JP2011198761A - 薄膜蒸着用マスク・アセンブリ、及びこれを利用した有機発光装置、並びにその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板上に互いに対向するようにパターン化された第1電極並びに第2電極と、第1電極並びに第2電極間に形成された複数の有機膜とを含むが、該有機膜は、少なくとも複数個のストライプ型の有機膜と、1つの不連続的なドット型の有機膜を含む、有機発光装置、並びにこの製造方法であり、赤色、緑色及び青色の有機膜をコンパクトに配列できるので、高解像度の小型製品の製作が可能である。
【選択図】図3
Description
101 真空チャンバ
102 蒸着源
103 基板装着部
104,201,801 基板
105 マスク
106 排気装置
107 開口部パターン
200 有機発光装置
202 バッファ層
203 半導体活性層
203a ソース/ドレイン領域
204 ゲート絶縁膜
205 ゲート電極
206 層間絶縁膜
207 ソース/ドレイン電極
208 パッシベーション膜
209 平坦化膜
210 画素電極
211 画素定義膜
212 有機膜
213 対向電極
214 非発光領域
220,800 画素
221,821 第1有機膜
222,822 第2有機膜
223,823 第3有機膜
400 第1有機膜形成用マスク
401 第1スロット
500 第2有機膜形成用マスク
501 第2スロット
600 第3有機膜形成用マスク
601 第3スロット
OL 重複された領域
Claims (15)
- 基板上に互いに対向するようにパターン化された第1電極並びに第2電極と、
前記第1電極並びに第2電極間に形成された複数の有機膜と、を含むが、
前記有機膜は、少なくとも複数個のストライプ型の有機膜と、1つの不連続的なドット型の有機膜と、を含む有機発光装置。 - 前記複数のストライプ型の有機膜は、
前記基板の第1方向に沿って、基板の一縁から他の縁に延びた第1有機膜と、前記基板の第2方向に沿って、基板の一縁から他の縁に延び、前記第1有機膜と交差するように配列された第2有機膜と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の有機発光装置。 - 前記ドット型の有機膜は、前記第2有機膜に対して平行な方向に、基板の一縁から他の縁に不連続的に形成され、
前記第1有機膜並びに第2有機膜が互いに交差する部分の内側空間にそれぞれ配列され、それらと共に1つの画素をなすことを特徴とする請求項2に記載の有機発光装置。 - 相対的に発光効率が高い素材からなる少なくともいずれか1つの有機膜の発光領域に対して、相対的に発光効率が低い素材からなる残りの有機膜の発光領域は、さらに大きく形成されたことを特徴とする請求項1に記載の有機発光装置。
- 1つの画素を構成するストライプ型の第2有機膜の発光領域に対して、ストライプ型の第1有機膜の発光領域及びドット型の有機膜の発光領域が、さらに大きく形成されたことを特徴とすることを特徴とする請求項4に記載の有機発光装置。
- 基板上に、第1ストライプ型の第1有機膜パターンをパターン化させる段階と、
前記基板上に、第2ストライプ型の第2有機膜パターンをパターン化させる段階と、
前記基板上に、ドット型の第3有機膜パターンをパターン化させる段階と、を含む有機発光装置の製造方法。 - 前記第1有機膜パターンは、前記基板の第1方向に沿って、基板の一縁から他の縁に延び、
前記第2有機膜パターンは、前記基板の第2方向に沿って、基板の一縁から他の縁に延びるが、
前記第1有機膜パターンは、第2有機膜パターンに対して互いに交差する方向にパターン化させることを特徴とする請求項6に記載の有機発光装置の製造方法。 - 前記ドット型の第3有機膜パターンは、前記第2有機膜パターンに対して平行な方向に、基板の一縁から他の縁に不連続的にパターン化され、
前記第1有機膜パターンと第2有機膜パターンとが互いに交差する部分の内側空間にパターン化され、それらと共に1つの画素をなすことを特徴とする請求項7に記載の有機発光装置の製造方法。 - 相対的に発光効率が高い素材からなる少なくともいずれか1つの第1有機膜ないし第3有機膜のパターン領域に対して、相対的に発光効率が低い素材からなる残りの有機膜のパターン領域を、さらに大きく形成することを特徴とする請求項6に記載の有機発光装置の製造方法。
- 1つの画素を構成するストライプ型の第2有機膜パターン領域に対して、ストライプ型の第1有機膜のパターン領域及びドット型の有機膜のパターン領域をさらに大きく形成することを特徴とする請求項9に記載の有機発光装置の製造方法。
- 基板上に有機膜パターンを蒸着するためのものであり、
第1有機膜パターンを、前記基板上に蒸着させるためのストライプ型の第1スリットを有する第1有機膜形成用マスクと、
第2有機膜パターンを、前記基板上に蒸着させるためのストライプ型の第2スリットを有する第2有機膜形成用マスクと、
第3有機膜パターンを、前記基板上に蒸着させるためのドット型の第3スリットを有する第3有機膜形成用マスクと、を含む薄膜蒸着用マスク・アセンブリ。 - 前記ストライプ型の第1スリットは、前記基板の第1方向に沿って一縁から他の縁に延びて形成され、
前記ストライプ型の第2スリットは、前記第1スリットに対して、基板上で互いに交差する方向に配列されるように、前記基板の第2方向に沿って一縁から他の縁に延びて形成されたことを特徴とする請求項11に記載の薄膜蒸着用マスク・アセンブリ。 - 前記ドット型の第3スリットは、前記ストライプ型の第2スリットに対して、平行な方向に一縁から他の縁に不連続的に形成され、
前記第1スリット及び第2スリットが互いに交差する部分の内側空間に配列されたことを特徴とする請求項12に記載の薄膜蒸着用マスク・アセンブリ。 - 相対的に発光効率が高い素材からなる少なくともいずれか1つの第1有機膜パターンないし第3有機膜パターンを形成させるための有機膜原素材の蒸着される通路を提供するスリットの間隔に対して、相対的に発光効率が低い素材からなる残りの有機膜パターンを形成させるための有機膜原素材の通路を提供するスリットの間隔が、さらに大きく形成されたことを特徴とする請求項11に記載の薄膜蒸着用マスク・アセンブリ。
- 1つの画素を構成するストライプ型の第2有機膜パターンを形成させるためのスリットの間隔に対して、ストライプ型の第1有機膜パターンを形成させるためのスリットの間隔及びドット型の有機膜パターンを形成させるためのスリットの間隔が、さらに大きく形成されたことを特徴とする請求項11に記載の薄膜蒸着用アセンブリ。
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