JP2000116159A - 超音波モータの制御方法 - Google Patents
超音波モータの制御方法Info
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- JP2000116159A JP2000116159A JP10278890A JP27889098A JP2000116159A JP 2000116159 A JP2000116159 A JP 2000116159A JP 10278890 A JP10278890 A JP 10278890A JP 27889098 A JP27889098 A JP 27889098A JP 2000116159 A JP2000116159 A JP 2000116159A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】超音波モータにより直線運動や回転運動する被
制御部材を短時間で最終目標位置に位置決めできるよう
にする。 【解決手段】被制御部材を駆動させる超音波モータを、
比例項（Ｐ）、積分項（Ｉ）、微分項（Ｄ）からなる制
御変数に基づいて上記被制御部材の位置偏差をＰＩＤ演
算し、その出力信号に基づいて制御してなり、上記被制
御部材の総移動距離の５０％以上でかつ位置決めが完了
するまでの間に制御変数の切り替え点を設け、この切り
替え点で制御変数の比例項（Ｐ）及び積分項（Ｉ）を切
り替え点以前の制御変数より高くなるように変更し、こ
れらの制御変数に基づいてＰＩＤ演算した出力信号を超
音波モータに印加して制御する。
制御部材を短時間で最終目標位置に位置決めできるよう
にする。 【解決手段】被制御部材を駆動させる超音波モータを、
比例項（Ｐ）、積分項（Ｉ）、微分項（Ｄ）からなる制
御変数に基づいて上記被制御部材の位置偏差をＰＩＤ演
算し、その出力信号に基づいて制御してなり、上記被制
御部材の総移動距離の５０％以上でかつ位置決めが完了
するまでの間に制御変数の切り替え点を設け、この切り
替え点で制御変数の比例項（Ｐ）及び積分項（Ｉ）を切
り替え点以前の制御変数より高くなるように変更し、こ
れらの制御変数に基づいてＰＩＤ演算した出力信号を超
音波モータに印加して制御する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、直線運動や回転運
動する被制御部材を駆動させる超音波モータの制御方法
に関するものであり、特に超精密加工装置や測定装置、
あるいは半導体装置の製造工程における描画装置や露光
装置など高速度で移動し、高精度の位置決めが要求され
る被制御部材を駆動させる超音波モータの制御方法とし
て好適なものである。
動する被制御部材を駆動させる超音波モータの制御方法
に関するものであり、特に超精密加工装置や測定装置、
あるいは半導体装置の製造工程における描画装置や露光
装置など高速度で移動し、高精度の位置決めが要求され
る被制御部材を駆動させる超音波モータの制御方法とし
て好適なものである。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来、
直線運動や回転運動する被制御部材を駆動させる手段と
して、直流モータ、交流モータ、ステッピングモータな
どの回転型モータが用いられていたが、近年、小型でか
つ停止時において被制御部材の大きな保持力が得られる
超音波モータの使用が試みられている。
直線運動や回転運動する被制御部材を駆動させる手段と
して、直流モータ、交流モータ、ステッピングモータな
どの回転型モータが用いられていたが、近年、小型でか
つ停止時において被制御部材の大きな保持力が得られる
超音波モータの使用が試みられている。
【０００３】超音波モータにより被制御部材を駆動さ
せ、所定の位置で停止させる方法としては、被制御部材
が停止させたい位置に達した時に、超音波モータを駆動
させるための信号をオフにする方法があった。
せ、所定の位置で停止させる方法としては、被制御部材
が停止させたい位置に達した時に、超音波モータを駆動
させるための信号をオフにする方法があった。
【０００４】しかしながら、超音波モータは駆動信号を
オフにしても即座に停止せず、停止したい位置をいくら
か越えた位置で停止するため、位置制御の精度が低いと
いった課題があった。
オフにしても即座に停止せず、停止したい位置をいくら
か越えた位置で停止するため、位置制御の精度が低いと
いった課題があった。
【０００５】しかも、超音波モータの駆動は被制御部材
との摩擦駆動であり、静摩擦係数が大きいことから駆動
信号を加えても直ちに動かない不感帯が存在し、その結
果、位置決め時間が長くなるといった課題もあった。
との摩擦駆動であり、静摩擦係数が大きいことから駆動
信号を加えても直ちに動かない不感帯が存在し、その結
果、位置決め時間が長くなるといった課題もあった。
【０００６】一方、前述した回転型モータを制御する方
式としてフィードバック制御が知られており、その基本
となるＰＩＤ制御が専ら用いられている。
式としてフィードバック制御が知られており、その基本
となるＰＩＤ制御が専ら用いられている。
【０００７】このＰＩＤ制御とは、Ｐ動作、Ｉ動作、Ｄ
動作の３つの動作からなり、数１に示される制御式で表
されるもので、ＰＩＤ制御は簡単でしかも精度の良い制
御が期待できることから一般的に広く使用されている。
動作の３つの動作からなり、数１に示される制御式で表
されるもので、ＰＩＤ制御は簡単でしかも精度の良い制
御が期待できることから一般的に広く使用されている。
【０００８】
【数１】
【０００９】ところが、回転型モータで一般的に使用さ
れているＰＩＤ制御を超音波モータに適用し、回転型モ
ータと同様の方法により位置決め時間を最短にすると思
われる制御変数を求めても、超音波モータに固有の比較
的大きな静摩擦力が影響し、滑らかな減衰曲線が得られ
ず停止に時間がかかるといった課題があった。
れているＰＩＤ制御を超音波モータに適用し、回転型モ
ータと同様の方法により位置決め時間を最短にすると思
われる制御変数を求めても、超音波モータに固有の比較
的大きな静摩擦力が影響し、滑らかな減衰曲線が得られ
ず停止に時間がかかるといった課題があった。
【００１０】即ち、図５に回転型モータで使用されてい
るＰＩＤ制御を超音波モータに適用した時の被制御部材
の駆動軌跡を示すように、最終目標位置近傍で大きく振
動しながら減衰し、停止するまでに時間がかかることが
判る。しかも、図５より判るように、被制御部材が動き
だしてから最終目標位置近傍に達するまでの領域１と、
最終目標位置近傍から最終目標位置に位置決めを完了す
るまでの領域２とで駆動条件が異なっており、領域１で
は瞬時に長距離を駆動させるための駆動力が必要である
のに対し、領域２では微少領域を細かく制御する必要が
あり、超音波モータでは静摩擦係数が大きいので回転型
モータに比べて領域１と領域２での差が顕著であった。
るＰＩＤ制御を超音波モータに適用した時の被制御部材
の駆動軌跡を示すように、最終目標位置近傍で大きく振
動しながら減衰し、停止するまでに時間がかかることが
判る。しかも、図５より判るように、被制御部材が動き
だしてから最終目標位置近傍に達するまでの領域１と、
最終目標位置近傍から最終目標位置に位置決めを完了す
るまでの領域２とで駆動条件が異なっており、領域１で
は瞬時に長距離を駆動させるための駆動力が必要である
のに対し、領域２では微少領域を細かく制御する必要が
あり、超音波モータでは静摩擦係数が大きいので回転型
モータに比べて領域１と領域２での差が顕著であった。
【００１１】その上、前述したように、被制御部材が動
きだすまでに領域３のような不感帯が存在し、この不感
帯も位置決め時間を長くする要因となっていた。
きだすまでに領域３のような不感帯が存在し、この不感
帯も位置決め時間を長くする要因となっていた。
【００１２】その為、回転型モータの制御で一般に行わ
れているオーバシュートを抑えたり、目標位置に対する
オフセット量を無くすためにＰＩＤ制御の条件を求めて
理想波形に近づける方法を超音波モータではとることが
できなかった。
れているオーバシュートを抑えたり、目標位置に対する
オフセット量を無くすためにＰＩＤ制御の条件を求めて
理想波形に近づける方法を超音波モータではとることが
できなかった。
【００１３】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明は上記課
題に鑑み、被制御部材を駆動させる超音波モータを、比
例項（Ｐ）、積分項（Ｉ）、微分項（Ｄ）からなる制御
変数に基づいて上記被制御部材の位置偏差をＰＩＤ演算
し、その出力信号に基づいて制御する方法であって、上
記被制御部材の総移動距離の５０％以上でかつ位置決め
が完了するまでの間に前記制御変数の切り替え点を設
け、該切り替え点以降における制御変数の比例項（Ｐ）
及び積分項（Ｉ）の値が切り替え点以前における比例項
（Ｐ）及び積分項（Ｉ）の値より高くなるように変更
し、これらの制御変数に基づいてＰＩＤ演算した出力信
号を前記超音波モータに印加するようにしたことを特徴
とする。
題に鑑み、被制御部材を駆動させる超音波モータを、比
例項（Ｐ）、積分項（Ｉ）、微分項（Ｄ）からなる制御
変数に基づいて上記被制御部材の位置偏差をＰＩＤ演算
し、その出力信号に基づいて制御する方法であって、上
記被制御部材の総移動距離の５０％以上でかつ位置決め
が完了するまでの間に前記制御変数の切り替え点を設
け、該切り替え点以降における制御変数の比例項（Ｐ）
及び積分項（Ｉ）の値が切り替え点以前における比例項
（Ｐ）及び積分項（Ｉ）の値より高くなるように変更
し、これらの制御変数に基づいてＰＩＤ演算した出力信
号を前記超音波モータに印加するようにしたことを特徴
とする。
【００１４】また、本発明は、上記ＰＩＤ制御の制御変
数に、開ループ制御にて前記被制御部材が動きだす電圧
値を、不感帯を補正するオフセット項として加えたこと
を特徴とする。
数に、開ループ制御にて前記被制御部材が動きだす電圧
値を、不感帯を補正するオフセット項として加えたこと
を特徴とする。
【００１５】
【作用】本発明によれば、被制御部材の総移動距離の５
０％以上でかつ位置決めが完了するまでの間に、ＰＩＤ
制御における制御変数の切り換え点を設け、この切り換
え点以降における制御変数の比例項（Ｐ）及び積分項
（Ｉ）の値を、切り替え点以前における比例項（Ｐ）及
び積分項（Ｉ）の値より高くなるように変更し、これら
の制御変数に基づいてＰＩＤ演算した出力信号を超音波
モータに印加するようにしたことから、目標位置近傍で
発生していた振動を抑え、被制御部材を短時間で停止さ
せることができる。
０％以上でかつ位置決めが完了するまでの間に、ＰＩＤ
制御における制御変数の切り換え点を設け、この切り換
え点以降における制御変数の比例項（Ｐ）及び積分項
（Ｉ）の値を、切り替え点以前における比例項（Ｐ）及
び積分項（Ｉ）の値より高くなるように変更し、これら
の制御変数に基づいてＰＩＤ演算した出力信号を超音波
モータに印加するようにしたことから、目標位置近傍で
発生していた振動を抑え、被制御部材を短時間で停止さ
せることができる。
【００１６】なお、制御変数の切り替えにあたっては、
切り替え点に達した時点で被制御部材を止めることな
く、制御式に与える制御変数の比例項（Ｐ）及び積分項
（Ｉ）をリアルタイムに変更することが必要である。
切り替え点に達した時点で被制御部材を止めることな
く、制御式に与える制御変数の比例項（Ｐ）及び積分項
（Ｉ）をリアルタイムに変更することが必要である。
【００１７】また、本発明によれば、ＰＩＤ制御の制御
変数に、開ループ制御にて被制御部材が動き出す電圧値
をオフセット項として加えたことから、不感帯の影響を
みかけ上無くすことができ、超音波モータに指令電圧を
印加すれば、直ちに被制御部材を駆動させることができ
るため、位置決め時間を短くすることができる。
変数に、開ループ制御にて被制御部材が動き出す電圧値
をオフセット項として加えたことから、不感帯の影響を
みかけ上無くすことができ、超音波モータに指令電圧を
印加すれば、直ちに被制御部材を駆動させることができ
るため、位置決め時間を短くすることができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を説明す
る。
る。
【００１９】図１は本発明に係る超音波モータの制御方
法により駆動される直線案内装置を示す模式図で、１は
固定ガイド、２は上記固定ガイド１上を移動する被制御
部材としての移動ステージ、３は上記移動ステージ２を
駆動するための超音波モータである。なお、上記移動テ
ーブル２を固定ガイド１上で移動させる手段としては、
滑り案内、転がり案内、静圧案内などいずれの手段を用
いたものであっても構わない。
法により駆動される直線案内装置を示す模式図で、１は
固定ガイド、２は上記固定ガイド１上を移動する被制御
部材としての移動ステージ、３は上記移動ステージ２を
駆動するための超音波モータである。なお、上記移動テ
ーブル２を固定ガイド１上で移動させる手段としては、
滑り案内、転がり案内、静圧案内などいずれの手段を用
いたものであっても構わない。
【００２０】また、移動テーブル２の一方の側面には案
内部材４が取り付けてあり、超音波モータ３の駆動力が
案内部材４を介して移動テーブル２に伝達されるように
なっており、移動テーブル２の他方の側面にはガラスス
ケール５が固定されており、検出ヘッド６によって移動
テーブル２の位置を検出するようになっている。
内部材４が取り付けてあり、超音波モータ３の駆動力が
案内部材４を介して移動テーブル２に伝達されるように
なっており、移動テーブル２の他方の側面にはガラスス
ケール５が固定されており、検出ヘッド６によって移動
テーブル２の位置を検出するようになっている。
【００２１】検出ヘッド６からの出力信号はスケールア
ンプ７により増幅され、演算部８の入力に応じた波形に
変換され、この演算部８で移動ステージ２の現在位置と
目標位置との位置偏差を比例項（Ｐ）、積分項（Ｉ）、
微分項（Ｄ）からなる制御変数に基づいてＰＩＤ演算
し、その出力信号を超音波モータドライバ９に出力して
超音波モータ３を駆動させるようになっており、このよ
うに閉ループを構成し、ＰＩＤ制御を用いて微少時間の
位置誤差をフィードバックしながら、移動ステージ２を
駆動させるようになっている。
ンプ７により増幅され、演算部８の入力に応じた波形に
変換され、この演算部８で移動ステージ２の現在位置と
目標位置との位置偏差を比例項（Ｐ）、積分項（Ｉ）、
微分項（Ｄ）からなる制御変数に基づいてＰＩＤ演算
し、その出力信号を超音波モータドライバ９に出力して
超音波モータ３を駆動させるようになっており、このよ
うに閉ループを構成し、ＰＩＤ制御を用いて微少時間の
位置誤差をフィードバックしながら、移動ステージ２を
駆動させるようになっている。
【００２２】演算部８には、図２のフローチャートに示
す制御をプログラムしてあり、数２に示す制御式により
演算された値を指令値として出力するようにしてある。
す制御をプログラムしてあり、数２に示す制御式により
演算された値を指令値として出力するようにしてある。
【００２３】
【数２】
【００２４】ここで、制御変数の比例項（Ｐ）は、ある
時間ｔにおける位置偏差にＰ値を掛けたもの、積分項
（Ｉ）は、ある時間ｔにおける位置偏差の積分和にＩ値
を掛けたもの、微分項（Ｄ）は、ある時間ｔにおける位
置偏差の微分和にＤ値を掛けたものである。
時間ｔにおける位置偏差にＰ値を掛けたもの、積分項
（Ｉ）は、ある時間ｔにおける位置偏差の積分和にＩ値
を掛けたもの、微分項（Ｄ）は、ある時間ｔにおける位
置偏差の微分和にＤ値を掛けたものである。
【００２５】また、オフセット項に加える変数は、一度
閉ループ制御を解除して開ループ制御とし、序々に電圧
を上げながら単位時間に動く量を監視し、動いたと判断
した時の電圧値を変数として記憶させる。この動作を正
移動の時と負移動の時の両方向で行い、別々の変数とし
て記憶させ、これら一連の動作を実行する命令を作る。
なお、オフセット項の変数は、超音波モータ３と案内部
材４の摩擦係数や取付角度によって大きく変化するた
め、一制御毎に演算するようにしておくことが良い。
閉ループ制御を解除して開ループ制御とし、序々に電圧
を上げながら単位時間に動く量を監視し、動いたと判断
した時の電圧値を変数として記憶させる。この動作を正
移動の時と負移動の時の両方向で行い、別々の変数とし
て記憶させ、これら一連の動作を実行する命令を作る。
なお、オフセット項の変数は、超音波モータ３と案内部
材４の摩擦係数や取付角度によって大きく変化するた
め、一制御毎に演算するようにしておくことが良い。
【００２６】このようにしてオフセット項を決めれば、
不感帯の存在する超音波モータ３の立ち上がりを図３に
示すような立ち上がり特性に改善することができ、不感
帯の影響を見かけ上無くすことができる。しかも、オフ
セット項を設けることで、最終目標位置近傍での振動も
抑制する効果がある。
不感帯の存在する超音波モータ３の立ち上がりを図３に
示すような立ち上がり特性に改善することができ、不感
帯の影響を見かけ上無くすことができる。しかも、オフ
セット項を設けることで、最終目標位置近傍での振動も
抑制する効果がある。
【００２７】また、演算部８には、移動テーブル２の総
移動距離の５０％以上から位置決めが完了するまでの間
に切り替え点を設け、比例項（Ｐ）及び積分項（Ｄ）の
制御変数を、移動テーブル２が動きだしてから制御変数
の切り替え点までの間に加えていた変数より高くなるよ
うにプログラムしてある。なお、具体的な切り替え点に
ついては、トライ・アンド・エラーの繰り返しにより所
望の軌跡に近くなるように設定する。ここで、切り替え
点を移動テーブル２の総移動距離の５０％以上としたの
は、５０％未満では移動テーブル２が加速している状態
であり、位置決め時間の短縮が図れなくなるからであ
る。
移動距離の５０％以上から位置決めが完了するまでの間
に切り替え点を設け、比例項（Ｐ）及び積分項（Ｄ）の
制御変数を、移動テーブル２が動きだしてから制御変数
の切り替え点までの間に加えていた変数より高くなるよ
うにプログラムしてある。なお、具体的な切り替え点に
ついては、トライ・アンド・エラーの繰り返しにより所
望の軌跡に近くなるように設定する。ここで、切り替え
点を移動テーブル２の総移動距離の５０％以上としたの
は、５０％未満では移動テーブル２が加速している状態
であり、位置決め時間の短縮が図れなくなるからであ
る。
【００２８】その為、例えば、移動テーブル２の総移動
距離の９０％の地点を切り替え点とし、比例項（Ｐ）の
値を、切り替え点以前に加えていた値の３００％、積分
項（Ｉ）の値を、変数切り替え点以前に加えていた値の
１５０％にそれぞれ変更することにより、図４に示すよ
うに最終目標位置近傍での減衰特性を大幅に改善し、最
終目標位置で直ちに停止させることができる。
距離の９０％の地点を切り替え点とし、比例項（Ｐ）の
値を、切り替え点以前に加えていた値の３００％、積分
項（Ｉ）の値を、変数切り替え点以前に加えていた値の
１５０％にそれぞれ変更することにより、図４に示すよ
うに最終目標位置近傍での減衰特性を大幅に改善し、最
終目標位置で直ちに停止させることができる。
【００２９】かくして、本発明の制御方法を用いれば、
直線運動する移動テーブル２の位置決め時間を大幅に短
縮することができ、以て、移動テーブル２の高速化を達
成することができる。
直線運動する移動テーブル２の位置決め時間を大幅に短
縮することができ、以て、移動テーブル２の高速化を達
成することができる。
【００３０】なお、本実施形態では直線運動する被制御
部材の例について説明したが、本発明の制御方法は、回
転運動する被制御部材の位置決めにも適用できることは
言うまでもない。
部材の例について説明したが、本発明の制御方法は、回
転運動する被制御部材の位置決めにも適用できることは
言うまでもない。
【００３１】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、被制御
部材を駆動させる超音波モータを、比例項（Ｐ）、積分
項（Ｉ）、微分項（Ｄ）からなる制御変数に基づいて上
記被制御部材の位置偏差をＰＩＤ演算し、その出力信号
に基づいて制御する方法であって、上記被制御部材の総
移動距離の５０％以上でかつ位置決めが完了するまでの
間に前記制御変数の切り替え点を設け、該切り替え点以
降における制御変数の比例項（Ｐ）及び積分項（Ｉ）の
値が切り替え点以前における比例項（Ｐ）及び積分項
（Ｉ）の値より高くなるように変更し、これらの制御変
数に基づいてＰＩＤ演算した出力信号を前記超音波モー
タに印加するようにしたことから、上記被制御部材が最
終目標位置近傍に近づいても大きく振動することが殆ど
なく、最終目標位置に停止するまでの時間を短縮するこ
とができる。
部材を駆動させる超音波モータを、比例項（Ｐ）、積分
項（Ｉ）、微分項（Ｄ）からなる制御変数に基づいて上
記被制御部材の位置偏差をＰＩＤ演算し、その出力信号
に基づいて制御する方法であって、上記被制御部材の総
移動距離の５０％以上でかつ位置決めが完了するまでの
間に前記制御変数の切り替え点を設け、該切り替え点以
降における制御変数の比例項（Ｐ）及び積分項（Ｉ）の
値が切り替え点以前における比例項（Ｐ）及び積分項
（Ｉ）の値より高くなるように変更し、これらの制御変
数に基づいてＰＩＤ演算した出力信号を前記超音波モー
タに印加するようにしたことから、上記被制御部材が最
終目標位置近傍に近づいても大きく振動することが殆ど
なく、最終目標位置に停止するまでの時間を短縮するこ
とができる。
【００３２】また、本発明によれば、上記ＰＩＤ制御の
制御変数に、開ループ制御にて被制御部材が動きだす電
圧値を、オフセット項として加えたことから、不感帯を
見かけ上無くすことができ、超音波モータに指令値を印
加すれば被制御部材を直ちに移動させることができる。
制御変数に、開ループ制御にて被制御部材が動きだす電
圧値を、オフセット項として加えたことから、不感帯を
見かけ上無くすことができ、超音波モータに指令値を印
加すれば被制御部材を直ちに移動させることができる。
【００３３】かくして、本発明に係る超音波モータの制
御方法を用いれば、被制御部材の位置決め時間を大幅に
短縮することができ、例えば、超精密加工装置や測定装
置、あるいは半導体装置の製造工程における描画装置や
露光装置など高速度で移動し、高精度の位置決めが要求
される被制御部材を駆動させる超音波モータの制御方法
として好適である。
御方法を用いれば、被制御部材の位置決め時間を大幅に
短縮することができ、例えば、超精密加工装置や測定装
置、あるいは半導体装置の製造工程における描画装置や
露光装置など高速度で移動し、高精度の位置決めが要求
される被制御部材を駆動させる超音波モータの制御方法
として好適である。
【図１】本発明に係る超音波モータの制御方法により駆
動される直線案内装置を示す模式図である。
動される直線案内装置を示す模式図である。
【図２】図１における演算部の制御方法を示すフローチ
ャートである。
ャートである。
【図３】ＰＩＤ制御の制御変数にオフセット項を加えた
時の移動テーブルの駆動軌跡を示すグラフである。
時の移動テーブルの駆動軌跡を示すグラフである。
【図４】ＰＩＤ制御の比例項（Ｐ）及び積分項（Ｉ）を
切り換えるようにした時の移動テーブルの駆動軌跡を示
すグラフである。
切り換えるようにした時の移動テーブルの駆動軌跡を示
すグラフである。
【図５】回転型モータに一般的に使用されているＰＩＤ
制御を超音波モータに適用した時の被制御部材の駆動軌
跡を示すグラフである。
制御を超音波モータに適用した時の被制御部材の駆動軌
跡を示すグラフである。
１・・・固定ガイド ２・・・移動テーブル ３・・・
超音波モータ ４・・・案内部材 ５・・・ガラススケール ６・・・
検出ヘッド ７・・・スケールアンプ ８・・・演算部 ９・・・超
音波モータドライバ
超音波モータ ４・・・案内部材 ５・・・ガラススケール ６・・・
検出ヘッド ７・・・スケールアンプ ８・・・演算部 ９・・・超
音波モータドライバ
フロントページの続き Ｆターム(参考） 5H680 AA00 AA04 AA09 BB01 BB13 BC00 BC10 DD01 DD53 DD59 EE22 FF21 FF24 FF29 FF30
Claims (2)
- 【請求項１】被制御部材を駆動させる超音波モータを、
比例項（Ｐ）、積分項（Ｉ）、微分項（Ｄ）からなる制
御変数に基づいて上記被制御部材の位置偏差をＰＩＤ演
算し、その出力信号に基づいて制御する方法であって、
上記被制御部材の総移動距離の５０％以上でかつ位置決
めが完了するまでの間に前記制御変数の切り替え点を設
け、該切り替え点以降における制御変数の比例項（Ｐ）
及び積分項（Ｉ）の値が切り替え点以前における比例項
（Ｐ）及び積分項（Ｉ）の値より高くなるように変更
し、これらの制御変数に基づいてＰＩＤ演算した出力信
号を前記超音波モータに印加するようにしたことを特徴
とする超音波モータの制御方法。 - 【請求項２】上記ＰＩＤ制御の制御変数に、開ループ制
御にて前記被制御部材が動きだす電圧値を、不感帯を補
正するオフセット項として加えたことを特徴とする請求
項１に記載の超音波モータの制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10278890A JP2000116159A (ja) | 1998-09-30 | 1998-09-30 | 超音波モータの制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10278890A JP2000116159A (ja) | 1998-09-30 | 1998-09-30 | 超音波モータの制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000116159A true JP2000116159A (ja) | 2000-04-21 |
Family
ID=17603537
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10278890A Pending JP2000116159A (ja) | 1998-09-30 | 1998-09-30 | 超音波モータの制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000116159A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008125696A (ja) * | 2006-11-20 | 2008-06-05 | Yamaguchi Univ | 食事支援システム |
| JP2011176967A (ja) * | 2010-02-25 | 2011-09-08 | Taiheiyo Cement Corp | 位置決め装置および位置決め方法 |
| EP3118985A1 (en) | 2015-07-14 | 2017-01-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Control apparatus of vibration actuator, method for controlling vibration actuator, driving apparatus, and imaging apparatus |
-
1998
- 1998-09-30 JP JP10278890A patent/JP2000116159A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008125696A (ja) * | 2006-11-20 | 2008-06-05 | Yamaguchi Univ | 食事支援システム |
| JP2011176967A (ja) * | 2010-02-25 | 2011-09-08 | Taiheiyo Cement Corp | 位置決め装置および位置決め方法 |
| EP3118985A1 (en) | 2015-07-14 | 2017-01-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Control apparatus of vibration actuator, method for controlling vibration actuator, driving apparatus, and imaging apparatus |
| US10187578B2 (en) | 2015-07-14 | 2019-01-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Control apparatus of vibration actuator, method for controlling vibration actuator, driving apparatus, imaging apparatus, interchangeable lens, and automatic stage |
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