JP2011147852A - 樹脂製マイクロ流路構造及びそれを含むマイクロ流路デバイス並びにそれらの製造方法 - Google Patents
樹脂製マイクロ流路構造及びそれを含むマイクロ流路デバイス並びにそれらの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011147852A JP2011147852A JP2010009489A JP2010009489A JP2011147852A JP 2011147852 A JP2011147852 A JP 2011147852A JP 2010009489 A JP2010009489 A JP 2010009489A JP 2010009489 A JP2010009489 A JP 2010009489A JP 2011147852 A JP2011147852 A JP 2011147852A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- groove
- side plate
- microchannel
- lid
- micro
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 19
- 239000011347 resin Substances 0.000 title claims abstract description 9
- 229920005989 resin Polymers 0.000 title claims abstract description 9
- 238000007639 printing Methods 0.000 claims abstract description 19
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 claims abstract description 9
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 claims description 8
- 108090000790 Enzymes Proteins 0.000 claims description 7
- 102000004190 Enzymes Human genes 0.000 claims description 7
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 7
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 claims description 6
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 claims description 6
- 108020004414 DNA Proteins 0.000 claims description 4
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 claims description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 4
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 11
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 7
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 239000011941 photocatalyst Substances 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 2
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- ZMMJGEGLRURXTF-UHFFFAOYSA-N ethidium bromide Chemical compound [Br-].C12=CC(N)=CC=C2C2=CC=C(N)C=C2[N+](CC)=C1C1=CC=CC=C1 ZMMJGEGLRURXTF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960005542 ethidium bromide Drugs 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 235000019353 potassium silicate Nutrition 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N sodium silicate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-][Si]([O-])=O NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 230000004584 weight gain Effects 0.000 description 1
- 235000019786 weight gain Nutrition 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Automatic Analysis And Handling Materials Therefor (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Apparatus Associated With Microorganisms And Enzymes (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Catalysts (AREA)
Abstract
【課題】マイクロ流路構造及びそれを備えたマイクロ流路デバイス並びにそれらの製造方法において、その製造が容易且つ安価にできるようにすることを目的とし、又、溝が埋まらず、且つ漏れのないようにしながら、その製造が容易且つ安価にできるようにする。
【解決手段】静電印刷方式又はインクジェット印刷方式で作製された原版が使用されて形成された多孔質表面を有し、樹脂製である樹脂製マイクロ流路構造であり、又、そのマイクロ流路構造を構成する溝部2aを有する溝側プレート2と溝部2aを覆う蓋部3aを有する蓋側プレート3からなり、溝部2aを形成する凹部の側面2b,2cと、蓋部3aを形成する凸部の側面3b,3cとが傾斜面であり、その凹部に凸部が圧入されて、溝側プレート2に蓋側プレート3が組み付けられているマイクロ流路デバイス1である。
【選択図】図1
【解決手段】静電印刷方式又はインクジェット印刷方式で作製された原版が使用されて形成された多孔質表面を有し、樹脂製である樹脂製マイクロ流路構造であり、又、そのマイクロ流路構造を構成する溝部2aを有する溝側プレート2と溝部2aを覆う蓋部3aを有する蓋側プレート3からなり、溝部2aを形成する凹部の側面2b,2cと、蓋部3aを形成する凸部の側面3b,3cとが傾斜面であり、その凹部に凸部が圧入されて、溝側プレート2に蓋側プレート3が組み付けられているマイクロ流路デバイス1である。
【選択図】図1
Description
この発明は、マイクロ流路構造及びそれを備えたマイクロ流路デバイス並びにそれらの製造方法に関する。
近年、基板表面に形成された微細なチャンネル(溝)を流路として有し、その微細流路内で、化学反応、遺伝子反応、分離、混合、分析等の各種操作が可能な構造を備えたデバイス(一般に「マイクロ流路デバイス」又は「マイクロ流路チップ」等といわれている。)が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
この種のデバイスにおいて、そのマイクロ流路構造の形成には、半導体の製造等で用いられているフォトマスクを利用した技術が用いられており、従来のマイクロ流路構造を備えたデバイス(チップ)の製造方法は概ね次の工程によるものであった。
(1)CADにより目的とするマイクロ流路パターンの設計をする工程。
(2)CADのデータからガラスや石英等のガラス基板上にフォトマスクの作製をする工程。
(3)フォトリソグラフィによりフォトレジストの感光をする工程。
(4)現像をする工程。
(5)エッチングをする工程。
(6)マイクロ流路(溝)を形成する工程。
(7)マイクロ流路を形成した基板にもう一枚のガラス基板(蓋側)を貼り付けてチップとしてパッケージングする工程。
(2)CADのデータからガラスや石英等のガラス基板上にフォトマスクの作製をする工程。
(3)フォトリソグラフィによりフォトレジストの感光をする工程。
(4)現像をする工程。
(5)エッチングをする工程。
(6)マイクロ流路(溝)を形成する工程。
(7)マイクロ流路を形成した基板にもう一枚のガラス基板(蓋側)を貼り付けてチップとしてパッケージングする工程。
前記従来の製造方法の場合、例えば、幅100μm、深さ50μm、長さ50mmの溝のパターンを形成すると、大変高価なものになってしまう。
前記従来の製造方法において、溝側のガラス基板と蓋側のガラス基板のパッケージングはガラス基板同士を熱圧着や水ガラスによる接着等により行われている。又、フォトマスク法で形成したマイクロ流路を電鋳法で転写して金属製流路とし、その流路をPMMA樹脂等に熱転写法でマイクロ流路を形成する方法もあるが、蓋側の基板をレーザー接合や熱圧着等でパッケージングしている。それら方法によって製造されたデバイス(チップ)は、何れも研究用のものであり、高価なものである。
前記従来のマイクロ流路及びそのデバイスは、ガラス基板によるものであり、高価なものである。
更に、溝側の基板に蓋側の基板を溝が詰まらないようにしながら貼り付けるのは困難であり、又安価にそれをするのも困難である。例えば、接着剤を使用すれば、溝が埋まってしまうおそれがあるし、熱溶着の場合も、変形や詰まりのおそれはあるし、面同士を長時間かけて溶着させたり、レーザービームで封じたりするのは製造コストが高くなる。尚、超音波で溶融接着する方法もあるが、歩留まりが悪く、又漏れ防止の信頼性が低い。
この発明は、マイクロ流路構造及びそれを備えたマイクロ流路デバイス並びにそれらの製造方法において、その製造が容易且つ安価にできるようにすることを目的とし、又、溝が埋まらず、且つ漏れのないようにしながら、その製造が容易且つ安価にできるようにすることを目的とする。
この発明は、静電印刷方式又はインクジェット印刷方式で作製された原版が使用されて形成された多孔質表面を有するマイクロ流路構造であって、樹脂製であることを特徴とする樹脂製マイクロ流路構造である。
又、この発明は、前記多孔質表面に、触媒、酵素、DNA又は蛋白質を担持させたことを特徴とする前記樹脂製マイクロ流路構造である。
又、この発明は、前記マイクロ流路構造を構成する溝部を有する溝側プレートと前記溝部を覆う蓋部を有する蓋側プレートからなるマイクロ流路デバイスであって、前記溝部を形成する凹部の側面と、前記蓋部を形成する凸部の側面とが傾斜面であり、前記凹部に前記凸部が圧入されて、前記溝側プレートに前記蓋側プレートが組み付けられていることを特徴とするマイクロ流路デバイスである。
又、この発明は、前記溝側プレートと前記蓋側プレートとがそれぞれの当接平面部が当接されつつ、組み付けられるものであり、前記それぞれの当接平面部に嵌合凸部と嵌合凹部が設けられていることを特徴とする前記マイクロ流路デバイスである。
又、この発明は、マイクロ流路構造を備えたマイクロ流路デバイスの製造方法であって、(1)マイクロ流路パターンデータを設計する工程と、(2)マイク流路パターンを静電印刷方式又はインクジェット印刷方式で印刷する工程と、(3)前記マイクロ流路パターンを写真撮影し、そのネガを得る工程と、(4)前記ネガを原版として利用し、フォトレジストに写真の焼付け方法によって焼き付け、現像して、凹凸を含むパターンを有するフォトマスクを作製する工程と、(5)フォトリソグラフィにより、フォトレジストを感光する工程と、(6)エッチングして、多孔質表面を形成する凹凸表面を有するマイクロ流路を得る工程と、(7)電鋳法により、前記マイクロ流路を転写して金型を得る工程と、(8)前記金型から前記マイクロ流路を形成する溝部を有する溝側プレートと前記溝部を覆う蓋部を有する蓋側プレートの2パーツを作製する工程と、(9)前記溝側プレートと前記蓋側プレートとを前記溝部を形成する凹部に前記蓋部を形成する凸部を圧入して組み付けて一体化し、マイクロ流路デバイスを得る工程とを含むことを特徴とするマイクロ流路構造を備えたマイクロ流路デバイスの製造方法である。
又、この発明は、前記(8)の工程と前記(9)の工程との間に、(8’)前記溝側プレートの前記マイク流路を形成する溝部の多孔質表面に触媒、酵素、DNA、タンパク質等を担持させる工程を更に含むことを特徴とする前記マイクロ流路構造を備えたマイクロ流路デバイスの製造方法である。
この発明によれば、マイクロ流路構造が、静電印刷方式又はインクジェット印刷方式で作製された原版が使用されて形成された多孔質表面を有し、樹脂製であるであるので、容易且つ安価にその作製をすることができ、そのマイクロ流路構造を備えたマイクロ流路デバイスを容易に且つ安価に製造することができる。
又、この発明によれば、前記多孔質表面に触媒、酵素、DNA又はタンパク質等を担持させることで、機能性を有する表面を含む前記マイクロ流路構造を得ることができる。ここで、光を透過する透明な材料を使用すれば、光触媒の使用が可能となる。
又、この発明によれば、前記マイクロ流路構造を構成する溝部を有する溝側プレートと前記溝部を覆う蓋部を有する蓋側プレートとからマイクロ流路デバイスを構成し、前記溝部を形成する凹部の側面と、前記蓋部を形成する凸部の側面とを傾斜面とし、前記凹部に前記凸部を圧入して、前記溝側プレートに前記蓋側プレートを組み付けてなるマイクロ流路デバイスとすることで、溝が埋まらず、且つ漏れがないようにしつつ、容易且つ安価にマイクロ流路デバイスを製造することができる。
又、この発明によれば、前記溝側プレートと前記蓋側プレートとがそれぞれの当接平面部が当接されつつ、組み付けられるものとし、前記それぞれの当接平面部に嵌合凸部と嵌合凹部が設けられているものとすることで、前記溝側プレートと前記蓋側プレートとを機械的に離れ難い構造で組み付けることができ、耐圧性の点で、信頼性の高いマイクロ流路デバイスを製造することができる。
この発明の実施形態を図1乃至6に基づき説明する。
マイクロ流路デバイス1(図2)は、マイクロ流路を構成する溝部2aが形成された溝側プレート2(図1a)とその溝側プレート2にその溝部2aを覆いつつ組みつけられる蓋側プレート3(図1b)とからなる。このマイクロ流路デバイス2において、溝側プレート2と蓋側プレート3は何れも樹脂製のものである。
マイクロ流路を構成する溝部2a構造は、コンピュータでCADの技術を利用してマイクロ流路パターンデータを作成し、それを静電印刷方式又はインクジェット印刷方式で印刷したものをアナログ写真撮影することで得たネガフィルムを原版として利用して形成したものである。
尚、一般に、マイクロ化学反応、遺伝子反応等に必要なマイクロ流路の幅は0.3mm以下である。例えば、コンピュータで幅100μmの線の三次元デジタルデータを作成し、それをインクジェット方式でプリントし、その画面を寸法サイズにアナログ写真撮影して得たネガフィルムを原版として利用することができる。図6はそのネガフィルムの拡大写真であるが、線の表面に無数の微細な凹凸が認められる。その微細な凹凸が多孔質表面を形成するのに利用できる。
マイクロ流路デバイス1は、例えば、(1)コンピュータによりCADの技術を利用して、マイクロ流路パターンデータを設計する工程と、(2)マイク流路パターンを静電印刷方式又はインクジェット印刷方式で印刷する工程と、(3)前記マイクロ流路パターンをアナログ写真撮影し、そのネガフィルムを得る工程と、(4)前記ネガフィルムを原版として利用し、フォトレジストに写真の焼付け方法によって焼き付け、現像して、凹凸を含むパターンを有するフォトマスクを作製する工程と、(5)フォトリソグラフィにより、フォトレジストを感光する工程と、(6)エッチングして、多孔質表面を形成する凹凸表面を有するマイクロ流路を得る工程と、(7)電鋳法により、前記マイクロ流路を転写して金型を得る工程と、(8)前記金型からマイクロ流路を形成する溝部2aを有する溝側プレート2と溝部2aを覆う蓋部3aを有する蓋側プレート3の2パーツを作製する工程と、(9)溝側プレート2と蓋側プレート3とを溝部2aを形成する凹部に蓋部3aを形成する凸部を圧入して組み付けて一体化し、マイクロ流路デバイス1を得る工程とにより製造することができる。尚、前記(8)の工程において、溝側プレート2の溝部2aと入出口4に通じる細管部(図示省略)とを一体成形により作製することができる。
ここで、前記(8)の工程と前記(9)の工程との間に、又は適宜の段階に、(8’)前記溝側プレート2の多孔質表面における凹部に触媒、酵素、DNA、タンパク質等を担持させる工程を含めてもよく、そのようにすれば、機能性を有する表面を含む前記マイクロ流路構造を得ることができる。又、光を透過する透明な材料を使用すれば、光触媒の使用が可能となり、酸化チタン粒子を付着させれば、光触媒として機能させることができる。
マイクロ流路デバイス1において、マイクロ流路構造は、静電印刷方式又はインクジェット印刷方式で作製された原版が使用されて形成された多孔質表面を有し、樹脂製であるので、容易且つ安価にその作製をすることができるものとなっており、そのマイクロ流路構造を備えたマイクロ流路デバイス1も容易に且つ安価に製造することができるものとなっている。尚、このマイクロ流路デバイス1は、前記の通り、安価に製造可能なものであることから、多数個使用の用途に使用することができるということができ、又、使い捨てで使用することができるということができる。
更に、マイクロ流路デバイス1は、溝側プレート2における溝部2aを形成する凹部の両側面2b,2cと、蓋側プレート3における蓋部3aを形成する凸部の両側面3b,3cとがテーパー状の傾斜面となっており、凹部2aに凸部3aが圧入されて、両者が線あたりで接触しながら、溝側プレート2に蓋側プレート3組み付けられて、一体化されたものとなっている(図3及び4参照)。これにより、マイクロ流路デバイス1は、溝部2aが埋まらず、且つ漏れがないように、溝側プレート2と蓋側プレート3の組み付けができるものとなっている。尚、例えば、凹部2aの両側面2b,2cは、それぞれ0.5度−2度の勾配とすることができ、凸部3aの両側面3b,3cも、それぞれ同様の勾配とすることができる。又、凹部2aと凸部3aとは均一に接触する必要があることから、互いに当接する溝側プレート2の当接平面部2eと蓋側プレート3の当接平面部3eの平面度は、例えば0.02以下であることが好ましい。
ここで、マイクロ流路デバイス1は、射出成型部品だけで組み立てて製造したものであり、マイクロ流路構造が、例えば、幅0.3mm以下、深さ0.1mm以下の断面積で複雑な流路構造を有するものでも製造が可能であり、又、そのような複雑な流路構造のものであっても、溝側プレート2に蓋側プレート3がその凹部2aに凸部3aが圧入されて組み付けられているものとなっているので、溝部2aが埋まらず、且つ漏れがないようにしながら、その製造が可能なものとなっている。
マイクロ流路デバイス1は、溝部2aが埋まらず、且つ漏れがないように、溝側プレート2と蓋側プレート3の組み付けができるものとなっているが、両プレートの一体化の程度をより高めるために、図6に示したように、溝側プレート2の当接平面部2eと蓋側プレート3の当接平面部3eに互いに嵌合される嵌合凸部2dと嵌合凹部3dを有するものとして、両者間を嵌合して結合させるリブ構造を含むものとし、機械的に離れ難くしてもよい。
[実験例1]
この発明の方法で作製したマイクロ流路を2酸化チタン懸濁液に投げ込み、取り出して水洗した後、窒素ガス中40℃で2時間乾燥し、減圧デシケータで冷却した。0.010gの重量増があった。又、チャンネルは白色化していた。
この発明の方法で作製したマイクロ流路を2酸化チタン懸濁液に投げ込み、取り出して水洗した後、窒素ガス中40℃で2時間乾燥し、減圧デシケータで冷却した。0.010gの重量増があった。又、チャンネルは白色化していた。
[実験例2]
この発明の方法で作製したマイクロ流路デバイスに臭化エチジュウム色素を結合したDNA溶液を流し、エタノールを流した後、窒素ガスを流して乾燥した。紫外線を照射すると蛍光を発した。DNAが付着していることが示された。
この発明の方法で作製したマイクロ流路デバイスに臭化エチジュウム色素を結合したDNA溶液を流し、エタノールを流した後、窒素ガスを流して乾燥した。紫外線を照射すると蛍光を発した。DNAが付着していることが示された。
[実験例3]
この発明の方法で作製したマイクロ流路デバイスの溝部に蓋部が圧入された流路に窒素ガスを流入させ、漏れのテストを行った。圧力は0.25メガパスカルとし、チップを水中に入れて、漏れを確かめたが、漏れはなかった。
この発明の方法で作製したマイクロ流路デバイスの溝部に蓋部が圧入された流路に窒素ガスを流入させ、漏れのテストを行った。圧力は0.25メガパスカルとし、チップを水中に入れて、漏れを確かめたが、漏れはなかった。
[実験例4]
金型で作製したプレートの平面度を三次元測定器(ミツトヨ社製C−9106)で測定した。当接平面部2eの平面度は0.017であった。
金型で作製したプレートの平面度を三次元測定器(ミツトヨ社製C−9106)で測定した。当接平面部2eの平面度は0.017であった。
1 マイクロ流路デバイス
2 溝側プレート
2a 溝部・凹部(マイクロ流路)
2b 側面
2c 側面
2d 嵌合凸部(リブ構造部)
2e 当接平面部
3 蓋側プレート
3a 蓋部・凸部
3b 側面
3c 側面
3d 嵌合凹部(リブ構造部)
3e 当接平面部
2 溝側プレート
2a 溝部・凹部(マイクロ流路)
2b 側面
2c 側面
2d 嵌合凸部(リブ構造部)
2e 当接平面部
3 蓋側プレート
3a 蓋部・凸部
3b 側面
3c 側面
3d 嵌合凹部(リブ構造部)
3e 当接平面部
Claims (6)
- 静電印刷方式又はインクジェット印刷方式で作製された原版が使用されて形成された多孔質表面を有するマイクロ流路構造であって、樹脂製であることを特徴とする樹脂製マイクロ流路構造。
- 前記多孔質表面に、触媒、酵素、DNA又は蛋白質を担持させたことを特徴とする請求項1に記載のマイクロ流路構造。
- 前記請求項1又は2に記載のマイクロ流路構造を構成する溝部を有する溝側プレートと前記溝部を覆う蓋部を有する蓋側プレートからなるマイクロ流路デバイスであって、前記溝部を形成する凹部の側面と、前記蓋部を形成する凸部の側面とが傾斜面であり、前記凹部に前記凸部が圧入されて、前記溝側プレートに前記蓋側プレートが組み付けられていることを特徴とするマイクロ流路デバイス。
- 前記溝側プレートと前記蓋側プレートとがそれぞれの当接平面部が当接されつつ、組み付けられるものであり、前記それぞれの当接平面部に嵌合凸部と嵌合凹部が設けられていることを特徴とする請求項3に記載のマイクロ流路デバイス。
- マイクロ流路構造を備えたマイクロ流路デバイスの製造方法であって、(1)マイクロ流路パターンデータを設計する工程と、(2)マイク流路パターンを静電印刷方式又はインクジェット印刷方式で印刷する工程と、(3)前記マイクロ流路パターンを写真撮影し、そのネガを得る工程と、(4)前記ネガを原版として利用し、フォトレジストに写真の焼付け方法によって焼き付け、現像して、凹凸を含むパターンを有するフォトマスクを作製する工程と、(5)フォトリソグラフィにより、フォトレジストを感光する工程と、(6)エッチングして、多孔質表面を形成する凹凸表面を有するマイクロ流路を得る工程と、(7)電鋳法により、前記マイクロ流路を転写して金型を得る工程と、(8)前記金型から前記マイクロ流路を形成する溝部を有する溝側プレートと前記溝部を覆う蓋部を有する蓋側プレートの2パーツを作製する工程と、(9)前記溝側プレートと前記蓋側プレートとを前記溝部を形成する凹部に前記蓋部を形成する凸部を圧入して組み付けて一体化し、マイクロ流路デバイスを得る工程とを含むことを特徴とするマイクロ流路構造を備えたマイクロ流路デバイスの製造方法。
- 前記(8)の工程と前記(9)の工程との間に、(8’)前記溝側プレートの前記マイク流路を形成する溝部の多孔質表面に触媒、酵素、DNA、タンパク質等を担持させる工程を更に含むことを特徴とする請求項5に記載のマイクロ流路構造を備えたマイクロ流路デバイスの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010009489A JP2011147852A (ja) | 2010-01-19 | 2010-01-19 | 樹脂製マイクロ流路構造及びそれを含むマイクロ流路デバイス並びにそれらの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010009489A JP2011147852A (ja) | 2010-01-19 | 2010-01-19 | 樹脂製マイクロ流路構造及びそれを含むマイクロ流路デバイス並びにそれらの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011147852A true JP2011147852A (ja) | 2011-08-04 |
Family
ID=44535364
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010009489A Pending JP2011147852A (ja) | 2010-01-19 | 2010-01-19 | 樹脂製マイクロ流路構造及びそれを含むマイクロ流路デバイス並びにそれらの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2011147852A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101412777B1 (ko) | 2013-03-29 | 2014-07-01 | 성원기 | 다성분 동시 정량 분석용 측방 유동 디바이스 |
-
2010
- 2010-01-19 JP JP2010009489A patent/JP2011147852A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101412777B1 (ko) | 2013-03-29 | 2014-07-01 | 성원기 | 다성분 동시 정량 분석용 측방 유동 디바이스 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2179279B1 (en) | Device for controlling fluid motion into micro/nanochannels by means of surface acoustic waves | |
JP4199609B2 (ja) | 分析用チップ、分析用チップユニット及び分析装置ならびに分析用チップの作製方法 | |
JP4656149B2 (ja) | フローセル及びその製造方法 | |
JP5065803B2 (ja) | 微量液体秤取装置、それを有するマイクロチップ及び微量な液体の秤取方法 | |
JP2009008690A (ja) | 分析用チップ、分析用チップユニット及び分析装置ならびに分析用チップの作製方法 | |
Roos et al. | Towards green 3D-microfabrication of Bio-MEMS devices using ADEX dry film photoresists | |
JP2006142198A (ja) | マイクロ化学デバイス及びその製造方法 | |
CN111295591B (zh) | 微芯片 | |
JP2014122831A (ja) | マイクロ流路デバイス | |
JP2015064321A (ja) | 流路デバイス | |
JP2004340758A (ja) | 微細流路およびこれを含むマイクロ化学チップ | |
JP2011147852A (ja) | 樹脂製マイクロ流路構造及びそれを含むマイクロ流路デバイス並びにそれらの製造方法 | |
JP2003181257A (ja) | 微小流路を有するセル基板およびその製造方法 | |
JP2008132543A (ja) | 樹脂基板へのパターン形成方法及びこの方法を用いたマイクロ流路デバイスの製造方法 | |
JP4500544B2 (ja) | ミクロ流体装置及びその製造 | |
JP2013010076A (ja) | マイクロ流路デバイスの製造方法及びマイクロ流路チップ | |
JP5471989B2 (ja) | 生化学反応用チップ及びその作製方法 | |
KR20080095337A (ko) | 잉크젯 헤드 및 그 제조방법 | |
JP4513626B2 (ja) | マイクロチャネル基板作製用鋳型の作製方法 | |
JP4622617B2 (ja) | マイクロチャネル基板作製用鋳型の作製方法 | |
KR20110102654A (ko) | 마이크로 채널을 가진 구조물의 제조 방법 및 그 구조물 | |
JP4581784B2 (ja) | マイクロチャネル基板作製用鋳型の作製方法 | |
JP2006133003A (ja) | マイクロケミカルデバイス及びマイクロケミカルデバイスの製造方法 | |
JP5303976B2 (ja) | マイクロチップ基板の接合方法およびマイクロチップ | |
JP4590942B2 (ja) | マイクロ流体素子及びその作製方法、並びにマイクロ流体素子搭載装置 |