JP2011127990A - 速度検出装置 - Google Patents
速度検出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011127990A JP2011127990A JP2009286281A JP2009286281A JP2011127990A JP 2011127990 A JP2011127990 A JP 2011127990A JP 2009286281 A JP2009286281 A JP 2009286281A JP 2009286281 A JP2009286281 A JP 2009286281A JP 2011127990 A JP2011127990 A JP 2011127990A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detection unit
- moving body
- light source
- speed
- detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 185
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P3/00—Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
- G01P3/64—Devices characterised by the determination of the time taken to traverse a fixed distance
- G01P3/68—Devices characterised by the determination of the time taken to traverse a fixed distance using optical means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Control Or Security For Electrophotography (AREA)
Abstract
【解決手段】第1の時刻及び第2の時刻に移動体の位置を検出し、該第1の時刻と該第2の時刻との差から該移動体の速度を検出する速度検出装置であって、発散光束で前記移動体を照明する1つの光源と、前記光源で前記移動体を照明して得られた光から前記第1の時刻に前記移動体の前記位置を検出する第1の検出部と、前記第1の検出部に対して前記移動体の移動方向に平行に設けられ、前記光源で前記移動体を照明して得られた光から前記第2の時刻に前記移動体の前記位置を検出する第2の検出部とを有し、前記第1の検出部または第2の検出部の主面に平行な平面上への前記光源の垂直投影位置は、該平面上への前記第1の検出部の垂直投影位置と前記第2の検出部の垂直投影位置との間にある。
【選択図】図4
Description
一方、2つの検出部(第1の検出部、第2の検出部)を、周知の半導体基板製造プロセス等を用いて同一基板上に高精度に配置することにより、区間長を短くすることができる。しかしながら、第1の検出部で検出される像は、第1の光源により移動体のマークを照射して反射生成される像と、第2の光源により移動体のマークを照射して反射生成される像との重ね合わせにより得られる。また、第2の検出部についても同様である。このため、複数の光源による像のクロストークが発生することにより検出信号が歪み、速度検出精度が低下する。
そこで本発明は、高帯域の速度を高精度に検出可能な速度検出装置を提供する。
図1において、2は第1の検出部である。第1の検出部2は、光源4で移動体8(特定のマーク7)を照明して得られた光から第1の時刻に移動体8の位置(特定のマーク7の位置)を検出する。3は第2の検出部である。第2の検出部3は、第1の検出部2に対して移動体8の移動方向(x軸方向)に平行に設けられ、光源4で移動体8(特定のマーク7)を照明して得られた光から第2の時刻に移動体8の位置(特定のマーク7の位置)を検出する。第1の検出部2及び第2の検出部3は、それぞれフォトダイオードアレイを備えて構成される。
ただし本実施例は、これら全てが同一平面上に配置されていない場合でも適用可能である。このとき、光源4の基板11上への垂直投影位置(z方向投影位置)は、第1の検出部2、3の端点の基板11上への垂直投影点Q、R、S、Tで形成される四角形が基板11へ垂直投影された四角形の内部に存在するように設定される。このように、第1の検出部2または第2の検出部3の主面に平行な平面への光源4の垂直投影位置は、該平面上への第1の検出部2の垂直投影位置と第2の検出部3の垂直投影位置との間にある。
2、3、102、103 検出部
4、104 光源
7 マーク
8 移動体
Claims (3)
- 第1の時刻及び第2の時刻に移動体の位置を検出し、該第1の時刻と該第2の時刻との差から該移動体の速度を検出する速度検出装置であって、
発散光束で前記移動体を照明する1つの光源と、
前記光源で前記移動体を照明して得られた光から前記第1の時刻に該移動体の前記位置を検出する第1の検出部と、
前記第1の検出部に対して前記移動体の移動方向に平行に設けられ、前記光源で前記移動体を照明して得られた光から前記第2の時刻に前記移動体の前記位置を検出する第2の検出部と、を有し、
前記第1の検出部または前記第2の検出部の主面に平行な平面上への前記光源の垂直投影位置は、該平面上への前記第1の検出部の垂直投影位置と前記第2の検出部の垂直投影位置との間にあることを特徴とする速度検出装置。 - 前記第1の検出部及び前記第2の検出部は、前記移動体で反射した光から前記移動体の前記位置を検出するように構成されており、
前記光源、前記第1の検出部、及び、前記第2の検出部は、同一平面上に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の速度検出装置。 - 前記第1の検出部は、第1の信号処理部と共に第1のフォトセンサを構成し、
前記第2の検出部は、第2の信号処理部と共に第2のフォトセンサを構成し、
前記第1の信号処理部及び前記第2の信号処理部は、同一の基板上に設けられ、ワイヤボンディングにより前記基板上の配線と電気的に接続されており、
前記第1のフォトセンサ及び前記第2のフォトセンサは、前記平面上へ投影させたとき、互いに180度異なる向きに配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の速度検出装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009286281A JP5761910B2 (ja) | 2009-12-17 | 2009-12-17 | 速度検出装置 |
US12/953,736 US8805022B2 (en) | 2009-12-17 | 2010-11-24 | Velocity detection apparatus having two detectors |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009286281A JP5761910B2 (ja) | 2009-12-17 | 2009-12-17 | 速度検出装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011127990A true JP2011127990A (ja) | 2011-06-30 |
JP2011127990A5 JP2011127990A5 (ja) | 2013-02-28 |
JP5761910B2 JP5761910B2 (ja) | 2015-08-12 |
Family
ID=44151172
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009286281A Expired - Fee Related JP5761910B2 (ja) | 2009-12-17 | 2009-12-17 | 速度検出装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8805022B2 (ja) |
JP (1) | JP5761910B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20110298916A1 (en) * | 2011-04-18 | 2011-12-08 | Lmi Technologies Ltd. | Sensor system processing architecture |
JP6775285B2 (ja) * | 2015-09-24 | 2020-10-28 | アルパイン株式会社 | 後側方車両検知警報装置 |
DE102017100506A1 (de) * | 2017-01-12 | 2018-07-12 | Sick Ag | Optoelektronisches Positionserfassungssystem und Verfahren zur Positionsbestimmung |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56166469A (en) * | 1980-05-27 | 1981-12-21 | Ricoh Co Ltd | Detector for sheet carrying speed |
JPH10289994A (ja) * | 1997-04-14 | 1998-10-27 | Denso Corp | 光センサ集積回路装置 |
JP2000133910A (ja) * | 1998-10-22 | 2000-05-12 | Hitachi Ltd | 電子部品の固定方法 |
JP2001111154A (ja) * | 1999-10-06 | 2001-04-20 | Sharp Corp | 半導体レーザ装置 |
JP2002290103A (ja) * | 2001-03-23 | 2002-10-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 高周波部品 |
JP2008051801A (ja) * | 2006-07-27 | 2008-03-06 | Ricoh Co Ltd | 位置検出装置、および画像形成装置 |
JP2008082820A (ja) * | 2006-09-27 | 2008-04-10 | Ricoh Co Ltd | 位置検知装置、速度検出装置、移動制御装置、ベルト搬送装置、回転体駆動装置、および画像形成装置 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4330196A (en) | 1979-02-22 | 1982-05-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Electrophotographic copying apparatus |
US6859548B2 (en) * | 1996-09-25 | 2005-02-22 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Ultrasonic picture processing method and ultrasonic picture processing apparatus |
DE19641035C2 (de) | 1996-10-04 | 1999-09-16 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Vorrichtung und Verfahren zur Positionsmessung |
US6326617B1 (en) * | 1997-09-04 | 2001-12-04 | Synaptic Pharmaceutical Corporation | Photoelectron spectroscopy apparatus |
US6193376B1 (en) * | 1998-02-27 | 2001-02-27 | Minolta Co., Ltd. | Display apparatus |
DE19843176C1 (de) | 1998-09-21 | 2000-10-19 | Siemens Ag | Optischer Encoder zur Erfassung von Dreh- und Linearbewegungen |
JP3671025B2 (ja) * | 2002-05-22 | 2005-07-13 | 株式会社リコー | 光走査装置及び画像形成装置 |
US7333634B2 (en) * | 2004-07-21 | 2008-02-19 | University Of South Florida | Method and apparatus for a velocity detection system using optical growth rate |
JP4328692B2 (ja) * | 2004-08-11 | 2009-09-09 | 国立大学法人東京工業大学 | 物体検出装置 |
US7173383B2 (en) * | 2004-09-08 | 2007-02-06 | Emteq, Inc. | Lighting apparatus having a plurality of independently controlled sources of different colors of light |
US7474788B2 (en) * | 2004-09-08 | 2009-01-06 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Method and system for enhancing image resolution using a modification vector |
JP5061444B2 (ja) * | 2005-09-20 | 2012-10-31 | ソニー株式会社 | 撮像装置及び撮像方法 |
KR100728134B1 (ko) * | 2005-12-30 | 2007-06-13 | 김재조 | 발광 장치 |
US9351355B2 (en) * | 2005-12-30 | 2016-05-24 | Seoul Semiconductor Co., Ltd. | Illumination system having color temperature control and method for controlling the same |
JP2007316157A (ja) * | 2006-05-23 | 2007-12-06 | Olympus Imaging Corp | 投光光学系及びそれを備えた投光装置 |
JP2008128674A (ja) * | 2006-11-16 | 2008-06-05 | Eastman Kodak Co | 角速度較正方法 |
JP4377439B1 (ja) * | 2008-06-12 | 2009-12-02 | 本田技研工業株式会社 | 車両周辺監視装置 |
US8351830B2 (en) | 2009-03-13 | 2013-01-08 | Ricoh Company, Limited | Belt conveying device and image forming apparatus |
JP5199171B2 (ja) * | 2009-04-17 | 2013-05-15 | 株式会社ジャパンディスプレイイースト | 表示装置 |
WO2011089893A1 (ja) * | 2010-01-20 | 2011-07-28 | キヤノン株式会社 | 変位検出装置及び変位検出装置用スケールの誤差補正方法 |
JP5751842B2 (ja) * | 2010-09-16 | 2015-07-22 | キヤノン株式会社 | 速度検出装置および画像形成装置 |
-
2009
- 2009-12-17 JP JP2009286281A patent/JP5761910B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-11-24 US US12/953,736 patent/US8805022B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56166469A (en) * | 1980-05-27 | 1981-12-21 | Ricoh Co Ltd | Detector for sheet carrying speed |
JPH10289994A (ja) * | 1997-04-14 | 1998-10-27 | Denso Corp | 光センサ集積回路装置 |
JP2000133910A (ja) * | 1998-10-22 | 2000-05-12 | Hitachi Ltd | 電子部品の固定方法 |
JP2001111154A (ja) * | 1999-10-06 | 2001-04-20 | Sharp Corp | 半導体レーザ装置 |
JP2002290103A (ja) * | 2001-03-23 | 2002-10-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 高周波部品 |
JP2008051801A (ja) * | 2006-07-27 | 2008-03-06 | Ricoh Co Ltd | 位置検出装置、および画像形成装置 |
JP2008082820A (ja) * | 2006-09-27 | 2008-04-10 | Ricoh Co Ltd | 位置検知装置、速度検出装置、移動制御装置、ベルト搬送装置、回転体駆動装置、および画像形成装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20110150288A1 (en) | 2011-06-23 |
JP5761910B2 (ja) | 2015-08-12 |
US8805022B2 (en) | 2014-08-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10989527B2 (en) | Position detection apparatus, position detection method, imprint apparatus, and method of manufacturing article | |
EP2866001B1 (en) | Photoelectric encoder | |
US8749761B2 (en) | Displacement measurement device, exposure apparatus, and working device | |
US20200225592A1 (en) | Measurement device and measurement method, exposure apparatus and exposure method, and device manufacturing method | |
EP2662668B1 (en) | Scale, vernier encoder and apparatus using the same | |
JP2013254780A (ja) | 位置検出システム、インプリント装置、デバイス製造方法、および位置検出方法 | |
JP2011013083A (ja) | 測定装置及びそれを用いた機器 | |
US9733578B2 (en) | Measurement apparatus, lithography apparatus, and method of manufacturing article | |
JP2011013083A5 (ja) | ||
JP5761910B2 (ja) | 速度検出装置 | |
JP5034891B2 (ja) | 透明板状体の形状測定装置及び板ガラスの製造方法 | |
KR20190093704A (ko) | 이동체의 제어 방법, 노광 방법, 디바이스 제조 방법, 이동체 장치, 및 노광 장치 | |
JP2016110066A (ja) | 位置決定装置、位置決定方法、リソグラフィ装置、および物品の製造方法 | |
JP2011127990A5 (ja) | ||
US9983028B2 (en) | Measurement method and encoder device, and exposure method and device | |
US9841299B2 (en) | Position determining device, position determining method, lithographic apparatus, and method for manufacturing object | |
JP2007071634A (ja) | 光電式エンコーダ | |
JP2004134473A (ja) | 位置検出用マーク、位置検出装置、位置検出方法、露光装置、および露光方法 | |
JP6570289B2 (ja) | 機械を較正するための測定マークシステム | |
JP6680330B2 (ja) | パターン形成装置 | |
JP6996580B2 (ja) | 基板処理方法 | |
US11079258B2 (en) | Position detection encoder and manufacturing method of position detection encoder | |
JP2002139353A (ja) | 光学式ロータリエンコーダ | |
CN112166384B (zh) | 用于确定标记检测系统中的测量束的期望波长带宽的带宽计算系统和方法 | |
JP2017215219A (ja) | 計測装置、パターン形成装置及び物品の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121214 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130111 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131113 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131203 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140130 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141014 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141212 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150512 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150609 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5761910 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |