JP2011145136A - 回路基板検査装置 - Google Patents
回路基板検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011145136A JP2011145136A JP2010005223A JP2010005223A JP2011145136A JP 2011145136 A JP2011145136 A JP 2011145136A JP 2010005223 A JP2010005223 A JP 2010005223A JP 2010005223 A JP2010005223 A JP 2010005223A JP 2011145136 A JP2011145136 A JP 2011145136A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit board
- contact probe
- inspection apparatus
- stroke
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
【課題】 コンタクトプローブのストロークの適否を自動的に判断することのできる回路基板検査装置を得る。
【解決手段】 導電性の筒状体からなるバレル3、回路基板15と接触するとともにバレル3に進退可能に嵌められ最適なストローク位置を判別できるように塗装されたプランジャー2、プランジャー1を軸方向に付勢する弾性部材4、コンタクトプローブ1のストローク量をバレル3からの塗装の露出量に基づき測定するストローク量測定部、及び、ストローク量測定部が測定したコンタクトプローブ1のストローク量をもとにストローク量の適否を判断する適否判断部、を備えた回路基板検査装置。
【選択図】 図1
【解決手段】 導電性の筒状体からなるバレル3、回路基板15と接触するとともにバレル3に進退可能に嵌められ最適なストローク位置を判別できるように塗装されたプランジャー2、プランジャー1を軸方向に付勢する弾性部材4、コンタクトプローブ1のストローク量をバレル3からの塗装の露出量に基づき測定するストローク量測定部、及び、ストローク量測定部が測定したコンタクトプローブ1のストローク量をもとにストローク量の適否を判断する適否判断部、を備えた回路基板検査装置。
【選択図】 図1
Description
本発明は、コンタクトプローブのストロークの適否を自動的に判断することのできる回路基板検査装置に関する。
電子回路基板は、電子部品が電子回路基板に正しく実装されることにより正確な動作が可能となる。回路基板検査装置は、この電子部品が電子回路基板上に実装された状態で被検査基板を検査する。一般的に回路基板検査装置は、被検査基板に実装された電子部品の導通部と、回路基板検査装置に備えられたコンタクトプローブを接触させ、上記電子部品に電流や電圧をコンタクトプローブから印加し、その電圧や電流などを測定することによって上記基板を検査する構成になっている。
回路基板検査装置の方式としては、主に治具方式と、フライングプローブ方式がある。治具方式は、コンタクトプローブを立てた検査治具を使用し、被検査基板(以下、「回路基板」とも称する。)をプレスまたは真空吸着などにより、すべてのプローブを同時に被検査基板上の各配線パターンに接触させる。フライングプローブ方式は、コンタクトプローブを保持した複数のアームが被検査基板上の任意のポイントを移動しながらその都度検査を行う。
一般的なコンタクトプローブは、上記被検査基板上のテストパッドやコネクタのソケットなどによる被検査基板との接触位置のばらつきなどに対応するため、上記接触個所が被検査基板に接触した際に伸縮する構造となっている。すなわち上記コンタクトプローブは、被検査基板上のテストパッドやコネクタと接触するためのプランジャーと本体部であるバレルとで構成され、バネがプランジャーをバレルから突出する方向に付勢している。そのため、プランジャーがバレルに対して進退してコンタクトプローブが伸縮できるような構造となっている。
上記のような伸縮構造を持つコンタクトプローブは、バレルとプラシジャーの接触面が電気的に導通されるように構成されている。具体的には、プランジャーの接触面積を確保するために、プランジャーを有底円筒状の形状を有するバレル内孔に入り込ませ、プランジャー外周と、バレル内孔の壁面が接触する構造になっている(以下、プランジャーがバレル内に入り込む寸法を「ストローク」とする。)。一般的にプランジャーのフルストロークにたいして、2/3のストローク程度まで縮小しないと、プランジャーとバレルとの接触面積が小さくなって接触抵抗が安定しない。そのため、コンタクトプローブを用いた回路基板検査装置では、ストロークが不十分であると正確に所望の検出信号を測定できない問題点があった。また、コンタクトプローブのバネは、経時的変化によって疲労する。それにより、特に治具方式の電子回路の検査装置において、プランジャーのストロークにばらつきが生じ、被検査基板の検査の際に検査に不具合が生ずることがあった。
ところで、特許文献1には、ソケットに調整子を設ける技術が開示されている。具体的には、コンタクトプローブの突き出し量を上記調節子によって調整して、被測定物の測定ランドに対するコンタクトプローブの最適接触荷重が一様に得られるようにしている。
また、特許文献2には、プランジャーのバレル内蔵部分の形状を変え、さらにバレルに内蔵されるバネとの間にバイアスピンを設けることで、プランジャーとバレルの接触抵抗軽減および安定化を図る技術が開示されている。
しかしながら、上記各特許文献に記載の発明では、プランジャーが最適なストロークで接触対象と接しているかどうかをコンタクトプローブの外観をもって判定されるという技術事項は、記載もなければ示唆もなかった。
また、特許文献2には、プランジャーのバレル内蔵部分の形状を変え、さらにバレルに内蔵されるバネとの間にバイアスピンを設けることで、プランジャーとバレルの接触抵抗軽減および安定化を図る技術が開示されている。
しかしながら、上記各特許文献に記載の発明では、プランジャーが最適なストロークで接触対象と接しているかどうかをコンタクトプローブの外観をもって判定されるという技術事項は、記載もなければ示唆もなかった。
そこで、本願出願人は、先にプランジャーのストロークが2/3以上あるかどうかを外観から目視で判断できるようにプランジャーに色を付ける発明をして、特許出願した(特願2009−061373参照)。
ところで、回路基板検査装置においては、被検査基板がセットベースに載置された状態で検査が行われ、セットベース側から被検査基板に到達するコンタクトプローブは、セットベースに設けられた孔を通じて被検査基板に到達する。ここで、被検査基板のコネクタのリード線とセットベースとが接触するような場合には、リード線との接触を避けるため、セットベースに凹部(以下、「ザグリ」とも称する。)が設けられることがある。このザグリ内に孔が設けられている場合には、コンタクトプローブがザグリにより隠れてしまい、外部から目視確認することができなかった。
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであって、本願出願人による先の発明を改良して自動でストロークの判断ができるようにするとともに、セットベースにザグリがある場合でもストロークの適否を自動的に判断できる回路基板検査装置を提供することを目的とする。
本発明は、導電性の筒状体からなるバレル、被検査対象である回路基板と接触するとともに前記バレルに進退可能に嵌められたプランジャー、及び前記バレル内部にあり前記プランジャーを軸方向に付勢する弾性部材を備え、前記プランジャーは最適なストローク位置を判別できるように塗装されているコンタクトプローブと、前記コンタクトプローブのストローク量を前記バレルからの前記塗装の露出量に基づき測定するストローク量測定部と、前記ストローク量測定部が測定した前記コンタクトプローブのストローク量をもとにストローク量の適否を判断する適否判断部と、を備えた回路基板検査装置であることを最も主要な特徴とする。
本発明においては特に限定されないが、前記塗装は蓄光塗料からなり、前記ストローク量測定部は受光量センサを有し、前記受光量センサは前記蓄光塗料が発する光を受光し、前記ストローク量測定部は前記受光量センサからの出力に基づきストローク量を測定することが好ましい。
また、本発明においては特に限定されないが、前記塗装は非蓄光塗料からなり、前記コンタクトプローブに光線を照射する光源を更に備え、前記ストローク量測定部は受光量センサを有し、前記受光量センサは前記コンタクトプローブの前記非蓄光塗料により反射された光を受光し、前記ストローク量測定部は前記受光量センサからの出力に基づきストローク量を測定することが好ましい。
また、本発明においては特に限定されないが、前記塗料は非蓄光塗料からなり、前記コンタクトプローブに光線を照射する光源と、前記コンタクトプローブと前記回路基板との接触状態を撮影する撮影部と、を更に備え、前記ストローク量測定部は、前記撮影部により撮影された画像に基づいて前記バレルからの前記非蓄光塗装の露出量を測定し、測定した露出量に基づきストローク量を測定することが好ましい。
また、本発明においては特に限定されないが、前記プランジャーが取り付けられたピンボードと、検査時に前記回路基板が載置されるセットベースと、を更に備え、前記受光量センサが前記ピンボード又は前記セットベースの少なくとも一方の表面に設けられていることが好ましい。
また、本発明においては特に限定されないが、前記プランジャーが取り付けられたピンボードと、検査時に前記回路基板が載置されるセットベースと、を更に備え、前記光源が前記ピンボード又は前記セットベースの少なくとも一方の表面に設けられるとともに、前記受光量センサが、前記ピンボード又は前記セットベースの少なくとも一方の表面に設けられていることが好ましい。
また、本発明においては特に限定されないが、前記プランジャーが取り付けられたピンボードと、検査時に前記回路基板が載置されるセットベースと、を更に備え、前記光源が前記ピンボード又は前記セットベースの少なくとも一方の表面に設けられるとともに、前記撮影部が、前記ピンボード又は前記セットベースの少なくとも一方の表面に設けられていることが好ましい。
また、本発明においては特に限定されないが、前記光源は光量を調節可能であることが好ましい。
また、本発明においては特に限定されないが、前記光源は回転可能であることが好ましい。
また、本発明においては特に限定されないが、検査時に前記回路基板が載置されるセットベースを更に備え、前記セットベースには前記回路基板のコネクタと前記セットベースとの干渉を防ぐ凹部が設けられ、前記凹部内に前記受光量センサが設けられていることが好ましい。
また、本発明においては特に限定されないが、検査時に前記回路基板が載置されるセットベースを更に備え、前記セットベースには前記回路基板のコネクタと前記セットベースとの干渉を防ぐ凹部が設けられ、前記光源が前記凹部内に設けられるとともに、前記凹部内に前記受光量センサが設けられていることが好ましい。
また、本発明においては特に限定されないが、検査時に前記回路基板が載置されるセットベースを更に備え、前記セットベースには前記回路基板のコネクタと前記セットベースとの干渉を防ぐ凹部が設けられ、前記光源が前記凹部内に設けられるとともに、前記凹部内に前記撮影部が設けられていることが好ましい。
また、本発明においては特に限定されないが、前記光源は光量を調節可能であることが好ましい。
また、本発明においては特に限定されないが、前記光源は回転可能であることが好ましい。
また、本発明においては特に限定されないが、コンタクトプローブを取り付けるプローブ支持部材を有する上蓋と、前記プローブ支持部材に設けられた受光量センサを更に備え、前記プローブ支持部材に取り付けられたコンタクトプローブのプランジャーは最適なストローク位置を判別できるように蓄光塗料により塗装されていて、前記受光量センサは前記蓄光塗料が発する光を受光し、前記ストローク量測定部は前記受光量センサからの出力に基づきストローク量を測定することが好ましい。
また、本発明においては特に限定されないが、前記受光量センサは前記プローブ支持部材の下面に設けられていることが好ましい。
また、本発明においては特に限定されないが、前記受光量センサは前記上蓋と前記プローブ支持部材との間に形成される空間内に設けられていることが好ましい。
また、本発明においては特に限定されないが、前記回路基板と前記コンタクトプローブが当接する部位を覆う外光遮断部を更に備えることが好ましい。
以下、本発明に係る回路基板検査装置の各実施例について、図を用いて説明する。
[実施例1]
図1に基づいて、本発明に係る回路基板検査装置の実施例1の構成について説明する。回路基板検査装置は、上蓋8と、セットベース12と、ピンボード11及びピンボードの駆動部16を有した上箱9と、電源13及び治具基板14を有した下箱10とで構成されている。上蓋8は、天井板を有しており、被検査基板15をセットベース12に押圧するための構造を有してなる。
図1に基づいて、本発明に係る回路基板検査装置の実施例1の構成について説明する。回路基板検査装置は、上蓋8と、セットベース12と、ピンボード11及びピンボードの駆動部16を有した上箱9と、電源13及び治具基板14を有した下箱10とで構成されている。上蓋8は、天井板を有しており、被検査基板15をセットベース12に押圧するための構造を有してなる。
上箱9は、長方形の箱型をしており、被検査基板(回路基板)15を支持するためのセットベース12を上面部に有し、コンタクトプローブ1を嵌合する複数のソケット7を備えるピンボード11を上箱9内部に有してなる。
セットベース12は、ピンボード11が有するコンタクトプローブ1と被検査基板15とを接触させるため、コンタクトプローブ1を貫通させるための孔を図1における垂直方向に有している。セットベース12の孔を貫通したコンタクトプローブ1は、上箱9内部から外部へ先端部分が飛び出し、上箱9の外部上面にセットされた被検査基板15と接触することができる。また、セットベース12の上面には、後述するようにコンタクトプローブ1に塗布された蓄光塗料(図5参照)が発する光量を検出するための受光量センサ30が設けられている。
ピンボード11にはソケット7が垂直方向に貫通されて固着されており、ソケット7と、コンタクトプローブ1は電気的に導通されている。コンタクトプローブ1がソケット7の図示しない嵌合部に垂直方向に嵌合されて固定される。ピンボード11は、底面に駆動部16を有し、上記駆動部16は、上箱9の外部に貫通する連結棒によって、操作レバー17に連結している。上記駆動部16は、カム機構、リンク機構などからなり、操作レバー17の操縦でピンボード11を上下運動させることができる。このようにして、コンタクトプローブ1は、被検査基板15に接離可能となっている。上記駆動部16としては、ピンボード11を上下に動かせるものであれば、適宜の構成を選択することができる。ソケット7は図示しない下箱10の天井面から上箱9の底面より貫通され、接続される導線18によって、下箱10の内部にある電源13と、治具基板14とに電気的に接続される。
下箱10は、上述のとおり、電源13と治具基板14を備え、電源13と治具基板14がソケット7と電気的に導通することで、被検査基板15の検査を行うことができる。上記検査方法としては、目的に応じて適宜の方法が選択でき、例えば、コンタクトプローブに測定信号を印加したときの電圧と電流の値と、電子部品のそれらについての規定値との間の誤差を測定し、上記誤差が許容範囲内の値であるかどうかを判断する。
図2は、本発明に係るコンタクトプローブ1を用いた回路基板検査装置において、被検査基板15を検査する際の動作を示す模式図である。図2(a)に示す回路基板検査装置の構成は、図1において示した構成を簡略化して示したものである。まず、図2(b)のように、被検査基板15がセットベース12上にセットされる。次に、図2(c)のように上蓋8を閉め、被検査基板15が押圧される。そして、図2(d)のようにピンボード11に連結されている操作レバー17の上下移動機構によりピンボード11のソケット7に嵌合されたコンタクトプローブ1の先端部分が被検査基板15上の電子部品Aの導通部分と接触される。この状態で被検査基板15の検査が行われる。
また、本実施例に係る回路基板検査装置をブロック図として示すと、図3のようになる。図3の(a)は、回路基板検査装置のうち、上箱9及び下箱10を有するフィクスチャ40と、図1及び図2において図示しない制御用パソコン50とを接続するインターフェースであり、治具基板14の仕様に応じてPCIやUSBなどのインターフェースを示している。なお、治具基板14がデジタルI/Oボードの場合、パソコンのPCIスロットに接続するタイプのものであれば、基板治具14はフィクスチャ40内ではなく、制御パソコン50内に内蔵される。図3の(b)は、フィクスチャ40と被検査基板15とを接続するインターフェースを示しており、コンタクトプローブ1がこれに該当する。図3の(c)は、被検査基板15と制御用パソコン50とを接続するインターフェースを示しており、シリアルインターフェースなどがこれに該当する。
また、図3の(1)は、フィクスチャ40と制御用パソコン50との間のやり取りを示す。通信用パソコン50内にインストールされている検査アプリケーション51により治具基板14が制御され、治具基板14から被検査基板15に出力する電圧レベルの設定、被検査基板14の電圧レベル状態のリード、被検査基板15のアナログ電圧の値の測定などが行われる。行われる動作は治具基板14により異なる。
図3の(2)は、フィクスチャ40と被検査基板15との間のやり取りを示す。電源13から被検査基板15への電源の供給、治具基板14と被検査基板15との間の電圧の出入力などが行われる。
図3の(3)は、制御用パソコン50と被検査基板15との間のやり取りを示す。被検査基板15には検査用ファームウェア151が設けられていて、検査アプリケーション51と検査用ファームウェア151とは、独自のプロトコルにより通信を行う。検査アプリケーション51からの命令により、検査ファームウェア151は被検査基板15のCPUの制御、出力ポートの電圧の設定、指定されたクロックの出力、入力ポートに入力されている電圧レベルの検査アプリケーション51への通知などが行われる。
図3の(2)は、フィクスチャ40と被検査基板15との間のやり取りを示す。電源13から被検査基板15への電源の供給、治具基板14と被検査基板15との間の電圧の出入力などが行われる。
図3の(3)は、制御用パソコン50と被検査基板15との間のやり取りを示す。被検査基板15には検査用ファームウェア151が設けられていて、検査アプリケーション51と検査用ファームウェア151とは、独自のプロトコルにより通信を行う。検査アプリケーション51からの命令により、検査ファームウェア151は被検査基板15のCPUの制御、出力ポートの電圧の設定、指定されたクロックの出力、入力ポートに入力されている電圧レベルの検査アプリケーション51への通知などが行われる。
次に、図4を用いてコンタクトプローブ1の構成の概要を説明する。
コンタクトプローブ1は、被検査基板15の電子部品の導通部分と接触するプランジャー2と、プランジャー2が挿入されるバレル3を備えている。バレル3は、図4のように有底円筒状に構成され、プラシジャー2との接触面(太線部分)が電気的に導通している。バレル3内部には、バネなどによって構成される弾性部材4が設けられていて、被検査基板15にバレル3の先端が接触することにより弾性部材4が収縮し、ブランジャー2が後退する仕組みとなっている。図4において、太線で描かれているプランジャー2とバレル3の接触面が増えることで導通がよくなる。上述のように、プランジャー2のフルストロークに対して、2/3のストローク移動することでバレル3とプランジャー3の接触が安定するように設計されている。バレル3には、接触抵抗の低減と、腐食防止などのため、金メッキが施されている。
コンタクトプローブ1は、被検査基板15の電子部品の導通部分と接触するプランジャー2と、プランジャー2が挿入されるバレル3を備えている。バレル3は、図4のように有底円筒状に構成され、プラシジャー2との接触面(太線部分)が電気的に導通している。バレル3内部には、バネなどによって構成される弾性部材4が設けられていて、被検査基板15にバレル3の先端が接触することにより弾性部材4が収縮し、ブランジャー2が後退する仕組みとなっている。図4において、太線で描かれているプランジャー2とバレル3の接触面が増えることで導通がよくなる。上述のように、プランジャー2のフルストロークに対して、2/3のストローク移動することでバレル3とプランジャー3の接触が安定するように設計されている。バレル3には、接触抵抗の低減と、腐食防止などのため、金メッキが施されている。
ソケット7は、図4のように有底円筒状に構成され、コンタクトプローブ1は、バレル3側からソケット7に嵌合され、ソケット7内に固定される。上記嵌合により、ソケット7とコンタクトプローブ1が接触し、両者が電気的に導通する。ソケット7には、バレル3と同様に接触抵抗の低減と、腐食防止などのため、金メッキが施されている。ソケット7は、上記ピンボード11に圧入されることで回路基板検査装置に固定される。なお、回路基板の接触個所により、図1における上蓋8側にもコンタクトプローブ1を設置することがある。コンタクトプローブ1の被検査回路基板15との接触部分の横断面形状は適宜選択できる。例えば、三角錐、円錐、王冠型、ポイント、フラットなどが挙げられる。
図5に示すように、コンタクトプローブ1の適切なストロークが外観から判別されるよう、プランジャー1に対して油性ペンなどでプランジャー2の軸方向に対して水平方向に線状に塗装されたマーキング5または各種塗料などで面状に塗装された色分け6がなされている。例えば、図5(a)は、プランジャー2の軸方向に対して水平方向に線状に塗装されたマーキング5が付されている。ブラシジャー2がバレル3に沈み込みこのストロークがフルストロークの2/3になると上記マーキング5がバレル3に隠れるように、マーキング5が付されている。また、図5(b)のように、ストロークの2/3の位置まで面状に色分けをし、あるいは、図5(c)のように図5(b)における面状の色分け6の部分の面積を小さくしてもよい。さらに、図5(d)のように上記色分け6の両端を上記マーキング5で区切って、上記マーキング5と上記色分け6の双方を採用してもよい。プランジャー2の塗装の態様としては、上記の各例に限らず上記2/3のストロークを確認できる態様であればよい。本実施例においては、図5(b)の構成のプランジャー2が用いられるとともに、色分け6として蓄光塗料61が用いられている。
コンタクトプローブ1の被検査基板15の接触確認は、上蓋8を閉じ、暗くなった状態で行われる。そこで、本実施例においては、コンタクトプローブ1の塗装として、上述したように蓄光塗料61が用いられている。このようなコンタクトプローブ1を用いたストロークの適否確認の方法については後述する。
図6は、本発明に係る色分け面20を設けたプランジャー2を有するコンタクトプローブ1の他の実施例を示す。
図6において、円柱状のプランジャー2の円周の一部を中心軸線に平行な平坦面とし、この平坦面が色分け6を有する色分け面20となっている。上記色分け面20には、プランジャー2のストロークがそのフルストロークに対して2/3となる位置まで、図6(a)の垂直方向に色分け6がなされている。図6(c)からわかるように、上記平坦面以外の周面には塗装がなされておらず、色分け面20に限られて塗装される。これは、円柱状のプランジャー2の周面全体を色分けすると、プランジャー2の塗料とバレル3内部が接触する面積が大きくなって、接触抵抗が大きくなり、接触不良を起こす可能性が発生するからである。
図6において、円柱状のプランジャー2の円周の一部を中心軸線に平行な平坦面とし、この平坦面が色分け6を有する色分け面20となっている。上記色分け面20には、プランジャー2のストロークがそのフルストロークに対して2/3となる位置まで、図6(a)の垂直方向に色分け6がなされている。図6(c)からわかるように、上記平坦面以外の周面には塗装がなされておらず、色分け面20に限られて塗装される。これは、円柱状のプランジャー2の周面全体を色分けすると、プランジャー2の塗料とバレル3内部が接触する面積が大きくなって、接触抵抗が大きくなり、接触不良を起こす可能性が発生するからである。
有底円筒状のバレル3の内周面にも、プランジャー2の上記平坦な色分け面20に合わせた図示しない平坦面が形成されている。バレル3にプランジャー2が嵌合されると双方の平坦面同士が対向して嵌り合う。そうすることにより、上記プランジャー2が外力により回転しなくなり、色分け面20の観察位置が固定され、上記ストローク確認を簡易かつ高精度に行うことができる。また同様にして、バレル3の形状21とソケット7の内径形状22が同じであることで、双方の平坦面同士が対向して嵌り合い、色分け面20の観察位置が固定される。
上記図6における実施例に限らず、プランジャー2の形状や塗装の態様としては、目的に応じて適宜のものが選択できる。図7において、太線は上記塗装を示す。図7(a)の太線部分ようにプランジャー2の周面全体に塗装するよりも、図7(b)の太線部分ように上記塗装をプランジャー2の周面の一部に塗装すると、上述のように電気的導通の点で好ましい。しかしながら、図7(b)のプランジャー2の形状では、上述のようにプランジャー2が回転してしまう可能性があり、ストローク確認をしづらくなる問題がある。上述のように、また図7(c)の太線で示すように平坦面に色分け面20を持たせ、上述のようにバレル3の内周面にもプランジャー2の上記平坦面に合わせた図示しない平坦面が形成されていれば、コンタクトプローブ1の色分け面20が固定され、さらに好ましい。上述のように色分け面20の回転を防げるプランジャー2の形状としては、他にも図7(d)に示すように四角柱状、図7(e)に示すように三角柱状、図7(f)に示すように六角柱状などの多角柱状の一面に色分け面20を形成することが挙げられる。ブラシジャー2が回転しない条件としては、プラシジャー2の形状とバレル3の内径形状が同じであること、バレル3の形状とソケット7の内径形状が同じであること、形状が多角形または非対象形状であることが挙げられる。
図8は、本実施例において最適なストロークが判断される模式図である。コンタクトプローブ1をピンボード11に嵌合し、コンタクトプローブ1のストローク部分における色分け面に塗布された蓄光塗料61からの光を受光量センサ30が受光し、受光量センサ30からの出力に基づき図示せぬストローク量測定部がストローク量を測定する。そして、ストローク量測定部が測定したコンタクトプローブのストローク量をもとに、図示せぬ適否判断部がストローク量の適否を判断する。
図8のように、蓄光塗料61が露出している場合には、蓄光塗料6からの光が矢印の方向に向かい、受光量センサ30により受光される。このような場合は、ストロークが不足している状態である。一方、蓄光塗料61からの光を受光量センサ30が受光しない場合には、ストロークは最適な状態にあると判断される。
このように、コンタクトプローブ1が回路基板検査装置に設置され、プランジャー2に塗布された蓄光塗料61によってストロークの適否を簡易かつ自動的に判断することができる。なお、プランジャー2の蓄光塗料61をあらかじめ外部から確認しやすいところに向けてピンボード11にセットすると、目視によっても上記ストローク確認が容易になされる。
次に、図9に示すフローチャートを用いて、上述した実施例1に係る回路基板検査装置を用いた回路基板の検査方法を説明する。
まず、ステップS101において、セットベース12に被検査基板15が設置される。
次に、ステップS102において、上カバー(上蓋)8が閉じられる。
次に、ステップS103において、操作レバー17を下げてコンタクトプローブ1と被検査基板15とを接触させる。
次に、ステップS104において、コンタクトプローブ1と被検査基板15との接触状態の確認が行われる。この接触状態の確認の詳細は、図10に示すフローチャートに基づいて行われる。
まず、ステップS101において、セットベース12に被検査基板15が設置される。
次に、ステップS102において、上カバー(上蓋)8が閉じられる。
次に、ステップS103において、操作レバー17を下げてコンタクトプローブ1と被検査基板15とを接触させる。
次に、ステップS104において、コンタクトプローブ1と被検査基板15との接触状態の確認が行われる。この接触状態の確認の詳細は、図10に示すフローチャートに基づいて行われる。
図10において、ステップS201で、受光量計測部(受光量センサ)30から受光量データを取得し、これを図示せぬ制御部に向けて出力する。
次に、ステップS202において、制御部は、得られた受光量データを、予め記憶されている正常ストローク時の受光量規格値と比較する。得られた受光量データが受光量規格値よりも小さい場合には、プランジャー2の蓄光塗料61が露出していない、すなわち正常なストロークでの接触が行われていることとなるため、接触状態の確認は終了する。
一方、得られた受光量データが受光量規格値よりも大きい場合には、プランジャー2の蓄光塗料61が露出している、すなわちストローク不足の状態での接触が行われていることとなるため、回路基板検査装置の図示せぬ表示部に接触不良メッセージが表示され、接触状態の確認は終了する。
このように、ステップS104においてコンタクトプローブ1と被検査基板15との接触状態の確認が行われ、接触不良ありと判断された場合には、次のステップS106においてレバーを上げてコンタクトプローブ1と被検査基板15とが離され、再度ステップS103が実行される。
一方、ステップS104において接触不良が無いと判断された場合には、次のステップS107において、被検査基板15の検査が実行される。この検査の詳細は、図11に示すフローチャートに基づいて行われる。
図11において、ステップS301で、被検査基板15に搭載されているCPUの検査が行われる。
次に、ステップS302において、検査結果の判定が行われる。検査結果に問題が無い場合には、次にステップS303に進む。
ステップS303においては、被検査基板15に搭載されているメモリの検査が行われる。
次に、ステップS304において、メモリ検査の結果の判定が行われる。検査結果に問題が無い場合には、被検査基板15の検査は終了する。
一方、上述したステップS302において検査結果に問題があった場合にも、検査は終了する。この場合、CPUに問題があった旨の表示が回路基板検査装置の表示部になされる。
また、上述したステップS304において検査結果に問題があった場合にも、検査は終了する。この場合、メモリに問題があった旨の表示が回路基板検査装置の表示部になされる。
次に、ステップS302において、検査結果の判定が行われる。検査結果に問題が無い場合には、次にステップS303に進む。
ステップS303においては、被検査基板15に搭載されているメモリの検査が行われる。
次に、ステップS304において、メモリ検査の結果の判定が行われる。検査結果に問題が無い場合には、被検査基板15の検査は終了する。
一方、上述したステップS302において検査結果に問題があった場合にも、検査は終了する。この場合、CPUに問題があった旨の表示が回路基板検査装置の表示部になされる。
また、上述したステップS304において検査結果に問題があった場合にも、検査は終了する。この場合、メモリに問題があった旨の表示が回路基板検査装置の表示部になされる。
ところで、複数の種類の被検査基板が、同一の回路基板検査装置を用いて検査される場合がある。例えば、図12の(a)及び(b)では、基板は同一ではあるものの、そこに搭載されている部品は異なる。そのため、同一の回路基板検査装置を用いて検査を行う場合、コンタクトプローブの接触状態は、それぞれ図13の(a)及び(b)に示すように被検査基板の仕様に対応したコンタクトプローブの配置になる。
このような場合には、上記フローチャートのステップS202において、受光量規格値のデータを被検査基板の種類ごとに用意し記憶しておき、検査が行われる被検査基板の種類ごとに適合した受光量規格値を呼び出して使用すれば良い。こうすることで、同一の回路基板検査装置を用いて複数の種類の被検査基板の検査を行うことができる。
また、図14に示すように、被検査基板に誤った部品が搭載されていることがある(図14(b)の状態)。このような場合、正常な部品が搭載されている図14(a)の状態とは上記接触確認の検査結果が異なり、図9を用いて説明したフローチャートのステップS105において接触不良と判断されて検査が実行されないため、不適合品の流出を効果的に防止することができる。
上述した本実施例に係る回路基板検査装置においては、プランジャーの塗装によるマーキングがバレルから露出しているか否かを受光量センサの検出出力によって判断することができる。すなわち、受光量センサはプランジャーからの反射光を受光し、受光量に応じた信号を出力するので、この出力信号により、コンタクトプローブのストロークの適否を自動的に判断することができる。
[実施例2]
本発明に係る回路基板検査装置の別の実施例について図15及び図16を用いて説明する。本実施例においては、実施例1と比較してプランジャー1の蓄光塗料61の設け方と、受光量センサ30が設けられている位置が異なる他は同一であるため、同一の部分についての説明は省略する。また、実施例1と同一の部材については同じ符号を付してある。
本発明に係る回路基板検査装置の別の実施例について図15及び図16を用いて説明する。本実施例においては、実施例1と比較してプランジャー1の蓄光塗料61の設け方と、受光量センサ30が設けられている位置が異なる他は同一であるため、同一の部分についての説明は省略する。また、実施例1と同一の部材については同じ符号を付してある。
本実施例においては、プランジャー2がフルストロークの2/3の位置まで沈み込まない場合、すなわちストローク不足の場合には、蓄光塗料61がセットベース12の下方において露出するように塗布されている。
受光量センサ30はセットベース12の下面に設けられていて、プランジャー2のストローク不足が発生し蓄光塗料61が露出した場合は、蓄光塗料61からの光を受光できるようになっている。
蓄光塗料61からの光を受光した受光量センサ30は、図示せぬストローク量測定部に受光量の情報を出力する。ストローク量測定部はその出力に基づきストローク量を測定し、適否判断部がストローク量測定部により測定されたコンタクトプローブのストローク量をもとに、ストローク量の適否を判断する。
蓄光塗料61からの光を受光した受光量センサ30は、図示せぬストローク量測定部に受光量の情報を出力する。ストローク量測定部はその出力に基づきストローク量を測定し、適否判断部がストローク量測定部により測定されたコンタクトプローブのストローク量をもとに、ストローク量の適否を判断する。
上述した本実施例に係る回路基板検査装置においては、プランジャーの塗装によるマーキングがバレルから露出しているか否かを受光量センサの検出出力によって判断することができる。すなわち、受光量センサはプランジャーからの反射光を受光し、受光量に応じた信号を出力するので、この出力信号により、コンタクトプローブのストロークの適否を自動的に判断することができる。
[実施例3]
本発明に係る回路基板検査装置の更に別の実施例について図17及び図18を用いて説明する。本実施例においては、実施例2と比較して受光量センサ30が設けられている位置が異なる他は同一であるため、同一の部分についての説明は省略する。また、実施例2と同一の部材については同じ符号を付してある。
本発明に係る回路基板検査装置の更に別の実施例について図17及び図18を用いて説明する。本実施例においては、実施例2と比較して受光量センサ30が設けられている位置が異なる他は同一であるため、同一の部分についての説明は省略する。また、実施例2と同一の部材については同じ符号を付してある。
本実施例においては、受光量センサ30はピンボード11の上面に設けられていて、プランジャー2のストローク不足が発生し蓄光塗料61が露出した場合は、蓄光塗料61からの光を受光できるようになっている。
蓄光塗料61からの光を受光した受光量センサ30は、図示せぬストローク量測定部に受光量の情報を出力する。ストローク量測定部はその出力に基づきストローク量を測定し、適否判断部がストローク量測定部により測定されたコンタクトプローブのストローク量をもとに、ストローク量の適否を判断する。
上述した本実施例に係る回路基板検査装置においては、プランジャーの塗装によるマーキングがバレルから露出しているか否かを受光量センサの検出出力によって判断することができる。すなわち、受光量センサはプランジャーからの反射光を受光し、受光量に応じた信号を出力するので、この出力信号により、コンタクトプローブのストロークの適否を自動的に判断することができる。
[実施例4]
本発明に係る回路基板検査装置の更に別の実施例について図19乃至図21を用いて説明する。本実施例においては、上述した各実施例と比較して受光量センサ30が設けられている位置とコンタクトプローブ1の構成が異なる他は同一であるため、同一の部分についての説明は省略する。また、他の実施例と同じ部材については同じ符号を付してある。
本発明に係る回路基板検査装置の更に別の実施例について図19乃至図21を用いて説明する。本実施例においては、上述した各実施例と比較して受光量センサ30が設けられている位置とコンタクトプローブ1の構成が異なる他は同一であるため、同一の部分についての説明は省略する。また、他の実施例と同じ部材については同じ符号を付してある。
図20において、バレル3内にプランジャー2が摺動可能に嵌められ、プランジャー2はバレル3内に配置されたスプリング4により前方に向かって突出するように付勢されている。バレル3はソケット7内に嵌められて固定されている。
プランジャー2の後端には軸80が連結して設けられているとともに、軸80の長さ方向の途中には円筒体81が軸80と一体的に設けられている。また、軸80の円筒体81よりも後端側には、蓄光塗料61が塗布されている。
バレル3は両端が解放された円筒状をしていて、円筒の長さ方向の途中に中央に孔が形成された節部31を有している。
バレル3は両端が解放された円筒状をしていて、円筒の長さ方向の途中に中央に孔が形成された節部31を有している。
バネ4はバレル3の内部のうち、節部31よりもプランジャー2側の空間(以下、「前部空間」と称する。)に伸縮自在に嵌合されていて、バネ4の内部を軸80が貫通している。更に軸80は節部31の孔を貫通し、節部31の後側に形成されたバレル3の内部空間(以下、「後部空間」と称する。)に伸びている。
コンタクトプローブ1は、上述したプランジャー2、バレル3及びバネ4によって構成されている。
コンタクトプローブ1は、上述したプランジャー2、バレル3及びバネ4によって構成されている。
バレル3の後部空間内には軸80の上記円筒体81が前後に進退可能に嵌合されている。この円筒体81の進退動作は、前方向(図20(a)参照)については節部31により、後方向(図20(b)参照)においてはバレル3の後端においてバレル3と当接しているソケット7の底部により規制されている。
ソケット7は図20に示すように有底円筒状に構成されるとともに、底部中央には孔71が形成されている。ソケット7内部にバレル3が嵌合、固定されることで、ソケット7とコンタクトプローブ1が接触し、両者が電気的に導通する。ソケット7には、バレル3と同様に接触抵抗の低減と、腐食防止などのため、金メッキが施されている。
プランジャー2と一体の軸80は、ソケット7の後端の突出部中央に形成された孔71に摺動可能に嵌められている。コンタクトプローブ1は、プランジャー2がバネ4の付勢力に抗して後退し、上記軸80がソケット7の孔71からソケット7外部に突出するようになっている。
ここで、上述した蓄光塗料61は、コンタクトプローブ1のストロークが適切である場合には蓄光塗料61がソケット7の外部に露出するように塗布されている(図20(b)の状態)。そして、各コンタクトプローブ1に塗布された蓄光塗料61からの光を、ピンボード11の下面に設けられた受光量センサ30(図19、図21参照)が受光することで、コンタクトプローブ1のストロークの適否を判断する。光センサ30による光の受光後のストロークの適否の判断の方法については、光を受光した場合にストロークが正常であり、光を受講しない倍には異常があると判断される他は上述した各実施例と同様であるため、ここではその説明は省略する。
上述した本実施例に係る回路基板検査装置においては、プランジャーの塗装によるマーキングがバレルから露出しているか否かを受光量センサの検出出力によって判断することができる。すなわち、受光量センサはプランジャーからの反射光を受光し、受光量に応じた信号を出力するので、この出力信号により、コンタクトプローブのストロークの適否を自動的に判断することができる。
[実施例5]
更に別の実施例について図22を用いて説明する。本実施例においては、セットベース12の上面に光源82を設けたこと、及び、コンタクトプローブ1に塗布されている色分け6に非蓄光塗料62が用いられている以外は、上述した実施例1と同様の構成であるため、同様である部分についての説明は省略する。また、実施例1と同様の部材については同じ符号を付してある。
更に別の実施例について図22を用いて説明する。本実施例においては、セットベース12の上面に光源82を設けたこと、及び、コンタクトプローブ1に塗布されている色分け6に非蓄光塗料62が用いられている以外は、上述した実施例1と同様の構成であるため、同様である部分についての説明は省略する。また、実施例1と同様の部材については同じ符号を付してある。
本実施例に係る回路基板検査装置においては、セットベース12の上面であって各コンタクトプローブ1が突出する孔を挟んで受光量センサ30と光源82が設けられている。
本実施例において用いられているコンタクトプローブ1は、上述した実施例1のコンタクトプローブと同様、色分け6がプランジャーから露出した場合にはストローク不足と判断されるが、本実施例においては色分け6として非蓄光塗料62が用いられている点が異なっている。非蓄光塗料62は、光を反射しにくい塗料からなる。
そして、光源82からコンタクトプローブ1に向けて発せられた光が非蓄光塗料62により吸収された場合には、色分け6が露出していることとなり、コンタクトプローブ1はストローク不足の状態にあることとなる。本実施例においては、非蓄光塗料62により光が吸収され、弱くなった光を受光量センサ30により受光することで、コンタクトプローブ1のストロークが不足していると判断される。受光量センサ30による受光量に変化が無い場合には、ストロークは正常であると判断される。
そして、光源82からコンタクトプローブ1に向けて発せられた光が非蓄光塗料62により吸収された場合には、色分け6が露出していることとなり、コンタクトプローブ1はストローク不足の状態にあることとなる。本実施例においては、非蓄光塗料62により光が吸収され、弱くなった光を受光量センサ30により受光することで、コンタクトプローブ1のストロークが不足していると判断される。受光量センサ30による受光量に変化が無い場合には、ストロークは正常であると判断される。
上述した本実施例に係る回路基板検査装置においては、プランジャーの塗装によるマーキングがバレルから露出しているか否かを受光量センサの検出出力によって判断することができる。すなわち、受光量センサはプランジャーからの反射光を受光し、受光量に応じた信号を出力するので、この出力信号により、コンタクトプローブのストロークの適否を自動的に判断することができる。
[実施例6]
更に別の実施例について図23を用いて説明する。本実施例においては、セットベース12の下面に光源82を設けたこと、及び、コンタクトプローブ1に塗布されている色分け6に非蓄光塗料62が用いられている以外は、上述した実施例2と同様の構成であるため、同様である部分についての説明は省略する。また、実施例2と同様の部材については同じ符号を付してある。
更に別の実施例について図23を用いて説明する。本実施例においては、セットベース12の下面に光源82を設けたこと、及び、コンタクトプローブ1に塗布されている色分け6に非蓄光塗料62が用いられている以外は、上述した実施例2と同様の構成であるため、同様である部分についての説明は省略する。また、実施例2と同様の部材については同じ符号を付してある。
本実施例に係る回路基板検査装置においては、セットベース12の下面であって各コンタクトプローブ1が突出する孔を挟んで受光量センサ30と光源82が設けられている。光源82及び受光量センサ30を用いたコンタクトプローブ1のストロークの適否判断の方法については、上述した実施例5と同様であるためここではその説明は省略する。
上述した本実施例に係る回路基板検査装置においては、プランジャーの塗装によるマーキングがバレルから露出しているか否かを受光量センサの検出出力によって判断することができる。すなわち、受光量センサはプランジャーからの反射光を受光し、受光量に応じた信号を出力するので、この出力信号により、コンタクトプローブのストロークの適否を自動的に判断することができる。
[実施例7]
更に別の実施例について図24を用いて説明する。本実施例においては、ピンボード11の上面に光源82を設けたこと、及び、コンタクトプローブ1に塗布されている色分け6に非蓄光塗料62が用いられている以外は、上述した実施例3と同様の構成であるため、同様である部分についての説明は省略する。また、実施例3と同様の部材については同じ符号を付してある。
更に別の実施例について図24を用いて説明する。本実施例においては、ピンボード11の上面に光源82を設けたこと、及び、コンタクトプローブ1に塗布されている色分け6に非蓄光塗料62が用いられている以外は、上述した実施例3と同様の構成であるため、同様である部分についての説明は省略する。また、実施例3と同様の部材については同じ符号を付してある。
本実施例に係る回路基板検査装置においては、ピンボード11の上面であって各コンタクトプローブ1を挟んで受光量センサ30と光源82が設けられている。光源82及び受光量センサ30を用いたコンタクトプローブ1のストロークの適否判断の方法については、上述した実施例5と同様であるためここではその説明は省略する。
上述した本実施例に係る回路基板検査装置においては、プランジャーの塗装によるマーキングがバレルから露出しているか否かを受光量センサの検出出力によって判断することができる。すなわち、受光量センサはプランジャーからの反射光を受光し、受光量に応じた信号を出力するので、この出力信号により、コンタクトプローブのストロークの適否を自動的に判断することができる。
[実施例8]
更に別の実施例について図25を用いて説明する。本実施例においては、ピンボード11の下面に光源82を設けたこと、及び、コンタクトプローブ1に塗布されている色分け6に非蓄光塗料62が用いられている以外は、上述した実施例4と同様の構成であるため、同様である部分についての説明は省略する。また、実施例4と同様の部材については同じ符号を付してある。
更に別の実施例について図25を用いて説明する。本実施例においては、ピンボード11の下面に光源82を設けたこと、及び、コンタクトプローブ1に塗布されている色分け6に非蓄光塗料62が用いられている以外は、上述した実施例4と同様の構成であるため、同様である部分についての説明は省略する。また、実施例4と同様の部材については同じ符号を付してある。
本実施例に係る回路基板検査装置においては、ピンボード11の下面であって各コンタクトプローブ1を挟んで受光量センサ30と光源82が設けられている。
ここで、上述した非蓄光塗料62は、コンタクトプローブ1のストロークが適切である場合には非蓄光塗料62がソケット7の外部に露出するように塗布されている(図6(b)参照)。そのため、光源82からコンタクトプローブ1に向けて発せられた光が非蓄光塗料62により吸収されず受光量センサ30が受光する光量が減少しない場合には、非蓄光塗料62が露出していないこととなり、コンタクトプローブ1はストローク不足の状態にあることとなる。
上述した本実施例に係る回路基板検査装置においては、プランジャーの塗装によるマーキングがバレルから露出しているか否かを受光量センサの検出出力によって判断することができる。すなわち、受光量センサはプランジャーからの反射光を受光し、受光量に応じた信号を出力するので、この出力信号により、コンタクトプローブのストロークの適否を自動的に判断することができる。
[実施例9]
更に別の実施例について、図26及び図27を用いて説明する。本実施例においては、セットベース12の上面に前記受光量センサ30の代わりに撮影部60が設けられている以外は、上述した実施例5と同様の構成であるため、同様である部分についての説明は省略する。また、実施例5と同様の部材については同じ符号を付してある。
更に別の実施例について、図26及び図27を用いて説明する。本実施例においては、セットベース12の上面に前記受光量センサ30の代わりに撮影部60が設けられている以外は、上述した実施例5と同様の構成であるため、同様である部分についての説明は省略する。また、実施例5と同様の部材については同じ符号を付してある。
本実施例に係る回路基板検査装置においては、セットベース12の上面であって各コンタクトプローブ1が突出する孔を挟んで撮影部60と光源82が設けられている。
上述した実施例5と同様に、ストローク不足のコンタクトプローブ1からは非蓄光塗料62が露出しているため、ストローク不足が発生している場合には、光源82から発せられた光が非蓄光塗料62に当たり、反射される。
上述した実施例5と同様に、ストローク不足のコンタクトプローブ1からは非蓄光塗料62が露出しているため、ストローク不足が発生している場合には、光源82から発せられた光が非蓄光塗料62に当たり、反射される。
撮影部60はコンタクトプローブ1を撮影し、撮影された画像P内に非蓄光塗料62から反射された光が存在するか否かを判断する。図27(A)は画像P内に非蓄光塗料62が反射した光が存在しない状態を、図27(B)は画像P内に非蓄光塗料が反射した光(円Rで囲われた部分)が存在する状態を示している。画像Pは、コンタクトプローブ1のストローク長が確認できるよう、画像中に座標を設定した上で撮影部60に記憶される。図28は回路基板検査装置において、各コンタクトプローブ1の検査対象となる座標を示す図であり、(a)は各コンタクトプローブに対応したデータナンバー及び座標を、(b)は具体的な画像中の座標の位置を示す。
撮影部60が撮影した画像P内に存在するか否かは、図28に示すように、画像P中に設定された座標毎に判断される。この処理のフローチャートを図29に示す。
図29において、コンタクトプローブ1と被検査基板との接触状態の確認が開始されると、まず、ステップS501において、撮影部60が被検査基板と接触しているコンタクトプローブ1の画像撮影を行う。
次に、ステップS502において、撮影された画像に対して、コンタクトプローブ1の非蓄光塗料62の色の抽出処理を行う。この抽出処理は、以下のようにして行われる。
ステップS503において、色抽出作業が行われるコンタクトプローブが定められる。コンタクトプローブはI本あるが、ここではまず、1本目のコンタクトプローブについて検査が行われる。
ステップS503において、色抽出作業が行われるコンタクトプローブが定められる。コンタクトプローブはI本あるが、ここではまず、1本目のコンタクトプローブについて検査が行われる。
次に、ステップS504において、検査が行われるコンタクトプローブ1について、X方向のチェック範囲jが確認される。jがmである場合には、X方向のチェック範囲は−mからmまでとなる。すなわち、図30に示すように、検査が行われるコンタクトプローブ1のX座標をXi、jが1である場合には、Xi−1、Xi、Xi+1の範囲において色抽出作業が行われることになる。このチェック範囲jは予め所定の値に設定されていてもよいし、あるいは撮影された画像から自動的に求めるようにしてもよい。本実施例では、jは予め1と定められた上で色抽出作業が行われる。ここではまず、X座標がX−1の場合について検査が行われる。
次に、ステップS505において、各コンタクトプローブ1について、Y方向のチェック範囲kが確認される。kがnである場合には、Y方向のチェック範囲は−nからnまでとなる。すなわち、図30に示すように、検査が行われるコンタクトプローブ1のY座標をYiとすると、kが2である場合には、Yi−2、Yi−1、Yi、Yi+1、Yi+2の範囲において色抽出作業が行われることになる。このチェック範囲kは予め所定の値に設定されていてもよいし、あるいは撮影された画像から自動的に求めるようにしてもよい。本実施例では、kは予め2と定められた上で色抽出作業が行われる。ここではまず、Y座標がY−2の場合について検査が行われる。
次に、ステップS506において、ステップS503〜S505で確認された情報をもとに、撮影画像から座標(Xi,Yi)の周辺データ(Xi+j,Yi+k)の色抽出作業が行われる。本実施例においては、ステップS503〜S505より、色抽出作業が行われる範囲は図25に示す15の範囲となり、取得されるデータサンプル数は15となる。
次に、ステップS507において、ステップS506で取得された15のデータサンプル中に、ストローク不足を示す色、すなわち、非蓄光塗料62の色の有無が確認される。非蓄光塗料62の色が確認されなかった場合には、ストローク不足は発生していないこととなり、接触状態の確認は終了する。
一方、非蓄光塗料62の色の存在が確認された場合は、検査が行われたコンタクトプローブに接触不良が生じていることが特定される。
そして、コンタクトプローブPiにストローク不足などの接触不良が生じていることを図示せぬ表示部に表示し、接触状態の確認は終了する。
そして、コンタクトプローブPiにストローク不足などの接触不良が生じていることを図示せぬ表示部に表示し、接触状態の確認は終了する。
なお、この接触状態の確認は、ステップS503において検査が行われるコンタクトプローブを、1〜I全てのプローブについて行われる。また、ステップS504については、コンタクトプローブ毎に、X座標の範囲をXi−1からXi+1の範囲全てについて確認が行われる。また、ステップS505については、コンタクトプローブ及びX座標毎に、Y座標の範囲をYi−2からYi+2の範囲全てについて確認が行われる。
上述した本実施例に係る回路基板検査装置においては、プランジャーの塗装によるマーキングがバレルから露出しているか否かを撮影部が撮影した画像によって判断することができる。すなわち、撮影部はプランジャーを撮影し、撮影画像中にプランジャーの塗料を示す色が存在するか否かを確認することにより、コンタクトプローブのストロークの適否を自動的に判断することができる。
なお、このように各コンタクトプローブ1について、所定の範囲をもって画像を確認することで、その画像からストローク不足だけでなく、コンタクトプローブの曲がりや折れ等の状態も検知することが可能となる。
例えば、図31(a)に示すように、コンタクトプローブ1が接触する箇所(コネクタのリード線など)100がずれて配置されていた場合など、検査時にコンタクトプローブ1がリード線と正常な接触を行うことができず、プローブが曲がってしまうことがある(図31(b)の状態)。
このような曲がりが生じた場合、例えば本実施例の図29に示す検査フローにおいて、図32(a)に示す破損個所Q全体の撮影を行えるように各数値を設定することで、破損したコンタクトプローブ1を特定することができる。例えば、ステップS504のX方向のチェック範囲jを2、ステップS505のY方向のチェック範囲kを3として色抽出処理を行うことにより、図32(b)に示すような画像が得られる。図32(b)において黒く網かけされている部分が、非蓄光塗料62の色が確認された部分である。
事前にこのような画像のパターンをコンタクトプローブ1に曲がりが発生した場合として登録しておき、接触不良が確認された画像と登録済みの画像をパターンマッチングにより比較(類似判定)すれば、プローブの状態を検知することが可能となる。
また、コンタクトプローブ1の曲がりが発生した場合には、図33(a)に示すように、曲がったコンタクトプローブ1が本来接触しない被検査基板15の部位に接触し、物理的な破損Dが発生してしまうことがある。また、破損に至らない場合であっても、図33(b)に示すように、コンタクトプローブ1が本来接触すべきリード線100ではなく、誤ったリード線101に接触してしまうことがある。誤った接触が確立されたまま電気信号の投入が行われると、検査が正常に行われない場合や、電気回路に電気的な破損を生じてしまうことがある。このような場合においても、上述した図24の検査フローは有効であり、被検査基板15の物理的、電気的破損を効果的に防止することができる。
上述したコンタクトプローブ1の曲がりの有無を確認する処理を追記したフローチャートを図34に示す。
まず、コンタクトプローブ1と被検査基板との接触状態の確認が開始される。次のステップS601からステップS607においては、上述した図29に示すステップS501からステップS507と同様の処理がなされるため、ここではそれらのステップの説明は省略する。
まず、コンタクトプローブ1と被検査基板との接触状態の確認が開始される。次のステップS601からステップS607においては、上述した図29に示すステップS501からステップS507と同様の処理がなされるため、ここではそれらのステップの説明は省略する。
次に、ステップS607において、ステップS606で取得されたデータサンプル中に、ストローク不足を示す色、すなわち、非蓄光塗料62の色の有無が確認される。非蓄光塗料62の色が確認されなかった場合には、接触不良は発生していないこととなり、接触状態の確認は終了する。
一方、ステップS607において、非蓄光塗料62の色の存在が確認された場合には、ステップS608において、上述したステップS508と同様の処理が行われ、接触不良が生じているコンタクトプローブ1が特定される。
次に、ステップS609において、得られた画像と、登録されているコンタクトプローブ1に曲がりが発生した場合の画像パターンとのマッチング処理が行われる。
次に、ステップS610において、得られた画像と、コンタクトプローブ1の曲がりが発生した場合の画像パターンとの類否の判断が行われる。
次に、ステップS610において、得られた画像と、コンタクトプローブ1の曲がりが発生した場合の画像パターンとの類否の判断が行われる。
ステップS610において類似と判断された場合には、ステップS611において回路基板検査装置の表示部にコンタクトプローブPiに曲がりが発生している旨の表示が行われ、接触状態の確認が終了する。
一方、ステップS612において類似と判断されなかった場合には、ステップS612において回路基板検査装置の表示部にコンタクトプローブPiが接触不良の状態にある旨の表示が行われ、接触状態の確認が終了する。
[実施例10]
更に別の実施例について、図35を用いて説明する。
本実施例においては、光源82及び撮影部60がセットベース12の下面に設けられていること、及び、コンタクトプローブ1の非蓄光塗料はストローク不足の場合にセットベース12の下方においてバレル3から露出するよう塗布されている他は、上述した実施例9と同様である。そのため、ここでは詳細な説明は省略する。また、実施例9と同様の構成については、同じ符号を付してある。
更に別の実施例について、図35を用いて説明する。
本実施例においては、光源82及び撮影部60がセットベース12の下面に設けられていること、及び、コンタクトプローブ1の非蓄光塗料はストローク不足の場合にセットベース12の下方においてバレル3から露出するよう塗布されている他は、上述した実施例9と同様である。そのため、ここでは詳細な説明は省略する。また、実施例9と同様の構成については、同じ符号を付してある。
上述した本実施例に係る回路基板検査装置においては、プランジャーの塗装によるマーキングがバレルから露出しているか否かを撮影部が撮影した画像によって判断することができる。すなわち、撮影部はプランジャーを撮影し、撮影画像中にプランジャーの塗料を示す色が存在するか否かを確認することにより、コンタクトプローブのストロークの適否を自動的に判断することができる。
[実施例11]
更に別の実施例について、図36を用いて説明する。
本実施例においては、光源82及び撮影部60がピンボード11の上面に設けられていること、及び、コンタクトプローブ1の非蓄光塗料はストローク不足の場合にセットベース12とピンボード11との間においてバレル3から露出するよう塗布されている他は、上述した実施例9と同様である。そのため、ここでは詳細な説明は省略する。また、実施例9と同様の構成については、同じ符号を付してある。
更に別の実施例について、図36を用いて説明する。
本実施例においては、光源82及び撮影部60がピンボード11の上面に設けられていること、及び、コンタクトプローブ1の非蓄光塗料はストローク不足の場合にセットベース12とピンボード11との間においてバレル3から露出するよう塗布されている他は、上述した実施例9と同様である。そのため、ここでは詳細な説明は省略する。また、実施例9と同様の構成については、同じ符号を付してある。
上述した本実施例に係る回路基板検査装置においては、プランジャーからの塗料の露出の有無を撮影部を用いて感知することで、ストロークの適否の判断を自動的に行うことができる。
[実施例12]
更に別の実施例について、図37を用いて説明する。
本実施例においては、光源82及び撮影部60がピンボード11の下面に設けられていること、コンタクトプローブ1の非蓄光塗料は十分なストロークが行われている場合にピンボード11の下側においてバレル3から露出するよう塗布されていること、及び、図29のステップS506と図29のステップS607において非蓄光塗料の色が発見されなかった場合にストローク不足と判断される他は、上述した実施例9と同様である。そのため、ここでは詳細な説明は省略する。また、実施例9と同様の構成については、同じ符号を付してある。
更に別の実施例について、図37を用いて説明する。
本実施例においては、光源82及び撮影部60がピンボード11の下面に設けられていること、コンタクトプローブ1の非蓄光塗料は十分なストロークが行われている場合にピンボード11の下側においてバレル3から露出するよう塗布されていること、及び、図29のステップS506と図29のステップS607において非蓄光塗料の色が発見されなかった場合にストローク不足と判断される他は、上述した実施例9と同様である。そのため、ここでは詳細な説明は省略する。また、実施例9と同様の構成については、同じ符号を付してある。
上述した本実施例に係る回路基板検査装置においては、プランジャーからの塗料の露出の有無を撮影部を用いて感知することで、ストロークの適否の判断を自動的に行うことができる。
[実施例13]
更に別の実施例について、図38を用いて説明する。
本実施例においては、図22を用いて説明した実施例5の構成に加え、不透明な外光遮断部90が設けられている。従来の回路基板検査装置においては、検査状態を目視確認できるよう、装置の上蓋8として透明なアクリル板等が使用されている。しかし、上カバーが透明であると、外光が受光量センサ30による光量の検出に影響する可能性がある。
そこで、外光遮断部90が設けられることで、外光からの影響を遮断して、安定した光量計測が可能となる。
更に別の実施例について、図38を用いて説明する。
本実施例においては、図22を用いて説明した実施例5の構成に加え、不透明な外光遮断部90が設けられている。従来の回路基板検査装置においては、検査状態を目視確認できるよう、装置の上蓋8として透明なアクリル板等が使用されている。しかし、上カバーが透明であると、外光が受光量センサ30による光量の検出に影響する可能性がある。
そこで、外光遮断部90が設けられることで、外光からの影響を遮断して、安定した光量計測が可能となる。
なお、本実施例において用いられた外光遮断部90を、実施例5以外の他の実施例の構成に設けてもよい。この場合でも、外光からの影響を遮断して、安定した光量計測や画像撮影が可能となる。
[実施例14]
更に別の実施例について、図39及び図40を用いて説明する。
本実施例では、下方に向けて伸縮するようにプローブ支持ブロック88にコンタクトプローブが取り付けられる場合において、上蓋8に設けられていてコンタクトプローブ1を支持するプローブ支持ブロック88の下面に受光量センサ30が設けられている。そして、プランジャー1からプローブ支持ブロック88の下方に露出した色分け6からの光を受光してストローク量が測定される。
上述した実施例に係る回路基板検査装置においては、プランジャーの塗装によるマーキングがバレルから露出しているか否かを受光量センサの検出出力によって判断することができる。すなわち、受光量センサはプランジャーからの反射光を受光し、受光量に応じた信号を出力するので、この出力信号により、コンタクトプローブのストロークの適否を自動的に判断することができる。
更に別の実施例について、図39及び図40を用いて説明する。
本実施例では、下方に向けて伸縮するようにプローブ支持ブロック88にコンタクトプローブが取り付けられる場合において、上蓋8に設けられていてコンタクトプローブ1を支持するプローブ支持ブロック88の下面に受光量センサ30が設けられている。そして、プランジャー1からプローブ支持ブロック88の下方に露出した色分け6からの光を受光してストローク量が測定される。
上述した実施例に係る回路基板検査装置においては、プランジャーの塗装によるマーキングがバレルから露出しているか否かを受光量センサの検出出力によって判断することができる。すなわち、受光量センサはプランジャーからの反射光を受光し、受光量に応じた信号を出力するので、この出力信号により、コンタクトプローブのストロークの適否を自動的に判断することができる。
なお、本実施例においてはプローブ支持ブロック88の下面に受光量センサ30が設けられているが、図40に示すように、プローブ支持ブロック88に下方に向けて伸縮するようにプランジャー1を設けるとともに、受光量センサ30を上蓋8とプローブ支持ブロック88とにより形成される空間内であって上蓋8の下面に設け、プランジャー1から前記空間内に露出した色分け6からの光を受光してストローク量を測定する態様としてもよい。
また、本実施例においてはプランジャー1がプローブ支持ブロック88に設けられているが、このような態様を他の実施例における回路基板検査装置にも採用してもよい。
また、本実施例においてはプランジャー1がプローブ支持ブロック88に設けられているが、このような態様を他の実施例における回路基板検査装置にも採用してもよい。
[実施例15]
更に別の実施例について、図41及び図42を用いて説明する。
本実施例に係る回路基板検査装置は、図41に示すように、セットベース12にザグリ122が形成されている場合に好適に用いられる。なお、本実施例に係る回路基板検査装置は、セットベース12にザグリ122が形成されていることと受光量センサ30が設けられている位置以外は上述した実施例1と同様であるため、同様である部分についての説明は省略する。また、実施例1に係る回路基板検査装置と同様の構成部分については、同様の符号を付してある。
更に別の実施例について、図41及び図42を用いて説明する。
本実施例に係る回路基板検査装置は、図41に示すように、セットベース12にザグリ122が形成されている場合に好適に用いられる。なお、本実施例に係る回路基板検査装置は、セットベース12にザグリ122が形成されていることと受光量センサ30が設けられている位置以外は上述した実施例1と同様であるため、同様である部分についての説明は省略する。また、実施例1に係る回路基板検査装置と同様の構成部分については、同様の符号を付してある。
上述したように、被検査基板15のコネクタのリード線100とセットベース12とが接触するような場合には、リード線との接触を避けるためザグリが設けられることがある。このザグリ内に孔が設けられている場合には、コンタクトプローブがザグリにより隠れてしまい、外部から目視確認することができない。
そこで本実施例に係る回路基板検査装置においては、図42に示すように、ザグリ122内に受光量センサ30が設けられている。このようにすることで、ザグリ122外部からコンタクトプローブ1の色分け6が確認できない場合であっても、コンタクトプローブ1の色分け6の露出の有無を確認することができ、コンタクトプローブ1のストロークの適否を判断することができる。
そこで本実施例に係る回路基板検査装置においては、図42に示すように、ザグリ122内に受光量センサ30が設けられている。このようにすることで、ザグリ122外部からコンタクトプローブ1の色分け6が確認できない場合であっても、コンタクトプローブ1の色分け6の露出の有無を確認することができ、コンタクトプローブ1のストロークの適否を判断することができる。
なお、本実施例においてはザグリ122内に受光量センサ30のみが設けられているが、本発明においては他の態様をとることも可能である。例えば、ザグリ122内に光源82及び受光量センサ30を設けてもよい。また、ザグリ122内に光源82及び撮影部60を設けてもよい。このような構成としても、本実施例に係る回路基板検査装置と同様の効果を得ることができる。
上述した実施例に係る回路基板検査装置においては、プランジャーの塗装によるマーキングがバレルから露出しているか否かを受光量センサの検出出力によって判断することができる。すなわち、受光量センサはプランジャーからの反射光を受光し、受光量に応じた信号を出力するので、この出力信号により、コンタクトプローブのストロークの適否を自動的に判断することができる。また、セットベースにザグリ内に受光量センサが設けられていることで、ザグリにコンタクトプローブが隠れてしまいザグリ外部から被検査基板との接触状態が確認できない場合でも、ストロークの適否を判断することができる。
[実施例16]
別の実施例について、図43から図46を用いて説明する。
本実施例は上述した光源82及び受光量センサ30を用いる各実施例の変形例であって、図43に示すように、回転可能な3つの光源82a、82b、82cが複数設けられ、複数のコンタクトプローブ1が平面方向に3つの群(コンタクトプローブ群1a、1b、1c)を形成し、5つの受光量センサ30a、30b、30c、30d、30eが設けられている。
別の実施例について、図43から図46を用いて説明する。
本実施例は上述した光源82及び受光量センサ30を用いる各実施例の変形例であって、図43に示すように、回転可能な3つの光源82a、82b、82cが複数設けられ、複数のコンタクトプローブ1が平面方向に3つの群(コンタクトプローブ群1a、1b、1c)を形成し、5つの受光量センサ30a、30b、30c、30d、30eが設けられている。
光源82aはコンタクトプローブ群1aに対し回転しながら光を照射する。コンタクトプローブ群1aの各コンタクトプローブ1は、コンタクトプローブ1により反射された光が受光量センサ30aに集められるように取付位置が調整されている。
また、光源82aはコンタクトプローブ群1bに対し回転しながら光を照射する。コンタクトプローブ群1bの各コンタクトプローブ1は、コンタクトプローブ1により反射された光が受光量センサ30bに集められるように取付位置が調整されている。
また、光源82aはコンタクトプローブ群1bに対し回転しながら光を照射する。コンタクトプローブ群1bの各コンタクトプローブ1は、コンタクトプローブ1により反射された光が受光量センサ30bに集められるように取付位置が調整されている。
光源82bはコンタクトプローブ群1cに対し回転しながら光を照射する。コンタクトプローブ群1cの各コンタクトプローブ1は、コンタクトプローブ1により反射された光が受光量センサ30cに集められるように取付位置が調整されている。
また、光源82bはコンタクトプローブ群1dに対しても回転しながら光を照射する。コンタクトプローブ群1dの各コンタクトプローブ1は、コンタクトプローブ1により反射された光が受光量センサ30dに集められるように取付位置が調整されている。
また、光源82bはコンタクトプローブ群1dに対しても回転しながら光を照射する。コンタクトプローブ群1dの各コンタクトプローブ1は、コンタクトプローブ1により反射された光が受光量センサ30dに集められるように取付位置が調整されている。
光源82cはコンタクトプローブ群1eに対し回転しながら光を照射する。コンタクトプローブ群1eの各コンタクトプローブ1は、コンタクトプローブ1により反射された光が受光量センサ30eに集められるように取付位置が調整されている。
そして、5つの受光量センサ30a、30b、30c、30dがそれぞれ受光した受光量に関するデータは、図示せぬ制御PCに送信され、記憶される。
ここで、本実施例においては、プランジャー2が光を反射するように構成されているとともに、被蓄光塗料62が光を反射しにくい構成となっている。また、ストロークが適切な場合には非蓄光塗料62が露出せず、ストロークが不適切な場合には非蓄光塗料62が露出するコンタクトプローブ1が用いられている。
図43に示すコンタクトプローブ群1aの各コンタクトプローブA、B、及び、コンタクトプローブ群1bの各コンタクトプローブC、D、Eについて、コンタクトプローブ1と被検査基板15との接触がいずれも適切である場合には、受光量センサ30aの受光量データは図44に示すようになり、受光量センサ30bの受光量データは図45に示すようになる。
図44に示すように、回転する光源82aからの光が時刻0.3においてコンタクトプローブAに、時刻0.4においてコンタクトプローブBに到達する。コンタクトプローブA、Bはいずれも接触不良がなく、非蓄光塗料62が露出していないため、光を十分に反射する。そして、これらの時刻において、図44のグラフに示すように、各コンタクトプローブA、Bに対応した2つの受光量のピークが生じる。
また、図45に示すように、回転する光源82aからの光が時刻0.7においてコンタクトプローブCに、時刻0.8においてコンタクトプローブDに、時刻0.9においてコンタクトプローブEに到達する。コンタクトプローブC、D、Eはいずれも接触不良がなく、非蓄光塗料62が露出していないため、光を十分に反射する。そして、これらの時刻において、図45のグラフに示すように、各コンタクトプローブC、D、Eに対応した3つの受光量のピークが生じる。
図44及び図45に示すように、各コンタクトプローブ1に接触不良が生じていない場合のデータを、図46に示すように規格値として設定する。
一方、コンタクトプローブ1に接触不良が生じた場合について図47を用いて説明する。ここでは、コンタクトプローブ群1bの各コンタクトプローブ1のうち、コンタクトプローブEに接触不良が生じた場合を例にする。
コンタクトプローブEに接触不良が生じた場合には、コンタクトプローブEにおいて非蓄光塗料62が露出するため、光源82aからコンタクトプローブEに照射された光は、非蓄光塗料62に吸収され、十分な光が反射されない。そのため、図45に示すグラフにおいて生じていたコンタクトプローブEに対応するピークが、図47に示すグラフにおいては消失している。
そして、上述した規格値とコンタクトプローブEに接触不良が生じた場合の受光量とが比較されることで、上述したコンタクトプローブEに接触不良が生じていることが特定される。
このように、各受光量センサ30のデータがどのコンタクトプローブ1のデータなのかを示す対応データがあれば、コンタクトプローブの接触不良の発生、及び、そのコンタクトプローブの箇所を容易に判定することができる。
このようなコンタクトプローブの接触不良の発生、及び、そのコンタクトプローブの箇所の判定方法のフローチャートを図48に示す。
このようなコンタクトプローブの接触不良の発生、及び、そのコンタクトプローブの箇所の判定方法のフローチャートを図48に示す。
図48に示すフローチャートにおいて、まず、ステップS401において、判定に用いられる光源(照射部)82が、複数の光源中から選ばれる。
次に、ステップS402において、選ばれた光源82を回転させながら、予め規定されている照射時間、光源82からの光照射が行われる。
次に、ステップS403において、各受光量センサ30のうち、受光量データの収集が行われる受光量センサ(受光量計測部)jが特定される。
次に、ステップS404において、受光量センサ毎に収集された受光量データの中から、各数値に対応した時間tが特定される。
次に、ステップS405において、受光量センサjにおける時間tのときの受光量データが取得される。
次に、ステップS402において、選ばれた光源82を回転させながら、予め規定されている照射時間、光源82からの光照射が行われる。
次に、ステップS403において、各受光量センサ30のうち、受光量データの収集が行われる受光量センサ(受光量計測部)jが特定される。
次に、ステップS404において、受光量センサ毎に収集された受光量データの中から、各数値に対応した時間tが特定される。
次に、ステップS405において、受光量センサjにおける時間tのときの受光量データが取得される。
次に、ステップS406において、時刻tにおける規格値の受光量と、ステップS405において取得された受光量とが比較される。ステップS405において取得された受光量が規格値の受光量以上である場合には、コンタクトプローブ1に接触不良は生じていないこととなる。
一方、ステップS405において取得された受光量が規格値の受光量を下回る場合には、コンタクトプローブ1に接触不良が生じていることとなる。
この場合、ステップS407において、規格値の受光量を下回った受光量に対応した照射部、受光量センサ及び時間に基づき、接触不良を生じているコンタクトプローブが特定される。
次に、ステップS408において、回路基板検査装置の表示部にコンタクトプローブXに接触不良が生じている旨の表示がされ、接触状態の確認が終了する。
この場合、ステップS407において、規格値の受光量を下回った受光量に対応した照射部、受光量センサ及び時間に基づき、接触不良を生じているコンタクトプローブが特定される。
次に、ステップS408において、回路基板検査装置の表示部にコンタクトプローブXに接触不良が生じている旨の表示がされ、接触状態の確認が終了する。
なお、上述した工程は、ステップS404においてtを1から最終照射時間まで繰り返される。また、この工程は、ステップS403において別の受光量センサが特定され、全ての受光量センサについて同様の判定が完了するまで繰り返される。さらに、この工程は、ステップS401において別の照射部が特定され、全ての照射部について同様の工程が完了するまで繰り返される。
上述した実施例に係る回路基板検査装置においては、プランジャーの塗装によるマーキングがバレルから露出しているか否かを受光量センサの検出出力によって判断することができる。すなわち、受光量センサはプランジャーからの反射光を受光し、受光量に応じた信号を出力するので、この出力信号により、コンタクトプローブのストロークの適否を自動的に判断することができる。
なお、本発明においては上述した各実施例に限らず、種々の態様をとることができる。例えば、光源82からの光量を調節できるようにしてもよい。
1 コンタクトプローブ
2 プランジャー
3 バレル
4 バネ
6 色分け
61 蓄光塗料
62 非蓄光塗料
7 ソケット
8 上蓋
88 プローブ支持ブロック
9 上箱
10 下箱
11 ピンボード
12 セットベース
122 ザグリ
13 電源
14 治具基板
15 被検査基板
30 受光量センサ
60 撮影部
82 光源
90 外光遮断部
100 リード線
2 プランジャー
3 バレル
4 バネ
6 色分け
61 蓄光塗料
62 非蓄光塗料
7 ソケット
8 上蓋
88 プローブ支持ブロック
9 上箱
10 下箱
11 ピンボード
12 セットベース
122 ザグリ
13 電源
14 治具基板
15 被検査基板
30 受光量センサ
60 撮影部
82 光源
90 外光遮断部
100 リード線
Claims (18)
- 導電性の筒状体からなるバレル、被検査対象である回路基板と接触するとともに前記バレルに進退可能に嵌められたプランジャー、及び前記バレル内部にあり前記プランジャーを軸方向に付勢する弾性部材を備え、前記プランジャーは最適なストローク位置を判別できるように塗装されているコンタクトプローブと、
前記コンタクトプローブのストローク量を前記バレルからの前記塗装の露出量に基づき測定するストローク量測定部と、
前記ストローク量測定部が測定した前記コンタクトプローブのストローク量をもとにストローク量の適否を判断する適否判断部と、
を備えた回路基板検査装置。 - 前記塗装は蓄光塗料からなり、
前記ストローク量測定部は受光量センサを有し、
前記受光量センサは前記蓄光塗料が発する光を受光し、
前記ストローク量測定部は前記受光量センサからの出力に基づきストローク量を測定する請求項1記載の回路基板検査装置。 - 前記塗装は非蓄光塗料からなり、
前記コンタクトプローブに光線を照射する光源を更に備え、
前記ストローク量測定部は受光量センサを有し、
前記受光量センサは前記コンタクトプローブの前記非蓄光塗料により反射された光を受光し、
前記ストローク量測定部は前記受光量センサからの出力に基づきストローク量を測定する請求項1記載の回路基板検査装置。 - 前記塗料は非蓄光塗料からなり、
前記コンタクトプローブに光線を照射する光源と、
前記コンタクトプローブと前記回路基板との接触状態を撮影する撮影部と、
を更に備え、
前記ストローク量測定部は、前記撮影部により撮影された画像に基づいて前記バレルからの前記非蓄光塗装の露出量を測定し、測定した露出量に基づきストローク量を測定する請求項1記載の回路基板検査装置。 - 前記プランジャーが取り付けられたピンボードと、
検査時に前記回路基板が載置されるセットベースと、
を更に備え、
前記受光量センサが前記ピンボード又は前記セットベースの少なくとも一方の表面に設けられている請求項2または3記載の回路基板検査装置。 - 前記プランジャーが取り付けられたピンボードと、
検査時に前記回路基板が載置されるセットベースと、
を更に備え、
前記光源が前記ピンボード又は前記セットベースの少なくとも一方の表面に設けられるとともに、
前記受光量センサが、前記ピンボード又は前記セットベースの少なくとも一方の表面に設けられている請求項2または3記載の回路基板検査装置。 - 前記プランジャーが取り付けられたピンボードと、
検査時に前記回路基板が載置されるセットベースと、
を更に備え、
前記光源が前記ピンボード又は前記セットベースの少なくとも一方の表面に設けられるとともに、
前記撮影部が、前記ピンボード又は前記セットベースの少なくとも一方の表面に設けられている請求項4記載の回路基板検査装置。 - 前記光源は光量を調節可能である請求項3、4、6又は7に記載の回路基板検査装置。
- 前記光源は回転可能である請求項3、4、6、7又は8に記載の回路基板検査装置。
- 検査時に前記回路基板が載置されるセットベースを更に備え、
前記セットベースには前記回路基板のコネクタと前記セットベースとの干渉を防ぐ凹部が設けられ、
前記凹部内に前記受光量センサが設けられている請求項2または3記載の回路基板検査装置。 - 検査時に前記回路基板が載置されるセットベースを更に備え、
前記セットベースには前記回路基板のコネクタと前記セットベースとの干渉を防ぐ凹部が設けられ、
前記光源が前記凹部内に設けられるとともに、
前記凹部内に前記受光量センサが設けられている請求項3記載の回路基板検査装置。 - 検査時に前記回路基板が載置されるセットベースを更に備え、
前記セットベースには前記回路基板のコネクタと前記セットベースとの干渉を防ぐ凹部が設けられ、
前記光源が前記凹部内に設けられるとともに、
前記凹部内に前記撮影部が設けられている請求項4記載の回路基板検査装置。 - 前記光源は光量を調節可能である請求項11又は12に記載の回路基板検査装置。
- 前記光源は回転可能である請求項11乃至13のいずれかに記載の回路基板検査装置。
- コンタクトプローブを取り付けるプローブ支持部材を有する上蓋と、
前記プローブ支持部材に設けられた受光量センサを更に備え、
前記プローブ支持部材に取り付けられたコンタクトプローブのプランジャーは最適なストローク位置を判別できるように蓄光塗料により塗装されていて、
前記受光量センサは前記蓄光塗料が発する光を受光し、
前記ストローク量測定部は前記受光量センサからの出力に基づきストローク量を測定する請求項1乃至14のいずれかに記載の回路基板検査装置。 - 前記受光量センサは前記プローブ支持部材の下面に設けられている請求項15記載の回路基板検査装置。
- 前記受光量センサは前記上蓋と前記プローブ支持部材との間に形成される空間内に設けられている請求項15記載の回路基板検査装置。
- 前記回路基板と前記コンタクトプローブが当接する部位を覆う外光遮断部を更に備えた請求項1乃至17のいずれかに記載の回路基板検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010005223A JP2011145136A (ja) | 2010-01-13 | 2010-01-13 | 回路基板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010005223A JP2011145136A (ja) | 2010-01-13 | 2010-01-13 | 回路基板検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011145136A true JP2011145136A (ja) | 2011-07-28 |
Family
ID=44460125
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010005223A Pending JP2011145136A (ja) | 2010-01-13 | 2010-01-13 | 回路基板検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2011145136A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112161558A (zh) * | 2020-09-29 | 2021-01-01 | 珠海博杰电子股份有限公司 | 探针行程自动检测系统 |
-
2010
- 2010-01-13 JP JP2010005223A patent/JP2011145136A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112161558A (zh) * | 2020-09-29 | 2021-01-01 | 珠海博杰电子股份有限公司 | 探针行程自动检测系统 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102590566B (zh) | 一种电子产品测试夹具的自动对准方法 | |
US9074868B2 (en) | Automated borescope measurement tip accuracy test | |
TWI512302B (zh) | Detection system and its detection method | |
CN108259894B (zh) | 一种摄像头模组组装误差的测试装置及测试方法 | |
WO2010108089A2 (en) | Display device for measurement tool | |
JP4905013B2 (ja) | 外観検査装置、外観検査方法及び高さ測定方法並びに回路基板製造方法 | |
CN110261755B (zh) | 一种探针卡、检测装置以及晶圆检测方法 | |
US7256596B1 (en) | Method and apparatus for adapting a standard flying prober system for reliable testing of printed circuit assemblies | |
CN114441942A (zh) | Pcb板的飞针测试方法、系统、设备及存储介质 | |
JP2011247838A (ja) | スイッチプローブ、基板検査装置及び基板検査システム | |
JP6515819B2 (ja) | 評価装置、プローブ位置の検査方法 | |
TWI655439B (zh) | 用檢測裝置來測量及評估探針卡的方法 | |
JP2011145136A (ja) | 回路基板検査装置 | |
KR102670290B1 (ko) | 기판 검사 장치, 검사 위치 보정 방법, 위치 보정 정보 생성 방법, 및 위치 보정 정보 생성 시스템 | |
JP2010216859A (ja) | コンタクトプローブ、回路基板検査方法及び回路基板検査装置 | |
KR102425162B1 (ko) | Pcba 검사장치 | |
JP2018189458A (ja) | 電気的接続装置及びその製造方法 | |
US7747066B2 (en) | Z-axis optical detection of mechanical feature height | |
JP2016100545A (ja) | 半導体イメージセンサーの検査装置及び検査方法 | |
US7053642B2 (en) | Method and apparatus for enabling reliable testing of printed circuit assemblies using a standard flying prober system | |
CN111480088A (zh) | 检查插入于基板的多个引脚的插入状态的方法及基板检查装置 | |
JP2014016300A (ja) | 基板検査装置および基板検査方法 | |
CN220730021U (zh) | 一种工业铱192探伤源标号成像查验装置 | |
TW202136759A (zh) | 在電子電路之製備中用於檢查圖案化物件之多個特徵之系統及方法 | |
CN117948920A (zh) | 测量装置、测量装置的用途以及用于尺寸测量的方法 |