JP2011176129A - 断熱構造 - Google Patents
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Abstract
【課題】作業性が良く安価で断熱性能が高い断熱構造を提供すること。
【解決手段】断熱構造30は、ファン31と、ユニット10の背面10cに配設され、箱形状に形成され、ファン31によって外部10bから内部10aに向けて気体が流れる流路部51の一部を内部33cに有する内側パネル33と、内側パネル33を覆い、内側パネル33の蓋となる外側パネル37と、外側パネル37が内側パネル33を覆った際に、気体を外部10bからファン31に向けて吸気する吸気口41aと、吸気口41aから気体が流れる流路部51の一部とを形成する突起部43と、外側パネル37が内側パネル33を覆った際に、外側パネル37と折り曲げ部35との間にて気体が流れる流路部51の一部を形成した状態で外側パネル37に貼り付いて、内側パネル33と外側パネル37とを貼り付ける貼付部47とを有している。
【選択図】 図1C
【解決手段】断熱構造30は、ファン31と、ユニット10の背面10cに配設され、箱形状に形成され、ファン31によって外部10bから内部10aに向けて気体が流れる流路部51の一部を内部33cに有する内側パネル33と、内側パネル33を覆い、内側パネル33の蓋となる外側パネル37と、外側パネル37が内側パネル33を覆った際に、気体を外部10bからファン31に向けて吸気する吸気口41aと、吸気口41aから気体が流れる流路部51の一部とを形成する突起部43と、外側パネル37が内側パネル33を覆った際に、外側パネル37と折り曲げ部35との間にて気体が流れる流路部51の一部を形成した状態で外側パネル37に貼り付いて、内側パネル33と外側パネル37とを貼り付ける貼付部47とを有している。
【選択図】 図1C
Description
本発明は、例えば精密装置における一方のユニットから発散される高温の熱がこのユニットに隣接する精密装置における他方のユニットに影響を及ぼさないように及びこれらユニットが設置される設置環境にこの熱が影響を及ぼさないように、一方のユニットから発散される熱を断熱する断熱構造に関する。
例えば半導体製造装置や半導体露光装置や精密測定器などの精密装置は、複数のユニットから構成されている。これらユニットは、精密機械が設置される環境の温度変化から多大な影響を受ける。そのため精密装置の内部において、一方のユニットから発散される高温の熱がこのユニットに隣接する他方のユニットに影響を及ぼさないように及びこれらユニットが設置される設置環境にこの熱が影響を及ぼさないように、一方のユニットには、精密機械が設置される環境の温度を自身から発生する熱によって変化させないように、熱を断熱する高い断熱性能が要求されている。
そのため図2Aと図2Bとに示すように、ユニット100は、ユニット100や図示しない精密装置が設置される環境の温度を発熱体110から発生する熱によって変化させないように、断熱性能を有する断熱構造130を有している。
断熱構造130は、例えば図2Aに示すように発熱体110から発生し、ユニット100の内部100aに溜まる熱を冷却するためにユニット100の外部100bから気体を吸気し、ユニット100の内部100aに向けて気体を送気するファン131と、ファン131を有し、ユニット100の背面100cに配設され、輻射率の低い磨き薄板の縁を略L字に折り曲げて箱形状に形成され、ファン131によってユニット100の外部100bからユニット100の内部100aに向けて気体が流れる流路部151を有する内側パネル133と、外部100bからユニット100の内部100aに気体を吸気する吸気口137bを有し、輻射率の低い磨き薄板であり、内側パネル133の蓋となる外側パネル137と、内側パネル133に蓋をする外側パネル137を内側パネル133に取り付けるリベットなどの取り付け部材161とを有している。
取り付け部材161は、内側パネル133の折り曲げ部135の正面135cと、外側パネル137の縁137cとを取り付ける。正面135cは、外側パネル137が取り付けられる取り付け面となる。蓋である外側パネル137は、取り付け面である正面135cに取り付け部材161によって取り付けられる。
断熱構造130は、ファン131によって外部100bから吸気口137bと流路部151とを介して内部100aに気体を吸気することで、発熱体110から発生する熱を断熱する。
また図2Bに示すように、内側パネル133と外側パネル137とは、縁にて折れ曲がっており、外側パネル137は内側パネル133を覆う。このとき外側パネル137の折れ曲がり部139は折れ曲がり部135に重なり、取り付け部材161はこの重なり部にて外側パネル137を内側パネル133に取り付けている。
例えば特許文献1には、断熱性能が高く、高温で使用可能な真空断熱パネルと、該断熱パネルを備えた機器が開示されている。
上述した図2Aに示す断熱構造130において、蓋である外側パネル137が取り付け面である正面135cに取り付け部材161によって取り付けられる際、位置合わせが必要となる。また外側パネル137を正面135cに取り付けるために、多数の取り付け部材161が必要となる。そのため作業性(組立性)が悪く、コストが高くなってしまう。
また図2Bに示す断熱構造130において、外側パネル137が内側パネル133を覆う際、折れ曲がり部139が折れ曲がり部135に重なった状態で取り付け部材161で互いを取り付ける必要が生じる。そのため作業性が悪くなってしまう。また、この重なり部分から外部100bへの伝熱量が増加する。結果的に、断熱性能が低下してしまう。
そのため本発明は、上記事情に鑑み、作業性が良く安価で断熱性能が高い断熱構造を提供することを目的とする。
本発明は目的を達成するために、熱を発生する発熱体を内部に有する第1のユニットに配設され、設置される環境の温度変化から影響を受ける第2のユニットが設置される環境の温度を前記発熱体から発生する前記熱によって変化させないように、断熱性能を有する断熱構造であって、前記発熱体から発生し、前記第1のユニットの内部に溜まる前記熱を冷却するために前記第1のユニットの外部から気体を吸気し、前記第1のユニットの内部に向けて前記気体を送気するファンと、前記第1のユニットの外部から前記気体を前記第1のユニットの内部に送気するために前記ファンが配設される前記送気口を有し、前記第1のユニットの背面に配設され、板の縁を略L字に折り曲げて箱形状に形成され、前記ファンによって前記第1のユニットの外部から前記第1のユニットの内部に向けて前記気体が流れる流路部の一部を内部に有する内側パネルと、板の縁を折り曲げて形成され、前記内側パネルにおける略L字形状の折り曲げ部を含む前記内側パネルを覆い、前記内側パネルの蓋となる外側パネルと、前記内側パネルの折り曲げ部の側面側の外面と、前記外面に対向する前記外側パネルの折り曲げ部の内面との少なくとも一方に配設され、前記外側パネルが前記内側パネルを覆った際に、前記内側パネルの折り曲げ部の側面側の外面と前記外側パネルの折り曲げ部の内面との間にて、前記気体を前記第1のユニットの外部から前記ファンに向けて吸気する吸気口と、前記吸気口から前記気体が流れる前記流路部の一部とを形成する突起部と、前記外側パネルの正面の内面に対向する前記内側パネルの折り曲げ部の正面と、前記外側パネルの正面の内面との少なくとも一方に配設され、前記外側パネルが前記内側パネルを覆った際に、前記外側パネルと前記内側パネルの折り曲げ部との間にて前記気体が流れる前記流路部の一部を形成した状態で前記外側パネルまたは前記内側パネルに貼り付いて、前記内側パネル33と前記外側パネルとを貼り付ける貼付部と、を具備していることを特徴とする断熱構造を提供する。
また本発明は目的を達成するために、前記突起部は、前記外側パネルが前記内側パネルを覆った際に、前記外側パネルの折り曲げ部の内面が前記内面に対向する前記内側パネルの折り曲げ部の側面側の外面に当接することを防止することを特徴とする上記に記載の断熱構造を提供する。
また本発明は目的を達成するために、前記突起部は、前記外側パネルが前記内側パネルを覆った際に、前記外側パネルが平面方向にがたつくことを防止することを特徴とする上記に記載の断熱構造を提供する。
また本発明は目的を達成するために、前記突起部は、前記内側パネルと前記外側パネルとの重なり部分である前記外側パネルの折り曲げ部の内面の面積に比べて小さい面積を有していることを特徴とする上記に記載の断熱構造を提供する。
また本発明は目的を達成するために、前記貼付部は、前記外側パネルが前記内側パネルを覆った際、前記外側パネルが前記流路部の一部を潰さないように、所望な厚みを有していることを特徴とする上記に記載の断熱構造を提供する。
また本発明は目的を達成するために、前記外側パネルは、前記突起部によって形成される前記吸気口とは異なる外側パネル側吸気口を有していることを特徴とする上記に記載の断熱構造を提供する。
また本発明は目的を達成するために、前記送気口と前記外側パネル吸気口とは、前記内側パネルおよび前記外側パネルの平面に対する垂直な方向からみて、異なる位置に配設されていることを特徴とする上記に記載の断熱構造を提供する。
また本発明は目的を達成するために、前記送気口は前記内側パネルの中央部に配設され、前記外側パネル吸気口は前記外側パネルの縁に配設されていることを特徴とする上記に記載の断熱構造を提供する。
また本発明は目的を達成するために、前記送気口と前記吸気口と前記外側パネル吸気口とは、前記気体が前記内側パネルおよび前記外側パネルに沿って前記流路部を流動するようにそれぞれ配設されていることを特徴とする上記に記載の断熱構造を提供する。
本発明によれば、作業性が良く安価で断熱性能が高い断熱構造を提供することができる。
以下、図1Aと図1Bと図1Cとを参照して本発明に係る実施形態について詳細に説明する。
図1Aに示すように例えば半導体製造装置や半導体露光装置や精密測定器などの精密装置5は、複数のユニット10から構成されている。一方のユニット10は、熱を発生する発熱体11をユニット10の内部10aに有している。発熱体11は、例えば発熱量が多いモータなどである。
図1Aに示すように例えば半導体製造装置や半導体露光装置や精密測定器などの精密装置5は、複数のユニット10から構成されている。一方のユニット10は、熱を発生する発熱体11をユニット10の内部10aに有している。発熱体11は、例えば発熱量が多いモータなどである。
またユニット10の隣接には、またはユニット10の周辺には、精密装置5が設置される環境の温度変化から多大な影響を受ける他方の図示しないユニットが設置されている。 そして精密装置5も、微小の温度変化によって性能に影響がでてしまう。
そのため例えばユニット10は、例えばユニット10(精密装置5)や他方のユニットが設置される環境の温度を発熱体11から発生する熱によって変化させないように、断熱性能を有する断熱構造30を有している。
図1Bと図1Cとに示すように、断熱構造30は、発熱体11から発生し、ユニット10の内部10aに溜まる熱を冷却するためにユニット10の外部10bから気体を吸気し、ユニット10の内部10aに向けて気体を送気するファン31と、ユニット10の外部10bから気体をユニット10の内部10aに送気するために、ファン31が配設される送気口33eを有し、ユニット10(精密装置5)の背面10cに配設され、輻射率の低い磨き薄板の縁を略L字に折り曲げて箱形状に形成され、ファン31によってユニット10の外部10bからユニット10の内部10aに向けて気体が流れる流路部51の一部を内部33cに有する内側パネル33と、輻射率の低い磨き薄板の縁を折り曲げて形成され、内側パネル33における略L字形状の折り曲げ部35を含む内側パネル33を覆い、内側パネル33の蓋となる外側パネル37と、外側パネル37に対向する折り曲げ部35の側面35aの外面35b側に配設され、外側パネル37が内側パネル33を覆った際に、折り曲げ部35の外面35bと外側パネル37の折り曲げ部39の内面39aとの間にて、気体を外部10bからファン31に向けて吸気する吸気口41aと、吸気口41aから気体が流れる流路部51の一部とを形成する突起部43と、外側パネル37の正面37aの内面37fに対向する折り曲げ部35の正面35cに配設され、外側パネル37が内側パネル33を覆った際に、外側パネル37(内面37f)と折り曲げ部35(正面35c)との間にて気体が流れる流路部51の一部を形成した状態で外側パネル37に貼り付いて、内側パネル33と外側パネル37とを貼り付ける貼付部47と、を有している。
図1Cに示すようにファン31は、例えば内側パネル33の背面33bに配設されている。本実施形態では、ファン31は、背面33bの例えば中央部に配設されている。このファン31は、送気口33eに配設されており、気体を内部33cから内部10aに送気する。
内側パネル33は、内側パネル33の背面33bを介してユニット10の背面10cに図示しないビスなどによって固定される。図1Cに示すように内側パネル33は、外側パネル37よりも小さく、外側パネル37によって覆いかぶされる。内側パネル33は、縁が折り曲げられている箱である。
内側パネル33は、外部10bから後述する吸気口37b,41aと空間部41,45とを介して内側パネル33の内部33cに気体を吸気する吸気口33dと、上述した送気口33eとを有している。
図1Cに示すように吸気口33dは、平面方向における折り曲げ部35(正面35c)と折り曲げ部35(正面35c)との間の開口部を示す。吸気口33dは、空間部45と内部33cとに連通している。また吸気口33dは、後述する吸気口37bにも連通している。吸気口33dは、厚み方向にて送気口33eと同一直線上に配設されている。吸気口33dは、送気口33eよりも大きい。吸気口33dは、例えば矩形形状を有している。
図1Cに示すように送気口33eは、ファン31が実装されるために背面33bに配設され、外部10bから吸気口37b,41aと空間部41,45と吸気口33dと内部33cとを介して吸気された気体をユニット10の内部10aに送気する。送気口33eは、ファン31と同数配設されている。送気口33eは、例えば矩形形状を有している。送気口33eは、ファン31に対向するように背面33bの中央部に配設されている。送気口33eは、気体が送気口33eとファン31との間から漏れないようにファン31に密着する例えば図示しないパッキンなどを有している。
図1Bと図1Cとに示すように外側パネル37は、縁37cが折り曲げられている蓋である。
また図1Bに示すように、外側パネル37は、突起部43によって形成される吸気口41aとは異なる外側パネル側吸気口である吸気口37bを有していても良い。吸気口37bは、吸気口41aと同様に気体を外部10bからファン31に向けて吸気する。吸気口37bは、正面37aの各縁37cに複数配設されている。吸気口37bは、所望な間隔互いに離れている。吸気口37bは、一方の縁37cからこの縁37cに対向する他方の縁37cに向って直線状に配設されている長穴である。
吸気口37bは、厚み方向において吸気口33dと連通し、折り曲げ部35の正面35cに対向せずに内側パネル33の背面33bに対向している。
また図1Bと図1Cとに示すように、吸気口37bは、外側パネル37の正面37aから見た際に送気口33eに対向せず送気口33eを囲むように配設されている。なお送気口33eと吸気口37bと内側パネル33の外周面側に配設されている吸気口41aとは、厚み方向からみて、それぞれ異なる位置に配置されている。言い換えると、送気口33eと吸気口37bと吸気口41aとは、厚み方向において、それぞれ同一直線上からずれて配設されている。より詳細には、送気口33eと吸気口37bと吸気口41aとは、流路部51(空間部41,45と内部33c)内を気体が層流の状態で流れるように配設されている。また送気口33eと吸気口37bと吸気口41aとは、気体が内側パネル33および外側パネル37に沿って流路部51を流動するようにそれぞれ配設されている。
また図1Bと図1Cとに示すように、吸気口37bは、外側パネル37の正面37aから見た際に送気口33eに対向せず送気口33eを囲むように配設されている。なお送気口33eと吸気口37bと内側パネル33の外周面側に配設されている吸気口41aとは、厚み方向からみて、それぞれ異なる位置に配置されている。言い換えると、送気口33eと吸気口37bと吸気口41aとは、厚み方向において、それぞれ同一直線上からずれて配設されている。より詳細には、送気口33eと吸気口37bと吸気口41aとは、流路部51(空間部41,45と内部33c)内を気体が層流の状態で流れるように配設されている。また送気口33eと吸気口37bと吸気口41aとは、気体が内側パネル33および外側パネル37に沿って流路部51を流動するようにそれぞれ配設されている。
なお吸気口37bの配置位置は、正面37aから見た際に送気口33eに対向していなければ特に限定されない。
また内側パネル33と外側パネル37とは、2枚の輻射率の低い磨き薄板を折り曲げて形成されているが、内側パネル33と外側パネル37との少なくとも一方が低輻射処理を施されていればよい。
図1Cに示すように、突起部43は、外側パネル37が内側パネル33を覆った際に、外側パネル37の側面37d(折り曲げ部39の内面39a)が内側パネル33の側面(折り曲げ部35の側面35aの外面35b)に当接することを防止し、折り曲げ部35の側面35aと折り曲げ部39との間に、吸気口41aと、吸気口41aを有する空間部41とを形成し、流路部51の一部である空間部41を確保する。また突起部43は、外側パネル37が内側パネル33を覆った際に、外側パネル37の側面37d(折り曲げ部39の内面39a)が内側パネル33の側面(折り曲げ部35の側面35aの外面35b)に当接することで空間部41が潰れてしまうことを防止する支軸となる。また突起部43は、外側パネル37が内側パネル33を覆った際に、外側パネル37が平面方向にがたつくことを防止する。これにより突起部43は、常に所望な形状を有する空間部41を形成する。突起部43は、空間部41を内側パネル33の外周面側に形成する。
図1Bに示すように、突起部43は、折り曲げ部35の1つの側面35aの外面35bに2つ以上配設されており、互いに所望な間隔離れている。突起部43は、空間部41を形成し、より詳細には、突起部43と突起部43の間にて空間部41を形成する。突起部43は、外部10bと空間部41と空間部45とを連通させる。
突起部43は、外側パネル37を内側パネル33に被せる際の位置決め部材であり、内側パネル33と外側パネル37とに接触する接触部でもある。突起部43は、内側パネル33と外側パネル37との接触によって生じる内側パネル33と外側パネル37との間の伝熱を防止するために、内側パネル33と外側パネル37との重なり部分である例えば内面39aの面積に比べて非常に小さい接触面積を有している。
図1Cに示すように、空間部41は、外部10bと連通しており、ファン31によって外部10bから気体を吸気する吸気口41aを有している。突起部43は空間部41を内側パネル33の外周面側に形成するため、吸気口41aも内側パネル33の外周面側に配設されている。
図1Bに示すように、貼付部47は、互いに所望な間隔離れて折り曲げ部35の正面35cの縁に沿って配設されている。図1Bと図1Cとに示すように、貼付部47は、一方の貼付部47と他方の貼付部47と外側パネル37と折り曲げ部35(内側パネル33)との間にて空間部45を形成する。図1Cに示すように、外側パネル37が内側パネル33を覆い、外側パネル37が貼付部47に貼り付いた際、外側パネル37が空間部45を潰さないように、貼付部47は所望な厚みを有している。貼付部47は、例えば両面テープなどの接着剤である。
空間部45は、空間部41と吸気口33d,37bと連通し、正面37aの各縁37cに配設されている。
本実施形態において、図1Bと図1Cとに示すように、吸気口41aと空間部41,45と吸気口33d,37bと内部33cと送気口33eとは、気体が外部10bからファン31に流れる流路部51となる。より詳細には、空間部41は、外側パネル37が内側パネル33を覆った際に、折り曲げ部35の外面35bと折り曲げ部39の内面39aとの間にて気体が流れる流路部51の一部である。
また空間部45は、外側パネル37が内側パネル33を覆った際に、外側パネル37と折り曲げ部35(内側パネル33,正面35c)との間にて気体が流れる流路部51の一部である。
また内部33cは、ファン31によってユニット10の外部10bからユニット10の内部10aに向けて気体が流れる流路部51の一部である。
また空間部45は、外側パネル37が内側パネル33を覆った際に、外側パネル37と折り曲げ部35(内側パネル33,正面35c)との間にて気体が流れる流路部51の一部である。
また内部33cは、ファン31によってユニット10の外部10bからユニット10の内部10aに向けて気体が流れる流路部51の一部である。
本実施形態では発熱体11が熱を発生すると、発熱体11を有するユニット10の内部10aにおける温度は、外部10bの温度よりも高くなる。この熱は、ユニット10の背面10cから内側パネル33の背面33bに伝達する。そのため背面33bは、外部10bに接する外側パネル37よりも高温になる。さらに熱は、内側パネル33の背面33bと折り曲げ部35との輻射によって背面33bと折り曲げ部35とから外側パネル37に伝達し、及び突起部43から伝導によっても外側パネル37に伝達する。これにより熱は外側パネル37から外部10bに伝熱し、ユニット10(精密装置5)が設置される環境の温度は発熱体11から発生する熱によって変化してしまう。
そのため内側パネル33と外側パネル37とは、背面33bと折り曲げ部35との輻射によって内側パネル33から外側パネル37への伝熱を抑制し、これら伝熱を基にする外側パネル37から外部10bへの伝熱を抑制するために、熱の輻射率の低い磨き板となっている。一般的に、熱を放射する放射エネルギーは、輻射率に比例する。そのため輻射率が低いと、放射エネルギーが低くなり、結果的に外部10bへの伝熱が抑えられる。
また内側パネル33から突起部43を通じて外側パネル37に伝導によって伝熱が発生した(熱交換が発生した)際に、吸気口37bは、正面37aから外部10bへの伝導による伝熱を抑制するために、複数配設されており、正面37aの伝熱面積(表面積)を減少させている。
また突起部43は、内側パネル33と外側パネル37との間の伝熱を防止するために、上述したように、内側パネル33と外側パネル37との重なり部分である例えば内面39aの面積に比べて非常に小さい接触面積を有している。
結果的に外部10bへの伝熱が抑えられる。
また突起部43は、内側パネル33と外側パネル37との間の伝熱を防止するために、上述したように、内側パネル33と外側パネル37との重なり部分である例えば内面39aの面積に比べて非常に小さい接触面積を有している。
結果的に外部10bへの伝熱が抑えられる。
また流路部51が内側パネル33を介してユニット10の内部10a全体に接する状態で、断熱構造30は、ユニット10の背面10cに配設され、断熱性能を向上させている。そして流路部51が内側パネル33を介してユニット10の内部10a全体に接する状態となるために、吸気口41aと空間部41とは内側パネル33の外周面側に配設され、吸気口37bと空間部45とは正面37aの各縁37cに配設されている。
また発熱体11が熱を発生すると、流路部51において、内側パネル33側の流路部51である内部33cの温度は、外側パネル37側の流路部51である空間部41,45側の温度よりも高くなる。本実施形態では、吸気口33d,37b,41aの開口面積と、吸気口33d,37b,41aと送気口33eとの配設位置と、覆われた状態の内側パネル33と外側パネル37との厚さt(背面33bと正面37aとの距離)と、流路部51における吸気口41aから送気口33eまでの長さである気体の送気長さと、ファン31の風量とから構成される断熱条件は、予め所望な値に設定されている。これにより気体が層流の状態で流路部51を流れ(より詳細には、吸気口41aと吸気口37bとから流路部51を通じて送気口33eに流れる)、温度境界層が正面37a等の外側パネル37にまで達せず、流路部51において対流によって内側パネル33から外側パネル37への伝熱が抑制され、この抑制によって外側パネル37から外部10bへの伝熱が抑制される。
なお断熱条件が所望に設定されていないと、気体が層流の状態で流路部51を流れず、流路部51にて対流が発生してしまう。これにより内側パネル33から外側パネル37への伝熱が流路部51を流れる気体によって抑制されず、内側パネル33から外側パネル37へ伝熱が生じる。結果的に、外側パネル37から外部10bへの伝熱が抑制されないこととなる。
本実施形態では温度境界層とは、ユニット10の内部10aから熱伝達により温められた内部33c側の流路部51内における気体の温度と、吸気口41aと吸気口37bと空間部41,45と側の流路部51における気体の温度の境界を示す層である。
このように断熱構造30は、ファン31によって気体を送気口33eからユニット10に送気することによって発熱体11を含むユニット10を冷却し、ファン31によって吸気口41aから流路部51を介して送気口33eまで流れる気体によって背面33bを介してユニット10における熱を断熱する。
次に本実施形態の動作方法について説明する。
背面33bは、図示しないビスによってユニット10の背面10cに配設される。このとき、気体がファン31と送気口33eとの間から漏れないように、送気口33eはパッキンを介してファン31に実装されている。
背面33bは、図示しないビスによってユニット10の背面10cに配設される。このとき、気体がファン31と送気口33eとの間から漏れないように、送気口33eはパッキンを介してファン31に実装されている。
内側パネル33の蓋である外側パネル37は、折り曲げ部35を含む内側パネル33を覆う。つまり外側パネル37は、内側パネル33に蓋をする。
このとき突起部43は、外側パネル37の側面37d(折り曲げ部39の内面39a)が内側パネル33の側面(折り曲げ部35の側面35aの外面35b)に当接することを防止し、折り曲げ部35の側面35aと折り曲げ部39との間に、気体が流れる流路部51の一部である空間部41を形成する。同時に突起部43は、外側パネル37の側面37d(折り曲げ部39の内面39a)が内側パネル33の側面(折り曲げ部35の側面35aの外面35b)に当接することで空間部41が潰れてしまうことを防止し、外側パネル37が平面方向にがたつくことを防止する。これにより常に所望な形状を有する流路部51の一部である、所望な形状を有する空間部41が形成される。
また外側パネル37は、突起部43を位置決め部材とすることで内側パネル33に容易に被せられる。
また貼付部47は、内側パネル33と外側パネル37とを貼り付け、さらに一方の貼付部47と他方の貼付部47と外側パネル37と折り曲げ部35(内側パネル33)との間に、気体が流れる流路部51の一部である空間部45を形成する。貼付部47は所望な厚みを有しているために、空間部45が外側パネル37によって潰されることを防止される。これにより常に所望な形状を有する流路部51の一部である、所望な形状を有する空間部45が形成される。
なお外側パネル37は、貼付部47によって内側パネル33に取り付けられるために、リベットなどの取り付け部材で内側パネル33に取り付ける必要がなくなり、貼付部47によって内側パネル33に容易に取り付けられる。
発熱体11が熱を発生すると、ユニット10は熱を発生する。するとユニット10の内部10aにおける温度は、外部10bの温度よりも高くなる。そのため背面10cを介してユニット10の内部10aに接する背面33bの温度は、外部10bに接する外側パネル37の温度よりも高くなる。これにより流路部51において、背面33b側の流路部51(内部33c側)の温度は、外側パネル37側の流路部51(空間部41,45)の温度よりも高くなる。
するとファン31が駆動し、気体が外部10bから吸気口37b,41aに吸気される。ファン31によって吸気口37b,41aから吸気された気体は、吸気口37b,41aから流路部51(空間部41,45と吸気口33dと内部33c)に流れ、さらに流路部51から送気口33eに流れる。つまり気体は、吸気口37b,41aから、貼り合わさった内側パネル33と外側パネル37との内部に配設される流路部51を通じて送気口33eに流れる。またこのとき気体は、貼り合わさった内側パネル33と外側パネル37とにおいて、貼り合わさった内側パネル33の外周面側と外側パネル37の縁37c側から中央に向って流路部51を通じて流れ、背面33bと背面10cとを介してユニット10の内部10a全体に接する。
このとき上述したように外側パネル37よりも温度が高い背面33bは、流路部51を流れる気体と熱交換を行う。より詳細には、ユニット10の内部10aにおける熱は、背面33bを通じて流路部51を流れる気体に移動する(吸収・伝達される)。この後、熱は、この気体から外側パネル37側に移動する前にファン31によって気体と共に流路部51を通じて送気口33eへ流れ、ユニット10の内部10aに送気される。つまり気体は、ユニット10の内部10aから背面33bに熱交換された熱を有した状態でユニット10の内部10aに送気され、外側パネル37にこの熱を伝達しない。
またこのとき気体は、送気口33eと吸気口37bと吸気口41aとの配設位置の関係を含む断熱条件によって、層流の状態で貼り合わさった内側パネル33と外側パネル37との内部(流路部51)を流れており、温度境界層が外側パネル37側にまで達しない。よって断熱構造30は、流路部51において対流による内側パネル33から外側パネル37への伝熱を抑制し、この抑制によって外側パネル37から外部10bへの伝熱を抑制し、ユニット10における熱を断熱する。
またこのとき気体は、送気口33eと吸気口37bと吸気口41aとの配設位置の関係を含む断熱条件によって、層流の状態で貼り合わさった内側パネル33と外側パネル37との内部(流路部51)を流れており、温度境界層が外側パネル37側にまで達しない。よって断熱構造30は、流路部51において対流による内側パネル33から外側パネル37への伝熱を抑制し、この抑制によって外側パネル37から外部10bへの伝熱を抑制し、ユニット10における熱を断熱する。
また一般に内側パネル33と外側パネル37とは、輻射によって熱交換を行う。しかしながら本実施形態では内側パネル33と外側パネル37とは、熱の輻射率の低い磨き板である。よって断熱構造30は、内側パネル33と外側パネル37との輻射によって内側パネル33から外側パネル37とへの伝熱(熱交換)を抑制し、この伝熱を基にする外側パネル37から外部10bへの伝熱を抑制し、ユニット10における熱を断熱する。
このとき内側パネル33は、流路部51を流れる気体と熱交換を行う。より詳細には、背面33bと折り曲げ部35を含む内側パネル33における熱は、流路部51を流れる気体に移動する(吸収・伝達される)。この後、熱は、この気体から外側パネル37側に移動する前にファン31によって気体と共に流路部51を通じて送気口33eへ流れ、ユニット10の内部10aに送気される。つまり気体は、ユニット10の内部10aにおける熱を有した状態でユニット10の内部10aに送気され、外側パネル37にこの熱を伝達しない。
また輻射によって微小に伝熱された外側パネル37も流路部51を流れる気体と熱交換を行う。より詳細には、外側パネル37における熱は、流路部51を流れる気体に移動する(吸収・伝達される)。この後、熱は、この外側パネル37から外部10bに伝熱する前にファン31によって流路部51を通じて送気口33eへ流れ、ユニット10の内部10aに送気される。つまり気体は、外側パネル37における熱を有した状態でユニット10の内部10aに送気され、外部10bにこの熱を伝達しない。
また流路部51は、背面33bを介してユニット10の内部10a全体に接するように、貼り合わさった内側パネル33と外側パネル37との内部に形成されている。そのために、内側パネル33と外側パネル37とは、流路部51を流れる多くの気体と熱交換する。これにより断熱構造30は、ユニット10における熱を断熱する。
また内側パネル33と外側パネル37とは、突起部43のみによって接触している。突起部43は、内側パネル33と外側パネル37との間の伝熱を防止するために、非常に小さい接触面積を有している。そのため内側パネル33と外側パネル37との間の伝熱は、最小限に抑えられる。
また例え、背面33bと折り曲げ部35とを含む内側パネル33から突起部43によって正面37aを含む外側パネル37に伝導によって熱交換が発生しても、吸気口37bによって正面37aの伝熱面積(表面積)は減少している。よって断熱構造30は、正面37aから外部10bへの伝導による伝熱を抑制し、ユニット10における熱を断熱する。
上述したように送気口33eまで流れた気体は、パッキンによって漏れることなく送気口33eを通じてユニット10の内部10aに送気される。これにより断熱構造30は、ユニット10の内部10aに配設されている発熱体11に気体を送気し、ユニット10の内部10aと発熱体11とを冷却する。
このように断熱構造30は、ファン31と内側パネル33と外側パネル37とによって対流と輻射と伝導とによる伝熱を抑制し、内側パネル33(背面33b)を通じて外側パネル37の温度上昇を防止し、ユニット10における熱を断熱する。これにより断熱構造30は、温度変化による他方のユニットへの影響を防止し、精密装置5が設置される環境の温度変化を防止する。
このように本実施形態では、外側パネル37を内側パネル33に被せるだけで、貼付部47によって外側パネル37を内側パネル33に容易に貼り付けることができ、突起部43と貼付部47とによって容易に流路部51(空間部41と空間部45)を確保することができる。これにより本実施形態では、突起部43と貼付部47とによって作業性(組立性)が良く安価で断熱性能が高い断熱構造を提供することができる。
また本実施形態では、突起部43によって外側パネル37を内側パネル33に取り付ける際に複雑な位置合わせが不要となり、貼付部47によって外側パネル37を内側パネル33に取り付ける際にリベットなどの取り付け部材で取り付ける必要がなくなる。そのため本実施形態では、作業性(組立性)が良くなり、安価にすることができる。
また本実施形態では、流路部51(空間部41と空間部45)を確保するために、折り曲げ部35と折り曲げ部39とを重ねる必要が無く、互いに固定する必要が無く、作業性(組立性)をよくすることができる。
また本実施形態では、外側パネル37が内側パネル33を覆った際に、突起部43によって、側面37d(内面39a)が側面35a(外面35b)に当接することで空間部41が潰れてしまうことを防止することができる。また本実施形態では、所望な厚みを有する貼付部47によって空間部45が外側パネル37によって潰されることを防止される。これにより本実施形態では、確実に流路部51を確保することができる。
また本実施形態では、外側パネル37が内側パネル33を覆った際に、突起部43によって外側パネル37が平面方向にがたつくことを防止することができ、貼付部47によって内側パネル33と外側パネル37とを確実に貼り付けることができる。これにより本実施形態では、突起部43と貼付部47とによって常に所望な形状を有する空間部41,45を形成することができ、所望な形状を有する流路部51を形成することができる。
また本実施形態では、突起部43は内側パネル33と外側パネル37との重なり部分である例えば内面39aの面積に比べて非常に小さい接触面積を有している。本実施形態では、内側パネル33と外側パネル37とは、この突起部43のみによって接触しているために、突起部43によって内側パネル33と外側パネル37との間の伝熱を最小限に防止することができ、外側パネル37(折り曲げ部39と正面37a)から外部10bへの伝熱量を抑えることができ、断熱性能を高めることができる。
また本実施形態では、吸気口37bを配設することで、吸気口41aのみよりも気体を多く吸気することができ、内部10aをより冷却することができる。また本実施形態では、吸気口37bを配設することで、正面37aの伝熱面積(表面積)を減少することができる。これにより本実施形態では、内側パネル33から突起部43によって外側パネル37に伝導によって熱交換が発生しても、正面37aから外部10bへの伝導による伝熱を抑制することができ、ユニット10における熱を断熱することができる。
また本実施形態では、ファン31を配設し、吸気口37b,41aと流路部51とを配設し、輻射率の低い磨き薄板によって内側パネル33と外側パネル37とを形成し、断熱構造30によって対流と輻射と伝導とによる伝熱を抑制することで、安価且つ高性能に断熱する断熱構造30及びこの断熱構造30を有するユニット(収納装置)10を提供することができる。
また本実施形態では、吸気口37bを複数配設し、吸気口37bを正面37aの縁37cに配設することで、正面37aから外部10bへの伝導による伝熱を抑制することができ、ユニット10における熱を断熱することができる。
また本実施形態では、輻射率の低い磨き薄板によって内側パネル33と外側パネル37とを形成することで、輻射によって背面10cを介して内側パネル33から外側パネル37への伝熱(熱交換)を抑制し、この伝熱を基にする外側パネル37から外部10bへの伝熱を抑制し、ユニット10における熱を断熱することができる。
また本実施形態では、内側パネル33と外側パネル37との厚み方向において、送気口33eを吸気口37bと吸気口41aとは同一直線上からずらし、異なる位置に配設している。
また本実施形態では、ファン31と送気口33eとを内側パネル33の背面33bの略中央部に配設し、吸気口37bは外側パネル37の正面37aの縁37cに配設し、吸気口41aを内側パネル33の外周側に配設している。
また本実施形態では、送気口33eを吸気口37bと吸気口41aとを、気体が内側パネル33と外側パネル37とに沿って流路部51を流動するように配設されている。
これにより本実施形態では、背面10cと背面33bとを介してユニット10の内部10a全体に接するように流路部51を内側パネル33と外側パネル37との内部に形成することができ、背面33bと流路部51を流れる気体との熱交換をより効果的に行うことができ、ユニット10における熱を断熱することができる。
また本実施形態では、ファン31と送気口33eとを内側パネル33の背面33bの略中央部に配設し、吸気口37bは外側パネル37の正面37aの縁37cに配設し、吸気口41aを内側パネル33の外周側に配設している。
また本実施形態では、送気口33eを吸気口37bと吸気口41aとを、気体が内側パネル33と外側パネル37とに沿って流路部51を流動するように配設されている。
これにより本実施形態では、背面10cと背面33bとを介してユニット10の内部10a全体に接するように流路部51を内側パネル33と外側パネル37との内部に形成することができ、背面33bと流路部51を流れる気体との熱交換をより効果的に行うことができ、ユニット10における熱を断熱することができる。
また本実施形態では、送気口33eと吸気口37bと吸気口41aとの配設位置の関係を含む断熱条件を所望に調整することによって、気体を層流の状態で流すことができ、流路部51において対流による外側パネル37から外部10bへの伝熱を抑制し、ユニット10における熱を断熱することができる。
なお本実施形態では、断熱構造30をユニット10に配設したがこれに限定する必要はなく、他方のユニットにも配設しても良いし、ユニット10とユニットとの間に配設されていてもよい。
また本実施形態では、突起部43を折り曲げ部35の側面35aの外面35bに配設しているが、空間部41を確保することができれば、これに限定する必要はない。本実施形態では、突起部43を、例えば折り曲げ部35の側面35a側の外面35bと、外面35bに対向する折り曲げ部39の内面39aとの少なくとも一方に配設すればよい。
また本実施形態では、貼付部47を折り曲げ部35の正面35cに配設しているが、空間部45を確保することができれば、これに限定する必要はない。本実施形態では、貼付部47を、例えば外側パネル37の正面37aの内面37fに対向する折り曲げ部35の正面35cと、外側パネル37の正面37aの内面37fとの少なくとも一方に配設すればよい。このとき貼付部47は、流路部51の一部を形成した状態で外側パネル37または内側パネル33に貼り付く。
また本実施形態では、内側パネル33と外側パネル37との重なり部分に突起部43と貼付部47とが配設されていればよい。
また本実施形態では、流路部51を流れる気体によってユニット10における熱を断熱するために、背面10cを介してユニット10の内部10a全体に接するように貼り合わさった内側パネル33と外側パネル37との内部に流路部51を形成すればよい。
本発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。
5…精密装置、10…ユニット、10a…内部、10b…外部、10c…背面、11…発熱体、30…断熱構造、31…ファン、33…内側パネル、33b…背面、33c…内部、33d…吸気口、33e…送気口、35…折り曲げ部、35a…側面、35b…外面、35c…正面、37…外側パネル、37a…正面、37b…吸気口、37c…縁、37d…側面、37f…内面、39…折り曲げ部、39a…内面、41…空間部、41a…吸気口、43…突起部、45…空間部、47…貼付部、51…流路部。
Claims (1)
- 熱を発生する発熱体を内部に有する第1のユニットに配設され、設置される環境の温度変化から影響を受ける第2のユニットが設置される環境の温度を前記発熱体から発生する前記熱によって変化させないように、断熱性能を有する断熱構造であって、
前記発熱体から発生し、前記第1のユニットの内部に溜まる前記熱を冷却するために前記第1のユニットの外部から気体を吸気し、前記第1のユニットの内部に向けて前記気体を送気するファンと、
前記第1のユニットの外部から前記気体を前記第1のユニットの内部に送気するために前記ファンが配設される前記送気口を有し、前記第1のユニットの背面に配設され、板の縁を略L字に折り曲げて箱形状に形成され、前記ファンによって前記第1のユニットの外部から前記第1のユニットの内部に向けて前記気体が流れる流路部の一部を内部に有する内側パネルと、
板の縁を折り曲げて形成され、前記内側パネルにおける略L字形状の折り曲げ部を含む前記内側パネルを覆い、前記内側パネルの蓋となる外側パネルと、
前記内側パネルの折り曲げ部の側面側の外面と、前記外面に対向する前記外側パネルの折り曲げ部の内面との少なくとも一方に配設され、前記外側パネルが前記内側パネルを覆った際に、前記内側パネルの折り曲げ部の側面側の外面と前記外側パネルの折り曲げ部の内面との間にて、前記気体を前記第1のユニットの外部から前記ファンに向けて吸気する吸気口と、前記吸気口から前記気体が流れる前記流路部の一部とを形成する突起部と、
前記外側パネルの正面の内面に対向する前記内側パネルの折り曲げ部の正面と、前記外側パネルの正面の内面との少なくとも一方に配設され、前記外側パネルが前記内側パネルを覆った際に、前記外側パネルと前記内側パネルの折り曲げ部との間にて前記気体が流れる前記流路部の一部を形成した状態で前記外側パネルまたは前記内側パネルに貼り付いて、前記内側パネル33と前記外側パネルとを貼り付ける貼付部と、
を具備していることを特徴とする断熱構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010039158A JP2011176129A (ja) | 2010-02-24 | 2010-02-24 | 断熱構造 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016092341A (ja) * | 2014-11-11 | 2016-05-23 | 株式会社明電舎 | 盤構造 |
-
2010
- 2010-02-24 JP JP2010039158A patent/JP2011176129A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
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