JP2011194648A - Gas barrier laminate film - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a gas barrier laminate film excellent in transparency, heat resistance, impact resistance and dimensional stability.SOLUTION: In the gas barrier laminate film, a first layer which comprises a curable resin composition including a curable resin having a cage-type silsesquioxan structure and has ≥2,000 MPa tensile elastic modulus in a tensile stress-strain curve thereof, ≤80 ppm/K linear expansion coefficient and ≥300°C glass transition temperature, and a second layer which comprises another curable resin composition including another curable resin having the cage-type silsesquioxan structure, has ≥100 MPa tensile elastic modulus in the tensile stress-strain curve thereof, the linear expansion coefficient less than that of the first layer and a yield point and exhibits plastic deformation are laminated, wherein a gas barrier layer is provided on one or both surfaces of the obtained laminate.

Description

本発明は、透明性、耐熱性、耐衝撃性、及び寸法安定性に優れたガスバリア性積層体フィルムに関するものである。   The present invention relates to a gas barrier laminate film excellent in transparency, heat resistance, impact resistance, and dimensional stability.

従来、液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイ、プラズマディスプレイ、電子ペーパーなどに代表されるフラットパネルディスプレイには、ガラス材料が用いられてきた。しかしながら近年、ディスプレイには、薄型化、軽量化、大画面化、意匠性、耐衝撃性が求められ、屈曲や衝撃に対して割れやすい、比重が大きい、柔軟性および加工性に乏しい等の課題を有するガラス材料に代わって、プラスチックフィルムの適応が検討されている。プラスチックフィルムは、ガラス材料に比べ軽量、屈曲や衝撃に対して割れにくい、ロールtoロール生産に適応可能などの特徴を有する。特に、フレキシブルディスプレイの製造を目的とした場合には、好適である。   Conventionally, glass materials have been used for flat panel displays such as liquid crystal displays, organic EL displays, plasma displays, and electronic paper. However, in recent years, displays are required to be thinner, lighter, larger in screen size, designability, impact resistance, easily breakable with respect to bending and impact, high specific gravity, poor flexibility and workability, etc. As an alternative to glass materials having the above, application of plastic films is being studied. A plastic film is lighter than a glass material, has a feature that can be easily applied to roll-to-roll production, and is less susceptible to bending and impact. It is particularly suitable for the purpose of manufacturing a flexible display.

しかしながら、プラスチックフィルムはガラスに比べて耐熱性が低く、熱膨張や水蒸気の吸収・脱水による寸法安定性に劣るといった問題がある。例えば、プラスチックフィルムをディスプレイ用基板として用いる場合、カラーフィルター形成工程、薄膜トランジスタ形成工程、パネルの張り合わせ工程、配向膜形成工程、透明電極形成工程などの各種製造工程において、高いプロセス温度や水洗浄過程に繰り返し曝されることから、熱酸化劣化による基板へのダメージや熱膨張や水の吸収・脱水による寸法変動挙動が大きく、精度の高いディスプレイを作成することが困難である。   However, the plastic film has a problem that it has lower heat resistance than glass and is inferior in dimensional stability due to thermal expansion and absorption / dehydration of water vapor. For example, when using a plastic film as a substrate for a display, in various manufacturing processes such as a color filter forming process, a thin film transistor forming process, a panel bonding process, an alignment film forming process, and a transparent electrode forming process, Because of repeated exposure, damage to the substrate due to thermal oxidative degradation, dimensional fluctuation behavior due to thermal expansion, water absorption and dehydration is large, and it is difficult to produce a highly accurate display.

上記のような熱プロセスで受ける基板への影響を防ぐために、プラスチックフィルム上に無機や有機化合物からなる薄膜(ガスバリア層とする)を形成し、ガスバリア性を持たせたガスバリアフィルムの検討が行われている。ガスバリア層を設けることで、基板と酸素との接触を遮断し熱酸化劣化を防ぐ、また基板の吸水率を低下させ、寸法変動挙動を抑えることが可能となる。さらにガスバリア層は、液晶表示パネルやEL表示パネル等に形成されている素子と、酸素や水蒸気等の外部から侵入するガスとの接触を遮断し、発光性能の劣化を防止する役割を有する。   In order to prevent the influence of the thermal process on the substrate as described above, a gas barrier film that has a gas barrier property by forming a thin film (gas barrier layer) made of an inorganic or organic compound on a plastic film has been studied. ing. By providing the gas barrier layer, it is possible to prevent contact between the substrate and oxygen to prevent thermal oxidation deterioration, reduce the water absorption rate of the substrate, and suppress the dimensional variation behavior. Further, the gas barrier layer has a role of blocking the contact between an element formed in a liquid crystal display panel, an EL display panel, or the like and a gas entering from the outside such as oxygen or water vapor, thereby preventing deterioration in light emission performance.

上記のような要求に対する材料として、ポリカーボネートフィルムやポリエステルフィルムなどの透明プラスチックフィルム上にガスバリア層を形成した材料が提案されている(特許文献1、2参照)。また、積層体として、可撓性基材の片面又は両面に、厚さ0.1〜10μmのアクリル系樹脂層及び厚さ20〜100nmの無機ガスバリア層を順次積層した積層構造を設けた材料も提案されている(特許文献3参照)。しかしながら、このような材料は、透明性、柔軟性に優れたフィルムを得られるものの、フィルムのガラス転移温度が200℃以下であるため、150℃〜200℃以上の高温プロセスにおいて、基板の熱膨張によるガスバリア層の割れによってガスバリア性が保持できない、また熱による基板の変形といった問題が生じる。   As materials for the above requirements, materials in which a gas barrier layer is formed on a transparent plastic film such as a polycarbonate film or a polyester film have been proposed (see Patent Documents 1 and 2). In addition, as a laminated body, a material provided with a laminated structure in which an acrylic resin layer having a thickness of 0.1 to 10 μm and an inorganic gas barrier layer having a thickness of 20 to 100 nm are sequentially laminated on one surface or both surfaces of a flexible substrate. It has been proposed (see Patent Document 3). However, although such a material can obtain a film having excellent transparency and flexibility, since the glass transition temperature of the film is 200 ° C. or less, the thermal expansion of the substrate in a high temperature process of 150 ° C. to 200 ° C. Due to the cracking of the gas barrier layer, the gas barrier property cannot be maintained, and the substrate is deformed by heat.

特開2000−338901号公報JP 2000-338901 A 特開2007−268711号公報JP 2007-268711 A 特開2005−313560号公報JP 2005-313560 A

プラスチックフィルム等の基材上にガスバリア層を形成する際、なるべく高温で形成させることで、緻密な膜構造となりガスバリア性能を高めることが可能となる。さらに加熱プロセスを想定し、基材の熱膨張による寸法変化の絶対量を小さくすることにより、ガスバリア層へのストレスを抑えてガスバリア層のクラックを防ぐことに繋がる。そのため耐熱性に優れ、低熱膨張性のプラスチックフィルムにガスバリア層を設けたガスバリアフィルムが求められている。   When the gas barrier layer is formed on a substrate such as a plastic film, the gas barrier layer is formed at a temperature as high as possible, whereby a dense film structure can be obtained and the gas barrier performance can be improved. Furthermore, assuming a heating process, reducing the absolute amount of dimensional change due to thermal expansion of the base material suppresses stress on the gas barrier layer and prevents cracking of the gas barrier layer. Therefore, a gas barrier film having a gas barrier layer on a plastic film having excellent heat resistance and low thermal expansion is required.

本発明は、透明性、耐熱性、耐衝撃性、及び寸法安定性に優れたガスバリア性積層体フィルムを提供することを目的とする。   An object of this invention is to provide the gas-barrier laminated body film excellent in transparency, heat resistance, impact resistance, and dimensional stability.

本発明者らは、上記のような従来技術の問題を鑑みて鋭意検討を重ねた結果、籠型シルセスキオキサン構造を含有した硬化性樹脂からなる層を積層した積層物にガスバリア層を設けることで、これまでの課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。   As a result of intensive studies in view of the above-described problems of the prior art, the present inventors provide a gas barrier layer on a laminate in which layers made of a curable resin containing a cage silsesquioxane structure are laminated. Thus, the present inventors have found that the above problems can be solved, and have completed the present invention.

すなわち、本発明は、籠型シルセスキオキサン構造を有した硬化性樹脂を含んだ硬化性樹脂組成物からなり、引張応力−ひずみ曲線における引張弾性率が2000MPa以上、線膨張係数が80ppm/K以下、及びガラス転移温度が300℃以上である第一の層と、籠型シルセスキオキサン構造を有した硬化性樹脂を含んだ硬化性樹脂組成物からなり、引張応力−ひずみ曲線における引張弾性率が100MPa以上であって第一の層の引張弾性率未満であり、かつ、降伏点を有して塑性変形を示す第二の層とが積層され、この積層物の一方の面、又は両方の面には、ガスバリア層が設けられていることを特徴とするガスバリア性積層体フィルムである。   That is, the present invention comprises a curable resin composition containing a curable resin having a cage-type silsesquioxane structure, a tensile elastic modulus in a tensile stress-strain curve of 2000 MPa or more, and a linear expansion coefficient of 80 ppm / K. A tensile elasticity in a tensile stress-strain curve comprising: a first layer having a glass transition temperature of 300 ° C. or higher; and a curable resin composition containing a curable resin having a cage silsesquioxane structure. A layer having a modulus of 100 MPa or more and less than the tensile modulus of the first layer and having a yield point and exhibiting plastic deformation, one side of the laminate, or both The gas barrier layered film is characterized in that a gas barrier layer is provided on the surface.

本発明のガスバリア性積層体フィルムは、ガスバリア性、透明性、耐熱性、耐衝撃性、及び寸法安定性に優れていることから、軽量であると共に、屈曲や衝撃に対して割れにくい、しかも、ロールtoロール生産に適応可能であるなど、フレキシブルディスプレイの製造を目的としたディスプレイ基板として特に好適である。そのため、本発明は、その産業上の利用価値が極めて高いものである。   Since the gas barrier laminate film of the present invention is excellent in gas barrier properties, transparency, heat resistance, impact resistance, and dimensional stability, it is lightweight, and is difficult to bend against bending and impact, It is particularly suitable as a display substrate for the purpose of manufacturing flexible displays, such as being adaptable to roll-to-roll production. Therefore, the present invention has extremely high industrial utility value.

図1は、製造例3で得られた成形体(第二の層)の引張応力−ひずみ曲線を示す。FIG. 1 shows a tensile stress-strain curve of a molded body (second layer) obtained in Production Example 3. 図2は、製造例4で得られた成形体(第二の層)の引張応力−ひずみ曲線を示す。FIG. 2 shows a tensile stress-strain curve of the molded body (second layer) obtained in Production Example 4.

以下、本発明のガスバリア性積層体フィルムについて、好適な実施の形態に基づいて詳細に説明する。   Hereinafter, the gas barrier laminate film of the present invention will be described in detail based on preferred embodiments.

(第一の層)
第一の層(内層材)は、もう一方の第二の層の熱膨張を拘束し、ガスバリア性積層体フィルムの面内方向の熱膨張を抑制すると共に、面衝撃に対してガスバリア性積層体フィルムのたわみ量を低減させる役割を担う。そのため、寸法安定性に優れて剛性の高い材料からなることが条件となる。
(First layer)
The first layer (inner layer material) restrains the thermal expansion of the other second layer, suppresses the thermal expansion in the in-plane direction of the gas barrier laminate film, and prevents the gas barrier laminate from surface impact. Plays the role of reducing the amount of film deflection. Therefore, it is necessary to be made of a material having excellent dimensional stability and high rigidity.

具体的には、籠型シルセスキオキサン構造を含有した硬化性樹脂を硬化して得られる成形体であって、引張応力−ひずみ曲線における引張弾性率が2000MPa以上、線膨張係数が80ppm/K以下、及びガラス転移温度が300℃以上を満たすフィルムであることが必要であり、波長550nmでの光透過率が90%以上であることが好ましい。   Specifically, it is a molded article obtained by curing a curable resin containing a cage silsesquioxane structure, and has a tensile modulus of elasticity of 2000 MPa or more and a linear expansion coefficient of 80 ppm / K in a tensile stress-strain curve. Hereinafter, it is necessary that the film satisfies a glass transition temperature of 300 ° C. or higher, and the light transmittance at a wavelength of 550 nm is preferably 90% or higher.

第一の層の引張弾性率について、2000MPa未満であると面衝撃に対して内層のたわみ量が大きくなり、ガスバリア性積層体フィルムとして十分な耐衝撃性が得られない。   If the tensile modulus of the first layer is less than 2000 MPa, the amount of deflection of the inner layer with respect to the surface impact increases, and sufficient impact resistance as a gas barrier laminate film cannot be obtained.

ガスバリア性積層体フィルムの面内方向の熱膨張は、第一の層が第二の層の膨張を拘束することにより、ガスバリア性積層体フィルムとしての線膨張係数を第一の層の値まで抑えることが可能となる。故に、第一の層の線膨張係数が80ppm/Kを越える値であると、ガスバリア性積層体フィルムの線膨張係数が80ppm/K以上となり、ガスバリア性積層体フィルムを加熱処理した際、ガスバリア層と、第一の層と第二の層とからなる積層物(以下、「積層フィルム」と言うことがある)との熱膨張差が大きくなることから、ガスバリア層にクラックが入り、十分なガスバリア機能を発揮できなくなる。   The thermal expansion in the in-plane direction of the gas barrier laminate film suppresses the linear expansion coefficient as the gas barrier laminate film to the value of the first layer by the first layer constraining the expansion of the second layer. It becomes possible. Therefore, when the linear expansion coefficient of the first layer exceeds 80 ppm / K, the linear expansion coefficient of the gas barrier laminate film becomes 80 ppm / K or more, and when the gas barrier laminate film is heat-treated, the gas barrier layer And a laminate composed of the first layer and the second layer (hereinafter sometimes referred to as “laminated film”), the gas barrier layer is cracked and a sufficient gas barrier The function cannot be demonstrated.

第一の層のガラス転移温度について、300℃未満であると得られるガスバリア性積層体フィルムとして、ディスプレイ製造工程において重要である耐熱性が不足する。   About the glass transition temperature of a 1st layer, as a gas-barrier laminated body film obtained as it is less than 300 degreeC, the heat resistance important in a display manufacturing process is insufficient.

第一の層の波長550nmでの光透過率が90%未満であると、得られるガスバリア性積層体フィルムとして、液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイなどの透明フィルム用途において重要である光透過性が不足となり、画像の視認性等に問題が生じる。   If the light transmittance at a wavelength of 550 nm of the first layer is less than 90%, the obtained gas barrier laminate film has insufficient light transmittance, which is important in the use of transparent films such as liquid crystal displays and organic EL displays. Problems arise in the visibility of the image.

上記のような第一の層を形成するに際して、硬化性を有する籠型シルセスキオキサン樹脂を含有した硬化性樹脂組成物を用いるようにする。   In forming the first layer as described above, a curable resin composition containing a cage-type silsesquioxane resin having curability is used.

好ましくは、第一の層の形成に用いられる硬化性樹脂組成物には、下記一般式(1)
[RSiO3/2]n (1)
〔但し、nは8〜14の整数を示し、Rは又は下記一般式(2)、(3)又は(4)

Figure 2011194648
(但し、mは1〜3の整数であり、R1は水素原子又はメチル基を示す)のいずれか一つから選ばれる有機官能基)である〕で表される籠型シルセスキオキサン樹脂を含有させるのが良い。 Preferably, the curable resin composition used for forming the first layer includes the following general formula (1):
[RSiO 3/2 ] n (1)
[However, n represents an integer of 8 to 14, and R represents the following general formula (2), (3) or (4)
Figure 2011194648
(Wherein m is an integer of 1 to 3 and R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group), a cage silsesquioxane resin represented by It is good to contain.

第一の層の形成に用いる籠型シルセスキオキサン樹脂は、ケイ素原子全てに(メタ)アクリロイル基、グリシジル基又はビニル基を有する有機官能基からなる反応性官能基を有して、分子量分布及び分子構造の制御された籠型シルセスキオキサン樹脂であるのが好ましいが、一部がアルキル基、フェニル基等に置き換わっていても差し支えなく、また、完全に閉じた多面体構造ではなく、一部が開裂したような構造であってもよい。   The vertical silsesquioxane resin used for forming the first layer has a reactive functional group consisting of an organic functional group having a (meth) acryloyl group, a glycidyl group or a vinyl group on all silicon atoms, and has a molecular weight distribution. In addition, a cage-type silsesquioxane resin having a controlled molecular structure is preferable, but it may be partially substituted with an alkyl group, a phenyl group, or the like, and it is not a completely closed polyhedral structure. The structure may be such that the part is cleaved.

また、第一の層の形成に用いる籠型シルセスキオキサン樹脂を含有した硬化性樹脂組成物は、籠型シルセスキオキサン樹脂のほか、この籠型シルセスキオキサン樹脂と相溶性及び反応性を有する硬化性樹脂を混合した硬化性樹脂組成物であるのが良い。このような硬化性樹脂組成物としては、加熱処理により硬化可能な樹脂組成物、或いは活性エネルギー線を照射して硬化可能な樹脂組成物あればよく、特に制限されない。   Moreover, the curable resin composition containing the cage silsesquioxane resin used for forming the first layer is compatible with and reacts with the cage silsesquioxane resin as well as the cage silsesquioxane resin. A curable resin composition in which a curable resin having properties is mixed is preferable. Such a curable resin composition is not particularly limited as long as it is a resin composition that can be cured by heat treatment or a resin composition that can be cured by irradiation with active energy rays.

籠型シルセスキオキサン樹脂と相溶性及び反応性を有する硬化性樹脂としては例えば、構造単位の繰り返し数が2〜20程度の重合体である反応性のオリゴマー又は低分子量、低粘度の反応性モノマーが挙げられる。具体的には、反応性のオリゴマーとしては、エポキシアクリレート、エポキシ化油アクリレート、ウレタンアクリレート、不飽和ポリエステル、ポリエステルアクリレート、ポリエーテルアクリレート、ビニルアクリレート、ポリエン/チオール、シリコーンアクリレート、ポリブタジエン、ポリスチリルエチルメタクリレート等を例示することができる。また、反応性モノマーとしては、スチレン、酢酸ビニル、N−ビニルピロリドン、ブチルアクリレート、2−エチルヘキシルアクリレート、n−ヘキシルアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、n−デシルアクリレート、イソボニルアクリレート、ジシクロペンテニロキシエチルアクリレート、フェノキシエチルアクリレート、トリフルオロエチルメタクリレート等の単官能モノマー又は、ジシクロペンタニルジアクリレート、トリプロピレングリコールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、ビスフェノールAジグリシジルエーテルジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート等の多官能モノマーを例示することができる。   Examples of the curable resin having compatibility and reactivity with the cage silsesquioxane resin include a reactive oligomer or a low molecular weight, low viscosity reactivity which is a polymer having about 20 to 20 structural units. Monomer. Specifically, reactive oligomers include epoxy acrylate, epoxidized oil acrylate, urethane acrylate, unsaturated polyester, polyester acrylate, polyether acrylate, vinyl acrylate, polyene / thiol, silicone acrylate, polybutadiene, and polystyrylethyl methacrylate. Etc. can be illustrated. As reactive monomers, styrene, vinyl acetate, N-vinylpyrrolidone, butyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, n-hexyl acrylate, cyclohexyl acrylate, n-decyl acrylate, isobornyl acrylate, dicyclopentenyloxyethyl acrylate Monofunctional monomers such as phenoxyethyl acrylate and trifluoroethyl methacrylate, or dicyclopentanyl diacrylate, tripropylene glycol diacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, bisphenol A diglycidyl ether diacrylate, tetraethylene glycol diacrylate Acrylate, hydroxypivalate neopentyl glycol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, penta Risuri tall triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, can be exemplified polyfunctional monomers such as dipentaerythritol hexaacrylate.

籠型シルセスキオキサン樹脂と相溶性及び反応性を有する硬化性樹脂としては、以上に例示したもの以外に、各種反応性オリゴマー、モノマーを用いることができ、これらはそれぞれ単独で使用しても、2種類以上混合して使用してもよい。   As the curable resin having compatibility and reactivity with the cage silsesquioxane resin, in addition to those exemplified above, various reactive oligomers and monomers can be used. Two or more types may be mixed and used.

第一の層の形成に用いる籠型シルセスキオキサン樹脂を含有した硬化性樹脂組成物は、本発明の目的から外れない範囲で各種添加剤を添加することができる。各種添加剤として有機/無機フィラー、可塑剤、難燃剤、熱安定剤、酸化防止剤、光安定剤、紫外線吸収剤、滑剤、帯電防止剤、離型剤、発泡剤、核剤、着色剤、架橋剤、分散助剤等を例示することができるが、これらに限定されるものではない。   Various additives can be added to the curable resin composition containing the cage silsesquioxane resin used for forming the first layer without departing from the object of the present invention. Various additives include organic / inorganic fillers, plasticizers, flame retardants, heat stabilizers, antioxidants, light stabilizers, UV absorbers, lubricants, antistatic agents, mold release agents, foaming agents, nucleating agents, colorants, Examples thereof include, but are not limited to, a crosslinking agent and a dispersion aid.

さらに、第一の層の形成に用いる籠型シルセスキオキサン樹脂を含有した硬化性樹脂組成物は、籠型シルセスキオキサン樹脂を含有するものであることが必要であるが、このような籠型シルセスキオキサン樹脂の含有量は、3質量%以上となる量であることが好ましい。前記含有量が3質量%未満では、得られるガスバリア性積層体フィルムを高温プロセスが必要な用途に用いた場合、十分な耐熱性が得られない。   Further, the curable resin composition containing the cage silsesquioxane resin used for forming the first layer is required to contain the cage silsesquioxane resin. The content of the cage silsesquioxane resin is preferably 3% by mass or more. When the content is less than 3% by mass, sufficient heat resistance cannot be obtained when the obtained gas barrier laminate film is used for an application requiring a high-temperature process.

また、第一の層の形成に用いる籠型シルセスキオキサン樹脂を含有した硬化性樹脂組成物は、必要に応じて、重合開始剤を含有していてもよい。このような重合開始剤としては、光重合開始剤、または熱重合開始剤であればよく、市販されているものを適宜選択して使用することができる。光重合開始剤としては、例えば、アルキンフェノン系、アシルフォスフィンオキサイド系、チタノセン系等が挙げられる。熱重合開始剤としては、例えば、ケトンパーオキサイド系、パーオキシケタール系、ハイドロパーオキサイド系、ジアルキルパーオキサイド系、ジアシルパーオキサイド系、パーオキシジカーボネート系、パーオキシエステル系等が挙げられる。   Moreover, the curable resin composition containing the cage silsesquioxane resin used for forming the first layer may contain a polymerization initiator, if necessary. Such a polymerization initiator may be a photopolymerization initiator or a thermal polymerization initiator, and commercially available ones can be appropriately selected and used. Examples of the photopolymerization initiator include alkynephenone, acylphosphine oxide, and titanocene. Examples of the thermal polymerization initiator include ketone peroxides, peroxyketals, hydroperoxides, dialkyl peroxides, diacyl peroxides, peroxydicarbonates, and peroxyesters.

本発明では、適当な溶媒を希釈剤として用いて、硬化性樹脂組成物の粘度を調整するなどして用いることもできるが、溶媒の揮発除去工程を考慮すると、時間を要して生産効率が低下すること、また、硬化後に得られる樹脂層内部に残留溶媒等が存在して成形フィルムの特性低下につながることなどから、塗布される硬化性樹脂組成物中、溶媒の含有量は5%以下にとどめておくことがよく、より好ましくは、溶媒が含有されていないものを使用するのがよい。また、このような硬化性樹脂組成物は、硬化の際に揮発分を発生しないものであることが好ましい。   In the present invention, an appropriate solvent can be used as a diluent to adjust the viscosity of the curable resin composition. In addition, the content of the solvent in the applied curable resin composition is 5% or less because the residual solvent is present inside the resin layer obtained after curing, resulting in deterioration of the properties of the molded film. However, it is preferable to use one that does not contain a solvent. Moreover, it is preferable that such curable resin composition is a thing which does not generate | occur | produce a volatile matter in the case of hardening.

(第二の層)
第二の層(外層材)は、ガスバリア性積層体フィルムとして用いる際、面衝撃で生じたガスバリア層のクラック伝播を抑制し、フィルムの破断を防ぐための衝撃吸収層としての役割を担う。そのため、外部応力に対して弾性限界を超えてすぐに破断するのではなく、塑性変形に変える降伏挙動によって応力を分散させる材料であることが必要条件となる。
(Second layer)
When the second layer (outer layer material) is used as a gas barrier laminate film, the second layer (outer layer material) plays a role as an impact absorbing layer for suppressing crack propagation of the gas barrier layer caused by surface impact and preventing the film from breaking. Therefore, it is a necessary condition that the material disperses the stress by the yield behavior that changes to plastic deformation, rather than breaking immediately beyond the elastic limit with respect to external stress.

具体的には、籠型シルセスキオキサン構造を含有した硬化性樹脂から得られる成形体であって、引張応力−ひずみ曲線における引張弾性率が100MPa以上であって第一の層の引張弾性率未満であり、かつ、降伏点を有して塑性変形を示す材料から構成されることが必要であり、また波長550nmでの光透過率が90%以上であることが好ましい。なお、引張弾性率の上限の目安としては3000MPa程度である。   Specifically, it is a molded body obtained from a curable resin containing a cage silsesquioxane structure, and has a tensile elastic modulus in a tensile stress-strain curve of 100 MPa or more, and a tensile elastic modulus of the first layer. And having a yield point and exhibiting plastic deformation, and the light transmittance at a wavelength of 550 nm is preferably 90% or more. The upper limit of the tensile elastic modulus is about 3000 MPa.

第二の層の引張弾性率が100MPa未満であると、面衝撃に対して第二の層のたわみ量が大きくなるため、ガスバリア性積層体フィルムとして十分な耐衝撃性を得られない。また、引張弾性率が第一の層の弾性率を超える値であると、ガスバリア性積層体フィルムを加熱した際、第一の層が第二の層の熱膨張を抑制することができなくなるため、積層体フィルムの熱膨張が大きくなる。その結果、ガスバリア層と積層フィルムとの熱膨張差も大きくなるため、ガスバリア層にクラックが入り、十分なガスバリア機能を発揮できなくなる。   If the tensile modulus of the second layer is less than 100 MPa, the amount of deflection of the second layer will increase with respect to the surface impact, so that sufficient impact resistance as a gas barrier laminate film cannot be obtained. Moreover, when the tensile modulus is a value exceeding the elastic modulus of the first layer, the first layer cannot suppress the thermal expansion of the second layer when the gas barrier laminate film is heated. The thermal expansion of the laminate film is increased. As a result, the difference in thermal expansion between the gas barrier layer and the laminated film also increases, so that the gas barrier layer cracks, and a sufficient gas barrier function cannot be exhibited.

また、第二の層が、引張応力−ひずみ曲線において、降伏点を有し塑性変形を示さない材料であると、面衝撃によって生じたガスバリア層のクラック伝播を抑制できずフィルムが容易に破断してしまう。具体的には、引張応力−ひずみ曲線において、引張降伏伸び及び引張破壊伸びを有することが必要であり、引張降伏伸びは特に制限はなく、引張破壊伸びが好ましくは5%以上、より好ましくは10%以上、及び引張降伏強さが好ましくは10MPa以上、より好ましくは30MPa以上、さらに引張破壊強さが好ましくは10MPa以上、より好ましくは30MPa以上である材料がよい。   Also, if the second layer is a material that has a yield point and does not show plastic deformation in the tensile stress-strain curve, it is difficult to suppress the crack propagation of the gas barrier layer caused by the surface impact, and the film breaks easily. End up. Specifically, in the tensile stress-strain curve, it is necessary to have a tensile yield elongation and a tensile fracture elongation. The tensile yield elongation is not particularly limited, and the tensile fracture elongation is preferably 5% or more, more preferably 10 %, And a material having a tensile yield strength of preferably 10 MPa or more, more preferably 30 MPa or more, and a tensile fracture strength of preferably 10 MPa or more, more preferably 30 MPa or more.

第二の層の波長550nmでの光透過率が90%未満であると、得られるガスバリア性積層体フィルムとして、液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイなどの透明フィルム用途において重要である光透過性が不足となり、画像の視認性等に問題が生じる。   If the light transmittance at a wavelength of 550 nm of the second layer is less than 90%, the obtained gas barrier laminate film has insufficient light transmittance, which is important in the use of transparent films such as liquid crystal displays and organic EL displays. Problems arise in the visibility of the image.

上記のような第二の層を形成するに際しては、籠型シルセスキオキサン含有硬化性シリコーン共重合体樹脂を含有した硬化性樹脂組成物を用いるようにする。   In forming the second layer as described above, a curable resin composition containing a cage-type silsesquioxane-containing curable silicone copolymer resin is used.

第二の層を形成する硬化性樹脂組成物は、好ましくは、下記一般式(5)
Y−[Z−(O1/2−R2 2SiO1/2)a−(R3SiO3/2)k−(O1/2)b]l−Z−Y
(5)
〔但し、R2及びR3はビニル基、アルキル基、フェニル基、(メタ)アクリロイル基、アリル基又はオキシラン環を有する基であって、R2又はR3において、各置換基は互いに同じか異なるものであってもよいが、1分子中に含まれるR3のうち少なくとも1つはビニル基、(メタ)アクリロイル基、アリル基又はオキシラン環を有する基のいずれかである。また、a及びbは0〜3の数であって、1≦a+b≦4の関係を満たし、kは8〜14の数を示し、kが奇数の場合は、aとbはゼロを含めた偶数と奇数との組み合わせであり、kが偶数の場合は、aとbはゼロを含めた偶数の組み合わせであり、lは1〜2000の数を示す。更に、Zは下記一般式(6)

Figure 2011194648
(但し、R4は水素原子、ビニル基、アルキル基、フェニル基、(メタ)アクリロイル基、アリル基又はオキシラン環を有する基であって、R4は互いに同じか異なるものであってもよく、また、pは0〜30の数を示す。)で表される2価の基であり、Yは下記一般式(7)〜(10)から選ばれるいずれかの1価の基である。
[(R5O)R6 2SiO1/2]c−[R7SiO3/2]d−[O1/2]− (7)
[R51/2]e−[R7SiO3/2]d−[O1/2−R6 2SiO1/2]− (8)
(R51/2)− (9)
(R5 3SiO1/2)− (10)
(但し、R6及びR7はビニル基、アルキル基、フェニル基、(メタ)アクリロイル基、アリル基、又はオキシラン環を有する基であって、R6又はR7において、各置換基は互いに同じか異なるものであってもよく、R5は水素原子、メチル基又はエチル基から選ばれ、また、c及びeは0〜3の数であり、dは8〜14の数であり、dが奇数の場合は、cとeはそれぞれ独立に0又は2であり、dが偶数の場合は、cとeはそれぞれ独立に1又は3である。)〕で表される構成単位を有する籠型シルセスキオキサン含有硬化性シリコーン共重合体を含有するのが良い。 The curable resin composition forming the second layer is preferably the following general formula (5)
Y- [Z- (O 1/2 -R 2 2 SiO 1/2) a - (R 3 SiO 3/2) k - (O 1/2) b] l -Z-Y
(5)
[However, R 2 and R 3 are vinyl group, alkyl group, phenyl group, (meth) acryloyl group, allyl group or group having an oxirane ring, and in R 2 or R 3 , are each substituents the same as each other? Although it may be different, at least one of R 3 contained in one molecule is any of a vinyl group, a (meth) acryloyl group, an allyl group, or a group having an oxirane ring. Further, a and b are numbers from 0 to 3, satisfying the relationship of 1 ≦ a + b ≦ 4, k is a number from 8 to 14, and when k is an odd number, a and b are zero. When k is an even number, a and b are even number combinations including zero, and l represents a number from 1 to 2000. Furthermore, Z is the following general formula (6)
Figure 2011194648
(However, R 4 is a hydrogen atom, vinyl group, alkyl group, phenyl group, (meth) acryloyl group, allyl group or a group having an oxirane ring, and R 4 may be the same or different from each other, P is a divalent group represented by 0 to 30), and Y is any monovalent group selected from the following general formulas (7) to (10).
[(R 5 O) R 6 2 SiO 1/2 ] c- [R 7 SiO 3/2 ] d- [O 1/2 ]-(7)
[R 5 O 1/2 ] e- [R 7 SiO 3/2 ] d- [O 1/2 -R 6 2 SiO 1/2 ]-(8)
(R 5 O 1/2 ) − (9)
(R 5 3 SiO 1/2 ) − (10)
(However, R 6 and R 7 are vinyl groups, alkyl groups, phenyl groups, (meth) acryloyl groups, allyl groups, or groups having an oxirane ring, and in R 6 or R 7 , each substituent is the same as each other. R 5 is selected from a hydrogen atom, a methyl group or an ethyl group, c and e are a number from 0 to 3, d is a number from 8 to 14, and d is In the case of an odd number, c and e are each independently 0 or 2, and in the case where d is an even number, c and e are each independently 1 or 3.)] It is preferable to contain a silsesquioxane-containing curable silicone copolymer.

第二の層の形成に用いる硬化性樹脂組成物としては、籠型シルセスキオキサン含有硬化性シリコーン共重合体、及びこの籠型シルセスキオキサン含有硬化性シリコーン共重合体と相溶性及び反応性を有する樹脂であれば、特に限定するものではない。   The curable resin composition used for forming the second layer includes a cocoon-type silsesquioxane-containing curable silicone copolymer, and compatibility and reaction with the cocoon-type silsesquioxane-containing curable silicone copolymer. The resin is not particularly limited as long as it has a property.

籠型シルセスキオキサン含有硬化性シリコーン共重合体と相溶性及び反応性を有する硬化性樹脂としては、例えば、構造単位の繰り返し数が2〜20程度の重合体である反応性のオリゴマー又は低分子量、低粘度の反応性モノマーが挙げられる。具体的には、反応性のオリゴマーとしては、エポキシアクリレート、エポキシ化油アクリレート、ウレタンアクリレート、不飽和ポリエステル、ポリエステルアクリレート、ポリエーテルアクリレート、ビニルアクリレート、ポリエン/チオール、シリコーンアクリレート、ポリブタジエン、ポリスチリルエチルメタクリレート等を例示することができる。また、反応性モノマーとしては、スチレン、酢酸ビニル、N−ビニルピロリドン、ブチルアクリレート、2−エチルヘキシルアクリレート、n−ヘキシルアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、n−デシルアクリレート、イソボニルアクリレート、ジシクロペンテニロキシエチルアクリレート、フェノキシエチルアクリレート、トリフルオロエチルメタクリレート等の単官能モノマー又は、ジシクロペンタニルジアクリレート、トリプロピレングリコールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、ビスフェノールAジグリシジルエーテルジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート等の多官能モノマーを例示することができ、これらはそれぞれ単独で使用しても、2種類以上混合して使用してもよい。   Examples of the curable resin having compatibility and reactivity with the cage-type silsesquioxane-containing curable silicone copolymer include, for example, a reactive oligomer that is a polymer having about 2 to 20 repeating structural units, or a low Examples thereof include reactive monomers having a low molecular weight and low molecular weight. Specifically, reactive oligomers include epoxy acrylate, epoxidized oil acrylate, urethane acrylate, unsaturated polyester, polyester acrylate, polyether acrylate, vinyl acrylate, polyene / thiol, silicone acrylate, polybutadiene, and polystyrylethyl methacrylate. Etc. can be illustrated. As reactive monomers, styrene, vinyl acetate, N-vinylpyrrolidone, butyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, n-hexyl acrylate, cyclohexyl acrylate, n-decyl acrylate, isobornyl acrylate, dicyclopentenyloxyethyl acrylate Monofunctional monomers such as phenoxyethyl acrylate and trifluoroethyl methacrylate, or dicyclopentanyl diacrylate, tripropylene glycol diacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, bisphenol A diglycidyl ether diacrylate, tetraethylene glycol diacrylate Acrylate, hydroxypivalate neopentyl glycol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, penta Risuri tall triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, can be exemplified a multifunctional monomer such as dipentaerythritol hexaacrylate, be used each of which alone or may be used in combination of two or more.

また、透明性、耐熱性、光学特性、寸法安定性等のガスバリア性積層体フィルムの特性を損なわない範囲で、各種添加剤を添加することができる。各種添加剤として熱可塑性樹脂及び熱硬化性のエラストマーやゴム、有機/無機フィラー、可塑剤、難燃剤、熱安定剤、酸化防止剤、光安定剤、紫外線吸収剤、滑剤、帯電防止剤、離型剤、発泡剤、核剤、着色剤、架橋剤、分散助剤等を例示することができるが、これらに限定されるものではない。   Moreover, various additives can be added in the range which does not impair the characteristics of the gas barrier laminate film such as transparency, heat resistance, optical characteristics and dimensional stability. Various additives include thermoplastic resins and thermosetting elastomers and rubbers, organic / inorganic fillers, plasticizers, flame retardants, thermal stabilizers, antioxidants, light stabilizers, UV absorbers, lubricants, antistatic agents, release agents. Examples of the molding agent, foaming agent, nucleating agent, coloring agent, cross-linking agent, and dispersion aid may be mentioned, but the invention is not limited thereto.

第二の層の形成に用いる硬化性樹脂組成物における籠型シルセスキオキサン含有硬化性シリコーン共重合体の含有量は、好ましくは3質量%以上、より好ましくは15質量%以上である。前記含有量が3質量%未満では、得られる積層体フィルムを高温プロセスが必要な用途に用いた場合、十分な耐熱性が得られない。   The content of the cocoon-shaped silsesquioxane-containing curable silicone copolymer in the curable resin composition used for forming the second layer is preferably 3% by mass or more, more preferably 15% by mass or more. When the content is less than 3% by mass, sufficient heat resistance cannot be obtained when the obtained laminate film is used for an application requiring a high temperature process.

また、第二の層の形成に用いる籠型シルセスキオキサン含有硬化性シリコーン共重合体を含有した硬化性樹脂組成物には、必要に応じて、重合開始剤を更に有していてもよい。このような重合開始剤としては、光重合開始剤、熱重合開始剤であればよく、市販されているものを適宜選択して使用することができる。光重合開始剤としては、例えば、アルキンフェノン系、アシルフォスフィンオキサイド系、チタノセン系等が挙げられる。熱重合開始剤としては、例えば、ケトンパーオキサイド系、パーオキシケタール系、ハイドロパーオキサイド系、ジアルキルパーオキサイド系、ジアシルパーオキサイド系、パーオキシジカーボネート系、パーオキシエステル系等が挙げられる。   Moreover, the curable resin composition containing the cage-type silsesquioxane-containing curable silicone copolymer used for forming the second layer may further have a polymerization initiator, if necessary. . Such a polymerization initiator may be a photopolymerization initiator or a thermal polymerization initiator, and commercially available ones can be appropriately selected and used. Examples of the photopolymerization initiator include alkynephenone, acylphosphine oxide, and titanocene. Examples of the thermal polymerization initiator include ketone peroxides, peroxyketals, hydroperoxides, dialkyl peroxides, diacyl peroxides, peroxydicarbonates, and peroxyesters.

本発明では、適当な溶媒を希釈剤として用い硬化性樹脂組成物の粘度調整等して用いることもできるが、溶媒の揮発除去工程を考慮すると時間を要し、生産効率が低下すること、硬化後に得られる樹脂層内部に残留溶媒等が存在して成形フィルムの特性低下につながることなどから、塗布される硬化性樹脂組成物中、溶媒の含有量は5%以下にとどめておくことがよく、より好ましくは、溶媒が含有されていないものを使用するのがよい。また、このような硬化性樹脂組成物は、硬化の際に揮発分を発生しないものであることが好ましい。   In the present invention, an appropriate solvent can be used as a diluent to adjust the viscosity of the curable resin composition, etc., but it takes time when considering the solvent volatilization removal process, and the production efficiency is lowered. In the curable resin composition to be applied, it is preferable to keep the content of the solvent at 5% or less because a residual solvent or the like is present inside the resin layer obtained later and leads to deterioration of the properties of the molded film. More preferably, it is preferable to use one that does not contain a solvent. Moreover, it is preferable that such curable resin composition is a thing which does not generate | occur | produce a volatile matter in the case of hardening.

(積層フィルム)
第一の層と第二の層とを積層させた積層物(積層体フィルム)の厚みは、1〜400μmが好ましく、より好ましくは10〜200μmであり、さらに好ましくは50〜100μmであるのが良い。また、積層フィルムの第二の層と第一の層との厚み比率(第二の層の厚み÷第一の層の厚み)は0.01以上及び5.0以下となるようにするのが良い。より好ましくは、0.01以上及び2.0以下であるのが良い。厚み比率が5.0以上であると、第二の層が厚くなりすぎて、加熱により第一の層が第二の層の熱膨張を抑制することができなくなり、ガスバリア層を設けたガスバリア性積層体フィルムとした際、ガスバリア層にクラックが発生しやすくなる。一方、厚みの比率が0.01未満であると、第二の層が薄くなりすぎて、衝撃吸収層としての効果が発揮できず十分な耐衝撃性が得られない。
(Laminated film)
As for the thickness of the laminated body (laminated body film) which laminated | stacked the 1st layer and the 2nd layer, 1-400 micrometers is preferable, More preferably, it is 10-200 micrometers, More preferably, it is 50-100 micrometers. good. The thickness ratio of the second layer and the first layer of the laminated film (the thickness of the second layer / the thickness of the first layer) should be 0.01 or more and 5.0 or less. good. More preferably, it is 0.01 or more and 2.0 or less. When the thickness ratio is 5.0 or more, the second layer becomes too thick, and it becomes impossible for the first layer to suppress the thermal expansion of the second layer by heating, and the gas barrier property provided with the gas barrier layer When a laminate film is used, cracks are likely to occur in the gas barrier layer. On the other hand, if the thickness ratio is less than 0.01, the second layer becomes too thin, and the effect as the shock absorbing layer cannot be exhibited, and sufficient impact resistance cannot be obtained.

積層フィルムは、第一の層を内側にして、外側両面に第二の層を設けた三層構造からなる積層体フィルムにすることが好ましい。外層材を片面のみに設けた積層体フィルムに比べて反りや変形等を更に低減させることができる。   The laminated film is preferably a laminated film having a three-layer structure in which the first layer is on the inner side and the second layer is provided on both outer sides. Warpage, deformation, and the like can be further reduced as compared with a laminate film in which the outer layer material is provided only on one side.

積層フィルムの面方向の線膨張係数は、好ましくは80ppm/K以下、より好ましくは60ppm/K以下であるのが良い。80ppm/Kを超える値であるとガスバリア層を設けたガスバリア性積層体フィルムを加熱した際、ガスバリア層と積層体フィルムの熱膨張差が大きくなるためガスバリア層にクラックが入り、十分なガスバリア機能を発揮できなくなる。なお、この積層フィルムの熱膨張係数について、外層材の面内方向の熱膨張は、低熱膨張性に優れた内層材により拘束されるため、単層では面内方向と厚み方向で同じ熱膨張挙動を示すものであっても、積層フィルムとすることで、外層材の熱膨張の一部は厚み方向の熱膨張の増加分として表れ、積層フィルムの熱膨張係数は面方向と厚み方向で異なる値を示すこととなる。よって、上記積層フィルムの熱膨張係数とは、積層フィルムの状態で、その面内方向の熱膨張係数を求めたものである。   The linear expansion coefficient in the plane direction of the laminated film is preferably 80 ppm / K or less, more preferably 60 ppm / K or less. When the gas barrier laminate film provided with a gas barrier layer is heated to a value exceeding 80 ppm / K, the difference in thermal expansion between the gas barrier layer and the laminate film increases, so that the gas barrier layer is cracked and has a sufficient gas barrier function. Cannot be demonstrated. Regarding the thermal expansion coefficient of this laminated film, the thermal expansion in the in-plane direction of the outer layer material is constrained by the inner layer material excellent in low thermal expansion, so that the single layer has the same thermal expansion behavior in the in-plane direction and in the thickness direction. Even when the laminated film is used, a part of the thermal expansion of the outer layer material appears as an increase in the thermal expansion in the thickness direction, and the thermal expansion coefficient of the laminated film differs between the surface direction and the thickness direction. Will be shown. Therefore, the thermal expansion coefficient of the laminated film is obtained by obtaining the thermal expansion coefficient in the in-plane direction in the state of the laminated film.

積層フィルムの生産方法には特に制限はなく、例えば第一の層(内層材)となる籠型シルセスキオキサン樹脂を含有した硬化性樹脂組成物を硬化したフィルム成形体の両面に、第二の層を形成する籠型シルセスキオキサン含有硬化性シリコーン共重合体樹脂を含有した硬化性樹脂組成物を塗布して硬化することにより、積層フィルムを作製する方法、または第二の層(外層材)となる籠型シルセスキオキサン含有硬化性シリコーン共重合体樹脂を含有した硬化性樹脂組成物を硬化したフィルム成形体で、内層材となる籠型シルセスキオキサン樹脂を含有した硬化性樹脂組成物を挟み込み、積層フィルムを作製する方法、さらに外層材および内層材となる樹脂を塗布して同時に硬化することで積層フィルムとする方法等が挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular in the production method of a laminated | multilayer film, For example, on both surfaces of the film molded object which hardened | cured the curable resin composition containing the vertical silsesquioxane resin used as a 1st layer (inner layer material), it is 2nd A method for producing a laminated film by applying and curing a curable resin composition containing a cocoon-type silsesquioxane-containing curable silicone copolymer resin that forms a layer, or a second layer (outer layer A film molded body obtained by curing a curable resin composition containing a cocoon-type silsesquioxane-containing curable silicone copolymer resin, and a curable resin containing a cocoon-type silsesquioxane resin used as an inner layer material. Examples thereof include a method of sandwiching a resin composition to produce a laminated film, and a method of forming a laminated film by applying and simultaneously curing an outer layer material and a resin that becomes an inner layer material.

(ガスバリア層)
ガスバリア層は、高いプロセス温度や水洗浄過程に繰り返し曝される製造工程が必要な部材として用いる場合、積層フィルムと酸素との接触を遮断し熱酸化劣化を防ぐ、また積層フィルムの吸水率を低下させ、寸法変動挙動を抑える、さらに液晶表示パネルやEL表示パネル等に形成されている素子と、酸素や水蒸気等の外部から侵入するガスとの接触を遮断し、発光性能の劣化を防止する役割を担う。
(Gas barrier layer)
When used as a member that requires a manufacturing process that is repeatedly exposed to high process temperatures and water washing processes, the gas barrier layer prevents contact between the laminated film and oxygen to prevent thermal oxidative degradation, and reduces the water absorption rate of the laminated film. To prevent the deterioration of luminous performance by suppressing contact between the elements formed in liquid crystal display panels and EL display panels, etc., and gases entering from outside such as oxygen and water vapor. Take on.

ガスバリア層は、少なくとも一層以上を積層してなるものが好ましく、例えば酸化ケイ素、窒化ケイ素、窒化酸化ケイ素、酸化アルミ、酸化タンタル、アルミ膜からなるものなどが挙げられ、特に、光学特性、ガスバリア性能、高精細なディスプレイに重要である寸法安定性に優れることから、酸化ケイ素、窒化ケイ素、窒化酸化ケイ素を主体とするものが好ましい。また、ガスバリア層の厚みは1nm〜1000nmが好ましく、特に10nm〜300nmであることが好ましい。これらガスバリア層は有機層と積層化、多層化する事も出来る。また、ガスバリア層は、蒸着、スパッタ、PECVD、CatCVD、コーティングやラミネーティングなど公知の手法により形成することができる。   The gas barrier layer is preferably formed by laminating at least one layer, for example, silicon oxide, silicon nitride, silicon nitride oxide, aluminum oxide, tantalum oxide, aluminum film, etc., particularly optical characteristics, gas barrier performance. In view of excellent dimensional stability, which is important for high-definition displays, those mainly composed of silicon oxide, silicon nitride, and silicon nitride oxide are preferable. The thickness of the gas barrier layer is preferably 1 nm to 1000 nm, and particularly preferably 10 nm to 300 nm. These gas barrier layers can be laminated or multilayered with an organic layer. The gas barrier layer can be formed by a known method such as vapor deposition, sputtering, PECVD, CatCVD, coating or laminating.

ガスバリア層は、透明であることが好ましく、第一の層と第二の層とを積層させた積層物(積層フィルム)にガスバリア層を積層したガスバリア性積層体フィルムにおける波長550nmでの光透過率が、90%以上の透明性を有するように構成されることが好ましい。可視光線の透過率は、ガスバリア層の組成や厚さにも影響されるので両者を考慮して構成される。   The gas barrier layer is preferably transparent, and the light transmittance at a wavelength of 550 nm in a gas barrier laminate film in which a gas barrier layer is laminated on a laminate (laminated film) obtained by laminating a first layer and a second layer. However, it is preferable to be configured to have a transparency of 90% or more. Since the visible light transmittance is affected by the composition and thickness of the gas barrier layer, both are considered.

(ガスバリア性積層体フィルム)
本発明におけるガスバリア性積層体フィルムは、常温から150℃まで昇温した時にガスバリア層にクラックが生じないことが好ましい。クラック発生温度について、150℃未満であると高温プロセスが必要な用途に用いた場合、ガスバリア層にクラックが生じ、十分なガスバリア機能を発揮できなくなる。
(Gas barrier laminate film)
The gas barrier laminate film of the present invention preferably has no cracks in the gas barrier layer when heated from room temperature to 150 ° C. When the crack generation temperature is less than 150 ° C., the crack is generated in the gas barrier layer when the high temperature process is required, and a sufficient gas barrier function cannot be exhibited.

ガスバリア性積層体フィルムは、吸水率が1%未満であることが好ましく、より好ましくは0.5%以下であるのが良い。吸水率が1%以上となるとガスバリア性積層体フィルムの寸法変化挙動が大きくなるため、高いプロセス温度や水洗浄過程に繰り返し曝される製造工程が必要な用途に用いた場合、ガスバリア層にクラックが生じ、十分なガスバリア機能を発揮できなくなる。   The gas barrier laminate film preferably has a water absorption of less than 1%, more preferably 0.5% or less. When the water absorption is 1% or more, the dimensional change behavior of the gas barrier laminate film increases, so cracks are present in the gas barrier layer when used in applications that require a high process temperature or a manufacturing process that is repeatedly exposed to a water washing process. Is generated, and a sufficient gas barrier function cannot be exhibited.

ガスバリア性積層体フィルムは、160℃まで加熱した後23℃50%RHの条件下で冷却する加熱試験において、寸法変化率が0.1%以下であることが好ましい。より好ましくは、0.01%以下である。寸法変化率が0.1%以上であると、素子が設計図面通りに基板上に形成できず位置ズレを起こしてしまう。   In the heating test in which the gas barrier laminate film is heated to 160 ° C. and then cooled at 23 ° C. and 50% RH, the dimensional change rate is preferably 0.1% or less. More preferably, it is 0.01% or less. If the dimensional change rate is 0.1% or more, the element cannot be formed on the substrate as shown in the design drawing, causing a positional shift.

以下、本発明のガスバリア性積層体フィルムについて、実施例及び比較例により詳細に説明するが、本発明は下記の実施例に限定されるものではない。   Hereinafter, the gas barrier laminate film of the present invention will be described in detail with reference to Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited to the following Examples.

[合成例1:第一の層(内層材)を形成するのに使用する硬化性樹脂の製造]
内層材を形成するのに使用する籠型シルセスキオキサン樹脂は、特開2004‐143449号公報に記載された方法により以下のようにして合成した。
撹拌機、滴下ロート、及び温度計を備えた反応容器に、溶媒として2-プロパノール(IPA)40mlと、塩基性触媒として5%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液(TMAH水溶液)3.1gを装入した。滴下ロートにIPA 15mlと3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン12.7gを入れ、反応容器を撹拌しながら、室温で3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシランのIPA溶液を30分かけて滴下した。3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン滴下終了後、徐々に室温に戻し加熱することなく2時間撹拌した。撹拌後、減圧下でIPAを除去し、トルエン50mlで溶解した。反応溶液を飽和食塩水で中性になるまで水洗した後、無水硫酸マグネシウムで脱水した。無水硫酸マグネシウムをろ別し、濃縮することで加水分解生成物(シルセスキオキサン)を8.6g得た。このシルセスキオキサンは種々の有機溶剤に可溶な無色の粘性液体であった。
[Synthesis Example 1: Production of curable resin used to form first layer (inner layer material)]
The cage silsesquioxane resin used for forming the inner layer material was synthesized as follows by the method described in JP-A-2004-143449.
A reaction vessel equipped with a stirrer, a dropping funnel, and a thermometer was charged with 40 ml of 2-propanol (IPA) as a solvent and 3.1 g of a 5% tetramethylammonium hydroxide aqueous solution (TMAH aqueous solution) as a basic catalyst. . To the dropping funnel, 15 ml of IPA and 12.7 g of 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane were added, and an IPA solution of 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane was added dropwise at room temperature over 30 minutes while stirring the reaction vessel. After completion of dropwise addition of 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, the mixture was gradually returned to room temperature and stirred for 2 hours without heating. After stirring, IPA was removed under reduced pressure and dissolved in 50 ml of toluene. The reaction solution was washed with saturated brine until neutral, and then dehydrated with anhydrous magnesium sulfate. 8.6 g of hydrolysis product (silsesquioxane) was obtained by filtering off anhydrous magnesium sulfate and concentrating. This silsesquioxane was a colorless viscous liquid soluble in various organic solvents.

次に、撹拌機、ディーンスタック、冷却管を備えた反応溶媒に上記で得られたシルセスキオキサン5.0gとトルエン20.5mlと10%TMAH水溶液0.75gを入れ、130℃で水を留去しながらトルエンを還流加熱して再縮合反応を行った。トルエン還流後3時間撹拌した後、室温に戻し反応を終了とした。反応溶液を10%クエン酸で中和にした後、飽和食塩水で洗浄し無水硫酸マグネシウムで脱水した。無水硫酸マグネシウムをろ別し、濃縮することで再縮合物を4.5g得た。得られた再縮合物は、種々の有機溶剤に可溶な無色の粘性液体であり、質量分析(LC-MS)、1H−NMRを測定した結果、籠型シルセスキオキサン構造を主とした樹脂であることを確認した。   Next, 5.0 g of the silsesquioxane obtained above, 20.5 ml of toluene and 0.75 g of 10% TMAH aqueous solution are put in a reaction solvent equipped with a stirrer, a Dean stack, and a cooling tube, and water is added at 130 ° C. While distilling off, toluene was heated to reflux to carry out a recondensation reaction. After stirring for 3 hours after refluxing toluene, the reaction was terminated by returning to room temperature. The reaction solution was neutralized with 10% citric acid, washed with saturated brine, and dehydrated over anhydrous magnesium sulfate. Anhydrous magnesium sulfate was filtered off and concentrated to obtain 4.5 g of a recondensate. The obtained recondensate is a colorless viscous liquid that is soluble in various organic solvents. As a result of mass spectrometry (LC-MS) and 1H-NMR measurement, the recondensation product mainly has a cage silsesquioxane structure. The resin was confirmed.

[製造例1:内層材1の製造]
合成例1で得た籠型シルセスキオキサン樹脂:20質量部、トリメチロールプロパントリアクリレート:25質量部、ジシクロペンタニルジアクリレート:55質量部、光重合開始剤として1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン:2.5質量部を混合し、脱泡して液状の硬化性樹脂組成物を得た。次に、ロールコーターを用いて、厚さ100μmになるようにキャスト(流延)し、80W/cmの高圧水銀ランプを用い、2000mJ/cm2の積算露光量で硬化させ、所定の厚みとしたシート状の成形体を得た。得られた成形体は、引張弾性率が3000MPa、線膨張係数が45ppm/K、ガラス転移温度が300℃以上であり、内層材としての物性を満たす材料であった。
[Production Example 1: Production of inner layer material 1]
Vertical silsesquioxane resin obtained in Synthesis Example 1: 20 parts by mass, trimethylolpropane triacrylate: 25 parts by mass, dicyclopentanyl diacrylate: 55 parts by mass, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone as a photopolymerization initiator : 2.5 parts by mass were mixed and defoamed to obtain a liquid curable resin composition. Next, the film was cast (cast) to a thickness of 100 μm using a roll coater, and cured at an integrated exposure amount of 2000 mJ / cm 2 using an 80 W / cm high-pressure mercury lamp to obtain a predetermined thickness. A sheet-like molded body was obtained. The obtained molded body had a tensile modulus of 3000 MPa, a linear expansion coefficient of 45 ppm / K, a glass transition temperature of 300 ° C. or higher, and was a material satisfying the physical properties as an inner layer material.

[製造例2:内層材2の製造]
合成例1で得た籠型シルセスキオキサン樹脂:30質量部、ジシクロペンタニルジアクリレート:70質量部、光重合開始剤として1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン:2.5質量部を混合し、脱泡して液状の硬化性樹脂組成物とした以外は、内層材の製造例1と同様の操作によって成形体を得た。得られた成形体は、引張弾性率が2500MPa、線膨張係数が60ppm/K、ガラス転移温度が300℃以上であり、内層材としての物性を満たす材料であった。
[Production Example 2: Production of inner layer material 2]
The cage silsesquioxane resin obtained in Synthesis Example 1: 30 parts by mass, dicyclopentanyl diacrylate: 70 parts by mass, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone as a photopolymerization initiator: 2.5 parts by mass, A molded body was obtained by the same operation as in Production Example 1 for the inner layer material, except that the liquid curable resin composition was defoamed. The obtained molded body had a tensile modulus of 2500 MPa, a linear expansion coefficient of 60 ppm / K, a glass transition temperature of 300 ° C. or higher, and a material satisfying the physical properties as an inner layer material.

上記製造例1及び2で得た内層候補材フィルム(成形体)について、以下のようにして評価を行い、その結果を表1にまとめて示す。   The inner layer candidate material films (molded bodies) obtained in Production Examples 1 and 2 were evaluated as follows, and the results are summarized in Table 1.

[評価方法:引張弾性率]
引張試験機(ORIENTEC社製RTE-1210)を用いて、25℃における各フィルム成形体の引張弾性率を測定した。この際、チャック間距離50mmおよび引張速度2mm/minの条件で測定した。
[Evaluation method: Tensile modulus]
Using a tensile tester (ORITEEC RTE-1210), the tensile modulus of each film molded body at 25 ° C. was measured. At this time, the measurement was performed under the conditions of a distance between chucks of 50 mm and a tensile speed of 2 mm / min.

[評価方法:熱膨張係数]
熱機械分析装置(ブルカーエイエックス製TMA4030SA)を用いて、熱機械分析(TMA)法に基づき、昇温速度5℃/minの条件で50℃から150℃における熱膨張量の変化を測定した。
[Evaluation method: Thermal expansion coefficient]
Using a thermomechanical analyzer (TMA4030SA manufactured by Bruker Ax), a change in the amount of thermal expansion from 50 ° C. to 150 ° C. was measured based on a thermomechanical analysis (TMA) method at a temperature rising rate of 5 ° C./min.

[評価方法:ガラス転移温度]
動的粘弾性分析装置(レオロジー社製DVE-V4型)を用いて、昇温速度5℃/min、チャック間距離10mmの条件で測定した。
[Evaluation method: Glass transition temperature]
Using a dynamic viscoelasticity analyzer (DVE-V4 type manufactured by Rheology), the measurement was performed under the conditions of a heating rate of 5 ° C./min and a distance between chucks of 10 mm.

[評価方法:光線透過率]
紫外可視分光光度計(日立製作所社製U4000)を用いて、各フィルムの400〜800nmの光での光透過率スペクトルを測定し、代表値として波長550nmの光の透過率を示した。
[Evaluation method: Light transmittance]
Using a UV-visible spectrophotometer (U4000 manufactured by Hitachi, Ltd.), the light transmittance spectrum of each film with light of 400 to 800 nm was measured, and the transmittance of light having a wavelength of 550 nm was shown as a representative value.

Figure 2011194648
Figure 2011194648

[合成例2:第二の層(外層材)を形成するのに使用する硬化性樹脂の製造]
外層材を形成するのに使用する籠型シルセスキオキサン含有硬化性シリコーン共重合体樹脂は、特開2009-227863号公報に記載された方法により以下のようにして合成した。
反応容器にトルエン250mlとフェニルトリクロロシラン52.5gを装入し、0℃に冷却した。水を適量滴下し、加水分解が完了するまで撹拌した。加水分解生成物を水洗後市販の30%ベンジルトリメチルアンモニウムヒドロキサイド溶液8.3mlを加え、この混合物を4時間還流温度に加熱した。次いで全体を冷却し、約96時間放置した。この時間経過後得られたスラリーを再び24時間還流温度に加熱し次いで冷却し濾過を行い、白色の粉末としてオクタフェニルシルセスキオキサン37.5gを得た。
[Synthesis Example 2: Production of curable resin used to form second layer (outer layer material)]
A cage-type silsesquioxane-containing curable silicone copolymer resin used for forming the outer layer material was synthesized by the method described in JP-A-2009-227863 as follows.
The reaction vessel was charged with 250 ml of toluene and 52.5 g of phenyltrichlorosilane and cooled to 0 ° C. An appropriate amount of water was added dropwise and stirred until hydrolysis was complete. After the hydrolysis product was washed with water, 8.3 ml of a commercially available 30% benzyltrimethylammonium hydroxide solution was added, and the mixture was heated to reflux temperature for 4 hours. The whole was then cooled and left for about 96 hours. The slurry obtained after the elapse of time was heated again to the reflux temperature for 24 hours, then cooled and filtered to obtain 37.5 g of octaphenylsilsesquioxane as a white powder.

次いで、ディンスターク、及び冷却管を備えた反応容器にトルエン100ml、水酸化テトラメチルアンモニウム0.123g(1.35mmol、25%のメタノール溶液として0.49g)、上記オクタフェニルシルセスキオキサン20.3g(19.7mmol)、及び3−メタクリロキシプロピルジエトキシメチルシラン5.12g(19.7mmol)を入れ、80℃で1時間加熱しメタノールを留去し、さらに100℃に加熱し2時間後、室温に戻し反応を終了とした。反応溶液はオクタフェニルシルセスキオキサンの白色粉末が消え、完全に反応が進行したと判断できた。   Next, 100 ml of toluene, 0.123 g of tetramethylammonium hydroxide (1.35 mmol, 0.49 g as a 25% methanol solution), 20.3 g of the above octaphenylsilsesquioxane ( 19.7 mmol) and 5.12 g (19.7 mmol) of 3-methacryloxypropyldiethoxymethylsilane were added, heated at 80 ° C. for 1 hour to distill off methanol, further heated to 100 ° C., and returned to room temperature after 2 hours. The reaction was terminated. In the reaction solution, it was judged that the white powder of octaphenylsilsesquioxane disappeared and the reaction was completely progressed.

反応溶液を10%クエン酸水溶液で中和した後、水で洗浄し無水硫酸マグネシウムで脱水した。無水硫酸マグネシウムをろ別し、濃縮することで籠型シルセスキオキサンを無色透明の粘性液体を19.7g、収率78%で得た。得られた籠型シルセスキオキサンはGPC、及びNMR測定により構造が確認された。さらに、窒素雰囲気下、滴下ロート及び冷却管を備えた反応容器に、トルエン15ml、上記で得られた籠型シルセスキオキサン9.0g(7mmol)、及び水酸化テトラメチルアンモニウム4mg(0.044mmol、2.5%のメタノール溶液として153mg)を装入した。反応溶液を70℃で撹拌しながら、滴下ロートよりシラノール末端ポリジメチルシロキサン(DMS-S12:Mn(数平均分子量)=400−700:アズマックス株式会社)4.6gを3時間かけて滴下した。更に3時間撹拌後、室温まで冷却した。   The reaction solution was neutralized with 10% aqueous citric acid solution, washed with water, and dehydrated with anhydrous magnesium sulfate. The anhydrous magnesium sulfate was filtered off and concentrated to obtain 19.7 g of a colorless and transparent viscous liquid in a yield of 78%. The structure of the obtained cage silsesquioxane was confirmed by GPC and NMR measurement. Furthermore, under a nitrogen atmosphere, in a reaction vessel equipped with a dropping funnel and a condenser tube, 15 ml of toluene, 9.0 g (7 mmol) of the above obtained silsesquioxane, and 4 mg (0.044 mmol, tetramethylammonium hydroxide) 153 mg) as a 2.5% methanol solution. While stirring the reaction solution at 70 ° C., 4.6 g of silanol-terminated polydimethylsiloxane (DMS-S12: Mn (number average molecular weight) = 400-700: Asmax Corporation) was added dropwise from a dropping funnel over 3 hours. The mixture was further stirred for 3 hours and then cooled to room temperature.

反応溶液を10%クエン酸水溶液で中和した後、水で洗浄し無水硫酸マグネシウムで脱水した。無水硫酸マグネシウムをろ別し、濃縮することで籠型シルセスキオキサン含有硬化性シリコーン共重合体を無色透明の粘性液体として12.5g得た。得られた籠型シルセスキオキサン含有硬化性シリコーン共重合体のGPCを測定した結果、重量平均分子量(Mw)=14000であった。また1H−NMRを測定した結果、籠型シルセスキオキサン含有硬化性シリコーン共重合体を主とした樹脂であることを確認した。   The reaction solution was neutralized with 10% aqueous citric acid solution, washed with water, and dehydrated with anhydrous magnesium sulfate. The anhydrous magnesium sulfate was filtered off and concentrated to obtain 12.5 g of a cocoon-type silsesquioxane-containing curable silicone copolymer as a colorless and transparent viscous liquid. As a result of measuring GPC of the obtained cocoon-shaped silsesquioxane-containing curable silicone copolymer, the weight average molecular weight (Mw) was 14000. Moreover, as a result of measuring 1H-NMR, it confirmed that it was resin which mainly used the cage silsesquioxane containing curable silicone copolymer.

[製造例3:外層材1の製造]
合成例2で得た籠型シルセスキオキサン含有硬化性シリコーン共重合体樹脂:30質量部、ジシクロペンタニルジアクリレート:70質量部、光重合開始剤として2-ヒドロキシ-2-メチルプロピオフェノン:1.5質量部を混合し、脱法して得た液状の硬化性樹脂組成物を厚さ100μmになるようにキャストし、80W/cmの高圧水銀ランプを用い、2000mJ/cm2の積算露光量で硬化させ、所定の厚みとしたシート状の成形体を得た。前記成形体は、引張試験を行い、得られる引張応力−ひずみ曲線において、引張弾性率1650MPa、及び降伏点を有して塑性変形領域を有した曲線であり、外層材としての物性を満たす材料であった。図1に得られた成形体の引張応力−ひずみ曲線を示す。
[Production Example 3: Production of outer layer material 1]
Cage-type silsesquioxane-containing curable silicone copolymer resin obtained in Synthesis Example 2: 30 parts by mass, dicyclopentanyl diacrylate: 70 parts by mass, 2-hydroxy-2-methylpropio as a photopolymerization initiator Phenone: A liquid curable resin composition obtained by mixing 1.5 parts by mass and removing it is cast to a thickness of 100 μm, and an integration of 2000 mJ / cm 2 using an 80 W / cm high-pressure mercury lamp. A sheet-like molded body having a predetermined thickness was obtained by curing with an exposure amount. The molded body is a material having a tensile elastic modulus of 1650 MPa, a yield point, and a plastic deformation region in a tensile stress-strain curve obtained by performing a tensile test, and satisfying physical properties as an outer layer material. there were. FIG. 1 shows a tensile stress-strain curve of the molded body obtained.

[製造例4:外層材2の製造]
合成例2で得た籠型シルセスキオキサン含有硬化性シリコーン共重合体樹脂:45質量部、トリメチロールプロパントリアクリレート:55質量部、光重合開始剤として2-ヒドロキシ-2-メチルプロピオフェノン:1.5質量部を混合し、脱法して得た液状の硬化性樹脂組成物を厚さ100μmになるようにキャストし、80W/cmの高圧水銀ランプを用い、2000mJ/cm2の積算露光量で硬化させ、所定の厚みとしたシート状の成形体を得た。前記成形体は、引張試験を行い、得られる引張応力−ひずみ曲線において、引張弾性率1300MPa、及び降伏点を有し塑性変形領域を有した曲線であり、外層材としての物性を満たす材料であった。図2に得られた成形体の引張応力−ひずみ曲線を示す。
[Production Example 4: Production of outer layer material 2]
Cage-type silsesquioxane-containing curable silicone copolymer resin obtained in Synthesis Example 2: 45 parts by mass, trimethylolpropane triacrylate: 55 parts by mass, 2-hydroxy-2-methylpropiophenone as a photopolymerization initiator : Mixing 1.5 parts by mass and casting the liquid curable resin composition obtained by degassing so as to have a thickness of 100 μm, and using an 80 W / cm high-pressure mercury lamp, integrated exposure of 2000 mJ / cm 2 A sheet-like molded body having a predetermined thickness was obtained by curing in an amount. The molded body is a material satisfying the physical properties as an outer layer material by performing a tensile test and having a tensile elastic modulus of 1300 MPa, a yield point, and a plastic deformation region in a tensile stress-strain curve obtained. It was. FIG. 2 shows a tensile stress-strain curve of the obtained molded body.

上記製造例3及び4で得た外層候補材フィルム(成形体)について、以下のようにして評価を行い、その結果を表2にまとめて示す。   The outer layer candidate material films (molded bodies) obtained in Production Examples 3 and 4 were evaluated as follows, and the results are summarized in Table 2.

[評価方法:引張弾性率、引張降伏強さ、引張破壊強さ、引張破壊伸び]
引張試験機(ORIENTEC社製RTE-1210)を用いて、25℃における各フィルム成形体の引張弾性率を測定した。この際、チャック間距離50mmおよび引張速度2mm/minの条件で測定した。
[Evaluation methods: Tensile modulus, tensile yield strength, tensile fracture strength, tensile fracture elongation]
Using a tensile tester (ORITEEC RTE-1210), the tensile modulus of each film molded body at 25 ° C. was measured. At this time, the measurement was performed under the conditions of a distance between chucks of 50 mm and a tensile speed of 2 mm / min.

[評価方法:光線透過率]
紫外可視分光光度計(日立製作所社製U4000)を用いて、各フィルムの400〜800nmの光での光透過率スペクトルを測定し、代表値として波長550nmの光の透過率を示した。
[Evaluation method: Light transmittance]
Using a UV-visible spectrophotometer (U4000 manufactured by Hitachi, Ltd.), the light transmittance spectrum of each film with light of 400 to 800 nm was measured, and the transmittance of light having a wavelength of 550 nm was shown as a representative value.

Figure 2011194648
Figure 2011194648

[実施例1:ガスバリア性積層体フィルム1の製造]
製造例1(内層材1の製造)と同様の配合で得た籠型シルセスキオキサン樹脂を含有した硬化性樹脂組成物を、ロールコーターを用いて、厚さ50μmになるようにキャスト(流延)し、80W/cmの高圧水銀ランプを用い、2000mJ/cm2の積算露光量で硬化させ、所定の厚みとしたシート状の成形体を得た。次いで、得られた成形体の両面に、製造例3(外層材1の製造)と同様の配合で得た籠型シルセスキオキサン含有硬化性シリコーン共重合体を含有した硬化性樹脂組成物を各厚さ15μmになるようにキャストし、80W/cmの高圧水銀ランプを用い、2000mJ/cm2の積算露光量で硬化させ、所定の厚みとしたシート状の積層物を得た。さらにこの積層物の表層両面に、CVD法によりSiNO膜(ガスバリア層)を150nmの厚さで形成し、ガスバリア性積層体フィルム1を得た。なお、ガスバリア層の成膜条件については、成膜温度120℃、成膜ガス導入圧力10Pa、モノシラン流量8sccm、アンモニア流量20sccm、水素流量200sccm、及び酸素流量30sccmとした。
[Example 1: Production of gas barrier laminate film 1]
A curable resin composition containing a vertical silsesquioxane resin obtained by the same composition as in Production Example 1 (production of inner layer material 1) was cast (flowed) to a thickness of 50 μm using a roll coater. And cured using an 80 W / cm high-pressure mercury lamp with an integrated exposure amount of 2000 mJ / cm 2 to obtain a sheet-like molded body having a predetermined thickness. Next, a curable resin composition containing a cage-type silsesquioxane-containing curable silicone copolymer obtained by the same formulation as in Production Example 3 (Production of outer layer material 1) on both surfaces of the obtained molded body. Each sheet was cast so as to have a thickness of 15 μm, and cured using an 80 W / cm high-pressure mercury lamp with an integrated exposure amount of 2000 mJ / cm 2 to obtain a sheet-like laminate having a predetermined thickness. Furthermore, a SiNO film (gas barrier layer) was formed to a thickness of 150 nm on both surface layers of the laminate by a CVD method to obtain a gas barrier laminate film 1. The film formation conditions for the gas barrier layer were a film formation temperature of 120 ° C., a film formation gas introduction pressure of 10 Pa, a monosilane flow rate of 8 sccm, an ammonia flow rate of 20 sccm, a hydrogen flow rate of 200 sccm, and an oxygen flow rate of 30 sccm.

[実施例2〜12:ガスバリア性積層体フィルム2〜12の製造]
内層材(製造例1、2)と外層材(製造例3、4)との組み合わせ、又は厚み構成を変えた以外は実施例1と同様にして、表3に示すようにガスバリア性積層体フィルムを得た。
[Examples 2 to 12: Production of gas barrier laminate films 2 to 12]
A gas barrier laminate film as shown in Table 3 in the same manner as in Example 1 except that the combination of the inner layer material (Production Examples 1 and 2) and the outer layer material (Production Examples 3 and 4) or the thickness configuration was changed. Got.

[比較例1]
製造例1と同様の配合で得た籠型シルセスキオキサン樹脂を含有した硬化性樹脂組成物を、ロールコーターを用いて、厚さ50μmになるようにキャスト(流延)し、80W/cmの高圧水銀ランプを用い、2000mJ/cm2の積算露光量で硬化させ、所定の厚みとしたシート状の成形体を得た。次いで、得られた成形体の両面に製造例3と同様の配合で得た籠型シルセスキオキサン含有硬化性シリコーン共重合体を含有した硬化性樹脂組成物を各厚さ15μmになるようにキャストし、80W/cmの高圧水銀ランプを用い、2000mJ/cm2の積算露光量で硬化させ、所定の厚みとしたシート状の積層体フィルムを得た。
[Comparative Example 1]
A curable resin composition containing a bowl-shaped silsesquioxane resin obtained by the same composition as in Production Example 1 was cast (cast) to a thickness of 50 μm using a roll coater, and 80 W / cm. The sheet-shaped molded body having a predetermined thickness was obtained by curing with an integrated exposure amount of 2000 mJ / cm 2 using a high-pressure mercury lamp. Next, a curable resin composition containing a cocoon-shaped silsesquioxane-containing curable silicone copolymer obtained by the same formulation as in Production Example 3 on both surfaces of the obtained molded product is set to have a thickness of 15 μm. It was cast and cured using an 80 W / cm high-pressure mercury lamp with an integrated exposure amount of 2000 mJ / cm 2 to obtain a sheet-like laminate film having a predetermined thickness.

[比較例2]
製造例1と同様の方法で得た成形体に、実施例1と同様の条件で成形体表層両面にSiNO膜を形成させ、ガスバリア性フィルムを得た。
[Comparative Example 2]
A SiNO film was formed on both surfaces of the molded body under the same conditions as in Example 1 on the molded body obtained by the same method as in Production Example 1 to obtain a gas barrier film.

[比較例3]
製造例3と同様の方法で得た成形体に、実施例1と同様の条件で成形体表層両面にSiNO膜を形成させ、ガスバリア性フィルムを得た。
[Comparative Example 3]
SiNO films were formed on both surfaces of the molded body under the same conditions as in Example 1 on the molded body obtained by the same method as in Production Example 3 to obtain a gas barrier film.

[比較例4]
内層材にトリメチロールプロパントリアクリレート(共栄社化学(株)製ライトアクリレートTMP-A)を使用し、外層材にジシクロペンタニルジアクリレート(共栄社化学(株)製ライトアクリレートDCP-A)を使用した以外は実施例1と同様にして、表3に示すようにガスバリア性積層体フィルムを得た。
[Comparative Example 4]
Trimethylolpropane triacrylate (Kyoeisha Chemical Co., Ltd. light acrylate TMP-A) was used for the inner layer material, and dicyclopentanyl diacrylate (Kyoeisha Chemical Co., Ltd. light acrylate DCP-A) was used for the outer layer material. Except for this, a gas barrier laminate film was obtained in the same manner as in Example 1 as shown in Table 3.

上記実施例及び比較例で得たフィルム(ここで言う「フィルム」は、積層フィルム、ガスバリア性積層体フィルム、及びガスバリア性フィルムを含めたものである)について、以下のとおり評価を行った。結果を表3に示す。   The films obtained in the above Examples and Comparative Examples (herein, “film” includes a laminated film, a gas barrier laminate film, and a gas barrier film) were evaluated as follows. The results are shown in Table 3.

[評価方法:飽和吸水率試験]
10mm角に切断したフィルムを、熱風オーブンを用いて200℃で1時間加熱乾燥した(初期乾燥)。その後、純水に浸漬させ23℃×50%RHの環境下で水中に完全浸漬し、所定時間後のフィルムの質量を測定した。測定は24時間毎に行い、飽和に達した時点の値を吸水率とした。吸水率は次式を用いて算出を行った。
c={(b−a)/a}×100
ここで、c:吸水率(%)、a:初期乾燥後であって浸漬前のサンプル質量(g)、b:浸漬後のサンプル質量(g)、である。
[Evaluation method: Saturated water absorption test]
The film cut to 10 mm square was heat-dried at 200 ° C. for 1 hour using a hot air oven (initial drying). Thereafter, the film was immersed in pure water and completely immersed in water in an environment of 23 ° C. × 50% RH, and the mass of the film after a predetermined time was measured. The measurement was performed every 24 hours, and the value at the time when saturation was reached was defined as the water absorption rate. The water absorption was calculated using the following formula.
c = {(b−a) / a} × 100
Here, c: water absorption (%), a: sample mass (g) after initial drying and before immersion, b: sample mass (g) after immersion.

[評価方法:フィルムの寸法変化率]
150mm角に切断したフィルムの四隅に隣り合うマーキング間の距離が約100mmになるように微細な十字型のマーキングを施し、正確に(精度±1μm)各マーキング間の距離を測長した。このフィルムを、熱風オーブンを用いて160℃で1時間加熱後、23℃50%RHの条件下で15分放置して冷却した後、加熱前と同様に各マーキング間の距離を測長し、その値から寸法変化率を求めた。寸法変化率は、次式を用いて算出した。
f={(d−e)/d}×100
ここで、f:寸法変化率(%)、d:加熱前のマーキング間の距離(μm)、e:加熱後のマーキング間の距離(μm)、である。
[Evaluation method: Dimensional change rate of film]
Fine cross-shaped markings were applied so that the distance between adjacent markings at the four corners of the film cut to 150 mm square was about 100 mm, and the distance between each marking was measured accurately (accuracy ± 1 μm). This film was heated at 160 ° C. for 1 hour using a hot air oven, then allowed to cool for 15 minutes under conditions of 23 ° C. and 50% RH, and then the distance between each marking was measured in the same manner as before heating. The dimensional change rate was determined from the value. The dimensional change rate was calculated using the following equation.
f = {(d−e) / d} × 100
Here, f: dimensional change rate (%), d: distance between markings before heating (μm), e: distance between markings after heating (μm).

[評価方法:耐熱評価試験]
得られたフィルムについて、それぞれ、熱風オーブンを用いて所定の温度で1時間加熱処理し、その後室温まで冷却して、フィルム表面のクラックの有無を偏光顕微鏡で観察した。その際、熱風オーブンの温度を100℃にして1時間、110℃にして1時間、120℃で1時間のように、加熱処理の温度を100℃から10℃刻みで上げていき、フィルム表面にクラックの発生が確認されるまで、これを続ける耐熱評価試験を行い、表3には、クラック発生が確認された手前の温度を記した。
[Evaluation method: Heat resistance evaluation test]
Each of the obtained films was heat-treated at a predetermined temperature for 1 hour using a hot air oven, then cooled to room temperature, and the presence or absence of cracks on the film surface was observed with a polarizing microscope. At that time, the temperature of the hot air oven is increased to 100 ° C. for 1 hour, 110 ° C. for 1 hour, 120 ° C. for 1 hour, and the temperature of the heat treatment is increased from 100 ° C. in increments of 10 ° C. on the film surface. The heat resistance evaluation test was continued until the occurrence of cracks was confirmed. Table 3 shows the temperatures just before the occurrence of cracks.

[評価方法:落錘衝撃試験]
任意の高さから10gの錘(R=2.5mm)をフィルムの表面に垂直に自由落下させる試験を5回以上行い、50%以上の確率でこの積層体フィルムが破壊するときの高さを評価した。
[Evaluation method: Drop weight impact test]
Tested to allow a 10g weight (R = 2.5mm) to fall freely on the surface of the film from an arbitrary height 5 times or more, and evaluate the height at which this laminate film breaks with a probability of 50% or more did.

[評価方法:光線透過率]
紫外可視分光光度計(日立製作所社製U4000)を用いて、各フィルムの400〜800nmの光での光透過率スペクトルを測定し、代表値として波長550nmの光の透過率を示した。
[Evaluation method: Light transmittance]
Using a UV-visible spectrophotometer (U4000 manufactured by Hitachi, Ltd.), the light transmittance spectrum of each film with light of 400 to 800 nm was measured, and the transmittance of light having a wavelength of 550 nm was shown as a representative value.

[評価方法:熱膨張係数]
熱機械分析装置(ブルカーエイエックス製TMA4030SA)を用いて、熱機械分析(TMA)法に基づき、昇温速度5℃/minの条件で50℃から150℃における熱膨張量の変化を測定した。
[Evaluation method: Thermal expansion coefficient]
Using a thermomechanical analyzer (TMA4030SA manufactured by Bruker Ax), a change in the amount of thermal expansion from 50 ° C. to 150 ° C. was measured based on a thermomechanical analysis (TMA) method at a temperature rising rate of 5 ° C./min.

[評価方法:引張弾性率]
引張試験機(ORIENTEC社製RTE-1210)を用いて、25℃における各フィルム成形体の引張弾性率を測定した。この際、チャック間距離50mmおよび引張速度2mm/minの条件で測定した。
[Evaluation method: Tensile modulus]
Using a tensile tester (ORITEEC RTE-1210), the tensile modulus of each film molded body at 25 ° C. was measured. At this time, the measurement was performed under the conditions of a distance between chucks of 50 mm and a tensile speed of 2 mm / min.

Figure 2011194648
Figure 2011194648

本発明のガスバリア性積層体フィルムは、ガスバリア性、透明性、耐熱性、耐衝撃性、及び寸法安定性に優れていることから、液晶表示素子用プラスチック基板、カラーフィルター用基板、有機EL表示素子用プラスチック基板、電子ペーパー用基板、太陽電池基板等のディスプレイ基板として好適である。   Since the gas barrier laminate film of the present invention is excellent in gas barrier properties, transparency, heat resistance, impact resistance, and dimensional stability, a plastic substrate for a liquid crystal display element, a substrate for a color filter, an organic EL display element It is suitable as a display substrate such as a plastic substrate, an electronic paper substrate, and a solar cell substrate.

Claims (4)

籠型シルセスキオキサン構造を有した硬化性樹脂を含んだ硬化性樹脂組成物からなり、引張応力−ひずみ曲線における引張弾性率が2000MPa以上、線膨張係数が80ppm/K以下、及びガラス転移温度が300℃以上である第一の層と、
籠型シルセスキオキサン構造を有した硬化性樹脂を含んだ硬化性樹脂組成物からなり、引張応力−ひずみ曲線における引張弾性率が100MPa以上であって第一の層の引張弾性率未満であり、かつ、降伏点を有して塑性変形を示す第二の層とが積層され、
この積層物の一方の面、又は両方の面には、ガスバリア層が設けられていることを特徴とするガスバリア性積層体フィルム。
It consists of a curable resin composition containing a curable resin having a cage-type silsesquioxane structure, has a tensile modulus of elasticity of 2000 MPa or more, a linear expansion coefficient of 80 ppm / K or less, and a glass transition temperature in a tensile stress-strain curve. A first layer having a temperature of 300 ° C. or higher;
It consists of a curable resin composition containing a curable resin having a cage-type silsesquioxane structure, and has a tensile elastic modulus in a tensile stress-strain curve of 100 MPa or more and lower than the tensile elastic modulus of the first layer. And a second layer having a yield point and exhibiting plastic deformation is laminated,
A gas barrier laminate film, wherein a gas barrier layer is provided on one surface or both surfaces of the laminate.
第一の層を形成する硬化性樹脂組成物が、下記一般式(1)
[RSiO3/2]n (1)
〔但し、nは8〜14の整数を示し、Rは下記一般式(2)、(3)又は(4)
Figure 2011194648
(但し、mは1〜3の整数であり、R1は水素原子又はメチル基を示す)のいずれか一つから選ばれる有機官能基)である〕で表される籠型シルセスキオキサン樹脂を含有することを特徴とする請求項1記載のガスバリア性積層体フィルム。
The curable resin composition forming the first layer is represented by the following general formula (1).
[RSiO 3/2 ] n (1)
[However, n represents an integer of 8 to 14, and R represents the following general formula (2), (3) or (4)
Figure 2011194648
(Wherein m is an integer of 1 to 3 and R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group), a cage silsesquioxane resin represented by The gas barrier laminate film according to claim 1, comprising:
第二の層を形成する硬化性樹脂組成物が、下記一般式(5)
Y−[Z−(O1/2−R2 2SiO1/2)a−(R3SiO3/2)k−(O1/2)b]l−Z−Y
(5)
〔但し、R2及びR3はビニル基、アルキル基、フェニル基、(メタ)アクリロイル基、アリル基又はオキシラン環を有する基であって、R2又はR3において、各置換基は互いに同じか異なるものであってもよいが、1分子中に含まれるR3のうち少なくとも1つはビニル基、(メタ)アクリロイル基、アリル基又はオキシラン環を有する基のいずれかである。また、a及びbは0〜3の数であって、1≦a+b≦4の関係を満たし、kは8〜14の数を示し、kが奇数の場合は、aとbはゼロを含めた偶数と奇数との組み合わせであり、kが偶数の場合は、aとbはゼロを含めた偶数の組み合わせであり、lは1〜2000の数を示す。更に、Zは下記一般式(6)
Figure 2011194648
(但し、R4は水素原子、ビニル基、アルキル基、フェニル基、(メタ)アクリロイル基、アリル基又はオキシラン環を有する基であって、R4は互いに同じか異なるものであってもよく、また、pは0〜30の数を示す。)で表される2価の基であり、Yは下記一般式(7)〜(10)から選ばれるいずれかの1価の基である。
[(R5O)R6 2SiO1/2]c−[R7SiO3/2]d−[O1/2]− (7)
[R51/2]e−[R7SiO3/2]d−[O1/2−R6 2SiO1/2]− (8)
(R51/2)− (9)
(R5 3SiO1/2)− (10)
(但し、R6及びR7はビニル基、アルキル基、フェニル基、(メタ)アクリロイル基、アリル基、又はオキシラン環を有する基であって、R6又はR7において、各置換基は互いに同じか異なるものであってもよく、R5は水素原子、メチル基又はエチル基から選ばれ、また、c及びeは0〜3の数であり、dは8〜14の数であり、dが奇数の場合は、cとeはそれぞれ独立に0又は2であり、dが偶数の場合は、cとeはそれぞれ独立に1又は3である。)〕で表される構成単位を有する籠型シルセスキオキサン含有硬化性シリコーン共重合体を含有することを特徴とする請求項1記載のガスバリア性積層体フィルム。
The curable resin composition forming the second layer is represented by the following general formula (5).
Y- [Z- (O 1/2 -R 2 2 SiO 1/2) a - (R 3 SiO 3/2) k - (O 1/2) b] l -Z-Y
(5)
[However, R 2 and R 3 are vinyl group, alkyl group, phenyl group, (meth) acryloyl group, allyl group or group having an oxirane ring, and in R 2 or R 3 , are each substituents the same as each other? Although it may be different, at least one of R 3 contained in one molecule is any of a vinyl group, a (meth) acryloyl group, an allyl group, or a group having an oxirane ring. Further, a and b are numbers from 0 to 3, satisfying the relationship of 1 ≦ a + b ≦ 4, k is a number from 8 to 14, and when k is an odd number, a and b are zero. When k is an even number, a and b are even number combinations including zero, and l represents a number from 1 to 2000. Furthermore, Z is the following general formula (6)
Figure 2011194648
(However, R 4 is a hydrogen atom, vinyl group, alkyl group, phenyl group, (meth) acryloyl group, allyl group or a group having an oxirane ring, and R 4 may be the same or different from each other, P is a divalent group represented by 0 to 30), and Y is any monovalent group selected from the following general formulas (7) to (10).
[(R 5 O) R 6 2 SiO 1/2 ] c- [R 7 SiO 3/2 ] d- [O 1/2 ]-(7)
[R 5 O 1/2 ] e- [R 7 SiO 3/2 ] d- [O 1/2 -R 6 2 SiO 1/2 ]-(8)
(R 5 O 1/2 ) − (9)
(R 5 3 SiO 1/2 ) − (10)
(However, R 6 and R 7 are vinyl groups, alkyl groups, phenyl groups, (meth) acryloyl groups, allyl groups, or groups having an oxirane ring, and in R 6 or R 7 , each substituent is the same as each other. R 5 is selected from a hydrogen atom, a methyl group or an ethyl group, c and e are a number from 0 to 3, d is a number from 8 to 14, and d is In the case of an odd number, c and e are each independently 0 or 2, and in the case where d is an even number, c and e are each independently 1 or 3.)] The gas barrier laminate film according to claim 1, comprising a silsesquioxane-containing curable silicone copolymer.
ガスバリア層が、酸化ケイ素、窒化ケイ素、窒化酸化ケイ素のうちの少なくとも一種を主成分とした層からなることを特徴とする請求項1に記載のガスバリア性積層体フィルム。   2. The gas barrier laminate film according to claim 1, wherein the gas barrier layer is a layer mainly composed of at least one of silicon oxide, silicon nitride, and silicon nitride oxide.
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