JP2011158356A - 欠陥検査装置および欠陥検査方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】微細な欠陥の検査を精度よく且つ短時間に行うことができる欠陥検査装置および欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】第1の光源2から出射された第1の波長を有する光を載置部12に載置された被検査体へ導くとともに、被検査体からの第1の反射光を第1の検出部10へ導く第1の光学系3と、第2の光源6から出射された第2の波長を有する光を載置部に載置された被検査体へ導くとともに、被検査体からの第2の反射光を第2の検出部11へ導く第2の光学系9と、第1の光源と、第2の光源と、を制御する制御部13と、を備え、前記制御部は、前記被検査体の検査対象部分の材質に応じて、第1の光源と、第2の光源と、を制御して、前記第1の波長を有する光と、前記第2の波長を有する光と、の切り替えを行うことを特徴とする欠陥検査装置1が提供される。
【選択図】図1
【解決手段】第1の光源2から出射された第1の波長を有する光を載置部12に載置された被検査体へ導くとともに、被検査体からの第1の反射光を第1の検出部10へ導く第1の光学系3と、第2の光源6から出射された第2の波長を有する光を載置部に載置された被検査体へ導くとともに、被検査体からの第2の反射光を第2の検出部11へ導く第2の光学系9と、第1の光源と、第2の光源と、を制御する制御部13と、を備え、前記制御部は、前記被検査体の検査対象部分の材質に応じて、第1の光源と、第2の光源と、を制御して、前記第1の波長を有する光と、前記第2の波長を有する光と、の切り替えを行うことを特徴とする欠陥検査装置1が提供される。
【選択図】図1
Description
本発明は、欠陥検査装置および欠陥検査方法に関する。
半導体装置、フラットパネルディスプレイ、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)などの分野においては、表面に微細なパターンが形成された構造体(以下、微細構造体と称する)がリソグラフィ技術などを用いて製造されている。そして、この様な微細なパターンに生じた欠陥を検査するための欠陥検査装置が提案されている(例えば、特許文献1を参照)。
この様な欠陥検査装置においては、照射光を被検査体に照射して得られる反射光を受光部上に結像させて被検査体の検査画像を得るようにしている。そして、被検査体の対応する2箇所において撮像された検査画像を比較して、互いに異なる部分を欠陥として検出するようにしている。
この様な欠陥検査装置においては、照射光を被検査体に照射して得られる反射光を受光部上に結像させて被検査体の検査画像を得るようにしている。そして、被検査体の対応する2箇所において撮像された検査画像を比較して、互いに異なる部分を欠陥として検出するようにしている。
ここで、近年においては、表面に形成されるパターンがより精緻なものとなってきており、製造工程中で生じる欠陥も微細なものとなってきている。この場合、照射光の波長に対する欠陥の大きさが小さくなると欠陥による散乱光の強度比が低下するので、欠陥の有無による反射率の差が小さくなりコントラストが低下してしまう。
そのため、照射光の短波長化が図られており、例えば、デザインルールが20nm(ナノメートル)〜30nm(ナノメートル)の半導体装置に対しては、波長が266nm(ナノメートル)の深紫外線(DUV;Deep Ultra Violet)が用いられるようになってきている。
そのため、照射光の短波長化が図られており、例えば、デザインルールが20nm(ナノメートル)〜30nm(ナノメートル)の半導体装置に対しては、波長が266nm(ナノメートル)の深紫外線(DUV;Deep Ultra Violet)が用いられるようになってきている。
しかしながら、波長が266nm(ナノメートル)の深紫外線を用いたのでは、例えば、10nm(ナノメートル)以下の大きさの欠陥を検査する際の検査精度が著しく悪化するおそれがある。
この場合、波長が数nm(ナノメートル)の電子ビームを利用するEB(電子ビーム)式欠陥検査装置を用いれば、10nm(ナノメートル)以下の大きさの欠陥を検出することができる。しかしながら、EB(電子ビーム)式欠陥検査装置は、前述した光学式欠陥検査装置と比べて検査時間がかかりすぎるという問題がある。
この場合、波長が数nm(ナノメートル)の電子ビームを利用するEB(電子ビーム)式欠陥検査装置を用いれば、10nm(ナノメートル)以下の大きさの欠陥を検出することができる。しかしながら、EB(電子ビーム)式欠陥検査装置は、前述した光学式欠陥検査装置と比べて検査時間がかかりすぎるという問題がある。
本発明は、微細な欠陥の検査を精度よく且つ短時間に行うことができる欠陥検査装置および欠陥検査方法を提供する。
本発明の一態様によれば、第1の波長を有する光を出射する第1の光源と、前記第1の波長よりも短い第2の波長を有する光を出射する第2の光源と、入射した光を光電変換する第1の検出部と、入射した光を光電変換する第2の検出部と、被検査体を載置する載置部と、前記第1の光源から出射された前記第1の波長を有する光を前記載置部に載置された前記被検査体へ導くとともに、前記被検査体からの第1の反射光を前記第1の検出部へ導く第1の光学系と、前記第2の光源から出射された前記第2の波長を有する光を前記載置部に載置された前記被検査体へ導くとともに、前記被検査体からの第2の反射光を前記第2の検出部へ導く第2の光学系と、前記第1の光源と、前記第2の光源と、を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記被検査体の検査対象部分の材質に応じて、前記第1の光源と、前記第2の光源と、を制御して、前記第1の波長を有する光と、前記第2の波長を有する光と、の切り替えを行うことを特徴とする欠陥検査装置が提供される。
また、本発明の他の一態様によれば、被検査体に光を照射し、その反射光に基づいて欠陥を検査する欠陥検査方法であって、前記被検査体の検査対象部分の材質に応じて、第1の波長を有する光と、前記第1の波長よりも短い第2の波長を有する光と、の切り替えを行うことを特徴とする欠陥検査方法が提供される。
本発明によれば、微細な欠陥の検査を精度よく且つ短時間に行うことができる欠陥検査装置および欠陥検査方法が提供される。
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について例示をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る欠陥検査装置を例示するための模式図である。 図2は、散乱光の強度比に対する波長と材質の依存性に関して例示をするためのグラフ図である。なお、図2は、欠陥を直径寸法が10nm(ナノメートル)の微小球体とし、欠陥(微小球体)からの散乱光の強度比に対する波長と材質の依存性をシミュレーションにより求めたものである。この場合、散乱光の強度比は、基準波長に対するものとしている。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る欠陥検査装置を例示するための模式図である。 図2は、散乱光の強度比に対する波長と材質の依存性に関して例示をするためのグラフ図である。なお、図2は、欠陥を直径寸法が10nm(ナノメートル)の微小球体とし、欠陥(微小球体)からの散乱光の強度比に対する波長と材質の依存性をシミュレーションにより求めたものである。この場合、散乱光の強度比は、基準波長に対するものとしている。
まず、図2に例示をする散乱光の強度比に対する波長と材質の依存性に関して例示をする。
欠陥検査において、照射光の波長に対する欠陥の大きさが小さくなると欠陥による散乱光の強度比が低下するので、欠陥の有無による反射率の差が小さくなりコントラストが低下してしまう。そのため、照射光の短波長化を図ることでコントラストが低下することを抑制することができれば、さらに微細な欠陥を検出することができるようになる。
しかしながら、本発明者らの得た知見によれば、欠陥部分(例えば、球状の欠陥など)の材質、または、欠陥(例えば、孔など)が発生したパターンなどの材質(以下、「検査対象部分の材質」と称する)によっては散乱光の強度比が最大となる波長が異なることが判明した。すなわち、単に照射光の短波長化を図るだけでは、必ずしも散乱光の強度比を高めることができないことが判明した。
欠陥検査において、照射光の波長に対する欠陥の大きさが小さくなると欠陥による散乱光の強度比が低下するので、欠陥の有無による反射率の差が小さくなりコントラストが低下してしまう。そのため、照射光の短波長化を図ることでコントラストが低下することを抑制することができれば、さらに微細な欠陥を検出することができるようになる。
しかしながら、本発明者らの得た知見によれば、欠陥部分(例えば、球状の欠陥など)の材質、または、欠陥(例えば、孔など)が発生したパターンなどの材質(以下、「検査対象部分の材質」と称する)によっては散乱光の強度比が最大となる波長が異なることが判明した。すなわち、単に照射光の短波長化を図るだけでは、必ずしも散乱光の強度比を高めることができないことが判明した。
例えば、図2に示すように、半導体であるシリコン(Si)や誘電体である二酸化シリコン(SiO2)の場合には、照射光の波長が150nm(ナノメートル)近傍において散乱光の強度比が最大となる。また、誘電体である窒化シリコン(SiN)や金属である銅(Cu)、タングステン(W)の場合には、照射光の波長が100nm(ナノメートル)以下において散乱光の強度比が最大となる。
一般に、光の散乱量(散乱光の強度比)は短波長であるほど大きくなる。そのため、単に照射光の波長を短くすれば光の散乱量(散乱光の強度比)を増加することができるようにも思える。しかしながら、本発明者らの得た知見によれば、紫外領域では照射光が照射される物質の光学特性が、物質の材質や照射光の波長により変化する。例えば、照射光の波長が短くなれば、照射光が照射された物質の屈折率が空気の屈折率に近づくので照射光が透過してしまい反射量が減少して光の散乱量(散乱光の強度比)がかえって減少するようになる。そのため、図2に例示をしたような波長依存性が生じることになる。
本実施の形態に係る欠陥検査装置および欠陥検査方法においては、この様な波長依存性を利用するようにしている。すなわち、「検査対象部分の材質」に応じて光の散乱量(散乱光の強度比)がなるべく大きくなるような波長を有する照射光を選択し、この様にして選択された照射光を用いて欠陥検査を行うようにしている。
本実施の形態に係る欠陥検査装置および欠陥検査方法においては、この様な波長依存性を利用するようにしている。すなわち、「検査対象部分の材質」に応じて光の散乱量(散乱光の強度比)がなるべく大きくなるような波長を有する照射光を選択し、この様にして選択された照射光を用いて欠陥検査を行うようにしている。
次に、図1に戻って本発明の第1の実施形態に係る欠陥検査装置を例示する。
図1に示すように、欠陥検査装置1には、第1の光源2、第1の光学系3、第2の光源6、第2の光学系9、入射した光を光電変換する第1の検出部10、入射した光を光電変換する第2の検出部11、載置部12、制御部13、検査部14が設けられている。
図1に示すように、欠陥検査装置1には、第1の光源2、第1の光学系3、第2の光源6、第2の光学系9、入射した光を光電変換する第1の検出部10、入射した光を光電変換する第2の検出部11、載置部12、制御部13、検査部14が設けられている。
第1の光源2は、第1の波長を有する光を出射する。例えば、波長が130nm(ナノメートル)以上、200nm(ナノメートル)以下の照射光を出射するものとすることができる。この場合、例えば、波長が193nm(ナノメートル)の照射光を出射するArFエキシマレーザ光源、波長が157nm(ナノメートル)の照射光を出射するF2レーザ光源などとすることができる。また、クリプトン(Kr)系エキシマランプ、フッ素(F)系エキシマランプなどとすることもできる。
第1の光学系3は、第1の光源2から出射された第1の波長を有する光を載置部12に載置された被検査体Wへ導くとともに、被検査体Wからの第1の反射光L11を第1の検出部10へ導く。
図1において例示をした第1の光学系3には、ビームスプリッタ4、対物レンズ5が設けられている。
ビームスプリッタ4は、第1の光源2から出射した光L1を反射させることで被検査体Wへ導く。また、被検査体Wからの反射光を透過させて第1の検出部10の受光面へ導く。 対物レンズ5は、ビームスプリッタ4により反射させた光L1を被検査体W上に集光させる。
ビームスプリッタ4や対物レンズ5は、一般的には、石英から形成されるが、これらを石英から形成するものとすれば、第1の光源2から出射される130nm(ナノメートル)以上、200nm(ナノメートル)以下の波長を有する照射光の透過率が著しく低下してしまうおそれがある。そのため、ビームスプリッタ4や対物レンズ5は、フッ素化合物から形成されるようにすることが好ましい。例えば、フッ化カルシウム(CaF2)、フッ化マグネシウム(MgF2)、フッ化リチウム(LiF)、フッ化ナトリウム(NaF)、フッ化バリウム(BaF2)、フッ化ランタン(LaF3)、フッ化ストロンチウム(SrF2)、フッ化ネオジウム(NdF3)などから形成されるようにすることが好ましい。
第1の光学系3は、第1の光源2から出射された第1の波長を有する光を載置部12に載置された被検査体Wへ導くとともに、被検査体Wからの第1の反射光L11を第1の検出部10へ導く。
図1において例示をした第1の光学系3には、ビームスプリッタ4、対物レンズ5が設けられている。
ビームスプリッタ4は、第1の光源2から出射した光L1を反射させることで被検査体Wへ導く。また、被検査体Wからの反射光を透過させて第1の検出部10の受光面へ導く。 対物レンズ5は、ビームスプリッタ4により反射させた光L1を被検査体W上に集光させる。
ビームスプリッタ4や対物レンズ5は、一般的には、石英から形成されるが、これらを石英から形成するものとすれば、第1の光源2から出射される130nm(ナノメートル)以上、200nm(ナノメートル)以下の波長を有する照射光の透過率が著しく低下してしまうおそれがある。そのため、ビームスプリッタ4や対物レンズ5は、フッ素化合物から形成されるようにすることが好ましい。例えば、フッ化カルシウム(CaF2)、フッ化マグネシウム(MgF2)、フッ化リチウム(LiF)、フッ化ナトリウム(NaF)、フッ化バリウム(BaF2)、フッ化ランタン(LaF3)、フッ化ストロンチウム(SrF2)、フッ化ネオジウム(NdF3)などから形成されるようにすることが好ましい。
なお、後述する第2の光源6から出射し、被検査体Wで反射された反射光L22は波長が極めて短いため(70nm(ナノメートル)以上、130nm(ナノメートル)未満)、対物レンズ5、ビームスプリッタ4を透過することができない。
第2の光源6は、第1の波長よりも短い第2の波長を有する光を出射する。例えば、波長が70nm(ナノメートル)以上、130nm(ナノメートル)未満の照射光を出射するものとすることができる。この場合、例えば、アルゴン(Ar)系エキシマランプ、ネオン(Ne)系エキシマランプなどとすることができる。
第2の光学系9は、第2の光源6から出射された第2の波長を有する光を載置部12に載置された被検査体Wへ導くとともに、被検査体Wからの第2の反射光L21を第2の検出部11へ導く。
図1において例示をした第2の光学系9には、フレネルゾーンプレート7、フレネルゾーンプレート8が設けられている。
第2の光源6から出射される照射光の波長が70nm(ナノメートル)以上、130nm(ナノメートル)未満と極めて短いため、レンズのような光学要素を用いることができない。そのため、図1において例示をしたものの場合には、フレネルゾーンプレート7、フレネルゾーンプレート8を設けるようにしている。
図1において例示をした第2の光学系9には、フレネルゾーンプレート7、フレネルゾーンプレート8が設けられている。
第2の光源6から出射される照射光の波長が70nm(ナノメートル)以上、130nm(ナノメートル)未満と極めて短いため、レンズのような光学要素を用いることができない。そのため、図1において例示をしたものの場合には、フレネルゾーンプレート7、フレネルゾーンプレート8を設けるようにしている。
フレネルゾーンプレート7、フレネルゾーンプレート8は、間隔が規則的に変化する同心円帯を有し、各同心円帯からの光が同位相で集光されるようになっている。そのため、フレネルゾーンプレート7は、第2の光源6から出射された光L2を被検査体W上に集光させることができる。また、フレネルゾーンプレート8は、被検査体Wからの光L21を第2の検出部11の受光面に集光させることができる。
この場合、第1の光源2から出射し、被検査体Wで反射された反射光L12もフレネルゾーンプレート8により第2の検出部11の受光面に集光される。
この場合、第1の光源2から出射し、被検査体Wで反射された反射光L12もフレネルゾーンプレート8により第2の検出部11の受光面に集光される。
なお、第2の光学系9に設けられる光学要素は、フレネルゾーンプレート7、フレネルゾーンプレート8に限定されるわけではなく、光の反射を利用して集光を行う光学要素を適宜選択することができる。例えば、ウォルター型斜入射ミラー、シュバルツシルトミラーなどを用いることができる。また、光の反射を利用して集光を行う光学要素(例えば、フレネルゾーンプレート、ウォルター型斜入射ミラー、シュバルツシルトミラーなど)を適宜組み合わせることもできる。
第1の検出部10は、入射した光(受光面に結像された像の光)を光電変換して検査データを作成する。すなわち、第1の検出部10は、ビームスプリッタ4を透過した被検査体Wからの反射光L11を光電変換して検査データを作成する。
第2の検出部11は、入射した光(受光面に結像された像の光)を光電変換して検査データを作成する。すなわち、第2の検出部11は、フレネルゾーンプレート8により集光された被検査体Wからの反射光L21を光電変換して検査データを作成する。
第2の検出部11は、入射した光(受光面に結像された像の光)を光電変換して検査データを作成する。すなわち、第2の検出部11は、フレネルゾーンプレート8により集光された被検査体Wからの反射光L21を光電変換して検査データを作成する。
また、反射光L12が第2の検出部11の受光面に集光される場合には、反射光L12を光電変換して検査データを作成する。
載置部12は、被検査体Wを載置、保持する。また、載置部12には図示しない移動手段が設けられ、載置部12に載置された被検査体Wの位置を変化させて欠陥検査が行われる位置を移動させることができるようになっている。載置部12は、例えば、図示しない静電チャックを備えたXYテーブルなどとすることができる。なお、必ずしも図示しない移動手段を載置部12に設ける必要はなく、欠陥検査が行われる位置が相対的に変化するようになっておればよい。
制御部13は、第1の光源2、第2の光源6、載置部12の制御を行う。例えば、第1の光源2、第2の光源6からの照射光の出射、停止などを制御する。この場合、第1の光源2または第2の光源6のいずれかを選択することで欠陥検査に用いられる照射光の波長を選択するようにすることができる。すなわち、制御部13は、被検査体Wの「検査対象部分の材質」に応じて、第1の光源2と、第2の光源6と、を制御して、第1の波長(例えば、130nm(ナノメートル)以上、200nm(ナノメートル)以下)を有する光と、第2の波長(例えば、70nm(ナノメートル)以上、130nm(ナノメートル)未満)を有する光と、の切り替えを行う。
また、制御部13は、載置部12に設けられた図示しない移動手段を制御して、載置部12に載置された被検査体Wの欠陥検査が行われる位置を移動させる。
また、制御部13は、第1の光源2から出射された第1の波長を有する光が、第2の光学系9へ入射するように切り替えを行うこともできる。例えば、第1の光源2の位置を相対的に変化させたり、光が出射される位置や光路を変化させたりすることで、第1の光学系3と第2の光学系9との切り替えを行うようにすることもできる。
また、制御部13は、載置部12に設けられた図示しない移動手段を制御して、載置部12に載置された被検査体Wの欠陥検査が行われる位置を移動させる。
また、制御部13は、第1の光源2から出射された第1の波長を有する光が、第2の光学系9へ入射するように切り替えを行うこともできる。例えば、第1の光源2の位置を相対的に変化させたり、光が出射される位置や光路を変化させたりすることで、第1の光学系3と第2の光学系9との切り替えを行うようにすることもできる。
検査部14は、第1の検出部10からの検査データに基づいて欠陥の有無を検査する。例えば、得られた検査データ同士の光のコントラストの違いを比較するなどして欠陥の有無を検査する。
また、検査部14は、第2の検出部11からの検査データに基づいて欠陥の有無を検査する。例えば、得られた検査データ同士の光のコントラストの違いを比較するなどして欠陥の有無を検査する。
なお、第1の光源2から照射光を出射させて欠陥検査を行う場合には、第1の検出部10からの検査データに基づいた欠陥検査結果と、第2の検出部11からの検査データに基づいた欠陥検査結果と、から欠陥の有無を判定するようにすることもできる。
また、検査部14は、第2の検出部11からの検査データに基づいて欠陥の有無を検査する。例えば、得られた検査データ同士の光のコントラストの違いを比較するなどして欠陥の有無を検査する。
なお、第1の光源2から照射光を出射させて欠陥検査を行う場合には、第1の検出部10からの検査データに基づいた欠陥検査結果と、第2の検出部11からの検査データに基づいた欠陥検査結果と、から欠陥の有無を判定するようにすることもできる。
また、他の光学要素を適宜設けるようにすることもできる。例えば、光路の方向を変化させるためのミラーを設けるようにすることもできるし、第1の検出部10とビームスプリッタ4との間に対物レンズを設けるようにすることもできる。この場合、第1の検出部10とビームスプリッタ4との間に設けられた対物レンズは、ビームスプリッタ4を透過した光L11を第1の検出部10の受光面に集光させるものとすることができる。
次に、欠陥検査装置1の作用とともに本実施の形態に係る欠陥検査方法について例示をする。
まず、図示しない搬送装置や作業者などにより被検査体Wを載置部12に載置し、これを保持させる。
次に、制御部13からの指令に基づいて第1の光源2または第2の光源6のいずれかから照射光を出射させる。すなわち、第1の光源2または第2の光源6のいずれかを選択することで欠陥検査に用いられる照射光の波長を選択するようにする。
まず、図示しない搬送装置や作業者などにより被検査体Wを載置部12に載置し、これを保持させる。
次に、制御部13からの指令に基づいて第1の光源2または第2の光源6のいずれかから照射光を出射させる。すなわち、第1の光源2または第2の光源6のいずれかを選択することで欠陥検査に用いられる照射光の波長を選択するようにする。
この場合、図2において例示をしたように、「検査対象部分の材質」に応じて光の散乱量(散乱光の強度比)がなるべく大きくなるような波長を有する照射光が出射されるような光源を選択するようにする。
例えば、半導体であるシリコン(Si)や誘電体である二酸化シリコン(SiO2)の場合には、波長が150nm(ナノメートル)の照射光が出射される第1の光源2を選択するようにする。
また、誘電体である窒化シリコン(SiN)や金属である銅(Cu)、タングステン(W)の場合には、波長が100nm(ナノメートル)以下の照射光が出射される第2の光源6を選択するようにする。
例えば、半導体であるシリコン(Si)や誘電体である二酸化シリコン(SiO2)の場合には、波長が150nm(ナノメートル)の照射光が出射される第1の光源2を選択するようにする。
また、誘電体である窒化シリコン(SiN)や金属である銅(Cu)、タングステン(W)の場合には、波長が100nm(ナノメートル)以下の照射光が出射される第2の光源6を選択するようにする。
第1の光源2から出射した光L1は、ビームスプリッタ4により反射されて被検査体Wへ導かれる。この際、ビームスプリッタ4により反射された光L1は、対物レンズ5により被検査体W上に集光される。
被検査体Wからの反射光L11は、対物レンズ5、ビームスプリッタ4を透過して第1の検出部10の受光面に入射する。第1の検出部10は、受光面に入射した反射光L11を光電変換して検査データを作成する。
また、被検査体Wからの反射光L12は、フレネルゾーンプレート8により集光されて第2の検出部11の受光面に入射する。第2の検出部11は、受光面に入射した反射光L12を光電変換して検査データを作成する。
被検査体Wからの反射光L11は、対物レンズ5、ビームスプリッタ4を透過して第1の検出部10の受光面に入射する。第1の検出部10は、受光面に入射した反射光L11を光電変換して検査データを作成する。
また、被検査体Wからの反射光L12は、フレネルゾーンプレート8により集光されて第2の検出部11の受光面に入射する。第2の検出部11は、受光面に入射した反射光L12を光電変換して検査データを作成する。
第1の検出部10で作成された検査データは、検査部14に送られ欠陥の有無が検査される。例えば、得られた検査データ同士の光のコントラストの違いを比較するなどして欠陥の有無が検査される。
第2の検出部11で作成された検査データは、検査部14に送られ欠陥の有無が検査される。例えば、得られた検査データ同士の光のコントラストの違いを比較するなどして欠陥の有無が検査される。
なお、第1の検出部10からの検査データに基づいた欠陥検査結果と、第2の検出部11からの検査データに基づいた欠陥検査結果と、から欠陥の有無を判定するようにすることもできる。
第2の検出部11で作成された検査データは、検査部14に送られ欠陥の有無が検査される。例えば、得られた検査データ同士の光のコントラストの違いを比較するなどして欠陥の有無が検査される。
なお、第1の検出部10からの検査データに基づいた欠陥検査結果と、第2の検出部11からの検査データに基づいた欠陥検査結果と、から欠陥の有無を判定するようにすることもできる。
第2の光源6から出射した光L2は、フレネルゾーンプレート7により被検査体W上に集光される。
被検査体Wからの反射光L21は、フレネルゾーンプレート8により第2の検出部11の受光面に集光される。
被検査体Wからの反射光L21は、フレネルゾーンプレート8により第2の検出部11の受光面に集光される。
第2の検出部11は、受光面に入射した反射光L21を光電変換して検査データを作成する。
なお、被検査体Wからの反射光L22は波長が極めて短いため(70nm(ナノメートル)以上、130nm(ナノメートル)未満)、対物レンズ5、ビームスプリッタ4を透過することができない。
なお、被検査体Wからの反射光L22は波長が極めて短いため(70nm(ナノメートル)以上、130nm(ナノメートル)未満)、対物レンズ5、ビームスプリッタ4を透過することができない。
第2の検出部11で作成された検査データは、検査部14に送られ欠陥の有無が検査される。例えば、得られた検査データ同士の光のコントラストの違いを比較するなどして欠陥の有無が検査される。
次に、制御部13からの指令に基づいて、載置部12に設けられた図示しない移動手段を制御して、載置部12に載置された被検査体Wの欠陥検査が行われる位置を移動させる。 そして、前述した手順を繰り返すことで、被検査体Wの欠陥検査が行われる。
次に、制御部13からの指令に基づいて、載置部12に設けられた図示しない移動手段を制御して、載置部12に載置された被検査体Wの欠陥検査が行われる位置を移動させる。 そして、前述した手順を繰り返すことで、被検査体Wの欠陥検査が行われる。
以上に例示をしたように、本実施の形態に係る欠陥検査方法においては、被検査体Wの「検査対象部分の材質」に応じて、第1の波長を有する光(例えば、130nm(ナノメートル)以上、200nm(ナノメートル)以下)と、第1の波長よりも短い第2の波長(例えば、70nm(ナノメートル)以上、130nm(ナノメートル)未満)を有する光と、の切り替えを行うようにしている。
本実施の形態によれば、「検査対象部分の材質」に応じて光の散乱量(散乱光の強度比)がなるべく大きくなるような波長を有する照射光を選択して欠陥検査を行うことができる。
また、波長が130nm(ナノメートル)以上、200nm(ナノメートル)以下の照射光、波長が70nm(ナノメートル)以上、130nm(ナノメートル)未満の照射光のそれぞれに適した光学系を設けているので、例えば、10nm(ナノメートル)以下の大きさの欠陥を検査する場合であっても適切な欠陥検査を行うことができる。
また、「検査対象部分の材質」に応じて適切な波長を有する照射光に切り換えるだけで微細な欠陥(例えば、10nm(ナノメートル)以下の大きさの欠陥)であっても精度の高い欠陥検査を行うことができる。そのため、EB(電子ビーム)式欠陥検査装置などと比べて微細な欠陥の検査を短時間に行うことができる。
また、波長が130nm(ナノメートル)以上、200nm(ナノメートル)以下の照射光、波長が70nm(ナノメートル)以上、130nm(ナノメートル)未満の照射光のそれぞれに適した光学系を設けているので、例えば、10nm(ナノメートル)以下の大きさの欠陥を検査する場合であっても適切な欠陥検査を行うことができる。
また、「検査対象部分の材質」に応じて適切な波長を有する照射光に切り換えるだけで微細な欠陥(例えば、10nm(ナノメートル)以下の大きさの欠陥)であっても精度の高い欠陥検査を行うことができる。そのため、EB(電子ビーム)式欠陥検査装置などと比べて微細な欠陥の検査を短時間に行うことができる。
次に、本発明の第2の実施形態に係る欠陥検査装置を例示する。
図3は、本発明の第2の実施形態に係る欠陥検査装置を例示するための模式図である。 図3に示すように、欠陥検査装置20には、光源22、第1の光学系3、第2の光学系9、第1の検出部10、第2の検出部11、載置部12、制御部23、検査部24が設けられている。
光源22は、前述した第1の光源2、第2の光源6を併せ持つものとすることができる。例えば、波長が130nm(ナノメートル)以上、200nm(ナノメートル)以下の照射光と、波長が70nm(ナノメートル)以上、130nm(ナノメートル)未満の照射光と、を出射可能なものとすることができる。
この場合、例えば、波長が130nm(ナノメートル)以上、200nm(ナノメートル)以下の照射光を出射するためのクリプトン(Kr)系エキシマランプやフッ素(F)系エキシマランプなどと、波長が70nm(ナノメートル)以上、130nm(ナノメートル)未満の照射光を出射するためのアルゴン(Ar)系エキシマランプ、ネオン(Ne)系エキシマランプなどと、を備えたものとすることができる。
図3は、本発明の第2の実施形態に係る欠陥検査装置を例示するための模式図である。 図3に示すように、欠陥検査装置20には、光源22、第1の光学系3、第2の光学系9、第1の検出部10、第2の検出部11、載置部12、制御部23、検査部24が設けられている。
光源22は、前述した第1の光源2、第2の光源6を併せ持つものとすることができる。例えば、波長が130nm(ナノメートル)以上、200nm(ナノメートル)以下の照射光と、波長が70nm(ナノメートル)以上、130nm(ナノメートル)未満の照射光と、を出射可能なものとすることができる。
この場合、例えば、波長が130nm(ナノメートル)以上、200nm(ナノメートル)以下の照射光を出射するためのクリプトン(Kr)系エキシマランプやフッ素(F)系エキシマランプなどと、波長が70nm(ナノメートル)以上、130nm(ナノメートル)未満の照射光を出射するためのアルゴン(Ar)系エキシマランプ、ネオン(Ne)系エキシマランプなどと、を備えたものとすることができる。
制御部23は、光源22、載置部12の制御を行う。例えば、光源22からの照射光の出射、停止などを制御する。この場合、波長が130nm(ナノメートル)以上、200nm(ナノメートル)以下の照射光と、波長が70nm(ナノメートル)以上、130nm(ナノメートル)未満の照射光と、のいずれかを選択することで欠陥検査に用いられる照射光の波長を選択するようにすることができる。
また、制御部23は、第1の光学系3、第2の光学系9のいずれかを選択するようにすることができる。
また、制御部23は、第1の光学系3、第2の光学系9のいずれかを選択するようにすることができる。
例えば、制御部23は、光源22から出射された第1の波長(例えば、130nm(ナノメートル)以上、200nm(ナノメートル)以下)を有する光が、第1の光学系3または第2の光学系9へ入射するように切り替えを行うことができる。この場合、例えば、光源22の位置を相対的に変化させたり、光が出射される位置や光路を変化させたりすることで、第1の光学系3と第2の光学系9との切り替えを行うようにすることができる。 また、第2の波長(例えば、70nm(ナノメートル)以上、130nm(ナノメートル)未満)の照射光が出射される場合には、第2の光学系9に入射するようにすることができる。
また、制御部23は、載置部12に設けられた図示しない移動手段を制御して、載置部12に載置された被検査体Wの欠陥検査が行われる位置を移動させる。
また、制御部23は、載置部12に設けられた図示しない移動手段を制御して、載置部12に載置された被検査体Wの欠陥検査が行われる位置を移動させる。
検査部24は、第1の検出部10からの検査データに基づいて欠陥の有無を検査する。例えば、得られた検査データ同士の光のコントラストの違いを比較するなどして欠陥の有無を検査する。
また、検査部24は、第2の検出部11からの検査データに基づいて欠陥の有無を検査する。例えば、得られた検査データ同士の光のコントラストの違いを比較するなどして欠陥の有無を検査する。
なお、波長が130nm(ナノメートル)以上、200nm(ナノメートル)以下の照射光を出射させて欠陥検査を行う場合には、第1の検出部10からの検査データに基づいた欠陥検査結果と、第2の検出部11からの検査データに基づいた欠陥検査結果と、から欠陥の有無を判定するようにすることもできる。
また、検査部24は、第2の検出部11からの検査データに基づいて欠陥の有無を検査する。例えば、得られた検査データ同士の光のコントラストの違いを比較するなどして欠陥の有無を検査する。
なお、波長が130nm(ナノメートル)以上、200nm(ナノメートル)以下の照射光を出射させて欠陥検査を行う場合には、第1の検出部10からの検査データに基づいた欠陥検査結果と、第2の検出部11からの検査データに基づいた欠陥検査結果と、から欠陥の有無を判定するようにすることもできる。
また、他の光学要素を適宜設けるようにすることもできる。例えば、光路の方向を変化させるためのミラーを設けるようにすることもできるし、第1の検出部10とビームスプリッタ4との間に対物レンズを設けるようにすることもできる。この場合、第1の検出部10とビームスプリッタ4との間に設けられた対物レンズは、ビームスプリッタ4を透過した光L11を第1の検出部10の受光面に集光させるものとすることができる。
次に、欠陥検査装置20の作用とともに本実施の形態に係る欠陥検査方法について例示をする。
まず、図示しない搬送装置や作業者などにより被検査体Wを載置部12に載置し、これを保持させる。
次に、制御部23からの指令に基づいて光源22から照射光を出射させる。この際、欠陥検査に用いられる照射光の波長を選択するようにする。
この場合、図2において例示をしたように、「検査対象部分の材質」に応じて光の散乱量(散乱光の強度比)がなるべく大きくなるような波長を有する照射光が出射されるようにする。
まず、図示しない搬送装置や作業者などにより被検査体Wを載置部12に載置し、これを保持させる。
次に、制御部23からの指令に基づいて光源22から照射光を出射させる。この際、欠陥検査に用いられる照射光の波長を選択するようにする。
この場合、図2において例示をしたように、「検査対象部分の材質」に応じて光の散乱量(散乱光の強度比)がなるべく大きくなるような波長を有する照射光が出射されるようにする。
例えば、半導体であるシリコン(Si)や誘電体である二酸化シリコン(SiO2)の場合には、波長が150nm(ナノメートル)の照射光が出射されるようにする。
また、誘電体である窒化シリコン(SiN)や金属である銅(Cu)、タングステン(W)の場合には、波長が100nm(ナノメートル)以下の照射光が出射されるようにする。
また、誘電体である窒化シリコン(SiN)や金属である銅(Cu)、タングステン(W)の場合には、波長が100nm(ナノメートル)以下の照射光が出射されるようにする。
光源22から出射した光L1(波長が130nm(ナノメートル)以上、200nm(ナノメートル)以下の照射光)は、ビームスプリッタ4により反射されて被検査体Wへ導かれる。この際、ビームスプリッタ4により反射された光L1は、対物レンズ5により被検査体W上に集光される。
被検査体Wからの反射光L11は、対物レンズ5、ビームスプリッタ4を透過して第1の検出部10の受光面に入射する。第1の検出部10は、受光面に入射した反射光L11を光電変換して検査データを作成する。
また、被検査体Wからの反射光L12は、フレネルゾーンプレート8により集光されて第2の検出部11の受光面に入射する。第2の検出部11は、受光面に入射した反射光L12を光電変換して検査データを作成する。
被検査体Wからの反射光L11は、対物レンズ5、ビームスプリッタ4を透過して第1の検出部10の受光面に入射する。第1の検出部10は、受光面に入射した反射光L11を光電変換して検査データを作成する。
また、被検査体Wからの反射光L12は、フレネルゾーンプレート8により集光されて第2の検出部11の受光面に入射する。第2の検出部11は、受光面に入射した反射光L12を光電変換して検査データを作成する。
第1の検出部10で作成された検査データは、検査部24に送られ欠陥の有無が検査される。例えば、得られた検査データ同士の光のコントラストの違いを比較するなどして欠陥の有無が検査される。
第2の検出部11で作成された検査データは、検査部24に送られ欠陥の有無が検査される。例えば、得られた検査データ同士の光のコントラストの違いを比較するなどして欠陥の有無が検査される。
なお、第1の検出部10からの検査データに基づいた欠陥検査結果と、第2の検出部11からの検査データに基づいた欠陥検査結果と、から欠陥の有無を判定するようにすることもできる。
第2の検出部11で作成された検査データは、検査部24に送られ欠陥の有無が検査される。例えば、得られた検査データ同士の光のコントラストの違いを比較するなどして欠陥の有無が検査される。
なお、第1の検出部10からの検査データに基づいた欠陥検査結果と、第2の検出部11からの検査データに基づいた欠陥検査結果と、から欠陥の有無を判定するようにすることもできる。
第2の光源6から出射した光L2(波長が70nm(ナノメートル)以上、130nm(ナノメートル)未満の照射光)は、フレネルゾーンプレート7により被検査体W上に集光される。
被検査体Wからの反射光L21は、フレネルゾーンプレート8により第2の検出部11の受光面に集光される。
被検査体Wからの反射光L21は、フレネルゾーンプレート8により第2の検出部11の受光面に集光される。
第2の検出部11は、受光面に入射した反射光L21を光電変換して検査データを作成する。
なお、被検査体Wからの反射光L22は波長が極めて短いため(70nm(ナノメートル)以上、130nm(ナノメートル)未満)、対物レンズ5、ビームスプリッタ4を透過することができない。
なお、被検査体Wからの反射光L22は波長が極めて短いため(70nm(ナノメートル)以上、130nm(ナノメートル)未満)、対物レンズ5、ビームスプリッタ4を透過することができない。
第2の検出部11で作成された検査データは、検査部24に送られ欠陥の有無が検査される。例えば、得られた検査データ同士の光のコントラストの違いを比較するなどして欠陥の有無が検査される。
次に、制御部23からの指令に基づいて、載置部12に設けられた図示しない移動手段を制御して、載置部12に載置された被検査体Wの欠陥検査が行われる位置を移動させる。そして、前述した手順を繰り返すことで、被検査体Wの欠陥検査が行われる。
次に、制御部23からの指令に基づいて、載置部12に設けられた図示しない移動手段を制御して、載置部12に載置された被検査体Wの欠陥検査が行われる位置を移動させる。そして、前述した手順を繰り返すことで、被検査体Wの欠陥検査が行われる。
以上に例示をしたように、本実施の形態に係る欠陥検査方法においては、被検査体Wの「検査対象部分の材質」に応じて、第1の波長を有する光(例えば、130nm(ナノメートル)以上、200nm(ナノメートル)以下)と、第1の波長よりも短い第2の波長(例えば、70nm(ナノメートル)以上、130nm(ナノメートル)未満)を有する光と、の切り替えを行うようにしている。
本実施の形態によれば、「検査対象部分の材質」に応じて光の散乱量(散乱光の強度比)がなるべく大きくなるような波長を有する照射光を選択して欠陥検査を行うことができる。
また、波長が130nm(ナノメートル)以上、200nm(ナノメートル)以下の照射光、波長が70nm(ナノメートル)以上、130nm(ナノメートル)未満の照射光のそれぞれに適した光学系を設けているので、例えば、10nm(ナノメートル)以下の大きさの欠陥を検査する場合であっても適切な欠陥検査を行うことができる。
また、「検査対象部分の材質」に応じて適切な波長を有する照射光に切り換えるだけで微細な欠陥(例えば、10nm(ナノメートル)以下の大きさの欠陥)であっても精度の高い欠陥検査を行うことができる。そのため、EB(電子ビーム)式欠陥検査装置などと比べて微細な欠陥の検査を短時間に行うことができる。
また、波長が130nm(ナノメートル)以上、200nm(ナノメートル)以下の照射光、波長が70nm(ナノメートル)以上、130nm(ナノメートル)未満の照射光のそれぞれに適した光学系を設けているので、例えば、10nm(ナノメートル)以下の大きさの欠陥を検査する場合であっても適切な欠陥検査を行うことができる。
また、「検査対象部分の材質」に応じて適切な波長を有する照射光に切り換えるだけで微細な欠陥(例えば、10nm(ナノメートル)以下の大きさの欠陥)であっても精度の高い欠陥検査を行うことができる。そのため、EB(電子ビーム)式欠陥検査装置などと比べて微細な欠陥の検査を短時間に行うことができる。
以上、本実施の形態について例示をした。しかし、本発明はこれらの記述に限定されるものではない。
前述の実施の形態に関して、当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。
例えば、欠陥検査装置1、欠陥検査装置20が備える各要素の形状、寸法、配置、数などは、例示をしたものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。
また、前述した各実施の形態が備える各要素は、可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。
前述の実施の形態に関して、当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。
例えば、欠陥検査装置1、欠陥検査装置20が備える各要素の形状、寸法、配置、数などは、例示をしたものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。
また、前述した各実施の形態が備える各要素は、可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。
1 欠陥検査装置、2 第1の光源、3 第1の光学系、6 第2の光源、7 フレネルゾーンプレート、8 フレネルゾーンプレート、9 第2の光学系、10 第1の検出部、11 第2の検出部、12 載置部、13 制御部、14 検査部、20 欠陥検査装置、22 光源、23 制御部、24 検査部
Claims (5)
- 第1の波長を有する光を出射する第1の光源と、
前記第1の波長よりも短い第2の波長を有する光を出射する第2の光源と、
入射した光を光電変換する第1の検出部と、
入射した光を光電変換する第2の検出部と、
被検査体を載置する載置部と、
前記第1の光源から出射された前記第1の波長を有する光を前記載置部に載置された前記被検査体へ導くとともに、前記被検査体からの第1の反射光を前記第1の検出部へ導く第1の光学系と、
前記第2の光源から出射された前記第2の波長を有する光を前記載置部に載置された前記被検査体へ導くとともに、前記被検査体からの第2の反射光を前記第2の検出部へ導く第2の光学系と、
前記第1の光源と、前記第2の光源と、を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記被検査体の検査対象部分の材質に応じて、前記第1の光源と、前記第2の光源と、を制御して、前記第1の波長を有する光と、前記第2の波長を有する光と、の切り替えを行うことを特徴とする欠陥検査装置。 - 前記第1の波長は、130nm(ナノメートル)以上、200nm(ナノメートル)以下であること、を特徴とする請求項1記載の欠陥検査装置。
- 前記第2の波長は、70nm(ナノメートル)以上、130nm(ナノメートル)未満であること、を特徴とする請求項1記載の欠陥検査装置。
- 前記制御部は、前記第1の光源から出射された前記第1の波長を有する光が、前記第2の光学系へ入射するように切り替えを行うことを特徴とする請求項1または2に記載の欠陥検査装置。
- 被検査体に光を照射し、その反射光に基づいて欠陥を検査する欠陥検査方法であって、
前記被検査体の検査対象部分の材質に応じて、第1の波長を有する光と、前記第1の波長よりも短い第2の波長を有する光と、の切り替えを行うことを特徴とする欠陥検査方法。
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---|---|---|---|
JP2010020415A JP2011158356A (ja) | 2010-02-01 | 2010-02-01 | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013080810A (ja) * | 2011-10-04 | 2013-05-02 | Lasertec Corp | Euvマスク検査装置及びeuvマスク検査方法 |
WO2015011968A1 (ja) * | 2013-07-24 | 2015-01-29 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 検査装置 |
-
2010
- 2010-02-01 JP JP2010020415A patent/JP2011158356A/ja active Pending
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