JP2011143677A - フィルムの製造装置および製造方法 - Google Patents
フィルムの製造装置および製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011143677A JP2011143677A JP2010008266A JP2010008266A JP2011143677A JP 2011143677 A JP2011143677 A JP 2011143677A JP 2010008266 A JP2010008266 A JP 2010008266A JP 2010008266 A JP2010008266 A JP 2010008266A JP 2011143677 A JP2011143677 A JP 2011143677A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- substrate
- gas
- casing
- nozzle device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Manufacture Of Porous Articles, And Recovery And Treatment Of Waste Products (AREA)
- Moulding By Coating Moulds (AREA)
Abstract
【解決手段】 溶液膜が形成された基板を保持する基板保持台と、チャンバと、加湿気体を溶液膜の表面に吹付ける吹出口を持つノズル装置と、気体の吹付け方向と反対方向で溶液膜の表面に平行な方向にノズル装置を移動させる手段と、基板の温度を制御する手段とを有し、ノズル装置が、気体を導入する導入口と、導入口および吹出口が形成されたケーシングと、ケーシングの内部に、気体の吹き付け方向に沿って異なる方向に交互に位置ずれして配置され、気体の吹き付け方向に沿って一方の第1端がケーシングの内壁面に固定される固定端となり、第1端と反対側の第2端がケーシングの内壁面との間に流路隙間を形成する自由端となる複数の整流板と、を有する。
【選択図】 図3
Description
所定厚みの溶液膜が形成された基板を保持する基板保持台と、
前記基板保持台の周囲雰囲気を一定の温度および湿度に保つことが可能なチャンバと、
加湿された気体を、前記溶液膜の表面に、当該表面に対して吹き付ける吹出口を持つノズル装置と、
前記気体の吹き付け方向と反対方向で前記溶液膜の表面に平行な方向に前記ノズルを移動させることが可能なノズル移動手段と、
前記基板の温度を制御する基板温度制御手段とを有し、
前記ノズル装置が、
前記ノズル装置内に前記気体を導入する導入口と、
前記導入口および前記吹出口が形成されたケーシングと、
前記ケーシングの内部に、前記気体の吹き付け方向に沿って異なる方向に交互に位置ずれして配置され、前記気体の吹き付け方向に沿って一方の第1端が前記ケーシングの内壁面に固定される固定端となり、前記第1端と反対側の第2端が前記ケーシングの内壁面との間に流路隙間を形成する自由端となる複数の整流板と、を有することを特徴とする。
実施例1
図3に示すノズル装置30の中に、整流板36を配置しなかった以外は、実施例1と同様の条件にて、図10(A)に示すフィルム試料を製造した。フィルム試料から作成した試験用試料21’〜24’について、実施例1と同様にして膜厚の測定を行った。結果を表1に示す。同様にして引張試験を行い、破断荷重の測定を行った。結果を図12および表2に示す。また、破断伸度の測定を行った。結果を図13および表3に示す。
12…チャンバ
14…基板
16…基板保持台
30…ノズル装置
31…ケーシング
32…導入口
33…フラップ
35…突起物
34…吹出口
36…整流板
36a…固定端
36b…自由端
38…流路隙間
Claims (10)
- 所定厚みの溶液膜が形成された基板を保持する基板保持台と、
前記基板保持台の周囲雰囲気を一定の温度および湿度に保つことが可能なチャンバと、
加湿された気体を、前記溶液膜の表面に、当該表面に対して吹き付ける吹出口を持つノズル装置と、
前記気体の吹き付け方向と反対方向で前記溶液膜の表面に平行な方向に前記ノズル装置を移動させることが可能なノズル移動手段と、
前記基板の温度を制御する基板温度制御手段とを有し、
前記ノズル装置が、
前記ノズル装置内に前記気体を導入する導入口と、
前記導入口および前記吹出口が形成されたケーシングと、
前記ケーシングの内部に、前記気体の吹き付け方向に沿って異なる方向に交互に位置ずれして配置され、前記気体の吹き付け方向に沿って一方の第1端が前記ケーシングの内壁面に固定される固定端となり、前記第1端と反対側の第2端が前記ケーシングの内壁面との間に流路隙間を形成する自由端となる複数の整流板と、を有することを特徴とするフィルムの製造装置。 - 前記複数の整流板同士が、所定間隔で配置されることを特徴とする請求項1に記載のフィルムの製造装置。
- 前記複数の整流板同士が、互いに平行に配置されることを特徴とする請求項1または2に記載のフィルムの製造装置。
- 前記流路隙間の幅は、隣接する前記整流板の配置間隔の30〜80%であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のフィルムの製造装置。
- 前記整流板は、前記ケーシング内に3〜10枚で配置されることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のフィルムの製造装置。
- 前記導入口は、前記ノズル装置の上部に位置することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のフィルムの製造装置。
- 前記導入口は、最上層の前記整流板の前記固定端の上方に配置されることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のフィルムの製造装置。
- 前記吹出口には、前記気体の流れを変更可能な板状のフラップがさらに配置されることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載のフィルムの製造装置。
- 前記吹出口には、三角錐状の突起物が配置されることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載のフィルムの製造装置。
- 請求項1〜9のいずれかに記載のフィルムの製造装置を用いて、
ポリマー溶液から成る所定厚みの前記溶液膜を前記基板上に形成する工程と、
加湿された前記気体を、前記ノズル装置から前記溶液膜の表面に、当該表面に対して平行な前記気体の流れが存在するように吹き付け、前記気体の吹き付け方向と反対方向で前記溶液膜の表面に平行な方向に前記ノズルを移動させ、前記溶液膜の表面に、結露による水滴を形成する工程と、
前記溶液膜に含まれる溶媒を蒸発させる工程と、
前記溶液膜に含まれる水滴を蒸発させる工程と、を有し、
前記水滴に対応する空孔をフィルムの内部または表面に形成することを特徴とするフィルムの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010008266A JP5648782B2 (ja) | 2010-01-18 | 2010-01-18 | フィルムの製造装置および製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010008266A JP5648782B2 (ja) | 2010-01-18 | 2010-01-18 | フィルムの製造装置および製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011143677A true JP2011143677A (ja) | 2011-07-28 |
JP5648782B2 JP5648782B2 (ja) | 2015-01-07 |
Family
ID=44458962
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010008266A Expired - Fee Related JP5648782B2 (ja) | 2010-01-18 | 2010-01-18 | フィルムの製造装置および製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5648782B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE202011005251U1 (de) | 2010-04-13 | 2011-09-01 | Makita Corporation | Batteriepacks |
JP2014065229A (ja) * | 2012-09-26 | 2014-04-17 | Fujifilm Corp | 結露装置、結露方法及び多孔フィルムの製造方法 |
CN103866098A (zh) * | 2014-03-12 | 2014-06-18 | 江苏丰东热技术股份有限公司 | 一种油帘喷嘴装置 |
JP2015531410A (ja) * | 2012-10-09 | 2015-11-02 | 住友化学株式会社 | 表面にナノ構造を有するフィルムの製造方法 |
WO2016099064A1 (ko) * | 2014-12-19 | 2016-06-23 | 주식회사 엘지화학 | 필름 건조 장치 및 이를 포함하는 필름 제조 시스템 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06277563A (ja) * | 1992-07-13 | 1994-10-04 | Gendai Plant:Kk | 気体吹出装置 |
JPH10205850A (ja) * | 1997-01-22 | 1998-08-04 | Akikiyo Motogami | 気体吹出装置 |
JP2005262777A (ja) * | 2004-03-19 | 2005-09-29 | Japan Science & Technology Agency | 高品質ハニカム構造フィルムの製造方法 |
WO2006112358A1 (ja) * | 2005-04-13 | 2006-10-26 | National University Corporation Hokkaido University | ハニカム状多孔質体の製造方法。 |
JP2006297906A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-11-02 | Fuji Photo Film Co Ltd | 流延装置、溶液製膜設備および溶液製膜方法 |
WO2009038059A1 (ja) * | 2007-09-21 | 2009-03-26 | Fujifilm Corporation | 多孔フィルムの製造方法及び装置 |
JP2009108163A (ja) * | 2007-10-29 | 2009-05-21 | Nippon Zeon Co Ltd | フィルムの製造方法および製造装置 |
-
2010
- 2010-01-18 JP JP2010008266A patent/JP5648782B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06277563A (ja) * | 1992-07-13 | 1994-10-04 | Gendai Plant:Kk | 気体吹出装置 |
JPH10205850A (ja) * | 1997-01-22 | 1998-08-04 | Akikiyo Motogami | 気体吹出装置 |
JP2005262777A (ja) * | 2004-03-19 | 2005-09-29 | Japan Science & Technology Agency | 高品質ハニカム構造フィルムの製造方法 |
JP2006297906A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-11-02 | Fuji Photo Film Co Ltd | 流延装置、溶液製膜設備および溶液製膜方法 |
WO2006112358A1 (ja) * | 2005-04-13 | 2006-10-26 | National University Corporation Hokkaido University | ハニカム状多孔質体の製造方法。 |
WO2009038059A1 (ja) * | 2007-09-21 | 2009-03-26 | Fujifilm Corporation | 多孔フィルムの製造方法及び装置 |
JP2009108163A (ja) * | 2007-10-29 | 2009-05-21 | Nippon Zeon Co Ltd | フィルムの製造方法および製造装置 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE202011005251U1 (de) | 2010-04-13 | 2011-09-01 | Makita Corporation | Batteriepacks |
JP2014065229A (ja) * | 2012-09-26 | 2014-04-17 | Fujifilm Corp | 結露装置、結露方法及び多孔フィルムの製造方法 |
JP2015531410A (ja) * | 2012-10-09 | 2015-11-02 | 住友化学株式会社 | 表面にナノ構造を有するフィルムの製造方法 |
CN103866098A (zh) * | 2014-03-12 | 2014-06-18 | 江苏丰东热技术股份有限公司 | 一种油帘喷嘴装置 |
WO2016099064A1 (ko) * | 2014-12-19 | 2016-06-23 | 주식회사 엘지화학 | 필름 건조 장치 및 이를 포함하는 필름 제조 시스템 |
KR101767632B1 (ko) * | 2014-12-19 | 2017-08-11 | 주식회사 엘지화학 | 필름 건조 장치 및 이를 포함하는 필름 제조 시스템 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5648782B2 (ja) | 2015-01-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5648782B2 (ja) | フィルムの製造装置および製造方法 | |
JP4731044B2 (ja) | 延伸フィルムおよびそれを用いた細胞培養基材 | |
US7799378B2 (en) | Process for producing micropillar structure | |
JP5083535B2 (ja) | フィルムの製造方法および製造装置 | |
Guan et al. | Fabrication of polymeric microparticles for drug delivery by soft lithography | |
US9938384B2 (en) | Ultra-thin polymer film, and porous ultra-thin polymer film | |
JP4654279B2 (ja) | 微細構造を有する高分子薄膜およびパターン基板の製造方法 | |
JP2001157574A (ja) | ハニカム構造体およびその調製方法、ならびにその構造体を用いたフィルムおよび細胞培養基材 | |
US20100070026A1 (en) | Stent with porous membrane and manufacturing method thereof | |
Ponnusamy et al. | In vitro degradation and release characteristics of spin coated thin films of PLGA with a “breath figure” morphology | |
JP2002335949A (ja) | ハニカム構造体フィルムを用いた細胞の三次元組織培養法 | |
Yu et al. | Mussel-inspired modification of honeycomb structured films for superhydrophobic surfaces with tunable water adhesion | |
Wagterveld et al. | Ultralow hysteresis superhydrophobic surfaces by excimer laser modification of SU-8 | |
JP4247432B2 (ja) | 凹凸を有するハニカム構造体フィルム | |
Rodríguez-Hernández et al. | Breath Figures | |
Lo et al. | Pore-filling nanoporous templates from degradable block copolymers for nanoscale drug delivery | |
Paun et al. | Biocompatible polymeric implants for controlled drug delivery produced by MAPLE | |
WO2006090579A1 (ja) | 孔の孤立したハニカム構造体の製造方法 | |
EP1885779A1 (en) | Method for producing self-assembled construction | |
JP2007154060A (ja) | 細孔が均一に配置されたフィルムを製造する方法 | |
JPWO2009038061A1 (ja) | 複層フィルム及びその製造方法 | |
JP4393519B2 (ja) | 積層体 | |
JP2009293019A (ja) | フィルム及びフィルム製造方法 | |
JP2005232238A (ja) | 3次元多孔質構造体とその製造方法 | |
JP4579840B2 (ja) | ハニカム構造を有する生分解性フィルムの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120928 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131224 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140107 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20140310 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141015 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141028 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5648782 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |