JP2011170059A - レジスト下層膜形成方法、パターン形成方法、および組成物、レジスト下層膜形成材料用添加剤、架橋剤並びにレジスト下層膜 - Google Patents
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- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 80
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 52
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 title claims description 17
- 239000000654 additive Substances 0.000 title claims description 12
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 title claims description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 8
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 68
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 68
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 43
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims abstract description 36
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 97
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 42
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 34
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 20
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 16
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 15
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 14
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims description 13
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims description 11
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 9
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 125000004453 alkoxycarbonyl group Chemical group 0.000 claims description 7
- 125000004849 alkoxymethyl group Chemical group 0.000 claims description 7
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 claims description 7
- 125000005042 acyloxymethyl group Chemical group 0.000 claims description 6
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 6
- 125000004054 acenaphthylenyl group Chemical group C1(=CC2=CC=CC3=CC=CC1=C23)* 0.000 claims description 5
- 125000004029 hydroxymethyl group Chemical group [H]OC([H])([H])* 0.000 claims description 5
- HXGDTGSAIMULJN-UHFFFAOYSA-N acetnaphthylene Natural products C1=CC(C=C2)=C3C2=CC=CC3=C1 HXGDTGSAIMULJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 125000005907 alkyl ester group Chemical group 0.000 claims description 4
- 150000007860 aryl ester derivatives Chemical group 0.000 claims description 4
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 claims description 4
- 125000002252 acyl group Chemical group 0.000 claims description 3
- 229920003987 resole Polymers 0.000 claims description 3
- XMWRBQBLMFGWIX-UHFFFAOYSA-N C60 fullerene Chemical group C12=C3C(C4=C56)=C7C8=C5C5=C9C%10=C6C6=C4C1=C1C4=C6C6=C%10C%10=C9C9=C%11C5=C8C5=C8C7=C3C3=C7C2=C1C1=C2C4=C6C4=C%10C6=C9C9=C%11C5=C5C8=C3C3=C7C1=C1C2=C4C6=C2C9=C5C3=C12 XMWRBQBLMFGWIX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 125000005161 aryl oxy carbonyl group Chemical group 0.000 claims 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 25
- 238000012546 transfer Methods 0.000 abstract description 11
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 abstract 1
- -1 polysiloxane Polymers 0.000 description 75
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 27
- 230000008569 process Effects 0.000 description 19
- 125000004185 ester group Chemical group 0.000 description 16
- 125000000959 isobutyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])* 0.000 description 13
- 125000002914 sec-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 13
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 12
- 125000001624 naphthyl group Chemical group 0.000 description 12
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 12
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 11
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 11
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 11
- 125000004108 n-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 10
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 9
- FUGYGGDSWSUORM-UHFFFAOYSA-N 4-hydroxystyrene Chemical compound OC1=CC=C(C=C)C=C1 FUGYGGDSWSUORM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 8
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 8
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 8
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 7
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 7
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 7
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 7
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 description 6
- 125000002704 decyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 6
- 125000003438 dodecyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 6
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 6
- 125000003187 heptyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 6
- 125000004051 hexyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 6
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 6
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 6
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 6
- 125000004123 n-propyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 6
- 125000001400 nonyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 6
- 125000002347 octyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 6
- 125000001147 pentyl group Chemical group C(CCCC)* 0.000 description 6
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 6
- 125000003944 tolyl group Chemical group 0.000 description 6
- 125000002948 undecyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 6
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical compound [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229930040373 Paraformaldehyde Natural products 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 description 5
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 5
- GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N bromine Substances BrBr GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 5
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 5
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 5
- 238000006356 dehydrogenation reaction Methods 0.000 description 5
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 5
- 229920002866 paraformaldehyde Polymers 0.000 description 5
- FVDOBFPYBSDRKH-UHFFFAOYSA-N perylene-3,4,9,10-tetracarboxylic acid Chemical compound C=12C3=CC=C(C(O)=O)C2=C(C(O)=O)C=CC=1C1=CC=C(C(O)=O)C2=C1C3=CC=C2C(=O)O FVDOBFPYBSDRKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 150000002989 phenols Chemical class 0.000 description 5
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 5
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 5
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 5
- OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 2-(2-cyanopropan-2-yldiazenyl)-2-methylpropanenitrile Chemical compound N#CC(C)(C)N=NC(C)(C)C#N OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 7553-56-2 Chemical compound [I] ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 4
- SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N Dodecane Natural products CCCCCCCCCCCC SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 4
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 4
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 4
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 4
- 239000011630 iodine Substances 0.000 description 4
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 description 4
- 125000001570 methylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])[*:2] 0.000 description 4
- 150000002978 peroxides Chemical class 0.000 description 4
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 4
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 4
- ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 1-methoxypropan-2-ol Chemical compound COCC(C)O ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 3
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical group C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N Triethylamine Chemical compound CCN(CC)CC ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 3
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 3
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 3
- 238000011161 development Methods 0.000 description 3
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 3
- 150000008049 diazo compounds Chemical class 0.000 description 3
- GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N diglycidyl ether Chemical group C1OC1COCC1CO1 GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- SBQIJPBUMNWUKN-UHFFFAOYSA-M diphenyliodanium;trifluoromethanesulfonate Chemical compound [O-]S(=O)(=O)C(F)(F)F.C=1C=CC=CC=1[I+]C1=CC=CC=C1 SBQIJPBUMNWUKN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 125000001033 ether group Chemical group 0.000 description 3
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 3
- 125000002485 formyl group Chemical class [H]C(*)=O 0.000 description 3
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 3
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 3
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 3
- NFHFRUOZVGFOOS-UHFFFAOYSA-N palladium;triphenylphosphane Chemical compound [Pd].C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1.C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1.C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1.C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 NFHFRUOZVGFOOS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 3
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 3
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 3
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 3
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 3
- FYGHSUNMUKGBRK-UHFFFAOYSA-N 1,2,3-trimethylbenzene Chemical compound CC1=CC=CC(C)=C1C FYGHSUNMUKGBRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KJCVRFUGPWSIIH-UHFFFAOYSA-N 1-naphthol Chemical compound C1=CC=C2C(O)=CC=CC2=C1 KJCVRFUGPWSIIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JWAZRIHNYRIHIV-UHFFFAOYSA-N 2-naphthol Chemical compound C1=CC=CC2=CC(O)=CC=C21 JWAZRIHNYRIHIV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NHQDETIJWKXCTC-UHFFFAOYSA-N 3-chloroperbenzoic acid Chemical compound OOC(=O)C1=CC=CC(Cl)=C1 NHQDETIJWKXCTC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 4-Butyrolactone Chemical compound O=C1CCCO1 YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QHPQWRBYOIRBIT-UHFFFAOYSA-N 4-tert-butylphenol Chemical compound CC(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 QHPQWRBYOIRBIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LJWYHNXZFFBIBQ-UHFFFAOYSA-N CCCOCC(C=C1)=C(C(COCCC)=CC=C2C3=CC=C4COCCC)C2=C1C1=C3C4=C(COCCC)C=C1 Chemical group CCCOCC(C=C1)=C(C(COCCC)=CC=C2C3=CC=C4COCCC)C2=C1C1=C3C4=C(COCCC)C=C1 LJWYHNXZFFBIBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QUSNBJAOOMFDIB-UHFFFAOYSA-N Ethylamine Chemical compound CCN QUSNBJAOOMFDIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KFSLWBXXFJQRDL-UHFFFAOYSA-N Peracetic acid Chemical compound CC(=O)OO KFSLWBXXFJQRDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NQRYJNQNLNOLGT-UHFFFAOYSA-N Piperidine Chemical compound C1CCNCC1 NQRYJNQNLNOLGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GOOHAUXETOMSMM-UHFFFAOYSA-N Propylene oxide Chemical group CC1CO1 GOOHAUXETOMSMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N Pyrrole Chemical compound C=1C=CNC=1 KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000004115 Sodium Silicate Substances 0.000 description 2
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 2
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 125000000732 arylene group Chemical group 0.000 description 2
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N butyl acetate Chemical compound CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001721 carbon Chemical class 0.000 description 2
- XMPZTFVPEKAKFH-UHFFFAOYSA-P ceric ammonium nitrate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[Ce+4].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O XMPZTFVPEKAKFH-UHFFFAOYSA-P 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- OPQARKPSCNTWTJ-UHFFFAOYSA-L copper(ii) acetate Chemical compound [Cu+2].CC([O-])=O.CC([O-])=O OPQARKPSCNTWTJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YADSGOSSYOOKMP-UHFFFAOYSA-N dioxolead Chemical compound O=[Pb]=O YADSGOSSYOOKMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- FJKIXWOMBXYWOQ-UHFFFAOYSA-N ethenoxyethane Chemical compound CCOC=C FJKIXWOMBXYWOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001301 ethoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 2
- 125000003754 ethoxycarbonyl group Chemical group C(=O)(OCC)* 0.000 description 2
- LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-hydroxypropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)O LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- CATSNJVOTSVZJV-UHFFFAOYSA-N heptan-2-one Chemical compound CCCCCC(C)=O CATSNJVOTSVZJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052809 inorganic oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 2
- RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K iron trichloride Chemical compound Cl[Fe](Cl)Cl RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 125000002510 isobutoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])O* 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 125000000956 methoxy group Chemical group [H]C([H])([H])O* 0.000 description 2
- 125000001160 methoxycarbonyl group Chemical group [H]C([H])([H])OC(*)=O 0.000 description 2
- 125000003506 n-propoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 2
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 2
- KJIFKLIQANRMOU-UHFFFAOYSA-N oxidanium;4-methylbenzenesulfonate Chemical compound O.CC1=CC=C(S(O)(=O)=O)C=C1 KJIFKLIQANRMOU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 150000004965 peroxy acids Chemical class 0.000 description 2
- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
- WGYKZJWCGVVSQN-UHFFFAOYSA-N propylamine Chemical compound CCCN WGYKZJWCGVVSQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006100 radiation absorber Substances 0.000 description 2
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 2
- GHMLBKRAJCXXBS-UHFFFAOYSA-N resorcinol Chemical compound OC1=CC=CC(O)=C1 GHMLBKRAJCXXBS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 2
- SQGYOTSLMSWVJD-UHFFFAOYSA-N silver(1+) nitrate Chemical compound [Ag+].[O-]N(=O)=O SQGYOTSLMSWVJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N sodium silicate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-][Si]([O-])=O NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052911 sodium silicate Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- CIHOLLKRGTVIJN-UHFFFAOYSA-N tert‐butyl hydroperoxide Chemical compound CC(C)(C)OO CIHOLLKRGTVIJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000003698 tetramethyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 2
- KLBIUKJOZFWCLW-UHFFFAOYSA-N thallium(iii) nitrate Chemical compound [Tl+3].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O KLBIUKJOZFWCLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- DLDWUFCUUXXYTB-UHFFFAOYSA-N (2-oxo-1,2-diphenylethyl) 4-methylbenzenesulfonate Chemical compound C1=CC(C)=CC=C1S(=O)(=O)OC(C=1C=CC=CC=1)C(=O)C1=CC=CC=C1 DLDWUFCUUXXYTB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HHYVKZVPYXHHCG-UHFFFAOYSA-M (7,7-dimethyl-3-oxo-4-bicyclo[2.2.1]heptanyl)methanesulfonate;diphenyliodanium Chemical compound C=1C=CC=CC=1[I+]C1=CC=CC=C1.C1CC2(CS([O-])(=O)=O)C(=O)CC1C2(C)C HHYVKZVPYXHHCG-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 125000000008 (C1-C10) alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004169 (C1-C6) alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- BEQKKZICTDFVMG-UHFFFAOYSA-N 1,2,3,4,6-pentaoxepane-5,7-dione Chemical compound O=C1OOOOC(=O)O1 BEQKKZICTDFVMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XGQJGMGAMHFMAO-UHFFFAOYSA-N 1,3,4,6-tetrakis(methoxymethyl)-3a,6a-dihydroimidazo[4,5-d]imidazole-2,5-dione Chemical compound COCN1C(=O)N(COC)C2C1N(COC)C(=O)N2COC XGQJGMGAMHFMAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZXSQEZNORDWBGZ-UHFFFAOYSA-N 1,3-dihydropyrrolo[2,3-b]pyridin-2-one Chemical compound C1=CN=C2NC(=O)CC2=C1 ZXSQEZNORDWBGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FRASJONUBLZVQX-UHFFFAOYSA-N 1,4-dioxonaphthalene Natural products C1=CC=C2C(=O)C=CC(=O)C2=C1 FRASJONUBLZVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BOKGTLAJQHTOKE-UHFFFAOYSA-N 1,5-dihydroxynaphthalene Chemical compound C1=CC=C2C(O)=CC=CC2=C1O BOKGTLAJQHTOKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GQHTUMJGOHRCHB-UHFFFAOYSA-N 2,3,4,6,7,8,9,10-octahydropyrimido[1,2-a]azepine Chemical compound C1CCCCN2CCCN=C21 GQHTUMJGOHRCHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NJQJGRGGIUNVAB-UHFFFAOYSA-N 2,4,4,6-tetrabromocyclohexa-2,5-dien-1-one Chemical compound BrC1=CC(Br)(Br)C=C(Br)C1=O NJQJGRGGIUNVAB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YSUQLAYJZDEMOT-UHFFFAOYSA-N 2-(butoxymethyl)oxirane Chemical group CCCCOCC1CO1 YSUQLAYJZDEMOT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HQCSZRIVJVOYSU-UHFFFAOYSA-N 2-(ethoxymethyl)oxirane Chemical group CCOCC1CO1 HQCSZRIVJVOYSU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LKMJVFRMDSNFRT-UHFFFAOYSA-N 2-(methoxymethyl)oxirane Chemical group COCC1CO1 LKMJVFRMDSNFRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CWNOEVURTVLUNV-UHFFFAOYSA-N 2-(propoxymethyl)oxirane Chemical group CCCOCC1CO1 CWNOEVURTVLUNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethyl acetate Chemical compound CCOCCOC(C)=O SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 2-methylphenol;3-methylphenol;4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1.CC1=CC=CC(O)=C1.CC1=CC=CC=C1O QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KGIGUEBEKRSTEW-UHFFFAOYSA-N 2-vinylpyridine Chemical compound C=CC1=CC=CC=N1 KGIGUEBEKRSTEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NZNIIFYEGQOOHD-UHFFFAOYSA-N 3,4,9,10-tetrakis(methoxymethyl)perylene Chemical group C=12C3=CC=C(COC)C2=C(COC)C=CC=1C1=CC=C(COC)C2=C1C3=CC=C2COC NZNIIFYEGQOOHD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WTQZSMDDRMKJRI-UHFFFAOYSA-N 4-diazoniophenolate Chemical compound [O-]C1=CC=C([N+]#N)C=C1 WTQZSMDDRMKJRI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NTDQQZYCCIDJRK-UHFFFAOYSA-N 4-octylphenol Chemical compound CCCCCCCCC1=CC=C(O)C=C1 NTDQQZYCCIDJRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical compound CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical compound NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N Acrylonitrile Chemical compound C=CC#N NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O Ammonium Chemical compound [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- BTBUEUYNUDRHOZ-UHFFFAOYSA-N Borate Chemical compound [O-]B([O-])[O-] BTBUEUYNUDRHOZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005915 C6-C14 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- AGOPGWJXCTVCDE-UHFFFAOYSA-N CC(C)(C)OCC(C=C1)=C(C(COC(C)(C)C)=CC=C2C3=CC=C4COC(C)(C)C)C2=C1C1=C3C4=C(COC(C)(C)C)C=C1 Chemical group CC(C)(C)OCC(C=C1)=C(C(COC(C)(C)C)=CC=C2C3=CC=C4COC(C)(C)C)C2=C1C1=C3C4=C(COC(C)(C)C)C=C1 AGOPGWJXCTVCDE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DZCPYUCHLWNCAL-UHFFFAOYSA-N CC(C)COCC(C=C1)=C(C(COCC(C)C)=CC=C2C3=CC=C4COCC(C)C)C2=C1C1=C3C4=C(COCC(C)C)C=C1 Chemical group CC(C)COCC(C=C1)=C(C(COCC(C)C)=CC=C2C3=CC=C4COCC(C)C)C2=C1C1=C3C4=C(COCC(C)C)C=C1 DZCPYUCHLWNCAL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NJWYXQMLARWEAF-UHFFFAOYSA-N CCC(OCC(C=C1)=C(C(COC(CC)=O)=CC=C2C3=CC=C4COC(CC)=O)C2=C1C1=C3C4=C(COC(CC)=O)C=C1)=O Chemical compound CCC(OCC(C=C1)=C(C(COC(CC)=O)=CC=C2C3=CC=C4COC(CC)=O)C2=C1C1=C3C4=C(COC(CC)=O)C=C1)=O NJWYXQMLARWEAF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AWTRVJBEOCRAFR-UHFFFAOYSA-N CCCC(OCC(C=C1)=C(C(COC(CCC)=O)=CC=C2C3=CC=C4COC(CCC)=O)C2=C1C1=C3C4=C(COC(CCC)=O)C=C1)=O Chemical compound CCCC(OCC(C=C1)=C(C(COC(CCC)=O)=CC=C2C3=CC=C4COC(CCC)=O)C2=C1C1=C3C4=C(COC(CCC)=O)C=C1)=O AWTRVJBEOCRAFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VEDNGQWAQCUZAW-UHFFFAOYSA-N CCCCCC(OCC(C=C1)=C(C(COC(CCCCC)=O)=CC=C2C3=CC=C4COC(CCCCC)=O)C2=C1C1=C3C4=C(COC(CCCCC)=O)C=C1)=O Chemical compound CCCCCC(OCC(C=C1)=C(C(COC(CCCCC)=O)=CC=C2C3=CC=C4COC(CCCCC)=O)C2=C1C1=C3C4=C(COC(CCCCC)=O)C=C1)=O VEDNGQWAQCUZAW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BJUXMYHXSQYGLU-UHFFFAOYSA-N CCCCCCC(OCC(C=C1)=C(C(COC(CCCCCC)=O)=CC=C2C3=CC=C4COC(CCCCCC)=O)C2=C1C1=C3C4=C(COC(CCCCCC)=O)C=C1)=O Chemical compound CCCCCCC(OCC(C=C1)=C(C(COC(CCCCCC)=O)=CC=C2C3=CC=C4COC(CCCCCC)=O)C2=C1C1=C3C4=C(COC(CCCCCC)=O)C=C1)=O BJUXMYHXSQYGLU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ONHVFYOBSFZQPK-UHFFFAOYSA-N CCCCCCCC(OCC(C=C1)=C(C(COC(CCCCCCC)=O)=CC=C2C3=CC=C4COC(CCCCCCC)=O)C2=C1C1=C3C4=C(COC(CCCCCCC)=O)C=C1)=O Chemical compound CCCCCCCC(OCC(C=C1)=C(C(COC(CCCCCCC)=O)=CC=C2C3=CC=C4COC(CCCCCCC)=O)C2=C1C1=C3C4=C(COC(CCCCCCC)=O)C=C1)=O ONHVFYOBSFZQPK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OPQQMKDSCUQUJN-UHFFFAOYSA-N CCCCCCCC1=C(C(=C2C3=C1C4=C5C(=CC=C(C5=C(C=C4)C(=O)O)C(=O)O)C3=C(C(=C2C(=O)O)CCCCCCC)CCCCCCC)C(=O)O)CCCCCCC Chemical compound CCCCCCCC1=C(C(=C2C3=C1C4=C5C(=CC=C(C5=C(C=C4)C(=O)O)C(=O)O)C3=C(C(=C2C(=O)O)CCCCCCC)CCCCCCC)C(=O)O)CCCCCCC OPQQMKDSCUQUJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZXCUOGKDZWCRFF-UHFFFAOYSA-N CCCCCCCCC1=C(C(=C2C3=C1C4=C5C(=CC=C(C5=C(C=C4)C(=O)O)C(=O)O)C3=C(C(=C2C(=O)O)CCCCCCCC)CCCCCCCC)C(=O)O)CCCCCCCC Chemical compound CCCCCCCCC1=C(C(=C2C3=C1C4=C5C(=CC=C(C5=C(C=C4)C(=O)O)C(=O)O)C3=C(C(=C2C(=O)O)CCCCCCCC)CCCCCCCC)C(=O)O)CCCCCCCC ZXCUOGKDZWCRFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XVSNMNYCFKXLHR-UHFFFAOYSA-N CCCCCCCCCC1=C(C(=C2C3=C1C4=C5C(=CC=C(C5=C(C=C4)C(=O)O)C(=O)O)C3=C(C(=C2C(=O)O)CCCCCCCCC)CCCCCCCCC)C(=O)O)CCCCCCCCC Chemical compound CCCCCCCCCC1=C(C(=C2C3=C1C4=C5C(=CC=C(C5=C(C=C4)C(=O)O)C(=O)O)C3=C(C(=C2C(=O)O)CCCCCCCCC)CCCCCCCCC)C(=O)O)CCCCCCCCC XVSNMNYCFKXLHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QHYSTDGXHRORNE-UHFFFAOYSA-N CCCCCCCCCCCC(OCC(C=C1)=C(C(COC(CCCCCCCCCCC)=O)=CC=C2C3=CC=C4COC(CCCCCCCCCCC)=O)C2=C1C1=C3C4=C(COC(CCCCCCCCCCC)=O)C=C1)=O Chemical compound CCCCCCCCCCCC(OCC(C=C1)=C(C(COC(CCCCCCCCCCC)=O)=CC=C2C3=CC=C4COC(CCCCCCCCCCC)=O)C2=C1C1=C3C4=C(COC(CCCCCCCCCCC)=O)C=C1)=O QHYSTDGXHRORNE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKEKAVGSTXQDEU-UHFFFAOYSA-N CCCCCCCCCCCC1=C(C(=C2C3=C1C4=C5C(=CC=C(C5=C(C=C4)C(=O)O)C(=O)O)C3=C(C(=C2C(=O)O)CCCCCCCCCCC)CCCCCCCCCCC)C(=O)O)CCCCCCCCCCC Chemical compound CCCCCCCCCCCC1=C(C(=C2C3=C1C4=C5C(=CC=C(C5=C(C=C4)C(=O)O)C(=O)O)C3=C(C(=C2C(=O)O)CCCCCCCCCCC)CCCCCCCCCCC)C(=O)O)CCCCCCCCCCC OKEKAVGSTXQDEU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SXCXYJULNKWCNF-UHFFFAOYSA-N CCCCCCCCCCCCC1=C(C(=C2C3=C1C4=C5C(=CC=C(C5=C(C=C4)C(=O)O)C(=O)O)C3=C(C(=C2C(=O)O)CCCCCCCCCCCC)CCCCCCCCCCCC)C(=O)O)CCCCCCCCCCCC Chemical class CCCCCCCCCCCCC1=C(C(=C2C3=C1C4=C5C(=CC=C(C5=C(C=C4)C(=O)O)C(=O)O)C3=C(C(=C2C(=O)O)CCCCCCCCCCCC)CCCCCCCCCCCC)C(=O)O)CCCCCCCCCCCC SXCXYJULNKWCNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZZQVGLKGMGDRDY-UHFFFAOYSA-N CCCCCCCCCCCCOCC(C=C1)=C(C(COCCCCCCCCCCCC)=CC=C2C3=CC=C4COCCCCCCCCCCCC)C2=C1C1=C3C4=C(COCCCCCCCCCCCC)C=C1 Chemical group CCCCCCCCCCCCOCC(C=C1)=C(C(COCCCCCCCCCCCC)=CC=C2C3=CC=C4COCCCCCCCCCCCC)C2=C1C1=C3C4=C(COCCCCCCCCCCCC)C=C1 ZZQVGLKGMGDRDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YXEMAWIKEZGFDO-UHFFFAOYSA-N CCCCCCCCCCCOCC(C=C1)=C(C(COCCCCCCCCCCC)=CC=C2C3=CC=C4COCCCCCCCCCCC)C2=C1C1=C3C4=C(COCCCCCCCCCCC)C=C1 Chemical group CCCCCCCCCCCOCC(C=C1)=C(C(COCCCCCCCCCCC)=CC=C2C3=CC=C4COCCCCCCCCCCC)C2=C1C1=C3C4=C(COCCCCCCCCCCC)C=C1 YXEMAWIKEZGFDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GVEIQCPGHIERFB-UHFFFAOYSA-N CCCCCCCCCCOCC(C=C1)=C(C(COCCCCCCCCCC)=CC=C2C3=CC=C4COCCCCCCCCCC)C2=C1C1=C3C4=C(COCCCCCCCCCC)C=C1 Chemical group CCCCCCCCCCOCC(C=C1)=C(C(COCCCCCCCCCC)=CC=C2C3=CC=C4COCCCCCCCCCC)C2=C1C1=C3C4=C(COCCCCCCCCCC)C=C1 GVEIQCPGHIERFB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VGQUZWURYFEACS-UHFFFAOYSA-N CCCCCCCCCOCC(C=C1)=C(C(COCCCCCCCCC)=CC=C2C3=CC=C4COCCCCCCCCC)C2=C1C1=C3C4=C(COCCCCCCCCC)C=C1 Chemical group CCCCCCCCCOCC(C=C1)=C(C(COCCCCCCCCC)=CC=C2C3=CC=C4COCCCCCCCCC)C2=C1C1=C3C4=C(COCCCCCCCCC)C=C1 VGQUZWURYFEACS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HQJUBIDHCWBJET-UHFFFAOYSA-N CCCCCCCCOCC(C=C1)=C(C(COCCCCCCCC)=CC=C2C3=CC=C4COCCCCCCCC)C2=C1C1=C3C4=C(COCCCCCCCC)C=C1 Chemical group CCCCCCCCOCC(C=C1)=C(C(COCCCCCCCC)=CC=C2C3=CC=C4COCCCCCCCC)C2=C1C1=C3C4=C(COCCCCCCCC)C=C1 HQJUBIDHCWBJET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BXLBEVODLLWMBJ-UHFFFAOYSA-N CCCCCCCOCC(C=C1)=C(C(COCCCCCCC)=CC=C2C3=CC=C4COCCCCCCC)C2=C1C1=C3C4=C(COCCCCCCC)C=C1 Chemical group CCCCCCCOCC(C=C1)=C(C(COCCCCCCC)=CC=C2C3=CC=C4COCCCCCCC)C2=C1C1=C3C4=C(COCCCCCCC)C=C1 BXLBEVODLLWMBJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NCUUGODQDZKYGQ-UHFFFAOYSA-N CCCCCCOCC(C=C1)=C(C(COCCCCCC)=CC=C2C3=CC=C4COCCCCCC)C2=C1C1=C3C4=C(COCCCCCC)C=C1 Chemical group CCCCCCOCC(C=C1)=C(C(COCCCCCC)=CC=C2C3=CC=C4COCCCCCC)C2=C1C1=C3C4=C(COCCCCCC)C=C1 NCUUGODQDZKYGQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MLXHWGKPYUTWCL-UHFFFAOYSA-N CCCCCOCC(C=C1)=C(C(COCCCCC)=CC=C2C3=CC=C4COCCCCC)C2=C1C1=C3C4=C(COCCCCC)C=C1 Chemical group CCCCCOCC(C=C1)=C(C(COCCCCC)=CC=C2C3=CC=C4COCCCCC)C2=C1C1=C3C4=C(COCCCCC)C=C1 MLXHWGKPYUTWCL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BLRJYJSXJDRQEV-UHFFFAOYSA-N CCCCOCC(C=C1)=C(C(COCCCC)=CC=C2C3=CC=C4COCCCC)C2=C1C1=C3C4=C(COCCCC)C=C1 Chemical group CCCCOCC(C=C1)=C(C(COCCCC)=CC=C2C3=CC=C4COCCCC)C2=C1C1=C3C4=C(COCCCC)C=C1 BLRJYJSXJDRQEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FLNUQZRRVLOSJP-UHFFFAOYSA-N CCOCC(C=C1)=C(C(COCC)=CC=C2C3=CC=C4COCC)C2=C1C1=C3C4=C(COCC)C=C1 Chemical group CCOCC(C=C1)=C(C(COCC)=CC=C2C3=CC=C4COCC)C2=C1C1=C3C4=C(COCC)C=C1 FLNUQZRRVLOSJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000000703 Cerium Chemical class 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005749 Copper compound Substances 0.000 description 1
- IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N Ethylene oxide Chemical group C1CO1 IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NSPFWYJLIMNJGI-UHFFFAOYSA-L FC(S(=O)(=O)[O-])(F)F.C(C)(C)(C)C1=CC=C(C=C1)[I+]C1=CC=C(C=C1)C(C)(C)C.C1(=CC=CC2=CC=CC=C12)S(=O)(=O)[O-].C1(=CC=CC=C1)[I+]C1=CC=CC=C1 Chemical compound FC(S(=O)(=O)[O-])(F)F.C(C)(C)(C)C1=CC=C(C=C1)[I+]C1=CC=C(C=C1)C(C)(C)C.C1(=CC=CC2=CC=CC=C12)S(=O)(=O)[O-].C1(=CC=CC=C1)[I+]C1=CC=CC=C1 NSPFWYJLIMNJGI-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 101000578940 Homo sapiens PDZ domain-containing protein MAGIX Proteins 0.000 description 1
- 229910021578 Iron(III) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 1
- GYCMBHHDWRMZGG-UHFFFAOYSA-N Methylacrylonitrile Chemical compound CC(=C)C#N GYCMBHHDWRMZGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UEEJHVSXFDXPFK-UHFFFAOYSA-N N-dimethylaminoethanol Chemical compound CN(C)CCO UEEJHVSXFDXPFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SCVVNNJABICMCM-UHFFFAOYSA-N O=C(C1=CC=CC=C1)OCC(C=C1)=C(C(COC(C2=CC=CC=C2)=O)=CC=C2C3=CC=C4COC(C5=CC=CC=C5)=O)C2=C1C1=C3C4=C(COC(C2=CC=CC=C2)=O)C=C1 Chemical compound O=C(C1=CC=CC=C1)OCC(C=C1)=C(C(COC(C2=CC=CC=C2)=O)=CC=C2C3=CC=C4COC(C5=CC=CC=C5)=O)C2=C1C1=C3C4=C(COC(C2=CC=CC=C2)=O)C=C1 SCVVNNJABICMCM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RSPISYXLHRIGJD-UHFFFAOYSA-N OOOO Chemical class OOOO RSPISYXLHRIGJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 102100028326 PDZ domain-containing protein MAGIX Human genes 0.000 description 1
- 229920001665 Poly-4-vinylphenol Polymers 0.000 description 1
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DHXVGJBLRPWPCS-UHFFFAOYSA-N Tetrahydropyran Chemical group C1CCOCC1 DHXVGJBLRPWPCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N Triethanolamine Chemical compound OCCN(CCO)CCO GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001807 Urea-formaldehyde Polymers 0.000 description 1
- XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N Vinyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=C XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N Vinyl ether Chemical class C=COC=C QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PVOTZQNXEGUTCA-UHFFFAOYSA-N [4,9,10-tris(acetyloxymethyl)perylen-3-yl]methyl acetate Chemical compound CC(=O)OCc1ccc2c3ccc(COC(C)=O)c4c(COC(C)=O)ccc(c5ccc(COC(C)=O)c1c25)c34 PVOTZQNXEGUTCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GOPYZMJAIPBUGX-UHFFFAOYSA-N [O-2].[O-2].[Mn+4] Chemical class [O-2].[O-2].[Mn+4] GOPYZMJAIPBUGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002777 acetyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)=O 0.000 description 1
- 229940045714 alkyl sulfonate alkylating agent Drugs 0.000 description 1
- 150000008052 alkyl sulfonates Chemical class 0.000 description 1
- XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N alpha-Methylstyrene Chemical compound CC(=C)C1=CC=CC=C1 XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 1
- 125000004653 anthracenylene group Chemical group 0.000 description 1
- 239000002518 antifoaming agent Substances 0.000 description 1
- 229920006272 aromatic hydrocarbon resin Polymers 0.000 description 1
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 125000003236 benzoyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C(*)=O 0.000 description 1
- UCMYAOIWHWZZFL-UHFFFAOYSA-N bis(4-tert-butylphenyl)iodanium dodecyl benzenesulfonate Chemical compound C1=CC(C(C)(C)C)=CC=C1[I+]C1=CC=C(C(C)(C)C)C=C1.CCCCCCCCCCCCOS(=O)(=O)C1=CC=CC=C1 UCMYAOIWHWZZFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MDUKBVGQQFOMPC-UHFFFAOYSA-M bis(4-tert-butylphenyl)iodanium;(7,7-dimethyl-3-oxo-4-bicyclo[2.2.1]heptanyl)methanesulfonate Chemical compound C1CC2(CS([O-])(=O)=O)C(=O)CC1C2(C)C.C1=CC(C(C)(C)C)=CC=C1[I+]C1=CC=C(C(C)(C)C)C=C1 MDUKBVGQQFOMPC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- DJBAOXYQCAKLPH-UHFFFAOYSA-M bis(4-tert-butylphenyl)iodanium;1,1,2,2,3,3,4,4,4-nonafluorobutane-1-sulfonate Chemical compound [O-]S(=O)(=O)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F.C1=CC(C(C)(C)C)=CC=C1[I+]C1=CC=C(C(C)(C)C)C=C1 DJBAOXYQCAKLPH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- PSHNNUKOUQCMSG-UHFFFAOYSA-K bis[(2,2,2-trifluoroacetyl)oxy]thallanyl 2,2,2-trifluoroacetate Chemical compound [Tl+3].[O-]C(=O)C(F)(F)F.[O-]C(=O)C(F)(F)F.[O-]C(=O)C(F)(F)F PSHNNUKOUQCMSG-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001622 bismuth compounds Chemical class 0.000 description 1
- FSAJRXGMUISOIW-UHFFFAOYSA-N bismuth sodium Chemical compound [Na].[Bi] FSAJRXGMUISOIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000007942 carboxylates Chemical class 0.000 description 1
- GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce] GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VZDYWEUILIUIDF-UHFFFAOYSA-J cerium(4+);disulfate Chemical compound [Ce+4].[O-]S([O-])(=O)=O.[O-]S([O-])(=O)=O VZDYWEUILIUIDF-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- RSIQQDCNENMVPX-UHFFFAOYSA-J cerium(4+);tetraacetate Chemical compound [Ce+4].CC([O-])=O.CC([O-])=O.CC([O-])=O.CC([O-])=O RSIQQDCNENMVPX-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- LQCIDLXXSFUYSA-UHFFFAOYSA-N cerium(4+);tetranitrate Chemical compound [Ce+4].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O LQCIDLXXSFUYSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000355 cerium(IV) sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 1
- OEYIOHPDSNJKLS-UHFFFAOYSA-N choline Chemical compound C[N+](C)(C)CCO OEYIOHPDSNJKLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960001231 choline Drugs 0.000 description 1
- 238000007334 copolymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 150000001880 copper compounds Chemical class 0.000 description 1
- MXQRGHNSFNZNTN-UHFFFAOYSA-N copper trifluoroborane Chemical compound [Cu+2].FB(F)F MXQRGHNSFNZNTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RFKZUAOAYVHBOY-UHFFFAOYSA-M copper(1+);acetate Chemical compound [Cu+].CC([O-])=O RFKZUAOAYVHBOY-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L copper(II) chloride Chemical compound Cl[Cu]Cl ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- SBTSVTLGWRLWOD-UHFFFAOYSA-L copper(ii) triflate Chemical compound [Cu+2].[O-]S(=O)(=O)C(F)(F)F.[O-]S(=O)(=O)C(F)(F)F SBTSVTLGWRLWOD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229930003836 cresol Natural products 0.000 description 1
- 229930007927 cymene Natural products 0.000 description 1
- 229960002887 deanol Drugs 0.000 description 1
- 125000003074 decanoyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C(*)=O 0.000 description 1
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 1
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 1
- 239000012933 diacyl peroxide Substances 0.000 description 1
- HPNMFZURTQLUMO-UHFFFAOYSA-N diethylamine Chemical compound CCNCC HPNMFZURTQLUMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012972 dimethylethanolamine Substances 0.000 description 1
- ORPDKMPYOLFUBA-UHFFFAOYSA-M diphenyliodanium;1,1,2,2,3,3,4,4,4-nonafluorobutane-1-sulfonate Chemical compound C=1C=CC=CC=1[I+]C1=CC=CC=C1.[O-]S(=O)(=O)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F ORPDKMPYOLFUBA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- UUMAFLKWOXKEID-UHFFFAOYSA-N diphenyliodanium;dodecyl benzenesulfonate Chemical compound C=1C=CC=CC=1[I+]C1=CC=CC=C1.CCCCCCCCCCCCOS(=O)(=O)C1=CC=CC=C1 UUMAFLKWOXKEID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OVAZMTZNAIEREQ-UHFFFAOYSA-M diphenyliodanium;pyrene-1-sulfonate Chemical compound C=1C=CC=CC=1[I+]C1=CC=CC=C1.C1=C2C(S(=O)(=O)[O-])=CC=C(C=C3)C2=C2C3=CC=CC2=C1 OVAZMTZNAIEREQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- WEHWNAOGRSTTBQ-UHFFFAOYSA-N dipropylamine Chemical compound CCCNCCC WEHWNAOGRSTTBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012156 elution solvent Substances 0.000 description 1
- 125000005448 ethoxyethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])OC([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- ANQVKHGDALCPFZ-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-[6-(4-methylpiperazin-1-yl)-1h-benzimidazol-2-yl]acetate Chemical compound C1=C2NC(CC(=O)OCC)=NC2=CC=C1N1CCN(C)CC1 ANQVKHGDALCPFZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BHXIWUJLHYHGSJ-UHFFFAOYSA-N ethyl 3-ethoxypropanoate Chemical compound CCOCCC(=O)OCC BHXIWUJLHYHGSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004494 ethyl ester group Chemical group 0.000 description 1
- 229940116333 ethyl lactate Drugs 0.000 description 1
- 125000000816 ethylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 125000000268 heptanoyl group Chemical group O=C([*])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000004836 hexamethylene group Chemical group [H]C([H])([*:2])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[*:1] 0.000 description 1
- 125000003104 hexanoyl group Chemical group O=C([*])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- PNDPGZBMCMUPRI-UHFFFAOYSA-N iodine Chemical compound II PNDPGZBMCMUPRI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002506 iron compounds Chemical class 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 125000000400 lauroyl group Chemical group O=C([*])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 239000011133 lead Substances 0.000 description 1
- 150000002611 lead compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910000464 lead oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- JEHCHYAKAXDFKV-UHFFFAOYSA-J lead tetraacetate Chemical compound CC(=O)O[Pb](OC(C)=O)(OC(C)=O)OC(C)=O JEHCHYAKAXDFKV-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- 125000005647 linker group Chemical group 0.000 description 1
- FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N maleic anhydride Chemical compound O=C1OC(=O)C=C1 FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002697 manganese compounds Chemical class 0.000 description 1
- WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);methyl n-[[2-(methoxycarbonylcarbamothioylamino)phenyl]carbamothioyl]carbamate;n-[2-(sulfidocarbothioylamino)ethyl]carbamodithioate Chemical compound [Mn+2].[S-]C(=S)NCCNC([S-])=S.COC(=O)NC(=S)NC1=CC=CC=C1NC(=S)NC(=O)OC WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- MMIPFLVOWGHZQD-UHFFFAOYSA-N manganese(3+) Chemical class [Mn+3] MMIPFLVOWGHZQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 125000005641 methacryl group Chemical group 0.000 description 1
- WSFSSNUMVMOOMR-NJFSPNSNSA-N methanone Chemical compound O=[14CH2] WSFSSNUMVMOOMR-NJFSPNSNSA-N 0.000 description 1
- 125000004184 methoxymethyl group Chemical group [H]C([H])([H])OC([H])([H])* 0.000 description 1
- BDJSOPWXYLFTNW-UHFFFAOYSA-N methyl 3-methoxypropanoate Chemical compound COCCC(=O)OC BDJSOPWXYLFTNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004492 methyl ester group Chemical group 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 125000001421 myristyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000006606 n-butoxy group Chemical group 0.000 description 1
- GNVRJGIVDSQCOP-UHFFFAOYSA-N n-ethyl-n-methylethanamine Chemical compound CCN(C)CC GNVRJGIVDSQCOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FNJACQKXCBUZGH-UHFFFAOYSA-N naphthalene-1-sulfonic acid hydroiodide Chemical compound OS(C1=CC=CC2=CC=CC=C12)(=O)=O.I FNJACQKXCBUZGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DFQICHCWIIJABH-UHFFFAOYSA-N naphthalene-2,7-diol Chemical compound C1=CC(O)=CC2=CC(O)=CC=C21 DFQICHCWIIJABH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004780 naphthols Chemical class 0.000 description 1
- 125000004957 naphthylene group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002816 nickel compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910000480 nickel oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002825 nitriles Chemical class 0.000 description 1
- 125000001402 nonanoyl group Chemical group O=C([*])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N nonaoxidotritungsten Chemical compound O=[W]1(=O)O[W](=O)(=O)O[W](=O)(=O)O1 QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002801 octanoyl group Chemical group C(CCCCCCC)(=O)* 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 229910052762 osmium Inorganic materials 0.000 description 1
- SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N osmium atom Chemical compound [Os] SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002908 osmium compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000012285 osmium tetroxide Substances 0.000 description 1
- 229910000489 osmium tetroxide Inorganic materials 0.000 description 1
- UHHKSVZZTYJVEG-UHFFFAOYSA-N oxepane Chemical group C1CCCOCC1 UHHKSVZZTYJVEG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AHHWIHXENZJRFG-UHFFFAOYSA-N oxetane Chemical group C1COC1 AHHWIHXENZJRFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N oxolead Chemical compound [Pb]=O YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N oxonickel Chemical compound [Ni]=O GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 1
- HFPZCAJZSCWRBC-UHFFFAOYSA-N p-cymene Chemical compound CC(C)C1=CC=C(C)C=C1 HFPZCAJZSCWRBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004817 pentamethylene group Chemical group [H]C([H])([*:2])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[*:1] 0.000 description 1
- 150000002979 perylenes Chemical class 0.000 description 1
- 125000005562 phenanthrylene group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000843 phenylene group Chemical group C1(=C(C=CC=C1)*)* 0.000 description 1
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 1
- 239000003504 photosensitizing agent Substances 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 125000001501 propionyl group Chemical group O=C([*])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000004805 propylene group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 1
- 238000011002 quantification Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003304 ruthenium compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910001925 ruthenium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- WOCIAKWEIIZHES-UHFFFAOYSA-N ruthenium(iv) oxide Chemical compound O=[Ru]=O WOCIAKWEIIZHES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- LKZMBDSASOBTPN-UHFFFAOYSA-L silver carbonate Substances [Ag].[O-]C([O-])=O LKZMBDSASOBTPN-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001958 silver carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229940100890 silver compound Drugs 0.000 description 1
- 150000003379 silver compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910001961 silver nitrate Inorganic materials 0.000 description 1
- VFWRGKJLLYDFBY-UHFFFAOYSA-N silver;hydrate Chemical compound O.[Ag].[Ag] VFWRGKJLLYDFBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUXNAKZDHHEHPC-UHFFFAOYSA-M sodium bromate Chemical compound [Na+].[O-]Br(=O)=O XUXNAKZDHHEHPC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000019795 sodium metasilicate Nutrition 0.000 description 1
- BAZAXWOYCMUHIX-UHFFFAOYSA-M sodium perchlorate Chemical compound [Na+].[O-]Cl(=O)(=O)=O BAZAXWOYCMUHIX-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910001488 sodium perchlorate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 1
- QYWOYRRPSUPTPW-UHFFFAOYSA-N tetraethyl perylene-3,4,9,10-tetracarboxylate Chemical compound C=12C3=CC=C(C(=O)OCC)C2=C(C(=O)OCC)C=CC=1C1=CC=C(C(=O)OCC)C2=C1C3=CC=C2C(=O)OCC QYWOYRRPSUPTPW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940073455 tetraethylammonium hydroxide Drugs 0.000 description 1
- LRGJRHZIDJQFCL-UHFFFAOYSA-M tetraethylazanium;hydroxide Chemical compound [OH-].CC[N+](CC)(CC)CC LRGJRHZIDJQFCL-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VOLKDAJYLBCCQV-UHFFFAOYSA-N tetramethyl perylene-3,4,9,10-tetracarboxylate Chemical compound C=12C3=CC=C(C(=O)OC)C2=C(C(=O)OC)C=CC=1C1=CC=C(C(=O)OC)C2=C1C3=CC=C2C(=O)OC VOLKDAJYLBCCQV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000383 tetramethylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 1
- AWDBHOZBRXWRKS-UHFFFAOYSA-N tetrapotassium;iron(6+);hexacyanide Chemical compound [K+].[K+].[K+].[K+].[Fe+6].N#[C-].N#[C-].N#[C-].N#[C-].N#[C-].N#[C-] AWDBHOZBRXWRKS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052716 thallium Inorganic materials 0.000 description 1
- BKVIYDNLLOSFOA-UHFFFAOYSA-N thallium Chemical compound [Tl] BKVIYDNLLOSFOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003476 thallium compounds Chemical class 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N toluene-4-sulfonic acid Chemical compound CC1=CC=C(S(O)(=O)=O)C=C1 JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KQBSGRWMSNFIPG-UHFFFAOYSA-N trioxane Chemical compound C1COOOC1 KQBSGRWMSNFIPG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001930 tungsten oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000000297 undecanoyl group Chemical group O=C([*])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000003774 valeryl group Chemical group O=C([*])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N vanadium Chemical compound [V]#[V] GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003682 vanadium compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
- 150000003739 xylenols Chemical class 0.000 description 1
Abstract
【解決手段】(A)芳香環を含む樹脂と、(B)一般式(i)で表される化合物と、を含む組成物によってレジスト下層膜を形成する。
【選択図】なし
Description
[1]レジスト下層膜の形成方法
本発明のレジスト下層膜の形成方法は、(A)芳香環を含む樹脂(以下、「樹脂(A)」ともいう。)と、(B)特定の構造を有する化合物(以下、「化合物(B)」ともいう。)を含む組成物を被加工基板上に塗布して塗膜を形成する工程と、得られた塗膜を前記被加工基板と共に加熱して、被加工基板上にレジスト下層膜を形成する工程と、を備える。尚、組成物については後述する。
また、被加工基板への組成物の塗布方法は特に限定されず、例えば、回転塗布、流延塗布、ロール塗布等の適宜の方法で実施することができる。
この際の加熱温度は、通常、150〜500℃であり、好ましくは180〜350℃程度である。
この際の加熱時間は30〜1200秒であり、好ましくは60〜600秒である。
予備加熱における加熱時間は特に限定されないが、10〜300秒であることが好ましく、より好ましくは30〜180秒である。
この予備加熱を行うことにより、溶剤を予め気化させて、膜を緻密にしておくことで、脱水素反応を効率良く進めることができる。
本発明のパターン形成方法は、(1)被加工基板上に、樹脂(A)と化合物(B)とを含む組成物によってレジスト下層膜を形成するレジスト下層膜形成工程(以下、「工程(1)」ともいう。)と、(2)前記レジスト下層膜が形成された被加工基板に、レジスト組成物を塗布してレジスト被膜を形成するレジスト被膜形成工程(以下、「工程(2)」ともいう。)と、(3)前記レジスト被膜に、選択的に放射線を照射して、該レジスト被膜を露光する露光工程(以下、「工程(3)」ともいう。)と、(4)露光された前記レジスト被膜を現像して、レジストパターンを形成するレジストパターン形成工程(以下、「工程(4)」ともいう。)と、(5)前記レジストパターンをマスクとして用い、前記レジスト下層膜及び前記被加工基板をドライエッチングして、該被加工基板に所定のパターンを形成するパターン形成工程(以下、「工程(5)」ともいう。)と、を備える。
この工程(1)で形成されるレジスト下層膜の膜厚は、通常、0.1〜5μmである。
この中間層は、レジストパターン形成において、レジスト下層膜及び/又はレジスト被膜が有する機能を更に補ったり、これらが有していない機能を得るために、これらの機能が付与された層のことである。例えば、反射防止膜を中間層として形成した場合、レジスト下層膜の反射防止機能を更に補うことができる。
また、中間層の膜厚は特に限定されず、中間層に求められる機能に応じて適宜選択されるが、10〜3000nmの範囲が好ましく、更に好ましくは20〜300nmである。
レジスト組成物としては、例えば、光酸発生剤を含有するポジ型又はネガ型の化学増幅型レジスト組成物、アルカリ可溶性樹脂とキノンジアジド系感光剤とからなるポジ型レジスト組成物、アルカリ可溶性樹脂と架橋剤とからなるネガ型レジスト組成物等が挙げられる。
このようなレジスト組成物は、固形分濃度が、通常、5〜50質量%程度であり、一般に、例えば、孔径0.2μm程度のフィルターでろ過して、レジスト被膜の形成に供される。尚、この工程では、市販のレジスト組成物をそのまま使用することもできる。
また、プレベークの温度は、使用されるレジスト組成物の種類等に応じて適宜調整されるが、通常、30〜200℃程度、好ましくは50〜150℃である。
露光に用いられる放射線としては、レジスト組成物に使用される光酸発生剤の種類に応じて、可視光線、紫外線、遠紫外線、X線、電子線、γ線、分子線、イオンビーム等から適切に選択されるが、遠紫外線であることが好ましく、特にKrFエキシマレーザー(248nm)、ArFエキシマレーザー(193nm)、F2エキシマレーザー(波長157nm)、Kr2エキシマレーザー(波長147nm)、ArKrエキシマレーザー(波長134nm)、極紫外線(波長13nm等)等が好ましい。
尚、本発明におけるレジストパターン形成方法は、ナノインプリント法等の現像工程を経ないものであってもよい。
この工程で用いられる現像液は、使用されるレジスト組成物の種類に応じて適宜選択される。具体的には、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、珪酸ナトリウム、メタ珪酸ナトリウム、アンモニア、エチルアミン、n−プロピルアミン、ジエチルアミン、ジ−n−プロピルアミン、トリエチルアミン、メチルジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、トリエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、ピロール、ピペリジン、コリン、1,8−ジアザビシクロ[5.4.0]−7−ウンデセン、1,5−ジアザビシクロ[4.3.0]−5−ノネン等のアルカリ性水溶液が挙げられる。
また、これらのアルカリ性水溶液には、水溶性有機溶剤、例えば、メタノール、エタノール等のアルコール類や、界面活性剤を適量添加することもできる。
尚、この工程では、解像度、パターンプロファイル、現像性等を向上させるため、現像前の前記露光後に、ポストベークを行うことができる。このポストベークの温度は、使用されるレジスト組成物の種類等に応じて適宜調整されるが、通常、50〜200℃程度、好ましくは70〜150℃である。
本発明の組成物は、樹脂(A)と化合物(B)とを含むものである。このような組成物は、レジスト下層膜の形成に特に有効である。
前記樹脂(A)としては、例えば、ノボラック樹脂、レゾール樹脂、スチレン樹脂、アセナフチレン系樹脂、フラーレン骨格を有する樹脂、及びこれらの誘導体等が挙げられる。
ノボラック樹脂の具体例としては、例えば、フェノール、クレゾール、キシレノール、レゾルシノール、ビスフェノールA、パラターシャリーブチルフェノール、パラオクチルフェノール等のフェノール類、α−ナフトール、β−ナフトール、1,5−ジヒドロキシナフタレン、2,7−ジヒドロキシナフタレン等のナフトール類からなる群より選ばれる1種又は2種以上のフェノール性化合物と、ホルムアルデヒド、パラホルムアルデヒド、及びトリオキサン等のアルデヒド源のうちの1種又は2種以上のアルデヒド類と、を酸性触媒を用いて反応させて得られる樹脂が挙げられる。
このような樹脂としては、例えば、下記一般式(a1)や一般式(a2)で表されるもの等が挙げられる。
前記ハロゲン原子としては、例えば、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素等が挙げられる。等が挙げられる。
また、前記炭素数1〜9のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、2−メチルプロピル基、1−メチルプロピル基、t−ブチル基等が挙げられる。
更に、前記炭素数6〜22のアリール基としては、例えば、フェニル基、ナフチル基等が挙げられる。
前記ハロゲン原子としては、例えば、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素等が挙げられる。等が挙げられる。
また、前記炭素数1〜9のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、2−メチルプロピル基、1−メチルプロピル基、t−ブチル基等が挙げられる。
更に、前記炭素数6〜22のアリール基としては、例えば、フェニル基、ナフチル基等が挙げられる。
また、R31及びR32におけるアリール基としては、炭素数6〜30のアリール基が挙げられる。具体的には、例えば、フェニル基、ナフチル基等が挙げられる。
尚、R31及びR32は、それぞれ、主鎖に対してパラ位、オルソ位又はメタ位をとる。
更に、重合体(A)のMwと、GPCで測定したポリスチレン換算数平均分子量(以下、「Mn」ともいう)との比(Mw/Mn)は、通常1〜5であり、より好ましくは1〜3である。
前記化合物(B)は、下記一般式(i)で表されるものである。
本発明の組成物は、この化合物(B)と樹脂(A)とが、脱水素反応を伴う酸化架橋反応を起こす事により、材料全体の水素含有量が低下すると共に、硬化性が上昇すると考えられる。このため、形成されたレジスト下層膜の曲がり耐性が向上するものと考えられる。従って、化合物(B)はレジスト下層膜形成材料用の添加剤として有効である。さらに、化合物(B)のこのような働きから、架橋剤として有効である。
また、R3における炭素数6〜30のアリール基としては、フェニル基、ナフチル基、メチルフェニル基、エチルフェニル基等が挙げられる。
また、R2における炭素数6〜12のアリール基としては、例えば、フェニル基、ナフチル基、メチルフェニル基、エチルフェニル基等が挙げられる。
また、n31、n32、n33およびn34はそれぞれ独立に0〜2の整数であり、0〜1の整数であることがより好ましい。
更に、1≦n21+n31≦3、1≦n22+n32≦3、1≦n23+n33≦3、1≦n24+n34≦3であり、1≦n21+n31≦2、1≦n22+n32≦2、1≦n23+n33≦2、1≦n24+n34≦2であることがより好ましい。
また、n4は1〜3の整数であり、1〜2の整数であることがより好ましい。
更に、1≦n41+n31≦3、1≦n42+n32≦3、1≦n43+n33≦3、1≦n44+n34≦3であり、1≦n41+n31≦2、1≦n42+n32≦2、1≦n43+n33≦2、1≦n44+n34≦2であることがより好ましい。
また、R5における炭素数6〜12のアリール基としては、例えば、フェニル基、ナフチル基、メチルフェニル基、エチルフェニル基等が挙げられる。
また、R6における炭素数6〜12のアリール基としては、例えば、フェニル基、ナフチル基、メチルフェニル基、エチルフェニル基等が挙げられる。
また、R7における炭素数6〜12のアリール基としては、例えば、フェニル基、ナフチル基、メチルフェニル基、エチルフェニル基等が挙げられる。
本発明の組成物には、上述の化合物(B)以外に他の架橋剤が配合されていてもよい。
他の架橋剤としては、例えば、多核フェノール類や、種々の市販の硬化剤等が挙げられる。このような他の架橋剤としては、例えば、特開2004−168748号公報における段落[0085]〜[0086]に記載のもの等を用いることができる。
これらの他の架橋剤は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよく、多核フェノール類と硬化剤とを併用することもできる。
本発明の組成物は、上述の樹脂(A)及び化合物(B)を含むものであるが、この組成物は、通常、樹脂(A)及び化合物(B)を溶解する溶剤(以下、「溶剤(C)」ともいう)を含む液状の組成物である。
溶剤(C)としては、樹脂(A)及び化合物(B)を溶解しうるものであれば特に限定されないが、例えば、特開2004−168748号公報における段落[0070]〜[0073]に記載のもの等を用いることができる。
尚、溶剤(C)は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
前記酸発生剤(D)は、露光或いは加熱により酸を発生する成分である。本発明の組成物は、この酸発生剤(D)を含有することにより、常温を含む比較的低温で樹脂の分子鎖間により有効に架橋反応を生起させることが可能となる。
露光により酸を発生する酸発生剤(以下、「光酸発生剤」という。)としては、例えば、特開2004−168748号公報における段落[0077]〜[0081]に記載のもの等を用いることができる。
尚、これらの光酸発生剤は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
尚、これらの熱酸発生剤は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。また、酸発生剤(D)として、光酸発生剤と熱酸発生剤とを併用してもよい。
前記促進剤(E)は、酸化架橋に必要な脱水素反応を十分に引き起こすための一電子酸化剤等を示す。一電子酸化剤とは、それ自身が1電子移動を受ける酸化剤を意味する。例えば、硝酸セリウム(IV)アンモニウムの場合では、セリウムイオン(IV)が一電子を得てセリウムイオン(III)へと変化する。また、ハロゲン等のラジカル性の酸化剤は、一電子を得てアニオンへと転化する。このように、一電子を被酸化物(基質や触媒等)から奪うことにより、被酸化物を酸化する現象を一電子酸化と称し、この時一電子を受け取る成分を一電子酸化剤とよぶ。
一電子酸化剤の代表的な例として、(a)金属化合物、(b)過酸化物、(c)ジアゾ化合物、(d)ハロゲン又はハロゲン酸等が挙げられる。
前記(c)ジアゾ化合物としては、例えば、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル等が挙げられる。
前記(d)ハロゲン又はハロゲン酸としては、例えば、塩素、臭素、ヨウ素から選ばれるハロゲンや、過ハロゲン酸、ハロゲン酸、亜ハロゲン酸、次亜ハロゲン酸及びこれらの塩等が挙げられる。尚、ハロゲン酸におけるハロゲンとしては、塩素、臭素、ヨウ素が挙げられる。また、ハロゲン酸若しくはその塩となる具体的な化合物としては、過塩素酸ナトリウム、臭素酸ナトリム等が挙げられる。
尚、これらの一電子酸化剤等の促進剤(E)は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
前記添加剤(F)としては、バインダー樹脂、放射線吸収剤、界面活性剤等が挙げられる。
これらの添加剤(F)としては、例えば、特開2004−168748号公報における段落[0088]〜[0093]に記載のもの等を用いることができる。
バインダー樹脂としては、種々の熱可塑性樹脂や熱硬化性樹脂(上述の樹脂(A)を除く)を使用することができる。熱可塑性樹脂は、添加した熱可塑性樹脂の流動性や機械的特性等を下層膜に付与する作用を有する成分である。また、熱硬化性樹脂は、加熱により硬化して溶剤に不溶となり、得られるレジスト下層膜と、その上に形成されるレジスト被膜との間のインターミキシングを防止する作用を有する成分であり、バインダー樹脂として好ましく使用することができる。これらのなかでも、尿素樹脂類、メラミン樹脂類、芳香族炭化水素樹脂類等の熱硬化性樹脂が好ましい。
尚、これらのバインダー樹脂は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
これらの界面活性剤は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
本発明のレジスト下層膜は、樹脂(A)と化合物(B)とを含む組成物によって形成されるものである。尚、組成物については、前述の本発明の組成物の説明をそのまま適用することができる。
このレジスト下層膜は、被加工基板上にレジスト下層膜を形成し、レジスト下層膜上にレジストパターンを形成後、レジストパターンを一旦、レジスト下層膜に転写して下層膜パターンを形成した後、この下層膜パターンをエッチングマスクとして用いて被加工基板に転写する多層レジストプロセスに好適に用いることができる。
このようなレジスト下層膜を形成する方法は特に限定されないが、例えば、後述の本発明のレジスト下層膜の形成方法等により得ることができる。
<合成例1>
コンデンサー、温度計、撹拌装置を備えた反応装置に2,7−ジヒドロキシナフタレン100部とプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート100部、パラホルムアルデヒド50部を仕込み、蓚酸2部を添加し、脱水しながら120℃に昇温して、5時間反応させた後、下記構成単位を有する樹脂(A−1)を得た。
また、得られた樹脂(A−1)の重量平均分子量(Mw)は3,000であった。
コンデンサー、温度計、拡販装置を備えた反応装置にフェノール100部とプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート100部、パラホルムアルデヒド50部を仕込み、蓚酸2部を添加し、脱水しながら120℃に昇温して、5時間反応させた後、下記構成単位を有する樹脂(A−2)を得た。
また、得られた樹脂(A−2)の重量平均分子量(Mw)は7,000であった。
温度計を備えたセパラブルフラスコに、窒素下で、アセナフチレン100部、トルエン78部、ジオキサン52部、アゾビスイソブチロニトリル3部を仕込み、70℃で5時間撹拌した。ここで得られた分子量10,000の樹脂に、p−トルエンスルホン酸1水和物5.2部、パラホルムアルデヒド40部を添加して、120℃に昇温し、更に6時間撹拌した。その後、反応溶液を多量のイソプロパノール中に投入し、沈殿した樹脂をろ過して、樹脂(A−3)を得た。
また、得られた樹脂(A−3)の重量平均分子量(Mw)は20,000であった。
(2−1)実施例1〜9
<実施例1>
表1に示すように、上述の樹脂(A−1)10部を、架橋剤[ペリレン−3,4,9,10−テトラカルボン酸テトラメチル(下記化合物(B−1))]1部、熱酸発生剤[ジフェニルヨードニウムトリフルオロメタンスルホネート(C−1)]0.1部、溶剤[プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(D−1)]90部に溶解した。この溶液を孔径0.1μmのメンブランフィルターでろ過して、実施例1の組成物を調製した。
表1に示す組成及び配合量としたこと以外は、実施例1と同様にして、実施例2〜9の各組成物を調製した。
<比較例1>
表1に示すように、上述の樹脂(A−1)10部を、架橋剤[1,3,4,6−テトラキス(メトキシメチル)グリコールウリル(下記化合物(b−1))]1部、熱酸発生剤[ジフェニルヨードニウムトリフルオロメタンスルホネート(C−1)]0.1部、溶剤[プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(D−1)]90部に溶解した。この溶液を孔径0.1μmのメンブランフィルターでろ過して、比較例1の組成物を調製した。
表1に示す組成及び配合量としたこと以外は、比較例1と同様にして、比較例2及び3の各組成物を調製した。
実施例1〜14及び比較例1〜3の各組成物について、下記の評価を行った。その結果を表2に示す。
直径8インチのシリコンウェハー上に、実施例及び比較例の各組成物をスピンコートした後、酸素濃度20容量%のホットプレート内にて180℃で60秒間加熱し、引き続き、350℃で120秒間加熱して、膜厚0.3μmのレジスト下層膜を形成した。
その後、得られたレジスト下層膜上に3層レジストプロセス用スピンオングラス組成物溶液(JSR(株)製)をスピンコートし、200℃及び300℃のホットプレート上でそれぞれ60秒間加熱して、膜厚0.05μmの中間層被膜を形成した。次いで、得られた中間層被膜上に、ArF用レジスト組成物溶液[アクリル系ArF用フォトレジスト、JSR(株)製]をスピンコートし、130℃のホットプレート上で90秒間プレベークして、膜厚0.2μmのレジスト被膜を形成した。その後、NIKON社製ArFエキシマレーザー液浸露光装置「S610C」(レンズ開口数1.3、露光波長193nm)を用い、マスクパターンを介して、40nmのラインアンドスペースパターン(1L/1S)を形成するように最適露光時間だけ露光した。次いで、130℃のホットプレート上で90秒間ポストベークしたのち、2.38%濃度のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を用い、25℃で1分間現像し、水洗し、乾燥して、ArF用ポジ型レジストパターンを得た。その後、このレジストパターンをマスクとし、中間被膜を加工し、続いて、加工した中間被膜をマスクとして、レジスト下層膜の加工を行った。次いで、加工したレジスト下層膜をマスクとして、被加工基板の加工を行った。
そして、基板加工後のパターン形状を走査型電子顕微鏡により観察し、下記の基準で評価した。
「○」;下層膜のパターンが立っている状態
「×」;下層膜のパターンが倒れたり曲がったりしている状態
直径8インチのシリコンウェハー上に、実施例及び比較例の各組成物をスピンコートした後、酸素濃度20容量%のホットプレート内にて180℃で60秒間加熱し、引き続き、350℃で120秒間加熱して、膜厚0.3μmのレジスト下層膜を形成し、このレジスト下層膜をエッチング装置「EXAM」(神鋼精機社製)を用いて、CF4/Ar/O2(CF4:40mL/min、Ar:20mL/min、O2:5mL/min;圧力:20Pa;RFパワー:200W;処理時間:40秒;温度:15℃)でエッチング処理した。
そして、エッチング処理前後の膜厚を測定して、エッチングレートを算出し、下記の基準でエッチング耐性を評価した。
「○」:エッチングレートが150nm/min以下の場合
「△」:エッチングレートが150〜200nm/minの場合
「×」:エッチングレートが200nm/min以上の場合
直径8インチのシリコンウェハー上に、実施例及び比較例の各組成物をスピンコートした後、酸素濃度20容量%のホットプレート内にて180℃で60秒間加熱し、引き続き、350℃で120秒間加熱して、膜厚0.3μmのレジスト下層膜を形成し、このレジスト下層膜について、炭素・水素・窒素同時定量装置「JM10」(ジェイ・サイエンス・ラボ社製)を用いて、各元素の重量換算値を算出した。
そして、膜中に含まれる各元素の原子数を、[各元素の重量換算値(重量%)/各元素の質量(g)]により算出し、次いで、[膜中の水素原子数/膜中の全原子数]により、脱水素反応後の水素含有量(atom%)を求めた。
尚、脱水素反応前の水素含有量は、直径8インチのシリコンウェハー上に、実施例及び比較例の各組成物をスピンコートした後、酸素濃度20容量%のホットプレート内にて200℃で60秒間加熱して形成したレジスト下層膜を使用して測定した。
また、本発明の組成物およびレジスト下層膜形成材料用添加剤は、レジスト下層膜を形成するための材料として極めて有用である。
Claims (12)
- 被加工基板上に(A)芳香環を含む樹脂と、(B)下記一般式(i)で表される化合物とを含む組成物を塗布して塗膜を形成する工程と、
前記塗膜を、前記被加工基板と共に加熱して、該被加工基板上にレジスト下層膜を形成する工程と、
を備えるレジスト下層膜の形成方法。
R1は炭素数2〜13のアルコキシカルボニル基、炭素数7〜13のアリーロキシカルボニル基、ヒドロキシメチル基、炭素数2〜13のアルコキシメチル基、炭素数7〜13のアリーロキシメチル基、または炭素数3〜14のアシロキシメチル基を示し、R1が複数存在する場合はそれぞれ同一でも異なっていてもよい。
R3はヒドロキシル基、炭素数1〜9のアルキル基、または炭素数6〜30のアリール基を示し、R3が複数存在する場合はそれぞれ同一でも異なっていてもよい。〕 - (1)被加工基板上に、請求項1に記載のレジスト下層膜形成方法によってレジスト下層膜を形成するレジスト下層膜形成工程と、
(2)前記レジスト下層膜が形成された被加工基板に、レジスト組成物を塗布してレジスト被膜を形成するレジスト被膜形成工程と、
(3)前記レジスト被膜に、選択的に放射線を照射して、該レジスト被膜を露光する露光工程と、
(4)露光された前記レジスト被膜を現像して、レジストパターンを形成するレジストパターン形成工程と、
(5)前記レジストパターンをマスクとして用い、前記レジスト下層膜及び前記被加工基板をドライエッチングして、該被加工基板に所定のパターンを形成するパターン形成工程と、
を備えるパターン形成方法。 - 前記(1)レジスト下層膜形成工程の後にレジスト下層膜上に中間層を形成する工程(1’)を更に備える請求項2に記載のパターン形成方法。
- (A)芳香環を含む樹脂と、
(B)下記一般式(i)で表される化合物とを含む組成物。
R1は炭素数2〜13のアルコキシカルボニル基、炭素数7〜13のアリーロキシカルボニル基、ヒドロキシメチル基、炭素数2〜13のアルコキシメチル基、炭素数7〜13のアリーロキシメチル基、または炭素数3〜14のアシロキシメチル基を示し、R1が複数存在する場合はそれぞれ同一でも異なっていてもよい。
R3はヒドロキシル基、炭素数1〜9のアルキル基、または炭素数6〜30のアリール基を示し、R3が複数存在する場合はそれぞれ同一でも異なっていてもよい。〕 - 前記(B)化合物として、下記一般式(b1−1)で表される化合物、及び下記一般式(b2−1)で表される化合物のうちの少なくとも一方を含む請求項4に記載の組成物。
- 前記(A)樹脂が、ノボラック樹脂、レゾール樹脂、スチレン樹脂、アセナフチレン系樹脂、又はフラーレン骨格を有する樹脂である請求項4〜7いずれか一項に記載の組成物。
- 更に、(C)溶剤を含む請求項4〜8いずれか一項に記載の組成物。
- 下記一般式(i)で表される化合物からなるレジスト下層膜形成材料用添加剤。
R1は炭素数2〜13のアルキルエステル基、炭素数7〜13のアリールエステル基、ヒドロキシメチル基、炭素数2〜13のアルコキシメチル基、炭素数7〜13のアリーロキシメチル基、または炭素数3〜14のアシロキシメチル基を示し、R1が複数存在する場合はそれぞれ同一でも異なっていてもよい。
R3はヒドロキシル基、炭素数1〜9のアルキル基、または炭素数6〜30のアリール基を示し、R3が複数存在する場合はそれぞれ同一でも異なっていてもよい。〕 - 請求項4〜9のいずれか1項に記載の組成物によって形成されたレジスト下層膜。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010033159A JP5538941B2 (ja) | 2010-02-18 | 2010-02-18 | レジスト下層膜形成方法、パターン形成方法、および組成物、レジスト下層膜形成材料用添加剤、架橋剤並びにレジスト下層膜 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010033159A JP5538941B2 (ja) | 2010-02-18 | 2010-02-18 | レジスト下層膜形成方法、パターン形成方法、および組成物、レジスト下層膜形成材料用添加剤、架橋剤並びにレジスト下層膜 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011170059A true JP2011170059A (ja) | 2011-09-01 |
JP5538941B2 JP5538941B2 (ja) | 2014-07-02 |
Family
ID=44684266
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010033159A Active JP5538941B2 (ja) | 2010-02-18 | 2010-02-18 | レジスト下層膜形成方法、パターン形成方法、および組成物、レジスト下層膜形成材料用添加剤、架橋剤並びにレジスト下層膜 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5538941B2 (ja) |
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Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101814671B1 (ko) | 2015-06-02 | 2018-01-04 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기막 조성물, 유기막, 및 패턴형성방법 |
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2010
- 2010-02-18 JP JP2010033159A patent/JP5538941B2/ja active Active
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US10845703B2 (en) | 2014-11-19 | 2020-11-24 | Nissan Chemical Industries, Ltd. | Film-forming composition containing silicone having crosslinking reactivity |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP5538941B2 (ja) | 2014-07-02 |
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