない最大電源ノイズ量となる電源スイッチサイズを次段の電源スイッチとして決定する電源スイッチサイズ決定手段と、
   前記次段の電源スイッチサイズによる電源ノイズが前記オンされてから収束判定量以下となるまでの時間をオン時間間隔として決定するオン時間間隔決定手段とを有する解析装置。
2. 前記電源スイッチサイズは、前記電源スイッチの電流量を示し、
   前記複数段ある電源スイッチサイズの合計値は、電源供給される内部回路の消費電流の供給サイズであることを特徴とする請求項１記載の解析装置。
3. 各段の電源スイッチサイズの合計値が前記内部回路の消費電流の供給サイズに達すると、電源スイッチの段数を決定する段数決定手段を更に有することを特徴とする請求項２記載の解析装置。
4. 前記電源スイッチサイズ決定手段は、前段までに決定した電源スイッチサイズの合計値を反映した第一電源スイッチと、次段の電源スイッチサイズを解析するための第二電源スイッチとを含む電源ノイズ解析モデルを用いて、前記オンすることによって発生する電源ノイズをシミュレーションすることを特徴とする請求項３に記載の解析装置。
5. 内部回路に段階的に電源供給する際に、各段の電源スイッチが順次オンされる際に発生し重畳した電源ノイズの最大量が許容ノイズ量を超えない電源スイッチサイズとした複数段の電源スイッチと、
   前記複数段の電源スイッチを１段ずつ遅延させてオンするために、各段の電源スイッチのオン時間間隔を設定した遅延手段と、
   を有する半導体装置。

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