JP2011176967A - 位置決め装置および位置決め方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】制御量に基づく超音波モータの駆動により対象物の位置決めを行う位置決め装置100であって、動作する対象物が始動する直後、または停止する直前の一連のサイクルのうち少なくとも1つのサイクルにおける制御量を記憶する制御量記憶部110と、記憶された制御量に基づきオフセットを設定するオフセット設定部115と、動作する対象物の目的位置に基づき1サイクル毎に算出位置を指示する指示部120と、動作する対象物の現在位置を検出する位置検出部130と、検出された現在位置および指示された算出位置に基づき制御量を算出する算出部140と、算出された制御量に設定されたオフセットを重畳して超音波モータを駆動し、対象物を動作する駆動部160とを備える。
【選択図】図1
Description
図1は、位置決め装置100の構成を示すブロック図である。位置決め装置100は、制御量に基づく超音波モータの駆動により対象物の位置決めを行う。位置決め装置100は、制御量記憶部(memory)110、指示部(profile)120、位置検出部(Scale)130、算出部140、オフセット設定部(offset)115および駆動部(USM)160を備えている。
次に、上記のように構成される位置決め装置100の動作の一例を説明する。図2は、位置決め装置の動作を示すフローチャートである。電源投入時の初期においてオフセット量はゼロとする。
次に、制御量出力の動作を説明する。図3は、制御量出力の動作を示すフローチャートである。まず、目的位置の指示に基づいて作成されたプロファイルから、サイクル毎の指示位置を算出して指示する(ステップT1)。そして、対象物(ステージ)の現在の実位置を読み込む(ステップT2)。
110 制御量記憶部
115 オフセット設定部
120 指示部
130 位置検出部
140 算出部
141 微分演算部
142 速度出力部
143 位置出力部
144 微分演算部
145 速度出力部
146 PID演算部
160 駆動部
Claims (5)
- 制御量に基づく超音波モータの駆動により対象物の位置決めを行う位置決め装置であって、
動作する対象物が始動する直後、または停止する直前の一連のサイクルのうち少なくとも1つのサイクルにおける制御量を記憶する制御量記憶部と、
前記記憶された制御量に基づきオフセットを設定するオフセット設定部と、
前記動作する対象物の目的位置に基づき1サイクル毎に算出位置を指示する指示部と、
前記動作する対象物の現在位置を検出する位置検出部と、
前記検出された現在位置および前記指示された算出位置に基づき制御量を算出する算出部と、
前記算出された制御量に前記設定されたオフセットを重畳して超音波モータを駆動し、対象物を動作する駆動部と、を備えることを特徴とする位置決め装置。 - 前記制御量記憶部は、前記動作する対象物が始動する直後、または停止する直前の1サイクルにおける制御量を記憶し、
前記オフセット設定部は、前記動作する対象物が始動する直後、または停止する直前の1サイクルにおける制御量を用いてオフセットを設定することを特徴とする請求項1記載の位置決め装置。 - 前記オフセット設定部は、前記記憶された制御量のうちの代表値を用いてオフセットを設定することを特徴とする請求項1記載の位置決め装置。
- 前記オフセット設定部は、前記記憶された制御量に基づき算出された候補値と1以下の数値との積をオフセットに設定することを特徴とする請求項1から請求項3記載の位置決め装置。
- 制御量に基づく超音波モータの駆動により対象物の位置決めを行う位置決め方法であって、
動作する対象物が始動する直後、または停止する直前の一連のサイクルのうち少なくとも1つのサイクルにおける制御量を記憶するステップと、
前記記憶された制御量に基づきオフセットを設定するステップと、
前記動作する対象物の目的位置に基づき1サイクル毎に算出位置を指示するステップと、
前記動作する対象物の現在位置を検出するステップと、
前記検出された現在位置および前記指示された算出位置に基づき制御量を算出するステップと、
前記算出された制御量に前記設定されたオフセットを重畳して超音波モータを駆動し、対象物を動作するステップと、を含むことを特徴とする位置決め方法。
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